FI96506B - Glasbeläggningsanordning och förfarande för beläggning av glas - Google Patents

Glasbeläggningsanordning och förfarande för beläggning av glas Download PDF

Info

Publication number
FI96506B
FI96506B FI894859A FI894859A FI96506B FI 96506 B FI96506 B FI 96506B FI 894859 A FI894859 A FI 894859A FI 894859 A FI894859 A FI 894859A FI 96506 B FI96506 B FI 96506B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
coating chamber
coating
glass
supply
gas
Prior art date
Application number
FI894859A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI894859A0 (sv
FI96506C (sv
Inventor
Peter James Whitfield
Edward Hargreaves
Barry Thomas Grundy
Original Assignee
Pilkington Plc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pilkington Plc filed Critical Pilkington Plc
Publication of FI894859A0 publication Critical patent/FI894859A0/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI96506B publication Critical patent/FI96506B/sv
Publication of FI96506C publication Critical patent/FI96506C/sv

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23Oxides
    • C03C17/245Oxides by deposition from the vapour phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/453Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/15Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/152Deposition methods from the vapour phase by cvd

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Manufacture Of Switches (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Formation Of Insulating Films (AREA)

Claims (12)

1. Anordning för skiktning av en beläggning pd ytan hos ett rörligt, hett glasband (12) med hjälp av reaktion 5 mellan tvd gasformiga reagerande ämnen, vilken anordning omfattar en pd sin yta öppen beläggningskammare (10) tili vilken de gasformiga reagerande ämnena tilldts att flyta i kontakt med glasytan som skall beläggas, huvudsakligen i glasets (12) rörelseriktning, för alstring av en önskad 10 beläggning pd glasytan, varvid beläggningskammaren (10) sträcker sig neddt pd och tvärsöver bredden av glasytan som skall beläggas, varvid beläggningskammaren (10) omfat-tar ett första inloppsorgan (14) för alstring av det förs-ta gasformiga reagerande ämnets flöde längs glasytan genom 15 kammaren över dess bredd, och ett andra inloppsorgan (15) med en inloppskanal (15) som är belägen medströms (med hänvisning tili den första reagerande gasens flödesrikt-ning) i förhdllande tili det första inloppsorganet (14), och vilken inloppskanal (15) sträcker sig tvärsöver ett 20 innertak (9) över dess bredd för att tilldta det andra gasformiga reagerande ämnet att flyta i det första gasformiga reagerande ämnets flöde i beläggningskammaren (10); avloppsorgan (26) anordnade medströms (i förhdllande tili de reagerande gasernas flödesriktning) om det första 25 och det andra inloppsorganet (14, 15), varvid de löper bortdt frdn beläggningskammaren (10) för att avlägsna för-brukade gaser frdn beläggningskammaren, kännetecknad av att beläggningskamma-rens (10) innertak (9) är utformat trappformigt vid an-30 knytningspunkten för inloppskanalen (15) och beläggningskammaren sd att beläggningskammarens (10) innertak (9a) är pd inloppskanalens (15) uppströmssida (med hänvisning tili den första reagerande gasens flödesriktning) pd en högre nivd än beläggningskammarens (10) innertak (9b) pd in-35 loppskanalens (15) medströmssida (med hänvisning tili den 22 96506 första reagerande gasens flödesriktning), varvid inner-takets (9) längsgäende tvärsnittslinje är trappformig; och att glasbeläggningsanordningen ytterligare omfattar en första gasdistributör (19) för förflyttning 5 av det första gasformiga reagerande ämnet frän en gasmat-ningsledning tili det första inloppsorganet (14); och en andra gasdistributör (24) för förflyttning av det gasformiga reagerande ämnet frän en andra gasmatnings-ledning tili det andra inloppsorganet (15).
2. Anordning enligt patentkrav 1, k ä n n e - tecknad av att beläggningskammarens (10) innertak (9a) är pä inloppskanalens (15) uppströmssida pä en ät-minstone 5 mm högre nivä än beläggningskammarens (10) innertak (9b) pä inloppskanalens (15) medströmssida.
3. Anordning enligt patentkrav 1 eller 2, k ä n - netecknad av att beläggningskammarens (10) tak (9a) är pä inloppskanalens (15) uppströmssida pä en högst 75 mm högre nivä än beläggningskammarens (10) tak (9b) pä inloppskanalens (15) medströmssida.
4. Anordning enligt patentkrav 2 eller 3, k ä n - netecknad av att beläggningskammarens (10) tak (9a) är pä inloppskanalens (15) uppströmssida pä en 10 mm högre nivä än beläggningskammarens (10) tak (9b) pä inloppskanalens (15) medströmssida.
5. Anordning enligt nägot av de föregäende patent- kraven, kännetecknad av att inloppskanalen (15) är anordnad huvudsakligen i rät vinkel i förhällande tili de genom beläggningskammaren (10) flytande reagerande gasernas flödesväg.
6. Anordning enligt nägot av de föregäende patent- kraven, kännetecknad av att en pä inloppskanalens (15) medströmssida belägen sidoväggs (56) stamdel är anordnad som en konvex böjd yta (57) vid anknytningspunk-ten för sidoväggen (56) och beläggningskammarens (10) in- 35 nertak (9b). 96506 23
7. Anordning enligt nägot av de föregäende patent- kraven, kännetecknad av att de första och de andra gasdistributörerna (19, 24) är anordnade mellan om-vänt solfjäderformiga fram- och bakväggar (20, 21) som 5 löper isär frän en central matningsöppning och löper ut i ett urtag (48) som sträcker sig över bredden av glas-ytan som skall beläggas.
8. Anordning enligt patentkrav 7, kännetecknad av att de omvänt solfjäderformiga fram- och 10 bakväggarna (20, 21) är anordnade att löpa ut nedät mot varandra in i urtaget (48).
9. Anordning enligt nägot av de föregäende patent-kraven, kännetecknad av att anordningen ytter-ligare omfattar en gasflödesbegränsare (22) anordnad mel- 15 lan den första gasdistributören (19) och det första in-loppsorganet (14) för jämn fördelning av det första gas-formiga reagerande ämnet över bredden av glasytan som skall beläggas.
10. Anordning enligt nägot av de föregäende patent-20 kraven, kännetecknad av att anordningen ytter- ligare omfattar en gasflödesbegränsare (25) anordnad mellan den andra gasdistributören (24) och det andra inlopps-organet (15) för jämn fördelning av det andra gasformiga reagerande ämnet över bredden av glasytan som skall beläg-25 gas. <
11. Förfarande för att skikta en genom reaktion av ätminstone tvä gasformiga reagerande ämnen erhällen be-läggning pä ytan hos ett rörligt, hett glasband (12), vil-ket förfarande omfattar ledning av det första gasformiga 30 reagerande ämnets flöde huvudsakligen i glasets (12) rö- relseriktning i en beläggningskammare (10), och inmatning av det andra gasformiga reagerande ämnets flöde i det första gasformiga reagerande ämnets flöde via ett inloppsor-gan (15) med en inloppskanal (15) som är belägen medströms 35 (med hänvisning tili den första reagerande gasens flödes- 24 96506 riktning) i förhällande till inloppsorganet, och vilken inloppskanal (15) sträcker sig över kammarens (10) inner-tak (9) och fär det första och det andra gasformiga mediet att flyta via beläggningskammaren (10) i kontakt med glas-5 ytan huvudsakligen i glasets (12) rörelseriktning för als-tring av en önskad beläggning pä glasytan, k ä n n e -tecknat av att beläggningskammarens (10) innertak (9) är utformat trappformigt vid anknytningspunkten för inloppskanalen (15) och beläggningskammaren, varvid be-10 läggningskammarens (10) innertak (9a) är pä uppströmssidan (med hänvisning tili det första reagerande ämnets flödes-riktning) pä en högre nivä än beläggningskammarens (10) innertak (9b) pä medströmssidan (med hänvisning tili det första reagerande ämnets flödesriktning), varvid innerta-15 kets (9) längsgäende tvärsnittslinje är trappformig.
12. Förfarande enligt patentkrav 11, k ä n n e -tecknat av att det andra gasformiga reagerande ämnets flöde inmatas i det första gasformiga reagerande ämnets flöde huvudsakligen i rät vinkel i förhällande tili 20 de genom beläggningskammaren (10) flytande reagerande ga-sernas flödesväg.
FI894859A 1988-10-14 1989-10-13 Glasbeläggningsanordning och förfarande för beläggning av glas FI96506C (sv)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB888824102A GB8824102D0 (en) 1988-10-14 1988-10-14 Apparatus for coating glass
GB8824102 1988-10-14

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI894859A0 FI894859A0 (sv) 1989-10-13
FI96506B true FI96506B (sv) 1996-03-29
FI96506C FI96506C (sv) 1996-07-10

Family

ID=10645192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI894859A FI96506C (sv) 1988-10-14 1989-10-13 Glasbeläggningsanordning och förfarande för beläggning av glas

Country Status (29)

Country Link
US (1) US5022905A (sv)
EP (1) EP0365240B1 (sv)
JP (1) JP2594650B2 (sv)
KR (1) KR960010096B1 (sv)
CN (1) CN1025846C (sv)
AT (1) ATE94159T1 (sv)
AU (1) AU622711B2 (sv)
BG (1) BG50832A3 (sv)
BR (1) BR8905216A (sv)
CA (1) CA2000269C (sv)
CZ (1) CZ283608B6 (sv)
DD (1) DD300419A5 (sv)
DE (2) DE68908993T2 (sv)
DK (1) DK509989A (sv)
ES (1) ES2013987T3 (sv)
FI (1) FI96506C (sv)
GB (2) GB8824102D0 (sv)
HU (1) HU210280B (sv)
IN (1) IN174378B (sv)
MX (1) MX171377B (sv)
NO (1) NO175425C (sv)
PL (1) PL162824B1 (sv)
RO (1) RO104572B1 (sv)
RU (1) RU1838261C (sv)
TR (1) TR23962A (sv)
TW (1) TW203034B (sv)
UA (1) UA11250A1 (sv)
YU (1) YU47026B (sv)
ZA (1) ZA897659B (sv)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU650887B2 (en) * 1990-06-29 1994-07-07 Telstra Corporation Limited A method and apparatus for treating a surface
IN177541B (sv) * 1990-06-29 1997-02-08 Geoffrey Norman Pain
FR2672518B1 (fr) * 1991-02-13 1995-05-05 Saint Gobain Vitrage Int Buse a alimentation dissymetrique pour la formation d'une couche de revetement sur un ruban de verre, par pyrolyse d'un melange gazeux.
DK0583871T3 (da) * 1992-07-11 1997-04-21 Pilkington Uk Ltd Fremgangsmåde til fremstilling af reflekterende belægninger på glas og spejle fremstillet derved
US5314727A (en) * 1992-07-28 1994-05-24 Minnesota Mining & Mfg. Co./Regents Of The University Of Minnesota Chemical vapor deposition of iron, ruthenium, and osmium
GB9300400D0 (en) * 1993-01-11 1993-03-03 Glaverbel A device and method for forming a coating by pyrolysis
GB9400323D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
GB9400320D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coating on glass
GB9400319D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
US5723172A (en) * 1994-03-11 1998-03-03 Dan Sherman Method for forming a protective coating on glass
US5665424A (en) * 1994-03-11 1997-09-09 Sherman; Dan Method for making glass articles having a permanent protective coating
FR2736632B1 (fr) 1995-07-12 1997-10-24 Saint Gobain Vitrage Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive
US5908947A (en) * 1996-02-09 1999-06-01 Micron Technology, Inc. Difunctional amino precursors for the deposition of films comprising metals
US5659057A (en) * 1996-02-09 1997-08-19 Micron Technology, Inc. Five- and six-coordinate precursors for titanium nitride deposition
US5607722A (en) * 1996-02-09 1997-03-04 Micron Technology, Inc. Process for titanium nitride deposition using five-and six-coordinate titanium complexes
US5976976A (en) 1997-08-21 1999-11-02 Micron Technology, Inc. Method of forming titanium silicide and titanium by chemical vapor deposition
US6143362A (en) * 1998-02-25 2000-11-07 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition of titanium
US6284316B1 (en) 1998-02-25 2001-09-04 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition of titanium
JP4984562B2 (ja) * 2006-02-16 2012-07-25 Jfeスチール株式会社 金属ストリップ表面へのTiN成膜方法およびTiN連続成膜装置
JPWO2014081030A1 (ja) * 2012-11-26 2017-01-05 旭硝子株式会社 薄膜形成方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1307216A (en) * 1969-04-23 1973-02-14 Pilkington Brothers Ltd Treating glass
GB1307361A (en) * 1969-04-23 1973-02-21 Pilkington Brothers Ltd Treating glass
GB1507465A (en) * 1974-06-14 1978-04-12 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
GB1507996A (en) * 1975-06-11 1978-04-19 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
GB1516032A (en) * 1976-04-13 1978-06-28 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB1524326A (en) * 1976-04-13 1978-09-13 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB2026454B (en) * 1978-07-20 1982-07-21 Bfg Glassgroup Coating glass with tin oxide
CA1138725A (en) * 1978-07-20 1983-01-04 Robert Terneu Glass coating
BE879189A (fr) * 1978-10-19 1980-04-04 Bfg Glassgroup Procede de formation d'un revetement d'oxyde d'etain sur un support de verre chaud et produits ainsi obtenus
US4325987A (en) * 1979-07-31 1982-04-20 Societa Italiana Vetro-Siv-S.P.A. Process for the production of an electrically conducting article
CH643469A5 (fr) * 1981-12-22 1984-06-15 Siv Soc Italiana Vetro Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide.
GB2185249B (en) * 1985-12-20 1989-10-18 Glaverbel Apparatus for and process of coating glass
NO168762C (no) * 1985-12-20 1992-04-01 Glaverbel Belagt, flatt glass.
GB2187184B (en) * 1985-12-20 1989-10-11 Glaverbel Process and apparatus for pyrolytically coating glass
GB8531424D0 (en) * 1985-12-20 1986-02-05 Glaverbel Coating glass
US4793282A (en) * 1987-05-18 1988-12-27 Libbey-Owens-Ford Co. Distributor beam for chemical vapor deposition on glass

Also Published As

Publication number Publication date
FI894859A0 (sv) 1989-10-13
EP0365240A1 (en) 1990-04-25
DK509989A (da) 1990-04-15
CA2000269C (en) 1998-05-19
YU198689A (en) 1991-06-30
KR900006249A (ko) 1990-05-07
BG50832A3 (en) 1992-11-16
ES2013987T3 (es) 1994-01-16
IN174378B (sv) 1994-11-19
GB8923059D0 (en) 1989-11-29
GB2225343B (en) 1993-02-03
NO894093D0 (no) 1989-10-13
CA2000269A1 (en) 1990-04-14
JPH02167841A (ja) 1990-06-28
HU895301D0 (en) 1990-01-28
DE365240T1 (de) 1990-08-16
NO894093L (no) 1990-04-17
CN1025846C (zh) 1994-09-07
AU4255589A (en) 1990-04-26
HU210280B (en) 1995-03-28
JP2594650B2 (ja) 1997-03-26
MX171377B (es) 1993-10-21
TR23962A (tr) 1991-01-11
CN1042138A (zh) 1990-05-16
GB2225343A (en) 1990-05-30
ZA897659B (en) 1990-09-26
CZ582689A3 (en) 1997-12-17
DK509989D0 (da) 1989-10-13
PL162824B1 (pl) 1994-01-31
ATE94159T1 (de) 1993-09-15
DD300419A5 (de) 1992-06-11
NO175425C (no) 1994-10-12
KR960010096B1 (ko) 1996-07-25
BR8905216A (pt) 1990-05-15
CZ283608B6 (cs) 1998-05-13
FI96506C (sv) 1996-07-10
RO104572B1 (en) 1994-08-29
GB8824102D0 (en) 1988-11-23
AU622711B2 (en) 1992-04-16
YU47026B (sh) 1994-11-15
RU1838261C (ru) 1993-08-30
US5022905A (en) 1991-06-11
TW203034B (sv) 1993-04-01
ES2013987A4 (es) 1990-06-16
DE68908993D1 (de) 1993-10-14
UA11250A1 (uk) 1996-12-25
HUT55714A (en) 1991-06-28
NO175425B (no) 1994-07-04
EP0365240B1 (en) 1993-09-08
DE68908993T2 (de) 1994-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI96506B (sv) Glasbeläggningsanordning och förfarande för beläggning av glas
FI94620B (sv) Förfarande för beläggning av glas
US4834020A (en) Atmospheric pressure chemical vapor deposition apparatus
US6112554A (en) Device for forming a pyrolytic coating
JPH04310543A (ja) コーティング膜形成ノズル
JP2518896B2 (ja) 板ガラスのコ―ティング方法および装置
JPS59183854A (ja) 基体上に粉体を規則的に分布させる方法および装置
NL8100457A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bekleden van glas.
EP0156857A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR COATING A SUBSTRATE.
AU601594B2 (en) Distributor beam for chemical vapor deposition on glass
JPH0448505B2 (sv)
EP0415252B1 (en) Thin film forming apparatus
IE893249L (en) Depositing a coating on hot glass from at least two gaseous¹reactants
JPH10312997A (ja) 常圧cvd装置

Legal Events

Date Code Title Description
BB Publication of examined application
MM Patent lapsed
MM Patent lapsed

Owner name: PILKINGTON PLC