FI96506B - Glasbeläggningsanordning och förfarande för beläggning av glas - Google Patents
Glasbeläggningsanordning och förfarande för beläggning av glas Download PDFInfo
- Publication number
- FI96506B FI96506B FI894859A FI894859A FI96506B FI 96506 B FI96506 B FI 96506B FI 894859 A FI894859 A FI 894859A FI 894859 A FI894859 A FI 894859A FI 96506 B FI96506 B FI 96506B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- coating chamber
- coating
- glass
- supply
- gas
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
- C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
- C03C17/23—Oxides
- C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/453—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/152—Deposition methods from the vapour phase by cvd
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Manufacture Of Switches (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Claims (12)
1. Anordning för skiktning av en beläggning pd ytan hos ett rörligt, hett glasband (12) med hjälp av reaktion 5 mellan tvd gasformiga reagerande ämnen, vilken anordning omfattar en pd sin yta öppen beläggningskammare (10) tili vilken de gasformiga reagerande ämnena tilldts att flyta i kontakt med glasytan som skall beläggas, huvudsakligen i glasets (12) rörelseriktning, för alstring av en önskad 10 beläggning pd glasytan, varvid beläggningskammaren (10) sträcker sig neddt pd och tvärsöver bredden av glasytan som skall beläggas, varvid beläggningskammaren (10) omfat-tar ett första inloppsorgan (14) för alstring av det förs-ta gasformiga reagerande ämnets flöde längs glasytan genom 15 kammaren över dess bredd, och ett andra inloppsorgan (15) med en inloppskanal (15) som är belägen medströms (med hänvisning tili den första reagerande gasens flödesrikt-ning) i förhdllande tili det första inloppsorganet (14), och vilken inloppskanal (15) sträcker sig tvärsöver ett 20 innertak (9) över dess bredd för att tilldta det andra gasformiga reagerande ämnet att flyta i det första gasformiga reagerande ämnets flöde i beläggningskammaren (10); avloppsorgan (26) anordnade medströms (i förhdllande tili de reagerande gasernas flödesriktning) om det första 25 och det andra inloppsorganet (14, 15), varvid de löper bortdt frdn beläggningskammaren (10) för att avlägsna för-brukade gaser frdn beläggningskammaren, kännetecknad av att beläggningskamma-rens (10) innertak (9) är utformat trappformigt vid an-30 knytningspunkten för inloppskanalen (15) och beläggningskammaren sd att beläggningskammarens (10) innertak (9a) är pd inloppskanalens (15) uppströmssida (med hänvisning tili den första reagerande gasens flödesriktning) pd en högre nivd än beläggningskammarens (10) innertak (9b) pd in-35 loppskanalens (15) medströmssida (med hänvisning tili den 22 96506 första reagerande gasens flödesriktning), varvid inner-takets (9) längsgäende tvärsnittslinje är trappformig; och att glasbeläggningsanordningen ytterligare omfattar en första gasdistributör (19) för förflyttning 5 av det första gasformiga reagerande ämnet frän en gasmat-ningsledning tili det första inloppsorganet (14); och en andra gasdistributör (24) för förflyttning av det gasformiga reagerande ämnet frän en andra gasmatnings-ledning tili det andra inloppsorganet (15).
2. Anordning enligt patentkrav 1, k ä n n e - tecknad av att beläggningskammarens (10) innertak (9a) är pä inloppskanalens (15) uppströmssida pä en ät-minstone 5 mm högre nivä än beläggningskammarens (10) innertak (9b) pä inloppskanalens (15) medströmssida.
3. Anordning enligt patentkrav 1 eller 2, k ä n - netecknad av att beläggningskammarens (10) tak (9a) är pä inloppskanalens (15) uppströmssida pä en högst 75 mm högre nivä än beläggningskammarens (10) tak (9b) pä inloppskanalens (15) medströmssida.
4. Anordning enligt patentkrav 2 eller 3, k ä n - netecknad av att beläggningskammarens (10) tak (9a) är pä inloppskanalens (15) uppströmssida pä en 10 mm högre nivä än beläggningskammarens (10) tak (9b) pä inloppskanalens (15) medströmssida.
5. Anordning enligt nägot av de föregäende patent- kraven, kännetecknad av att inloppskanalen (15) är anordnad huvudsakligen i rät vinkel i förhällande tili de genom beläggningskammaren (10) flytande reagerande gasernas flödesväg.
6. Anordning enligt nägot av de föregäende patent- kraven, kännetecknad av att en pä inloppskanalens (15) medströmssida belägen sidoväggs (56) stamdel är anordnad som en konvex böjd yta (57) vid anknytningspunk-ten för sidoväggen (56) och beläggningskammarens (10) in- 35 nertak (9b). 96506 23
7. Anordning enligt nägot av de föregäende patent- kraven, kännetecknad av att de första och de andra gasdistributörerna (19, 24) är anordnade mellan om-vänt solfjäderformiga fram- och bakväggar (20, 21) som 5 löper isär frän en central matningsöppning och löper ut i ett urtag (48) som sträcker sig över bredden av glas-ytan som skall beläggas.
8. Anordning enligt patentkrav 7, kännetecknad av att de omvänt solfjäderformiga fram- och 10 bakväggarna (20, 21) är anordnade att löpa ut nedät mot varandra in i urtaget (48).
9. Anordning enligt nägot av de föregäende patent-kraven, kännetecknad av att anordningen ytter-ligare omfattar en gasflödesbegränsare (22) anordnad mel- 15 lan den första gasdistributören (19) och det första in-loppsorganet (14) för jämn fördelning av det första gas-formiga reagerande ämnet över bredden av glasytan som skall beläggas.
10. Anordning enligt nägot av de föregäende patent-20 kraven, kännetecknad av att anordningen ytter- ligare omfattar en gasflödesbegränsare (25) anordnad mellan den andra gasdistributören (24) och det andra inlopps-organet (15) för jämn fördelning av det andra gasformiga reagerande ämnet över bredden av glasytan som skall beläg-25 gas. <
11. Förfarande för att skikta en genom reaktion av ätminstone tvä gasformiga reagerande ämnen erhällen be-läggning pä ytan hos ett rörligt, hett glasband (12), vil-ket förfarande omfattar ledning av det första gasformiga 30 reagerande ämnets flöde huvudsakligen i glasets (12) rö- relseriktning i en beläggningskammare (10), och inmatning av det andra gasformiga reagerande ämnets flöde i det första gasformiga reagerande ämnets flöde via ett inloppsor-gan (15) med en inloppskanal (15) som är belägen medströms 35 (med hänvisning tili den första reagerande gasens flödes- 24 96506 riktning) i förhällande till inloppsorganet, och vilken inloppskanal (15) sträcker sig över kammarens (10) inner-tak (9) och fär det första och det andra gasformiga mediet att flyta via beläggningskammaren (10) i kontakt med glas-5 ytan huvudsakligen i glasets (12) rörelseriktning för als-tring av en önskad beläggning pä glasytan, k ä n n e -tecknat av att beläggningskammarens (10) innertak (9) är utformat trappformigt vid anknytningspunkten för inloppskanalen (15) och beläggningskammaren, varvid be-10 läggningskammarens (10) innertak (9a) är pä uppströmssidan (med hänvisning tili det första reagerande ämnets flödes-riktning) pä en högre nivä än beläggningskammarens (10) innertak (9b) pä medströmssidan (med hänvisning tili det första reagerande ämnets flödesriktning), varvid innerta-15 kets (9) längsgäende tvärsnittslinje är trappformig.
12. Förfarande enligt patentkrav 11, k ä n n e -tecknat av att det andra gasformiga reagerande ämnets flöde inmatas i det första gasformiga reagerande ämnets flöde huvudsakligen i rät vinkel i förhällande tili 20 de genom beläggningskammaren (10) flytande reagerande ga-sernas flödesväg.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB888824102A GB8824102D0 (en) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | Apparatus for coating glass |
GB8824102 | 1988-10-14 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI894859A0 FI894859A0 (sv) | 1989-10-13 |
FI96506B true FI96506B (sv) | 1996-03-29 |
FI96506C FI96506C (sv) | 1996-07-10 |
Family
ID=10645192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI894859A FI96506C (sv) | 1988-10-14 | 1989-10-13 | Glasbeläggningsanordning och förfarande för beläggning av glas |
Country Status (29)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5022905A (sv) |
EP (1) | EP0365240B1 (sv) |
JP (1) | JP2594650B2 (sv) |
KR (1) | KR960010096B1 (sv) |
CN (1) | CN1025846C (sv) |
AT (1) | ATE94159T1 (sv) |
AU (1) | AU622711B2 (sv) |
BG (1) | BG50832A3 (sv) |
BR (1) | BR8905216A (sv) |
CA (1) | CA2000269C (sv) |
CZ (1) | CZ283608B6 (sv) |
DD (1) | DD300419A5 (sv) |
DE (2) | DE68908993T2 (sv) |
DK (1) | DK509989A (sv) |
ES (1) | ES2013987T3 (sv) |
FI (1) | FI96506C (sv) |
GB (2) | GB8824102D0 (sv) |
HU (1) | HU210280B (sv) |
IN (1) | IN174378B (sv) |
MX (1) | MX171377B (sv) |
NO (1) | NO175425C (sv) |
PL (1) | PL162824B1 (sv) |
RO (1) | RO104572B1 (sv) |
RU (1) | RU1838261C (sv) |
TR (1) | TR23962A (sv) |
TW (1) | TW203034B (sv) |
UA (1) | UA11250A1 (sv) |
YU (1) | YU47026B (sv) |
ZA (1) | ZA897659B (sv) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU650887B2 (en) * | 1990-06-29 | 1994-07-07 | Telstra Corporation Limited | A method and apparatus for treating a surface |
IN177541B (sv) * | 1990-06-29 | 1997-02-08 | Geoffrey Norman Pain | |
FR2672518B1 (fr) * | 1991-02-13 | 1995-05-05 | Saint Gobain Vitrage Int | Buse a alimentation dissymetrique pour la formation d'une couche de revetement sur un ruban de verre, par pyrolyse d'un melange gazeux. |
DK0583871T3 (da) * | 1992-07-11 | 1997-04-21 | Pilkington Uk Ltd | Fremgangsmåde til fremstilling af reflekterende belægninger på glas og spejle fremstillet derved |
US5314727A (en) * | 1992-07-28 | 1994-05-24 | Minnesota Mining & Mfg. Co./Regents Of The University Of Minnesota | Chemical vapor deposition of iron, ruthenium, and osmium |
GB9300400D0 (en) * | 1993-01-11 | 1993-03-03 | Glaverbel | A device and method for forming a coating by pyrolysis |
GB9400323D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coatings on glass |
GB9400320D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coating on glass |
GB9400319D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coatings on glass |
US5723172A (en) * | 1994-03-11 | 1998-03-03 | Dan Sherman | Method for forming a protective coating on glass |
US5665424A (en) * | 1994-03-11 | 1997-09-09 | Sherman; Dan | Method for making glass articles having a permanent protective coating |
FR2736632B1 (fr) | 1995-07-12 | 1997-10-24 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive |
US5908947A (en) * | 1996-02-09 | 1999-06-01 | Micron Technology, Inc. | Difunctional amino precursors for the deposition of films comprising metals |
US5659057A (en) * | 1996-02-09 | 1997-08-19 | Micron Technology, Inc. | Five- and six-coordinate precursors for titanium nitride deposition |
US5607722A (en) * | 1996-02-09 | 1997-03-04 | Micron Technology, Inc. | Process for titanium nitride deposition using five-and six-coordinate titanium complexes |
US5976976A (en) | 1997-08-21 | 1999-11-02 | Micron Technology, Inc. | Method of forming titanium silicide and titanium by chemical vapor deposition |
US6143362A (en) * | 1998-02-25 | 2000-11-07 | Micron Technology, Inc. | Chemical vapor deposition of titanium |
US6284316B1 (en) | 1998-02-25 | 2001-09-04 | Micron Technology, Inc. | Chemical vapor deposition of titanium |
JP4984562B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2012-07-25 | Jfeスチール株式会社 | 金属ストリップ表面へのTiN成膜方法およびTiN連続成膜装置 |
JPWO2014081030A1 (ja) * | 2012-11-26 | 2017-01-05 | 旭硝子株式会社 | 薄膜形成方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1307216A (en) * | 1969-04-23 | 1973-02-14 | Pilkington Brothers Ltd | Treating glass |
GB1307361A (en) * | 1969-04-23 | 1973-02-21 | Pilkington Brothers Ltd | Treating glass |
GB1507465A (en) * | 1974-06-14 | 1978-04-12 | Pilkington Brothers Ltd | Coating glass |
GB1507996A (en) * | 1975-06-11 | 1978-04-19 | Pilkington Brothers Ltd | Coating glass |
GB1516032A (en) * | 1976-04-13 | 1978-06-28 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
GB1524326A (en) * | 1976-04-13 | 1978-09-13 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
GB2026454B (en) * | 1978-07-20 | 1982-07-21 | Bfg Glassgroup | Coating glass with tin oxide |
CA1138725A (en) * | 1978-07-20 | 1983-01-04 | Robert Terneu | Glass coating |
BE879189A (fr) * | 1978-10-19 | 1980-04-04 | Bfg Glassgroup | Procede de formation d'un revetement d'oxyde d'etain sur un support de verre chaud et produits ainsi obtenus |
US4325987A (en) * | 1979-07-31 | 1982-04-20 | Societa Italiana Vetro-Siv-S.P.A. | Process for the production of an electrically conducting article |
CH643469A5 (fr) * | 1981-12-22 | 1984-06-15 | Siv Soc Italiana Vetro | Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide. |
GB2185249B (en) * | 1985-12-20 | 1989-10-18 | Glaverbel | Apparatus for and process of coating glass |
NO168762C (no) * | 1985-12-20 | 1992-04-01 | Glaverbel | Belagt, flatt glass. |
GB2187184B (en) * | 1985-12-20 | 1989-10-11 | Glaverbel | Process and apparatus for pyrolytically coating glass |
GB8531424D0 (en) * | 1985-12-20 | 1986-02-05 | Glaverbel | Coating glass |
US4793282A (en) * | 1987-05-18 | 1988-12-27 | Libbey-Owens-Ford Co. | Distributor beam for chemical vapor deposition on glass |
-
1988
- 1988-10-14 GB GB888824102A patent/GB8824102D0/en active Pending
-
1989
- 1989-10-04 AU AU42555/89A patent/AU622711B2/en not_active Ceased
- 1989-10-05 IN IN738MA1989 patent/IN174378B/en unknown
- 1989-10-06 CA CA002000269A patent/CA2000269C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-09 ZA ZA897659A patent/ZA897659B/xx unknown
- 1989-10-10 RO RO141943A patent/RO104572B1/ro unknown
- 1989-10-12 HU HU895301A patent/HU210280B/hu not_active IP Right Cessation
- 1989-10-12 BG BG089991A patent/BG50832A3/xx unknown
- 1989-10-12 TR TR89/0882A patent/TR23962A/xx unknown
- 1989-10-12 US US07/420,513 patent/US5022905A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-12 DD DD333533A patent/DD300419A5/de unknown
- 1989-10-13 YU YU198689A patent/YU47026B/sh unknown
- 1989-10-13 BR BR898905216A patent/BR8905216A/pt not_active IP Right Cessation
- 1989-10-13 PL PL28183089A patent/PL162824B1/pl unknown
- 1989-10-13 DK DK509989A patent/DK509989A/da not_active Application Discontinuation
- 1989-10-13 DE DE89310564T patent/DE68908993T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-13 DE DE198989310564T patent/DE365240T1/de active Pending
- 1989-10-13 EP EP89310564A patent/EP0365240B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-13 NO NO894093A patent/NO175425C/no unknown
- 1989-10-13 ES ES89310564T patent/ES2013987T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-13 AT AT89310564T patent/ATE94159T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-10-13 JP JP1265305A patent/JP2594650B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-13 CZ CS895826A patent/CZ283608B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1989-10-13 MX MX017945A patent/MX171377B/es unknown
- 1989-10-13 UA UA4722165A patent/UA11250A1/uk unknown
- 1989-10-13 RU SU894742165A patent/RU1838261C/ru active
- 1989-10-13 GB GB8923059A patent/GB2225343B/en not_active Revoked
- 1989-10-13 FI FI894859A patent/FI96506C/sv not_active IP Right Cessation
- 1989-10-14 KR KR1019890014709A patent/KR960010096B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1989-10-14 CN CN89107935A patent/CN1025846C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-20 TW TW078108080A patent/TW203034B/zh active
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI96506B (sv) | Glasbeläggningsanordning och förfarande för beläggning av glas | |
FI94620B (sv) | Förfarande för beläggning av glas | |
US4834020A (en) | Atmospheric pressure chemical vapor deposition apparatus | |
US6112554A (en) | Device for forming a pyrolytic coating | |
JPH04310543A (ja) | コーティング膜形成ノズル | |
JP2518896B2 (ja) | 板ガラスのコ―ティング方法および装置 | |
JPS59183854A (ja) | 基体上に粉体を規則的に分布させる方法および装置 | |
NL8100457A (nl) | Werkwijze en inrichting voor het bekleden van glas. | |
EP0156857A1 (en) | METHOD AND DEVICE FOR COATING A SUBSTRATE. | |
AU601594B2 (en) | Distributor beam for chemical vapor deposition on glass | |
JPH0448505B2 (sv) | ||
EP0415252B1 (en) | Thin film forming apparatus | |
IE893249L (en) | Depositing a coating on hot glass from at least two gaseous¹reactants | |
JPH10312997A (ja) | 常圧cvd装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
BB | Publication of examined application | ||
MM | Patent lapsed | ||
MM | Patent lapsed |
Owner name: PILKINGTON PLC |