FI84401B - Kapacitiv tryckgivarkonstruktion. - Google Patents

Kapacitiv tryckgivarkonstruktion. Download PDF

Info

Publication number
FI84401B
FI84401B FI872050A FI872050A FI84401B FI 84401 B FI84401 B FI 84401B FI 872050 A FI872050 A FI 872050A FI 872050 A FI872050 A FI 872050A FI 84401 B FI84401 B FI 84401B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
capacitor
silicon
disk
capacitor structure
pressure
Prior art date
Application number
FI872050A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI872050A (fi
FI84401C (sv
FI872050A0 (fi
Inventor
Heikki Kuisma
Original Assignee
Vaisala Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vaisala Oy filed Critical Vaisala Oy
Publication of FI872050A0 publication Critical patent/FI872050A0/fi
Priority to FI872050A priority Critical patent/FI84401C/sv
Priority to GB8809220A priority patent/GB2204413B/en
Priority to DE3814110A priority patent/DE3814110A1/de
Priority to US07/190,112 priority patent/US4862317A/en
Priority to FR8806140A priority patent/FR2614988B1/fr
Priority to JP63110330A priority patent/JPS63308529A/ja
Publication of FI872050A publication Critical patent/FI872050A/fi
Priority to FI912389A priority patent/FI912389A0/fi
Publication of FI84401B publication Critical patent/FI84401B/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI84401C publication Critical patent/FI84401C/sv

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0073—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a semiconductive diaphragm

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Claims (3)

1. Kapacitiv tryckgivarkonstruktion omfattande - en kondensatorkonstruktion (1, 2, 3), - en stomme (20, 21) som kondensatorkonstruktionen (1, 2, 3) är anordnad i, - kanaler (22, 23) i stommen (21) för att leda det medium som skall mätäs in i kondensatorkonstruktionen (1, 2, 3), - elledningar (14, 26) för uttagning ur givarkon-struktionen av tryckberoende kapacitansinformation hos kondensatorkonstruktionen samt - elastiska konstruktioner (18, 19) för flytande inpassning av kondensatorkonstruktionen i stommen (20, 21), kännetecknad av att - kondensatorkonstruktionen (1, 2, 3) är fästad vid stommen (20, 21) medelst tunna, plana och elastiska konstruktioner (18, 19), vars bredd är 6 gänger större än deras höjd.
2. Tryckgivarkonstruktion enligt krav l, kännetecknad av att tjockleken hos elastomerskiktena (18, 19) är mellan 0,05 och 0,3 mm, företrädesvis 0,1 mm.
3. Tryckgivarkonstruktion enligt krav 1 eller 2, kännetecknad av att kondensatorkonstruktionen innefattar en stödplatta (2, 5), som bestär av ett kisel-skikt (2) och ett pä detta medelst ett elektrostatiskt för-farande skivformigt förenat glasskikt (5), som är väsentli-gen tunnare än kiselskiktet, en fast första kondensatorskiva (17) anordnad pä stödplattan (2, 5), en pä stödplattan (2, 5. anordnad kiselskiva (3), som omger kondensatorskivan och 10 84401 vars mittparti är uttunnat till en filmliknande konstruktion (6), som fungerar säsom en rörlig kondensatorskiva, en ρέ kiselskivan (3) anordnad lockplatta (1, 4), som bestir av ett kiselskikt (1) och ett vid detta fästat, mot kiselskivan (3) stäende glasskikt (4), som är väsentligen tunnare än ki-selskiktet (1), kännetecknad av att pä stöd-plattan (2, 5) mellan den första kondensatorskivan (17) och den kiselskiva (3) som omger denna är en andra kondensatorskiva (16) anordnad, vilken väsentligen omger den första kondensatorskivan (17), och att kondensatorkonstruktionen är via kiselskiktena (l, 2) upptill och nertill i kondensatorkonstruktionen fästad vid stommen (20, 21) med hjälp av sagda elastomerkuddar (18, 19).
FI872050A 1987-05-08 1987-05-08 Kapacitiv tryckgivarkonstruktion FI84401C (sv)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI872050A FI84401C (sv) 1987-05-08 1987-05-08 Kapacitiv tryckgivarkonstruktion
GB8809220A GB2204413B (en) 1987-05-08 1988-04-19 Capacitive pressure tranducer
DE3814110A DE3814110A1 (de) 1987-05-08 1988-04-26 Kapazitiver druckgeber
US07/190,112 US4862317A (en) 1987-05-08 1988-05-04 Capacitive pressure transducer
FR8806140A FR2614988B1 (fr) 1987-05-08 1988-05-06 Capteur capacitif de pression
JP63110330A JPS63308529A (ja) 1987-05-08 1988-05-06 容量性圧力変換器
FI912389A FI912389A0 (fi) 1987-05-08 1991-05-16 Kondensatorkonstruktion foer anvaendning vid tryckgivare.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI872050A FI84401C (sv) 1987-05-08 1987-05-08 Kapacitiv tryckgivarkonstruktion
FI872050 1987-05-08

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI872050A0 FI872050A0 (fi) 1987-05-08
FI872050A FI872050A (fi) 1988-11-09
FI84401B true FI84401B (fi) 1991-08-15
FI84401C FI84401C (sv) 1991-11-25

Family

ID=8524450

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI872050A FI84401C (sv) 1987-05-08 1987-05-08 Kapacitiv tryckgivarkonstruktion

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4862317A (sv)
JP (1) JPS63308529A (sv)
DE (1) DE3814110A1 (sv)
FI (1) FI84401C (sv)
FR (1) FR2614988B1 (sv)
GB (1) GB2204413B (sv)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8718637D0 (en) * 1987-08-06 1987-09-09 Spectrol Reliance Ltd Sealing electrical feedthrough
JP2813721B2 (ja) * 1990-02-16 1998-10-22 豊田工機株式会社 容量型圧力センサ
JPH03239939A (ja) * 1990-02-16 1991-10-25 Toyoda Mach Works Ltd 容量型圧力センサ
DE4028402A1 (de) * 1990-09-07 1992-03-12 Bosch Gmbh Robert Drucksensor
DE4111119A1 (de) * 1991-04-03 1992-10-08 Univ Chemnitz Tech Stapelbare mikromechanische kapazitive druckmesszelle
US5224383A (en) * 1991-06-14 1993-07-06 Industrial Sensors, Inc. Melt pressure measurement and the like
US5178015A (en) * 1991-07-22 1993-01-12 Monolithic Sensors Inc. Silicon-on-silicon differential input sensors
DE4211816C2 (de) * 1992-04-08 1995-08-31 Danfoss As Drucksensor
US5479827A (en) * 1994-10-07 1996-01-02 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Capacitive pressure sensor isolating electrodes from external environment
SE9704840D0 (sv) * 1997-12-22 1997-12-22 Cecap Ab Tryckgivare för detektering av små tryckdifferenser och låga tryck
US6883378B2 (en) * 2003-03-28 2005-04-26 Honeywell International, Inc. Low TCE fill fluid for barrier diaphragm pressure sensors
US7373831B2 (en) * 2004-06-25 2008-05-20 Rosemount Inc. High temperature pressure transmitter assembly
WO2009043040A1 (en) * 2007-09-28 2009-04-02 Endevco Corporation Silicon sensing structure to detect through-plane motion a plane of material with thermal expansion substantially different from that of silicon
US7497123B1 (en) 2007-12-18 2009-03-03 Rosemount Inc. Direct mount for pressure transmitter with thermal management
EP2113760A1 (en) * 2008-04-30 2009-11-04 Delphi Technologies, Inc. Capacitive pressure sensor
JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5834418B2 (ja) * 2011-02-04 2015-12-24 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器
DE102011081887A1 (de) * 2011-08-31 2013-02-28 Robert Bosch Gmbh Polymerschichtsystem-Drucksensorvorrichtung und Polymerschichtsystem-Drucksensorverfahren

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2808545A (en) * 1955-01-24 1957-10-01 Walter J Hirtreiter Pressure pick-up-differential-type acceleration-free
GB1138401A (en) * 1965-05-06 1969-01-01 Mallory & Co Inc P R Bonding
JPS5921495B2 (ja) * 1977-12-15 1984-05-21 株式会社豊田中央研究所 細管型圧力計
JPS5516228A (en) * 1978-07-21 1980-02-04 Hitachi Ltd Capacity type sensor
EP0009313A1 (en) * 1978-09-25 1980-04-02 Motorola, Inc. Improved pressure transducer and assembly
US4301492A (en) * 1980-01-28 1981-11-17 Paquin Maurice J Pressure-sensing transducer
US4422335A (en) * 1981-03-25 1983-12-27 The Bendix Corporation Pressure transducer
JPS5887880A (ja) * 1981-11-20 1983-05-25 Hitachi Ltd 半導体ダイアフラム形センサ
JPS58198739A (ja) * 1982-05-14 1983-11-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 静電容量型圧力センサ
US4425799A (en) * 1982-06-03 1984-01-17 Kavlico Corporation Liquid capacitance pressure transducer technique
EP0114239A3 (de) * 1982-11-25 1985-05-15 Schoppe & Faeser GmbH Messkapsel für einen kapazitiven Differenzdruck-Messumformer
FI74350C (sv) * 1984-02-21 1988-01-11 Vaisala Oy Kapacitiv absoluttryckgivare.
FI71015C (fi) * 1984-02-21 1986-10-27 Vaisala Oy Temperaturoberoende kapacitiv tryckgivare
US4572204A (en) * 1984-03-21 1986-02-25 Hewlett-Packard Company Pressure dome with compliant chamber
US4542435A (en) * 1984-03-29 1985-09-17 General Signal Corporation Pressure transducer and mounting
FI842307A (fi) * 1984-06-07 1985-12-08 Vaisala Oy Foerfarande foer aostadkommande av genomfoering i en mikromekanisk konstruktion.
FI75426C (sv) * 1984-10-11 1988-06-09 Vaisala Oy Absoluttryckgivare.
US4599906A (en) * 1984-10-31 1986-07-15 General Signal Corporation Remote probe differential pressure transducer
JPS61110023A (ja) * 1984-11-02 1986-05-28 Citizen Watch Co Ltd 圧力電気変換器の構造
JPS61155831A (ja) * 1984-12-28 1986-07-15 Yokogawa Electric Corp 半導体容量形圧力センサ
ATE35321T1 (de) * 1985-01-28 1988-07-15 Kristal Instr Ag Messwandlereinsatz, verfahren zu seiner herstellung und verwendung fuer einen aufnehmer zur messung mechanischer groessen.
JPS63149531A (ja) * 1986-12-12 1988-06-22 Fuji Electric Co Ltd 静電容量式圧力センサ

Also Published As

Publication number Publication date
GB2204413A (en) 1988-11-09
FR2614988B1 (fr) 1990-10-19
GB8809220D0 (en) 1988-05-25
US4862317A (en) 1989-08-29
JPS63308529A (ja) 1988-12-15
DE3814110A1 (de) 1988-11-24
FI872050A (fi) 1988-11-09
GB2204413B (en) 1991-08-21
FI84401C (sv) 1991-11-25
FR2614988A1 (fr) 1988-11-10
FI872050A0 (fi) 1987-05-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI84401B (fi) Kapacitiv tryckgivarkonstruktion.
US4831492A (en) Capacitor construction for use in pressure transducers
US5447076A (en) Capacitive force sensor
EP0210843B1 (en) Pressure transducers and methods of converting a variable pressure input
FI72809B (fi) Kapacitiv tryckgivare med isolerat kaenselorganmembran.
US4120206A (en) Differential pressure sensor capsule with low acceleration sensitivity
KR940001481B1 (ko) 정전용량식 압력차 검출기
US4388668A (en) Capacitive pressure transducer
US6418793B1 (en) Differential pressure sensor
FI74350C (sv) Kapacitiv absoluttryckgivare.
EP0376631A1 (en) Differential capacitive pressure sensor with over-pressure protection and method of providing over-pressure protection to a capacitive pressure sensor
JPS5992323A (ja) 差動圧力トランスジユ−サ
EP0198018A1 (en) Capacitive sensing cell made of brittle material
JP3147778B2 (ja) 静電容量式差圧検出器
US5535626A (en) Sensor having direct-mounted sensing element
JPS5829862B2 (ja) 圧力測定装置
JP2586406B2 (ja) 静電容量型加速度センサ
EP0024945B1 (en) Variable capacitance pressure transducer
JPH07174652A (ja) 半導体圧力センサ及びその製造方法並びに圧力検出方法
JP3106939B2 (ja) 静電容量式圧力検出装置
JP2000121475A (ja) 静電容量式圧力検出器
KR900001465B1 (ko) 분리된 감지 격막을 가진 용량성 압력 변환기
JP2546013B2 (ja) 静電容量式差圧検出器
JPH04127537U (ja) 力検出装置
GB2266960A (en) Capacitive differential pressure detector

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Owner name: VAISALA OY

MA Patent expired