ES2904663T3

ES2904663T3 - Disposición óptica para la estructuración directa por interferencia láser

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Publication number: ES2904663T3
Application number: ES18807073T
Authority: ES
Inventors: Mikhael El-Khoury; Andrés Fabián Lasagni; Sabri Alamri; Tim Kunze; Bogdan Voisiat
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 2018-01-03
Filing date: 2018-11-20
Publication date: 2022-04-05
Anticipated expiration: 2038-11-20
Also published as: US20200306879A1; KR20200127976A; KR102539160B1; LT3735332T; WO2019134769A1; EP3735332A1; DE102018200036B3; EP3735332B1; JP2021509864A; US11370061B2; JP7116174B2

Abstract

Disposición óptica para la estructuración directa por interferencia láser, en la que un rayo láser (2) emitido por una fuente de rayo láser (1) es dirigido hacia un elemento (M) que refleja el rayo láser (2) e inclinado con su superficie reflectante en un ángulo de 45° con respecto al eje óptico del rayo láser (2), y a- el rayo láser reflejado con el elemento reflectante (M) incide en un primer divisor de rayo (BS1), con el que el rayo láser reflejado se divide en dos rayos parciales (3 y 4) y un rayo parcial (3), que se ha obtenido con el primer divisor de rayo (BS1), se refleja por medio del primer divisor de rayo (BS1) y su eje óptico se desvía en la dirección de un elemento óptico de focalización (L); y b1- un segundo rayo parcial (4) transmitido a través del primer divisor de rayo (BS1) en un primer pentaespejo (RPM1) o b2- incide un pentaprisma y, por lo tanto, después de múltiples reflexiones y/o refracciones, es dirigido en paralelo al eje óptico del primer rayo parcial (3) hacia el elemento óptico de focalización (L) o c1- un segundo rayo parcial (4) obtenido con el primer divisor de rayo (BS1) es dirigido hacia un segundo divisor de rayo (BS2), con el que el segundo rayo parcial (4) se divide en un primer rayo parcial (4.1) del segundo rayo parcial (4) y un tercer rayo parcial (4.2), y el primer rayo parcial (4.1) del segundo rayo parcial (4) incide en paralelo al eje óptico del primer rayo parcial (3) con un primer pentaespejo (RPM1) o c2- un pentaprisma sobre el elemento de focalización (L) y el segundo rayo parcial (4.2) del segundo rayo parcial (4) incide sobre un segundo pentaespejo (RPM2) o pentaprisma y, por lo tanto, después de múltiples reflexiones y/o refracciones es dirigido en paralelo a los ejes ópticos del primer rayo parcial (3) y del primer rayo parcial (4.1) del segundo rayo parcial (4) hacia el elemento óptico de focalización (L); y d- los rayos parciales (3, 4, 4.1, 4.2) con el elemento óptico de focalización (L) para configurar una estructuración sobre o en la zona de una superficie son dirigidos de forma interferente entre sí sobre esta superficie; y e- el elemento reflectante (M) se puede desplazar de forma translativa manteniendo el ángulo de 45° en paralelo 30 al eje óptico del rayo láser (2) emitido por la fuente de rayo láser (1) para influir en el período de interferencia ^ .

Description

DESCRIPCIÓN

Disposición óptica para la estructuración directa por interferencia láser

La invención se refiere a una disposición óptica para la estructuración directa por interferencia láser (DLIP), con la que se puede configurar una estructuración en superficies de piezas de trabajo o componentes de los más diferentes materiales. A este respecto, la superficie no debe ser forzosamente la superficie directa que apunta hacia afuera. También puede ser una superficie que está cubierta por un material al menos parcialmente transparente a la radiación láser utilizada.

Con este procedimiento se pueden configurar estructuraciones de alta resolución, de modo que a los elementos ópticos utilizados y su disposición entre sí se les plantean altos requerimientos para poder utilizar los efectos de interferencia requeridos.

A este respecto, la división de un rayo láser en rayos parciales y el guiado del rayo a lo largo del recorrido óptico se deben realizar de modo que solo se produzcan pequeñas pérdidas de potencia. Los recorridos por los rayos parciales individuales no deben diferir o solo muy ligeramente, especialmente cuando se utilizan fuentes láser de pulso ultracorto. Un factor importante es también la posibilidad de la modificación el período de interferencia A según el requerimiento. Por supuesto, se debe pretender mantener lo más bajos posibles los costes y el gasto de ajuste para una disposición utilizable en la DLIP.

La división de un rayo láser en varios rayos parciales se realiza habitualmente con divisores de rayo, prismas o elementos ópticos difractivos (DOE).

Así hay configuraciones con elementos reflectantes con los que, sin embargo, no es posible influir en el período de interferencia A. Pero estas formas de realización no son compactas ni económicas ni susceptibles de ajuste. También se conoce utilizar un DOE con dos lentes ópticas. Por consiguiente, también, no se puede lograr la modificabilidad del período de interferencia A. Aunque la división de rayo con DOE representa una solución práctica y compacta, hay pérdidas de potencia significativas como resultado del elemento difractivo utilizado. Además, los DOE poseen un umbral de destrucción bajo, altos costes de fabricación y solo pueden diseñarse para una longitud de onda de una radiación láser.

Las configuraciones con dos biprismas también se conocen para generar patrones de interferencia. A este respecto, un rayo láser que incide debe presentar una sección transversal de rayo con la que se pueda cubrir una superficie significativa de un prisma. La relación de distribución de la energía para los rayos parciales depende fuertemente de la orientación y disposición de los prismas. Además, no se pueden utilizar más de dos rayos parciales interferentes entre sí.

En una forma de realización con un elemento difractivo y un biprisma, las pérdidas de potencia causadas por el elemento difractivo también repercuten de forma desventajosa. A saber se puede obtener una influencia o una modificación del período de interferencia A mediante el cambio de la distancia de rayo parcial, no obstante, la configuración sigue siendo costosa y, además, no se puede realizar ninguna interferencia simétrica de tres rayos. Aquí, también, un DOE sólo se puede diseñar para una longitud de onda.

Por ejemplo, por el documento DE 102012 011 343 A1 se conocen un dispositivo y un procedimiento para la estructuración por interferencia de muestras, así como muestras producidas de esta manera.

El documento DE 102011 119764 A1 se refiere a un dispositivo y un procedimiento para la estructuración por interferencia de muestras planas.

Una disposición óptica para la estructuración por interferencia láser se da a conocer en el documento DE 102011 101415A1.

Un dispositivo, disposición y procedimiento para la estructuración por interferencia se describen en el documento DE 102011 011734 A1.

El documento US 6,549,309 B1 se refiere a un dispositivo holográfico con el que se pueden producir patrones holográficos.

Por el documento US 2010/0033731 A1 se conoce un dispositivo de medición de distancia láser.

Los documentos US 2004/227927 A1, EP 0668519 A1, US 2014/204436 A1 y EP 2431 120 A1 representan otros documentos relevantes.

Por lo tanto, el objetivo de la invención es proporcionar posibilidades para la estructuración directa por interferencia láser, que estén ligadas con una construcción óptica sencilla y económica, que se puede adaptar de forma flexible a distintas tareas de estructuración, en la que se utiliza radiación láser con diferentes longitudes de onda y con la que es posible una modificación en el período de interferencia A de una manera sencilla y segura. Según la invención este objetivo se consigue con una disposición óptico que presenta las características de la reivindicación 1. Configuraciones y perfeccionamientos ventajosos de la invención se pueden realizar con las características designadas en las reivindicaciones dependientes.

En la disposición óptica según la invención para la estructuración directa por interferencia láser, un rayo láser emitido por una fuente de radiación láser es dirigido hacia un elemento que refleja el rayo láser en un ángulo de 45° con respecto al eje óptico del rayo láser con su superficie reflectante.

El rayo láser reflejado por el elemento reflectante incide sobre un primer divisor de rayo, con el que el rayo láser reflejado se divide en dos rayos parciales. Un rayo parcial, que se ha obtenido con el primer divisor de rayo, se refleja por medio del primer divisor de rayo y su eje óptico se desvía en la dirección de un elemento óptico de focalización.

En una primera alternativa según la invención, un segundo rayo parcial transmitido a través del primer divisor de rayo incide sobre un primer pentaespejo, en particular un pentaespejo de techo (en inglés, roof-pentamirror) o un pentaprisma, y por lo tanto después de varias reflexiones y/o refracciones se dirige en paralelo al eje óptico del primer rayo parcial hacia el elemento óptico de focalización.

En una segunda alternativa según la invención, un segundo rayo parcial transmitido obtenido con el primer divisor de rayo es dirigido hacia un segundo divisor de rayo, con el que el segundo rayo parcial se divide en un tercer rayo parcial reflejado y la fracción del segundo rayo parcial transmitida en el segundo divisor de rayo, y el tercer rayo parcial reflejado es dirigido en paralelo al eje óptico del primer rayo parcial reflejado del primer divisor de rayo hacia el elemento de focalización gracias a un primer pentaespejo, en particular un pentaespejo de techo o un pentaprisma, y la fracción transmitida del segundo rayo parcial es dirigida hacia un segundo pentaespejo, en particular un pentaespejo de techo o un pentaprisma, y por lo tanto, después de múltiples reflexiones y/o refracciones, es dirigido en paralelo a los ejes ópticos del primer rayo parcial y del tercer rayo parcial reflejado hacia el elemento óptico de focalización.

En ambas alternativas, los rayos parciales orientados con sus ejes ópticos en paralelo entre sí se dirigen, con el elemento óptico de focalización, que es preferiblemente una lente, para la configuración una estructuración sobre o en la zona de una superficie, de forma interferente entre sí sobre esta superficie.

Además, el elemento reflectante se tiene que poder desplazar manteniendo el ángulo de 45° en paralelo al eje óptico del rayo láser emitido por la fuente de rayo láser para influir en el período de interferencia A. Esto se refiere en particular a la orientación, disposición y posición de la superficie reflectante del elemento reflectante, con la que se logra la desviación del rayo láser en 45°.

El elemento reflectante tiene que poderse desplazar ventajosamente a lo largo del eje óptico sobre un recorrido máximo, que corresponde a la longitud de un cateto de un triángulo isósceles en el que la longitud de la superficie del primer divisor de rayo es la hipotenusa. A este respecto, la longitud del cateto es el recorrido que, por ejemplo, recorre un borde exterior del elemento reflectante durante el desplazamiento. Así se puede utilizar un ancho de banda máximo en la variación del período de interferencia A.

En la trayectoria de rayo de al menos un rayo parcial se puede estar dispuesta una placa de onda plana-paralela delante del elemento óptico de focalización. Por lo tanto, se puede influir individualmente en la polarización del rayo parcial respectivo.

Ventajosamente, los elementos reflectantes pueden estar dispuestos en la trayectoria de rayo del primer rayo parcial de modo que el primer, el segundo rayo parcial y eventualmente un tercer rayo parcial recorren respectivamente un recorrido de igual longitud hasta que inciden sobre el elemento óptico de focalización. A este respecto, el primer rayo parcial se puede reflejar varias veces fuera y de nuevo en el eje óptico original. Esto es necesario en particular cuando se utilizan fuentes de rayo láser de picosegundos o femtosegundos.

Los rayos parciales también se pueden dirigir por un prisma de Dove dispuesto entre el primer divisor de rayo, el/los pentaespejos o el pentaprisma, los pentaespejos o pentaprismas y el elemento de focalización. A este respecto, los rayos parciales se refractan y reflejan. A este respecto, el eje principal del prisma de Dove es paralelo y congruente con el eje óptico OA.

Durante la estructuración, el prisma de Dove se puede girar alrededor de un eje, que es el eje óptico OA o un eje que está orientado paralelo a los ejes ópticos de los rayos parciales orientados en paralelo entre sí. Por consiguiente, es posible la configuración de patrones de interferencia con diferente orientación angular en la superficie respectiva durante la configuración de la estructuración.

En la primera alternativa según la invención, el primer divisor de rayo debe estar configurado de modo que las fracciones de energía se obtengan en la relación 50 : 50 para un primer rayo parcial y un segundo rayo parcial cuando dos rayos parciales son orientados de forma interferente entre si sobre la superficie respectiva.

Pero, en la segunda alternativa según la invención, el primer divisor de rayo debe estar configurado de modo que las fracciones de energía en la relación 33 : 66 para un primer rayo parcial y un segundo rayo parcial y el segundo divisor de rayo debe estar configurado de modo que las fracciones de energía se obtienen en la relación 50 : 50 para un primer rayo parcial del segundo rayo parcial y un tercer rayo parcial cuando tres rayos parciales son dirigidos de forma interferente entre sí sobre la superficie respectiva.

En la invención se pueden utilizar rayos láser con diferentes longitudes de onda sin que se deba efectuar una adaptación adicional a la disposición. También se pueden utilizar distintas longitudes de pulso láser sin problemas durante el funcionamiento del láser.

El rayo láser se puede dirigir directamente desde la fuente de rayo láser hacia el elemento reflectante. Los elementos ópticos que influyen en la distancia focal y dan forma a la sección transversal del rayo láser también pueden estar dispuestos en la trayectoria de rayo láser entre la fuente de rayo láser y el elemento reflectante.

Mediante la variación de la posición del elemento reflectante se puede modificar la distancia entre los ejes ópticos de los rayos parciales orientados en paralelo entre sí. Con un desplazamiento de la superficie reflectante del elemento reflectante en la dirección de la fuente de rayo láser se puede aumentar la distancia de los rayos parciales entre sí y reducirse durante un movimiento en la dirección opuesta, lo que conduce a períodos de interferencia a correspondientes y estructuras configuradas correspondientemente en la superficie respectiva.

A este respecto, la modificación del período de estructura ^ade un patrón de interferencia configurado sigue la siguiente ecuación:

A este respecto, A es la longitud de onda de la radiación láser utilizada, f es la distancia focal del elemento óptico de focalización, y L y h son el recorrido y desplazamiento de la superficie reflectante del elemento reflectante. En la figura 4 se muestra un diagrama para la ilustración.

A continuación se debe explicar la invención más en detalle a modo de ejemplo. A este respecto, las características se pueden combinar entre sí independientemente del ejemplo individual respectivo o su representación en una figura y no se unen al ejemplo individual respectivo o la representación individual.

A este respecto muestran:

Figura 1a y b en forma esquemática un ejemplo de una disposición óptica según la invención con dos rayos parciales interferentes y la influencia del período de interferencia mediante el movimiento de un elemento reflectante;

Figura 2 una representación esquemática de un segundo ejemplo de una disposición según la invención con tres rayos parciales interferentes;

Figura 3 dos rayos parciales guiados a través de un prisma de Dove;

Figura 4 un diagrama que ilustra la influencia del período de interferencia en ^m por medio del movimiento del elemento reflectante en mm, y

Figura 5 ejemplos para elementos estructurales que se pueden producir con una disposición según la invención con una dirección de polarización alterna.

La figura 1a muestra una representación esquemática de un ejemplo de una disposición según la invención, en la que dos rayos parciales 3 y 4 son dirigidos de forma interferente entre sí sobre una superficie a estructurar de una pieza de trabajo 9.

Un rayo láser 2 se dirige desde una fuente de radiación láser 1 hacia un elemento reflectante M, cuya superficie reflectante está orientada en un ángulo de 45° con respecto al eje óptico del rayo láser 2 emitido por la fuente de radiación láser 1. El rayo láser reflejado 2 incide sobre un primer divisor de rayo BS1, cuya superficie sobre la que incide el rayo láser 2 está inclinada 45° con respecto a este eje óptico. Una parte de la radiación láser se refleja en esta superficie y, por lo tanto, un primer rayo parcial 3 con un eje óptico se refleja en paralelo al eje óptico del haz láser 2 emitido originalmente por la fuente de radiación láser 1 en la dirección hacia un elemento de focalización L.

Una parte de la radiación láser del rayo láser 2 se transmite a través del primer divisor de rayo BS1, de modo que un segundo rayo parcial 4 incide sobre las superficies reflectantes de un pentaespejo de techo RPM1. Por lo tanto, el segundo rayo parcial 4 se refleja de modo que se dirige en paralelo al eje óptico del primer rayo parcial 3 en la dirección del elemento de focalización L.

Con el elemento de focalización L, los rayos parciales 3 y 4 se focalizan o desvían de forma interferente entre sí en la dirección hacia la superficie de la pieza de trabajo 9 en la que se debe configurar una estructuración.

En el ejemplo mostrado en la figura 1a está dispuesta una placa de onda plana-paralela (placas A/2) 5 en la trayectoria de rayo del segundo rayo parcial 4 entre el primer pentaespejo de techo RPM1 y el elemento de focalización L.

Los elementos reflectantes 6 están dispuestos en la trayectoria de rayo del primer rayo parcial 3 entre el primer divisor de rayo BS1 y el elemento de focalización L. Los elementos reflectantes 6 están dispuestos y orientados con sus superficies reflectantes sobre las que incide el primer rayo parcial 3 de modo que la diferencia entre los recorridos, que cubren el primer rayo parcial 3 y el segundo rayo parcial 4, partiendo desde el primer divisor de rayo BS1 hasta que inciden sobre el elemento de focalización L, se compensa y, a este respecto, ambos rayos parciales 3 y 4 recorren al menos casi o completamente la misma trayectoria.

En el ejemplo mostrado en la figura 1b, un telescopio óptico 8 y al menos un elemento 10 que forma el rayo láser 2 también están dispuestos en la trayectoria de rayo del rayo láser 2 a continuación de la fuente de rayo láser 1. Con la doble flecha se debe indicar que el elemento reflectante M se puede mover de forma translativa y en paralelo al eje óptico del rayo láser 2 emitido por la fuente de rayo láser 1 y aún no modificado en su dirección, con el fin de modificar el período de interferencia A de los dos rayos parciales 3 y 4.

En la figura 1b se muestra como repercute un desplazamiento de traslación del elemento reflectante M. En la representación superior de la figura 1b, el elemento reflectante M se desplaza en la dirección hacia la fuente de rayo láser 1 en una cantidad de 7 mm, partiendo desde una posición central. De este modo, el eje óptico del rayo láser 2 desviado con el elemento reflectante M se desplaza igualmente en la dirección de la fuente de rayo láser 1. Esto tiene la consecuencia de que aumenta la distancia entre los ejes ópticos de los dos rayos parciales 3 y 4 y, por lo tanto, también el período de interferencia A.

En la representación central de la Fig. 1b, el elemento reflectante M se desplaza igualmente de forma translativa en la dirección hacia la fuente de rayo láser 1 en una cantidad de 7 mm, partiendo desde una posición central, en la dirección que apunta alejándose de la fuente de rayo láser 1. De este modo, el eje óptico de la parte del rayo láser 2 desviada con el elemento reflectante M se desplaza igualmente alejándose de la fuente de rayo láser 1. Esto tiene la consecuencia de que disminuye la distancia entre los ejes ópticos de los dos rayos parciales 3 y 4 y, por lo tanto, también el período de interferencia A.

En la figura 1 b totalmente abajo, se muestra una representación parcial de las trayectorias de rayo de los dos rayos parciales 3 y 4 después de la penetración del elemento de focalización L. En una zona por encima de la superficie de la pieza de trabajo 9 que se debe estructurar se muestra el volumen de interferencia que se puede lograr con los rayos parciales interferentes 3 y 4.

En las figuras 1a y b, OA designa el eje óptico medio de los rayos parciales 3 y 4 obtenidos.

El primer divisor de rayo BS1 divide el rayo láser 2 de modo que los rayos parciales 3 y 4 presentan al menos aproximadamente la misma energía.

En la figura 2 se muestra otro ejemplo de una disposición según la invención. A este respecto, como en el ejemplo según las figuras 1a y b, un rayo láser 2 se dirige hacia una superficie de un elemento reflectante M y desde allí se refleja hacia el primer divisor de rayo BS1. Un primer rayo parcial 3 se refleja por el primer divisor de rayo BS1 en la dirección de una superficie de una pieza de trabajo 9. El rayo parcial 4 transmitido a través del primer divisor de rayo BS1 se dirige hacia un segundo divisor de rayo BS2. A este respecto, un primer rayo parcial 4.1 obtenido con el segundo divisor de rayo incide sobre las superficies reflectantes de un pentaespejo de techo RPM1. Un segundo rayo parcial 4.2 obtenido con el segundo divisor de rayo BS2 incide sobre las superficies reflectantes de un pentaespejo de techo RPM2. Los rayos parciales 4.1 y 4.2 se reflejan con los RPM1 y RPM2 en la dirección hacia la superficie a estructurar de la pieza de trabajo 9.

Excepto por la división en tres rayos parciales 3, 4.1 y 4.2, el ejemplo según la figura 2 no difiere del ejemplo según las figuras 1a y b. En este ejemplo, los rayos parciales 4.1 y 4.2 también se pueden polarizar de forma definida con una placa de onda plana-paralela (placa A/2) 5. Los elementos reflectantes 6 pueden estar dispuestos en la trayectoria de rayo del primer rayo parcial 3 entre el primer divisor de rayo BS1 y el elemento de focalización L, elementos que se pueden utilizar para la compensación de longitud de recorrido de los rayos parciales 3, 4.1 y 4.2. Los tres rayos parciales 3, 4.1 y 4.2 se pueden dirigir hacia la superficie respectiva con el elemento óptico de focalización L.

En la representación izquierda de la figura 2, este ejemplo se muestra en una vista en planta.

La figura 3 muestra esquemáticamente dos rayos parciales 3 y 4 guiados a través de un prisma de Dove DP. A este respecto, los rayos parciales 3 y 4 se refractan y reflejan varias veces y de este modo se modifican en su dirección. Mediante un giro del prisma de Dove DP alrededor del eje óptico OA se puede lograr una modificación de la orientación de los rayos parciales 3 y 4 interferentes entre sí, lo que a su vez, además de la interferencia con un período de interferencia A correspondiente, puede conducir a una posible modificación de la orientación de los elementos estructurales a configurar sobre la superficie 9.

En la figura 5 se muestran cuatro intensidades de perfil de interferencia distintas calculadas que se pueden producir con la invención y que a su vez corresponden a elementos estructurales correspondientemente configurables. Las modificaciones se pueden implementar únicamente mediante una modificación de la polarización de los rayos parciales. Con las flechas se ilustran los vectores de polarización utilizados a este respecto. La polarización se puede adaptar de forma correspondiente con las placas de onda plano-paralelas 5.

La polarización se puede llevar a cabo individualmente con placas A/2 para cada rayo parcial. La figura 5a muestra una situación en la que cada rayo parcial presenta una polarización orientada de forma similar. Por medio del giro de la placa de onda se pueden implementar otros estados de polarización, de modo que la polarización de cada rayo parcial esté orientada 60° (figura 5b), 45° (figura 5c) o arbitrariamente (figura 5d).

Claims

REIVINDICACIONES

1. Disposición óptica para la estructuración directa por interferencia láser, en la que un rayo láser (2) emitido por una fuente de rayo láser (1) es dirigido hacia un elemento (M) que refleja el rayo láser (2) e inclinado con su superficie reflectante en un ángulo de 45° con respecto al eje óptico del rayo láser (2), y

a- el rayo láser reflejado con el elemento reflectante (M) incide en un primer divisor de rayo (BS1), con el que el rayo láser reflejado se divide en dos rayos parciales (3 y 4) y un rayo parcial (3), que se ha obtenido con el primer divisor de rayo (BS1), se refleja por medio del primer divisor de rayo (BS1) y su eje óptico se desvía en la dirección de un elemento óptico de focalización (L); y

b1- un segundo rayo parcial (4) transmitido a través del primer divisor de rayo (BS1) en un primer pentaespejo (RPM1) o

b2- incide un pentaprisma y, por lo tanto, después de múltiples reflexiones y/o refracciones, es dirigido en paralelo al eje óptico del primer rayo parcial (3) hacia el elemento óptico de focalización (L)

o

c1- un segundo rayo parcial (4) obtenido con el primer divisor de rayo (BS1) es dirigido hacia un segundo divisor de rayo (BS2), con el que el segundo rayo parcial (4) se divide en un primer rayo parcial (4.1) del segundo rayo parcial (4) y un tercer rayo parcial (4.2), y el primer rayo parcial (4.1) del segundo rayo parcial (4) incide en paralelo al eje óptico del primer rayo parcial (3) con un primer pentaespejo (RPM1) o

c2- un pentaprisma sobre el elemento de focalización (L) y el segundo rayo parcial (4.2) del segundo rayo parcial (4) incide sobre un segundo pentaespejo (RPM2) o pentaprisma y, por lo tanto, después de múltiples reflexiones y/o refracciones es dirigido en paralelo a los ejes ópticos del primer rayo parcial (3) y del primer rayo parcial (4.1) del segundo rayo parcial (4) hacia el elemento óptico de focalización (L);

y

d- los rayos parciales (3, 4, 4.1, 4.2) con el elemento óptico de focalización (L) para configurar una estructuración sobre o en la zona de una superficie son dirigidos de forma interferente entre sí sobre esta superficie;

y

e- el elemento reflectante (M) se puede desplazar de forma translativa manteniendo el ángulo de 45° en paralelo al eje óptico del rayo láser (2) emitido por la fuente de rayo láser (1) para influir en el período de interferencia A.

2. Disposición según la reivindicación 1, caracterizada porque el elemento reflectante (M) se puede desplazar sobre un recorrido máximo h que corresponde a la longitud de un cateto de un triángulo isósceles, en el que la longitud de la superficie del primer divisor de rayo (BS1) sobre la que incide el rayo láser (2) desviado con el elemento reflectante (M) es la hipotenusa.

3. Disposición según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque una placa de onda planaparalela (5) está dispuesta en la trayectoria de rayo de al menos un rayo parcial (4, 4.1, 4.2) delante del elemento óptico de focalización (L).

4. Disposición según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque los elementos reflectantes (6) están dispuestos en la trayectoria de rayo del primer rayo parcial (3), de modo que el primer, el segundo rayo parcial y eventualmente un tercer rayo parcial (3, 4, 4.1 y 4.2) recorren respectivamente un recorrido de la igual longitud hasta que inciden sobre el elemento óptico de focalización (L).

5. Disposición según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque los rayos parciales (3, 4, 4.1,4.2) son dirigidos a través de un prisma de Dove (DP) dispuesto entre el primer divisor de rayo (BS1), el/los pentaespejos (RPM1) o el pentaprisma, los pentaespejos (RPM1, RPM2) o pentaprismas y el elemento de focalización (L).

6. Disposición según la reivindicación anterior, caracterizada porque el prisma de Dove (DP) se puede girar alrededor de un eje que está orientado en paralelo a los ejes ópticos de los rayos parciales (3, 4, 4.1,4.2) orientados en paralelo entre sí.

7. Disposición según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque un primer divisor de rayo (BS1) está configurado de modo que las fracciones de energía se obtienen en la relación 50 : 50 para un primer rayo parcial (3) y un segundo rayo parcial (4) cuando dos rayos parciales (3 y 4) son dirigidos de forma interferente entre sí sobre la superficie respectiva o

un primer divisor de rayo (BS1) está configurado de modo que las fracciones de energía en la relación 33 : 66 para un primer rayo parcial (3) y un segundo rayo parcial (4) y el segundo divisor de rayo (BS2) está configurado de modo que las fracciones de energía se obtienen en la relación 50 : 50 para un primer rayo parcial (4.1) del segundo rayo parcial (4) y un tercer rayo parcial (4.2) cuando tres rayos parciales (3, 4.1 y 4.2) son dirigidos de forma interferente entre sí sobre la superficie respectiva.