ES2712556T3 - Mecanismo de conservación de paralelismo para nanoposicionadores - Google Patents
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Abstract
Un dispositivo mecánico de conservación de paralelismo (120) para mantener el paralelismo, que comprende: una primera barra (122), una segunda barra (124), una tercera barra (126) y una cuarta barra (128), teniendo cada barra una superficie superior, una superficie inferior, una primera superficie lateral y 5 una segunda superficie lateral, formando la superficie superior de la primera barra (122) la superficie superior del dispositivo (120) y formando la superficie inferior de la cuarta barra (128) la superficie inferior del dispositivo (120); en el que la primera superficie lateral en la dirección longitudinal de la primera barra (122) y la primera superficie lateral en la dirección longitudinal de la segunda barra (124) están conectadas por una 10 primera flexión (123), dejando un espacio (123h) entre la superficie inferior de la primera barra (122) y la superficie superior de la segunda barra (124); la segunda superficie lateral en la dirección longitudinal de la segunda barra (124) y la segunda superficie lateral en la dirección longitudinal de la tercera barra (126) están conectadas por una segunda flexión (125), dejando un espacio entre la superficie inferior de la segunda barra (124) y la 15 superficie superior de la tercera barra (126); y la primera superficie lateral en la dirección longitudinal de la tercera barra (126) y la primera superficie lateral en la dirección longitudinal de la cuarta barra (128) están conectadas por una tercera flexión (127), dejando un espacio entre la superficie inferior de la tercera barra (126) y la superficie superior de la cuarta barra (128); caracterizado por que el dispositivo comprende además un sensor para detectar un movimiento de la superficie del dispositivo (120).
Description
DESCRIPCION
Mecanismo de conservacion de paralelismo para nanoposicionadores
REFERENCIA CRUZADA A SOLICITUDES RELACIONADAS
Esta solicitud reivindica el beneficio de la solicitud US n.° de serie 61/405.391, presentada el 21 de octubre de 2010.
CAMPO DE LA INVENCION
Esta invencion se refiere, en una realizacion, a un mecanismo mecanico intrfnseco para mantener el paralelismo entre las superficies superior e inferior de un dispositivo de traslacion tal como una etapa de nanoposicionamiento. Un aspecto clave es que el paralelismo se mantiene entre un mundo en movimiento y fijo, incluso con la aplicacion de actuacion asimetrica. Dicho mecanismo de mantenimiento paralelo intrfnseco elimina la necesidad de elementos complejos de activacion multiple y retroalimentacion de posicion.
ANTECEDENTES
Un mecanismo o etapa de nanoposicionamiento es un dispositivo que requiere una alta precision de posicionamiento y repetibilidad en el regimen nanometrico. Por lo general, tambien implementa un sensor de retroalimentacion y un actuador con resolucion nanometrica similar para ser utilizado en un modo automatico o programable para determinar la posicion con precision. El actuador y el sensor de retroalimentacion a menudo se cierran usando un bucle de control para mantener una posicion precisa compensando la deriva mecanica y otros fenomenos que afectan la estabilidad de la posicion. Si la muestra o el dispositivo que se esta colocando cubre una longitud o area macroscopica (macroscopica en comparacion con el rango de desplazamiento en el eje de movimiento perpendicular a la muestra o el dispositivo), tambien es un requisito que se mantenga microscopicamente paralelo al plano de referencia mundial fijo cuando se traslada en el eje de desplazamiento. El proposito de la invencion descrita es asegurar a traves de un medio mecanico intrfnseco que una plataforma movil de gran area (por ejemplo, que contiene la muestra o el dispositivo) se mantiene microscopicamente paralela. Esta es una realizacion de una variedad mas amplia de usos de la invencion descrita.
Para este proposito, a nivel conceptual, son necesarios dos planos: un plano fijo de referencia y un plano en movimiento. Se requiere que el plano movil sea paralelo con la referencia a medida que se traslada. Las soluciones tradicionales para lograr esto implementan mas de un actuador colocado entre el plano de referencia y el plano movil. Cada actuador tiene su propio sensor para detectar la carrera. Al tener varios pares de actuadores y sensores, el paralelismo se puede mantener utilizando un sistema de control multicanal, a menudo con un control de bucle cerrado en cada combinacion de actuador/sensor. Sin embargo, serfa preferible desde una perspectiva de coste y complejidad de control si para estos sistemas solo se requiriera un actuador con un sensor con el paralelismo mantenido de manera intrfnseca. El documento US 5410207 A divulga un actuador piezoelectrico que tiene un cuerpo de actuador en forma de zigzag, y un elemento piezoelectrico expansible unido al cuerpo del actuador. El cuerpo del actuador tiene elementos en zigzag. Los elementos en zigzag se acercan y alejan entre sf mediante la expansion/contraccion de los elementos piezoelectricos expansibles. El cuerpo del actuador se expande y contrae mediante el desplazamiento posicional de los elementos en zigzag.
El documento EP 1646074 A1 divulga un aparato de exposicion EX que proyecta una imagen de patron sobre un sustrato W a traves de un sistema optico de proyeccion PL y un lfquido LQ, y el sistema optico de proyeccion PL tiene un elemento optico G12 que entra en contacto con el lfquido LQ y grupo optico MPL dispuesto entre el elemento optico G12 y una reticula R. Un mecanismo de sujecion HG que sujeta el elemento optico G12 y el grupo optico MPL sujeta el elemento optico G12 de modo que sea movil con relacion al grupo optico MPL.
El documento US 4 752 058 A divulga un rail de soporte de amortiguador en forma de dispositivo mecanico segun el preambulo de la reivindicacion 1, que esta formado por una tira extrudida de plastico alargada, rfgida pero elastica, que tiene forma de M en seccion transversal. La forma de M se gira de lado y sus patas son sustancialmente paralelas. Las patas convergentes de la porcion central en forma de V de la forma en M forman un vertice de angulo agudo central donde se unen y forman los vertices superiores e inferiores en sus uniones con las patas paralelas. Las patas convergentes se doblan para formar partes integrales de las patas que forman un angulo en diferentes angulos agudos con respecto al eje de la forma de M, de modo que las tasas elasticas por unidad de longitud a lo largo de toda la tira son las mismas.
SUMARIO
El objeto mencionado anteriormente se resuelve mediante un dispositivo mecanico para mantener el paralelismo segun la reivindicacion 1 y las reivindicaciones que dependen de la misma. Esto es posible reemplazando los pares adicionales de actuadores y sensores de posicion con mecanismos de conservacion paralelos (PCM), el objeto de una realizacion de la invencion descrita en este documento. Los PCM 120 se colocan entre la placa base de referencia 130 (plana) y una placa superior 110 (plana), como en los ejemplos 100a y 100b mostrados en la figura 6 o la figura 7. Cualquier angulo de inclinacion o posible falta de paralelismo entre la placa base 130
y la placa superior 110 sera compensado por los PCM 120 montados entre estas placas. La estructura 100b mostrada en la figura 7, que comprende cuatro PCM 120 y placas superior/inferior 110, 130 no tiene desplazamiento lateral en absoluto, estando el unico grado de libertad limitado a un eje de traslacion (eje Z). Este concepto es particularmente aplicable a las etapas de microscopfa del eje Z, donde lograr un desplazamiento altamente preciso en el eje Z, con un paralelismo de alta precision entre la placa base y la placa movil, sin ningun movimiento lateral parasito, es crftico para la operacion. Una etapa de microscopfa Z es solo un ejemplo, ya que el PCM y las estructuras que comprenden PCM en cualquier combinacion se pueden usar en cualquier aplicacion donde sea necesario el paralelismo mencionado anteriormente.
El mecanismo de conservacion del paralelismo (PCM) de la presente divulgacion reduce el numero de actuadores/sensores necesarios. Teoricamente, al configurar un sistema con un cierto numero de PCM, solo se necesita un actuador y un sensor de posicionamiento para lograr un sistema que tenga un paralelismo entre la referencia y el plano movil. El sensor utilizado puede ser capacitivo, galga extensiometrica o cualquier otro tipo de sensor que pueda detectar el movimiento en el regimen nanometrico. Los actuadores pueden ser preferiblemente de tipo piezoelectrico, pero se puede usar cualquier otro tipo de actuador que pueda proporcionar movimiento en el mismo regimen de resolucion que el sensor.
El uso de PCM para este tipo de sistema tambien dara la opcion de ajustar la rigidez del sistema, cambiando asf las frecuencias naturales sin modificar el diseno de los actuadores. Agregar mas PCM o aumentar la rigidez de los ya utilizados aumentara la frecuencia natural del conjunto combinado.
En una realizacion mostrada en la figura 1, se proporciona un dispositivo mecanico 120 para mantener el paralelismo. El dispositivo mecanico 120 incluye preferiblemente: una primera barra 122, una segunda barra 124, una tercera barra 126 y una cuarta barra 128, teniendo cada barra una superficie superior, una superficie inferior, una primera superficie lateral y una segunda superficie lateral, formando la parte superior superficie de la primera barra 122 la superficie superior del dispositivo 120 y la superficie inferior de la cuarta barra 128 que forma la superficie inferior del dispositivo; en el que la primera superficie lateral de la primera barra y la primera superficie lateral de la segunda barra estan conectadas por una primera flexion 123, dejando un espacio entre la superficie inferior de la primera barra 122 y la superficie superior de la segunda barra 124; estando la segunda superficie lateral de la segunda barra 124 y la segunda superficie lateral de la tercera barra 126 conectadas mediante una segunda flexion 125, dejando un espacio entre la superficie inferior de la segunda barra 124 y la superficie superior de la tercera barra 126; y estando la primera superficie lateral de la tercera barra 126 y la primera superficie lateral de la cuarta barra 128 conectadas mediante una tercera flexion 127, dejando un espacio entre la superficie inferior de la tercera barra 126 y la superficie superior de la cuarta barra 128.
El mecanismo es capaz de mantener el paralelismo entre diferentes puntos, en toda su longitud, independientemente del punto que sea directamente el sujeto de una fuerza de empuje. Una representacion simple de un mecanismo 120 se puede ver en la figura 1. Esta representacion particular muestra una estructura de tipo monolftico 120, pero el mecanismo puede realizarse a partir de diferentes componentes y en diferentes tamanos, segun los requisitos de la aplicacion. El mecanismo puede fabricarse a partir de cualquier material o material compuesto, siempre y cuando el seleccionado pueda cumplir con los requisitos de la aplicacion donde se utilice.
BREVE DESCRIPCION DE LOS DIBUJOS
La figura 1 es una vista en perspectiva de una realizacion de un PCM.
La figura 2A muestra una realizacion de una parte frontal (seccion transversal tambien) y la figura 2B muestra una realizacion de una vista lateral del PCM, y la forma en que se desvfa cuando se aplica una fuerza de empuje F.
La figura 3A muestra una realizacion de una vista frontal y la figura 3B muestra una realizacion de una vista lateral que muestra las dimensiones caracterfsticas del PCM.
Las figuras 4A y 4B representan una realizacion de una representacion cinematica equivalente de la seccion transversal del PCM.
La figura 5 muestra una realizacion de un ejemplo constructivo de un PCM como conjunto, con flexiones de acero inoxidable.
La figura 6 muestra una realizacion de un ejemplo de dos placas que se mantienen paralelas con dos PCM. La figura 7 muestra un ejemplo de una realizacion de dos placas que se mantienen paralelas a cuatro PCM. La figura 8 muestra una vista en despiece de una etapa de microscopfa de flexion Z piezoactivada que ilustra una realizacion especffica de dos placas que se mantienen paralelas a cuatro PCM.
La figura 9A muestra una vista isometrica de un ejemplo de un diseno en forma de T de acuerdo con una realizacion de la invencion.
Las figuras 9B a 9D muestran vistas ortograficas de un ejemplo de un diseno en forma de T de acuerdo con una realizacion de la invencion.
DESCRIPCION DETALLADA DE LOS MODOS DE REALIZACION PREFERENTES
La descripcion de los modos de realizacion ilustrativos de acuerdo con los principios de la presente invencion esta destinada a leerse en relacion con los dibujos adjuntos, que se consideran parte de la descripcion escrita completa. En la descripcion de los modos de realizacion de la invencion divulgada en el presente documento, cualquier referencia a la direccion u orientacion esta destinada simplemente a la conveniencia de la descripcion y no pretende limitar de ninguna manera el alcance de la presente invencion. Los terminos relativos tales como "inferior", "superior', "horizontal", "vertical", "encima", "abajo", "superior" y "inferior", asf como sus derivados (por ejemplo, "horizontalmente", "hacia abajo", "hacia arriba", etc.) se deben interpretar como referidos a la orientacion como se describe a continuacion o como se muestra en el dibujo en analisis. Estos terminos relativos son solo para conveniencia de la descripcion y no requieren que el aparato se construya o se haga funcionar en una orientacion particular a menos que se indique explfcitamente como tal. Los terminos tales como "unido", "fijado", "conectado", "acoplado", "interconectado" y similares se refieren a una relacion en la que las estructuras estan aseguradas o unidas entre si, directa o bien indirectamente a traves de estructuras intermedias, asf como ambas uniones o relaciones moviles o rfgidas, a menos que se describa expresamente de otro modo. Ademas, las caracterfsticas y beneficios de la invencion se ilustran por referencia a los modos de realizacion ejemplificados. En consecuencia, la invencion no se debe limitar expresamente a dichos modos de realizacion ejemplares que ilustran alguna posible combinacion no limitante de caracterfsticas que pueden existir solas o en otras combinaciones de caracterfsticas; estando definido el alcance de la invencion por las reivindicaciones adjuntas a la misma.
Esta divulgacion describe el mejor modo o modos de practicar la invencion como se contempla actualmente. Esta descripcion no pretende entenderse en un sentido limitante, sino que proporciona un ejemplo de la invencion presentado unicamente con fines ilustrativos por referencia a los dibujos adjuntos para informar a un experto en la tecnica de las ventajas y la construccion de la invencion. En las diversas vistas de los dibujos, caracteres de referencia similares designan las mismas partes o similares.
El mecanismo PCM que se muestra en las figuras representa un mecanismo de tipo de flexion que se puede usar en una etapa de nanoposicionamiento, por ejemplo, o en cualquier otra aplicacion que requiera una desviacion uniforme a lo largo de toda la longitud del mecanismo de flexion. Una caracterfstica y beneficio del PCM es mantener el mismo valor de desviacion 6H para los puntos 122a y 122b como se muestra en la figura 1 si se presiona con una fuerza F en solo uno de los dos puntos mencionados. Del mismo modo, el mismo valor de desviacion 6H en ambos puntos 122a y 122b se mantiene igualmente si la fuerza de empuje se reemplaza por una fuerza de traccion. Esto se logra a traves de tres juntas de rotacion 140a, 140b y 140c como se muestra en la configuracion cinematica equivalente de las figuras 4A y 4B. Estas juntas de rotacion 140a, 140b y 140c estan representadas en una realizacion por las flexiones observadas en la vista en seccion transversal del diseno de PCM (figura 2A). El diseno del tipo de flexion asegurara que cuando se aplique una fuerza F, estas tres flexiones 140a, 140b y 140c se comportaran como juntas rotacionales. Dada la seccion delgada del material de flexion a lo largo de la longitud L (figura 3B), la desviacion uniforme se lograra en la misma longitud.
Si se usa un actuador y un par de PCM, sobre la longitud L (ver la figura 2B o 3B), el paralelismo se cumple en toda la carrera, eliminando la necesidad de desplegar mas de un actuador y un sensor de retroalimentacion para controlar el paralelismo. Otra ventaja de un PCM es que comprende un sistema rfgido en toda su longitud, manteniendo asf las frecuencias naturales en valores mas altos. Todas las ventajas anteriores se han descrito para un PCM. Se pueden usar varios PCM para restringir el movimiento mecanico de una placa movil paralela con respecto a otra placa (ver, por ejemplo, las realizaciones de las figuras 6, 7 y 8).
Estos pueden configurarse dependiendo de las particularidades de la aplicacion donde se usa, y la configuracion puede tener cualquier forma y tamano en terminos del numero de PCM utilizados, su rigidez y masa. La rigidez y la masa son importantes, dadas las frecuencias naturales que resultaran de su relacion. El actuador utilizado en sistemas que utilizan PCM puede ser preferiblemente piezoelectrico para precision nanometrica, pero tambien puede usarse cualquier otro tipo de actuadores para lograr el movimiento deseado.
En terminos de fabricacion, el PCM se puede fabricar mediante procesos tales como erosion de alambre, moldeo o cualquier otro proceso de fabricacion adecuado si el objetivo es tener una estructura monolftica (ver la figura 1). De lo contrario, se puede construir como un conjunto 200, como en la figura 5 mediante el uso de flexiones 240, tiras de retencion de flexion 220 para lograr una distribucion uniforme de la fuerza de compresion de los tornillos 230 y tambien los elementos estructurales principales 210 que se conectaran a las flexiones 240.
La masa y la rigidez del PCM 120 se pueden variar cambiando los parametros geometricos 122w, 123h y 123t de la figura 3A. Disminuir la anchura 122w disminuira la masa y aumentara la rigidez (fuerza de reaccion) del
conjunto PCM 120 debido a la mayor tension y traccion experimentada por las juntas de flexion. A medida que la anchura 122w se reduce, para la misma deflexion lograda, el brazo de momento dado por la misma fuerza de empuje F sera mayor, por lo que la fuerza de reaccion del PCM para la misma deflexion lograda sera mayor. Aumentar el espesor 123t aumentara la rigidez del PCM, pero con una masa adicional agregada. Aumentar la altura 123 h disminuira la rigidez del PCM, dadas las fuerzas de reaccion mas pequenas. Todos estos parametros se pueden variar para lograr la masa y la rigidez deseadas y, por lo tanto, la frecuencia natural para un diseno de sistema particular.
En terminos de implementacion de PCM en conjuntos integrados, hay un numero infinito de combinaciones. Dos ejemplos se ilustran en las realizaciones 100a y 100b de las figuras 6 y 7, respectivamente. La figura 6 muestra una realizacion de un ejemplo de dos placas 110 y 130 que se mantienen paralelas con dos PCM 120 cuando se aplica una fuerza F a uno de los puntos de la lfnea central 110a o 110b (si se aplica la fuerza en 110a, entonces 110b se desviara en la misma cantidad, y viceversa). La figura 7 muestra un ejemplo de una realizacion de dos placas 110 y 130 que se mantienen paralelas a cuatro PCM 120 cuando se aplica una fuerza F a una de las esquinas representadas por los puntos 110c, 110d, 110e y 110f. La figura 8 muestra una realizacion especffica de un conjunto 300 en forma de un microscopio de nanoposicionamiento en la etapa Z, esencialmente un ejemplo de dos placas que se mantienen paralelas a cuatro PCM 340. El ejemplo de producto mostrado en la figura 8 comprende una carcasa superior 310, actuadores piezoamplificadores 320, un subconjunto de placa de control impresa (PCB) 330, un panel electrico 350, una placa de pozo 360, un soporte de placa de pozo (mundo movil) 370, espaciadores 380 para el montaje de la PCB y un sistema de sujecion de placa de pozo de muestra 390. Tambien son posibles otras etapas y conjuntos de eje unico y multiples ejes. En un sistema de multiples ejes, se preve que varias estructuras PCM se puedan apilar ortogonalmente para proporcionar los grados necesarios de libertad de movimiento.
En una extension del concepto PCM, se puede contemplar una estructura de brazo compuesto de multiples PCM. De esta manera, en lugar del uso de multiples PCM lineales separados 340 fijados entre las placas fijas 310 y moviles 370 de una etapa de posicionamiento o conjunto 300 como se muestra en las figuras 6, 7 y 8, por ejemplo, se considera un unico conjunto 400 de PCM compuesto con multiples brazos 410, 420 y 430 que tienen una orientacion angular entre los mismos. Esto se ilustra en un ejemplo especffico en las figuras 9A a 9D, que muestra un PCM de estructura monolftica en forma de T 400. Se contemplan otras configuraciones de pCm compuesto de multiples brazos, como las estructuras en forma de L y H. Debe tenerse en cuenta que en todas las configuraciones compuestas de este tipo, cada brazo PCM conserva el principio basico de operacion y construccion como un unico conjunto de brazo PCM lineal. En la realizacion de las figuras 9A - 9D, tambien se muestra el espacio 440 que es necesario para los soportes de flexion media, para que el mecanismo de brazo de multiples PCM combinado tenga los grados de libertad necesarios. Este espacio 400, por ejemplo, sera necesario en cualquier configuracion compuesta de multiples PCM donde haya una orientacion angular de un brazo de PCM con respecto a otro.
Aunque la presente invencion se ha descrito con cierta extension y con cierta particularidad con respecto a los diversos modos de realizacion descritos, no se pretende que se limite a ninguna de dichas particularidades o modos de realizacion o ningun modo de realizacion particular, sino que debe interpretarse con referencias a las reivindicaciones adjuntas para proporcionar la interpretacion mas amplia posible de dichas reivindicaciones en vista de la tecnica anterior y, por lo tanto, para abarcar efectivamente el alcance previsto de la invencion. Ademas, lo anterior describe la invencion en terminos de modos de realizacion previstos por el inventor para los que estaba disponible una descripcion habilitante, a pesar de que las modificaciones insustanciales de la invencion, no previstas actualmente, pueden, sin embargo, representar equivalentes a la misma.
Claims (14)
1. Un dispositivo mecanico de conservacion de paralelismo (120) para mantener el paralelismo, que comprende:
una primera barra (122), una segunda barra (124), una tercera barra (126) y una cuarta barra (128), teniendo cada barra una superficie superior, una superficie inferior, una primera superficie lateral y una segunda superficie lateral, formando la superficie superior de la primera barra (122) la superficie superior del dispositivo (120) y formando la superficie inferior de la cuarta barra (128) la superficie inferior del dispositivo (120); en el que
la primera superficie lateral en la direccion longitudinal de la primera barra (122) y la primera superficie lateral en la direccion longitudinal de la segunda barra (124) estan conectadas por una primera flexion (123), dejando un espacio (123h) entre la superficie inferior de la primera barra (122) y la superficie superior de la segunda barra (124);
la segunda superficie lateral en la direccion longitudinal de la segunda barra (124) y la segunda superficie lateral en la direccion longitudinal de la tercera barra (126) estan conectadas por una segunda flexion (125), dejando un espacio entre la superficie inferior de la segunda barra (124) y la superficie superior de la tercera barra (126); y
la primera superficie lateral en la direccion longitudinal de la tercera barra (126) y la primera superficie lateral en la direccion longitudinal de la cuarta barra (128) estan conectadas por una tercera flexion (127), dejando un espacio entre la superficie inferior de la tercera barra (126) y la superficie superior de la cuarta barra (128); caracterizado por que
el dispositivo comprende ademas un sensor para detectar un movimiento de la superficie del dispositivo (120).
2. El dispositivo (120) de la reivindicacion 1, que comprende ademas un actuador para ajustar una posicion superficial del dispositivo (120).
3. El dispositivo (120) de la reivindicacion 1, en el que el sensor es un sensor capacitivo o galga extensiometrica.
4. El dispositivo (120) de la reivindicacion 2, en el que el actuador es un actuador piezoelectrico.
5. El dispositivo (120) de la reivindicacion 1, en el que las flexiones (123; 125; 127) y las barras (122; 124;
126; 128) estan conectadas mediante un medio de sujecion.
6. El dispositivo (120) de la reivindicacion 1, en el que el dispositivo (120) es una estructura monolftica.
7. El dispositivo (120) de la reivindicacion 1, en el que la primera (123), la segunda (125) y la tercera flexiones (127) se extienden a lo largo de la primera (122), la segunda (124), la tercera (126) y la cuarta barras (128).
8. Un dispositivo mecanico (100a; 100b), que comprende una primera placa (110), una segunda placa (130) y una pluralidad de dispositivos de conservacion de paralelismo (120) segun la reivindicacion 1, en el que las placas (110; 130) se mantienen paralelas a la pluralidad de dispositivos de conservacion de paralelismo (120) situados entre las placas (110; 130).
9. El dispositivo mecanico (100a; 100b) de la reivindicacion 8, que comprende ademas un actuador para ajustar una distancia entre la primera placa (110) y la segunda placa (130).
10. El dispositivo mecanico (100a; 100b) de la reivindicacion 9, que comprende ademas un sensor para detectar un movimiento relativo entre la primera placa (110) y la segunda placa (130) y proporcionar retroalimentaciones al actuador.
11. El dispositivo mecanico (100a; 100b) de la reivindicacion 9, en el que el actuador es un actuador piezoelectrico.
12. El dispositivo mecanico (100a; 100b) de la reivindicacion 10, en el que el sensor es un sensor capacitivo o galga extensiometrica.
13. Un dispositivo mecanico (400) que comprende una pluralidad de dispositivos de conservacion de paralelismo (120) segun la reivindicacion 1, que estan unidos en angulo.
14. El dispositivo mecanico (400) de la reivindicacion 13, en el que existe una separacion (440) en las segundas flexiones (125) en una junta entre dos de la pluralidad de dispositivos de conservacion de paralelismo (120) para proporcionar un grado de libertad.
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