ES2314804T3 - Modulo semiconductor de potencia con capa intermedia aislante y procedimiento para su fabricacion. - Google Patents

Modulo semiconductor de potencia con capa intermedia aislante y procedimiento para su fabricacion. Download PDF

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ES2314804T3 ES06020798T ES06020798T ES2314804T3 ES 2314804 T3 ES2314804 T3 ES 2314804T3 ES 06020798 T ES06020798 T ES 06020798T ES 06020798 T ES06020798 T ES 06020798T ES 2314804 T3 ES2314804 T3 ES 2314804T3
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Abstract

Módulo semiconductor de potencia (1) con una caja (3) con elementos de conexión (42, 44) dirigidos hacia fuera, con por lo menos un material de base (5) aislado eléctricamente y dispuesto dentro de la caja (3), que consta por lo menos de un cuerpo de material aislante (54) y sobre la primera superficie principal dirigida hacia el interior del módulo semiconductor de potencia se encuentran varias pistas de unión metálicas (52) aisladas eléctricamente entre sí y con por lo menos un elemento semiconductor de potencia (70) dispuesto sobre una de dichas pistas de unión, con por lo menos un elemento de unión (40) y por lo menos un cuerpo moldeado aislante (80) extraordinariamente dúctil, que en estado no deformado presenta un grosor igual al del componente semiconductor de potencia (70) que debe envolverse y que entre el cuerpo moldeado aislante (80) y el componente semiconductor de potencia (70) envuelto por éste se forma una ranura, de modo que se forma por lo menos una unión entre un elemento semiconductor de potencia (70) y un elemento de unión (40), o bien entre el componente semiconductor de potencia (70) y la tira de unión (52) como unión por sinterización a presión, de modo que el cuerpo moldeado aislante (80) se encuentra dispuesto de tal manera que en su forma original se deforma mediante presión y se amolda completamente a los márgenes de por lo menos un componente semiconductor de potencia (70) asignado, envolviéndolo.

Description

Módulo semiconductor de potencia con capa intermedia aislante y procedimiento para su fabricación.
El invento describe un módulo semiconductor de potencia compuesto por una caja que contiene por lo menos un material de base electroaislante, preferentemente para el montaje directo sobre un disipador de calor. El material de base se compone de un cuerpo de material aislante, sobre el cual hay dispuestas varias pistas de unión metálicas aisladas entre sí, y sobre éstas se encuentran dispuestos componentes semiconductores de potencia unidos a dichas pistas de unión mediante cableado. Además, el módulo semiconductor de potencia presenta elementos de conexión para conexiones auxiliares y de carga y también elementos de unión para uniones en el interior del módulo semiconductor de potencia. Se describe asimismo un procedimiento para la fabricación del módulo semiconductor de potencia mencionado anteriormente.
Los módulos semiconductores de potencia, que son la base del presente invento, se conocen, por ejemplo, a partir de la patente DE-19.617.055-C1. Dicho documento divulga un módulo semiconductor de potencia del tipo anteriormente indicado, donde los componentes semiconductores de potencia se encuentran situados sobre las pistas de unión del material mediante soldadura.
Según la documentación mencionada conforme al estado de la técnica, los materiales de base de los módulos semiconductores de potencia de este tipo, formados por materiales electroaislantes, están compuestos por un cuerpo de material aislante como material portante para el aislamiento eléctrico de una placa base o un disipador de calor. Este cuerpo de material aislante, conforme al estado de la técnica, se compone de cerámica de uso industrial, por ejemplo, óxido de aluminio o nitrito de aluminio. Sobre este cuerpo aislante, donde la primera superficie principal se dirige al interior del módulo semiconductor de potencia, se encuentran varias pistas de unión metálicas aisladas eléctricamente entre sí. Sobre dichas pistas hay a su vez dispuestos componentes semiconductores de potencia.
Por lo general, el cuerpo de material aislante presenta también sobre su segunda superficie principal, dirigida hacia el interior del módulo semiconductor de potencia, una capa metálica del mismo material y el mismo grosor que la de las pistas de unión dispuestas sobre la primera superficie principal. Normalmente, esta capa no posee una estructura por sí misma, ya que sirve, por ejemplo, como soldadura a una placa base o como unión termoconductiva para un disipador de calor. Las pistas de unión, así como la capa metálica de la segunda superficie principal, se componen preferentemente de cobre aplicado mediante el procedimiento DCB (direct copper bonding), donde el cobre presenta un grosor típico inferior a 1 mm.
A menudo, los elementos de unión descritos entre los componentes semiconductores de potencia y las pistas de unión son uniones metálicas, en este caso concreto, uniones por hilo. La documentación anteriormente mencionada divulga como solución alternativa de las uniones mediante cableado de los componentes semiconductores de potencia entre sí y/o con pistas de unión, una placa de circuitos impresos flexible realizada mediante unión material por soldadura con los componentes semiconductores de potencia y/o las pistas de unión, o bien mediante una técnica de contacto por presión en unión material. La placa de circuitos impresos divulgada presenta también una construcción multicapa, a fin de facilitar tanto uniones de conexión de carga como uniones de conexión auxiliar y de control. Dentro de la construcción de capa de esta placa de circuitos impresos flexible es posible estructurar capas independientes y/o unirlas con otras capas o secciones de capa mediante la conexión de paso.
Para el aislamiento interno se conocen numerosos módulos semiconductores de potencia, los cuales en el área de los componentes semiconductores de potencia y hasta por encima de los elementos de unión, a menudo dispuestos como uniones Bond, están sellados con una masa de relleno con una elevada constante dieléctrica. La documentación anteriormente mencionada DE-19.617.055-C1 sustituye las masas de relleno de este tipo mediante capas intermedias aislantes, que se conocen básicamente por la fabricación de placas de circuitos impresos. Dichas capas intermedias aislantes envuelven los componentes semiconductores de potencia y presentan en su margen un recubrimiento que debe impedir las descargas de tensión en esta zona marginal. Además, las capas intermedias aislantes están conformadas de tal modo que presentan el mismo grosor que los componentes semiconductores de potencia que envuelven, formando así una superficie plana para la disposición del circuito impreso flexible.
Una desventaja del acondicionamiento de un módulo semiconductor de potencia conforme a la documentación anteriormente citada es que las capas intermedias aislantes sirven exclusivamente para el aislamiento interno del módulo semiconductor de potencia, por lo que la fabricación de un módulo semiconductor de potencia de estas características en comparación con uno con masa de relleno con la misma utilidad es más costoso, puesto que las capas intermedias aislantes deben amoldarse y tratarse posteriormente con un producto de partida en un paso adicional para conseguir una capa aislante resistente. Otra desventaja es el hecho de que los bordes de la capa intermedia aislante deben revestirse adicionalmente para impedir de un modo seguro descargas de tensión.
Por ejemplo, el documento DE-3.414.065-C2 y el documento no publicado DE-10-2004/019.567-A1 divulgan procedimientos de sinterización a presión que presentan una unión duradera entre el componente semiconductor de potencia y un elemento de conexión. Los procedimientos presentados resultan apropiados sólo para la unión de sinterización simultánea de un componente semiconductor de potencia individual con un elemento de conexión o un material de base. Esto se debe a que la aplicación de la presión solamente puede realizarse sobre la superficie plana del componente semiconductor de potencia. En caso de aplicarse la potencia en la zona marginal del componente semiconductor de potencia, los valores conocidos de la presión pasan de una magnitud de 10 MPa a 60 MPa, hasta generar la destrucción mecánica de dicha zona marginal y, por tanto, del componente semiconductor de potencia.
El documento WO-2005/027.222-A2 divulga la disposición de un elemento eléctrico sobre un material de base, de modo que una lámina aislante eléctrica se utiliza para el aislamiento eléctrico del elemento sobre la disposición de elemento y material de base, de tal modo que la estructura superficial existente reproduce el contorno de la superficie de la lámina aislante. Para ello se estratifica sobre la estructura superficial una lámina que presenta preferentemente un grosor notablemente inferior en comparación con un elemento.
El invento se basa en la presentación de un módulo semiconductor de potencia y el correspondiente procedimiento de fabricación, presentando un medio para el aislamiento interno de la mayoría de funciones, como por ejemplo, una mejora de dicho aislamiento interno, y resulta asequible una producción económica.
El objetivo se consigue conforme al invento mediante las medidas indicadas en las características de las reivindicaciones 1 y 2. Las reivindicaciones subordinadas describen formas de realización preferentes.
La idea del invento parte de un módulo semiconductor de potencia, preferentemente a partir del montaje directo sobre un disipador de calor o con una placa base. Dicho módulo semiconductor de potencia presenta por lo menos los siguientes componentes: una caja, elementos de conexión para conexiones de carga y conexiones auxiliares, por lo menos un material de base con pistas de unión y por lo menos un componente semiconductor de potencia.
Los elementos de conexión para las conexiones de carga salen de la caja hacia el exterior y sirven para la unión eléctrica de los componentes semiconductores de potencia colocados en el interior de la caja. El material de base formado para aislar eléctricamente la placa base o un disipador de calor consta por su parte de un cuerpo de material aislante, preferentemente cerámica de uso industrial y, por encima de éste, situadas sobre la primera superficie principal apartada de la placa base o el disipador de calor, se encuentran varias pistas de unión metálicas aisladas eléctricamente entre sí. Sobre dichas pistas de unión se encuentran dispuestos componentes semiconductores de potencia, unidos por cableado mediante elementos de unión. Dichos elementos de unión están formados, por ejemplo, por una placa de circuitos impresos flexible conforme al estado de la técnica anteriormente indicado, o bien como conducción mediante barras de unión metálicas fabricadas con técnica de estampación y plegado.
El módulo semiconductor de potencia presenta además por lo menos un cuerpo moldeado aislante que envuelve por lo menos un componente semiconductor de potencia y que está formado del modo descrito en el procedimiento indicado a continuación, de modo que se amolda a todo el margen del componente semiconductor de potencia en cuestión y lo envuelve. El elemento de unión correspondiente está formado, por ejemplo, por una placa de circuitos impresos flexible y une el componente semiconductor de potencia envuelto por el cuerpo moldeado aislante con, por ejemplo, un elemento de conexión, o con otro componente semiconductor de potencia. La unión electroconductiva del componente semiconductor de potencia para el correspondiente circuito impreso del material de base y/o el elemento de unión, en este caso la placa de circuitos impresos flexible, presenta la forma de unión de sinterización a presión.
El procedimiento conforme al invento para la fabricación de un componente semiconductor de potencia, además de los pasos de fabricación conocidos para los módulos semiconductores de potencia, presenta también los siguientes pasos:
\bullet
Colocación de por lo menos un cuerpo moldeado aislante extraordinariamente dúctil, de modo que éste envuelva por lo menos un componente semiconductor de potencia sobre el material de base y no se amolde a los márgenes del componente semiconductor de potencia. Este cuerpo moldeado aislante presenta una altura superior a la del componente semiconductor de potencia envuelto. Además, el cuerpo moldeado aislante y el componente semiconductor de potencia están dispuestos de tal modo que entre el cuerpo moldeado aislante y el componente semiconductor de potencia envuelto por éste se forma una ranura con una anchura básicamente igual por todos los lados.
\bullet
En una disposición adicional preferente, por lo menos un elemento de unión para la unión por cableado del componente semiconductor de potencia por encima de dicho componente semiconductor de potencia y el cuerpo moldeado aislante que lo envuelve.
\bullet
Presurización en el marco de un proceso de sinterización a presión sobre el elemento de unión, o bien directamente sobre por lo menos un componente semiconductor de potencia y el cuerpo moldeado aislante que lo envuelve. En este caso, se forma una unión de sinterización a presión del componente semiconductor de potencia con un circuito impreso del material de base y/o con los elementos de unión. En ambos acondicionamientos de esta presurización, preferentemente con una admisión de temperatura adicional, se deforma el cuerpo moldeado aislante de tal modo que se amolda totalmente a los márgenes del módulo semiconductor de potencia, envolviendo así el componente semiconductor de potencia. Este amoldamiento del cuerpo moldeado aislante impide la destrucción del componente semiconductor de potencia durante el proceso de sinterización a presión.
La solución del invento se detalla a continuación mediante las figuras 1 a 4.
La figura 1 muestra un módulo semiconductor de potencia conforme al invento mediante sección transversal;
La figura 2 muestra los pasos de fabricación del procedimiento conforme al invento;
La figura 3 muestra una representación tridimensional de una disposición de un cuerpo moldeado aislante y de un material de base;
La figura 4 muestra un plano horizontal del cuerpo moldeado aislante y del material de base conforme a la
\hbox{figura 3.}
La figura 1 muestra un módulo semiconductor de potencia (1) para el montaje directo sobre un disipador de calor (2). El módulo semiconductor de potencia (1) presenta una caja (3), así como un material de base (5) dispuesto dentro de ella, compuesto por un cuerpo de material aislante (54), así como estratificaciones metálicas dispuestas sobre ambas superficies principales del cuerpo de material aislante (54). La estratificación metálica (56) dirigida hacia el disipador de calor (2) de la segunda superficie principal del cuerpo de material aislante (54) sirve para el acoplamiento térmico, es de forma aplanada y no posee una estructura por sí misma. En cambio, la estratificación de la primera superficie del cuerpo de material aislante (54) dirigida al interior del módulo semiconductor de potencia, posee una estructura por sí misma, formando las pistas de unión (52) del material de base (5).
Los elementos de conexión (42, 44) de las conexiones de ramal se forman mediante cuerpos moldeados de metal que se encuentran unidos por uno de sus extremos, por ejemplo, mediante soldadura, con la pista de unión correspondiente (52) y que en su otro extremo presentan una escotadura para la unión por tornillos.
Sobre las pistas de unión (52) se encuentran dispuestos los componentes semiconductores de potencia (70), representados aquí como diodos de potencia. La unión por cableado de los diodos de potencia (70) entre ellos y con un elemento de conexión (40) presenta la forma de placa de circuitos impresos flexible (40). La unión electroconductiva entre los diodos de potencia (70) y la placa de circuitos impresos flexible (40) presenta la forma de unión por sinterización a presión, establecida como unión por soldadura entre el componente semiconductor de potencia (70) y la pista de unión (52).
Para el aislamiento eléctrico interno, el módulo semiconductor de potencia presenta un cuerpo moldeado aislante (80). Dicho cuerpo envuelve totalmente los diodos de potencia (70), de modo que la superficie de contacto (90) entre el cuerpo moldeado aislante (80) y el margen del componente semiconductor de potencia (70) presenta una altura (900) superior a la mitad del grosor (700) del componente semiconductor de potencia (70). Esto resulta decisivo para impedir descargas marginales en el componente semiconductor de potencia (70). Además, este cuerpo moldeado aislante (80) alcanza hasta el elemento de conexión (42) una polaridad positiva y está conectado electroconductivamente con por lo menos una superficie de este elemento de conexión (42). El cuerpo moldeado aislante (80) recubre en este caso dos circuitos impresos (52) y debido al procedimiento de fabricación descrito del módulo semiconductor de potencia (1), mediante técnica de sinterización a presión, una parte del cuerpo moldeado aislante (80) llega hasta la ranura situada entre ambas pistas de unión (52).
La figura 2 muestra los pasos de fabricación del procedimiento conforme al invento. Una primera variante de ejecución del procedimiento conforme al invento parte de un material de base con un circuito impreso (52) dispuesto sobre éste. Sobre dicho circuito impreso (52) se coloca por lo menos un componente semiconductor de potencia (70) con una capa intermedia adecuada para la unión por sinterización a presión (figura 2a). Dicha capa envuelve totalmente el componente semiconductor de potencia y se asigna a un cuerpo moldeado aislante (80 a/b) (figura 2b). El cuerpo presenta preferentemente un grosor superior entre 2 de 100 y 10 de 100 al grosor del componente semiconductor de potencia (70). La distancia entre el componente semiconductor de potencia (70) del margen y el cuerpo de moldeado aislante (80) se encuentra preferentemente entre 10 de 100 y 30 de 100 del grosor del componente semiconductor de potencia (70). Dicho cuerpo moldeado aislante (80) se forma preferentemente a partir de un plástico extraordinariamente dúctil bajo presión y, dado el caso, con una admisión de temperatura adicional. Una deformación irreversible resulta aquí especialmente ventajosa.
En la conexión se ejecuta la presurización plana (100) sobre el componente semiconductor de potencia (70) y el cuerpo de material aislante (80) que se deforma en este caso. Dicha deformación, que preferentemente está unida a una admisión de temperatura precedente y/o simultánea entre 50ºC y 300ºC, reduce el grosor del cuerpo moldeado aislante (80) al grosor del componente semiconductor de potencia (70), de modo que el cuerpo moldeado aislante (80) se extiende lateralmente (86) y de forma simultánea. Así, la ranura entre el componente semiconductor de potencia (70) y el cuerpo moldeado aislante (80) se cierra, envolviendo dicho cuerpo moldeado aislante (80), así como el componente semiconductor de potencia (70) antes de que se produzca la aplicación de la presión sobre el componente semiconductor de potencia (70). Las superficies de contacto (90) presentan aquí preferentemente una altura superior a la mitad del grosor del componente semiconductor de potencia (70). Mediante la elección del material adecuado para el cuerpo moldeado aislante (80), se conserva este enlace, que sirve en un módulo semiconductor de potencia (1) para el aislamiento interno e impide mediante su acondicionamiento durante el funcionamiento las descargas marginales del componente semiconductor de potencia (70).
Tras la finalización del proceso de sinterización a presión y su aplicación en el módulo semiconductor de potencia, el cuerpo moldeado aislante presenta un grosor igual (figura 2d) o ligeramente superior al del componente semiconductor de potencia envuelto.
En una segunda variante de ejecución del procedimiento conforme al invento, antes del proceso de sinterización a presión se dispone otra placa de circuitos impresos flexible (40), o por lo menos una barra de unión como elemento de unión, por encima del componente semiconductor de potencia (70) y sobre el cuerpo de material aislante (80) (figura 2c). Las zonas que más adelante conforman las superficies de contacto entre el componente semiconductor de potencia (70) y el elemento de unión (40) están preparadas convenientemente para un procedimiento de sinterización a presión. Para ello, en la zona de las superficies de contacto se forma una superficie de metal noble adecuada sobre el componente semiconductor de potencia (70) y sobre el elemento de unión (40). También se dispone el metal sinterizado adecuado. En caso de una presurización plana y preferentemente una admisión de temperatura simultánea sobre el elemento de unión (40), se genera una unión de sinterización a presión entre éste y el componente semiconductor de potencia (70) y a la vez entre el componente semiconductor de potencia y el circuito impreso (52) del material de base (5).
Una tercera variante de ejecución del procedimiento conforme al invento parte de un componente semiconductor de potencia (70) soldado al circuito impreso (52) de un material de base (5) (figura 2a), el cual rodea un cuerpo moldeado aislante (80), con lo cual se asigna un circuito impreso flexible (40) a éste. De este modo, mediante el proceso de sinterización a presión se consigue una unión de sinterización a presión entre el componente semiconductor de potencia (70) y el elemento de unión (40).
En todas las formas de ejecución del procedimiento descritas anteriormente, resulta ventajoso que en un proceso de sinterización a presión individual, mediante la colocación del cuerpo moldeado aislante (80) se puedan unir simultáneamente la mayoría de componentes semiconductores de potencia (70) con circuitos impresos (52) y/o con elementos de unión (40).
La figura 3 muestra en una representación tridimensional la colocación del cuerpo moldeado aislante (80) y del substrato (5). El punto inicial de la fabricación del módulo semiconductor de potencia (1) descrito en la figura 1, conforme al procedimiento de fabricación descrito bajo la figura 2, es un material de base conforme al estado de la técnica. Éste presenta un cuerpo de material aislante (54), en este caso, cerámica de óxido de aluminio, sobre el cual se forman circuitos impresos de cobre (52). Dichos circuitos impresos de cobre (52) presentan por lo menos en cada zona, que sirve como superficie de contacto para una unión por sinterización a presión, otra capa de un metal noble, preferentemente oro. Sobre dichas superficies de contacto se aplica el metal sinterizado, preferentemente mediante un procedimiento de serigrafía. Finalmente, se colocan los componentes semiconductores de potencia (70). A continuación, envolviendo los componentes semiconductores de potencia (70), se dispone el cuerpo moldeado aislante (80). Su grosor es entre 2 de 100 y 10 de 100 superior al del componente semiconductor de potencia (70). La longitud (802) de la escotadura (86) del cuerpo moldeado aislante (80) se encuentra en este caso entre 20 de 100 y 60 de 100 del grosor del componente semiconductor de potencia (70), superior a la longitud (702) del componente semiconductor de potencia (70). Lo mismo es aplicable a la anchura (804) de la escotadura (86) y la anchura (704) del componente semiconductor de potencia (70).
La figura 4 muestra un plano horizontal sobre el cuerpo moldeado aislante (80) y el material de base (5) conforme a la figura 3. En este caso puede apreciarse también como el componente semiconductor de potencia (70) lo envuelve el cuerpo moldeado aislante (80) sin que entren en contacto antes del proceso de sinterización a presión.

Claims (7)

1. Módulo semiconductor de potencia (1) con una caja (3) con elementos de conexión (42, 44) dirigidos hacia fuera, con por lo menos un material de base (5) aislado eléctricamente y dispuesto dentro de la caja (3), que consta por lo menos de un cuerpo de material aislante (54) y sobre la primera superficie principal dirigida hacia el interior del módulo semiconductor de potencia se encuentran varias pistas de unión metálicas (52) aisladas eléctricamente entre sí y con por lo menos un elemento semiconductor de potencia (70) dispuesto sobre una de dichas pistas de unión, con por lo menos un elemento de unión (40) y por lo menos un cuerpo moldeado aislante (80) extraordinariamente dúctil, que en estado no deformado presenta un grosor igual al del componente semiconductor de potencia (70) que debe envolverse y que entre el cuerpo moldeado aislante (80) y el componente semiconductor de potencia (70) envuelto por éste se forma una ranura, de modo que se forma por lo menos una unión entre un elemento semiconductor de potencia (70) y un elemento de unión (40), o bien entre el componente semiconductor de potencia (70) y la tira de unión (52) como unión por sinterización a presión, de modo que el cuerpo moldeado aislante (80) se encuentra dispuesto de tal manera que en su forma original se deforma mediante presión y se amolda completamente a los márgenes de por lo menos un componente semiconductor de potencia (70) asignado, envolviéndolo.
2. Procedimiento para la fabricación de un módulo semiconductor de potencia (1) conforme a la reivindicación 1, que consta de los siguientes pasos: colocación de por lo menos un componente semiconductor de potencia (70) sobre un circuito impreso (52) del material de base; colocación de por menos un cuerpo moldeado aislante (80) que rodea por lo menos un componente semiconductor de potencia (70), donde dicho cuerpo moldeado aislante (80) presenta una altura (800) superior a la altura (700) del componente semiconductor de potencia asignado, con lo cual, entre el cuerpo moldeado aislante (80) y el componente semiconductor de potencia (70) envuelto por éste se forma una ranura; presurización (100) encuadrada en un proceso de sinterización a presión sobre por lo menos un componente semiconductor de potencia (70) y el cuerpo moldeado aislante (80) que lo rodea para la unión por sinterización a presión del componente semiconductor de potencia (70), de modo que el cuerpo moldeado aislante (80) se deforme bajo presurización (100) de tal manera que se amolde completamente a los márgenes del componente semiconductor de potencia (70), envolviéndolo.
3. Módulo semiconductor de potencia (1) conforme a la reivindicación 1, donde la superficie de contacto (90) entre el cuerpo moldeado aislante (80) y el margen del componente semiconductor de potencia (70) presenta una altura superior a la mitad del grosor (700) del componente semiconductor de potencia (70).
4. Módulo semiconductor de potencia (1) conforme a la reivindicación 1, donde el elemento de unión (40) presenta la forma de placa de circuitos impresos flexible o barra de unión con los correspondientes puntos de contacto planos para el componente semiconductor de potencia (70).
5. Procedimiento para la fabricación de un módulo semiconductor de potencia (1) conforme a la reivindicación 2, donde según la disposición del componente semiconductor de potencia (70) y del cuerpo moldeado aislante (80) que lo envuelve sobre un material de base (5) hay por lo menos un elemento de conexión (40) sobre el cuerpo moldeado aislante (80) y el componente semiconductor de potencia (70), y que mediante la presurización plana (100) enmarcada en un proceso de sinterización a presión sobre el elemento de unión (80), éste deforma el cuerpo moldeado aislante (80) del componente semiconductor de potencia (70) de tal modo que se amolda completamente a los márgenes del componente semiconductor de potencia (70), y que en caso de la presurización (100) posterior, se establece una unión por sinterización a presión del componente semiconductor de potencia (70) con el circuito impreso (52) correspondiente del material de base (5) y/o con el elemento de unión (40).
6. Procedimiento para la fabricación de un módulo semiconductor de potencia (1) conforme a las reivindicaciones 2 o 5, donde además de la presurización (100) durante y/o antes del proceso de sinterización a presión del cuerpo moldeado aislante, también se admite una temperatura entre 50ºC y 300ºC.
7. Procedimiento para la fabricación de un módulo semiconductor de potencia (1) conforme a la reivindicación 2, de modo que la mayoría de componentes semiconductores de potencia (70), simultáneamente y mediante un proceso de sinterización a presión, se unen con los circuitos impresos (52) correspondientes y/o con uno o varios elementos de unión (40).
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