ES2309647T3 - Regulador de presion proporcional que tiene capacidad para suministrar presion positiva y negativa. - Google Patents
Regulador de presion proporcional que tiene capacidad para suministrar presion positiva y negativa. Download PDFInfo
- Publication number
- ES2309647T3 ES2309647T3 ES05028330T ES05028330T ES2309647T3 ES 2309647 T3 ES2309647 T3 ES 2309647T3 ES 05028330 T ES05028330 T ES 05028330T ES 05028330 T ES05028330 T ES 05028330T ES 2309647 T3 ES2309647 T3 ES 2309647T3
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- valve
- pressure
- regulator
- exhaust
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 46
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 40
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 26
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 84
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 62
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 claims description 30
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims 3
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 claims 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 description 21
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000005465 channeling Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000004078 waterproofing Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
- F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
- F15B13/0803—Modular units
- F15B13/0846—Electrical details
- F15B13/0853—Electric circuit boards
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05F—SYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
- G05F1/00—Automatic systems in which deviations of an electric quantity from one or more predetermined values are detected at the output of the system and fed back to a device within the system to restore the detected quantity to its predetermined value or values, i.e. retroactive systems
- G05F1/66—Regulating electric power
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
- F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
- F15B13/0803—Modular units
- F15B13/0846—Electrical details
- F15B13/086—Sensing means, e.g. pressure sensors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
- F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
- F15B13/0803—Modular units
- F15B13/0871—Channels for fluid
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
- F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
- F15B13/0803—Modular units
- F15B13/0878—Assembly of modular units
- F15B13/0896—Assembly of modular units using different types or sizes of valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B21/00—Common features of fluid actuator systems; Fluid-pressure actuator systems or details thereof, not covered by any other group of this subclass
- F15B21/08—Servomotor systems incorporating electrically operated control means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
- G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
- G05D16/2024—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means the throttling means being a multiple-way valve
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
- F15B2211/50—Pressure control
- F15B2211/52—Pressure control characterised by the type of actuation
- F15B2211/526—Pressure control characterised by the type of actuation electrically or electronically
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
- F15B2211/60—Circuit components or control therefor
- F15B2211/63—Electronic controllers
- F15B2211/6303—Electronic controllers using input signals
- F15B2211/6306—Electronic controllers using input signals representing a pressure
- F15B2211/6313—Electronic controllers using input signals representing a pressure the pressure being a load pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
- F15B2211/60—Circuit components or control therefor
- F15B2211/665—Methods of control using electronic components
- F15B2211/6653—Pressure control
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
- F15B2211/60—Circuit components or control therefor
- F15B2211/665—Methods of control using electronic components
- F15B2211/6656—Closed loop control, i.e. control using feedback
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/2496—Self-proportioning or correlating systems
- Y10T137/2544—Supply and exhaust type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/5109—Convertible
- Y10T137/5196—Unit orientable in a single location between plural positions
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87169—Supply and exhaust
- Y10T137/87217—Motor
Abstract
Un conjunto (10) regulador de presión neumática proporcional que comprende: un cuerpo (12) principal que tiene un primer orificio entrada (50) y un segundo orificio de entrada (52), al menos una salida (54) y un orificio (56) de escape; una válvula (14) reguladora de llenado en comunicación fluida con el primer orificio de entrada (50) y con la salida (54); una válvula (20) reguladora de vacío en comunicación con el segundo orificio (52) de entrada y con la salida (54); un válvula de escape (16) en comunicación fluida con dicha salida (54); una placa (22) de función, realizada como una sola placa o como dos placas separadas, recibida en un entrante (342) creado en dicho cuerpo (12) principal; estando situada la placa de configuración de funciones entre el cuerpo principal y la válvula (14) reguladora y la válvula (16) de escape, siendo dicha placa (22) de función situable reversiblemente para determinar una de entre dos posiciones, normalmente abierta y normalmente cerrada de dicha válvula (14) controladora de llenado y dicha válvula (16) de escape, respectivamente, estando tanto la válvula controladora de llenado como la válvula de escape presionadas de manera estanca contra dicha placa de función, y estando situados varios elementos (366) de estancamiento entre la válvula (14) reguladora de llenado, la válvula (16) de escape y la placa (22) de función; un circuito (24) de control electrónico en comunicación eléctrica con dicha válvula (14) reguladora de llenado, dicha válvula (20) reguladora de vacío y dicha válvula (16) de escape, y adaptado para recibir una señal de comando y accionar cualquiera de dichas válvulas, válvula (14) reguladora de llenado, válvula (20) reguladora de vacío y válvula (16) de escape, respectivamente, y estando adaptado además para recibir una señal de retroalimentación y para regular proporcionalmente la presión de salida determinada de la señal de comando.
Description
Regulador de presión proporcional que tiene
capacidad para suministrar presión positiva y negativa.
La invención se refiere, en general, a
reguladores de presión y, más específicamente a un regulador de
presión proporcional que tiene capacidad para administrar tanto
presión positiva como negativa, así como de proporcionar un escape
del sistema.
Los reguladores de presión son bien conocidos en
la técnica y se emplean en numerosos entornos para regular una
presión de suministro neumática por debajo de una presión
predeterminada del sistema. La presión del sistema se suministra
para operar diversos dispositivos accionados neumáticamente. En el
pasado, se lograba una presión regulada del sistema a través del
uso de una disposición puramente mecánica dentro del regulador, a
menudo con la ayuda de una tubería de retroalimentación de presión
devuelta al regulador desde el lado de salida.
Algunos tipos de sistemas neumáticos todavía
utilizan reguladores mecánicos en los que participa una regulación
del curso y/o control neumático de gran volumen. Sin embargo, cuando
se ha requerido exactitud y un buen control regulador del sistema
neumático de presión, los reguladores han evolucionado rápidamente.
El estado actual de la técnica proporciona reguladores de presión
que incluyen un accionador controlado eléctricamente, lo más a
menudo un solenoide, para regular la presión de salida. La
retroalimentación de presión también se utiliza para un control más
sensible. En este caso, puede emplearse un transductor para detectar
la presión y convertirla en una señal eléctrica que se utiliza
mediante un circuito de control de la retroalimentación para ayudar
en la regulación de la salida. De esta manera, la presión del
sistema se regula en torno a un punto de referencia predeterminado
utilizando mediciones de retroalimentación del proceso particular
implicado o la presión de salida corriente abajo.
Los reguladores de este tipo son bien conocidos
y en ocasiones se denominan en la técnica relacionada reguladores
de presión proporcionales. El término "proporcional" se utiliza
en el sentido de que si se mide una diferencia entre un punto de
referencia de salida predeterminado deseado y la presión corriente
abajo real, entonces el regulador cambia, y de esta manera
controla, la presión de salida en "proporción" a esa
diferencia. Las mejoras en los reguladores proporcionales han
incluido el uso de circuitos digitales que tienen la capacidad de
emplear algoritmos de control complejos para controlar el regulador
de manera más precisa. Los reguladores de presión proporcionales
con circuitos de control electrónicos digitales utilizan la señal de
retroalimentación para determinar electrónicamente una diferencia o
"error" entre el punto de referencia de la presión de salida
deseada y la presión de salida real.
Los circuitos de control digitales más complejos
utilizan un algoritmo de control junto con otras entradas del
sistema para generar un esquema o control global que controla
operativamente el regulador para ajustar, o variar, la presión de
salida en un intento por resolver el "error" y devolver la
salida al punto de referencia predeterminado. Estos esquemas de
control digitales conocidos a menudo emplean cálculos complejos para
la resolución de errores, tal como se demuestra en la patente
estadounidense número 6.178.997 B 1 concedida a Adams et al,
que describe un "Regulador de presión inteligente". El
regulador de la patente '997 de Adams tiene un controlador PID
(proporcional-integral-derivada) que
calcula la integral matemática y la derivada del error proporcional
y emplea los resultados de estos cálculos en su algoritmo de
control. Un controlador PID utiliza el valor actual del error para
calcular tanto la integral del error durante un intervalo de tiempo
reciente, como la derivada actual de la señal de error. El
controlador PID suma entonces el error a los resultados de estos
cálculos para determinar, no sólo la cantidad requerida de ajuste
necesario, sino también la duración del ajuste para evitar exceder
el punto de referencia.
Los dispositivos de regulación de la presión
proporcional han evolucionado para incluir sistemas de regulación
para aplicaciones avanzadas que requieren un control y detección
complejos de la presión, y esquemas de regulación igualmente
complejos. Estos sistemas de regulación de la presión tienen
capacidad, no sólo para producir una regulación precisa de un punto
de referencia predeterminado constante, sino también para responder
a los detectores del sistema y variar dinámicamente el punto de
referencia de presión y regular la presión del sistema para él,
incluso cuando el punto de referencia cambia durante el
funcionamiento del proceso. Por ejemplo, los sistemas reguladores
de este tipo pueden emplearse en relación con dispositivos usados
para pulir la superficie de las obleas de semiconductor. Una
pastilla de pulido está controlada neumáticamente de manera que
aplica una fuerza predeterminada a la superficie de la oblea de
semiconductor durante el proceso de pulido. En estas
circunstancias, es deseable mantener una cierta fuerza hacia abajo
predeterminada del dispositivo de pulido hacia la superficie de la
oblea, mientras se contrarrestan diversos efectos físicos dinámicos
que hacen que la fuerza aplicada hacia abajo tenga un valor que
varía constantemente.
En algunos otros procesos y entornos de trabajo
particulares, es deseable además tener un sistema de regulación de
la presión que no sólo tenga una regulación proporcional del punto
de referencia variable para el control de la presión del sistema en
un intervalo de presión positiva, tal como se describió
anteriormente, sino una que también tenga una regulación
proporcional del punto de referencia variable para controlar la
presión del sistema en el intervalo de presión negativa (vacío).
Para algunos procesos, esto puede ofrecer una mayor exactitud del
control neumático proporcionando un punto de referencia de presión
variable de la presión del sistema que puede moverse fácilmente
entre presiones de suministro positivas y negativas para cualquier
dispositivo activo dado. Por ejemplo, el proceso de fabricación
altamente preciso que supone el pulido de obleas de silicona para
su uso como chips de circuito integrado, así como los procesos de
pulido para medios de disco, tales como CD, DVD, y similares, a
menudo utilizan presiones reguladas tanto positivas como negativas
para operar y controlar los diversos mecanismos de precisión
implicados. La patente estadounidense número 5.716.258 concedida a
Metcalf y las patentes estadounidenses números 6.203.414 y 6.319.106
concedidas a Numoto describen dispositivos para su uso en procesos
de pulido de obleas de silicona que se basan en presiones positivas
y negativas variables y reguladas con precisión para proporcionar
un control extremadamente bueno del procedimiento de pulido.
En aplicaciones tales como éstas, el sistema de
regulación de la presión debe controlar cada componente neumático
activo tanto en las presiones positivas como en las negativas. Los
sistemas conocidos en la técnica relacionada requieren válvulas
reguladoras proporcionales separadas para efectuar el control tanto
en las presiones positivas como en las negativas. Los reguladores
proporcionales separados son cada uno distintos y se emplean
selectivamente a distancia los unos de los otros. Por tanto, para
cada dispositivo neumático activo, los reguladores separados deben
incorporarse en diversas posiciones las unas con respecto a las
otras en el sistema y deben interconectarse mediante conductos u
otras canalizaciones de flujo. Adicionalmente, los reguladores
positivos y negativos tienen cada uno una circuitería de control
electrónico separado, conectado operativamente entre sí, para
coordinar las funciones de regulación de la presión positiva y
negativa. Aunque estos componentes separados han funcionado
generalmente bien en el pasado, sigue habiendo una necesidad en la
técnica para simplificar los sistemas neumáticos y así disminuir
los costes de fabricación y/o montaje mediante la eliminación de los
componentes separados, acortando las trayectorias de flujo y
reduciendo así el hardware relacionado.
Las desventajas evidentes con la complejidad
convencional de estos sistemas regulados de la presión positiva y
negativa se han agravado además cuando se han realizado esfuerzos
para aumentar la exactitud en estos sistemas. Específicamente,
aunque la regulación proporcional del punto de referencia variable
de las presiones del sistema positivas y negativas es un medio de
control eficaz para algunas aplicaciones del proceso, los tiempos de
respuesta y la exactitud del control pueden potenciarse además
proporcionando adicionalmente una capacidad ventilación o escape al
esquema de regulación neumático.
La patente estadounidense número 6.113.480
concedida a Hu et al describe un aparato de pulido de obleas
que utiliza presión positiva y negativa con una ventilación de
escape para controlar el procedimiento de pulido. El uso de una
ventilación de escape, tal como en la patente '480 de Hu, disminuye
el tiempo de respuesta del circuito de regulación neumático
proporcionando una reducción rápida y casi instantánea o una
eliminación completa de la presión suministrada cuando sea
necesario. Esto permite cambios de control muy rápidos desde una
presión hasta otra, como en el caso del cambio desde una presión
positiva regulada hasta una presión negativa, o viceversa. Por
tanto, los dispositivos neumáticos controlados pueden controlarse
más exacta y finamente en las operaciones de precisión.
La ventilación de escape también es útil cuando
es necesaria para disminuir proporcionalmente, pero no invertir,
las presiones aplicadas. En estos casos, ya esté variando el
controlador el punto de referencia o regulando la presión, la
actuación de la ventilación de escape disminuirá rápidamente la
presión aplicada hasta el nivel deseado, en lugar de tener que
confiar simplemente en que la presión baje por sí misma cuando se
disminuye proporcionalmente la presión aplicada. Esta función puede
emplearse en relación tanto con la regulación de la presión
proporcional positiva como con la negativa.
Independientemente de cómo se emplee una
ventilación de escape junto con estos reguladores y sistemas de
regulación, cuando se usa con un proceso sofisticado y complejo,
tal como el mostrado en la patente '480 de Hu, estos sistemas
todavía deben utilizar numerosos componentes separados, hardware y
elementos de soporte en sus homólogos no ventilados. Por tanto, a
pesar de las grandes mejoras en la exactitud y la eficacia en los
sistemas neumáticos de regulación de la presión conocidos
actualmente en la técnica relacionada, siguen siendo conjuntos
altamente complejos. De hecho, los sistemas que emplean los
dispositivos de regulación neumáticos proporcionales de punto de
referencia variable mencionados anteriormente requieren tantos
componentes y hardware asociados que su complejidad y tamaño a
menudo llega a ser un factor limitante en su aplicación. Por tanto,
sigue habiendo una necesidad en la técnica de simplificar estos
sistemas reguladores de la presión neumática proporcional,
disminuir los costes en su fabricación y/o montaje eliminando los
componentes separados, reducir el hardware relacionado y acortar
las trayectorias de flujo inherentemente largas empleadas comúnmente
en los sistemas reguladores conocidos en la técnica relacionada.
Además, sigue habiendo una necesidad en la técnica de un sistema
regulador que emplee un conjunto de circuitos de control que pueda
controlar de manera efectiva, eficaz y exacta la presión positiva,
la presión negativa y las funciones de ventilación de un sistema de
regulación integrado.
La presente invención se refiere a regulador de
presión neumática proporcional que comprende:
- un cuerpo principal que tiene un primer puerto de entrada y un segundo puerto de entrada adaptada;
- una válvula reguladora de llenado en comunicación fluida con el primer puerto de entrada;
- una válvula reguladora de vacío;
- una válvula de escape en comunicación fluida con dicha salida;
- una placa de configuración de funciones, configurada como una sola placa de función o dos placas de función, recibida en un entrante creado en dicho cuerpo principal, estando situada la placa de configuración de función entre el cuerpo principal y la válvula reguladora de llenado y la válvula de escape, siendo la placa de configuración de función situable reversiblemente para determinar una posición normalmente abierta y una posición normalmente cerrada de dicha válvula de escape, estando presionadas de manera estanca tanto dicha válvula reguladora de llenado como dicha válvula de escape contra dicha placa de configuración de funciones y estando situados varios miembros impermeabilizante entre la válvula reguladora de llenado y dicha placa de configuración de funciones.
- un circuito de control electrónico en comunicación eléctrica con dicha válvula reguladora de llenado y adaptado para recibir una señal de comando y activar bien dicha válvula reguladora de llenado, dicha válvula reguladora de vacío, o dicha válvula de escape, o adaptado además para recibir una señal de retroalimentación y para regular proporcionalmente la presión de salida determinada de la señal de comando.
Una realización de la presente invención supera
los inconvenientes de la técnica afín en un conjunto regulador de
presión proporcional que tiene un cuerpo principal con una primera
entrada adaptada para la comunicación fluida con una fuente de
presión neumática positiva, una segunda entrada adaptada para la
comunicación fluida con una fuente de presión neumática negativa,
al menos una salida adaptada para la comunicación fluida con al
menos un dispositivo de activado neumáticamente, y con un puerto de
escape. Está instalada una válvula reguladora de llenado que está
en comunicación fluida con el primer puerto de entrada y el de
salida y que está adaptada para regular el suministro de presión
positiva a un valor de la presión predeterminado desde la primera
entrada a un dispositivo activado neumáticamente cuando la válvula
reguladora de llenado está activada. Está instalada una válvula
reguladora de vacío que está en comunicación fluida con el segundo
puerto de entrada y la salida y que está adaptada para regular el
suministro de presión negativa a un valor predeterminado desde la
segunda entrada a un dispositivo activado neumáticamente cuando la
válvula reguladora de vacío está activada. Está instalada una
válvula de escape que está en comunicación fluida con la salida y es
operable para la salida de presión desde la salida cuando la
válvula de escape está activada. Por consiguiente, el regulador de
presión proporcional combina y centraliza todas las funciones del
sistema existente en un solo conjunto integrado con lo que se
reduce el número de componentes y se simplifica la estructura en
general.
Un conjunto regulador de presión neumática
proporcional que realiza la presente invención también supera los
inconvenientes de los sistemas de regulación convencionales
facilitando un conjunto de circuito de control que está adaptado
para recibir una señal de comando y activar bien la válvula
reguladora de llenado, la válvula reguladora de vacío, o la válvula
de escape para ajustar dinámicamente la presión de salida a un valor
específico, o valor de referencia, en respuesta a la señal de
comando. El conjunto de circuito de control puede estar adaptado
además para recibir una señal de retroalimentación y regular la
cantidad de presión neumática positiva a través de la válvula
reguladora de llenado y la cantidad de presión neumática negativa a
través de la válvula reguladora de vacío alrededor del valor de
referencia deseado en respuesta a la señal de retroalimentación. El
regulador de presión proporcional permite un control electrónico
centralizado para la regulación de presiones positiva, negativa o
funciones de ventilación de escape, eliminando así los controles
individuales de los sistemas convencionales y sus componentes
asociados.
Por lo tanto, un regulador de presión
proporcional que realiza la presente invención puede incluir un
conjunto de regulador integrado que desempeña funciones de
ventilación bien de una presión positiva, una presión negativa o de
escape. Además, un conjunto de regulador de presión proporcional que
realiza la invención puede tener un conjunto de circuito de control
que establece dinámicamente un valor de referencia variable en
respuesta a una señal de comando regulando proporcionalmente al
mismo tiempo la presión de salida alrededor del valor de referencia
en respuesta a una señal de retroalimentación. Esta capacidad tiene
aplicación en varias instalaciones industriales en las que es
crítica la combinación de suministro de presión positiva, presión
negativa, y escape con una regulación precisa para el control
altamente preciso del proceso de producción. Por ejemplo la
precisión extrema exigida en la fabricación y pulido de
semiconductores de sílice para la producción de circuitos integrados
o la producción y pulido de medios de disco, tales como unidades de
discos duros, CD-ROMS, y DVDs todos ellos exigen
sistemas que puedan suministrar presión positiva, presión negativa y
ventilación de escape con un control preciso. Las realizaciones de
la presente invención son altamente ventajosas en estos o similares
entornos en los que su diseño simplifica los sistemas complejos
activados neumáticamente, facilitan el mantenimiento y reducen
costes. De esta manera, las realizaciones del conjunto de regulador
de presión proporcional de la presente invención aportan eficacia,
precisión y reducción de costes en los procesos de producción.
Otras ventajas de la invención se apreciarán
fácilmente a medida que la misma llegue a entenderse mejor haciendo
referencia a la siguiente descripción detallada cuando se considera
en conexión con los dibujos adjuntos, en los que:
La figura 1 es una vista desde arriba del
conjunto regulador de presión proporcional de la presente
invención;
La figura 2 es una vista lateral del conjunto
regulador de presión proporcional de la presente invención;
La figura 3 es otra vista lateral del conjunto
regulador de presión proporcional de la presente invención;
La figura 4 es otra vista lateral del conjunto
regulador de presión proporcional de la presente invención;
La figura 5 es una vista en sección transversal
de arriba abajo del cuerpo principal del conjunto regulador de
presión proporcional de la presente invención tomada sustancialmente
a lo largo de las líneas 5-5 de la figura 2 ó 4 que
muestra canalizaciones de flujo internas;
La figura 6 es una vista en sección transversal
lateral del cuerpo principal del conjunto regulador de presión
proporcional de la presente invención que muestra canalizaciones de
flujo internas;
La figura 7A es una vista en sección transversal
tomada a lo largo de las líneas 7A-7A de la figura 1
que muestra la válvula reguladora de llenado del conjunto regulador
de presión proporcional de la presente invención en la posición
desexcitada y la configuración normalmente abierta;
La figura 7B es una vista lateral en sección
transversal tomada a lo largo de las líneas 7B-7B de
la figura 1 que muestra la válvula reguladora de llenado del
conjunto regulador de presión proporcional de la presente invención
en la posición desexcitada y la configuración normalmente
cerrada;
La figura 7C es una vista lateral en sección
transversal detallada tomada a través de la válvula reguladora de
llenado del conjunto regulador de presión proporcional de la
presente invención en la posición desexcitada;
La figura 7D es una vista lateral en sección
transversal que ilustra la válvula reguladora de llenado del
conjunto regulador de presión proporcional de la presente invención
en la posición excitada;
La figura 8A es una vista lateral en sección
transversal tomada a lo largo de las líneas 8A-8A de
la figura 1 que muestra la válvula de escape del conjunto regulador
de presión proporcional de la presente invención en la posición
desexcitada y la configuración normalmente cerrada;
La figura 8B es una vista lateral en sección
transversal tomada a lo largo de las líneas 8B-8B de
la figura 1 que muestra la válvula de escape del conjunto regulador
de presión proporcional de la presente invención en la posición
desexcitada y la configuración normalmente abierta;
La figura 8C es una vista lateral en sección
transversal detallada que ilustra la válvula de escape del conjunto
regulador de presión proporcional de la presente invención en la
posición desexcitada;
La figura 8D es una vista lateral en sección
transversal detallada que ilustra la válvula de escape del conjunto
regulador de presión proporcional de la presente invención en la
posición excitada;
La figura 9A es una vista lateral en sección
transversal tomada a lo largo de las líneas 9A-9A de
la figura 1 que muestra la válvula reguladora de vacío del conjunto
regulador de presión proporcional de la presente invención en la
posición desexcitada;
La figura 9B es una vista lateral en sección
transversal detallada que ilustra la válvula reguladora de vacío
del conjunto regulador de presión proporcional de la presente
invención en la posición desexcitada;
La figura 9C es una vista lateral en sección
transversal detallada que ilustra la válvula reguladora de vacío
del conjunto regulador de presión proporcional de la presente
invención en la posición excitada;
La figura 10 es un diagrama de bloques
esquemático del circuito de control del conjunto regulador de
presión proporcional de la presente invención; y
La figura 11 es una vista lateral de una serie
de conjuntos reguladores de presión proporcional de la presente
invención montados en una base común.
Una realización del conjunto regulador de
presión proporcional de la presente invención se indica generalmente
en 10 en las figuras 1-10, en las que se utilizan
números similares para designar componentes similares en sus
diversos modos operacionales. El conjunto 10 regulador de presión
neumática proporcional de la presente invención incluye un cuerpo
principal, indicado generalmente en 12, una válvula reguladora de
llenado, indicada generalmente en 14, una válvula de escape,
indicada generalmente en 16, una válvula reguladora de vacío,
indicada generalmente en 20, una placa de función, indicada
generalmente en 22, y un conjunto de circuito de control, indicado
generalmente en 24. La válvula 14 reguladora de llenado actúa para
proporcionar una presión positiva predeterminada a un dispositivo
accionado neumáticamente aguas abajo en respuesta a una señal de
comando. Por otra parte, la válvula 20 reguladora de vacío actúa
para proporcionar una presión negativa predeterminada al
dispositivo accionado neumáticamente aguas abajo en respuesta a una
señal de comando. La válvula 16 de escape actúa para proporcionar
una ventilación de presión neumática en momentos predeterminados en
respuesta a una señal de comando. La placa 22 de función actúa para
simplificar el conjunto global. El conjunto 24 de circuito de
control proporciona señales de control para controlar el
funcionamiento de cada una de las válvulas 14, 16, y 20. Cada uno
del cuerpo 12 principal, la válvula 14 reguladora de llenado, la
válvula 16 de escape, la válvula 20 reguladora de vacío, la placa
22 de función, y el conjunto 24 de circuito de control se
describirán más adelante en mayor detalle.
En referencia específicamente a las figuras
1-4, el cuerpo 12 principal está definido por dos
pares de paredes 30, 32 y 34, 36 laterales opuestas, y una cara 38
superior y una cara 40 inferior que se extienden entre los dos
pares de paredes laterales. El cuerpo 12 principal tiene una primera
entrada 50 adaptada para la comunicación fluida con un suministro
de presión neumática positiva, una segunda entrada 52 adaptada para
la comunicación fluida con un suministro de presión neumática
negativa, al menos una salida 54 adaptada para la comunicación
fluida con al menos un dispositivo accionado neumáticamente, y un
orificio 56 de escape. Las entradas 50, 52 están formadas en la
pared 30 lateral del cuerpo 12 principal, y están roscadas
internamente para adaptarse a una conexión roscada correspondiente
con tubos o tuberías que proporcionan las fuentes de presiones
positiva y negativa según sea necesario por la aplicación
particular. La salida 54 está formada en la pared 36 lateral y el
orificio 56 de escape está formado en la pared 34 lateral y ambos
están roscados de una manera similar a las entradas 50, 52. El
cuerpo 12 principal tiene una serie de canalizaciones internas que
proporcionan comunicación fluida desde los orificios mencionados
anteriormente hasta las válvulas. Estas canalizaciones internas
como se describirán más adelante en mayor detalle. Los expertos en
la técnica deben apreciar que puede utilizarse una variedad de
interfases de conexión o ajustes para establecer la comunicación
fluida entre la presente invención y las fuentes de presión de
suministro. También debe apreciarse que puede ser deseable
adicionalmente, basándose en la aplicación, dejar escapar las
presiones como una ventilación directa hacia la atmósfera ambiental
inmediata que rodea al conjunto 10 regulador de presión proporcional
de modo que no sea necesario roscar el orificio 56 de escape para
su conexión a los tubos, o a un circuito de tuberías, para la
ventilación a distancia.
La válvula 14 reguladora de llenado del
regulador 10 de presión proporcional está soportada en el cuerpo 12
principal y está en comunicación fluida con el primer orificio 50 de
entrada y la salida 54. La válvula 14 reguladora de llenado está
adaptada para regular el suministro de presión positiva a un valor
predeterminado desde el primer orificio 50 de entrada a través de
la salida 54 hasta un dispositivo accionado neumáticamente cuando
se acciona la válvula 14 reguladora de llenado. La válvula 16 de
escape también está soportada en el cuerpo 12 principal y está en
comunicación fluida con la salida 54 y se puede operar para dejar
escapar presión desde la salida 54 a través del orificio 56 de
escape cuando se acciona la válvula 16 de escape.
La válvula 14 reguladora de llenado y la válvula
16 de escape son ambas válvulas estructuralmente de cuatro vías que
se utilizan en la realización preferente de una manera particular,
de modo que funcionan como válvulas de dos vías. Los expertos en la
técnica deben apreciar que también pueden usarse válvulas de dos y
tres vías en la presente invención sin apartarse del alcance de la
invención. Sin embargo, en la realización particular descrita en el
presente documento, el uso de una válvula de cuatro vías en la
realización preferente permite una trayectoria de salida doble, lo
que proporciona mayor capacidad de flujo.
La válvula 14 reguladora de llenado y la válvula
16 de escape tienen cada una sustancialmente la misma estructura,
de manera que la siguiente descripción detallada de la válvula 14
reguladora de llenado tal como se muestra en las figuras 7C y 7D
también es aplicable a la válvula 16 de escape representada en las
figuras 8C y 8D, en las que los componentes similares están
indicados con números de referencia aumentados en 100. Haciendo
referencia ahora específicamente a las figuras 7A y 7B, la válvula
14 reguladora de llenado incluye un cuerpo 60 de válvula y un
accionador electromagnético, indicado generalmente en 62, montado en
el cuerpo 60 de válvula. El cuerpo 60 de válvula tiene una forma
rectangular fina que define superficies superior 64 e inferior 66,
un par de superficies 68, 70 laterales opuestas que se extienden
entre las superficies superior 64 e inferior 66, y las superficies
72, 74 de extremo. El accionador 62 puede hacerse operar para mover
selectivamente la válvula 14 reguladora de llenado desde una
primera posición hasta una segunda posición, y puede hacerse operar
adicionalmente para mover la válvula 14 reguladora de llenado de
nuevo desde la segunda posición hasta la primera posición tal como
se describirá más adelante en mayor detalle.
El cuerpo 60 de válvula incluye un orificio 82
de entrada para la comunicación con la fuente de aire presurizado a
través del primer orificio 50 de entrada en el cuerpo 12 principal.
Un agujero 80 de válvula se extiende axialmente a través del cuerpo
60 de válvula. Dado que la válvula es de una configuración de cuatro
vías, el cuerpo 60 de válvula incluye dos orificios 86, 88 de
cilindro, cada uno con un orificio 84 y 90 de escape
correspondiente, respectivamente. Todos estos orificios 82, 84, 86,
88, y 90 están en comunicación fluida con el agujero 80 de válvula
y están formados, en esta realización preferente, a través de la
superficie 66 inferior del cuerpo 60 de válvula. Sin embargo, tal
como se tratará más adelante, la colocación respectiva de la
válvula 14 reguladora de llenado y la válvula 16 de escape en el
cuerpo 12 principal, y la orientación de la placa 22 de función,
conecta uno de los orificios de cilindro al orificio de entrada y
también bloquea un orificio de escape, haciendo así que la válvula
actúe con funcionalidad de dos vías.
Tal como se muestra en detalle en las figuras 7C
y 7D, el agujero 80 de válvula se extiende completamente a través
del cuerpo 60 de válvula para presentar un par de extremos 92, 94
abiertos. Un elemento de válvula, indicado generalmente en 96,
puede moverse entre posiciones predeterminadas dentro del agujero 80
de válvula para dirigir selectivamente el aire presurizado desde el
orificio 82 de entrada a través de los orificios 86, 88 de cilindro
y los orificios 84, 90 de escape, tal como se describirá más
adelante en mayor detalle. Un par de insertos 98 y 100 del
dispositivo de retención de extremo están alojados en el par de
extremos 92, 94 abiertos, respectivamente, del cuerpo 60 de válvula
y actúan para retener el elemento 96 de válvula dentro del agujero
80 de válvula, tal como se describirá más adelante en mayor detalle.
De manera similar, el conjunto de válvula puede incluir uno o más
dispositivos de retención internos que están colocados roscadamente
dentro del agujero 80 de válvula. En la realización ilustrada en el
presente documento, el conjunto 14 de válvula incluye el
dispositivo 102 de retención interno que está colocado roscadamente
dentro del agujero 80 de válvula.
El elemento 96 de válvula incluye además un par
de cabezas 110, 112 de válvula opuestas dispuestas en cada extremo
del elemento 96 de válvula y estando formado al menos un elemento de
válvula en el elemento 96 de válvula entre las cabezas 110, 112 de
válvula. Una pluralidad de elementos 114, 116, 118, y 120 de válvula
están formados en el elemento 96 de válvula y cada uno puede
hacerse operar para dirigir selectivamente un flujo de aire
presurizado desde el orificio 82 de entrada a través del agujero 80
de válvula hasta el cilindro respectivo, o los orificios 86, 88, de
salida. El elemento 96 de válvula incluye además hendiduras 122
anulares que alojan juntas 124 de tipo tórica, que se enganchan de
manera deslizante a las aberturas 126, 128 de agujero central,
respectivamente, de los dispositivos 98 y 100 de retención de
extremo para evitar la fuga del aire presurizado dentro del agujero
80 de válvula. Los dispositivos 98, 100 de retención de extremo
también están sellados al cuerpo 60 de válvula mediante una junta
104 de tipo tórica ajustada dentro de una hendidura 108 anular
cortada alrededor del agujero 94 de extremo. En la realización
preferente, el elemento 96 de válvula es un inserto de aluminio que
está sobremoldeado con un material elástico adecuado tal como
caucho, o cualquier elastómero conocido, en los lugares apropiados.
Más específicamente, los expertos en la técnica deben apreciar que
el material de la superficie de sellado puede estar hecho de
cualquier composición conocida que sea ligeramente productivo,
aunque altamente elástico, tal como el nitrilo, que pueda unirse o
sobremoldearse con el elemento 96 de válvula.
Los insertos 98 y 100 del dispositivo de
retención de extremo incluyen cada uno una pluralidad de
canalizaciones 106 de cilindro definidas en el diámetro de los
dispositivos de retención que están separadas radialmente unas con
respecto a otras. Las canalizaciones 106 de cilindro proporcionan
comunicación fluida entre el agujero 96 de válvula y los orificios
adyacentes respectivos. Un elemento 130 de empuje, tal como un
muelle espiral, está colocado entre el inserto 98 del dispositivo
de retención de extremo con forma de copa y una cavidad 132 formada
en la cabeza 110 de válvula del elemento 96 de válvula. El elemento
130 de empuje aplica una fuerza de empuje constante contra el
elemento 96 de válvula y hacia la derecha tal como se observa en la
figura 7C.
Una pluralidad de asientos 134, 136, 138, y 140
de válvula están presentes en el agujero 96 de válvula. Los
asientos 134, 136, 138, y 140 de válvula cooperan con los elementos
114, 116, 118, y 120 de válvula, respectivamente, para sellar las
diversas canalizaciones en el cuerpo 80 de válvula tal y como se
tratará más adelante en mayor detalle. Los asientos 134, 136, 138,
y 140 de válvula proporcionan un contacto de sellado con las
superficies de sellado de la válvula de los elementos 114, 116,
118, y 120 de válvula cuando el elemento 96 de válvula está en una
posición cerrada, con respecto a un orificio de salida particular,
interrumpiendo así el flujo de aire presurizado a ese orificio.
Una pluralidad de asientos 134, 136, 138, y 140
de válvula, mostrados en las figuras 7C y 7D, pueden estar formados
directamente en el propio agujero 96 de válvula como es en el caso
del asiento 138 de válvula, mientras que otros (por ejemplo los
asientos 134, 136 y 140 de válvula pueden estar dispuestos sobre los
insertos 98, 100 de retención finales y sobre el inserto 102 de
retención interior. Los insertos 98, 100 y 102 de retención pueden
estar situados ajustadamente dentro del agujero 96 de válvula del
cuerpo 60 de válvula, que tienen interacción roscable con los
extremos 92, 94 o cualquier otra parte adecuada del agujero 96 de
válvula. Como se expuso anteriormente, cada uno de los insertos 98,
100 de retención extremos tiene un agujero 126, 128 central que
recibe las cabezas 110, 112 opuestas del elemento 96 de válvula y le
permite desplazarse deslizantemente dentro del cuerpo 60 de
válvula. De esta manera, la posición establecida roscadamente de los
insertos 98, 100 de retención extremos dentro del cuerpo 60 de
válvula controla la impermeabilización de los asientos de válvula
con una fuerza lineal dada aplicada al elemento 96 de válvula. Los
insertos 98, 100 de retención extremos incluyen además surcos 144 y
146 anulares que reciben juntas 148 de tipo junta tórica para
prevenir fugas de aire presurizado dentro del agujero 80 de
válvula. Por otra parte, las posiciones a las que el inserto 102 de
retención interior se ajusta roscadamente definen las posiciones
predeterminadas de "abierto" y "cerrado" del conjunto 14
de válvulas y así se ajusta la longitud de la carrera del elemento
96 de válvula. Y, como los insertos de retención extremos, el retén
103 interior también puede incluir un surco 150 anular que se esté
adaptado para recibir una junta 152 de tipo junta tórica para
prevenir fugas de aire presurizado dentro del agujero 80 de
válvula.
En la realización preferente, el agujero 128
central del inserto 100 de retención del extremo, que recibe la
cabeza 112 de válvula del elemento 96 de válvula, también se
extiende completamente a través del dispositivo de retención lo que
permite que el conjunto 62 de accionador se acople, y por tanto
accione, al elemento 96 de válvula. Tal como se muestra para fines
de ilustración únicamente, esto puede llevarse a cabo mediante el
uso de una clavija 156 a presión del accionador que tiene una cabeza
158 alargada que se extiende hacia el inserto 100 de retención para
enganchar y accionar el elemento 96 de válvula. Los expertos
habituales en la técnica deben apreciar que los medios de
accionamiento específicos utilizados para proporcionar fuerza
motriz al elemento 96 de válvula se encuentran más allá del alcance
de la presente invención. En consecuencia, debe apreciarse
adicionalmente que puede emplearse cualquier número de tipos
diferentes de elementos accionadores, en lugar de una clavija a
presión, basándose en los medios accionadores utilizados. Un
conjunto de solenoide, indicado generalmente en 78, se usa para
accionar selectivamente el elemento 96 de válvula dentro del agujero
80 de válvula en el sentido opuesto a la fuerza de empuje del
elemento 130 de empuje. De esta manera, el conjunto 78 de solenoide
impulsa el elemento de válvula hacia la izquierda, tal como se
muestra en la figura 7D, y el elemento 130 de empuje devuelve al
elemento 96 de válvula a su posición original (hacia la derecha, en
la figura 7C) cuando el solenoide 78 está desactivado. El conjunto
78 de solenoide puede ser de cualquier tipo adecuado, por ejemplo
tal como se describe en mayor detalle en la patente estadounidense
número 6.192.937. Como alternativa, el accionador puede ser un
solenoide electromagnético que tiene una armadura flotante con
empuje de movimiento perdido, tal como se describe en las patentes
estadounidenses de la técnica anterior números 4.438.418 ó
3.538.954. Cada una de estas patentes están transferidas al
cesionario de la presente invención y las descripciones de esas
patentes se incorporan al presente documento como referencia.
Tal como se ha mencionado anteriormente, la
estructura de la válvula 16 de escape es sustancialmente similar a
la válvula 14 reguladora de llenado e incluye los mismos componentes
que la válvula 14 reguladora de llenado descrita anteriormente, de
modo que se utilizan los mismos números de referencia aumentados en
100 en las figuras 8A - 8D para representar la válvula 16 de
escape. Tal como también se ha mencionado anteriormente, la
construcción de cuatro vías de la válvula 14 reguladora de llenado
(y la válvula 16 de escape) se convierte operativamente en una
función de dos vías mediante la orientación de la placa 22 de
función. La orientación de la placa 22 de función también determina
si la válvula está en un estado normalmente abierto o normalmente
cerrado.
Para enviar el flujo de presiones desde las
entradas 50, 52 y el escape 56 hasta la salida 54, el cuerpo 12
principal incluye además una serie de canalizaciones internas. Las
figuras 5, 6 y 7A a 9C muestran las diversas canalizaciones de
flujo a través del cuerpo 12 principal. Tal como se ha mencionado
anteriormente, el cuerpo principal incluye una cara 38 superior y
una cara 40 inferior y para fines de esta discusión, aunque se hace
referencia a la figura 5, se considerará que estas superficies se
establecen en el plano horizontal. Por tanto, tal como se muestra
en las figuras 5 y 6, las primeras canalizaciones de entrada del
cuerpo 12 principal incluyen una primera canalización 300 de
entrada horizontal y una primera canalización 302 de entrada
vertical. La primera canalización 300 de entrada proporciona
comunicación fluida entre el primer orificio 50 de entrada y la
primera canalización 302 de entrada vertical. La primera
canalización 302 de entrada vertical está conectada
cooperativamente a la válvula 14 reguladora de llenado, de modo que
la fuente de presión positiva entrante en la entrada 50 está
comunicada con la válvula 14 reguladora de
llenado.
llenado.
Las segundas canalizaciones de entrada del
cuerpo 12 principal incluyen una segunda canalización 304 de entrada
horizontal, una segunda canalización 306 de entrada vertical, y una
canalización 308 de entrada intermedia horizontal. La segunda
canalización 304 de entrada horizontal está en comunicación fluida
con el segundo orificio 52 de entrada y la canalización 308 de
entrada intermedia horizontal. La canalización 308 de entrada
intermedia horizontal está conectada a la segunda canalización 306
de entrada vertical, que adicionalmente está conectada
cooperativamente a la válvula 20 reguladora de vacío, de modo que la
fuente de aire presurizado entrante en la segunda entrada 52 está
comunicada con la válvula 20 reguladora de vacío.
Las canalizaciones de escape del cuerpo 12
principal incluyen un par de canalizaciones 310, 312 de escape
verticales y una canalización 314 de escape principal. La
canalización 314 de escape principal proporciona comunicación
fluida entre el orificio 56 de escape y la válvula 16 de escape a
través del par de canalizaciones 310, 312 de escape verticales, de
modo que la fuente de presión de ventilación o atmosférica al
orificio 56 de escape está comunicada con la válvula 16 de
escape.
Las canalizaciones de salida dentro del cuerpo
12 principal incluyen una canalización 320 de carga principal, un
par de primeras canalizaciones 322 y 324 de carga horizontales, un
par de primeras canalizaciones 326 y 328 de carga verticales, una
segunda canalización 330 de carga horizontal, una segunda
canalización 332 de carga vertical, una canalización 334 de
descarga vertical, y una canalización 336 de retroalimentación. El
orificio 54 de salida está conectado directamente a, y en
comunicación fluida con, la canalización 320 de carga principal, de
modo que el estado de la canalización 320 de carga principal, pese a
tener presión positiva, presión negativa, o presión de escape
(atmosférica), está comunicada con cualquier dispositivo aguas abajo
conectado a la salida 54. Las canalizaciones de salida están
interconectadas y en comunicación fluida con la canalización 320 de
carga principal, tal como sigue. El par de primeras canalizaciones
326, 328 de carga verticales está en comunicación fluida con las
salidas de la válvula 14 reguladora de llenado y está conectada
individual y respectivamente al par de las primeras canalizaciones
322, 324 de carga horizontales. El par de primeras canalizaciones
322, 324 de carga horizontales también está conectado a la
canalización 320 de carga principal, de modo que se proporciona una
fuente de aire presurizado a la salida 54 desde la válvula 14
reguladora de llenado cuando se acciona la válvula 14 reguladora de
llenado.
La segunda canalización 332 de carga vertical
está en comunicación fluida con la salida de la válvula 20
reguladora de vacío y la segunda canalización 330 de carga
horizontal, que también está conectada a la canalización 320 de
carga principal, de modo que se proporciona una fuente negativa de
aire presurizado a la salida 54 desde la válvula 20 reguladora de
vacío cuando se acciona la válvula 20 reguladora de vacío.
La canalización 334 de escape vertical está en
comunicación fluida con las salidas de la válvula 16 de escape y la
segunda canalización 330 de carga horizontal, que también está
conectada a la canalización 320 de carga principal, de modo que se
proporciona una trayectoria de escape, o fuente de presión de
ventilación atmosférica a la salida 54 desde la válvula 16 de
escape. De esta manera, la canalización 320 de carga principal y,
por tanto, la salida 54 se descarga, o ventila, cuando se acciona
la válvula 16 de escape.
La canalización 336 de retroalimentación
proporciona comunicación fluida entre la segunda canalización 330
de carga horizontal y un transductor de presión del conjunto 24 de
circuito de control para proporcionar una señal de presión de
retroalimentación, tal como se tratará más adelante en mayor
detalle. Por tanto, se dota a la canalización 320 de carga
principal, y de ese modo a la salida 54 con presión positiva,
presión negativa, o escape, dependiendo del funcionamiento del
conjunto 10 regulador de presión proporcional.
Tal como se ilustra en las figuras, y tal como
deben apreciar los expertos habituales en la técnica, algunas de
las canalizaciones dentro del cuerpo 12 principal se extienden hasta
las superficies exteriores del cuerpo 12 principal y están cerradas
mediante una pluralidad de tapones 340. Esto es meramente
representativo de las perforaciones necesarias realizadas en la
forma sólida del cuerpo 12 principal para crear las canalizaciones
internas descritas anteriormente. Debe apreciarse adicionalmente que
las perforaciones pasantes y los tapones 340, tal como se muestra,
no son limitativos, ya que pueden ser posibles otras técnicas de
fabricación que eliminarían estas características, pero que no se
apartarían del espíritu y el alcance de la presente invención.
La placa 22 de función está situada generalmente
entre el cuerpo 12 y una válvula 14, 16 reguladora asociada. La
placa 22 de función incluye una serie de canalizaciones 350, 352, y
354 internas. La placa 22 de función es asimétrica con respecto a
un eje, de manera que puede insertarse entre una válvula y cualquier
variedad de superficie de montaje que también tienen canalizaciones
de fluido de modo que la orientación de la placa de función
determina si la válvula opera en una configuración normalmente
abierta o normalmente cerrada. El uso de una placa 22 de función
simplifica el montaje y elimina la necesidad de más de un tipo o
configuración de válvula. En la presente invención, la placa 22 de
función es dúplex o está duplicada, lo que permite que se dispongan
dos válvulas en ella de una vez y se ajuste operativamente el estado
normal de cada válvula. Específicamente, tal como puede observarse
en las figuras 4, 6, 7A, 7B, 8A, y 8B la placa 22 de función está
dispuesta dentro de una cavidad 344 de la cara 38 superior del
cuerpo 12 principal. La placa 22 de función proporciona dos juegos
de canalizaciones laterales, derecho e izquierdo (tal como se
observa en las figuras 5, 7A, 7B, 8A, y 8B) que interconectan la
válvula 14 reguladora de llenado y la válvula 16 de escape con el
cuerpo 12 principal, tal como se describirá más adelante en mayor
detalle.
Más específicamente, tal como se muestra mejor
en la vista en sección transversal de la válvula 14 reguladora de
llenado en la figura 7A, hay una primera serie de aberturas
perforadas y moleteadas que se combinan para formar tres
canalizaciones 350, 352, y 354 internas dentro de la placa 22 de
función que afectan a la válvula 14 reguladora de llenado dispuesta
inmediatamente por encima de las canalizaciones. Asimismo, tal como
se muestra mejor en la vista en sección transversal de la válvula
16 de escape en la figura 8A, hay una segunda serie de aberturas
perforadas y moleteadas que se combinan para formar otro grupo de
tres canalizaciones 450, 452, 454 internas similares, pero
invertidas, dentro de la placa 22 de función que afectan a la
válvula 16 de escape dispuesta inmediatamente por encima.
Específicamente en la figura 7A, la canalización central en la
placa 22 de función es la canalización 350 de entrada, que abre el
orificio 82 de entrada y el orificio 88 de cilindro de la válvula
14 reguladora de llenado al aire presurizado entrante desde la
entrada 50 a través de las canalizaciones internas del cuerpo 12
principal, tal como se describió anteriormente. La canalización 352
izquierda y la canalización 354 derecha en la placa 22 de función
proporcionan canalizaciones de salida dobles desde la válvula 14
reguladora de llenado hasta las canalizaciones de salida del cuerpo
12 principal, tal como se describió anteriormente. Todavía en
referencia a la figura 7A, la placa 22 de función está orientada
para hacer que la válvula 14 reguladora de llenado esté en un estado
normalmente abierto. Específicamente, las canalizaciones internas
del bloque 22 de función proporcionan en primer lugar la
comunicación fluida directa entre el orificio 82 de entrada y el
orificio 88 de cilindro. El orificio 86 de cilindro y el orificio 90
de escape están conectados a la salida 54 y el orificio 84 de
escape está cegado. Por tanto, con el accionador 62 desexcitado y
el elemento 130 de empuje influyendo sobre el elemento 96 de válvula
hacia la derecha, los elementos 114 y 118 de válvula están
asentados selladamente contra los asientos 134 y 138 de válvula. Por
tanto, se administra presión positiva entrante a través de la
entrada 50 y se alimenta a través del orificio 82 de entrada pasado
el asiento 136 de válvula abierto y hacia el orificio 86 de cilindro
y fuera de la salida 54. Simultáneamente, la presión positiva
entrante también se alimenta hacia arriba a través del orificio 88
de cilindro pasado el asiento 140 de válvula abierto y fuera del
orificio 90 de escape hasta la salida 54.
Cuando el accionador 62 está excitado, tal como
se muestra en detalle en la figura 7D, la clavija 156 a presión
impulsa el elemento 96 de válvula hacia la izquierda, los elementos
114 y 118 de válvula se levantan de sus asientos 134 y 138 de
válvula y los elementos 116 y 120 de válvula se asientan
selladamente contra los asientos 136 y 140 de válvula. Por tanto,
la presión positiva entrante desde la entrada 50 que se alimenta a
través del orificio 82 de entrada se detiene en el asiento 136 de
válvula cerrado y simultáneamente, la presión positiva entrante que
se alimenta hacia arriba a través del orificio 88 de cilindro se
detiene en el asiento 140 de válvula cerrado. Aunque el asiento 138
de válvula está abierto en este momento, es simplemente entre los
dos orificios 82 y 88 presurizados y no tiene efecto sobre la
salida de la válvula 14.
La válvula 14 reguladora de llenado está
ilustrada en un estado normalmente cerrado en la figura 7B. Esto se
lleva a cabo mediante la reorientación de la placa 22 de función
(rotando la placa 180 grados en el plano horizontal) dentro del
cuerpo 12 principal, de modo que las canalizaciones internas de
izquierda a derecha (tal como se ilustra) están invertidas. En
otras palabras, ahora hay una comunicación fluida directa entre el
orificio 82 de entrada y el orificio 86 de cilindro. El orificio 84
de escape y el orificio 88 de cilindro están conectados a la salida
54 y el orificio 90 de escape está cegado. Con el accionador 62
desexcitado y el elemento 130 de empuje influyendo en el elemento
96 de válvula hacia la derecha, los elementos 114 y 118 de válvula
se asientan selladamente contra los asientos 134 y 138 de válvula.
Sin embargo, como la presión positiva entrante se administra ahora
a través de la entrada 50 y se alimenta a través del orificio 82 de
entrada, se detiene en el asiento 138 de válvula cerrado y
simultáneamente, la presión positiva entrante que también se
alimenta hacia arriba a través del orificio 86 de cilindro, se
detiene en el asiento 134 de válvula cerrado. Aunque el asiento 136
de válvula está abierto en este momento, es simplemente entre los
dos orificios 82 y 86 presurizados y no tiene efecto en la
salida.
Cuando el accionador 62 está excitado y la
clavija 156 a presión impulsa el elemento 96 de válvula hacia la
izquierda, los elementos 114 y 118 de válvula se levantan de sus
asientos 134 y 138 de válvula y los elementos 116 y 120 de válvula
se asientan selladamente contra los asientos 136 y 140 de válvula.
Por tanto, la presión positiva entrante que se administra a través
de la entrada 50 y se alimenta a través del orificio 82 de entrada
fluirá pasado el asiento 138 de válvula abierto y hacia el orificio
88 de cilindro y fuera de la salida 54. Simultáneamente, la presión
positiva entrante que también se alimenta hacia arriba a través del
orificio 86 de cilindro fluirá pasado el asiento 134 de válvula
abierto y fuera del orificio 84 de escape hasta la salida 54. Los
expertos en la técnica deben apreciar que la decisión de tener la
válvula 14 reguladora de llenado operativa o bien como normalmente
abierta o como normalmente cerrada se toma según las necesidades de
la aplicación.
Tal como se ha mencionado anteriormente, la
válvula 16 de escape, tal como se muestra en las figuras 8A, 8B,
8C, y 8D también está soportada en el cuerpo 12 principal y está en
comunicación fluida con la salida 54 y el orificio 56 de escape y
se puede operar para dejar escapar presión desde la salida 54 a
través del orificio 56 de escape cuando se acciona la válvula 16 de
escape. La estructura de la válvula 16 de escape, tal como se
muestra en detalle en las figuras 8C y 8D, es sustancialmente
similar a la válvula 14 reguladora de llenado, y tal como se
representa en las ilustraciones, incluye los mismos componentes que
la válvula 14 reguladora de llenado descrita anteriormente, por lo
que se indican utilizando los mismos números de referencia
aumentados en 100. Por tanto, la válvula 16 de escape opera de la
misma manera que la válvula 14 reguladora de llenado, de manera que
la válvula 16 de escape también incluye un accionador 162 que tiene
un solenoide 178 y un muelle 230 de recuperación. El accionador 162
se puede operar para mover selectivamente la válvula 16 de escape
desde una primera posición hasta una segunda posición en respuesta
a que el solenoide 178 está excitado mediante el conjunto 24 de
circuito de control, y además se puede operar para mover la válvula
16 de escape de nuevo desde la segunda posición hasta la primera
posición mediante la acción del muelle 230 de recuperación en
respuesta al solenoide 178 que está desexcitado.
Tal como se mencionó anteriormente, la placa 22
de función tiene una segunda serie de canalizaciones internas que
afectan operativamente a la válvula 16 de escape. Específicamente,
en referencia a la figura 8A, la canalización central en la placa
22 de función es la canalización 450 de entrada, que abre el
orificio 182 de entrada y el orificio 186 de cilindro de la válvula
16 de escape al aire presurizado entrante desde la entrada 50 a
través de las canalizaciones internas del cuerpo 12 principal, tal
como se describió anteriormente. La canalización 452 izquierda y la
canalización 454 derecha en la placa 22 de función proporcionan
canalizaciones de salida dobles desde la válvula 16 de escape hasta
las canalizaciones de salida del cuerpo 12 principal, tal como se
describió anteriormente. Por tanto, tal como se muestra en la figura
8A, la placa 22 de función está orientada para hacer que la válvula
16 de escape esté en un estado normalmente cerrado. Debe apreciarse
que, en la realización preferente, cuando la placa 22 de función
está orientada de modo que el regulador 14 de llenado esté
normalmente abierto como en la figura 7A, la segunda serie de
canalizaciones internas dentro de la placa 22 de función que
proporcionan comunicación fluida desde la válvula 16 de escape con
el cuerpo 12 principal está construida para configurar que la
válvula 16 de escape esté normalmente cerrada, como en la figura 8A.
De la misma manera, cuando la placa 22 de función está orientada
para proporcionar una configuración normalmente cerrada para la
válvula 14 reguladora de llenado (figura 7B), entonces el lado de la
válvula de escape de la placa 22 de función está configurado para
que esté normalmente abierta (figura 8B). Finalmente, se logra una
junta entre el cuerpo 12 principal y la placa 22 de función
mediante juntas elastoméricas, mostradas en 356 dispuestas en las
hendiduras 358 formadas en el cuerpo 12 principal alrededor de las
aberturas de las canalizaciones internas a la placa 22 de función.
La junta se mantiene adicionalmente desde la placa 22 de función
hasta la válvula 14 reguladora de llenado y la válvula 16 de escape
mediante otra serie de juntas elastoméricas, que se observan en 366
dispuestas en las hendiduras 368 dispuestas en las superficies 66 y
166 inferiores de los cuerpos 60 y 160 de válvula,
respectivamente.
La válvula 14 reguladora de llenado y la válvula
16 de escape están montadas en el cuerpo 12 principal de una manera
tal que presionen selladamente las superficies 66 y 166 inferiores
de las válvulas 14, 16 hacia abajo contra la placa 22 de función
cuando se dispone en la cavidad 342 del cuerpo 12 principal. Por
tanto, los elementos 356 de sellado entre la placa 22 de función y
el cuerpo 12 principal y los elementos 366 de sellado entre los
cuerpos de válvula y la placa 22 de función sellan las
canalizaciones de flujo. Esto se lleva a cabo en la realización
preferente mediante los pasadores 345 de ubicación que se fijan en
agujeros 346 de ubicación en el cuerpo 12 principal y los tornillos
347 de unión de ubicación que se insertan roscadamente en los
agujeros 348 de unión. Estos interaccionan con los puntos 361, 363,
y 461, 463 de ubicación, respectivamente, que son depresiones
cónicas en las superficies 72, 74 y 172, 174 de extremo de las
válvulas 14, 16. Los puntos 361, 363, y 461, 463 de ubicación están
desplazados ligeramente con respecto a las superficies 66 y 166
inferiores de las válvulas 14, 16 y hacia arriba desde los agujeros
346 de ubicación y los agujeros 348 de unión. De esta manera,
cuando los tornillos 347 de unión de ubicación están roscados en los
agujeros 348 de unión, el desplazamiento de los pasadores 344 de
ubicación y los tornillos de unión impulsa el cuerpo 60 de válvula
ligeramente hacia abajo para sellar las canalizaciones de flujo.
Debe apreciarse que, aunque la realización de la presente invención
descrita en el presente documento emplea una única placa 22 de
función que da servicio a dos válvulas, también puede configurarse
con dos placas de función separadas. En este caso, cada una de las
placas de función separadas proporciona las mismas características
de funcionamiento mencionadas anteriormente, pero permiten la
configuración separada de las trayectorias de flujo de la
válvula.
Tal como se muestra mejor en la figura 9, la
válvula 20 reguladora de vacío también está soportada en el cuerpo
12 principal y está en comunicación fluida con el segundo orificio
52 de entrada y la salida 54. La válvula 20 reguladora de vacío
está adaptada para regular el suministro de presión negativa a un
valor predeterminado desde la segunda entrada 52 a través de la
salida 54 hasta un dispositivo accionado neumáticamente cuando se
acciona la válvula 20 reguladora de vacío. La válvula 20 reguladora
de vacío puede estar montada directamente en la superficie 38
superior del cuerpo 12 principal y sin necesidad de una placa de
función, tal como se trató anteriormente. En la realización
preferente, la válvula 20 reguladora de vacío es una válvula de tres
vías en la que se utiliza una de sus trayectorias de salida y la
otra está bloqueada. Tal como se muestra en la figura 9B y 9C, la
válvula 20 reguladora de vacío incluye un cuerpo 460 de válvula que
tiene superficies superior 464 e inferior 466 que definen una forma
rectangular, un par de superficies 468, 470 laterales opuestas que
se extienden entre las superficies 464 y 466 superior e inferior, y
las superficies 472, 474 de extremo. El accionador 462 tiene un
conjunto de solenoide, indicado generalmente en 478, y un muelle 530
de recuperación que se puede operar para mover selectivamente la
válvula 20 reguladora de vacío desde una primera posición hasta una
segunda posición en respuesta a que el solenoide 478 está excitado
mediante el conjunto 24 de circuito de control, y además que se
puede operar para mover la válvula 20 reguladora de vacío de nuevo
desde la segunda posición hasta la primera posición mediante la
acción del muelle 530 de recuperación en respuesta al solenoide 478
que está desexcitado.
El cuerpo 460 de válvula incluye un orificio 482
de entrada para la comunicación con la fuente de aire presurizado a
través del segundo orificio 52 de entrada en el cuerpo 12 principal,
y una salida, u orificio 486 de cilindro para hacer pasar el aire
presurizado hasta la salida 54 en el cuerpo 12 principal, y un
orificio 484 de salida cegado. Un agujero 480 de válvula se
extiende axialmente dentro del cuerpo 460 de válvula. El orificio
482 de entrada y los orificios 484 y 486 de salida están en
comunicación fluida con el agujero 480 de válvula y están formados
a través de la superficie 466 inferior del cuerpo 460 de válvula, en
esta realización preferente. Tal como se muestra en detalle en las
figuras 9B y 9C, el agujero 480 de válvula se extiende completamente
a través del cuerpo 460 de válvula para presentar un par de
extremos 492, 494 abiertos. Un elemento de válvula, indicado
generalmente en 496, puede moverse entre posiciones predeterminadas
dentro del agujero 480 de válvula para dirigir selectivamente aire
presurizado desde el orificio 482 de entrada a través del orificio
484 de cilindro, tal como se describirá más adelante en mayor
detalle. Un par de insertos 498 y 500 del dispositivo de retención
de extremo están alojados en el par de extremos 492, 494 abiertos,
respectivamente, del cuerpo 460 de válvula y actúan para retener el
elemento 496 de válvula dentro de el agujero 480 de válvula, tal
como se describirá más adelante en mayor detalle.
El elemento 496 de válvula incluye además un par
de cabeza 510, 512 de válvula opuestas dispuestas, en cada extremo
del elemento 496 de válvula y estando al menos un elemento 514, 516
de válvula formado en el elemento 496 de válvula entre las cabezas
510, 512 de válvula. Sin embargo, en la realización preferente
ilustrada en estas figuras, se forma una pluralidad de elementos
514, y 516 de válvula en el elemento 496 de válvula y cada uno se
puede operar para dirigir selectivamente un flujo de aire
presurizado desde el orificio 482 de entrada a través del agujero
480 de válvula hasta el orificio 486 de cilindro, o salida. El
elemento 496 de válvula incluye además hendiduras 522 anulares que
alojan juntas 524 de tipo tórica, que se enganchan de manera
deslizante a las aberturas 526, 528 del agujero central,
respectivamente, de los dispositivos 498 y 500 de retención de
extremo para evitar la fuga del aire presurizado dentro del agujero
480 de válvula. En la realización preferente, el elemento 496 de
válvula en un inserto de aluminio que está sobremoldeado con un
material elástico adecuado tal como caucho, o cualquier elastómero
conocido, en los lugares apropiados. Más específicamente, los
expertos habituales en la técnica deben apreciar que el material de
la superficie de sellado puede estar hecho de cualquier composición
conocida que sea ligeramente productivo, aunque altamente elástico,
tal como el nitrilo, que pueda unirse o sobremoldearse al elemento
496 de válvula.
Un elemento 530 de empuje, tal como un muelle
espiral, está colocado entre el inserto 498 del dispositivo de
retención de extremo con forma de copa y una cavidad 532 formada en
la cabeza 510 de válvula del elemento 496 de válvula. El elemento
530 de empuje aplica una fuerza de empuje constante contra el
elemento 496 de válvula y hacia la derecha tal como se observa en la
figura 9B.
Una pluralidad de asientos 534 y 536 de válvula
están presentes en el agujero 496 de válvula. Los asientos 534 y
536 de válvula cooperan con los elementos 514 y 516 de válvula,
respectivamente, para sellar las diversas canalizaciones en el
cuerpo 480 de válvula, tal como se tratará más adelante en mayor
detalle. Los asientos 534 y 536 de válvula proporcionan un contacto
de sellado con las superficies de sellado de la válvula de los
elementos 514 y 516 de válvula cuando el elemento 496 de válvula
está en una posición cerrada, con respecto a un orificio de salida
particular, interrumpiendo de ese modo el flujo de aire presurizado
a ese orificio.
De la pluralidad de asientos 534 y 536 de
válvula mostrados en las figuras 9B y 9C, el asiento 536 de válvula
está formado directamente en el propio agujero 496 de válvula,
mientras que el asiento 534 de válvula está dispuesto en el inserto
498 del dispositivo de retención de extremo. Los insertos 498 y 500
del dispositivo de retención pueden estar colocados de manera
ajustable dentro del agujero 496 de válvula del cuerpo 460 de
válvula, que tiene una interacción roscable con los extremos 492,
494 o cualquier otra parte adecuada del agujero 496 de válvula. Tal
como se trató anteriormente, cada uno de los insertos 498, 500 del
dispositivo de retención de extremo tiene un agujero 526, 528
central que aloja las cabezas 510, 512 opuestas del elemento 496 de
válvula y permite que las cabezas opuestas se muevan de manera
deslizante dentro del cuerpo 460 de válvula. Por tanto, la posición
fijada de los insertos 498, 500 del dispositivo de retención de
extremo dentro del cuerpo 460 de válvula controla el sellado de los
asientos de válvula con una fuerza lineal dada aplicada al elemento
496 de válvula. El inserto 498 del dispositivo de retención de
extremo incluye además hendiduras 544 y 546 anulares que alojan
juntas 548 de tipo tóricas para evitar la fuga del aire presurizado
dentro del agujero 480 de válvula. El cuerpo 460 de válvula incluye
además una hendidura 566 anular, que aloja una junta 568 de tipo
tórica para evitar la fuga del aire presurizado entre el cuerpo 460
de válvula y el dispositivo 500 de retención de extremo.
En la realización preferente, el agujero 528
central del inserto 500 del dispositivo de retención de extremo,
que aloja la cabeza 510 de válvula del elemento 496 de válvula,
también se extiende completamente a través del dispositivo de
retención, lo que permite que el conjunto de solenoide, indicado
generalmente en 478, se enganche, y de ese modo, accione el
elemento 496 de válvula. Tal como se muestra para fines de
ilustración únicamente, esto puede llevarse a cabo mediante el uso
de una clavija 556 a presión del accionador que tiene una cabeza
558 agrandada que se extiende hacia el inserto 500 del dispositivo
de retención para enganchar y accionar el elemento 496 de válvula.
Los expertos en la técnica deben apreciar que los medios de
accionamiento específicos utilizados para proporcionar fuerza
motriz al elemento 496 de válvula se encuentran dentro del alcance
de la presente invención. En consecuencia, debe apreciarse
adicionalmente que puede emplearse cualquier número de tipos
diferentes de elementos accionadores, en lugar de una clavija a
presión, basándose en los medios de accionamiento utilizados. El
conjunto 478 de solenoide se utiliza para accionar selectivamente el
elemento 496 de válvula dentro del agujero 480 de válvula en el
sentido opuesto a la fuerza de empuje del elemento 530 de empuje.
De esta manera, el solenoide 478 impulsa al elemento de válvula
hacia la izquierda, tal como se muestra en la figura 9C, y el
elemento 530 de empuje devuelve al elemento 496 de válvula a su
posición original (hacia la derecha, en la figura 9B) cuando el
solenoide 478 está desactivado. Tal como se observó anteriormente,
el conjunto 478 de solenoide puede ser de cualquier tipo adecuado,
por ejemplo tal como se describe en mayor detalle en la patente
estadounidense número 6.192.937. Como alternativa, el accionador
puede ser un solenoide electromagnético que tiene una armadura
flotante con empuje de movimiento perdido tal como se describe en
las patentes estadounidenses de la técnica anterior números
4.438.418 ó 3.538.954.
Tal como se trató anteriormente y se muestra en
la figura 9A, la válvula 20 reguladora de vacío está en comunicación
fluida con la segunda canalización 306 de entrada vertical del
cuerpo 12 principal en su orificio 482 de entrada, y con la segunda
canalización 322 de carga vertical en su orificio 486 de cilindro.
En la realización preferente, la válvula 20 reguladora de vacío
está configurada en un estado normalmente cerrado. Tal como se
muestra en las figuras 9A y 9B, con el accionador 462 desexcitado y
el elemento 530 de empuje influyendo en el elemento 496 de válvula
hacia la derecha, el elemento 516 de válvula está asentado
selladamente contra los asientos 536 de válvula. Por tanto, cuando
se administra presión negativa entrante a través de la segunda
entrada 52 y se alimenta a través del orificio 482 de entrada, se
detiene en el asiento 536 de válvula cerrado. Obviamente, el
asiento 534 de válvula está abierto en este momento, pero puesto que
el orificio 484 de cilindro está bloqueado, esto no tiene efecto en
la salida.
Cuando el accionador 462 está activado y la
clavija 556 a presión impulsa el elemento 46 de válvula hacia la
izquierda, tal como se muestra en la figura 9C, el elemento 516 de
válvula se levanta de los asientos 536 de válvula, por tanto, la
presión negativa entrante que se administra a través de la entrada
52 y se alimenta a través del orificio 482 de entrada fluirá ahora
pasado el asiento 536 de válvula abierto y hacia el orificio 486 de
cilindro y fuera de la salida 54. Los expertos habituales en la
técnica deben apreciar que la decisión de tener la válvula 20
reguladora de vacío operativa o como normalmente abierta o bien como
normalmente cerrada, se toma según las necesidades de la aplicación
y no constituye una limitación de la presente invención. De esta
manera, se proporciona una fuente de aire presurizado desde la
segunda entrada 52 hasta la salida 54 a través de la válvula 20
reguladora de vacío cuando se acciona la válvula 20 reguladora de
vacío. Se logra una junta entre el cuerpo 12 principal y la válvula
20 reguladora de vacío mediante una junta 356 elastomérica
dispuesta en una hendidura 358 en la superficie 466 inferior del
cuerpo 460 de válvula.
Debe apreciarse que el uso de una única placa 22
de función, tal como se describe en la realización preferente de la
presente invención, no es limitativo. La placa 22 de función puede
realizarse adicionalmente como dos placas separadas, de modo que
las válvulas pueden estar configuradas como normalmente abiertas o
normalmente cerradas, independientemente. Además, puede utilizarse
una placa de función adicional entre la válvula 20 de vacío y el
cuerpo 12 principal si la aplicación requiere que la configuración
en la entrada de vacío pueda cambiarse rápida y fácilmente, de
igual forma que la válvula 14 reguladora de llenado y la válvula 16
de escape.
También debe observarse que en la realización
preferente y tal como se ilustra en las figuras, la colocación de
válvula relativa en el cuerpo 12 principal y su interacción con las
canalizaciones internas del cuerpo 12 principal proporciona un
mayor control y regulación de la presión de entrada positiva, en
contraposición a la presión de entrada negativa. Esta
característica de la presente invención depende de la aplicación y
debe apreciarse adicionalmente que la colocación de las válvulas 14,
16, y 20 en el cuerpo 12 principal puede intercambiarse, de manera
que puede permitirse un mayor control y regulación de la presión de
entrada negativa o de manera que se manejen igualmente el control y
la regulación de ambas entradas de presión.
El funcionamiento del conjunto 10 regulador de
presión proporcional de la presente invención está controlado
mediante el conjunto de circuito de control, indicado generalmente
en 24, en el diagrama de bloques en la figura 10. Debe apreciarse
que el conjunto de circuitos electrónico particular utilizado para
llevar a cabo los siguientes procesos de control electrónicos
descritos puede estar compuesto de cualquier número de componentes
diferentes para lograr los mismos resultados, incluyendo, pero sin
limitarse a, circuitos digitales completa o parcialmente integrados
comprendidos por amplificadores operacionales, diferenciadores,
integradores, y similares, o incluso componentes analógicos o
digitales diferenciados individuales, estando la composición
electrónica particular más allá del alcance de la presente
invención. El conjunto 24 de circuito de control está en
comunicación eléctrica con la válvula 14 reguladora de llenado, la
válvula 16 de escape, y la válvula 20 reguladora de vacío. El
conjunto 24 de circuito de control está adaptado para recibir una
señal 650 de comando, para accionar entonces, o bien la válvula 14
reguladora de llenado, o la válvula 16 de escape, o la válvula 20
reguladora de vacío en respuesta a la señal de comando. El conjunto
24 de circuito de control está adaptado además para recibir una
señal de retroalimentación y para regular la cantidad de presión
neumática positiva a través de la válvula 14 reguladora de llenado
o la cantidad de presión neumática negativa a través de la válvula
20 reguladora de vacío en respuesta a la señal de
retroalimentación.
La señal 650 de comando, como entrada de
control, se suministra al conjunto 24 de circuito de control desde
el dispositivo de aplicación como una solicitud de comando para una
salida de presión positiva, presión negativa, o escape desde el
regulador 10 de presión proporcional de la presente invención. Debe
apreciarse que la señal 650 de comando está generada por algún tipo
de unidad de control electrónica o conjunto de circuitos de comando
del sistema que es responsable del control global del aparato o el
proceso del que la presente invención meramente forma parte. Como
tal, la generación real de la señal 650 de comando está más allá del
alcance de esta invención. El regulador 10 de presión proporcional
está controlado por una variación de la tensión de la señal de
comando entrante. El conjunto 24 de circuito de control está
adaptado para responder a variaciones de tensión de la señal de
comando de entre 0 y 10 voltios, que es representativo de una salida
de presión deseada, tal como se describe más adelante. Tal como se
tratará más adelante, la señal 650 de comando, cuando se aplica al
conjunto 24 de circuito de control, hará que sólo se abra una
válvula en cualquier momento. Sin embargo, en la realización
preferente, la válvula 16 de escape se utiliza cooperativamente y
junto con, o bien la válvula 14 reguladora de llenado o la válvula
20 reguladora de vacío para regular operativamente la presión
positiva o negativa de entrada a las presiones de salida deseadas,
respectivamente. Esta característica proporciona regulación muy
exacta y altamente sensible de las presiones de entrada. Los
expertos habituales en la técnica deben apreciar que esta
característica operativa no es limitativa y sólo es representativa
de la forma de regulación que puede emplearse (o no), dependiendo
de las necesidades de cualquier aplicación
particular.
particular.
Tal como se muestra mejor en la figura 6, el
conjunto 24 de circuito de control incluye una placa 610 de circuito
dispuesta en la pared 32 lateral del cuerpo 12 principal y un
transductor 612 de presión dispuesto dentro de una cavidad 614 en
la cara 40 inferior del cuerpo 12 principal en la pared 32 lateral.
El transductor 612 de presión está retenido y sellado dentro del
cuerpo 12 principal mediante una placa 616 del dispositivo de
retención y dos juntas 618 de tipo tóricas en los lados opuestos del
transductor 612 de presión, tal como se muestra. De esta manera, el
transductor 612 de presión también está dispuesto en la canalización
336 de retroalimentación de dicho cuerpo 12 principal para traducir
la presión de retroalimentación desde la salida 54 en una señal de
retroalimentación.
En referencia de nuevo a la figura 10, la placa
610 de circuito incluye un circuito 622 de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial,
circuitos 624 impulsores reguladores, circuitos 626 de selección de
presión/vacío/escape, y circuitos 628 de filtración de la señal de
comando. Los circuitos 626 de selección de presión/vacío/escape
incluyen además un circuito 634 de control de la válvula reguladora
de llenado, un circuito 636 de control de la válvula de escape, y
un circuito 640 de control de la válvula reguladora de vacío. Los
circuitos 626 de selección de presión/vacío/escape están adaptados
para proporcionar selectivamente tensiones máximas admisibles a los
circuitos 624 impulsores reguladores para evitar que opere una
válvula no seleccionada durante el funcionamiento de una válvula
seleccionada por comando como precaución de seguridad, tal como se
tratará más adelante en mayor detalle.
El circuito 634 de control de la válvula
reguladora de llenado, el circuito 636 de control de la válvula de
escape, y el circuito 640 de control de la válvula reguladora de
vacío se activan y producen las tensiones máximas admisibles
basándose en la señal 650 de entrada de comando entrante. Se
proporciona la señal 650 de entrada de comando que varía entre 0 y
10 voltios de CC (corriente continua). Específicamente, se emplea el
intervalo de 0-3 VCC como comando para vacío, o
presión negativa, el intervalo de 4-10 VCC opera
como comando para presión positiva, y el intervalo de 3,2 a 3,8 VCC
sirve como comando para escape. Por tanto, cuando está presente una
señal 650 de entrada de comando de 4-10 VCC, el
circuito 634 de control de la válvula reguladora de llenado
proporciona la tensión P1. Por otra parte, cuando está presente una
señal 650 de entrada de comando de 3,2 a 3,8 VCC, el circuito 636
de control de la válvula de escape proporciona la tensión D1.
Finalmente, cuando está presente una señal 650 de entrada de
comando de 0 a 3 VCC, el circuito 640 de control de la válvula
reguladora de vacío proporciona la tensión V 1. Debe apreciarse que
la presente invención puede controlarse mediante cualquier
intervalo aplicable de tensión de funcionamiento distinto a
meramente de 1 a 10 voltios. Adicionalmente, también puede llevarse
a cabo el control de la presente invención mediante corriente, en
lugar de tensión. Por ejemplo, la realización no limitativa de la
presente invención descrita en el presente documento puede
adaptarse fácilmente al uso de una señal de control de corriente
variable entre de 4 a 20 mA.
Los circuitos 628 de filtración de la señal de
comando incluyen el circuito 652 de histéresis de la válvula
reguladora de llenado, y el circuito 654 de histéresis de la válvula
reguladora de vacío. Los circuitos 652, 654 de histéresis
proporcionan un pequeño retraso, o banda inactiva, en la capacidad
de respuesta del conjunto 24 de circuito de control para la señal
650 de entrada de comando. Esto es necesario cuando un cambio en la
señal 650 de entrada de comando comanda un cambio en la salida desde
una presión hasta otra, o desde una presión hasta escape, de modo
que no se solapa el accionamiento de las válvulas implicadas.
Específicamente, tal como se mencionó anteriormente, con una señal
650 de entrada de comando que varía entre 0 y 10 VCC
(0-3 VCC para vacío, 4-10 VCC para
presión positiva, y 3,2 - 3,8 VCC para presión atmosférica), los
circuitos de histéresis permiten bandas inactivas en el intervalo
de 3 y 3,2 VCC y en el intervalo de 3,8 y 4 VCC.
Los circuitos 628 de filtración de la señal de
comando también incluyen un circuito 656 de desplazamiento de la
válvula reguladora de llenado, un circuito 658 amplificador de la
válvula reguladora de llenado, y un circuito 660 amplificador de la
válvula reguladora de vacío. El circuito 656 de desplazamiento de la
válvula reguladora de llenado toma la entrada de comando para la
presión positiva que está en el intervalo de 4-10
VCC y elimina el desplazamiento de 4 voltios y ajusta la entrada en
un intervalo correspondiente de 0-6 VCC. El
circuito 658 amplificador de la válvula reguladora de llenado toma
entonces esta señal corregida de desplazamiento y amplía el
intervalo de tensión, de modo que ahora, la señal de comando
correspondiente para la presión positiva caerá dentro de su propio
intervalo de 0-10 VCC. El circuito 660 amplificador
de la válvula reguladora de vacío amplia el intervalo de tensión de
la señal de comando para la presión negativa entre 0 y 3 VCC, de
modo que ahora, la señal de comando correspondiente para la presión
negativa caerá dentro de su propio intervalo de 0-10
VCC.
El circuito 622 de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial
toma su entrada del transductor 612. El transductor 612 está en
comunicación eléctrica con el circuito 622 de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial
en la placa 610 de circuito, y está adaptada para proporcionar una
señal de retroalimentación al circuito 622 de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial
basándose en su detección de la presión de salida en la
canalización 366 de retroalimentación del cuerpo 12 principal. El
circuito 622 de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial
está adaptado además para producir una señal de retroalimentación
compuesta que se proporciona a los circuitos 624 impulsores
reguladores. Se utilizan varias etapas de procesamiento electrónico
para llevar esto a cabo. En primer lugar, la presión detectada por
el transductor se convierte en una tensión positiva utilizando la
misma escala de 0 - 10 VCC que la señal de entrada de comando.
Específicamente, el circuito 622 de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial
impulsa el transductor 612 para proporcionar o bien una tensión
positiva o una negativa, basándose en su detección de, o bien
presión positiva o negativa en la canalización 366 de
retroalimentación. La tensión de salida del transductor 612 se toma
con respecto a su intervalo de medición (es decir, su salida
negativa máxima con respecto a su salida positiva máxima) y se
desplaza y se convierte en una tensión positiva utilizando la misma
escala de 0 - 10 VCC que en la entrada 650 de comando. En otras
palabras, la tensión del transductor convertida se fija para que
corresponda a un valor relativo dentro de 0-3 VCC
para el vacío detectado, de 4-10 VCC para la presión
positiva detectada, y de 3,2 - 3,8 VCC para la presión atmosférica o
de escape.
En segundo lugar, también se proporciona un
fondo de desplazamiento indicativo del valor de la señal de entrada
de comando al circuito 622 de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial,
comparándose este desplazamiento con el valor de la tensión del
transductor convertida para desarrollar un error, o diferencia,
entre la presión detectada por el transductor y la presión
ordenada. Entonces, esta señal de error de retroalimentación se
manipula electrónicamente para producir matemáticamente tanto el
diferencial como la integral instantáneos del valor de la señal de
error. Finalmente, estos tres valores (el error, su integral y su
diferencial) se suman juntos para producir la señal de
retroalimentación de error compuesta que se envía a los circuitos
624 impulsores reguladores. Esta señal de retroalimentación
compuesta calculada es una tensión positiva temporizada que tiene
un primer valor de tensión representativo de la cantidad de ajuste
necesario para impulsar los reguladores para lograr la salida
ordenada, o el punto de referencia (según la entrada de comando), y
en segundo lugar, tiene una duración calculada específicamente para
cronometrar el ajuste del regulador para evitar la sobretensión de
ese punto de referencia. La señal de retroalimentación compuesta del
circuito 622 de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial se
envía a los circuitos 624 impulsores reguladores.
Los circuitos 624 impulsores reguladores están
adaptados para desarrollar operativamente la tensión de
funcionamiento requerida para producir un punto de referencia de
presión de salida deseado en el control del accionador 62 de la
válvula reguladora de llenado, el accionador 162 de la válvula de
escape, o el accionador 462 de la válvula reguladora de vacío en
respuesta a la señal de entrada de comando y para regular el
accionador 62 de la válvula reguladora de llenado, el accionador
162 de la válvula de escape, o el accionador 462 de la válvula
reguladora de vacío en torno al punto de referencia deseado en
respuesta a la señal de retroalimentación compuesta desde el
circuito 622 de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial,
proporcionando así la regulación de la presión de salida en torno a
dicho punto de referencia de la presión de salida. Para este fin,
cada uno de los circuitos 624 impulsores reguladores incluye un
amplificador/diferenciador de comando y un circuito impulsor de la
válvula que controla e impulsa sus válvulas respectivas. Tal como se
muestra adicionalmente en la figura 10, el
amplificador/diferenciador 674 de comando de la válvula reguladora
de llenado recibe la señal de entrada de comando filtrada del
circuito 658 amplificador de la válvula reguladora de llenado y la
señal de retroalimentación compuesta del circuito 622 de
retroalimentación
proporcional-integral-diferencial.
El amplificador/diferenciador 674 de comando de la válvula
reguladora de llenado compara la señal de entrada de comando
filtrada con la señal de retroalimentación compuesta. De esta
manera, el amplificador/diferenciador 674 actúa como un conmutador
de encendido/apagado. Si está presente la entrada de comando para la
presión positiva y la retroalimentación compuesta de la salida es
inferior que la entrada comandada para la presión, entonces se hace
pasar una señal de impulso, o de encendido ("on") al circuito
684 impulsor de la válvula reguladora de llenado. Si la
retroalimentación compuesta es igual o mayor que la entrada de
comando para la presión positiva, o si no se ha comandado presión
positiva, entonces la señal de impulso es de apagado
("off").
El circuito 684 impulsor de la válvula
reguladora de llenado utiliza la señal de impulso del
amplificador/diferen-
ciador 674 para encender y aplicar la tensión necesaria al accionador 62 de la válvula 14 reguladora de llenado. Adicionalmente, tal como se mencionó anteriormente, se envía una entrada de tensión (V1) desde el circuito 640 de control de vacío al circuito 684 impulsor de la válvula reguladora de llenado, de modo que la válvula 14 reguladora de llenado se mantiene en una posición de apagado ("off") durante los periodos en los que la válvula 20 reguladora de vacío se hace operar como precaución de seguridad. Asimismo, el circuito impulsor de la válvula de escape tiene un amplificador 680/diferenciador de comando de válvula de escape y un circuito 690 impulsor de la válvula de escape, y el circuito impulsor de la válvula reguladora de vacío tiene un amplificador/diferenciador 676 de comando de válvula reguladora de vacío y un circuito 686 impulsor de la válvula reguladora de vacío.
ciador 674 para encender y aplicar la tensión necesaria al accionador 62 de la válvula 14 reguladora de llenado. Adicionalmente, tal como se mencionó anteriormente, se envía una entrada de tensión (V1) desde el circuito 640 de control de vacío al circuito 684 impulsor de la válvula reguladora de llenado, de modo que la válvula 14 reguladora de llenado se mantiene en una posición de apagado ("off") durante los periodos en los que la válvula 20 reguladora de vacío se hace operar como precaución de seguridad. Asimismo, el circuito impulsor de la válvula de escape tiene un amplificador 680/diferenciador de comando de válvula de escape y un circuito 690 impulsor de la válvula de escape, y el circuito impulsor de la válvula reguladora de vacío tiene un amplificador/diferenciador 676 de comando de válvula reguladora de vacío y un circuito 686 impulsor de la válvula reguladora de vacío.
Además, el circuito 686 impulsor de la válvula
reguladora de vacío recibe una entrada de tensión (P1) desde el
circuito 634 de control de la válvula reguladora de llenado de modo
que la válvula 20 reguladora de vacío se mantienen en una posición
desconectada ("off") durante los periodos en los que la válvula
14 reguladora de llenado está operando como precaución de
seguridad. El circuito 690 impulsor de la válvula de escape
adicionalmente recibe una entrada de tensión (D1) que puede
cambiarse desde el circuito 634 de control de la válvula de escape
de modo que la válvula 16 de escape pueda seleccionarse manualmente
en una posición desconectada ("off") y no utilizarse. De esta
manera, el conjunto 24 de circuito de control utiliza la señal 650
de entrada de comando para determinar el punto de referencia
deseado de presión positiva, presión negativa, o escape y hace
operar a la válvula particular necesaria para producir el punto de
referencia de presión deseado, mientras se procesa simultáneamente
una señal de retroalimentación desde la salida para regular el
funcionamiento de las válvulas, proporcionando así la regulación de
la presión de salida en torno al punto de referencia de presión de
salida deseado.
La figura 11 representa una realización 700
alternativa de la presente invención, en la que una pluralidad de
reguladores 710 de presión proporcional de la presente invención
están dispuestos en una base 770 común con una cubierta 772. Pero
para la base 770 común, la realización ilustrada en la figura 11 es
idéntica a la ilustrada en las figuras 1 - 10 en todos los aspectos
materiales. Cada regulador 710 de presión proporcional tiene un
cuerpo 712 principal, una válvula 714 reguladora de llenado, una
válvula 716 de escape, una válvula 720 reguladora de vacío, y un
conjunto 724 de circuito de control de estructura similar a la
descrita anteriormente. Cada uno de los cuerpos 712 principales de
los reguladores 710 de presión proporcional tiene una salida 754
para la comunicación fluida para dispositivos neumáticos activos. La
base 770 común tiene una pluralidad de entradas individuales de
presión positiva y negativa, mostradas en 750 y 752, para
proporcionar las fuentes de aire presurizado a cada uno de los
cuerpos 712 principales de los reguladores 710 de presión
proporcional. Debe apreciarse que cada uno de los cuerpos 712
principales de los reguladores 710 de presión proporcional tiene
canalizaciones internas que envían las fuentes de entrada de aire
presurizado, o bien positiva o bien negativa a través de sus
superficies 740 inferiores, de modo que puedan interaccionar con las
canalizaciones de entrada comunes a través de la base común en su
superficie 774 superior. Debe apreciarse adicionalmente que las
salidas 754 individuales también pueden enviarse a través de la base
770 común, y que la base común también puede formarse teniendo
canalizaciones de entrada interconectadas comunes, de modo que sólo
se requiere una canalización para las fuentes de presión positiva y
negativa en un juego de orificios de 750 y 752 entrada, estando los
otros orificios 750, 752 de entrada bloqueados mediante un tapón
adecuado. Debe apreciarse adicionalmente que la base 770 común y la
cubierta 772 también pueden formarse teniendo capacidad para aceptar
cualquier número de reguladores 710 de presión proporcional según
lo requiera la aplicación particular. Esta configuración simplifica
una instalación de aplicación en la que se requiere más de un
regulador 10 de presión proporcional de la presente invención en
proximidad cercana entre sí.
Por tanto, las realizaciones de la presente
invención simplifican el diseño de los sistemas accionados
neumáticamente y supera las desventajas de los diseños de
reguladores de presión convencionales. Una realización del regulador
de presión proporcional de la presente invención logra esto, tal
como se ha descrito en detalle anteriormente, al tener un conjunto
regulador integrado que proporciona, o bien una presión positiva,
una presión negativa, o una capacidad de ventilación de escape.
Además, una realización del conjunto de regulador de la presente
invención puede incluir un conjunto de circuito de control que
establece dinámicamente un punto de referencia de salida variable
en respuesta a una señal de comando mientras que regula
proporcionalmente la presión de salida en torno al punto de
referencia en respuesta a una señal de retroalimentación. Esta
capacidad encuentra aplicación en varias instalaciones industriales
en las que resulta crítico proporcionar una combinación de presión
positiva, presión negativa, y capacidad de escape con regulación
exacta. Por tanto, el conjunto regulador proporcional de la
presente invención puede emplearse, por ejemplo, en la fabricación y
pulido de obleas de silicona para la producción de circuitos
integrados o en la producción y pulido de medios de disco, tales
como discos duros, CDROM, y DVD. Las realizaciones de la presente
invención son sumamente ventajosas en estos o en entornos similares
en los que su diseño integrado simplifica los complejos sistemas
accionados neumáticamente y permite conjuntos integrados más
ajustadamente, más pequeños, facilidad de mantenimiento y costes
reducidos. De esta forma, el conjunto regulador proporcional de la
presente invención conduce a un aumento de la eficacia, la
exactitud y los ahorros en el coste del proceso de producción.
La invención se ha descrito de una manera
ilustrativa. Debe entenderse que se pretende que la terminología
que se ha utilizado sea por cuestiones de redacción de la
descripción en lugar de como limitación. Son posibles muchas
modificaciones y variaciones de la invención a la luz las enseñanzas
anteriores. Por tanto, dentro del alcance de las reivindicaciones
adjuntas, la invención puede ponerse en práctica de otra manera
distinta a la específicamente descrita.
Claims (7)
1. Un conjunto (10) regulador de presión
neumática proporcional que comprende:
- un cuerpo (12) principal que tiene un primer orificio entrada (50) y un segundo orificio de entrada (52), al menos una salida (54) y un orificio (56) de escape;
- una válvula (14) reguladora de llenado en comunicación fluida con el primer orificio de entrada (50) y con la salida (54);
- una válvula (20) reguladora de vacío en comunicación con el segundo orificio (52) de entrada y con la salida (54); un válvula de escape (16) en comunicación fluida con dicha salida (54);
- una placa (22) de función, realizada como una sola placa o como dos placas separadas, recibida en un entrante (342) creado en dicho cuerpo (12) principal; estando situada la placa de configuración de funciones entre el cuerpo principal y la válvula (14) reguladora y la válvula (16) de escape, siendo dicha placa (22) de función situable reversiblemente para determinar una de entre dos posiciones, normalmente abierta y normalmente cerrada de dicha válvula (14) controladora de llenado y dicha válvula (16) de escape, respectivamente, estando tanto la válvula controladora de llenado como la válvula de escape presionadas de manera estanca contra dicha placa de función, y estando situados varios elementos (366) de estancamiento entre la válvula (14) reguladora de llenado, la válvula (16) de escape y la placa (22) de función;
- un circuito (24) de control electrónico en comunicación eléctrica con dicha válvula (14) reguladora de llenado, dicha válvula (20) reguladora de vacío y dicha válvula (16) de escape, y adaptado para recibir una señal de comando y accionar cualquiera de dichas válvulas, válvula (14) reguladora de llenado, válvula (20) reguladora de vacío y válvula (16) de escape, respectivamente, y estando adaptado además para recibir una señal de retroalimentación y para regular proporcionalmente la presión de salida determinada de la señal de comando.
2. Un conjunto (10) regulador de presión
neumática proporcional como el expuesto en la reivindicación 1, en
el que dicho circuito (24) de control electrónico incluye además un
circuito (622) de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial,
circuitos (624) excitadores reguladores, circuitos (626) de
selección de presión/vacío/escape, y circuitos (628) de filtrado
de la señal de comando, adaptados para producir una señal de
retroalimentación compuesta que se proporciona a dichos circuitos
(624) excitadores reguladores.
3. Un conjunto (10) regulador de presión
neumática proporcional como el expuesto en la reivindicación 2, en
el que dichos circuitos (624) excitadores reguladores incluyen un
circuito (684) excitador de la válvula reguladora de llenado, un
circuito (686) excitador de la válvula reguladora de vacío, y un
circuito (690) excitador de la válvula de escape, estando dichos
circuitos excitadores adaptados para desarrollar operativamente el
voltaje de operación necesario para producir un valor de referencia
de la presión de salida deseado controlando el accionador (62) de
la válvula reguladora de llenado, dicho accionador (462) de la
válvula reguladora de vacío, o dicho accionador (162) de la válvula
de escape en respuesta a dicha señal de entrada del comando y
regulando también dicho accionador (62) de la válvula reguladora de
llenado, dicho accionador (462) de la válvula reguladora de vacío,
o dicho accionador (162) de la válvula de escape a un valor de la
presión de salida en el entorno del valor de referencia deseado en
respuesta a dicha señal de retroalimentación compuesta de dicho
circuito (622) de retroalimentación
proporcional-integral-diferencial,
permitiendo de esta manera la regulación de la presión de salida a
un valor en el entorno del valor de referencia deseado.
4. Un conjunto (10) regulador de presión
neumática proporcional como el expuesto en la reivindicación 2 o 3,
en el que dichos circuitos (626) seleccionados de
presión/vacío/escape incluyen un circuito (634) de control de la
válvula reguladora de llenado, un circuito (640) de control de la
válvula reguladora de vacío, y un circuito (636) de control de la
válvula de escape, estando dichos circuitos seleccionados de
presión/vacío/escape adaptados para suministrar los voltajes de
circuito de exclusión a cualquiera de los circuitos (684) excitador
de la válvula reguladora de llenado, (686) excitador de la válvula
reguladora de vacío, o (690) excitador de la válvula de escape en
respuesta a la señal de comando recibida para accionar
individualmente cualquiera de dichas válvulas (14) reguladora de
llenado, válvula (20) reguladora de vacío o válvula (16) de escape,
de manera tal que una válvula no seleccionada es prevenida de operar
durante la operación de una válvula seleccionada por comando como
precaución de seguridad.
5. Un conjunto (10) regulador de presión
neumática proporcional como el expuesto en cualquiera de las
reivindicaciones precedentes, en el que dicha válvula (14)
reguladora de llenado, dicha válvula (20) reguladora de vacío y
dicha válvula (16) de escape incluyen cada una un accionador (62,
462, 162). Cada uno de dichos accionadores separados tiene una
solenoide (78, 478, 178) y un muelle (130, 530, 230) de retorno y
operable para desplazar a voluntad su respectiva válvula desde una
primera posición a una segunda posición en respuesta a dicho
solenoide que está energizado por dicho circuito de control, siendo
operables dichos accionadores separados para, además, desplazar su
respectiva válvula de regreso desde la segunda posición a la primera
posición por la acción de dicho muelle de retorno en respuesta a
dicho solenoide que está desenergizado.
6. Un conjunto (10) regulador de presión
neumática proporcional como el expuesto en la reivindicación 2, en
el que dicho circuito (24) de control electrónico incluye una
tarjeta (610) de circuitos y un transductor (612) que es operativo
para transmitir una señal de presión de retroalimentación a dicha
tarjeta (610) de circuitos de control.
7. Un conjunto (10) regulador de presión
neumática proporcional como el expuesto en cualquiera de las
reivindicaciones precedentes, en el que la válvula (20) reguladora
de vacío está soportada sobre el cuerpo (12) principal.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/365,930 US6772784B1 (en) | 2003-04-11 | 2003-04-11 | Proportional pressure regulator having positive and negative pressure delivery capability |
US365930 | 2003-04-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ES2309647T3 true ES2309647T3 (es) | 2008-12-16 |
Family
ID=32824659
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES05028330T Expired - Lifetime ES2309647T3 (es) | 2003-04-11 | 2004-04-08 | Regulador de presion proporcional que tiene capacidad para suministrar presion positiva y negativa. |
ES04252114T Expired - Lifetime ES2282806T3 (es) | 2003-04-11 | 2004-04-08 | Regulador de presion porporcional que tiene capacidad de administracion de presion positiva y negativa. |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES04252114T Expired - Lifetime ES2282806T3 (es) | 2003-04-11 | 2004-04-08 | Regulador de presion porporcional que tiene capacidad de administracion de presion positiva y negativa. |
Country Status (15)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6772784B1 (es) |
EP (2) | EP1467105B1 (es) |
JP (1) | JP4102329B2 (es) |
KR (1) | KR100670716B1 (es) |
CN (1) | CN100381963C (es) |
AT (2) | ATE355464T1 (es) |
AU (1) | AU2004201461A1 (es) |
BR (1) | BRPI0401096A (es) |
CA (1) | CA2463209C (es) |
DE (2) | DE602004004936T2 (es) |
ES (2) | ES2309647T3 (es) |
HK (1) | HK1090112A1 (es) |
MX (1) | MXPA04003332A (es) |
NZ (1) | NZ532149A (es) |
TW (1) | TWI259343B (es) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113110677A (zh) * | 2021-05-27 | 2021-07-13 | 广东工业大学 | 一种用于射频开关的低功耗负压产生器 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6622802B2 (en) * | 2001-03-29 | 2003-09-23 | Intel Corporation | Fastener installation tool and methods of use |
US7505818B1 (en) * | 2001-09-07 | 2009-03-17 | Siemens Energy & Automation, Inc. | Converter method, system and apparatus |
US7080591B2 (en) * | 2004-09-14 | 2006-07-25 | Hamilton Sundstrand | Non-symmetrical seal plate and valve housing |
US8079578B2 (en) * | 2007-09-05 | 2011-12-20 | Hgs Aerospace, Inc. | Universal holding fixture |
US8622072B2 (en) * | 2008-12-05 | 2014-01-07 | Fisher Controls International, Llc | Apparatus to control fluid flow |
KR101602414B1 (ko) * | 2009-03-16 | 2016-03-11 | 삼성전자주식회사 | 유체 제어용 장치 |
TWI490673B (zh) * | 2012-01-04 | 2015-07-01 | King Yuan Electronics Co Ltd | 測試壓力控制系統與方法 |
CN102661728A (zh) * | 2012-05-22 | 2012-09-12 | 绍兴文理学院 | 钢筘气压检测装置 |
US9662761B2 (en) * | 2013-12-02 | 2017-05-30 | Ebara Corporation | Polishing apparatus |
CN104102269A (zh) * | 2014-07-20 | 2014-10-15 | 苏州塔可盛电子科技有限公司 | 一种新型功率限制电路 |
CN104369087B (zh) * | 2014-10-21 | 2016-09-07 | 青岛橡胶谷知识产权有限公司 | 一种研磨机气压伺服系统的压力控制方法 |
CN105773397B (zh) * | 2016-03-09 | 2017-09-29 | 天津华海清科机电科技有限公司 | 化学机械抛光多区压力在线控制算法 |
KR101900455B1 (ko) * | 2016-09-05 | 2018-09-19 | 손형모 | 레귤레이터 |
CN110584984A (zh) * | 2019-10-17 | 2019-12-20 | 苏州尚领医疗科技有限公司 | 一种气动心肺复苏按压装置的气路控制系统 |
US20220372997A1 (en) * | 2021-05-24 | 2022-11-24 | Festo Se & Co. Kg | Fluid control system |
CN114083426B (zh) * | 2021-11-26 | 2023-03-28 | 北京晶亦精微科技股份有限公司 | 一种压力控制装置、抛光头装置及化学机械抛光设备 |
CN114415747B (zh) * | 2021-12-21 | 2023-10-27 | 成都中科唯实仪器有限责任公司 | 一种真空调节阀的压力调节方法 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3731435A (en) | 1971-02-09 | 1973-05-08 | Speedfam Corp | Polishing machine load plate |
US4241750A (en) * | 1978-11-27 | 1980-12-30 | Kabushiki Kaisha Cosmo Keiki | Pressure setting device |
US4918870A (en) | 1986-05-16 | 1990-04-24 | Siltec Corporation | Floating subcarriers for wafer polishing apparatus |
US4947970A (en) | 1988-11-08 | 1990-08-14 | Borg-Warner Automotive, Inc. | Dual clutch control system |
US5447409A (en) | 1989-10-20 | 1995-09-05 | Applied Materials, Inc. | Robot assembly |
US5240041A (en) * | 1989-12-28 | 1993-08-31 | Moog Inc. | Synthesized flow-control servovalve |
US5104828A (en) | 1990-03-01 | 1992-04-14 | Intel Corporation | Method of planarizing a dielectric formed over a semiconductor substrate |
US5094260A (en) * | 1990-10-26 | 1992-03-10 | Alcon Surgical, Inc. | Proportional valve and pressure control system |
FR2677292B1 (fr) | 1991-06-04 | 1995-12-08 | Seva | Machine de polissage a regulation pneumatique de l'effort de l'outil de la piece a polir. |
JPH0569996A (ja) * | 1991-09-05 | 1993-03-23 | Smc Corp | 真空ユニツト |
US5205082A (en) | 1991-12-20 | 1993-04-27 | Cybeq Systems, Inc. | Wafer polisher head having floating retainer ring |
JP2787094B2 (ja) * | 1992-09-29 | 1998-08-13 | サンケン電気株式会社 | 交流発電機用電圧調整装置 |
JPH06178997A (ja) * | 1992-12-14 | 1994-06-28 | Hideaki Sakai | 栽培用水の改質システム |
US5499647A (en) | 1995-01-12 | 1996-03-19 | Mac Valves, Inc. | Method and valve assembly for controlling a pilot signal |
CN2272083Y (zh) * | 1996-05-20 | 1998-01-07 | 杭州精工液压机电有限公司 | 压差反馈型锥阀电液比例减压阀 |
US5716258A (en) | 1996-11-26 | 1998-02-10 | Metcalf; Robert L. | Semiconductor wafer polishing machine and method |
JPH10306801A (ja) | 1997-05-01 | 1998-11-17 | Smc Corp | 自動制御空気圧装置の制御方法 |
JPH10339301A (ja) | 1997-06-09 | 1998-12-22 | Smc Corp | 自動制御空気圧装置の制御方法および自動制御空気圧装置 |
US6056008A (en) | 1997-09-22 | 2000-05-02 | Fisher Controls International, Inc. | Intelligent pressure regulator |
US6035878A (en) | 1997-09-22 | 2000-03-14 | Fisher Controls International, Inc. | Diagnostic device and method for pressure regulator |
US6113480A (en) * | 1998-06-02 | 2000-09-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Apparatus for polishing semiconductor wafers and method of testing same |
US6283828B1 (en) | 1998-11-09 | 2001-09-04 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Wafer polishing apparatus |
CN2357170Y (zh) * | 1999-02-08 | 2000-01-05 | 浙江大学 | 一种电液比例压力流量复合控制阀 |
US6164323A (en) | 1999-07-12 | 2000-12-26 | Numatics, Incorporated | Solenoid valve control system |
DE19933946A1 (de) * | 1999-07-20 | 2001-01-25 | Buetfering Maschinenfabrik Gmb | Druckbalken |
KR100421445B1 (ko) * | 2001-09-28 | 2004-03-09 | 삼성전자주식회사 | 연마 헤드 조립 방법 및 연마 헤드 조립 시의 공기 누설검사장치 |
-
2003
- 2003-04-11 US US10/365,930 patent/US6772784B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-04-05 CA CA 2463209 patent/CA2463209C/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-05 NZ NZ532149A patent/NZ532149A/en unknown
- 2004-04-07 MX MXPA04003332A patent/MXPA04003332A/es active IP Right Grant
- 2004-04-08 AT AT04252114T patent/ATE355464T1/de not_active IP Right Cessation
- 2004-04-08 ES ES05028330T patent/ES2309647T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2004-04-08 DE DE200460004936 patent/DE602004004936T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-08 AU AU2004201461A patent/AU2004201461A1/en not_active Abandoned
- 2004-04-08 BR BRPI0401096 patent/BRPI0401096A/pt not_active IP Right Cessation
- 2004-04-08 AT AT05028330T patent/ATE398732T1/de not_active IP Right Cessation
- 2004-04-08 ES ES04252114T patent/ES2282806T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2004-04-08 DE DE200460014495 patent/DE602004014495D1/de not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-08 EP EP20040252114 patent/EP1467105B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-04-08 EP EP20050028330 patent/EP1637744B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-04-09 TW TW93110011A patent/TWI259343B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-04-09 CN CNB2004100451144A patent/CN100381963C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-09 JP JP2004142904A patent/JP4102329B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-10 KR KR1020040024765A patent/KR100670716B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-09-21 HK HK06110537A patent/HK1090112A1/xx not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113110677A (zh) * | 2021-05-27 | 2021-07-13 | 广东工业大学 | 一种用于射频开关的低功耗负压产生器 |
CN113110677B (zh) * | 2021-05-27 | 2022-05-27 | 广东工业大学 | 一种用于射频开关的低功耗负压产生器 |
US11711075B2 (en) | 2021-05-27 | 2023-07-25 | Guangdong University Of Technology | Low-power consumption negative voltage generator for radio frequency switches |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100381963C (zh) | 2008-04-16 |
KR20040089554A (ko) | 2004-10-21 |
TWI259343B (en) | 2006-08-01 |
DE602004004936T2 (de) | 2007-11-22 |
JP2004318895A (ja) | 2004-11-11 |
KR100670716B1 (ko) | 2007-01-18 |
DE602004014495D1 (de) | 2008-07-31 |
CA2463209A1 (en) | 2004-10-11 |
DE602004004936D1 (de) | 2007-04-12 |
EP1467105A1 (en) | 2004-10-13 |
EP1637744A1 (en) | 2006-03-22 |
AU2004201461A1 (en) | 2004-10-28 |
MXPA04003332A (es) | 2005-03-31 |
CN1542580A (zh) | 2004-11-03 |
BRPI0401096A (pt) | 2005-05-17 |
HK1090112A1 (en) | 2006-12-15 |
ATE398732T1 (de) | 2008-07-15 |
ATE355464T1 (de) | 2006-03-15 |
ES2282806T3 (es) | 2007-10-16 |
EP1467105B1 (en) | 2007-02-28 |
CA2463209C (en) | 2008-12-16 |
NZ532149A (en) | 2005-12-23 |
US6772784B1 (en) | 2004-08-10 |
TW200510979A (en) | 2005-03-16 |
EP1637744B1 (en) | 2008-06-18 |
JP4102329B2 (ja) | 2008-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2309647T3 (es) | Regulador de presion proporcional que tiene capacidad para suministrar presion positiva y negativa. | |
JP4196293B2 (ja) | 真空調圧用バルブ | |
ES2296101T3 (es) | Valvula neumatica. | |
US7458310B2 (en) | Asymmetric volume booster arrangement for valve actuator | |
CN103991397B (zh) | 用于车辆部件的调节装置 | |
EP1133941B1 (en) | Valve assembly | |
RU2527672C2 (ru) | Многоступенчатый регулятор текучей среды | |
US6357335B1 (en) | Pneumatic volume booster for valve positioner | |
US4453565A (en) | Four-way valve with cover mounted pressure regulating and flow control valve | |
JP5908480B2 (ja) | 個別の容量調節を有するボリュームブースタ | |
ES2525730T3 (es) | Controlador de presión proporcional | |
JP2005512222A (ja) | 空気圧レギュレータ組立体 | |
BR102017003690B1 (pt) | Controlador de pressão proporcional com conjunto de válvula de isolamento | |
JP3520261B2 (ja) | スペーサ型減圧弁 | |
JPH0788911B2 (ja) | 一体流量制御装置付き弁ベース | |
JP2659152B2 (ja) | 圧力制御弁 | |
JPH0231589Y2 (es) | ||
US20150292635A1 (en) | Pneumatic actuators | |
JPH0348649Y2 (es) | ||
JPH10283037A (ja) | 切換弁用圧力調節弁 | |
NZ728806A (en) | Proportional pressure controller with isolation valve assembly | |
JP2004206427A (ja) | 減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置 |