KR101602414B1 - 유체 제어용 장치 - Google Patents

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Abstract

하나의 포트로 가스 주입, 진공, 배기를 동시에 가능하게 하는 유체 제어용 장치가 개시된다. 유체 제어용 장치는 다양한 크기의 공압 또는 진공을 선택적으로 제공하는 펌프 및 밸브 어레이, 및 펌프 및 밸브 어레이와 유체 시스템 사이에 연결되는 중간조(intermediate bin)를 포함할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 유체 시스템 내에 포트의 수를 현저히 줄일 수 있어 유체 시스템의 인터페이스가 더욱 간단해 질 수 있다. 또한, 하나의 포트로 다양한 힘을 인가할 수 있기 때문에 다양한 유체 제어가 가능하다.

Description

유체 제어용 장치{Apparatus for fluidic control}
본 개시는 유체 제어용 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 하나의 포트로 가스 주입, 진공, 배기를 동시에 가능하게 하는 유체 제어용 장치에 관한 것이다.
랩온어칩(Lab-On-a-Chip; LOC)은 하나의 칩 위에 실험실을 올려놓았다는 뜻으로, '칩 속의 실험실' 또는 '칩 위의 실험실'로도 불린다. LOC는 플라스틱, 유리, 실리콘 등의 소재로 된 기판 위에 나노 리터 이하의 부피를 갖는 매우 미세한 반응 챔버를 갖는다. 이러한 미세한 반응 챔버를 통해 극미량의 시료만으로도 기존의 실험실에서 할 수 있는 실험이나 연구 과정을 신속하게 대체할 수 있다. 이와 같은 장점으로 인해, LOC는 특히 차세대 진단장치로 주목받고 있는데, LOC 칩을 이용하면 한 방울의 피로도 각종 암 진단이나 적혈구, 백혈구의 세포 등에 대한 다양한 측정이 가능하다.
LOC 칩을 이용한 진단을 위해서는 LOC 칩 내에 시약 및 샘플을 제공하기 위한 유체 제어 시스템이 필요하다. 일반적으로, 유체 시스템에서 유로에 존재하는 유체를 구동시키는 방법은 매우 다양하다. 유체 시스템 내에 자체적으로 존재하는 펌프를 이용할 수도 있고, 외부로부터 인가된 공압이나 진공을 이용하여 유체를 이동시킬 수도 있다. 외부로부터 공압이나 진공을 인가하여 유체 시스템 내의 유체의 움직임을 제어하는 경우, 유체가 시스템 내에 인가되기 위한 인입부, 배기를 위한 배출부, 그 외 필요없는 용액을 버리기 위한 벤트(vent)나 웨이스트(waste)가 존재하게 된다. 또한, 필요에 따라 유체의 구동을 공압을 인가해서 밀거나, 진공을 이용하여 잡아당기는 경우도 존재한다.
그런데 위와 같은 제어 방식을 적용할 경우, 필요로 하는 포트의 수가 많아지게 된다. 예를 들어, LOC 칩 내의 반응 챔버와 연결되는 포트의 수가 증가하고, 각각의 포트를 통해 유체를 제어하기 위하여 포트마다 별도의 유체 제어 장치가 연결되어야 한다. 따라서, 하나의 LOC 칩 내에 매우 많은 수의 챔버들의 어레이를 집적시킬 경우, 유체 제어 장치의 크기가 기하급수적으로 커지게 된다. 또한, 유체 제어 장치와의 연결을 위한 LOC 칩의 인터페이스도 복잡하게 된다.
본 개시는 하나의 포트로 가스 주입, 진공, 배기를 동시에 가능하게 하는 유체 제어용 장치를 제공한다.
개시된 유체 제어용 장치는, 유체 시스템의 하나의 포트를 통해 유로 내의 유체를 구동시키기 위한 것으로서, 다양한 크기의 공압 또는 진공을 선택적으로 제공하는 펌프 및 밸브 어레이; 및 상기 펌프 및 밸브 어레이와 유체 시스템 사이에 연결된 것으로, 유체 시스템으로부터 배출된 유체를 저장하기 위한 저수부를 갖는 중간조(槽)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 펌프 및 밸브 어레이는, 공압을 제공하는 공압부와 진공을 제공하는 진공부를 갖는 펌프 시스템; 상기 펌프 시스템의 공압부와 진공부에 각각 개별적으로 연결되어 상이한 크기를 갖는 공압 또는 진공을 각각 출력시키는 다수의 레귤레이터; 및 상기 다수의 레귤레이터 중에서 어느 하나의 레귤레이터를 선택하여 특정 크기의 공압 또는 진공이 출력되도록 하는 밸브 어레이를 포함할 수 있다.
예컨대, 상기 펌프 시스템은 공압을 제공하는 공압 펌프와 진공을 제공하는 진공 펌프를 가질 수 있다.
또한, 상기 펌프 시스템은 공압과 진공을 동시에 제공하는 하나의 펌프를 가질 수도 있다.
또한, 상기 다수의 레귤레이터는, 예컨대, 상기 펌프 시스템의 공압부와 연결되어 각각 상이한 크기의 공압을 출력시키는 제 1 및 제 2 레귤레이터; 및 상기 펌프 시스템의 진공부와 연결되어 각각 상이한 크기의 진공을 출력시키는 제 3 및 제 4 레귤레이터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 밸브 어레이는, 예컨대, 상기 제 1 및 제 2 레귤레이터와 연결되어 어느 하나의 공압만을 선택하는 제 1 밸브; 상기 제 3 및 제 4 레귤레이터와 연결되어 어느 하나의 진공만을 선택하는 제 2 밸브; 및 상기 제 1 및 제 2 밸브와 연결되어 어느 한 밸브의 출력만을 선택하는 제 3 밸브를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 내지 제 3 밸브는, 예컨대, 솔레노이드 밸브일 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 다수의 레귤레이터 중에서 하나는 대기압의 크기와 같은 크기의 공압을 출력시킬 수 있다.
한편, 상기 중간조는, 상기 펌프 및 밸브 어레이로부터의 공압 또는 진공을 저수부로 제공하는 제 1 관통홀; 및 상기 저수부에 제공된 공압 또는 진공을 외부로 출력시키는 제 2 관통홀을 포함할 수 있다.
또한, 개시된 유체 제어용 장치는, 상기 펌프 및 밸브 어레이와 상기 제 1 관통홀 사이에 연결된 제 1 튜브 및 상기 제 2 관통홀과 상기 유체 시스템 사이에 연결된 제 2 튜브를 더 포함할 수 있다.
이러한 구성에서, 진공 인가시, 상기 유체 시스템으로부터 상기 제 2 관통홀을 통해 인입된 유체가 상기 저수부에 모일 수 있다.
예컨대, 상기 유체 시스템은 랩온어칩(LOC)일 수 있다.
여기서 개시된 유체 제어용 장치를 이용하게 되면, 유체 시스템 내에 포트의 수를 현저히 줄일 수 있어 유체 시스템의 인터페이스가 더욱 간단해 질 수 있다. 또한, 하나의 포트로 다양한 힘을 인가할 수 있기 때문에, 다양한 유체 제어가 가능하다. 이러한 유체 제어용 장치는 LOC와 같은 미세한 유체 시스템뿐만 아니라, 공장 시설과 같은 대규모의 유체 시스템에도 적용될 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 유체 제어용 장치의 구성 및 동작에 대해 상세하게 설명한다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다.
도 1은 유체 제어용 장치(100)를 포함하는 전체 시스템의 구성을 개략적으로 도시하는 구성도이다. 도 1을 참조하면, 유체 시스템(10)의 하나의 포트를 통해 유로 내의 유체를 구동시키기 위한 유체 제어용 장치(100)가 유체 시스템(10)에 연결되어 있다. 예를 들어, 유체 제어용 장치(100)는 유체 시스템(10)의 인입부(inlet) 또는 배출부(outlet)을 통해 유체 시스템(10)에 공압을 인가하여 유체를 밀거나 또는 진공을 인가하여 유체를 잡아당길 수 있다. 이러한 점에서, 상기 유체 제어용 장치(100)는 공압 진공 벤트(Air Vaccum Vent; AVV) 시스템이라고 부를 수도 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 유체 제어용 장치(100)는 다양한 크기의 공압 또는 진공을 선택적으로 제공하는 펌프 및 밸브 어레이(110), 및 상기 펌프 및 밸브 어레이(110)와 유체 시스템(10) 사이에 연결된 중간조(槽)(intermediate bin)(120)를 포함할 수 있다. 중간조(120)는 유체 시스템(10)으로부터 배출된 유체(15)를 저장하기 위한 저수부(121)를 그 내부에 갖는다. 또한, 중간조(120)는 그 내벽을 관통하여 저수부(121)와 각각 연결되는 두 개의 관통홀(122,123)을 갖는다. 예를 들어, 관통홀(122,123)은 중간조(120)의 측면을 통해 저수부(121)의 상부로 연결될 수 있다. 여기서, 제 1 관통홀(122)은 펌프 및 밸브 어레이(110)로부터의 공압 또는 진공을 저수부(121)로 제공하는 역할을 하며, 제 2 관통홀(123)은 저수부(121)에 제공된 공압 또는 진공을 외부로, 예컨대 유체 시스템(10)으로 출력시키는 역할을 할 수 있다.
또한, 상기 유체 제어용 장치(100)는 펌프 및 밸브 어레이(110)와 제 1 관통홀(122) 사이에 연결되는 제 1 튜브(130), 및 제 2 관통홀(123)과 외부, 즉 유체 시스템(10) 사이에 연결되는 제 2 튜브(131)를 더 포함할 수 있다. 그러면, 펌프 및 밸브 어레이(110)로부터 출력된 공압 또는 진공은 상기 제 1 튜브(130)와 제 1 관통홀(122)을 통해 저수부(121)로 제공된 후, 제 2 관통홀(123)과 제 2 튜브(131)를 통해 유체 시스템(10)에 제공될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 저수부(121)를 갖는 중간조(120)가 펌프 및 밸브 어레이(110)와 유체 시스템(10) 사이에 배치되어 있기 때문에, 진공을 인가하여 유체 시스템(10) 내의 유체를 잡아당길 때, 펌프 및 밸브 어레이(110)로 유체(15)가 흘러들어 가는 것을 방지할 수 있다. 바꾸어 말하자면, 유체 시스템(10)으로부터 배출되어 제 2 관통홀(123)을 통해 인입된 유체(15)가 중간조(120)의 저수부(121)로 떨어져서 모이게 되므로, 펌프 및 밸브 어레이(110)는 유체 시스템(10)에 지속적으로 진공을 인가하는 것이 가능하다. 또한, 필요한 만큼의 유체를 유체 시스템(10)으로부터 배출할 수 있기 때문에, 진공 인가 후에 유체 시스템(10)에 공압을 인가할 때, 펌프 및 밸브 어레이(110)와 유체 시스템(10) 사이의 경로에 불필요한 유체가 남아있게 되는 것을 방지할 수 있다. 이렇게 펌프 및 밸브 어레이(110)와 유체 시스템(10) 사이에 저수부(121)를 갖는 중간조(120)를 배치함으로써, 펌프 및 밸브 어레이(110)는 유체 시스템(10)에 중단 없이 공압과 진공을 반복적으로 제공할 수 있다. 따라서, 인입부 또는 배출부와 같은 단 하나의 포트를 통해 유체 시스템(10)의 내의 유체를 제한 없이 제어하는 것이 가능하다.
도 2는 유체 제어용 장치(100)의 펌프 및 밸브 어레이(110)의 개략적인 구성을 예시적으로 나타내는 구성도이다. 도 2를 참조하면, 펌프 및 밸브 어레이(110)는, 공압을 제공하는 공압부(101a)와 진공을 제공하는 진공부(101b)를 갖는 펌프 시스템(101), 상기 펌프 시스템(101)의 공압부(101a)와 진공부(101b)에 각각 개별적으로 연결되어 있는 다수의 레귤레이터(102, 103, 104, 105), 및 상기 다수의 레귤레이터(102, 103, 104, 105) 중에서 어느 하나의 레귤레이터를 선택하여 특정한 크기의 공압 또는 진공이 출력되도록 하는 밸브 어레이(106, 107, 108)를 포함할 수 있다. 여기서, 다수의 레귤레이터(102, 103, 104, 105)들은 각각 상이한 크기를 갖는 공압 또는 진공을 출력시키고 그 출력을 일정하게 유지시키는 역할을 한다. 이를 위해, 각각의 레귤레이터(102, 103, 104, 105)는 특정한 크기의 공압 또는 진공이 출력되도록 미리 설정되어 있을 수 있다.
일 실시예에 따르면, 펌프 시스템(101)은 공압과 진공을 동시에 제공하는 하나의 펌프를 가질 수 있다. 이 경우, 하나의 펌프 내에 공압부(101a)를 위한 출력 포트와 진공부(101b)를 출력 포트가 각각 마련된다. 예를 들어, 유체 시스템(10)이 랩온어칩(Lab-On-a-Chip; LOC)과 같이 큰 출력의 공압이나 진공을 요구하지 않는 작은 시스템인 경우에, 하나의 펌프만을 갖는 펌프 시스템(101)을 사용할 수 있다. 대신에, 펌프 시스템(101)은 공압을 제공하는 공압 펌프와 진공을 제공하는 진공 펌프를 각각 별개로 가질 수도 있다. 이 경우, 공압 펌프는 공압부(101a)를 구성하고, 진공 펌프는 진공부(101b)를 구성하게 된다. 예를 들어, 유체 시스템(10)이 공장 시설과 같이 대규모 시스템인 경우에, 공압 펌프와 진공 펌프를 각각 갖는 펌프 시스템(101)을 사용할 수 있다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 다수의 레귤레이터(102, 103, 104, 105)는, 펌프 시스템(101)의 공압부(101a)와 연결되어 각각 상이한 크기의 공압을 출력시키는 제 1 및 제 2 레귤레이터(102, 103), 및 펌프 시스템(101)의 진공부(101b)와 연결되어 각각 상이한 크기의 진공을 출력시키는 제 3 및 제 4 레귤레이터(104, 105)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제 1 레귤레이터(102)는 공압부(101a)로부터의 공압을 비교적 저압으로 변경하여 일정한 크기로 출력시키고, 제 2 레귤레이터(103)는 공압부(101a)로부터의 공압을 비교적 고압으로 변경하여 일정한 크기로 출력시키도록 설정될 수 있다. 여기서, 저압과 고압은 단지 상대적인 의미를 갖는 것으로서, 제 2 레귤레이터(103)로부터 출력되는 공압이 제 1 레귤레이터(102)로부터 출력되는 공압보다 상대적으로 큰 압력을 갖는다는 것을 의미한다. 마찬가지로, 제 3 레귤레이터(104)는 진공부(101b)로부터의 진공을 비교적 고진공으로 출력시키고, 제 4 레귤레이터(105)는 진공부(101b)로부터의 진공을 비교적 저진공으로 변경하여 출력시킬 수 있다. 여기서도, 고진공과 저진공은 단지 상대적인 의미만을 갖는다. 예를 들어, 제 3 레귤레이터(104)는 진공부(101b)로 제공되는 진공 상태를 그대로 유지하여 최대 진공이 되도록 하고, 제 4 레귤레이터(105)는 진공부(101b)로부터 제공되는 진공을 약화시켜 출력시킬 수 있다.
한편, 밸브 어레이(106, 107, 108)는, 제 1 및 제 2 레귤레이터(102, 103)와 연결되어 어느 하나의 공압만을 선택하는 제 1 밸브(106), 제 3 및 제 4 레귤레이터(104, 105)와 연결되어 어느 하나의 진공만을 선택하는 제 2 밸브(107), 및 상기 제 1 및 제 2 밸브(106, 107)와 연결되어 어느 한 밸브의 출력만을 선택하는 제 3 밸브(108)를 포함할 수 있다. 예컨대, 제 1 밸브(106)의 제 1 입력 포트(106a)는 제 1 레귤레이터(102)와 연결되어 있으며, 제 2 입력 포트(106b)는 제 2 레귤레이터(103)와 연결될 수 있다. 또한, 제 2 밸브(107)의 제 1 입력 포트(107a)는 제 3 레귤레이터(104)와 연결되며, 제 2 입력 포트(107b)는 제 4 레귤레이터(105)와 연결될 수 있다. 그리고, 제 3 밸브(108)의 제 1 입력 포트(108a)는 제 1 밸브(106)의 출력 포트(106c)와 연결되고, 제 2 입력 포트(108b)는 제 2 밸브(107)의 출력 포트(107c)와 연결될 수 있다.
이러한 각각의 밸브(106, 107, 108)들은 ON/OFF 상태에 따라 두 개의 입력 중에서 어느 하나의 입력만을 선택하여 출력시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 내지 제 3 밸브(106, 107, 108)들은 솔레노이드 밸브(solenoid valve)일 수 있다. 예컨대, 밸브(106, 107, 108)들은 OFF 상태에는 제 1 입력 포트(106a, 107a, 108a)로의 입력을 출력 포트(106c, 107c, 108c)로 출력시키고, ON 상태에서는 제 2 입력 포트(106b, 107b, 108b)로의 입력을 출력 포트(106c, 107c, 108c)로 출력시킬 수 있다.
이러한 구성에서, 제 3 밸브(108)가 OFF 상태인 경우, 제 3 밸브(108)는 제 1 밸브(106)로부터의 출력을 출력 포트(108c)를 통해 출력시킨다. 따라서, 이 경우에는 공압부(101a)로부터의 공압이 유체 시스템(10)에 인가될 수 있다. 특히, 제 1 밸브(106)가 OFF 상태이면 저압의 공압이 유체 시스템(10)에 인가되고, ON 상태이면 고압의 공압이 유체 시스템(10)에 인가된다. 이때에는, 제 2 밸브(107)가 어떠한 상태에 있든 상관없다.
한편, 제 3 밸브(108)가 ON 상태인 경우, 제 3 밸브(108)는 제 2 밸브(107)로부터의 출력을 출력 포트(108c)를 통해 외부로 출력시킨다. 따라서, 이 경우에는 진공부(101b)로부터의 진공이 유체 시스템(10)에 인가될 수 있다. 예컨대, 제 2 밸브(107)가 OFF 상태이면 고진공이 유체 시스템(10)에 인가되고, ON 상태이면 저진공이 유체 시스템(10)에 인가된다. 이때에는, 제 1 밸브(106)가 ON 상태에 있든 또는 OFF 상태에 있는 무방하다. 이러한 방식으로 다양한 공압과 진공 중에서 하나를 선택하여 유체 시스템(10)에 제공할 수 있다. 도 3은 위에서 설명한 펌프 및 밸브 어레이(110)의 동작 상태를 예시적으로 보이는 표이다.
도 2에는 단지 4개의 레귤레이터(2개의 공압용 레귤레이터와 2개의 진공용 레귤레이터)와 3개의 밸브를 갖는 펌프 및 밸브 어레이(110)의 예가 도시되었다. 그러나, 이는 설명의 편의를 위한 단순한 예시에 불과하며, 유체 시스템(10)에서 요구되는 사양에 따라 매우 다양한 펌프 및 밸브 어레이(110)의 설계가 가능하다. 예컨대, 공압과 진공의 크기를 더욱 다양하게 세분화하여 8개의 레귤레이터와 7개의 밸브를 갖는 펌프 및 밸브 어레이(110)를 사용할 수도 있다. 또한, 필요에 따라, 공압의 크기를 더욱 세분화하거나 또는 진공의 크기를 더욱 세분화하도록 레귤레이터와 밸브를 배치하는 것도 가능하다. 이때, 유체 시스템(10) 내의 유체를 정지시키기 위하여, 다수의 레귤레이터들 중에서 하나는 대기압의 크기와 같은 크기의 공압을 출력시키도록 설정될 수도 있다.
도 4 및 도 5는 지금까지 설명한 유체 제어용 장치(100)를 이용하여 유체 시스템(10)에서 유체의 흐름을 제어하는 예를 개략적으로 도시하는 것으로, 유체 시스템(10)으로서 LOC가 도시되어 있다. 도 4를 참조하면, LOC(10)는 기판(11) 상에 인입부(12), 배출부(13) 및 반응이 일어나는 챔버(14)가 형성된 구조이다. 종래의 경우, 챔버(14)에서의 반응에 필요한 시약이나 샘플과 같은 유체는 단순히 상기 인입부(12)로부터 배출부(13)로 흐르기만 하였다. 그러나, 예컨대 배출부(13) 쪽에 본 개시에 따른 유체 제어용 장치(즉, AVV 시스템)(100)가 연결되어 있는 경우, 유체를 양방향으로 모두 흐르게 제어할 수 있다. 따라서, 유체의 인입 및 배출이 어느 방향으로도 자유롭게 제어될 수 있다. 종래의 유체 제어용 장치에서 이러한 제어를 수행하려면, 인입부(12)와 배출부(13) 이외에 별도의 포트가 추가로 필요하였으며, 추가된 포트를 통해 유체를 구동하기 위한 시스템이 또한 추가되어야 했다. 따라서, 기판(11) 위에 많은 수의 챔버(14)들이 어레이를 형성하고 있는 경우, 유 체 제어를 위한 시스템(즉, 유체 제어 장치 및 LOC 칩의 인터페이스)이 복잡해 진다.
본 개시에 따른 유체 제어용 장치(100)를 사용함으로써, 위와 같은 복잡성이 크게 개선될 수 있다. 한편, 도 4에는 배출부(13) 쪽에 유체 제어용 장치(100)가 연결되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 인입부(12)에 유체 제어용 장치(100)가 연결될 수도 있다. 또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 인입부(12)와 배출부(13)에 모두 유체 제어용 장치(100)를 연결하는 것도 가능하다.
지금까지, 본원 발명의 이해를 돕기 위하여 다양한 실시예들이 설명되고 첨부된 도면에 도시되었다. 그러나, 이러한 실시예들은 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이고 이를 제한하지 않는다는 점이 이해되어야 할 것이다. 그리고 본 발명은 도시되고 설명된 설명에 국한되지 않는다는 점이 이해되어야 할 것이다. 이는 다양한 다른 변형이 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일어날 수 있기 때문이다.
도 1은 유체 제어용 장치를 포함하는 전체 시스템의 구성을 개략적으로 도시하는 구성도이다.
도 2는 유체 제어용 장치의 펌프 및 밸브 어레이의 개략적인 구성을 예시적으로 나타내는 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시된 펌프 및 밸브 어레이의 동작 상태를 예시적으로 보이는 표이다.
도 4 및 도 5는 유체 제어용 장치를 이용하여 유체 시스템에서 유체의 흐름을 제어하는 예를 도시한다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10.....유체 시스템 100.....유체 제어용 장치
101.....펌프 시스템 102,103,104,105.....레귤레이터
106,107,108.....밸브 110.....펌프 및 밸브 어레이
120.....중간조(槽) 121.....저수부
122,123.....관통홀 130,131.....튜브

Claims (12)

  1. 다양한 크기의 공압 또는 진공을 선택적으로 제공하는 펌프 및 밸브 어레이; 및
    상기 펌프 및 밸브 어레이와 유체 시스템 사이에 연결된 것으로, 유체 시스템으로부터 배출된 유체를 저장하기 위한 저수부를 갖는 중간조(槽)를 포함하며,
    상기 펌프 및 밸브 어레이와 유체 시스템 사이에 상기 중간조가 배치됨으로써, 상기 펌프 및 밸브 어레이는 하나의 단일 포트를 통해 상기 유체 시스템에 대한 유체의 인입 및 배출을 양방향으로 제어하는 유체 제어용 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 펌프 및 밸브 어레이는:
    공압을 제공하는 공압부와 진공을 제공하는 진공부를 갖는 펌프 시스템;
    상기 펌프 시스템의 공압부와 진공부에 각각 개별적으로 연결되어 상이한 크기를 갖는 공압 또는 진공을 각각 출력시키는 다수의 레귤레이터; 및
    상기 다수의 레귤레이터 중에서 어느 하나의 레귤레이터를 선택하여 특정 크기의 공압 또는 진공이 출력되도록 하는 밸브 어레이를 포함하는 유체 제어용 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 펌프 시스템은 공압을 제공하는 공압 펌프와 진공을 제공하는 진공 펌프를 갖는 유체 제어용 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 펌프 시스템은 공압과 진공을 동시에 제공하는 하나의 펌프를 갖는 유체 제어용 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 다수의 레귤레이터는:
    상기 펌프 시스템의 공압부와 연결되어 각각 상이한 크기의 공압을 출력시키는 제 1 및 제 2 레귤레이터; 및
    상기 펌프 시스템의 진공부와 연결되어 각각 상이한 크기의 진공을 출력시키는 제 3 및 제 4 레귤레이터를 포함하는 유체 제어용 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 밸브 어레이는:
    상기 제 1 및 제 2 레귤레이터와 연결되어 어느 하나의 공압만을 선택하는 제 1 밸브;
    상기 제 3 및 제 4 레귤레이터와 연결되어 어느 하나의 진공만을 선택하는 제 2 밸브; 및
    상기 제 1 및 제 2 밸브와 연결되어 어느 한 밸브의 출력만을 선택하는 제 3 밸브를 포함하는 유체 제어용 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 밸브는 솔레노이드 밸브인 유체 제어용 장치.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 다수의 레귤레이터 중에서 하나는 대기압의 크기와 같은 크기의 공압을 출력시키는 유체 제어용 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 중간조는:
    상기 펌프 및 밸브 어레이로부터의 공압 또는 진공을 저수부로 제공하는 제 1 관통홀; 및
    상기 저수부에 제공된 공압 또는 진공을 외부로 출력시키는 제 2 관통홀을 포함하는 유체 제어용 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 펌프 및 밸브 어레이와 상기 제 1 관통홀 사이에 연결된 제 1 튜브 및 상기 제 2 관통홀과 상기 유체 시스템 사이에 연결된 제 2 튜브를 더 포함하는 유체 제어용 장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    진공 인가시, 상기 유체 시스템으로부터 상기 제 2 관통홀을 통해 인입된 유체가 상기 저수부에 모이는 유체 제어용 장치.
  12. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체 시스템은 랩온어칩인 유체 제어용 장치.
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