ES2300503T3 - Metodo y aparato para realizar una tapa con una ventana opticamente transmisiva. - Google Patents
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Abstract
Método que comprende las etapas de: formar una pluralidad de ventanas que son, cada una, transmisivas a la radiación que tiene una longitud de onda predeterminada; fabricar una placa con una pluralidad de aberturas a través de la misma; sujetar de manera fija cada una de dichas ventanas en dicha placa de tal manera que se proporciona un sellado anular entre una parte anular de la ventana que se extiende a lo largo de la periferia de la misma y una parte anular de la placa que se extiende alrededor de la abertura; procesar simultáneamente una superficie respectiva en cada una de dichas ventanas fijadas a dicha placa; y posteriormente, cortar de dicha placa una pluralidad de secciones que incluyen, cada una, una de dichas ventanas respectivas y una de dichas partes anulares respectivas de dicha placa.
Description
Método y aparato para realizar una tapa con una
ventana ópticamente transmisiva.
Esta invención se refiere en general a una tapa
que presenta un marco que soporta una ventana transmisiva a la
radiación y, más particularmente, a un método y aparato para
realizar una tapa de este tipo.
Un dispositivo existente incluye un alojamiento
con una abertura en el mismo que está cerrada mediante una tapa. La
tapa incluye un marco, y una ventana que está dispuesta dentro y
sellada herméticamente al marco, siendo la ventana transmisiva a la
radiación en una banda de frecuencias de interés. El dispositivo
puede utilizarse en una televisión o un proyector para formar
imágenes, que se proyectan normalmente sobre algún tipo de pantalla
de modo que una persona pueda verlas. El dispositivo incluye dentro
del alojamiento un dispositivo digital de microespejos (DMD) de un
tipo conocido. Un haz de radiación se introduce en el alojamiento a
través de la ventana de la tapa, se procesa mediante el dispositivo
digital de microespejos para formar una pluralidad de haces
secundarios que representan una imagen, y al menos algunos de los
haces secundarios salen a continuación del alojamiento a través de
la ventana con el fin de facilitar la generación de la imagen, que
se proyecta sobre la pantalla.
Esta tapa existente se realiza formando un marco
de metal que tiene una abertura a través del mismo, colocando una
pieza de vidrio en la abertura a través del marco, y a continuación
calentando el marco y el vidrio hasta que los bordes periféricos
del vidrio se funden en los bordes de la abertura en el marco.
Las superficies laterales del vidrio a
continuación se esmerilan y pulen, y se aplican uno o más
recubrimientos a ambos lados del vidrio. Si bien esta tapa
existente y el proceso para realizarla han sido adecuados en general
para su finalidad prevista, no han resultado satisfactorios en
todos los aspectos.
A este respecto, diferentes aplicaciones
requieren tapas de varios tamaños diferentes y/o ventanas de vidrio
de varios tamaños diferentes. Fabricar cada tapa como una pieza
separada requiere mucho tiempo y es caro, debido en parte a la
manipulación y el procesamiento por separado necesario para cada
tapa, y también debido en parte al hecho de que son necesarias
herramientas individuales para cada tamaño de marco diferente, y las
diferentes herramientas son relativamente caras. A este respecto,
el esmerilado y pulido de las superficies laterales opuestas de la
ventana de vidrio en cada marco separado requiere una parte de
soporte especial que pueda soportar adecuadamente un marco de ese
tamaño dentro de un aparato de esmerilado de doble disco, y cada
parte de soporte de este tipo debe configurarse para adecuarse al
tamaño particular de la tapa. Algunas configuraciones de tapa no
están asociadas a un mercado de gran volumen, y los elevados costes
de herramientas representan por tanto una parte importante del
coste de fabricación global de cada tapa individual.
Una consideración diferente es que, cuando se
funde cada pieza de vidrio en el marco asociado, las impurezas en
el marco pueden provocar la formación de gases. Por ejemplo,
impurezas de carbono en el marco pueden llevar a la formación de
gases a base de carbono. Puesto que el vidrio se ablanda por el
calor empleado para la fusión, los gases pueden a su vez producir
burbujas en el vidrio. Una cantidad excesiva de burbujas puede
degradar las propiedades ópticas de la ventana de vidrio hasta el
punto de que la tapa se considere defectuosa y deba descartarse.
Esto reduce obviamente el rendimiento efectivo del proceso de
fabricación. Se han desarrollado técnicas para lavar los marcos de
metal eliminando impurezas, por ejemplo procesando los marcos en un
entorno de amoniaco disociado. Sin embargo, estas técnicas no han
resultado satisfactorias en todos los aspectos. En particular,
estas técnicas han ayudado a reducir el número de impurezas y por
tanto el número de burbujas de gas en el vidrio, aumentando así los
rendimientos de producción. Pero el número de piezas que deben
desecharse por ser defectuosas es todavía elevado de manera no
deseada, lo que a su vez hace que los costes de las tapas
satisfactorias sea elevado de manera no deseada.
Según una primera forma de la presente
invención, se proporciona un método que implica: formar una
pluralidad de ventanas que son, cada una, transmisivas a la
radiación que presenta una longitud de onda predeterminada;
fabricar una placa con una pluralidad de aberturas a través de la
misma; sujetar de manera fija cada ventana a la placa de tal manera
que se proporcione un sellado anular entre una parte anular de la
ventana que se extiende a lo largo de una periferia de la misma y
una parte anular de la placa que se extiende alrededor de la
abertura; procesar simultáneamente una superficie respectiva de cada
una de las ventanas fijadas a la placa; y posteriormente cortar de
la placa una pluralidad de seccio-
nes que incluyen, cada una, una de las ventanas respectivas y una de las partes anulares respectivas de la placa.
nes que incluyen, cada una, una de las ventanas respectivas y una de las partes anulares respectivas de la placa.
Según una forma diferente de la invención, un
aparato incluye: una placa que presenta una pluralidad de aberturas
a través de la misma; y una pluralidad de ventanas que son, cada
una, transmisivas a la radiación que presenta una longitud de onda
predeterminada, estando cada ventana fijada a la placa de manera que
se proporciona un sellado anular entre una parte anular de la
ventana que se extiende a lo largo de una periferia de la misma y
una parte anular de la placa que se extiende alrededor de la
abertura, presentando cada ventana en la misma una superficie que
tiene que procesarse.
Según otra forma más de la invención, un método
incluye: calentar una pieza de metal en una atmósfera de hidrógeno
húmeda; posteriormente oxidar una superficie de la pieza de metal;
posteriormente colocar una pieza de vidrio en contacto con la
superficie de la pieza de metal; y posteriormente calentar la pieza
de metal y la pieza de vidrio para hacer que la pieza de vidrio se
funda directamente en la pieza de metal.
Se obtendrá una mejor comprensión de la presente
invención a partir de la descripción detallada que sigue, tomada en
conjunto con los dibujos adjuntos, en los que:
La figura 1 es una vista lateral en sección
esquemática de un aparato que incluye un alojamiento con una
abertura cerrada por una tapa que implementa los aspectos de la
presente invención;
la figura 2 es una vista en perspectiva en
despiece ordenado esquemático de la tapa de la figura 1;
la figura 3 es una vista lateral en sección
esquemática de una parte de la tapa de la figura 1;
la figura 4 es un diagrama de flujo que muestra
una secuencia de etapas que se llevan a cabo para realizar ventanas
de vidrio en un método que implementa aspectos de la presente
invención;
la figura 5 es una vista en perspectiva
esquemática de una ventana de vidrio producida mediante el método de
la figura 4;
la figura 6 es un diagrama de flujo que muestra
una secuencia de etapas que se llevan a cabo para realizar una
placa de metal en un método que implementa aspectos de la presente
invención;
la figura 7 es una vista desde abajo esquemática
de una placa de metal producida mediante el método de la figura
6;
la figura 8 es una vista desde arriba
esquemática de la placa de metal de la figura 7;
la figura 9 es una vista lateral en sección
fragmentaria esquemática tomada a lo largo de la línea
9-9 de la figura 8;
la figura 10 es un diagrama de flujo que muestra
una secuencia de etapas que se llevan a cabo para ensamblar
diversas piezas en un método que implementa aspectos de la presente
invención;
la figura 11 es una vista desde arriba
esquemática de una placa de fusión inferior que forma parte de
alguna herramienta empleada durante el método de la figura 10;
la figura 12 es una vista lateral en sección
esquemática tomada a lo largo de la línea 12-12 en
la figura 11;
la figura 13 es una vista desde arriba
esquemática de una placa de fusión superior que forma parte de la
herramienta empleada durante el método de la figura 10;
la figura 14 es una vista lateral en sección
esquemática tomada a lo largo de la línea 14-14 en
la figura 13;
la figura 15 es una vista en perspectiva
esquemática de un contrapeso que forma parte de la herramienta
empleada en el método de la figura 10;
la figura 16 es una vista lateral en sección
esquemática de un conjunto que existe en una fase intermedia del
método de la figura 10; y
la figura 17 es una vista desde arriba
esquemática de otro conjunto que existe en una fase intermedia del
método de la figura 10.
La figura 1 es una vista lateral en sección
esquemática de un aparato 10 que implementa aspectos de la presente
invención. El aparato 10 incluye un alojamiento 11 que presenta una
cámara 12 en su interior, y que tiene una pared superior con una
abertura 13 vertical a través de la misma. Un dispositivo digital de
microespejos (DMD, "Digital Micromirror Device") 16 de tipo
conocido está soportado dentro de la cámara 12, en el centro de la
superficie superior de la pared inferior del alojamiento 11. El DMD
16 tiene en un lado superior del mismo una matriz bidimensional de
diminutos espejos reflectores. Estos espejos se corresponden cada
uno con un píxel respectivo de una imagen y pueden moverse, cada
uno, físicamente de manera independiente por el DMD 16 en respuesta
a señales de control eléctricas.
Está prevista una tapa 17 en la parte superior
del alojamiento 12, de modo que cierra la abertura 13 de tal manera
que forma un sellado hermético entre el interior y el exterior del
alojamiento 11. A este respecto, los bordes periféricos de la tapa
17 se sueldan mediante costura de una manera conocida a la
superficie superior del alojamiento 11. Se proporciona un gas en la
zona 18 dentro de la cámara 12, y la tapa 17 garantiza que este gas
no se escape de la zona 18 en la cámara 12. El gas sirve para
lubricar los espejos de la matriz bidimensional sobre el DMD 16,
con el fin de facilitar su movimiento, y para garantizar que tengan
una vida útil de funcionamiento relativamente larga. Sin embargo,
este gas también es algo corrosivo, y el alojamiento 11 y la tapa 17
son por tanto resistentes al daño por corrosión del gas.
La figura 2 es una vista en despiece ordenado en
perspectiva esquemática de la tapa 17. Con referencia a las figuras
1 y 2, la tapa 17 incluye un marco 23 de metal anular y una ventana
24 que se monta de manera fija en el marco. En la realización
descrita, el marco 23 está hecho de un material de acero, por
ejemplo del tipo de material que está disponible comercialmente con
facilidad en un número de distribuidores diferentes como
ASTM-F15. El marco 23 es un elemento a modo de placa
con superficies superior e inferior paralelas, presentando el borde
exterior del marco 23 una forma aproximadamente rectangular. Una
abertura 27 se extiende verticalmente a través del centro del marco
23. La abertura 27 tiene una forma que es aproximadamente
rectangular, salvo porque tiene esquinas redondeadas. El marco 23
tiene en su lado superior una ranura anular o rebaje 29 de sección
transversal aproximadamente rectangular. Este rebaje 29 se extiende
a lo largo de todo el borde periférico del marco, de manera que
define a lo largo de toda la periferia del marco un reborde 32
anular que sobresale hacia fuera que presenta una anchura y un
espesor generalmente uniformes.
La ventana 24 es un elemento a modo de placa que
presenta superficies superior e inferior paralelas, y tiene
aproximadamente el mismo espesor que el marco 23. El borde exterior
de la ventana tiene la forma de un rectángulo con esquinas
redondeadas, y de hecho, la ventana 24 tiene aproximadamente el
mismo tamaño y forma que la abertura 27 a través del marco 23. El
borde periférico de la ventana 24 se funde directamente en el
material del marco 23 a lo largo de toda la longitud del mismo,
definiendo así un sellado anular entre la ventana 24 y el marco 23
que se extiende completamente alrededor de la ventana 24. Se trata
de un sellado hermético, que ayuda a mantener el gas corrosivo
dentro de la zona 18 en la cámara 12 del alojamiento 11. La técnica
empleada para fundir los bordes de la ventana 24 en el marco 23 se
comentará con más detalle más adelante.
La ventana 24 incluye una capa 38 de material de
vidrio de borosilicio, que en la realización descrita está
comercialmente disponible con el número de catálogo 7056 en Corning
Incorporated de Danville, Virginia. Este material de vidrio
particular es transmisivo a la radiación en un intervalo que se
centra en una longitud de onda de aproximadamente 545 nm, y que se
extiende desde aproximadamente 420 nm hasta aproximadamente 700 nm.
Además, este material de vidrio particular tiene un índice de
refracción que es de aproximadamente 1,47 a 1,50 para la radiación
en la longitud de onda central de 545 nm. Sin embargo, sería posible
como alternativa utilizar un material de vidrio diferente que sea
transmisivo a la radiación en un intervalo diferente de longitudes
de onda, y/o que tenga un índice de refracción diferente para la
radiación dentro del intervalo de interés.
La ventana 24 tiene, en el lado inferior de la
capa de vidrio 38, una capa 41 muy delgada de un material opaco,
que en la realización descrita es cromo. Para mayor claridad, el
espesor de la capa de cromo 41 se ha exagerado en los dibujos con
respecto a los tamaños de las demás piezas. Una abertura rectangular
42 se proporciona a través del centro de la capa de cromo 41. La
capa de cromo 41 puede omitirse opcionalmente de la ventana 24.
La ventana 24 incluye además, tanto en el lado
superior como en el inferior de la misma, un recubrimiento muy
delgado de un material antirreflectante (AR). Para mayor claridad,
los recubrimientos AR no se muestran por separado en las figuras 1
y 2. Sin embargo, la figura 3 es una vista lateral en sección
fragmentaria esquemática de una pequeña parte de la ventana 24, y
muestra la capa de vidrio 38, la capa de cromo 41 con la abertura
42 y también los recubrimientos AR en 46 y 47. Para mayor claridad,
los espesores de la capa de cromo 41 y de los recubrimientos AR
46-47 están todos exagerados en la figura 3. Los
recubrimientos AR 46 y 47 son, cada uno, transmisivos a la
radiación en el intervalo anteriormente mencionado desde
aproximadamente 420 nm hasta aproximadamente 700 nm. En la
realización descrita, los recubrimientos AR 46-47
están ambos realizados de dióxido de silicio. Sin embargo,
alternativamente podrían realizarse de algún otro material
antirreflectante adecuado, tal como fluoruro de magnesio.
Con referencia a la figura 1, el aparato 10
funciona como sigue. Un haz de radiación de entrada, que está
representado esquemáticamente mediante dos flechas 56 en la figura
1, pasa a través de la ventana 24 y viaja hasta el DMD 16. Cada uno
de los espejos del DMD 16 refleja una parte respectiva del haz en
una dirección determinada respectiva mediante la ubicación física
actual de ese espejo. Las diversas partes reflejadas de manera
independiente del haz original se denominan, cada una, en el
presente documento como haz secundario. Los diferentes haces
secundarios viajan entonces alejándose del DMD 16 en diversas
direcciones diferentes y, al menos algunos de ellos viajarán de
vuelta a través de la ventana 24, tal como se indica
esquemáticamente en la figura 1 mediante dos flechas 57.
Para mayor simplicidad, las flechas que
representan la radiación de entrada 56 y la radiación de salida 57
se muestran como líneas verticales en la figura 1, pero se
reconocerá que diversos haces y haces secundarios diferentes
viajarían normalmente en diversas direcciones diferentes. Toda la
radiación 56-57 que pasa en cualquier dirección a
través de la ventana 24 debe, por supuesto, pasar a través de la
abertura 42 en la capa de cromo 41.
A continuación se describirá un método para
realizar simultáneamente varias de las tapas 17. La figura 4 es un
diagrama de flujo que muestra una parte de este método. En
particular, la figura 4 muestra una secuencia de etapas que se
llevan a cabo para realizar una pluralidad de elementos de vidrio
que se convertirán cada uno en una capa de vidrio 38 dentro de la
ventana 24 de una tapa 17 respectiva. Más detalladamente, el bloque
101 de la figura 4 indica que el material de vidrio bruto se
conforma en una placa. Tal como se indicó anteriormente, el
material de vidrio bruto empleado en la realización descrita es un
material de vidrio de borosilicato que está comercialmente
disponible con el número de catálogo 7056 en Corning Incorporated.
Una cantidad de este material de vidrio bruto se calienta durante
aproximadamente 16 horas a una temperatura que aumenta
progresivamente desde una temperatura ambiente de aproximadamente
25ºC hasta una temperatura de 1050ºC. Este material de vidrio
calentado se prensa entonces y/o se moldea en una hoja que tiene un
espesor uniforme de aproximadamente 0,155 pulgadas. Esta hoja de
vidrio se vuelve a enfriar a continuación gradualmente hasta
25ºC.
A continuación, en el bloque 102, la hoja de
vidrio se corta en una pluralidad de elementos de ventana de vidrio
separados. La figura 5 es una vista en perspectiva esquemática que
muestra uno de estos elementos de ventana de vidrio en 106. Los
elementos de ventana de vidrio 106 se cortan cada uno de la hoja de
vidrio mediante mecanizado o fresado, o utilizando un láser. El
borde periférico de la ventana de vidrio 106 tiene una forma
aproximadamente rectangular, con esquinas redondeadas, de modo que
el elemento 106 tiene efectivamente el mismo tamaño y forma que la
abertura 27 (figura 2) en uno de los marcos 23. La ventana de vidrio
106 tiene en este punto un espesor algo mayor que la capa de vidrio
mostrada en 38 en las figuras 2 y 3, porque una parte de la ventana
de vidrio 106 se eliminará posteriormente mediante esmerilado y
pulido, tal como se comentará más adelante.
La figura 6 es un diagrama de flujo que muestra
una secuencia de etapas que se llevan a cabo para realizar una
placa de metal que tiene varias secciones que se corresponden, cada
una, con el marco 23 de la figura 2. La secuencia mostrada en la
figura 6 empieza con una hoja de metal bruto que, en la realización
descrita, es un material de acero comercialmente disponible como
ASTM-F15. Tal como se indica en el bloque 121 en la
figura 6, esta hoja de metal se somete a troquelado de precisión con
el fin de crear a partir de ella una o más placas de metal
cuadradas, en la realización descrita, cada una tiene un tamaño de 7
pulgadas por 7 pulgadas. El proceso de troquelado de precisión crea
simultáneamente una matriz bidimensional de aberturas a través de
cada placa, siendo cada abertura aproximadamente rectangular pero
con esquinas redondeadas. A este respecto, la figura 7 es una vista
desde abajo esquemática de una placa de metal cuadrada 126 que es
una de las placas de 7 pulgadas por 7 pulgadas separada de la hoja
de metal mediante troquelado de precisión. La placa 126 tiene
veinte de las aberturas aproximadamente rectangulares 127 que se
extienden a través de la misma. Estas aberturas 127 están
dispuestas en una matriz que tiene cinco filas y cuatro
columnas.
A continuación, tal como se indica en el bloque
122 en la figura 6, la placa 126 se somete a un esmerilado de doble
disco de un tipo conocido, con el fin de darle un espesor uniforme
seleccionado que, en la realización descrita, es de 0,115 pulgadas.
Entonces, con referencia al bloque 131 en la figura 6, se mecanizan
veinte ranuras anulares en un lado superior de la placa 126. A este
respecto, la figura 8 es una vista desde arriba esquemática de la
placa 126, que muestra las ranuras anulares 136. La figura 9 es una
vista lateral en sección fragmentaria esquemática de una parte de
la placa 126, tomada a lo largo de la línea 9-9 de
sección en la figura 8. Ha de observarse que cada una de las
ranuras anulares 136 se extiende alrededor de una de las respectivas
aberturas 127, de tal manera que la ranura 136 está separada hacia
fuera una pequeña distancia respecto a la abertura 127 a lo largo
de toda la periferia de la abertura 127.
Las ranuras 136 adyacentes están separadas una
pequeña distancia unas de otras, definiendo así una rejilla de
nervaduras perpendiculares 142 y 143 que tienen cada una el mismo
espesor vertical que la placa 126, y que sirven para hacer más
rígida la zona central de la placa 126 durante el procesamiento
posterior. La placa 126 se cortará eventualmente hasta formar 20
marcos que son, cada uno, equivalentes al marco 23 (figuras 1 y 2)
de una manera que se comentará más detalladamente más adelante.
A continuación, y todavía en referencia al
bloque 131 en la figura 6, se mecanizan o taladran varios orificios
de alineación de diversos tamaños y formas a través de la placa 126.
Ejemplos de estos orificios de alineación se indican mediante los
números de referencia 137-139 en las figuras 7 y 8.
En el bloque 146 en la figura 6, la placa 126 se desbarba empleando
técnicas conocidas. Entonces, en el bloque 147, la placa 126 y
varias otras placas similares se cargan en un bastidor de soporte
adecuado y se enjuagan en agua desionizada (DI).
Entonces, con referencia al bloque 148, el
bastidor de soporte con las placas en el mismo se sumerge en una
disolución de agente tensioactivo (disolución jabonosa) a una
temperatura de aproximadamente 50ºC a 75ºC, durante un periodo de
tiempo en el intervalo de aproximadamente 5 minutos a 15 minutos. El
bastidor y las placas se extraen entonces de esta disolución. A
continuación, en el bloque 151, el bastidor y las placas se
enjuagan con agua desionizada a temperatura ambiente.
Entonces, en el bloque 152, las placas se atacan
químicamente sumergiendo el bastidor y las placas en una disolución
de cloruro férrico a temperatura ambiente durante un periodo de
tiempo en el intervalo de aproximadamente 1 minuto a 4 minutos. El
bastidor y las placas se extraen entonces de esta disolución y se
dejan escurrir. Entonces, en el bloque 153, el bastidor y las
placas se enjuagan durante 15 minutos con agua desionizada a
temperatura ambiente. Entonces, en el bloque 156, el bastidor y las
placas se secan a 150ºC durante 20 minutos.
A continuación, las placas 126 se transfieren
del bastidor a un elemento de soporte cerámico, y se procesan en un
horno de hidrógeno húmedo con un ajuste del punto de rocío de 15 a
30 PPM/ºC durante un periodo de tiempo en el intervalo de
aproximadamente 11 a 15 minutos, mientras se mantiene una
temperatura máxima de aproximadamente 950ºC a 1100ºC. Esto sirve
para lavar las placas de metal eliminando impurezas de carbono,
oxígeno y azufre de las placas, junto con otros contaminantes
atrapados, mediante la formación de productos tales como CH_{4},
CO_{2} y CO+H_{2}.
Como una alternativa al proceso con hidrógeno
húmedo comentado anteriormente en asociación con el bloque 157, las
placas y el elemento de soporte cerámico podrían someterse a una
atmósfera de amoniaco disociado 3:1 con un ajuste del punto de
rocío de 20 a 40 PPM/ºC durante un tiempo de estancia de 10 a 30
minutos, mientras se mantiene una temperatura de aproximadamente
1000ºc a 1250ºC.
Una vez completado el proceso con hidrógeno
húmedo comentado en asociación con el bloque 157, el método avanza
hasta el bloque 158, en el que las placas se transfieren a un
elemento de soporte cerámico diferente. Las placas se oxidan
entonces colocando las placas y el elemento de soporte cerámico en
un horno de nitrógeno húmedo durante un periodo de tiempo de
aproximadamente 9 a 13 minutos, mientras se mantiene una temperatura
máxima de aproximadamente 600ºC a 1000ºC. La capa de oxidación
formada en los marcos mediante este proceso con nitrógeno húmedo
tendrá un espesor en el intervalo de aproximadamente 3\ring{A} a
10\ring{A} y ayuda a aumentar la resistencia de la unión que se
formará entre el vidrio y el metal. Demasiado poca oxidación o
demasiada oxidación pueden servir para debilitar la unión.
La figura 10 es un diagrama de flujo que muestra
una secuencia de etapas que se llevan a cabo en la realización
descrita para ensamblar la placa 126 (figuras 7 a 9) con 20 ventanas
de vidrio del tipo mostrado en 106 (figura 5). En el bloque 201, se
selecciona un subconjunto de muestra de las placas de metal 126 para
su inspección, y se selecciona un subconjunto de muestra de las
ventanas de vidrio 106 para su inspección. En la realización
descrita, la inspección de los marcos y las ventanas se lleva a cabo
para obtener un 1% de nivel de calidad aceptable (AQL,
acceptable quality level) que es una técnica estándar en la
industria en la que se utiliza una tabla para determinar el número
de piezas que tienen que inspeccionarse para garantizar un nivel de
calidad específico. La siguiente explicación del procedimiento de
ensamblaje se refiere a placas y ventanas que han pasado el
procedimiento de inspección.
En el bloque 202 de la figura 10, cada una de
las ventanas de vidrio 106 se lava mediante ataque químico en una
disolución de ácido fluorhídrico al 49% durante 30 segundos hasta 2
minutos a 20ºC hasta 40ºC. Entonces, cada ventana de vidrio 106 se
enjuaga en agua desionizada. Posteriormente, cada ventana de vidrio
106 se hornea hasta que esté totalmente seca, por ejemplo a una
temperatura de 150ºC durante 20 minutos.
A continuación, con referencia al bloque 203 en
la figura 10, la placa 126 y veinte de las ventanas 106 se
ensamblan mediante el empleo de herramientas de fusión, que las
sujetan en la posición adecuada unas con respecto a las otras hasta
que pueden fundirse conjuntamente. A este respecto, la figura 11 es
una vista desde arriba esquemática de una placa de fusión inferior
207 que forma parte de la herramienta de fusión reutilizable
prevista para el ensamblaje. La figura 12 es una vista en sección
esquemática de la placa de fusión inferior 207, tomada a lo largo
de la línea 12-12 de sección en la figura 11. La
placa 207 está hecha de un material de grafito, tiene un tamaño de
7 pulgadas por 7 pulgadas, y tiene en un lado superior de la misma
una pluralidad de rebajes poco profundos 208. Los rebajes 208 son,
cada uno, aproximadamente rectangulares con esquinas redondeadas,
para que tengan aproximadamente la misma forma y tamaño que los
elementos de ventana 106.
La figura 13 es una vista desde arriba
esquemática de una placa de fusión superior 211, que forma parte
adicionalmente de la herramienta de fusión reutilizable. La figura
14 es una vista lateral en sección esquemática de la placa de
fusión 211, tomada a lo largo de la línea 14-14 en
la figura 13. La placa de fusión 211 está hecha de un material de
grafito, tiene un tamaño de 7 pulgadas por 7 pulgadas y tiene una
pluralidad de aberturas 212 que se extienden a través de la misma.
Cada una de las aberturas 212 tiene una forma aproximadamente
rectangular con esquinas redondeadas y el tamaño y la forma de las
aberturas 212 se corresponde con el tamaño y la forma de los
elementos de ventana 106.
La figura 15 es una vista en perspectiva
esquemática de un contrapeso 216 que es un componente adicional de
la herramienta de fusión reutilizable. El contrapeso 216 es un
elemento a modo de placa que tiene superficies superior e inferior
paralelas y que tiene un borde periférico que está conformado para
ser aproximadamente rectangular con esquinas redondeadas. El
contrapeso está hecho de un material de grafito y la longitud y la
anchura del contrapeso 216 son ligeramente inferiores que la
longitud y la anchura de cada una de las ventanas de vidrio 106.
La figura 16 es una vista lateral en sección
esquemática de un conjunto 221 que incluye la placa de fusión
inferior 207, la placa de fusión superior 211, la placa de metal
126, veinte de las ventanas de vidrio 106 y veinte de los
contrapesos 216. Más detalladamente, veinte de las ventanas de
vidrio 106 se colocan cada una sobre la placa de fusión inferior
207 de manera que una parte inferior de las mismas se dispone en uno
de los rebajes poco profundos 208 respectivos. La placa de metal
126 se añade entonces, moviéndola en una dirección descendente
hasta que descansa sobre la parte superior de la placa de fusión
inferior 207. Las veinte ventanas de vidrio 106 se alojarán, cada
una, dentro de una abertura 127 respectiva en la placa de metal 126.
Las ventanas de vidrio 106 tienen, cada una, un espesor inicial que
es algo mayor que el espesor de la placa de metal 126. Los rebajes
poco profundos 208 tienen cada uno una profundidad que es
aproximadamente la mitad de la diferencia entre el espesor de las
ventanas de vidrio 106 y el espesor de la placa de metal 126. Por
consiguiente, como resulta evidente por la figura 16, los rebajes
208 colocan los elementos de ventana 106 de manera que cada
elemento de ventana 106 sobresale hacia fuera aproximadamente la
misma cantidad por cada lado de la placa 126.
A continuación, la placa de fusión superior 211
se añade al conjunto, moviéndola hacia abajo hasta que descansa
sobre la parte superior de la placa de metal 126. La parte superior
de cada una de las ventanas de vidrio 106 se aloja dentro de la
parte inferior de una abertura 212 respectiva a través de la placa
de fusión superior 211. Entonces, uno de los contrapesos 216
respectivos se coloca sobre la parte superior de cada una de las
ventanas de vidrio 106. Los contrapesos 216 sirven para sujetar las
ventanas de vidrio 106 en su sitio mientras que el vidrio se funde
en la placa de metal 126, lo que ocurre de una manera que se
comentará más adelante. Los contrapesos 216 están dimensionados de
manera que tienen suficiente peso para sujetar las ventanas de
vidrio 106 en su sitio, pero sin ejercer tanta fuerza que el
material de las ventanas de vidrio 106 tienda a fluir y deformarse
cuando se calienta durante el proceso de fusión.
A continuación, en referencia al bloque 231 en
la figura 10, el conjunto 221 se coloca en un horno y se hornea en
una atmósfera inerte a una temperatura de 900ºC a 1050ºC. El
conjunto 221 está en el horno durante un periodo de tiempo desde 1
hora y 45 minutos hasta 2 horas y 15 minutos, y está a la
temperatura máxima durante aproximadamente 20 minutos. A esta
temperatura, el material de las ventanas de vidrio 106 se ablanda, y
el borde periférico de cada ventana de vidrio 106 se funde
directamente en el borde de la abertura 127 asociada a través de la
placa de metal 126, a lo largo de toda la circunferencia de la
misma. Al final de intervalo de tiempo especificado, el conjunto
221 se deja enfriar de nuevo a temperatura ambiente, de modo que las
ventanas de vidrio 106 se endurecen de nuevo y quedan unidas
fijamente a la placa de metal 126. Esto crea un sellado hermético
entre las ventanas de vidrio 106 y la placa de metal 126 a lo largo
de todo el borde periférico de cada una de las ventanas de vidrio
106.
Debido al hecho de que la placa de metal 126 se
ha lavado mediante el empleo del procedimiento con hidrógeno húmedo
comentado anteriormente (bloque 157 en la figura 6), se reducen
sustancialmente el carbono y otras impurezas en el metal, lo que a
su vez reduce la medida en la que estas impurezas pueden producir
diversos gases durante el proceso de fusión, lo que a su vez reduce
sustancialmente la medida en la que tales gases pueden crear
burbujas no deseadas en el material de las ventanas de vidrio
106.
Cuando el proceso de fusión se ha completado, la
placa de metal 126 y las ventanas de vidrio 106 fijadas a la misma
se separan de la herramienta de fusión, incluyendo los contrapesos
216 y las placas de fusión superior e inferior 207 y 211. Debido al
hecho de que las placas de fusión 207 y 211, y el contrapeso 216,
están hechos de material de grafito, el material de vidrio 106 no
tiende a fundirse en ellos durante el proceso de fusión, por tanto
no resulta difícil separar la placa de metal 126 y las ventanas de
vidrio 106 de la herramienta de fusión.
Debido al hecho de que el material de vidrio de
las ventanas 106 alcanza una temperatura de fusión y se ablanda
durante el proceso de fusión, las superficies opuestas a cada
ventana de vidrio 106 normalmente se ven afectadas en sus
propiedades ópticas mediante el proceso de fusión. Por lo tanto, con
referencia al bloque 232 en la figura 10, las superficies laterales
opuestas de cada ventana de vidrio 106 se someten a esmerilado y
pulido. Los términos independientes "esmerilado" y
"pulido" se utilizan ambos en el presente documento porque es
habitual en la industria el empleo de ambos términos. Pero se
reconocerá, que el esmerilado y el pulido implican ambos el
refinado abrasivo de las superficies de las ventanas 106, y difieren
básicamente sólo en cuanto al grosor del tamaño de grano del medio
abrasivo empleado.
En la realización descrita, ambos lados de todas
las 20 ventanas de vidrio 106 se esmerilan y se pulen de manera
simultánea. Esto se lleva a cabo mediante el uso de una disposición
de esmerilado de doble disco no ilustrada de un tipo conocido. En
esta disposición de esmerilado de doble disco, dos discos abrasivos
y coaxiales con diámetros de aproximadamente 24 pulgadas se hacen
girar uno respecto al otro, y la placa de metal 126 con las
ventanas de vidrio 106 fijadas en la misma se coloca entre dos
superficies enfrentadas sobre los discos, de manera que los lados
opuestos de cada ventana de vidrio 106 se acoplan, cada uno, a una
superficie respectiva sobre un disco respectivo. Ambas superficies
laterales de cada una de las ventanas de vidrio 106 se esmerilan y
pulen entonces simultáneamente hasta que cada superficie lateral
está aproximadamente al mismo nivel que o bien la superficie
superior o bien la superficie inferior de la placa de metal 126.
Este esmerilado y pulido se lleva a cabo de
manera que se consiguen criterios ópticos específicos. En la
realización descrita, los criterios ópticos son que ambas
superficies superior e inferior de cada ventana de vidrio 106 se
pulen hasta una planeidad de cuatro franjas de potencia esférica y
dos franjas de irregularidad. El esmerilado y el pulido simultáneos
de ambos lados de todas las ventanas de vidrio 106 proporcionan una
reducción de coste importante respecto a las técnicas
preexistentes, en las que el esmerilado y el pulido se llevan a cabo
en una única ventana de vidrio montada en un único marco de
metal.
En referencia al bloque 233 en la figura 10,
cuando el esmerilado y el pulido se han completado de modo que se
cumplen los criterios ópticos especificados, el conjunto que incluye
la placa de metal 126 con las ventanas 106 se somete a un
procesamiento que lava las superficies expuestas de la placa de
metal 126. En particular, el conjunto que incluye la placa de metal
126 y las ventanas de vidrio 106 se sumerge sucesivamente en un
baño de ácido de desincrustación, un baño alcalino de lavado, y un
baño de ácido clorhídrico. Estos baños sirven para lavar las
superficies expuestas de la placa de metal 126 como preparación para
el recubrimiento electrolítico, incluyendo la eliminación de la
oxidación que se formó en el metal en el bloque 158 de la figura 6.
A este respecto, la finalidad de la oxidación era proporcionar una
superficie sobre la placa de metal 126 que garantizara una unión
segura entre la placa de metal 126 y las ventanas de vidrio 106. En
cuanto a otras partes de la superficie del metal, que no están
acopladas por el vidrio, resulta adecuado eliminar la oxidación de
estas superficies para que estas superficies puedan recubrirse
electrolíticamente.
A continuación, en el bloque 236, las
superficies expuestas de la placa de metal 126 se recubren
electrolíticamente con una capa de níquel que tiene un espesor de
al menos 200 micropulgadas. Entonces, se recubre electrolíticamente
una capa de oro sobre la capa de níquel, presentando la capa de oro
un espesor de al menos 50 micropulgadas. Las capas de oro y níquel
ayudan a proteger el material de acero ASTM-F15 de
la placa de metal 126 frente a daños debidos a factores
ambientales, tales como las características corrosivas del gas
lubricante que se dispone dentro de la cámara 12 (figura 1) en el
alojamiento 11.
A continuación, con referencia al bloque 237 en
la figura 10, el espesor de las capas de níquel y oro se verifica
mediante una medición por fluorescencia de rayos X (XRF), empleando
técnicas que se conocen en la técnica. En la realización descrita,
esta medición XRF se lleva a cabo en un subconjunto de los conjuntos
que incluyen, cada uno, una placa de metal 126 con ventanas de
vidrio 106 fijadas a la misma. Entonces, en el bloque 238, cada una
de las ventanas de vidrio 106 se limpia por ambos lados. En la
realización descrita, esto se lleva a cabo manualmente, utilizando
un paño sin pelusa y alcohol isopropílico.
Tal como se comentó anteriormente en asociación
con las figuras 1 a 3, la capa de cromo 41 con la abertura 42 es
opcional. Por consiguiente, en el bloque 241, se toma una decisión
en cuanto a si es necesario proporcionar la capa de cromo 41 en el
conjunto que está fabricándose en este momento. Si no lo es,
entonces se saltan los dos siguientes bloques 242 y 243. De lo
contrario, el proceso avanza hasta el bloque 242.
En el bloque 242, se utiliza una máscara para
aplicar una capa de cromo al lado inferior de cada una de las
ventanas de vidrio 106. La máscara es similar a la placa mostrada en
211 en las figuras 13-14, salvo porque la máscara
está hecha de metal y es significativamente más delgada que la placa
211. La máscara se coloca sobre el lado inferior de la placa de
metal 126, de modo que se cubre la placa de metal 126 y sólo las
superficies inferiores de las ventanas de vidrio 106 quedan
expuestas. Se deposita entonces una capa de cromo sobre la
superficie inferior de cada una de las ventanas de vidrio 106, con
un espesor en el intervalo de 700\ring{A} a 4.000\ring{A}.
Después se retira la máscara. A continuación, en el bloque 243, se
aplica una capa de fotoprotector sobre las superficies inferiores
de la placa de metal 126 y las ventanas de vidrio 106. Este
fotoprotector se perfila empleando técnicas conocidas, y entonces la
capa de cromo se ataca químicamente para crear en la capa de cromo
en cada una de las ventanas de vidrio 106 una abertura rectangular,
que se corresponde con la abertura mostrada en 42 en la capa de
cromo 41 de las figuras 1 y 2. Después se retira el
fotoprotector.
A continuación, en el bloque 246 en la figura
10, se utiliza una máscara para aplicar un recubrimiento
antirreflectante a ambos lados de cada una de las ventanas de
vidrio 106. La máscara utilizada en el bloque 146 es una delgada
máscara de metal que es equivalente físicamente a la máscara de
metal comentada anteriormente en asociación con el bloque 242.
Mediante el uso de la máscara, el recubrimiento antirreflectante se
aplica a cada superficie lateral de cada ventana 106, pero no a las
superficies recubiertas electrolíticamente con oro de la placa de
metal 126.
La figura 17 es una vista desde arriba
esquemática del conjunto tal como se presenta en este punto en el
proceso de fabricación. El conjunto de la figura 17 incluye la
placa de metal 126, y las ventanas 106 fijadas en las aberturas 127
de la placa 126. El número de referencia 251 indica la capa de cromo
que está prevista sobre y que es visible a través de una de las
ventanas 106 transparentes, y el número de referencia 252 designa
la abertura rectangular a través de la capa de cromo 251. Los
revestimientos antirreflectantes están presentes, pero no se
ilustran por separado en la figura 17.
A continuación, en el bloque 256 en la figura
10, una hoja no ilustrada de material de plástico se aplica
temporalmente a cada lado del conjunto mostrado en la figura 17, por
ejemplo en forma de una hoja de material de plástico adherente
estático. La finalidad de este material de plástico es proteger las
ventanas de vidrio 106 mientras se cortan piezas de la placa 126.
En particular, el número de referencia 258 designa una de veinte
líneas discontinuas rectangulares, cada una de las cuales representa
una trayectoria a lo largo de la cual se realizará un corte a
través de la pared inferior de una ranura 136 respectiva en la placa
de metal 126. Las líneas discontinuas rectangulares 258 en la
figura 17 se extienden, cada una, alrededor de una de las ventanas
de vidrio respectivas y alrededor de una parte asociada de la placa
de metal 126.
Se realiza un corte preciso a lo largo de cada
una de las líneas discontinuas 258, utilizando un procedimiento de
troquelado de precisión de un tipo conocido. Alternativamente, los
cortes a lo largo de las líneas discontinuas 258 podrían realizarse
utilizando una sierra circular de diamante no ilustrada de un tipo
conocido. Una vez realizados los cortes a lo largo de cada una de
las líneas discontinuas 258, se habrán cortado veinte secciones del
conjunto a partir de la placa de metal 126, y cada una de estas
secciones será una tapa que es idéntica a la tapa mostrada en 17 en
las figuras 1 y 2.
A continuación, con referencia al bloque 261 en
la figura 10, las hojas de plástico adherente estático se retiran
de ambos lados de cada una de las veinte tapas cortadas a partir de
la placa de metal 126. Entonces, ambos lados de cada ventana en
cada una de estas tapas se limpia con un paño sin pelusa y alcohol
isopropílico. En el raro caso de que haya algún residuo que se
resista a la eliminación mediante el alcohol isopropílico,
opcionalmente puede utilizarse acetona con un paño sin pelusa para
eliminar el residuo. Una vez limpia, cada tapa está lista para
instalarse en un aparato del tipo mostrado en 10 en la figura 1.
La presente invención proporciona numerosas
ventajas técnicas. Una de tales ventajas técnicas es que, dado que
un número de etapas durante el proceso de fabricación se llevan a
cabo, cada una, de tal manera que se procesan simultáneamente una
pluralidad de ventanas ópticas en un único conjunto, el coste global
de las tapas resultantes puede reducirse de manera significativa,
en un 25% o más.
Un aspecto de ello es que el conjunto puede
tener un tamaño estandarizado tal como 7 pulgadas por 7 pulgadas,
independientemente del número preciso de ventanas que estén
procesándose. A este respecto, el conjunto de 7 pulgadas por 7
pulgadas puede incluir un gran número de ventanas cuando las
ventanas son relativamente pequeñas, o un número más pequeño de
ventanas cuando las ventanas son relativamente grandes. Como
resultado, puede ser necesaria alguna herramienta especializada
para cada configuración del conjunto, pero otras varias herramientas
pueden ser estandarizadas y emplearse para todos estos conjuntos
que tienen el tamaño estándar, independientemente del número de
ventanas en cualquier conjunto particular. Por ejemplo, cuando se
esmerilan y pulen las ventanas empleando técnicas de esmerilado de
doble disco, puede desarrollarse un único conjunto de herramientas
estandarizadas compatibles con el tamaño del conjunto de 7 pulgadas
por 7 pulgadas, y entonces utilizarse para todos los conjuntos de
este tipo, independientemente del número específico de ventanas en
cada conjunto. Debido a factores tales como el coste importante de
las herramientas especializadas, la estandarización de las
herramientas puede ayudar a reducir de manera significativa los
costes globales de las tapas resultantes.
Una ventaja adicional es que no se cortan tapas
separadas de cada conjunto hasta después de que se hayan completado
casi todas las etapas del proceso, lo que también ayuda a hacer
efectiva una reducción de costes importante. Esto es así
particularmente en lo que respecta a las etapas de esmerilado y
pulido de las ventanas de vidrio, aplicación y ataque químico de
las capas de cromo opcionales, y posterior aplicación de
recubrimientos antirreflectantes.
Otra ventaja más se logra cuando un marco de
metal se somete a un proceso con hidrógeno húmedo para eliminar
impurezas de la superficie del marco antes de su oxidación y
posterior fusión en una ventana de vidrio. El proceso con hidrógeno
húmedo es significativamente más eficaz en la eliminación de
impurezas que las técnicas preexistentes. Debido al hecho de que el
proceso con hidrógeno húmedo es particularmente eficaz en la
eliminación de impurezas, de ello resulta una reducción importante
de formación de gases y por tanto de la formación de burbujas en
las ventanas de vidrio. Esto a su vez hace efectiva una reducción
importante en el número de piezas que deben descartarse como
defectuosas, lo que representa un aumento significativo del
rendimiento efectivo del proceso de fabricación, y por tanto una
reducción en el coste de cada pieza.
Aunque se ha ilustrado y se ha descrito
detalladamente una realización, se entenderá que son posibles
diversas sustituciones y modificaciones sin alejarse del espíritu y
del alcance de la presente invención, tal como se define por las
reivindicaciones siguientes.
Claims (20)
1. Método que comprende las etapas de:
formar una pluralidad de ventanas que son, cada
una, transmisivas a la radiación que tiene una longitud de onda
predeterminada;
fabricar una placa con una pluralidad de
aberturas a través de la misma;
sujetar de manera fija cada una de dichas
ventanas en dicha placa de tal manera que se proporciona un sellado
anular entre una parte anular de la ventana que se extiende a lo
largo de la periferia de la misma y una parte anular de la placa
que se extiende alrededor de la abertura;
procesar simultáneamente una superficie
respectiva en cada una de dichas ventanas fijadas a dicha placa;
y
posteriormente, cortar de dicha placa una
pluralidad de secciones que incluyen, cada una, una de dichas
ventanas respectivas y una de dichas partes anulares respectivas de
dicha placa.
2. Método según la reivindicación 1,
en el que dicha etapa de formar dichas ventanas
se lleva a cabo de tal manera que dichas ventanas son, cada una, de
mayor espesor que dicha placa;
en el que dicha etapa de sujetar de manera fija
dichas ventanas a dicha placa incluye la etapa de colocar dichas
ventanas de manera que sobresalgan hacia fuera una pequeña distancia
más allá de dicha placa a cada lado de la misma; y
en el que dicha etapa de procesar dichas
ventanas incluye las etapas de realizar simultáneamente un refinado
abrasivo de una superficie respectiva sobre un lado de cada una de
dichas ventanas, y simultáneamente realizar un refinado abrasivo de
una superficie respectiva sobre el otro lado de cada una de dichas
ventanas.
3. Método según la reivindicación 2, en el que
dichas etapas de realizar un refinado abrasivo se llevan a cabo
realizando simultáneamente un refinado abrasivo de las superficies
en ambos lados de cada una de dichas ventanas.
4. Método según la reivindicación 3, en el que
dicha etapa de realizar un refinado abrasivo se lleva a cabo con una
técnica de esmerilado de doble disco.
5. Método según la reivindicación 1, en el que
dicha etapa de sujetar de manera fija dichas ventanas en dicha
placa se lleva a cabo mediante calentamiento de dicha placa y dichas
ventanas de tal manera que se provoca que una parte periférica de
cada una de dichas ventanas se funda directamente en el material de
dicha placa.
6. Método según la reivindicación 1, que incluye
después de dicha etapa de procesamiento de dichas ventanas y antes
de dicha etapa de corte, la etapa de formación sobre una superficie
de cada una de dichas ventanas de una capa opaca que tiene una
abertura a través de la misma.
7. Método según la reivindicación 6, en el que
dicha etapa de formación de una capa opaca se lleva a cabo
depositando cromo sobre cada una de dichas ventanas y después
atacando químicamente dicha abertura a través de dicho cromo sobre
cada una de dichas ventanas.
8. Método según la reivindicación 1, que incluye
después de dicha etapa de realizar un refinado abrasivo y antes de
dicha etapa de corte, la etapa de aplicación de una capa
antirreflectante a al menos un lado de cada una de dichas
ventanas.
9. Método según la reivindicación 1, en el que
dicha etapa de sujetar de manera fija incluye las etapas de:
soportar cada una de dichas ventanas en un
rebaje poco profundo de una primera pieza;
soportar dicha placa sobre dicha primera pieza
con dichas ventanas dispuestas en dichas aberturas a través de dicha
placa;
soportar sobre dicha placa una segunda pieza que
tiene una pluralidad de aberturas que, cada una, aloja un extremo
superior de una de dichas ventanas respectivas; y
proporcionar dentro de cada una de dichas
aberturas de dicha segunda pieza un respectivo contrapeso que
descansa sobre una de dichas ventanas respectivas.
10. Aparato que comprende:
una placa que presenta una pluralidad de
aberturas a través de la misma; y
una pluralidad de ventanas que son, cada una,
transmisivas a la radiación que presenta una longitud de onda
predeterminada, estando cada una de dichas ventanas fijada a dicha
placa de manera que se proporciona un sellado anular entre una
parte anular de la ventana que se extiende a lo largo de una
periferia de la misma y una parte anular de la placa que se
extiende alrededor de la abertura, y presentando cada una de dichas
ventanas en la misma una superficie que tiene que procesarse.
11. Aparato según la reivindicación 10,
en el que dichas ventanas son, cada una, de
mayor espesor que dicha placa, y están cada una fijadas dentro de
una de dichas aberturas respectivas en dicha placa de manera que
cada una de dichas ventanas sobresale hacia fuera una pequeña
distancia más allá de dicha placa en cada lado de la misma; y
en el que cada una de dichas ventanas tiene en
cada lado de la misma una superficie que tiene que procesarse.
12. Aparato según la reivindicación 10, en el
que cada una de dichas ventanas tiene un borde periférico que se
funde directamente en el material de dicha placa.
13. Aparato según la reivindicación 12, en el
que dicha placa es un material de acero y cada una de dichas
ventanas es un material de vidrio de borosilicato.
14. Aparato según la reivindicación 10, en el
que dicha placa presenta en un lado de la misma una pluralidad de
ranuras anulares, extendiéndose cada una de dichas ranuras alrededor
de una de dichas aberturas respectivas a través de dicha placa.
15. Método que comprende las etapas de:
calentar una pieza de metal en una atmósfera de
hidrógeno húmeda;
posteriormente oxidar una superficie de dicha
pieza de metal;
posteriormente colocar una pieza de vidrio en
contacto con dicha superficie de dicha pieza de metal; y
posteriormente calentar dicha pieza de metal y
dicha pieza de vidrio para hacer que dicha pieza de vidrio se funda
directamente en dicha pieza de metal.
16. Método según la reivindicación 15, en el que
dicha pieza de metal es un material de acero.
17. Método según la reivindicación 16, en el que
dicha pieza de vidrio es un material de vidrio de borosilicato.
18. Método según la reivindicación 15, en el que
dicha etapa de calentar dicha pieza de metal en dicha atmósfera de
hidrógeno húmedo incluye la etapa de mantener un ajuste del punto de
rocío de dicha atmósfera en el intervalo de 15 a 30 PPM/ºC mientras
se calienta dicha pieza de metal hasta una temperatura máxima en el
intervalo de aproximadamente 950ºC a 1100ºC durante un periodo de
tiempo en el intervalo de aproximadamente 11 a 15 minutos.
19. Método según la reivindicación 18, en el que
dicha etapa de oxidación incluye la etapa de procesar dicha pieza
de metal en un horno de nitrógeno húmedo durante un intervalo de
tiempo de aproximadamente 9 a 13 minutos mientras se mantiene una
temperatura máxima de aproximadamente 600ºC a 1000ºC.
20. Método según la reivindicación 15,
en el que dicha pieza de vidrio es transmisiva a
la radiación que tiene una longitud de onda predeterminada;
en el que dicha pieza de metal tiene una
abertura a través de la misma; y
en el que dicha etapa de calentar se lleva a
cabo con dicha pieza de vidrio dispuesta dentro de dicha abertura a
través de dicha pieza de metal de tal manera que una parte
periférica anular de dicha pieza de vidrio se funde directamente de
manera sellada en una parte anular de dicha pieza de metal que se
extiende alrededor de dicha abertura.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US45639 | 2001-11-06 | ||
US10/045,639 US6745449B2 (en) | 2001-11-06 | 2001-11-06 | Method and apparatus for making a lid with an optically transmissive window |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ES2300503T3 true ES2300503T3 (es) | 2008-06-16 |
Family
ID=21939073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES02795601T Expired - Lifetime ES2300503T3 (es) | 2001-11-06 | 2002-11-06 | Metodo y aparato para realizar una tapa con una ventana opticamente transmisiva. |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6745449B2 (es) |
EP (1) | EP1446941B1 (es) |
JP (1) | JP2005512114A (es) |
KR (1) | KR20040071133A (es) |
AT (1) | ATE381205T1 (es) |
AU (1) | AU2002360352A1 (es) |
DE (1) | DE60224082T2 (es) |
ES (1) | ES2300503T3 (es) |
WO (1) | WO2003041391A2 (es) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6745449B2 (en) * | 2001-11-06 | 2004-06-08 | Raytheon Company | Method and apparatus for making a lid with an optically transmissive window |
US6667837B1 (en) * | 2002-01-30 | 2003-12-23 | Raytheon Company | Method and apparatus for configuring an aperture edge |
-
2001
- 2001-11-06 US US10/045,639 patent/US6745449B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-11-06 AT AT02795601T patent/ATE381205T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-11-06 KR KR10-2004-7006846A patent/KR20040071133A/ko not_active Application Discontinuation
- 2002-11-06 JP JP2003543302A patent/JP2005512114A/ja active Pending
- 2002-11-06 DE DE60224082T patent/DE60224082T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-06 WO PCT/US2002/035754 patent/WO2003041391A2/en active IP Right Grant
- 2002-11-06 ES ES02795601T patent/ES2300503T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-06 AU AU2002360352A patent/AU2002360352A1/en not_active Abandoned
- 2002-11-06 EP EP02795601A patent/EP1446941B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-06-07 US US10/862,275 patent/US6908026B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-06-07 US US10/862,263 patent/US7098396B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6745449B2 (en) | 2004-06-08 |
DE60224082D1 (de) | 2008-01-24 |
US7098396B2 (en) | 2006-08-29 |
JP2005512114A (ja) | 2005-04-28 |
EP1446941A2 (en) | 2004-08-18 |
US20030101562A1 (en) | 2003-06-05 |
WO2003041391A2 (en) | 2003-05-15 |
WO2003041391A3 (en) | 2003-10-30 |
DE60224082T2 (de) | 2008-12-04 |
KR20040071133A (ko) | 2004-08-11 |
AU2002360352A1 (en) | 2003-05-19 |
US20040217151A1 (en) | 2004-11-04 |
EP1446941B1 (en) | 2007-12-12 |
US20040221525A1 (en) | 2004-11-11 |
US6908026B2 (en) | 2005-06-21 |
ATE381205T1 (de) | 2007-12-15 |
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