ES2286583T3 - Procedimiento de realizacion de un dispositivo de membrana plastica y dispositivo obtenido. - Google Patents

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Abstract

Procedimiento de realización de un dispositivo de membrana, caracterizado porque consiste en: - proveerse de un substrato (10, 24, 26), - depositar en él un líquido (16), y - por un procedimiento de depósito a baja presión, recubrir el citado líquido (16) y, al menos, la porción de substrato lindante con el citado líquido (16), con una película delgada (18) continua homogénea de material plástico que forma la citada membrana.

Description

Procedimiento de relación de un dispositivo de membrana plástica y dispositivo obtenido.
La presente invención se refiere al ámbito de los dispositivos de membrana. Ésta se refiere, de modo más preciso, a un procedimiento de realización de microestructuras de membrana de material plástico, así como a dispositivos obtenidos por este procedimiento.
La invención encuentra aplicaciones interesantes, especialmente, pero no exclusivamente, en el ámbito de la microtécnica, por ejemplo para la fabricación de microlentillas, de microcanales, de guías de onda ...
De modo más preciso, la invención se refiere a un procedimiento de realización de un dispositivo de membrana, caracterizado porque consiste en:
-
proveerse de un substrato,
-
depositar en él un líquido, y
-
por un procedimiento de depósito a baja presión, recubrir el citado líquido y, al menos, la porción de substrato lindante con el líquido, con una película delgada continua homogénea de material plástico que forma la citada membrana.
La invención se refiere, igualmente, a diversas formas de realización de un dispositivo obtenido por el procedimiento anterior, en el cual el substrato forma con el líquido y la membrana, una lentilla óptica, una guía de onda, un actuador, o también un canal fluídico.
La invención se refiere, finalmente, a un procedimiento de realización de una membrana, caracterizado porque consiste en:
-
proveerse de un substrato,
-
depositar en él un líquido, y
por un procedimiento de depósito a baja presión, recubrir citado líquido con una película delgada homogénea de material plástico que forma la citada membrana, y después,
-
separar ésta del líquido.
Otras características se pondrán de manifiesto de modo más claro con la lectura de la descripción que sigue, hecha refiriéndose a los dibujos anejos, en los cuales las figuras 1 a 8 presentan diferentes dispositivos de membrana obtenidos gracias al procedimiento de acuerdo con la invención, así como su modo de realización.
Como ya se ha mencionado, la invención se refiere, sustancialmente, al depósito de una película delgada sobre un líquido y, eventualmente, al menos, sobre la porción lindante de su substrato. Esta película está constituida, ventajosamente, por una sustancia conocida por sus propiedades de recubrimiento, tal como el parileno.
El procedimiento de depósito de parileno, denominado también poliparaxileno, es bien conocido por el experto en la técnica. En efecto, el parileno es un polímero que está relacionado con la familia de los plásticos, utilizado como recubrimiento para múltiples aplicaciones en los ámbitos de la electrónica, de la medicina, de la óptica, del espacio, de la micromecánica, etc... Depositado a baja presión (7 Pa) por pirólisis del diparaxileno, éste se polimeriza a temperatura ambiente sobre cualquier tipo de substrato, formando una capa uniforme, homogénea, incolora, que se adapta perfectamente a todas las asperezas y cavidades, y de espesor que va del centenar de manómetros hasta aproximadamente sesenta micras.
El parileno protege eficazmente diversos materiales tales como el metal, el tejido, el papel, el vidrio, el plástico y otros, contra la humedad, la corrosión y los ataques por los productos químicos, ácidos o disolventes. Éste forma una barrera eléctricamente aislante, térmicamente estable y biocompatible. Su depósito puede efectuarse, ventajosamente, utilizando el equipo de la firma Comelec (La Chaux-de-Fonds, CH).
El recubrimiento de parileno, aunque está ampliamente extendido en numerosas industrias, para aplicaciones variadas, está limitado actualmente a los materiales sólidos.
La presente invención abre un campo completamente nuevo de investigación y ofrece posibilidades inéditas y originales, extendiendo el depósito de parileno a ciertos materiales líquidos, que cumplen condiciones específicas.
De acuerdo con la invención, el depósito de parileno sobre la combinación líquido - substrato, se hace en las condiciones estándar. La pirólisis del diparaxileno se realiza a 680ºC, polimerizándose el monómero de paraxileno en la superficie de la muestra mantenida a la temperatura ambiente. Siendo la presión en la cámara de depósito de 7 Pa, la presión de vapor saturante del líquido debe ser inferior a esta presión, con el fin de no ser vaporizado durante el depósito. Idealmente, la presión de vapor saturante del líquido es inferior o igual a la décima parte de la presión de depósito, o sea 0,7 Pa. Sin embargo, para ciertas aplicaciones muy particulares, la presión del vapor saturante del líquido debe ser del orden de la presión de depósito, como se explica más adelante.
Por otra parte, el líquido utilizado debe ser químicamente no reactivo con el parileno. Se han probado con éxito, por ejemplo, diferentes aceites, de los cuales el aceite de bomba turbomolecular, los aceites ópticos, los aceites siliconas, la glicerina, etc... Una lista no exclusiva de los diferentes líquidos susceptibles de ser empleados para el depósito de parileno, así como sus propiedades, se da en la tabla siguiente. Naturalmente, para el depósito de parileno puede emplearse cualquier otro líquido que reúna las condiciones antes citadas.
100
En lo que sigue de la descripción, la palabra "líquido" designará cualquiera de los líquidos listados anteriormente.
Al final del procedimiento, una película de parileno uniforme y continua recubre el conjunto líquido - substrato, formando, así, una envuelta que se adapta perfectamente a sus contornos. En particular, no hay discontinuidad de la capa en la interfaz líquido - substrato, ni diferencia de calidad de capa entre la parte depositada sobre el líquido y sobre el substrato sólido. Naturalmente, en función de las necesidades, mediante un enmascaramiento apropiado, la película puede ser depositada solamente sobre el líquido y la porción del substrato que rodea el líquido.
Esta aptitud del parileno para depositarse sobre un líquido, formando, así, una membrana, puede ser explotada en un gran número de aplicaciones. Para algunas de éstas, el líquido es eliminado después del depósito y, en este caso, éste se denomina de sacrificio. Igualmente, éste puede ser conservado debajo de la membrana de parileno y formar parte integrante del dispositivo así realizado.
En lo que sigue de este documento, se describen varios ejemplos de realización, sin que, sin embargo, constituyan una lista exhaustiva de las posibilidades ligadas con el procedimiento de acuerdo con la invención. Todas las estructuras así descritas pueden ser realizadas sobre un substrato flexible o rígido. Para un tipo de substrato elegido, el esparcimiento del líquido y la adherencia del parileno sobre el substrato pueden ser controlados y optimizados por un tratamiento de plasma, o por la aplicación de capas moleculares, conocidas con el nombre de SAM (Self Assembly Monolayesr).
La figura 1 representa una membrana selectiva y su procedimiento de fabricación en cuatro etapas, con la ayuda de un líquido de sacrificio.
Figura 1a
\quad
Un recipiente 10 que tiene un diámetro de un centenar de micras a algunos milímetros y que comprende un tubo inferior de evacuación 12 obturado por un tapón 14, está lleno de un "líquido" 16.
Figura 1b
\quad
El borde del recipiente 10 y el "líquido" 16 están recubiertos por una película delgada 18 de parileno que se adhiere solamente al recipiente.
Figura 1c
\quad
El líquido 16 es evacuado del recipiente 10 retirando el tapón 14. La película delgada 18 permanece colocada, formando, así, una película 20 tirante entre las paredes del recipiente 10.
Figura 1d
\quad
La película 20 es perforada por micro-orificios 22 por ablación láser con el fin de constituir una membrana selectiva. Ésta puede, igualmente, hacerse porosa por un ataque físico-químico controlado de tipo "Reactive Ion Etching" (RIE). El dispositivo así realizado forma un filtro de gas u otro fluido, de fabricación simple y barata.
La figura 2 representa, en corte transversal, la secuencia de fabricación de un canal fluídico con la ayuda de un líquido de sacrificio, así como dos variantes particularmente ventajosas de este último.
Figura 2a
\quad
Un substrato, constituido por una placa 24 recubierta por una capa 26 de un material que puede ser estructurado, está representado en corte. Un ejemplo de material utilizable para la capa 26 es la resina fotosensible o la "cinta azul" empleada habitualmente para el recorte de placas de silicio. Un canal 28, abierto en la capa 26 por un procedimiento de ataque a disposición del experto en la técnica, es llenado de un "líquido" 16. Este último y el material que constituye la capa 26 se eligen, además, de modo que el ángulo de contacto entre el "líquido" y el material sea superior o igual a 20 grados. Si el "líquido" 16 es, por ejemplo, aceite, la capa 26 está constituida de un material oleófobo, es decir tendente a repeler el aceite. De este modo, el "líquido" 16 minimiza su superficie de contacto con el material que constituye la capa 26, y su superficie, cuando éste está en el canal 28, es convexa. Esta propiedad es, igualmente, útil para evacuar el "líquido" 16 del canal 28, como se describe a continuación.
Figura 2b
\quad
Una película delgada 18 de parileno está depositada sobre el conjunto substrato-"líquido" 16, obturando, así, el canal 28 que contiene el "líquido" 16.
Figura 2c
\quad
El "líquido" 16 es evacuado del canal 28 por una abertura practicada en una de sus extremidades. El dispositivo así realizado, por un procedimiento extremadamente simple, es un canal fluídico 28 cerrado por una membrana de parileno. Este canal 28 puede ser empleado para el transporte de cualquier fluido compatible con los materiales utilizados.
Figura 2d
\quad
El dispositivo representado se diferencia del dispositivo representado en la figura 2c por la adición de una capa 30 de un material piezoeléctrico en el fondo del canal 28, depositada y estructurada antes del depósito de la capa 26. Por otra parte, esta capa 30 se hace accesible durante la estructuración de la capa 26, con el fin de conectarla a un electrodo 32. Un impulso eléctrico transmitido por éste se transforma, gracias a las propiedades del material, en un impulso físico que provoca una onda de choque en el seno del fluido transportado por el canal 28.
\newpage
Figura 2e
\quad
El canal fluídico 28, representado en vista desde arriba en esta figura, está equipado con una capa de un material piezoeléctrico estructurada en una pluralidad de elementos rectangulares 34 distribuidos a lo largo del citado canal. Cada uno de los elementos 34 crea localmente una onda de choque en el fluido transportado, permitiendo la acción ligeramente des-sincronizada de cada elemento con respecto a su contiguo la propagación del fluido por el canal 28. Se fabrica, así, una microbomba peristáltica.
Figura 2f
\quad
Otra posibilidad para fabricar una microbomba peristáltica consiste en depositar, en el lugar de la capa piezoeléctrica 30, una capa conductora 36, si es posible transparente, por ejemplo de ITO (Indium Tin Oxide) y en estructurarla en elementos rectangulares 34, como anteriormente. Una segunda capa conductora 38 es depositada sobre la membrana de parileno y estructurada en elementos rectangulares 34 alineados con los primeros. Una diferencia de potencial aplicada entre cada par de elementos 34 induce una deformación local de la película de parileno 18 que actúa como una contracción del canal 28. La propagación de esta contracción permite el transporte del fluido presente en el canal 28.
La figura 3 representa un procedimiento de fabricación de microlentillas de acuerdo con la invención, así como una variante particularmente ventajosa de este tipo de lentilla.
Figura 3a
\quad
Como en la fabricación de un canal fluídico, un substrato constituido por una placa 24 recubierta de una capa 26 de un material que puede ser estructurado, tal como una resina fotosensible o "cinta azul", está representado en corte. Un orificio circular 40, de diámetro comprendido entre una micra y varios milímetros, es abierto en la capa 26 y rellenado después de un "líquido" 16. La convexidad de la gota de "líquido" así formada depende totalmente de la tensión superficial del "líquido" 16 y de la energía libre de la superficie de la capa 26. Así, la geometría de la gota de "líquido" 16 es, por una parte, perfectamente reproducible para un mismo material constituyente de la capa 26 y un mismo "líquido" 16 y, por otra, adaptable en función de las necesidades de la lentilla que hay que fabricar.
Figura 3b
\quad
Una película delgada 18 de parileno está depositada sobre el conjunto substrato-"líquido" 16, obturando, así, el orificio circular 40 que contiene el "líquido" 16. Esta vez, el "líquido" 16 es, prisionero de la membrana de parileno, y el conjunto substrato-líquido-parileno forma una lentilla de focal determinada por los materiales utilizados.
Figura 3c
\quad
En una variante particularmente interesante de la microlentilla, una resistencia calefactora 42, constituida por una pista de un material conductor transparente, está alojada debajo del "líquido" 16. Esta pista es fabricada por depósito y estructuración de una capa de un material transparente conductor, precediendo este depósito al de la capa 26. Cuando la resistencia calefactora 42 produce una elevación de temperatura del "líquido" 16, éste se dilata, modificando, así, la geometría de la lentilla y sus propiedades ópticas. Se realiza, así, una lentilla de focal variable.
La figura 4 presenta un procedimiento de fabricación simplificado de una red de microlentillas de acuerdo con la invención.
Figura 4a
\quad
Un substrato 44, que puede ser rígido o flexible, y que comprende una pluralidad de orificios circulares 45 que le atraviesan, es mojado en un "líquido" 16 contenido por un recipiente 10. El substrato 44 y el "líquido" 16 se eligen, por una parte, en función de los criterios de selección del "líquido" 16 ya citados y, por otra, de modo que la superficie del substrato 44 repela firmemente el "líquido" 16. Si el "líquido" 16 es aceite, el material utilizado para el substrato 44 debe ser firmemente oelófobo. La "cinta azul" en combinación con el aceite es un material compatible con esta aplicación.
Figura 4b
\quad
Cuando el substrato 44 es retirado del recipiente 10, quedan gotas 46 prisioneras de los orificios circulares 45, mientras que la superficie restante del substrato está exenta ejemplo, de "líquido" 16, en razón de las propiedades de los materiales elegidos. La convexidad de las lentillas es importante en razón del principio del propio procedimiento, pero ésta puede ser adaptada según las necesidades.
Figura 4c
\quad
Una película delgada 18 de parileno está depositada sobre las dos caras del substrato 44, encerrando, así, las gotas 46 cogidas en los orificios 45 del substrato 44. El conjunto substrato 44-gotas 46-membrana de parileno forma, entonces, una red de microlentillas fabricada por una técnica simple y barata.
La figura 5 representa, en corte longitudinal, una guía de onda fabricada por el procedimiento de acuerdo con la invención. Un canal 48 grabado en un substrato 24 es llenado de un "líquido" 16. El material que forma el substrato 24 y el "líquido" 16 se eligen de modo que el ángulo de contacto entre el "líquido" y el substrato sea suficientemente grande. De este modo, la superficie del "líquido" 16 en el borde del canal 48 es convexa. Además, debe tenerse en cuenta el índice de los materiales y la cualidades ópticas del "líquido" 16.
El substrato 24 y el "líquido" 16 son recubiertos con una película delgada 18 de parileno que aprisiona el "líquido" 16 en su alojamiento. La guía de onda así formada es particularmente ventajosa puesto que permite un acoplamiento facilitado de la luz en la entrada y en la salida de la guía de onda, sin intermedio de una red de difracción, y esto en razón de la curvatura del "líquido" 16 en el borde del canal 48.
El dispositivo representado en vista desde arriba en la figura 6, es un microactuador hidráulico. Éste está constituido por un substrato 24, flexible o rígido, largo en comparación con su anchura, y en el cual está grabado un canal 48, lleno de "líquido" 16 que verifica las condiciones de compatibilidad con el depósito de parileno. Una película delgada de parileno recubre el conjunto, de modo que el "líquido" 16 queda encerrado en su alojamiento. El dispositivo así fabricado utiliza la propiedad de incompresibilidad del "líquido" 16 para generar un microdesplazamiento controlado del "líquido" 16 y de la película de parileno. En efecto, una presión ejercida sobre la membrana de parileno que recubre el "líquido" 16, en una de las extremidades del dispositivo, da lugar a un ligero desplazamiento del "líquido" 16 y de la membrana de parileno en otro punto del citado dispositivo. Este actuador presenta la ventaja de ser completamente hidráulico y adaptable a desplazamientos microscópicos.
La figura 7 presenta un procedimiento de fabricación, de acuerdo con la invención, de una película delgada autoprotectora.
Figura 7a
\quad
Un substrato 24 es recubierto en toda su superficie de "líquido" 16, gracias a una oquedad 50. Una película delgada 18 de parileno es depositada sobre el conjunto, adaptándose perfectamente a las asperezas del substrato 24 y a la planitud del "líquido" 16.
Figura 7b
\quad
La película delgada 18 es separada del substrato 24 y del "líquido" 16, por ejemplo recortando la película delgada 18 en el límite entre el substrato 24 y el "líquido" 16. Se observará que la película delgada 18 se separa sin dificultad del "líquido" 16, puesto que ésta no se adhiere. Su cara inferior, anteriormente en contacto con el "líquido" 16, presenta una morfología de superficie comparable a la del "líquido" 16. Este tipo de superficie extremadamente plana puede utilizarse, por ejemplo, como referencia para un microscopio de fuerza atómica.
Esta aptitud de la película de parileno 18 para separarse fácilmente de un "líquido" 16 por peladura, puede utilizarse, igualmente, para formar una película autoprotectora. Basta enrollar sobre sí misma la película delgada 18 así constituida a la manera de una cinta de papel adhesivo, y después emplearla para envolver un objeto cualquiera. A tal efecto, un modo de realización particularmente ventajoso consiste en depositar el parileno sobre un substrato 24 que tenga la forma de una espiral e impregnado de "líquido" 16. La película de parileno 18 depositada en los dos lados puede ser separada sin dificultad y formar una cinta lista para ser enrollada.
Este tipo de película autoprotectora puede realizarse, igualmente, de modo que las propiedades de las dos superficies sean diferentes. En efecto, el empleo de un "líquido" 16 que tenga una presión de vapor saturante próxima a la presión de depósito permite modificar el inicio de crecimiento de la película de parileno 18. Una reacción de las moléculas que constituyen el "líquido" 16 presentes en fase gaseosa en la proximidad del "líquido" 16, con el monómero de paraxileno induce esta modificación de la fase inicial de crecimiento de la película. Según la elección del "líquido" 16 esta capa inicial puede tener propiedades mecánicas, eléctricas u otras, diferentes de la película de parileno "puro".
Finalmente, en la figura 8, se expone un ejemplo de procedimiento de fabricación de lentilla de contacto de acuerdo con la invención.
Figura 8a
\quad
Un substrato está recubierto de "líquido" 16.
Figura 8b
\quad
Un primer depósito de parileno forma una película delgada 18 sobre el "líquido" 16.
Figura 8c
\quad
Una gota de "líquido" 16 está depositada sobre la película delgada 18. El "líquido" 16 se elige en función de sus propiedades ópticas y mecánicas. Su tensión superficial debe ser tal que la gota forme un ángulo determinado con la película de parileno 18.
Figura 8d
\quad
Una segunda capa de parileno 52 está depositada sobre el conjunto, sellando la gota de "líquido" 16 entre la primera película de parileno 18 y la segunda 52.
Figura 8e
\quad
La película delgada 18 está separada del "líquido" 16 sobre el cual reposaba, formando el conjunto membrana de parileno-gota 16-membrana de parileno una lentilla de contacto de concepción extremadamente simple.
\quad
Este procedimiento de encapsulación de un "líquido" 16 entre dos membranas de parileno 18 y 52 puede dar lugar a aplicaciones variadas. En el ámbito de la medicina pueden fabricarse, así, por ejemplo, cápsulas que contengan un medicamento. No pudiendo ser degradado el parileno por el cuerpo humano, es necesario un sistema de apertura de la cápsula para liberar la sustancia activa.
La descripción anterior se ha hecho refiriéndose a un depósito de parileno. Naturalmente, podría emplearse cualquier otra sustancia que tenga propiedades análogas.
Se observará, finalmente, que el empleo de una cavidad, tal como un orificio circular 40 o un canal 28, para guiar el "líquido" 16, no es indispensable para la realización de los dispositivos descritos. Puede emplearse, por ejemplo, una técnica de depósito de material por escritura directa, tal como la impresión de chorro de tinta o el "local dispensing", con el fin de formar estructuras de "líquido" destinadas a ser recubiertas por una película de parileno 18. En este caso, el "líquido" 16 debe ser repelido firmemente por el substrato 24 de manera que no se extienda sobre éste. Otra posibilidad es utilizar un substrato que repela firmemente el líquido que hay que depositar, y aplicar localmente, por timbrado o impresión de chorro de tinta, una capa denominada de aceptación. Esta capa está constituida por un material capaz de retener firmemente el "líquido". Basta, entonces, mojar el substrato en el "líquido" 16. Solo las zonas recubiertas de la capa de aceptación serán recubiertas, en fino, de "líquido".

Claims (25)

1. Procedimiento de realización de un dispositivo de membrana, caracterizado porque consiste en:
- proveerse de un substrato (10, 24, 26),
- depositar en él un líquido (16), y
- por un procedimiento de depósito a baja presión, recubrir el citado líquido (16) y, al menos, la porción de substrato lindante con el citado líquido (16), con una película delgada (18) continua homogénea de material plástico que forma la citada membrana.
2. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 1, caracterizado porque el citado material plástico es poliparaxileno, denominado también parileno.
3. Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 1 y 2, caracterizado porque el citado substrato (10, 24, 26) comprende una cavidad (28, 40, 45, 48, 50) en la cual es depositado el citado líquido (16).
4. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 3, caracterizado porque la citada cavidad (45) es pasante.
5. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 3, caracterizado porque la citada cavidad (28, 40, 48, 50) es ciega.
6. Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 1 y 2, caracterizado porque el citado líquido (16) es depositado sobre el citado substrato (10, 24, 26) directamente en los emplazamientos en los que éste es útil.
7. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 6, caracterizado porque el citado líquido (16) es depositado sobre el substrato (10, 24, 26) por una técnica de impresión de chorro de tinta.
8. Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 1 a 7, caracterizado porque el citado líquido (16) tiene una presión de vapor saturante inferior a la citada presión de depósito.
9. Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 1 a 7, caracterizado porque el citado líquido (16) es aceite.
10. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 9, caracterizado porque el citado substrato (10, 24, 26) es un material oleófobo.
11. Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 6 y 10, caracterizado porque el citado substrato (10, 24, 26) está recubierto localmente con una capa oleófila que forma estructuras destinadas a recibir aceite.
12. Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 1 a 11, caracterizado porque el citado líquido (16) es conservado después del depósito.
13. Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 1 a 11, caracterizado porque el citado líquido (16) es eliminado después del depósito.
14. Dispositivo de membrana, caracterizado porque se obtiene por el procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 1 a 13.
15. Dispositivo de acuerdo con la reivindicación 14, caracterizado porque el citado substrato (24, 26) forma con el citado líquido (16) y la citada membrana (18), una lentilla óptica.
16. Dispositivo de acuerdo con la reivindicación 14, caracterizado porque el citado substrato (24) forma con el citado líquido (16) y la citada membrana (18), una guía de onda.
17. Dispositivo de acuerdo con la reivindicación 14, caracterizado porque el citado substrato (24) forma con el citado líquido (16) y la citada membrana (18), un actuador.
18. Dispositivo de acuerdo con la reivindicación 14, caracterizado porque el citado substrato (24, 26) forma con la citada membrana (18) un canal fluídico.
19. Dispositivo de acuerdo con la reivindicación 14, caracterizado porque está formado por dos membranas (18, 52) que encierran un líquido (16).
20. Procedimiento de realización de una membrana de acuerdo con la reivindicación 1, caracterizado porque comprende la etapa suplementaria de separar la citada membrana del líquido.
21. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 20, caracterizado porque el citado material plástico es poliparaxileno, denominado también parileno.
22. Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 20 y 21, caracterizado porque el citado líquido (16) tiene una presión de vapor saturante inferior a la citada presión de depósito.
23. Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 20 y 21, caracterizado porque el citado líquido (16) tiene una presión de vapor saturante del orden de la citada presión de depósito.
24. Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones 20 a 23, caracterizado porque la citada membrana es separada del citado líquido (16) por peladura de manera que constituye una película delgada (18) autoprotectora.
25. Procedimiento de acuerdo con las reivindicaciones 23 y 24, caracterizado porque la citada película delgada (18) tiene dos caras que tienen propiedades físicas diferentes.
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