ES2236022T3 - Metodo para moldeo de materiales sobre un substrato plano. - Google Patents
Metodo para moldeo de materiales sobre un substrato plano.Info
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Abstract
Un método de moldeo de una película fina sobre la superficie de un substrato, que comprende: a. Disposición sobre el elemento ventana (2) de un sistema de molde de microrreacción, dicho sistema de molde de microrreacción comprende i. un elemento ventana (2) que comprende un material transparente por lo menos a una longitud de onda de una radiación electro-magnética, teniendo además el elemento ventana una superficie superior que forma el fondo, de por lo menos una cavidad del molde, teniendo la cavidad una profundidad entre 100 nm y 100 m; ii. por lo menos un lado de la cavidad del molde (4); y iii.una tapa que comprende un substrato; una composición de hidrogel solidificable, que contiene monómeros polimerizables y un compuesto iniciador de la polimerización, en donde el com- puesto iniciador de la polimerización es sensible a una energía de activación a la cual es transparente el elemento ventana; b. Colocación de la superficie del substrato en contacto hermético con los lados de la cavidad del molde para formar la tapa del sistema del molde de microrreacción; c. Exposición del molde de microrreacción a una fuente de energía de activación, en donde la cavidad del molde se expone a la energía de activación trans-mitida a través del elemento ventana, con un nivel de energía suficiente para iniciar la polime-rización de los monómeros durante entre 2 y 2000 segundos; y d. Separación del molde del substrato, para dejar al descubierto la película moldeada en la superficie del substrato.
Description
Método para moldeo de materiales sobre un
substrato plano.
Esta invención se refiere a un método para el
moldeo e injerto de materiales en un substrato plano. Más
específicamente, esta invención se refiere al moldeo e injerto de
capas altamente uniformes y muy delgadas de materiales poliméricos
sobre la superficie de microchips para aplicación electrónica y
otras pequeñas superficies de substratos.
La siguiente descripción proporciona un resumen
de la información de interés para la presente invención.
La aplicación de películas delgadas a superficies
de un substrato a un nivel de microescala ha sido predominantemente
una cuestión de la industria electrónica. Esta aplicación ha
implicado también predominantemente el empleo de tecnologías de
revestimiento por centrifugación y laminación de revestimiento. Sin
embargo, con respecto a la aplicación de películas delgadas
compuestas por capas de polímero permeables, en microchips para
aplicaciones electrónicas empleados en el aislamiento y detección
de biomateriales, ni la laminación por recubrimiento ni el
revestimiento por centrifugación, proporcionan resultados
particularmente óptimos.
Por ejemplo, el empleo del revestimiento por
centrifugación de capas permeables sobre substratos que comprenden
diseños de cartuchos de microchips para aplicaciones electrónicas,
que no son completamente planos, da a menudo como resultado,
problemas para obtener capas uniformes en regiones seleccionadas del
microchip. En consecuencia, el revestimiento por centrifugación de
superficies que no son planas da como resultado amplias variaciones
del grueso de la capa permeable aplicada.
Las exigencias del trabajo de los microchips
implican tolerancias muy estrictas en los potenciales y corrientes
electrónicas aplicadas y obtenidas en la superficie de la capa
encima de los electrodos del microchip. Por lo tanto, es necesario
que la permeabilidad del grueso de la capa sea uniforme. Las
variaciones en el grueso dan como resultado variables
incontrolables, cuando se intenta transportar biomateriales entre
los sitios de captura, para aplicaciones electrónicas del
microchip.
En otro aspecto, cuando se aplica agarosa
mediante el revestimiento por centrifugación, el proceso debe
mantenerse dentro de un margen específico de temperatura para
lograr una correcta dispersión de la agarosa. Si la temperatura es
demasiado baja, la agarosa se congelará prematuramente y no se
dispersará correctamente. Cuando deben aplicarse hidrogeles
sintéticos basados en soluciones monoméricas mediante revestimiento
por centrifugación y a continuación deben reticularse, es necesario
adicionar polímeros solubles a la solución de hidrogel con el fin
de aumentar la viscosidad de dichas películas de tal forma que se
obtenga un grueso apropiado. Sin embargo, la adición de polímeros
que potencian la viscosidad cambia la composición final de la capa
permeable así como las características de rendimiento de la capa
para permitir la electroforesis de polielectrolitos y iones entre
el electrodo y la superficie superior de la capa. El revestimiento
por centrifugación es además problemático puesto que requiere altas
velocidades para la dispersión radial de las mezclas de monómeros o
monómero/polímero. Estas altas velocidades pueden ocasionar daños al
substrato.
Se han empleado también otros métodos para
proporcionar un grueso uniforme. Por ejemplo, en un intento de
depositar películas delgadas sobre microchips, se ha empleado un
método de cubreobjetos en donde un cubreobjetos se aplica
directamente a una solución de un material polimerizable antes de la
polimerización real, con la idea de que el portaobjetos podría
proporcionar una capa polimerizada uniforme sobre la parte superior
del microchip. Aunque este método mejora la uniformidad de la
superficie, existe una gran variabilidad de gruesos que
imposibilita la aplicación de dicho método cuando se trata de una
aplicación electrónica altamente sensible y un alto volumen de
fabricación.
Todavía en otras aplicaciones de moldeo a
microescala, algunos procesos emplean moldes presurizados en los que
el molde se presuriza entre 1 y 50 atm para impedir la formación de
huecos o contracciones de volumen durante la polimerización (Micro
and Nano Patterning Polymers ("polímeros para micro y
nanomodelos"), Oxford University Press, 1993, ISBN 0841235813).
Todavía otros sistemas emplean la inyección de una solución o
mezcla de los componentes en el molde de microrreacción.
La patente JP 59227131 describe un sistema de
molde de microrreacción que se prepara mediante un procedimiento de
moldeo, en donde la resina de curado se vierte dentro de una
cavidad de moldeo. También se describe un aparato de moldeo de
fotopolimerización en las patentes EP 0446040, US 4073835 que se
refiere a un método con una resina que encapsula piezas eléctricas
con un curado por UV de la resina ignífuga. Un procedimiento
similar se describe en la patente DE 19705303 que se refiere a un
procedimiento para la preparación de micropiezas a partir de una
resina de moldeo empleando dispositivos de moldeo.
En cambio, nosotros hemos desarrollado un sistema
simple de moldeado por microrreacción que genera películas altamente
uniformes directamente sobre la superficie de un substrato, como p.
ej., un microchip, el cual sistema evita los problemas de variación
del grueso que tienen lugar en las técnicas de polimerización
orientada al revestimiento por centrifugación y por cubreobjetos.
Además, hemos desarrollado unos dispositivos para formar
directamente capas permeables con un grueso reproducible, sobre
microchips y otros substratos para aplicaciones electrónicas. Esta
invención puede aplicarse a la fijación de múltiples películas
finas o capas de un hidrogel e injertos de materiales poliméricos
sobre un substrato, de manera que permite la aplicación a una
fabricación a gran escala y económica. Este sistema de moldeo
proporciona además la creación de un substrato con múltiples capas
permeables con una multiplicidad de características.
La invención se refiere a un método de acuerdo
con las características de la reivindicación 1.
En una versión, se proporciona un sistema de
moldeo que consiste en un molde de dos piezas que tiene un elemento
ventana transparente y una caja o marco de moldeo construida de
metal o polímero. De preferencia, el metal empleado para la caja
puede ser de acero inoxidable 304, acero inoxidable 316 ó titanio.
Para versiones que emplean una caja de polímero, son ejemplo de un
polímero adecuado, el politetrafluoretileno, el polifluoralcoxano
(PFA) y el polieteretercetona (PEEK).
En esta versión de un molde de dos piezas, la
ventana transparente puede estar construida de cualquier material
que permita la transmisión por lo menos de una longitud de onda de
una radiación electromagnética, en particular la ultravioleta (UV),
visible (Vis), e infrarroja (IR). En versiones preferidas, los
materiales aceptables para la construcción de la ventana pueden
comprender substancias cristalinas tales como la sílice fundida,
cuarzo, zafiro, germanio, silicio o vidrio, o materiales poliméricos
orgánicos tales como el plexiglás, poliacrilatos y policarbonatos.
El elemento ventana comprende además una superficie superior que
sirve como "placa base" o fondo del molde que está encajada
dentro del marco del molde. Esta superficie puede comprender en
general cualquier contorno para hacer una superficie modelada para
el material que va a moldearse en un fina película. En una versión
preferida, esta superficie es plana. Mediante el termino plana se
entiende una superficie que tiene variaciones en altura vertical
inferiores a 1 \mum. con el término modelada se da a entender una
superficie que tiene unas variaciones de contorno vertical mayores
de 1 \mum. Tanto si es plana como si es modelada, el elemento
ventana y su superficie superior proporciona el acceso de la
radiación a la cavidad del molde.
Con el fin de que el elemento ventana forme el
fondo del molde, la superficie superior del elemento ventana está
desplazada de la parte superior del elemento marco formando con
ello la cavidad del molde. En una versión preferida, el
desplazamiento es de entre 100 nanometros y 100 \mum por debajo de
la superficie del marco. Adicionalmente, este desplazamiento es
variable por el hecho de que el elemento ventana está conectado
"deslizablemente" a, y está encajado en el elemento marco. Con
el término deslizablemente se entiende que la posición del elemento
ventana puede ajustarse deslizando el interior de la ventana por el
elemento marco.
En otra versión, el sistema acopla la
fotopolimerización y el moldeo en un único proceso. En esta versión,
la ventana es transparente a la energía de la luz UV la cual se
emplea para iniciar la fotopolimerización de una solución de
monómero reactivo que en la polimerización se convierte en una
película fina la cual a su vez se une a la superficie del microchip
u otro substrato durante la polimerización. En este sistema puede
emplearse un iniciador de luz UV, tal como el compuesto por un 50%
de óxido de 2,4,6-trimetilbenzoil difenilfosfina y
un 50% de 2-hidroxi
2-metil-1-fenil-propan-1-ona
(D 4265) junto con un monómero polimerizable para iniciar la
polimerización.
En otra versión, la iniciación de la
polimerización puede efectuarse empleando una ventana que es
transparente a la energía térmica en forma de radiación IR. En esta
versión, la solución del monómero y el molde se calientan en un
margen específico de temperatura con lo que se ocasiona la
activación de los iniciadores de la polimerización sensibles al
calor tales como p. ej., el azobisisobutironitrilo (AIBN).
En otra versión, la polimerización puede
efectuarse empleando energía química en donde la polimerización de
un monómero tiene lugar en un corto período de tiempo en la cavidad
del molde empleando iniciadores químicos tales como p. ej., el
persulfato de amonio/tetrametil etileno diamina (APS/TEMED).
Todavía en otras versiones, pueden emplearse los
elementos ventana transparentes a la luz visible, cuando en la
reacción de polimerización se emplean los iniciadores químicos
sensibles a las longitudes de onda de la luz visible.
En otra versión, el microchip u otras formas de
substrato forman una tapadera o "capucha" del sistema de
moldeo. Puesto que el substrato forma una de las caras del molde,
actúa simplificando el sistema del molde mientras que al mismo
tiempo proporciona un mecanismo para definir el grueso de la
película, determinado por el espacio entre la superficie del
substrato y el fondo de la cavidad del molde.
En otra versión, el sistema de molde en dos
piezas comprende un dispositivo para el llenado del pozo del molde
empleando unas puertas de entrada que permiten que la solución del
monómero fluya dentro del molde desde una cara hasta la cara
opuesta del molde, en donde existe una puerta de salida para el
fluido en exceso.
Todavía en otra versión, el sistema de molde
puede comprender también en lugar de un molde de dos piezas, un
molde de una pieza única o molde "no compuesto" que comprende
una placa que es transparente por lo menos para una longitud de onda
de la radiación electromagnética. En esta versión se forma una
cavidad del molde en una superficie superior de la placa hasta una
profundidad entre 100 nanometros y 100 \mum. En una versión
preferida, la placa puede estar construida de materiales tales como
sílice fundida, cuarzo, zafiro, germanio, silicio, vidrio,
poliacrilatos, policarbonatos, y plexiglás. En esta versión el
substrato sirve también como tapadera del molde. En otra versión,
dichos moldes no compuestos pueden comprender bien "bloques de
molde" individuales que además pueden estar unidos a una
superficie de manera que se forma una serie de moldes, o pueden
formarse directamente una serie de moldes individuales en la
superficie de un bloque único de dicho material.
Todavía en otra versión en la que se emplea la
iniciación de la polimerización por radiación UV, pueden moldearse
películas finas para un substrato en espacio de segundos después de
la irradiación con UV. Además, tales películas, que tienen una alta
uniformidad entre sí, pueden reproducirse a partir de los moldes
sobre substratos individuales.
Todavía en otras versiones, el sistema del moldeo
de películas finas sobre superficies de substratos, puede efectuarse
de una forma repetitiva como para permitir la formación de una
multiplicidad de capas de película fina sobre la superficie de un
único substrato. En esta versión se contempla que cada capa
proporcionará una propiedad específica a la capa de permeación como
se desea.
La figura 1 es un gráfica de barras que muestra
los coeficientes de variabilidad (CV) de los gruesos de las
películas delgadas obtenidas sobre diferentes microchips de tres
diferentes moldes de vidrio en los cuales la cavidad del molde está
grabada empleando un tratamiento abrasivo con ácido fluorhídrico
(HF).
La figura 2 es una gráfica de barras que muestra
los CV de los sitios de captura de los contactos de los microchips
individuales empleando el mismo molde para la formación de
películas delgadas sobre cada uno de los seis diferentes
microchips.
La figura 3 es un dibujo en perspectiva de un
molde de microrreacción compuesto de cuarzo y metal, que tiene una
ventana de cuarzo ajustable tal que la posición de la ventana puede
ajustarse para formar una cavidad del molde con diferentes
profundidades. La figura muestra además las puertas de llenado a
cada lado de la cámara del molde.
La figura 4 es una vista lateral del molde
compuesto mostrando varias características del sistema de molde
compuesto.
Las figuras 5A-F muestran
secuencias del proceso de moldeo en donde o bien se aplican capas de
películas delgadas únicas al substrato (figura 5A) ó bien se
aplican múltiples películas uniformemente apiladas (figura 5B) ó
formando capas en formatos diferentes (figuras
5C-F).
La figura 6 es una gráfica que muestra la
regularidad de la variabilidad del grueso de película, en película
de 5 ó 100 \mum de grueso.
La figura 7 es una gráfica de barras que muestra
la regularidad de la variabilidad entre películas delgadas
producidas sobre chips empleando un molde compuesto de
cuarzo/metal.
Con referencia a las versiones específicas, se
proporciona un sistema de molde de microrreacción que tiene el
fondo de la cavidad del molde que es transparente por lo menos para
una longitud de onda de la radiación electromagnética formando con
ello una "ventana" que permite la transmisión de una energía
de activación tal como la radiación UV, Vis e IR. El elemento de
dicha "transparencia" del fondo del molde proporciona la
oportunidad de que los materiales que se encuentran dentro de la
cavidad del molde puedan ser inducidos a reaccionar bajo demanda,
mediante la activación de los grupos químicos sensibles a la
longitud de onda de la radiación electromagnética empleada. En una
versión preferida estos grupos reactivos actúan para iniciar la
polimerización de ciertos monómeros polimeri-
zables.
zables.
En una versión particularmente preferida, los
monómeros polimerizables que comprenden grupos químicos pueden ser
premezclados con substancias químicas iniciadoras de la
polimerización las cuales son sensibles a la radiación UV y que se
añaden dentro de la cavidad del molde. Por contacto con la
irradiación UV dirigida a través del fondo del molde, los monómeros
e iniciadores son inducidos a reaccionar en una reacción de
polimerización tal que la solución se convierte en un polímero al
cabo de segundos de contacto con la luz UV.
En otra versión, los materiales de la ventana del
molde transparentes a la radiación IR pueden emplearse
conjuntamente con iniciadores sensibles al calor. En dicha versión,
la energía IR necesaria puede aplicarse a la cavidad del molde
manteniendo el molde a una temperatura entre 15 y 250ºC durante el
período requerido para inducir la polimerización.
En otra versión, los materiales polimerizables
pueden emplearse conjuntamente con iniciadores que son químicamente
sensibles en oposición a la sensibilidad a UV ó IR.
Todavía en otra versión, los materiales
polimerizables pueden emplearse juntamente con iniciadores que son
sensibles a las longitudes de onda de la luz visible.
De esta forma, en las versiones preferidas, los
iniciadores de la polimerización pueden comprender aquellos que son
sensibles a cualquier luz visible, irradiación UV, radiación
térmica (IR) ó que reaccionan por contacto con grupos químicos
específicos.
Clases y ejemplos representativos de los
fotoiniciadores UV que pueden emplearse, incluyen los
fotoiniciadores de bencilocetal tales como la
2,2-dimetoxi-2-fenilacetofenona,
éteres de benzoína tales como la
2-metoxi-2-fenilacetofenona,
hidroxi alquil fenil cetonas tales como la
2-hidroxi
2-metil-1-fenil-propan-1-ona,
dialcoxi acetofenonas como la 2,2-dietoxi
acetofenona, benzoil ciclohexanol cetonas tales como la
1-hidroxiciclohexil fenil cetona, óxidos de benzoil
fosfina tales como el óxido de 2,4,6-trimetilbenzoil
difenilfosfina, alquiltiofenil morfolino cetona tales como la
1-metil-1-(4-metiltiofenil)-2-morfolino
propan-1-ona, morfolinofenil amino
cetonas tales como la
2-bencil-2-N,N-dimetil-amino-1-(4-morfolinofenil)-1-butanona.
Clases de compuestos fotoiniciadores adicionales de UV, los cuales
trabajan en presencia de hidrógeno o dadores de electrones
(coiniciadores) incluyen fenonas tales como la benzofenona,
tioxantonas tales como la clorotioxantona, quinonas tales como la
canfoquinona, y cetocumarinas tales como la
1-fenil-cetocumarina y la clase
bencilo.
Iniciadores representativos químicos y térmicos
incluyen azonitrilos tales como el
2,2'-azobisisobutironitrilo, derivados azoicos tales
como el 2,2'-azobisisobutiramidina, alquilperóxidos
tales como el peróxido de terc-butilo, acil
peróxidos tales como el peróxido de benzoilo, hidroperóxidos tales
como el hidroperóxido de terc-butilo y peróxidos de
cetona tales como el diperóxido cíclico de acetona, iniciadores de
persulfato tales como el persulfato de amonio y potasio, e
iniciadores de azida tales como la azida de
p-toluensulfonilo. Algunos de éstos, tales como el APS,
trabajan en presencia de coiniciadores como el TEMED.
En una mayoría de versiones preferidas, los
iniciadores pueden seleccionarse del grupo formado por
azobisisobutironitrilo (AIBN), persulfato de amonio y
tetrametiletilendiamina (APS/TEMED), peróxido de benzoilo, y una
solución compuesta del 50% de óxido de
2,4,6-trimetilbenzoil difenilfosfina y el 50% de
2-hidroxi-2-metil-1-fenil-propan-1-ona
(D4265).
La presente invención contempla generalmente que
los monómeros pueden transformarse en películas poliméricas finas
empleando irradiación UV, Vis ó IR, ó iniciadores químicamente
sensibles. Estos monómeros incluyen los seleccionados del grupo
formado por epóxidos, grupos alquenilo incluyendo pero sin limitar a
los \alpha, \beta carbonilos no saturados substituidos o sin
substituir, en donde el doble enlace está directamente unido al
carbono el cual está unido por un doble enlace a un oxígeno y con
un enlace sencillo a otro oxígeno, nitrógeno, azufre, halógeno o
carbono; vinilo, en donde el doble enlace está unido con un enlace
sencillo a un oxígeno, nitrógeno, halógeno, fósforo o azufre,
alilo, y el doble enlace está unido por un enlace sencillo a un
carbono el cual está unido a un oxígeno, nitrógeno, halógeno,
fósforo o azufre; homoalilo en donde el doble enlace está unido con
un enlace sencillo a un carbono el cual está unido con un enlace
sencillo a otro carbono el cual está unido a continuación con un
enlace sencillo a un oxígeno, nitrógeno, halógeno, fósforo o
azufre; y grupos alquinilo en los que existe un enlace triple entre
dos átomos de carbono.
Puesto que durante la formación del material en
una película en el molde, se desea que se fije a la superficie de
un substrato, p. ej. un microchip para aplicaciones electrónicas,
en una versión preferida, el substrato puede recubrirse previamente
con un agente de copulado covalente tal como los que están
comercialmente disponibles y son ya conocidos por los expertos en
la técnica. Por ejemplo, puede aplicarse el metacriloxipropil
trimetoxisilano a la superficie del substrato lo cual permite que
los grupos químicos de la matriz del polímero de la capa permeable
se unan al substrato.
En una versión preferida, el substrato sirve como
de "tapadera" al molde. Antes de exponer el contenido monómero
polimerizable/iniciador del molde a la radiación iniciadora de la
polimerización, el substrato se coloca bien sujeto contra la
superficie superior del material que forma el marco de la cavidad
del molde. Tanto si esta superficie superior comprende un marco de
metal o de polímero, o la superficie de un material no compuesto
(por ejemplo cuarzo, silicato o policarbonato), se hace que la
superficie del substrato entre en contacto con la solución de
monómero polimerizable de tal forma que el substrato descienda a la
posición y quede contiguo al marco de la cavidad del molde,
expulsando la solución en exceso de la cavidad del molde. En
versiones en donde se emplean iniciadores químicos, estos
iniciadores se añaden a la mezcla de monómeros justo antes de
añadir la solución monómero/iniciador a la cavidad del molde.
En versiones que incluyen una cámara de llenado,
el substrato puede colocarse en la parte superior de la cavidad del
molde antes de la adición de la solución polimerizable. A
continuación la solución puede introducirse por una puerta de
llenado al interior del hueco del molde, pudiendo salir el exceso
de fluido por la segunda puerta.
En una versión preferida, puede formarse una
cavidad del molde en la superficie superior de un material
transparente bien mecánicamente como p. ej., mediante una
sonicación, o mediante un ataque químico hasta una profundidad entre
100 nanometros y 100 \mum. En una versión en donde se emplea un
molde compuesto de marco de metal/ventana transparente, la
profundidad de la cavidad del pozo puede regularse ajustando la
posición del material transparente en relación al marco, de tal
manera que la superficie superior del material transparente esté
debajo de la superficie superior del marco a una profundidad entre
100 nanometros y 100 \mum.
Cuando se contempla el empleo de un metal para el
marco, dicho metal puede comprender el acero inoxidable 304, el
acero inoxidable 316 o el titanio. Para versiones que utilizan un
marco de polímero, ejemplos de polímeros adecuados comprenden el
politetrafluoretileno, polifluoralcoxano (PFA) y polieteretercetona
(PEEK).
Los materiales que se contemplan para la ventana
tanto para las versiones de un material compuesto como para un
material no compuesto, incluyen el vidrio inorgánico tal como la
sílice fundida y derivados de la misma, cristales como el cuarzo,
zafiro, germanio y silicio y polímeros orgánicos tales como los
poliacrilatos o policarbonatos. En cada caso el material se escoge
por su capacidad para permitir la transmisión de por lo menos una
longitud de onda de la luz visible, radiación UV, y radiación
IR.
Todavía en otra versión, el substrato con la
película fina polimerizada fijada, se separa fácilmente del molde
sin dañar la unión de la película fina con el substrato o dañando
la propia película fina recién formada. La separación del substrato
del molde puede facilitarse fácilmente aplicando previamente un
recubrimiento a la superficie del molde (es decir la superficie del
material de la ventana que forma el fondo de la cavidad del molde)
con un producto químico antiadherente (es decir un agente de
separación de la pieza moldeada del molde). Estos materiales
incluyen aunque no están limitados a, perfluorsilanos tales como el
heptadecafluor-tetrahidrodeciltriclorosilano,
clorosilanos como el cloro-trimetilsilano, y
alcoxisilanos tales como el metoxitrietilsilano. Otros
recubrimientos antiadherentes contemplados para emplear incluyen
también los seleccionados del grupo formado por los fluorpolímeros,
y materiales depositados por un gas reactivo tal como monómeros
polimerizables de plasma. Las superficies que tienen estos
recubrimientos permiten no solamente una fácil separación del film
moldeado de la cavidad del molde sino también la transmisión de
energía de luz UV a la solución de la película que hay que
polimerizar.
Las dimensiones de las cavidades del molde pueden
ser de cualquier tamaño útil para las películas delgadas a moldear
en áreas pequeñas de la superficie del substrato. En una versión
preferida, los pozos pueden comprender un área tan pequeña como 10
\mum^{2} ó tan grande como 100 cm^{2} ó más. Las cavidades del
molde pueden formarse fácilmente en la superficie de un material de
la ventana como se ha definido en la presente, bien mecánicamente
como p. ej., por sonicación o mediante grabado empleando las bien
conocidas técnicas de ataque químico con ácido fluorhídrico o ataque
con óxido tamponado.
El sistema del molde puede además ser utilizado
de forma que se apliquen fácilmente múltiples capas de película
delgada sobre la superficie del substrato. Por ejemplo puede
aplicarse al substrato una capa base que tenga varias propiedades.
Propiedades de utilidad para una capa base incluyen (1) la
resistencia a condiciones ácidas y básicas causadas o por pH
extremos que dan por resultado por ejemplo, la polarización de los
electrodos del substrato de un microchip para aplicaciones
electrónicas, y (2) el aislamiento para la protección de las
moléculas a ser transportadas por la electroquímica del propio
electrodo. Las películas secundarias pueden comprender grupos
reactivos para fijar, bien covalentemente o no covalentemente,
moléculas de captura. Otras capas pueden contener reactivos para el
transporte iónico u oxígeno, secuestradores de radicales libres o
propiedades humectantes potenciadas.
Como ejemplo de operación, el proceso de moldeo
puede comprender los siguientes pasos:
Paso
1
En primer lugar, se trata la superficie del
substrato con un agente de copulado covalente para obtener una
adhesión superficial preferente, habiéndose tratado previamente la
superficie del molde con un agente antiadherente de separación.
Paso
2
La solución monómero polimerizable/iniciador, se
deposita sobre la superficie del molde (el molde puede estar
orientado mirando hacia fuera o en una posición invertida. Cuando
el molde está abajo mirando hacia arriba, la solución puede
depositarse en el pozo del molde. Cuando el molde está arriba de
cara abajo, la solución puede depositarse sobre el substrato de la
superficie).
Paso
3
El substrato o "tapadera" del molde (p. ej.,
un microchip) entra en contacto con el molde de forma que el
substrato queda contiguo al marco que rodea la cavidad del
molde.
Paso
4
La solución de monómero/iniciador es inducida a
polimerizar o "curar" al ponerse en contacto la solución con
una fuente de activación del iniciador. En una versión preferida,
esta fuente es la irradiación UV que es canalizada o distribuida
uniformemente a través de la ventana durante generalmente entre 2 y
2000 segundos, habitualmente entre 2 y 300 segundos, y de
preferencia, entre 2 y 30 segundos.
Cuando se emplea la irradiación UV se admite que
la energía de la luz comprende un margen de energía entre 0,1
miliwat/cm^{2} y 1000 miliwat/cm^{2}. De preferencia, la
intensidad UV es 100 mW/cm^{2} empleando longitudes de onda de
320-390 nm. Cuando se emplean iniciadores
térmicamente sensibles, el molde puede calentarse a temperaturas
entre 15 y 250ºC entre 5 y 2000 segundos. El calor puede ser o bien
de una fuente de luz que emite infrarrojos, o bien de una fuente no
luminosa. Cuando se emplean iniciadores químicos, la solución de
reacción puede ser mantenida en el molde entre 1 minuto y 30
minutos para completar la polimerización de la película fina sobre
el substrato.
Paso
5
Después de la polimerización del paso 4, el
substrato con su película fina adherente es separado de la cavidad
del molde.
Paso
6
Los substratos recubiertos con la película fina
se lavan para eliminar reactantes extraños y a continuación se
secan.
Paso
7
El molde está inmediatamente disponible para
emplear en otra reacción de moldeo en donde se repiten los pasos
1-6. En una versión preferida, el sistema del molde
puede emplearse para aplicar al substrato, capas múltiples de
películas delgadas.
En aplicaciones en las cuales la solución de
monómero se canaliza dentro de la cavidad del molde, empleando
puertas de llenado, la tapa o substrato puede estar en contacto con
el molde antes de llenar el molde con la solución de
polimerización.
En un sistema de molde con corredera de vidrio,
las películas finas se obtuvieron con un grueso altamente uniforme
entre diferentes substratos de microchips de tal forma que los
"coeficientes de variación" (CV) entre los microchips fue
inferior a 11,1%. Además, el grueso de las películas sobrepasando
los electrodos individuales o sitios de captura (es decir, los
contactos) del microchip tenían coeficientes de variación contacto a
contacto, inferiores al 6,3%. Estos resultados están mostrados en
las figuras 1 y 2, En la figura 1 se emplearon tres diferentes
moldes de vidrio grabado para aplicar una solución de acrilamida
(acrilamida:bisacrilamida 19:1) a la superficie del microchip. Se
efectuaron seis ensayos empleando el molde número 1, cinco ensayos
se realizaron empleando el molde número 2 y siete ensayos se
realizaron empleando el molde número 3. Como puede verse, los
coeficientes de variación fueron de 17,5%, 7,8% y 1,9%
respectivamente. Los moldes se formaron cada uno empleando la
tecnología del grabado con HF (por ejemplo, el grabado de las
ventanas de vidrio de borosilicato, puede efectuarse con HF al 48%
durante uno a dos minutos seguido de un lavado con agua para obtener
un pozo del molde grabado de aproximadamente 10 \mum de
profundidad).
En la figura 2, el molde 3 se empleó además para
el ensayo de variabilidad del grueso de la película de terminal a
terminal. Para cada microchip, se ensayaron siete rellenos
diferentes sobre el mismo chip. Como se ha indicado, los rellenos
del microchip 1 tuvieron un CV de 1,5%. De manera similar, los
rellenos de los microchips 2-6 tenían unos CV del
3,1%, 2,2%, 6,3%, 2,6% y 3,8% respectivamente. La variación entre
seis diferentes chips empleando el mismo molde (molde número 3) fue
del 11,1%.
En este ejemplo se construyó un molde compuesto,
a base de cuarzo/metal, con una ventana regulable de cuarzo como se
muestra en las figuras 3 y 4. En la figura 3, la placa base (1)
puede estar íntegramente asociada con el marco del pozo (3). En el
interior del marco del pozo (3) se encuentra la ventana transparente
(2) ajustada para estar apoyada desde el borde superior del marco
de forma que se crea una cavidad del molde. Situados lateralmente
en posiciones opuestas, están los pozos de llenado del molde (4).
La figura 4 muestra una sección transversal del sistema de molde de
la figura 3. Como se indica en el ejemplo del dibujo, la ventana
transparente está apartada unos 5 \mum. También se muestran los
canales de llenado (5) para la entrada y salida del fluido de la
cavidad del molde.
El grueso de la cavidad del molde (y en
consecuencia el grueso de la película fina) puede ser ajustado
reproduciblemente dentro de un pequeño tanto por ciento, ajustando
la posición de la ventana. Por ejemplo, la figura 6 muestra los
resultados de la variabilidad de la regularidad en términos de los
CV del grueso para películas finas, producidas ajustando la ventana
en tres posiciones diferentes. Los gruesos encontrados fueron de 5,
11 y 100 \mum. Los CV fueron 0,9, 2,0 y 16,2% respectivamente.
Como se muestra en la figura 7, el CV de chip a chip fue del 7,9%,
el CV de contacto a contacto fue inferior al 5,8% para un total de
37 microchips.
En este ejemplo, el sistema de la invención se
emplea para aplicar capas múltiples sobre la superficie del
substrato. Como se muestra en las figuras 5A-F,
pueden aplicarse capas múltiples en varios formatos. Por ejemplo,
el molde puede prepararse para recibir una solución polimerizable.
La preparación puede incluir la aplicación de una superficie
antiadherente a la cavidad del molde (1). Después de añadir la
solución al pozo(2), la superficie del substrato se pone en
contacto con el molde (3). La solución se polimeriza aplicando
energía radiante a la solución, y a continuación puede separarse del
molde la primera capa unida al substrato. La figura 5B muestra como
el substrato al que se ha fijado la capa base de película fina,
puede ponerse en contacto con el mismo o diferente molde para que
le sea aplicada una segunda capa.
En otra versión, la aplicación de múltiples capas
puede incluir la aplicación de capas de forma escalonada de manera
que una capa puede comprender completamente la capa inferior o
cubrir solo parcialmente dicha capa inferior. Como se muestra en la
figura 5C, la capa secundaria es más pequeña que la capa primaria.
En este ejemplo, la segunda capa ha sido aplicada empleando
simplemente un segundo molde con unas dimensiones de área más
pequeñas. En la figura 5D se aplica una tercera capa que tiene un
área todavía más pequeña. En la figura 5E, se han aplicado capas
empleando unos moldes de reacción que tienen consecutivamente áreas
mayores. En la figura 5F se muestra otra versión que muestra la
versatilidad de la aplicación de la película fina de la invención en
donde pueden aplicarse consecutivamente capas de un formato
variable. En este caso, la capa secundaria se ha aplicado empleando
una cavidad de molde mayor de forma que la primera capa está
totalmente cubierta por la segunda capa mientras la tercera capa se
ha aplicado con un molde más pequeño. Aplicando las capas finas de
esta manera se proporciona una capa base que puede ser más densa
que las capas más al exterior para proteger contra los pH extremos
y el ambiente fuertemente ionizante de la superficie del electrodo
de metal. La capa del centro puede ser menos densa que la capa base
y tener grupos para fijar las moléculas transportadas a la posición
del electrodo. La capa del centro puede tener también una propiedad
que facilita un fácil lavado para eliminar las moléculas capturadas.
La tercera capa puede contener una química de fijación diferente de
la segunda capa para la unión de moléculas particulares desde la
solución de ensayo de forma que puede utilizarse un contacto de
captura para detectar varias diferentes moléculas de interés.
Modificaciones y otras versiones de la invención
serán aparentes a los expertos en la técnica a la cual se refiere
esta invención, aprovechando las precedentes enseñanzas,
descripciones y dibujos anexos. La presente invención no se limita
por lo tanto a las versiones específicas descritas sino que incluye
las modificaciones y otras versiones que están dentro del ámbito de
las reivindicaciones del apéndice. Todas las citas bibliográficas
se incorporan a la presente como referencia.
Claims (21)
1. Un método de moldeo de una película fina sobre
la superficie de un substrato, que comprende:
- a.
- Disposición sobre el elemento ventana (2) de un sistema de molde de microrreacción,
- dicho sistema de molde de microrreacción comprende
- i.
- un elemento ventana (2) que comprende un material transparente por lo menos a una longitud de onda de una radiación electromagnética, teniendo además el elemento ventana una superficie superior que forma el fondo, de por lo menos una cavidad del molde, teniendo la cavidad una profundidad entre 100 nm y 100 \mum;
- ii.
- por lo menos un lado de la cavidad del molde (4); y
- iii.
- una tapa que comprende un substrato;
- una composición de hidrogel solidificable, que contiene monómeros polimerizables y un compuesto iniciador de la polimerización, en donde el compuesto iniciador de la polimerización es sensible a una energía de activación a la cual es transparente el elemento ventana;
- b.
- Colocación de la superficie del substrato en contacto hermético con los lados de la cavidad del molde para formar la tapa del sistema del molde de microrreacción;
- c.
- Exposición del molde de microrreacción a una fuente de energía de activación, en donde la cavidad del molde se expone a la energía de activación transmitida a través del elemento ventana, con un nivel de energía suficiente para iniciar la polimerización de los monómeros durante entre 2 y 2000 segundos; y
- d.
- Separación del molde del substrato, para dejar al descubierto la película moldeada en la superficie del substrato.
2. Un método de moldeo de una película fina sobre
la superficie de un substrato, de acuerdo con la reivindicación 1,
en donde la cavidad del molde tiene unas dimensiones de longitud de
aproximadamente entre 1 mm y 3,5 cm y unas dimensiones de ancho de
aproximadamente entre 1 mm y 3,5 cm.
3. Un método de moldeo de una película fina sobre
la superficie de un substrato, de acuerdo con la reivindicación 1,
en donde la cavidad del molde está formada dentro del elemento
ventana, de manera que el material del elemento ventana forma los
lados de la cavidad del molde.
4. El método de la reivindicación 1, en donde los
monómeros polimerizables se seleccionan del grupo formado por
acrilamida, bisacrilamida, metacrilamida, N-alquil
acrilamidas, derivados de etilenglicol funcionalizados,
N-vinil pirrolidinona, biscistamina, acrilatos,
metacrilatos, acrilonitrilos y derivados de los mismos.
5. El método de la reivindicación 1, en donde la
superficie del substrato comprende un microchip.
6. El método de la reivindicación 5, en donde el
microchip es un microchip para aplicaciones electrónicas.
7. El método de la reivindicación 1, en donde los
grupos del iniciador de la polimerización se seleccionan del grupo
constituido por AIBN, APS y TEMED, peróxido de benzoilo, y D
4265.
8. El método de la reivindicación 1, en donde la
energía de activación es una radiación electromagnética del
espectro visible.
9. El método de la reivindicación 1, en donde la
energía de activación es una radiación electromagnética del
espectro ultravioleta.
10. El método de la reivindicación 9, en donde la
cavidad del molde se expone a un nivel de energía en el margen
entre 0,1 mW/cm^{2} y 1000 mW/cm^{2}.
11. El método de la reivindicación 9, en donde la
radiación ultravioleta es de una longitud de onda entre 320 y 390
nm.
12. El método de la reivindicación 1, en donde la
energía de activación es una radiación electromagnética del
espectro infrarrojo.
13. El método de la reivindicación 1, en donde la
composición química solidificable en la cavidad del molde se
calienta mediante la radiación electromagnética infrarroja a una
temperatura entre 15ºC y 250ºC.
14. El método de la reivindicación 1, en donde el
molde de microrreacción se expone a la radiación electromagnética
infrarroja entre 5 y 2000 segundos.
15. El método de la reivindicación 1, en donde el
molde de microrreacción se llena con la composición química
solidificable la cual pasa a través de unas puertas en la cavidad
del molde.
16. El método de la reivindicación 1, en donde el
molde de microrreacción se expone a la energía de activación entre
2 y 300 segundos.
17. El método de la reivindicación 1, en donde el
molde de microrreacción se expone a la energía de activación entre
2 y 30 segundos.
18. El método de la reivindicación 1, que
comprende además los pasos de:
- e.
- lavado del molde;
- f.
- repetición de los pasos (a) al (d) por lo menos una vez, para formar por lo menos una capa de película fina adicional sobre la parte superior de la capa de película fina formada en (d);
en donde se forma una pluralidad de capas de
película fina sobre la superficie del substrato.
19. El método de la reivindicación 18, en donde
cada una de las capas de película fina comprende una distinta
composición de un polímero y/o reactivos.
20. El método de la reivindicación 1, que
comprende además el paso de:
- e.
- repetición de los pasos (a) hasta el (d) empleando un molde de microrreacción del mismo o diferente tamaño por lo menos una vez para formar por lo menos una capa de película fina adicional sobre la parte superior de la capa de película fina formada en (d),
con lo que se forman una pluralidad de capas de
película fina sobre la superficie del substrato.
21. El método de la reivindicación 20, en donde
cada una de las capas de película fina presenta una composición
distinta de un polímero y/o reactivos.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/464,651 US6524517B1 (en) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | Methods for molding and grafting highly uniform polymer layers onto electronic microchips |
US464651 | 1999-12-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES00986332T Expired - Lifetime ES2236022T3 (es) | 1999-12-15 | 2000-12-12 | Metodo para moldeo de materiales sobre un substrato plano. |
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EP (1) | EP1242223B1 (es) |
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WO (1) | WO2001043938A1 (es) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6306348B1 (en) * | 1993-11-01 | 2001-10-23 | Nanogen, Inc. | Inorganic permeation layer for micro-electric device |
JP5181157B2 (ja) * | 1999-09-30 | 2013-04-10 | ハミダ・フォー・ライフ・ベスローテン・フェンノートシャップ | マイクロエレクトロニックアレイ上の生体分子付着部位 |
US6303082B1 (en) * | 1999-12-15 | 2001-10-16 | Nanogen, Inc. | Permeation layer attachment chemistry and method |
WO2002046721A2 (en) | 2000-12-08 | 2002-06-13 | Burstein Technologies, Inc. | Optical discs for measuring analytes |
US7054258B2 (en) | 2000-12-08 | 2006-05-30 | Nagaoka & Co., Ltd. | Optical disc assemblies for performing assays |
US7091034B2 (en) | 2000-12-15 | 2006-08-15 | Burstein Technologies, Inc. | Detection system for disk-based laboratory and improved optical bio-disc including same |
JP4786085B2 (ja) * | 2001-09-03 | 2011-10-05 | 学校法人日本大学 | 微小部品の成形用装置及び微小部品の成形方法 |
US6960298B2 (en) * | 2001-12-10 | 2005-11-01 | Nanogen, Inc. | Mesoporous permeation layers for use on active electronic matrix devices |
US20050008821A1 (en) * | 2003-07-07 | 2005-01-13 | Pricone Robert M. | Process and apparatus for fabricating precise microstructures and polymeric molds for making same |
US8226880B2 (en) * | 2003-07-07 | 2012-07-24 | 10X Technology, Llc | Process for fabricating precise microstructures |
US20060166285A1 (en) * | 2005-01-26 | 2006-07-27 | Jainamma Krotz | Charged permeation layers for use on active electronic matrix devices |
US7687103B2 (en) * | 2006-08-31 | 2010-03-30 | Gamida For Life B.V. | Compositions and methods for preserving permeation layers for use on active electronic matrix devices |
US20080160173A1 (en) * | 2006-12-27 | 2008-07-03 | Nokia Corporation | Component Moulding Process |
DE102007008487A1 (de) * | 2007-02-19 | 2008-08-21 | Smartrac Ip B.V. | Verfahren und Halbzeug zur Herstellung eines Inlays |
WO2012160769A1 (ja) * | 2011-05-24 | 2012-11-29 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 樹脂成形品の製造方法 |
WO2018122852A1 (en) | 2016-12-29 | 2018-07-05 | Schnell Amit | Cartridge for use in in-vitro diagnostics and method of use thereof |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3981671A (en) | 1975-09-22 | 1976-09-21 | Cincinnati Milacron, Inc. | Liquid reaction molding press |
USRE30130E (en) | 1975-09-22 | 1979-10-30 | Cincinnati Milacron Inc. | Liquid reaction molding press |
US4073835A (en) * | 1976-01-30 | 1978-02-14 | Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd. | Method of resin encapsulating electrical parts with UV curing of fire retardant resin |
US4205028A (en) | 1979-01-11 | 1980-05-27 | Ferro Corporation | Forming protective skin on intricately molded product |
US4284399A (en) | 1980-06-23 | 1981-08-18 | American Optical Corporation | Contact lens mold |
FR2486864A1 (fr) | 1980-07-21 | 1982-01-22 | Pont A Mousson | Procede de moulage par injection de pieces revetues en matiere plastique et dispositif destine a sa mise en oeuvre |
JPS59227131A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-20 | Matsushita Electronics Corp | 樹脂封止形半導体装置の製造方法およびこれに用いる封止装置 |
JPS6334108A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-13 | Hitachi Ltd | 光デイスク用基板の製造方法および装置 |
JP2969742B2 (ja) * | 1990-03-07 | 1999-11-02 | 株式会社総合歯科医療研究所 | 光重合成形装置 |
US5164162A (en) | 1990-05-21 | 1992-11-17 | The Dow Chemical Company | Mixing head with sleeved quieting chamber |
JP2772443B2 (ja) * | 1990-06-18 | 1998-07-02 | シャープ株式会社 | 半導体パッケージの封止方法及び封止装置 |
JP2686682B2 (ja) | 1991-10-16 | 1997-12-08 | いすゞ自動車株式会社 | 成形品の製造方法 |
FR2702067B1 (fr) | 1993-02-23 | 1995-04-14 | Schlumberger Ind Sa | Procédé et dispositif de fabrication de cartes à mémoire. |
JP3093943B2 (ja) * | 1994-12-08 | 2000-10-03 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
EP0726579B1 (en) * | 1995-02-02 | 2003-11-26 | Teijin Limited | Transparent conductive sheet |
US6099783A (en) * | 1995-06-06 | 2000-08-08 | Board Of Trustees Operating Michigan State University | Photopolymerizable compositions for encapsulating microelectronic devices |
US5763503A (en) * | 1995-06-07 | 1998-06-09 | Esschem, Inc. | Radiation-curable, moldable material, methods for curing it and molded articles obtained therefrom |
DE19705303C2 (de) * | 1996-02-16 | 2002-11-21 | Karlsruhe Forschzent | Verfahren zur Herstellung von Klein- und Mikroteilen |
US6039897A (en) * | 1996-08-28 | 2000-03-21 | University Of Washington | Multiple patterned structures on a single substrate fabricated by elastomeric micro-molding techniques |
JPH10214521A (ja) * | 1997-01-31 | 1998-08-11 | Tokai Kogyo Kk | 多層導電材配設構造、多層導電材装置及びその製造方法 |
US6143412A (en) * | 1997-02-10 | 2000-11-07 | President And Fellows Of Harvard College | Fabrication of carbon microstructures |
JP3161362B2 (ja) * | 1997-05-01 | 2001-04-25 | 富士ゼロックス株式会社 | 微小構造体、その製造方法、その製造装置、基板および成形型 |
US6197145B1 (en) * | 1998-08-17 | 2001-03-06 | Ford Motor Company | Method of laminating a flexible circuit to a substrate |
-
1999
- 1999-12-15 US US09/464,651 patent/US6524517B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-12-12 KR KR1020027007650A patent/KR20020062657A/ko not_active Application Discontinuation
- 2000-12-12 AT AT00986332T patent/ATE289250T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-12-12 WO PCT/US2000/033687 patent/WO2001043938A1/en active IP Right Grant
- 2000-12-12 AU AU22591/01A patent/AU2259101A/en not_active Abandoned
- 2000-12-12 ES ES00986332T patent/ES2236022T3/es not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20020062657A (ko) | 2002-07-26 |
ATE289250T1 (de) | 2005-03-15 |
CA2393781A1 (en) | 2001-06-21 |
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US6524517B1 (en) | 2003-02-25 |
EP1242223B1 (en) | 2005-02-16 |
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