EP2398723A1 - Vorrichtung zum vereinzeln von scheibenförmigen elementen - Google Patents

Vorrichtung zum vereinzeln von scheibenförmigen elementen

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Publication number
EP2398723A1
EP2398723A1 EP10707818A EP10707818A EP2398723A1 EP 2398723 A1 EP2398723 A1 EP 2398723A1 EP 10707818 A EP10707818 A EP 10707818A EP 10707818 A EP10707818 A EP 10707818A EP 2398723 A1 EP2398723 A1 EP 2398723A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
belt
belt conveyor
section
disc
shaped elements
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP10707818A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Boris Matzner
Bernhard Brain
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AMB Apparate und Maschinenbau GmbH
Original Assignee
AMB Apparate und Maschinenbau GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AMB Apparate und Maschinenbau GmbH filed Critical AMB Apparate und Maschinenbau GmbH
Publication of EP2398723A1 publication Critical patent/EP2398723A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • B65H3/12—Suction bands, belts, or tables moving relatively to the pile
    • B65H3/124—Suction bands or belts
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    • B65H2701/1111—Geometric shape
    • B65H2701/11112—Geometric shape disk

Definitions

  • the invention relates to a device for separating disc-shaped elements from a stack.
  • the stack is then returned to the belt in the direction of the stacking axis.
  • further belt conveyors are arranged downstream of the first belt conveyor. While the first, provided with the vacuum device belt conveyor is provided for conveying the respective first disc-shaped element from the stack in the vertical direction against gravity, a belt conveyor is arranged below, the conveying direction is inclined by approximately 45 ° relative to the conveying direction of the first belt conveyor. Opposite to the belt of the first belt conveyor, a further belt conveyor is arranged, so that a laterally conveyed off from the stack element between the belt of the first belt conveyor and the other belt conveyor clamped and so transported.
  • the element to be transported After leaving the belt of the first belt conveyor, the element to be transported falls onto the obliquely arranged part of the following belt conveyor. If gravity is insufficient, a scraper is arranged on the further belt conveyor in order to achieve a reliable release of the possibly adhering disk-shaped element.
  • the known conveyor has several disadvantages.
  • only the first belt conveyor is provided until it is transferred to the devices serving for further transport, which sucks the surrounding fluid through a belt provided with holes for releasing the first element of the stack.
  • the other belts of the subsequent transport and conveying devices are not perforated and also have no vacuum devices.
  • the stack is in a liquid bath at this time.
  • negative pressure is just used in the first belt conveyor.
  • the stack is fed lying, so that the conveying direction is perpendicular to the stacking axis and thus the respective first element is lifted out of the liquid bath in the vertical direction. During the entire travel, a secure adherence of the raised disk-shaped element to the belt is required.
  • DE 10 2006 011 870 A1 uses the webbing perforated according to a specific pattern. However, after lifting, adhesion alone or pinching of the disc-shaped elements between two straps is provided for adhesion. The holding forces are therefore very indefinite and it often comes to disruptions in the production process, as a safe transfer to the further-promoting transport devices is not guaranteed.
  • the invention is therefore based on the object to provide a separating device in which disc-shaped elements can be supplied from a stack individually to a further transporting device.
  • the separating device according to the invention for separating disk-shaped elements from a stack according to claim 1 has a first belt conveyor device and a second belt conveyor device.
  • the first belt conveyor device serves to receive in each case a disk-shaped element from a stack
  • the second belt conveyor device serves for the further transport and for the storage of the disk-shaped elements on a further transport device.
  • the first and second belt conveyor devices are connected to a vacuum generating device, such as a vacuum pump. While a first belt of the first belt conveyor has openings of a first cross section, second openings are made in the second belt of the second belt conveyor. The openings of the first
  • Belt conveyor have larger cross-sections than the second openings of the second belt conveyor.
  • the provision of negative pressure devices both in the first belt conveyor device and for the second belt conveyor device ensures that the disc-shaped elements securely adhere to the respective belt. At the same time, it is prevented by the different cross-sections of the openings of the first belt and the second belt, that a drying of the disk-shaped elements, which are taken out of the liquid bath, can occur. Due to the secure adhesion due to the generated negative pressure is the further handling considerably simplified.
  • a premature drop of the disk-shaped elements is avoided before the final deposition on a forwarding transport device, i ⁇ s can take place a targeted storage, as the disc-shaped elements that adhere securely due to the negative pressure on the second belt conveyor, are moved together with the second belt conveyor , For an active storage on the continuing transport device is possible.
  • the openings of the first belt are introduced as recesses in the belt, whereas cuts are made in the second belt to produce the openings.
  • the large openings are advantageous.
  • the vacuum device By means of the vacuum device, relatively large volume flows can pass through the webbing. Accordingly, the suction of the disk-shaped element from the stack takes place with a comparatively high force.
  • the surface of the disk-shaped element threatens to dry. This is undesirable because it can lead to increased rejection. Accordingly, only cuts are introduced as openings in the second webbing.
  • the second belt conveyor device has at least one section which is rotatably arranged.
  • the rotation which takes place in relation to the conveying plane of the first belt conveyor device, allows the disk-shaped element to be taken over at the conveying plane identical to the first belt conveyor device and the disk-shaped element to be deposited in a plane inclined thereto, in particular horizontal.
  • the disk-shaped element is detached from the belt of the portion of the second belt conveyor, which is rotatable, and fed to a further transporting device. This can be done, for example, simply by placing it on a cord drive or another conveyor belt. An uncontrolled tilting so as to deposit the disk-shaped element on a sloping further conveying plane is thus avoided.
  • the rotatable portion is arranged such that, initially in an initial position of the rotatable portion, the conveying plane of the first belt conveyor is parallel to the conveying plane of the rotatable portion of the second belt conveyor.
  • a conveying plane in each case that plane is referred to, in which the contact surface between the belt and disk-shaped element is located.
  • the second, rotated position of the portion of the second belt conveyor is selected so that in this position, the conveying plane at an angle with the conveying plane of the first
  • Belt conveyor includes.
  • the cutting line between these two planes is preferably perpendicular to the two conveying directions.
  • the second belt conveyor device has a first and a second section.
  • the conveying plane of the first section is preferably identical to the conveying plane of the first belt conveyor device, so that in this section the disk-shaped element is transported further in the vertical direction. This initially increases the distance from the liquid pool. This larger can often be necessary because the continuing transport device itself has a certain height.
  • the first belt conveyor device is kept as short as possible. After a complete detachment of the respective first disc-shaped element has taken place from the stack, therefore, a transfer to the second belt conveyor device or its first section will possibly take place as soon as possible.
  • a further vertical conveyance is first carried out by the first section of the second belt conveyor device.
  • the second portion of the second belt conveyor is rotatable.
  • the continuing transport device preferably alone under
  • the rotatable section and the first belt conveyor device are arranged such that the disk-shaped elements are held on different surfaces by the first section and the second section. While the first portion is in contact with a first surface of the wafer, after the transfer to the second portion, a holding force is generated on the second surface of the wafer remote therefrom.
  • the first section and the second section are arranged so far offset from one another that at no time acts a clamping force on the wafer. Rather, promotion takes place on the belt of the first section until the wafer protrudes beyond its end. At this protruding end, a holding force is then applied through the second section.
  • the distance in the transport direction is chosen to be so small that a secure adherence of the wafer to the belt of the first and / or the second section is ensured at all times.
  • the wafer is always in contact with a region in which a negative pressure is generated by the belt.
  • the rotatable portion and the first belt conveyor are arranged such that the disc-shaped members conveyed by the first belt conveyor abut the first surface thereof against the belt and also the disk-shaped ones conveyed by the rotatable portion of the second belt conveyor Abut elements with the same first surface on the belt of the rotatable portion.
  • the second section in a rotated position can assume the function of a further transport device.
  • a transport plane of the further transport device is parallel to the conveying direction of the rotatable section in its rotated position. This is particularly advantageous when the transport plane is oriented horizontally, so that in the rotated position of the wafer can be easily stored on the forwarding transport device.
  • the rotatable section of the second belt conveyor device and the further transport device are in particular also aligned with one another in such a way that the belt of the rotatable section and a conveying device of the further transport device lie opposite one another in the rotated position of the second belt conveyor device. So while in the rotated position, first the wafer still on the belt of the second portion of the second
  • Belt conveyor is held by the negative pressure, the conveying means of the secondary transport device is already arranged on the side facing away from the wafer. If you now dissolve the wafer from the belt, so it can be stored directly on the conveyor of the continuing transport device.
  • a wetting device can be arranged in this area. Since the transport of the disk-shaped elements takes place by holding on different surfaces, the respective free surface of the disk-shaped element can be wetted.
  • a wetting device is preferably provided in the region of the forwarding transport device and the rotatable section.
  • the second belt conveyor device preferably has a movable device for deflecting the belt on a side facing away from the transport side, that is, the surface of the belt that comes into contact with the wafer. While usually the straps run over two rollers and run in a straight line along a guide surface between them, a deflection of the strap can be achieved by means of the movable device. This deformation of the belt causes a disc-shaped element adhering to the belt to come off, provided that a certain flexural rigidity of the element is present. Even with flexurally elastic elements, detachment is supported by such an ideally short impulse.
  • the movable device comprises an elastic element or is formed entirely by the elastic element.
  • This elastic element can be filled with a fluid to increase its volume.
  • the elastic element is arranged in a receiving space of the second belt conveyor. For example, when the volume is increased by filling with a fluid, the volume of the elastic element exceeds the volume of the receiving space. As a result, it partially comes out of the receiving space and leads to a deformation of the belt, which, when the elastic element is not filled, immediately along the open side of the receiving space runs.
  • the enlargement of the elastic element can also be transmitted indirectly to the belt.
  • Fig. 1 is a schematic representation for explaining the basic sequence of the
  • FIG. 2 is an enlarged view of a separator used for singling
  • Fig. 3 is a further enlarged view of
  • FIGS. 2 and 3 shows a schematic illustration of a detail of the singler from FIGS. 2 and 3 for explaining the function of the movable device.
  • FIG. 8A shows a separating nozzle device 200
  • FIG. 8B shows a separation nozzle device 60;
  • FIG. 1 shows a part of a larger installation which is used in the processing of wafers, for example.
  • the term "wafer” is hereby representative of essentially disc-shaped elements. Disc-shaped means that the
  • Extension in a first and a second dimension is considerably larger than in a third dimension.
  • the device 1 separates disc-shaped elements from a stack 2.
  • the stack 2 consists of a plurality of individual disc-shaped elements aligned parallel to one another.
  • the disk-shaped elements are oriented so that the stacking axis, which extends in the conveying direction, which is represented by the arrow, is perpendicular to the individual disk-shaped elements.
  • the stack 2 is placed horizontally in a liquid bath.
  • the term "lying" refers to the position assumed during operation, as indicated by the water line, the stack 2 is completely immersed in a liquid bath, which may be, for example, stress-free or stress-reduced water.
  • a supply device 3 is arranged in the liquid bath.
  • the stack 2 is arranged in unspecified manner on this feeding device 3.
  • the feeding device 3 By means of the feeding device 3, the stack 2 is moved in the direction of the stacking axis toward the actual singler 5.
  • the singler 5 For the sake of clarity, only the essential elements of the singler 5 are shown in FIG. A more detailed description will be explained below with reference to the further Figs. 2-5.
  • the singler 5 has a first belt conveyor 6 and a second belt conveyor 7.
  • the second belt conveyor 7 has a first section 7.1 and a second section 7.2.
  • the first belt conveyor device 6, the first section 7.1 and the second section 7.2 each have their own belt, which, however, is preferably driven together with the other belts. This is one
  • a disk-shaped element conveyed away from the stack 2 in the manner to be described below is transported as far as a further transport device 8.
  • the further transport device 8 transports, as indicated by the arrow C, the scattered disc-shaped elements and can thus for example supply them to a damage detection and sorting station and / or to the further process.
  • the stack 2 is transported with the first surface 4 of the first disc-shaped element to the right in the arrow direction until the first surface 4 rests against the belt of the first belt conveyor 6.
  • the first belt conveyor 6 and the sections 7.1 and 7.2 of the second belt conveyor 7 are each connected to a vacuum pump VP.
  • a vacuum is generated by means of the vacuum pump VP. This negative pressure is generated on a side facing away from the contact surface between the disc-shaped elements and the belt side in the first belt conveyor device 6 or the section 7.1 and the section 7.2.
  • the belt of the first belt conveyor 6 is guided along a guide surface on its side facing the stack 2.
  • a guide surface on its side facing the stack 2.
  • the hole pattern is created by recesses in the belt are introduced. For example, with a uniform pattern, a plurality of circular holes may be punched in the belt.
  • the vacuum pump VP By the vacuum pump VP, the surrounding fluid of the liquid bath is sucked. If the stack 2 is fed so far in the direction of the first belt conveyor 6 that the first surface 4 is in contact with the belt, the openings are closed and due to the resulting negative pressure the first disk-shaped element now adheres to the belt of the first belt conveyor 6.
  • the circulating belt therefore pulls the first disk-shaped element in the direction of the arrow A from the stack 2 and transports it in the direction of the first section 7.1 of the second belt conveyor device 7. Since the second belt conveyor device 7 and thus also the first section 7.1 is connected to the vacuum pump VP, the disk-shaped element is sucked onto the belt here as well.
  • the belt of the first belt conveyor device 6 and the belt of the section 7.1 of the second belt conveyor 7 are offset from each other but arranged with a common conveying plane. This means that the suction of the disk-shaped element takes place on the same side of the disk-shaped element, namely on the side of the first surface 4.
  • the distance in the transport direction A is chosen so that in the region of the transition between the first belt conveyor 6 and the second Belt conveyor 7 takes place for a certain time both an intake by the first belt conveyor 6 and by the second belt conveyor 7.
  • the length of the first belt conveyor 6 is dimensioned approximately so that the transport length, on which the first disk-shaped element is in contact with the belt, is arranged approximately completely in the liquid bath.
  • Vacuum device free surface as it is present in the region of the recesses of the belt of the first belt conveyor 6, therefore does not exist. This prevents that a partial drying of the surface takes place in the region of the recesses.
  • the belt of the first section 7.1 of the second belt conveyor device 7 further transports the disk-shaped element in the vertical direction and with a conveying plane identical to the conveying plane of the first belt conveyor device 6.
  • the transport through the first section 7.1 can be done so far as long as a secure adherence to the belt of the first section 7.1 is ensured.
  • the belt runs in the area in which a plant of the disc-shaped element must be made, also via a guide surface in which there are openings which are connected via a further channel system with the vacuum pump VP.
  • the front edge of the disk-shaped element in the transport direction eventually reaches the end of the belt of the first section 7.1.
  • the second section 7.2 is rotated in Fig. 1 by 90 ° clockwise.
  • the conveying plane of the second section 7.1 now runs parallel to the transport plane of the further transport device 8.
  • the pivot bearing about which the second section 7.2 can be rotated as a rotatable section of the second belt conveyor is positioned so that between the belt of the second section 7.2 and the transport device formed distance is slightly larger than the thickness of the disc-shaped element. This ensures that jamming of the disk-shaped elements, which leads to a mechanical load, is avoided.
  • the deformation of the belt of the second section 7.2 promotes detachment from the belt of the second section 7.2. For this a certain range of motion is required.
  • FIG. 2 once again shows an enlarged view of the singler 5. It is shown once again that initially the first belt conveying device 6 picks up a disk-shaped element 12 represented by way of example.
  • the disc-shaped element 12 is located with a surface in contact with the belt 10 of the first belt conveyor device 6.
  • On the side facing away from this disc-shaped element side of the belt 10 runs on a thakungsflache fitting.
  • the recesses are arranged, which are connected via a line system with the vacuum pump VP.
  • the belt 10 is the same endless conveyor belt and stretched between two rollers.
  • the rollers are rotatably mounted in a first pivot bearing 11.1 and a second pivot bearing 11.2, wherein one of the rollers is connected to a drive system, not shown in the figure 2.
  • the second belt conveyor 7 has a first section 7.1.
  • an endless trained belt is provided, which is stretched over two rollers.
  • Their pivot bearing 14.1 and 14.2 lie with the two pivot bearings 11.1 and 11.2 on a line.
  • the roller diameters are chosen to be equal, so that the first belt 10 and the second belt 13 have a common conveying plane.
  • a disc-shaped element is shown in Figure 2, which is at a later date alone in contact with the belt 13 of the first section 7.1.
  • the disc-shaped element 12 ' is with its first surface 25 in abutment against the belt 13.
  • the remote therefrom second surface 26 is free and can be protected by a wetting device, not shown in FIG. 2, for example, from drying out.
  • the need to provide such a wetting device depends on the particular application.
  • the straps 10 and 13 are driven synchronously, so that a further promotion in the direction of the arrow A is carried out by the second belt conveyor device 7 or first of its first section 7.1.
  • the disk-shaped element is in the position indicated by 12 ".
  • the second section 7.2 also has a first pivot bearing 16.1 and a second pivot bearing 16.2.
  • the two pivot bearings 16.1 and 16.2 in turn store rollers with which a belt 15 of the second section 7.2 is tensioned and driven.
  • the second section 7.2 is arranged to be rotatable about the first pivot bearing 16.1 in total.
  • the conveying plane can preferably be rotated by about 90 °.
  • the rotation through 90 ° is not intended to limit the present invention. This comes about because the further transport device 8, which will be explained below, with respect to the conveying plane of the first belt conveyor device 6 and the first portion 7 is rotated by 90 °.
  • the second section 7.2 is arranged so that the conveying plane of the second section 7.2 parallel to the conveying plane of the first
  • the conveying plane is the plane defined by the belt surface in contact with the disk-shaped element 12.
  • the conveying planes of the second section 7.2 and the first section 7.1 in this case have such a distance, which makes it possible to take over the disc-shaped element 12 without deformation. While towards the end of the transport path of the first section 7.1 a protruding part on the front in the transport direction edge of the disc-shaped element 12 '' is already held by the negative pressure on the belt 15 of the second section 7.2, the more in the direction of the trailing edge, in the transport direction seen, the disc-shaped member facing part held by the first section 7.1.
  • the entire section 7.2 is about the first pivot bearing 16.1, as shown by the arrow in FIG is, turned.
  • the second surface 26 of the disk-shaped element 12 is applied, after rotation, the first surface 25 is oriented parallel to a transport surface 20 of a conveying means 18 of the secondary transport device 8, as shown in Fig. 3.
  • the disk-shaped element 12 can now be deposited on the conveyor 18.
  • the conveyor 18 can either by another belt conveyor or z. B. be realized by a cord drive.
  • Vacuum lines that can be connected to the vacuum pump VP a movable wiring 17 is provided, which is known per se and therefore requires no further explanation.
  • the wiring 17 may also contain the vacuum lines in addition to electrical lines. Another routing is also conceivable.
  • the wetting device has a plurality of nozzles 23 and 24. A part of the nozzles, in Fig. 2, for example, the nozzle 23, is oriented so that the first surface 25 of the disk-shaped element 12 '' is wetted. By contrast, the second nozzle 24 is aligned so that the second surface 26 of the disk-shaped element 12 can be wetted in the further transport path. Since the further transport device 8 does not contain a vacuum device, the drying of the surface resting on the conveyor 18 is considerably less critical on the further transport path than in the areas where it is necessary to work with negative pressure.
  • the conveyor 18 of the secondary transport device 8 is also a belt conveyor in the illustrated embodiment and runs over rollers which are rotatably mounted in a first pivot bearing 19.1 and a second pivot bearing 19.2.
  • FIG. 4a the second section 7.2 is already in its rotated position. In this position, the disc-shaped element 12 leading part of the belt 15 is already arranged parallel to a transport plane 20 of the conveyor 18. However, the belt is so far away from the conveyor 18 that the disc-shaped element 12 '' is not trapped between the two demanding parts.
  • the receiving space 28 may be formed, for example, in the form of a groove which is open towards the demanding side of the belt 15, and extends substantially across the width of the belt 15.
  • an elastic member 27 In this receiving space 28 is formed as a movable device, an elastic member 27.
  • the elastic member 27 is hollow and can be filled with a fluid. As long as the elastic element 27 is not filled, its outer dimensions are chosen so that it is completely arranged in the receiving space 28.
  • the belt may run flat over the open side of the groove and extend adjacent to the leading part of the section 7.2 through the vacuum device.
  • the elastic element 27 is filled.
  • a compressible medium can be used or an incompressible medium.
  • the use of a compressible medium has the advantage that the vacuum pump can be used simultaneously to fill the elastic element 27.
  • the volume of the elastic element 27 increases. Since the size in the unfilled state of the elastic element 27 is already designed such that the receiving space 28 is largely utilized, the increase in volume leads to a leakage of a part of the elastic element 27 on the open side of the receiving space 28.
  • FIG. 5 again shows a view from the left side of the singler 5 in FIGS. 1-3, wherein the second section 7.2 is in its starting position.
  • the belt 10 of the first belt conveyor 6 has openings 30, through which even the outlets of the channels provided for generating the negative pressure can be seen in the middle region.
  • the cuts 31 in the belt 15 are indicated only schematically. For better clarity, no cuts can be seen in the belt 13 of the first section of the second belt conveyor 7.
  • the first belt 10 of the first belt conveyor device 6 and the second belt 13 of the first section 7.1 of the second belt conveyor device 7 by means of a common Drive 33 are driven.
  • the mechanical operation has the advantage of being able to ensure a high degree of repeat accuracy and process stability with respect to the cycled rotational movement from the starting position into the rotated position and back again.
  • Belt conveyor 7 is provided. Instead of the second section 7.2, the alternativeVERzeier 5 'an alternative second section 7.2' on.
  • the alternative second section 7.2 also has the first pivot bearing 16.1 and the second pivot bearing 16.2.
  • the two pivot bearings 16.1 and 16.2 store in the alternative verzeier 5 'rollers with which the belt 15 of the alternative second section 7.2' is stretched and driven.
  • the alternative second section 7.2 ' is rotatably arranged overall around the first pivot bearing 16.1.
  • the conveying plane which is arranged vertically in the illustrated case perpendicular to the plane of the drawing and in the image, preferably by about 90 ° according to arrow D are rotated.
  • the conveying plane of the alternative second section 7.2 ' is identical in the illustrated case with the conveying plane of the first belt conveyor device 6 and in particular also of the first section 7.1'.
  • the conveying level can be from the Starting position shown by about 90 ° clockwise and rotated according to arrow D.
  • Transport device 8 ' is. It should also be noted here that the 90 ° rotation is not intended to be a limitation of the present invention. It can e.g. Also smaller or larger angles can be used.
  • the first pivot bearing 16.1 of the alternative second section 7.2 ' is displaced relative to the first pivot bearing 16.1 of the second section 7.2.
  • the pivot bearings 16.1, 14.1, 14.2, 11.1 and 11.2 are also aligned parallel to each other.
  • the alternative second section 7.2 ' is arranged in FIG. 6 such that the conveying plane of the alternative second section 7.2' is identical to the conveying plane of the first belt conveyor device 6 or of the first section 7.1.
  • the conveying planes of the alternative second section 7.2 'and of the first section 7.1 also coincide and have the same orientation, as a result of which the contact surfaces are located on the left-hand sides of the first section 7.1 and the alternative second section 7.2' in FIG.
  • the first belt conveyor 6, the first section 7.1 and the alternative second section 7.2' each have their own belt.
  • the belts may optionally be driven together, as in singler 5, or separately, so that each belt has an individual speed.
  • Using the vacuum pump VP is also on one of the contact surface between the disc-shaped Elements and the belt 15 side facing away from the belt 15 in the alternative second section 7.2 'generates a negative pressure.
  • the belt of the alternative second section 7.2 'lsc may also be slightly different, and due to the negative pressure generated by the vacuum pump VP, a secure adhesion of the disk-shaped elements is achieved.
  • the first strap 10 of the first Gurtfordervoruze 6 further comprises the first openings 30, while the second strap 15 of the second Gurtfordervorides 7 further has second openings.
  • the opening cross sections of the second openings are smaller in this case than the opening cross sections of the first openings.
  • the first openings 30 of the first belt are introduced as recesses in the belt 10.
  • the second openings in the second belt are introduced as cuts 31.
  • the front edge of the disk-shaped element in the transport direction reaches the end of the first section 7.1.
  • the front edge of the disk-shaped element in the transport direction now comes to rest on the side adjacent to the belt of the first section 7.1 in contact with the belt of the alternative second section 7.2 '. Due to the negative pressure generated there is now a safe
  • the alternative second section is 7.2 by 90 °
  • the alternative second section 7.2 needs no means for deflecting the belt 15, since the storage takes place by rotation of the second section using gravity and no transfer is required when depositing.
  • the alternative second section 7.2 'therefore has no device for deflecting the belt 15 in the exemplary embodiment shown.
  • a dicing nozzle apparatus 200 and a retaining nozzle apparatus 60 are disposed.
  • the singulating nozzle device 200 is above the stack 2 arranged.
  • the retaining nozzle device 60 is arranged starting from the stack 2 directly behind the first belt conveyor 6.
  • the singulation nozzle device 200 has a plurality
  • Singling nozzles 200.1 - 200.4 which open above the stack 2 in the liquid bath.
  • the separating nozzles 200.1 - 200.4 are arranged so that the liquid jets lead to a spacing of the disk-shaped elements in the stack 2.
  • the separating nozzles 200.1 - 200.4 are oriented such that the liquid jets run at least partially substantially parallel to the disk-shaped elements.
  • the singling nozzles 200.1 - 200.4 are at the same time also oriented so that the liquid jets also have components perpendicular to the disk-shaped elements and thus parallel to the conveying direction of the stack 2. As a result, liquid is brought between the disk-shaped elements in a simple manner.
  • an auxiliary nozzle 200.5 is formed in the separating nozzle device 200.
  • the auxiliary nozzle 200.5 also opens into the liquid bath.
  • a liquid jet generated in the liquid bath by the auxiliary nozzle 200.5 conveys liquid in the liquid bath perpendicular to the disk-shaped elements and thus parallel to the conveying direction of the stack 2. This liquid jet already opposes the first belt conveyor 6 at least partially by the first belt conveyor 6 conveyed disc-shaped elements.
  • Retaining nozzle device 60 is U-shaped, with the plane in which U is perpendicular in FIG. 8A is oriented to the plane and parallel to the conveying direction of the stack 2.
  • the U comprises - as shown in the plan view of FIG. 8B - the first belt conveyor device 6.
  • the retention nozzle device 60 comprises at least two retention nozzles 60.1, 60.2 - at each end of the U each one -, which open into the liquid bath and generate liquid jets in the liquid bath , which press disc-shaped elements against the stack 2, which are directly adjacent those disc-shaped elements which are in direct contact with the first belt conveyor 6 and are removed by the latter just the stack 2.
  • the liquid jets of the retaining nozzles 60.1, 60.2 have components parallel to the conveying direction of the stack 2.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Elementen aus einem Stapel (2). Die Vorrichtung weist eine erste Gurtfördervorrichtung (6) und eine zweite Gurtfördervorrichtung (7) auf. Die erste Gurtfördervorrichtung (6) ist zur Aufnahme jeweils eines scheibenförmigen Elements aus einem Stapel (2) vorgesehen. Die zweite Gurtfördervorrichtung (7) ist zum Weitertransport und zur Ablage der scheibenförmigen Elemente auf einer weiterführenden Transportvorrichtung (8) vorgesehen. Die erste und die zweite Gurtfördervorrichtung (6, 7) sind mit einer einen Unterdruck erzeugenden Vorrichtung (VP) verbunden. Ein erster Gurt der ersten Gurtfördervorrichtung (6) und ein zweiter Gurt der zweiten Gurtfördervorrichtung (7) weist zweite Öffnungen auf. Die Öffnungsquerschnitte der zweiten Öffnungen sind dabei kleiner als die Öffnungsquerschnitte der ersten Öffnungen.

Description

Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Elementen
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Elementen aus einem Stapel.
Zur Vereinzelung von gestapelten scheibenförmigen Elementen ist es z. B. aus der DE 10 2006 011 870 Al bekannt, Gurtfördermittel zu verwenden. Der Stapel wird in Richtung seiner Stapelachse an den Gurt herangeführt. Der Gurt selbst wird entlang einer Unterdruckeinrichtung geführt und weist mehrere Öffnungen auf, über die das umgebende Medium in die Unterdruckeinrichtung eingesaugt wird. Bei Kontakt einer Oberfläche der zu vereinzelnden Elemente des Stapels an dem Gurt entsteht ein Unterdruck, der das zu vereinzelnde Element an dem Gurt hält. Die Bewegungsrichtung des Gurts und die Orientierung der Stapelachse stehen senkrecht aufeinander. Dadurch wird das zu vereinzelnde Element in Bezug auf die Stapelachse seitlich aus dem Stapel abgezogen und dem weiteren Transportmechanismus zugeführt.
Zum Abheben des nächsten scheibenförmigen Elements wird dann der Stapel in Richtung der Stapelachse wieder auf den Gurt zugeführt. Bei der aus der DE 10 2006 011 870 Al bekannten Vereinzelungsvorrichtung sind nachfolgend zu dem ersten Gurtförderer weitere Gurtförderer angeordnet. Während der erste, mit der Unterdruckeinrichtung versehene Gurtförderer zum Abfördern des jeweils ersten scheibenförmigen Elements aus dem Stapel in vertikaler Richtung entgegen der Schwerkraft vorgesehen ist, ist nachfolgend ein Gurtförderer angeordnet, dessen Förderrichtung um etwa 45° gegenüber der Förderrichtung des ersten Gurtförderers geneigt ist. Gegenüberliegend zu dem Gurt des ersten Gurtförderers ist ein weiterer Gurtförderer angeordnet, so dass ein seitlich aus dem Stapel abgefördertes Element zwischen dem Gurt des ersten Gurtförderers und dem weiteren Gurtförderer eingeklemmt und so transportiert wird. Nach Verlassen des Gurts des ersten Gurtförderers fällt das zu transportierende Element auf den hierzu schräg angeordneten Teil des nachfolgenden Gurtförderers. Sollte die Schwerkraft nicht ausreichen, so ist an dem weiteren Gurtförderer ein Abstreifer angeordnet, um ein sicheres Lösen des möglicherweise anhaftenden scheibenförmigen Elements zu erreichen.
Die bekannte Fördereinrichtung hat mehrere Nachteile. Zum einen ist bis zur Übergabe an die dem weiteren Transport dienenden Einrichtungen lediglich der erste Gurtförderer vorgesehen, der zum Lösen des ersten Elements des Stapels das umgebende Fluid durch ein mit Löchern versehenes Gurtband ansaugt. Die weiteren Gurte der nachfolgenden Transport- und Fördereinrichtungen sind dagegen nicht gelocht und weisen auch keine Unterdruckeinrichtungen auf. Hier ist ein Transport lediglich aufgrund der durch Adhäsion entstehenden Kräfte bzw. aufgrund der Schwerkraft möglich. In der Fertigung von Halbleitererzeugnissen ist es oft erforderlich, einen Stapel Wafer, der beispielsweise aus einem Schneidprozess kommt, zu vereinzeln. Der Stapel befindet sich zu diesem Zeitpunkt in einem Flüssigkeitsbad. Um hier ein sicheres Abheben einzelner Wafer zu ermöglichen, wird eben bei dem ersten Gurtförderer Unterdruck eingesetzt. Der Stapel wird liegend zugeführt, so dass die Förderrichtung senkrecht zur Stapelachse verläuft und damit das jeweils erste Element in vertikaler Richtung aus dem Flüssigkeitsbad herausgehoben wird. Während des gesamten Verfahrwegs ist ein sicheres Anhaften des abgehobenen scheibenförmigen Elements an dem Gurt erforderlich. Hierzu wird bei der DE 10 2006 011 870 Al das nach einem bestimmten Muster gelochte Gurtband verwendet. Nach dem Abheben ist für die Haftung jedoch allein Adhäsion oder aber ein Einklemmen der scheibenförmigen Elemente zwischen zwei Gurten vorgesehen. Die Haltekräfte sind daher sehr unbestimmt und es kommt häufig zu Störungen im Produktionsablauf, da eine sichere Übergabe an die weiterfördernden Transportvorrichtungen nicht gewährleistet ist. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vereinzelungsvorrichtung zu schaffen, bei der scheibenförmige Elemente aus einem Stapel einzeln einer weiterführenden Transportvorrichtung zugeführt werden können.
Die Aufgabe wird durch die erfindungsgemäßen Vorrichtungen mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Die erfindungsgemäße Vereinzelungsvorrichtung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Elementen aus einem Stapel gemäß Anspruch 1 weist eine erste Gurtfördervorrichtung und eine zweite Gurtfördervorrichtung auf. Dabei dient die erste Gurtfördervorrichtung zur Aufnahme jeweils eines scheibenförmigen Elements aus einem Stapel und die zweite Gurtfördervorrichtung dient dem Weitertransport und zur Ablage der scheibenförmigen Elemente auf einer weiterführenden Transportvorrichtung. Erfindungsgemäß sind die erste und die zweite Gurtfördervorrichtung mit einer einen Unterdruck erzeugenden Vorrichtung, wie beispielsweise einer Vakuumpumpe verbunden. Während ein erster Gurt der ersten Gurtfördervorrichtung Öffnungen eines ersten Querschnitts aufweist, sind in den zweiten Gurt der zweiten Gurtfördervorrichtung zweite Öffnungen eingebracht. Die Öffnungen der ersten
Gurtfördervorrichtung weisen dabei größere Querschnitte auf als die zweiten Öffnungen der zweiten Gurtfördervorrichtung. Das Vorsehen von Unterdruckeinrichtungen sowohl bei der ersten Gurtfördervorrichtung als auch für die zweite Gurtfördervorrichtung stellt sicher, dass die scheibenförmigen Elemente an dem jeweiligen Gurt sicher anhaften. Gleichzeitig wird durch die unterschiedlichen Querschnitte der Öffnungen des ersten Gurts und des zweiten Gurts verhindert, dass ein Abtrocknen der scheibenförmigen Elemente, die aus dem Flüssigkeitsbad herausgenommen werden, eintreten kann. Durch das sichere Anhaften aufgrund des erzeugten Unterdrucks ist das weitere Handling erheblich vereinfacht. Insbesondere wird ein vorzeitiges Abfallen der scheibenförmigen Elemente vor der endgültigen Ablage auf einer weiterführenden Transportvorrichtung vermieden, i≤s kann eine gezielte Ablage erfolgen, da die scheibenförmigen Elemente, die aufgrund des Unterdrucks auch an der zweiten Gurtfördervorrichtung sicher anhaften, mitsamt der zweiten Gurtfördervorrichtung bewegt werden. Damit ist ein aktives Ablegen auf der weiterführenden Transportvorrichtung möglich.
In den Unteransprüchen sind vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung ausgeführt.
Insbesondere ist es vorteilhaft, wenn die Öffnungen des ersten Gurts als Ausnehmungen in den Gurt eingebracht sind, wohingegen in dem zweiten Gurt Schnitte eingebracht sind, um die Öffnungen zu erzeugen. Zum Ablösen des scheibenförmigen Elements von dem Stapel sind die großen Öffnungen vorteilhaft. Durch die Unterdruckeinrichtung können hier relativ große Volumenströme durch das Gurtband hindurch treten. Entsprechend erfolgt das Ansaugen des scheibenförmigen Elements aus dem Stapel mit einer vergleichsweise hohen Kraft. Nachdem aber das abgehobene Element aus dem Flüssigkeitsbad herausgehoben ist, droht in den Bereichen, in denen das scheibenförmige Element nicht an dem Gurt anliegt, da eine Öffnung dort vorhanden ist, ein Abtrocknen der Oberfläche des scheibenförmigen Elements. Dies ist unerwünscht, da es zu Erhöhung des Ausschusses führen kann. Dementsprechend sind in das zweite Gurtband lediglich Schnitte als Öffnungen eingebracht. Zwar ist durch die Schnitte auch noch die Erzeugung eines Unterdrucks zur Erhöhung der Haltekraft an dem Gurt möglich. Gleichzeitig wird jedoch verhindert, dass eine freie Oberfläche des scheibenförmigen Elements abtrocknen kann. Das Einbringen von Schnitten in die weiteren Gurtbänder sorgt dafür, dass die Oberfläche des scheibenförmigen Elements, im Weiteren der Einfachheit halber auch allgemein als Wafer bezeichnet, an dem Gurt anliegt, wodurch ein Abtrocknen der Oberfläche verhindert wird.
Zudem ist es bevorzugt, dass die zweite Gurtfördervorrichtung zumindest einen Abschnitt aufweist, der drehbar angeordnet ist. Die Drehung, die im Bezug auf die Förderebene der ersten Gurtfördervorrichtung erfolgt, ermöglicht eine Übernahme des scheibenförmigen Elements bei mit der ersten Gurtfördervorrichtung identischer Förderebene und das Ablegen des scheibenförmigen Elements in einer hierzu geneigten, insbesondere horizontalen, Ebene. In dieser gedrehten zweiten Position wird das scheibenförmige Element von dem Gurt des Abschnitts der zweiten Gurtfördervorrichtung, die drehbar ist, abgelöst und einer weiterführenden Transportvorrichtung zugeführt. Dies kann beispielsweise einfach durch Ablegen auf einem Schnurtrieb oder einem weiteren Förderband erfolgen. Ein unkontrolliertes Kippen, um so das scheibenförmige Element auf einer schräg verlaufenden weiteren Förderebene abzulegen, wird damit vermieden. Der drehbare Abschnitt ist so angeordnet, dass zunächst in einer Ausgangsposition des drehbaren Abschnitts die Förderebene der ersten Gurtfördervorrichtung parallel zur Förderebene des drehbaren Abschnitts der zweiten Gurtfördervorrichtung ist. Als Förderebene wird dabei jeweils diejenige Ebene bezeichnet, in der die Kontaktfläche zwischen Gurt und scheibenförmigen Element liegt. Die zweite, gedrehte Position des Abschnitts der zweiten Gurtfördervorrichtung ist so gewählt, dass in dieser Position die Förderebene einen Winkel mit der Förderebene der ersten
Gurtfördervorrichtung einschließt. Die Schnittlinie zwischen diesen beiden Ebenen steht vorzugsweise senkrecht auf den beiden Förderrichtungen.
Dabei ist es insbesondere vorteilhaft, wenn die zweite Gurtfördervorrichtung einen ersten und einen zweiten Abschnitt aufweist. Die Förderebene des ersten Abschnitts ist dabei vorzugsweise identisch mit der Förderebene der ersten Gurtfördervorrichtung, so dass in diesem Abschnitt das scheibenförmige Element in vertikaler Richtung weiter transportiert wird. Damit wird zunächst der Abstand von dem Flüssigkeitsbecken erhöht. Dieser größere kann häufig erforderlich sein, da die weiterführende Transportvorrichtung selbst eine bestimmte Bauhöhe hat. Um jedoch zu vermeiden, dass in diesem ersten Transportabschnitt bereits ein Antrocknen der Oberfläche des scheibenförmigen Elements erfolgt, wird die erste Gurtfördervorrichtung möglichst kurz gehalten. Nachdem ein vollständiges Ablösen des jeweils ersten scheibenförmigen Elements aus dem Stapel erfolgt ist, wird daher mög^rchst bald eine Übergabe an die zweite Gurtfördervorrichtung bzw. deren ersten Abschnitt erfolgen. Um nun den erforderlichen Abstand zum Flüssigkeitsbad zu erhalten, wird zunächst eine vertikale weitere Förderung durch den ersten Abschnitt der zweiten Gurtfördervorrichtung durchgeführt. Der zweite Abschnitt der zweiten Gurtfördervorrichtung ist dagegen drehbar ausgebildet. Hier kann dann ein Umsetzen auf die weiterführende Transportvorrichtung, die vorzugsweise allein unter
Verwendung der Schwerkraft das scheibenförmige Element fördert, durchgeführt werden.
In einer speziellen Ausführungsform der Erfindung sind der drehbare Abschnitt und die erste Gurtfördervorrichtung dabei so angeordnet, dass die scheibenförmigen Elemente durch den ersten Abschnitt und den zweiten Abschnitt an unterschiedlichen Oberflächen gehalten werden. Während der erste Abschnitt mit einer ersten Oberfläche des Wafers in Kontakt ist, wird nach der Übergabe an den zweiten Abschnitt eine Haltekraft auf der davon abgewandten zweiten Oberfläche des Wafers erzeugt. Dabei sind in Transportrichtung der erste Abschnitt und der zweite Abschnitt soweit versetzt zueinander angeordnet, dass zu keinem Zeitpunkt eine klemmende Kraft auf den Wafer wirkt. Vielmehr erfolgt eine Förderung solange an dem Gurt des ersten Abschnitts, bis der Wafer über dessen Ende hinaussteht. An diesem herausragenden Ende wird dann eine Haltekraft durch den zweiten Abschnitt aufgebracht. Gleichzeitig ist jedoch der Abstand in Transportrichtung so klein gewählt, dass in jedem Zeitpunkt ein sicheres Anhaften des Wafers an dem Gurt des ersten und/oder des zweiten Abschnitts gewährleistet ist. insbesondere steht der Wafer jederzeit mit einem Bereich in Kontakt, in dem durch den Gurt hindurch ein Unterdruck erzeugt wird.
In einer bevorzugten, alternativen Ausführungsform der Erfindung hingegen, sind der drehbare Abschnitt und die erste Gurtfördervorrichtung so angeordnet, dass die durch die erste Gurtfördervorrichtung geförderten scheibenförmigen Elemente mit der ersten Oberfläche an dessen Gurt anliegen und auch die durch den drehbaren Abschnitt der zweiten Gurtfördervorrichtung geförderten scheibenförmigen Elemente mit derselben ersten Oberfläche an dem Gurt des drehbaren Abschnitts anliegen. Dadurch kann der zweite Abschnitt in einer gedrehten Position die Funktion einer weiterführenden Transportvorrichtung übernehmen.
Weiterhin ist es bevorzugt, dass eine Transportebene der weiterführenden Transportvorrichtung parallel zur Förderrichtung des drehbaren Abschnitts in seiner gedrehten Position ist. Dies ist insbesondere vorteilhaft, wenn die Transportebene horizontal orientiert ist, so dass in der gedrehten Position der Wafer leicht auf der weiterführenden Transportvorrichtung abgelegt werden kann. Der drehbare Abschnitt der zweiten Gurtfördervorrichtung und die weiterführende Transportvorrichtung sind insbesondere auch so zueinander ausgerichtet, dass sich der Gurt des drehbaren Abschnitts und ein Fördermittel der weiterführenden Transportvorrichtung in gedrehter Position der zweiten Gurtfördervorrichtung gegenüberliegen. Während also in der gedrehten Position zunächst der Wafer noch an dem Gurt des zweiten Abschnitts der zweiten
Gurtfördervorrichtung durch den Unterdruck gehalten wird, ist auf der davon abgewandten Seite des Wafers bereits das Fördermittel der weiterführenden Transportvorrichtung angeordnet. Löst man nun den Wafer von dem Gurt ab, so kann er unmittelbar auf dem Fördermittel der weiterführenden Transportvorrichtung abgelegt werden.
Diea isL inabesondere vorteilhaft, da in diesem Bereich eine Benetzungsvorrichtung angeordnet werden kann. Da der Transport der scheibenförmigen Elemente durch Halten an unterschiedlichen Oberflächen erfolgt, kann die jeweils freie Oberfläche des scheibenförmigen Elements benetzt werden. Hierzu ist vorzugsweise eine Benetzungsvorrichtung im Bereich der weiterführenden Transportvorrichtung und des drehbaren Abschnitts vorgesehen.
Die zweite Gurtfördervorrichtung weist vorzugsweise auf einer von der Transportseite, also der in Kontakt mit dem Wafer tretenden Oberfläche des Gurts, abgewandten Seite eine bewegbare Einrichtung zum Auslenken des Gurts auf. Während üblicherweise die Gurte über zwei Walzen laufen und dazwischen geradlinig entlang einer Führungsfläche verlaufen, kann mithilfe der bewegbaren Einrichtung eine Auslenkung des Gurts erreicht werden. Diese Verformung des Gurts führt dazu, dass sich ein an dem Gurt anhaftendes scheibenförmiges Elements ablöst, sofern eine gewisse Biegesteifigkeit des Elements vorhanden ist. Auch bei biegeelastischen Elementen wird durch einen solchen, idealerweise kurzen Impuls, das Ablösen unterstützt.
Vorzugsweise weist die bewegbare Einrichtung ein elastisches Element auf oder ist ganz durch das elastische Element gebildet. Dieses elastische Element ist zur Vergrößerung seines Volumens mit einem Fluid befüllbar. Das elastische Element ist in einem Aufnahmeraum der zweiten Gurtfördervorrichtung angeordnet. Bei einer Vergrößerung des Volumens durch Füllen mit einem Fluid übersteigt z.B. das Volumen des elastischen Elements das Volumen des Aufnahmeraums. Dadurch tritt es teilweise aus dem Aufnahmeraum heraus und führt zu einer Verformung des Gurt, welches bei nicht gefülltem elastischem Element unmittelbar entlang der geöffneten Seite des Aufnahmeraums verläuft. Die Vergrößerung des elastischen Elements kann auch mittelbar auf den Gurt übertragen werden.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung werden unter Bezugnahme auf die Zeichnung in der nachfolgenden Beschreibung noch verdeutlicht. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung zur Erläuterung des prinzipiellen Ablaufs des
Vereinzelungsvorgangs ;
Fig. 2 eine vergrößerte Darstellung eines zur Vereinzelung verwendeten Vereinzelers;
Fig. 3 eine weitere vergrößerte Darstellung des
Vereinzelers aus Fig. 2 mit gedrehtem zweiten Abschnitt der zweiten Gurtfördervorrichtung;
Fig. 4 eine schematische Darstellung eines Details des Vereinzelers aus den Fig. 2 und 3 zur Erläuterung der Funktion der bewegbaren Einrichtung; und
Fig. 5 eine Ansicht des Vereinzelers aus einer zweiten Perspektive;
Fig. 6 eine vergrößerte Darstellung eines zur
Vereinzelung verwendeten alternativen Vereinzelers;
Fig. 7 eine weitere vergrößerte Darstellung des zur Vereinzelung verwendeten alternativen Vereinzelers;
Fig. 8A eine Vereinzelungsdüsenvorrichtung 200;
Fig. 8B eine Trenndüsenvorrichtung 60; In der Fig. 1 ist ein Teil einer größeren Anlage zu erkennen, welche bei der Verarbeitung beispielsweise von Wafern eingesetzt wird. Der Begriff „Wafer" steht hier stellvertretend für im Wesentlichen scheibenförmige Elemente. Scheibenförmig bedeutet dabei, dass die
Ausdehnung in einer ersten und einer zweiten Dimension erheblich größer als in einer dritten Dimension ist.
Die Vorrichtung 1 vereinzelt scheibenförmige Elemente aus einem Stapel 2. Wie es in der Fig. 1 auf der rechten und linken Seite des Stapels 2 angedeutet ist, besteht der Stapel 2 aus einer Mehrzahl von parallel zueinander ausgerichteten einzelnen scheibenförmigen Elementen. Die scheibenförmigen Elemente sind dabei so orientiert, dass die Stapelachse, die sich in Förderrichtung erstreckt, die durch den Pfeil dargestellt ist, senkrecht auf den einzelnen scheibenförmigen Elementen steht. Der Stapel 2 wird liegend in einem Flüssigkeitsbad angeordnet. Dabei bezieht sich der Begriff „liegend" auf die im Betrieb eingenommene Position. Wie es durch die Wasserlinie angedeutet ist, befindet sich der Stapel 2 vollständig in einem Flüssigkeitsbad, welches beispielsweise spannungsfreies bzw. spannungsreduziertes Wasser sein kann.
In dem Flüssigkeitsbad ist eine Zuführvorrichtung 3 angeordnet. Der Stapel 2 wird in nicht näher bezeichneter Weise auf dieser Zuführvorrichtung 3 angeordnet. Mithilfe der Zuführvorrichtung 3 wird der Stapel 2 in Richtung der Stapelachse auf den eigentlichen Vereinzeier 5 zu bewegt. Der besseren Übersichtlichkeit wegen sind in der Fig. 1 nur die wesentlichen Elemente des Vereinzelers 5 dargestellt. Eine detailliertere Beschreibung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die weiteren Fig. 2-5 noch erläutert.
Der Vereinzeier 5 weist eine erste Gurtfördervorrichtung 6 und eine zweite Gurtfördervorrichtung 7 auf. Die zweite Gurtfördervorrichtung 7 weist einen ersten Abschnitt 7.1 und einen zweiten Abschnitt 7.2 auf. Die erste Gurtfördervorrichtung 6, der erste Abschnitt 7.1 und der zweite Abschnitt 7.2 weisen jeweils einen eigenen Gurt auf, welcher vorzugsweise allerdings gemeinsam mit den anderen Gurten angetrieben wird. Damit ist eine
Geschwindigkeitsabstimmung lediglich einmal konstruktiv nötig, wobei GleichlaufSchwierigkeiten zwischen den einzelnen Förderabschnitten des Vereinzelers 5 im Betrieb nicht auftreten können. Mithilfe des Vereinzelers 5 wird ein von dem Stapel 2 in nachfolgend noch zu beschreibender Weise abgefördertes scheibenförmiges Element bis hin zu einer weiterführenden Transporteinrichtung 8 transportiert. Die weiterführende Transportvorrichtung 8 transportiert, wie es durch den Pfeil C gekennzeichnet ist, die vereinzelten scheibenförmigen Elemente und kann sie so beispielsweise einer Schadenserkennung- und Sortierstation und/oder dem weiteren Prozess zuführen.
Zum Abheben der scheibenförmigen Elemente von dem Stapel 2 wird der Stapel 2 mit der ersten Oberfläche 4 des ersten scheibenförmigen Elements soweit in Pfeilrichtung nach rechts transportiert, bis die erste Oberfläche 4 an dem Gurt der ersten Gurtfördervorrichtung 6 anliegt. Die erste Gurtfördervorrichtung 6 sowie die Abschnitte 7.1 und 7.2 der zweiten Gurtfördervorrichtung 7 sind jeweils mit einer Vakuumpumpe VP verbunden. Mithilfe der Vakuumpumpe VP wird ein Unterdruck erzeugt. Dieser Unterdruck wird auf einer von der Kontaktfläche zwischen den scheibenförmigen Elementen und dem Gurt abgewandten Seite in der ersten Gurtfördervorrichtung 6 bzw. dem Abschnitt 7.1 und dem Abschnitt 7.2 erzeugt.
Der Gurt der ersten Gurtfördervorrichtung 6 ist hierzu auf seiner dem Stapel 2 zugewandten Seite entlang einer Führungsfläche geführt. In der Führungsfläche sind
Ausnehmungen ausgebildet, die über ein nicht dargestelltes Leitungssystem mit der Vakuumpumpe VP verbunden sind. In den Gurt selbst ist ein Lochmuster eingebracht. Das Lochmuster entsteht durch Ausnehmungen, die in den Gurt eingebracht sind. Beispielsweise kann mit einem gleichmäßig gestalteten Muster eine Mehrzahl von kreisförmigen Löchern in den Gurt gestanzt werden. Durch die Vakuumpumpe VP wird das umgebende Fluid des Flüssigkeitsbades angesaugt. Wird der Stapel 2 soweit in Richtung auf die erste Gurtfördervorrichtung 6 zugeführt, dass die erste Oberfläche 4 in Anlage an dem Gurt ist, so werden die Öffnungen verschlossen und aufgrund des entstehenden Unterdrucks haftet das erste scheibenförmige Element nun an dem Gurt der ersten Gurtfördervorrichtung 6. Der umlaufende Gurt zieht daher das erste scheibenförmige Element in Richtung des Pfeils A vom dem Stapel 2 ab und transportiert es in Richtung auf den ersten Abschnitt 7.1 der zweiten Gurtfördervorrichtung 7 hin. Da auch die zweite Gurtfördervorrichtung 7 und damit auch der erste Abschnitt 7.1 mit der Vakuumpumpe VP verbunden ist, wird auch hier das scheibenförmige Element an den Gurt angesaugt. In Transportrichtung, die durch den Pfeil A gekennzeichnet ist, sind der Gurt der ersten Gurtfördervorrichtung 6 und der Gurt des Abschnitts 7.1 der zweiten Gurtfördervorrichtung 7 versetzt zueinander jedoch mit einer gemeinsamen Förderebene angeordnet. Das bedeutet, dass das Ansaugen des scheibenförmigen Elements auf der gleichen Seite des scheibenförmigen Elements erfolgt, nämlich auf der Seite der ersten Oberfläche 4. Der Abstand in Transportrichtung A ist dabei so gewählt, dass im Bereich des Übergangs zwischen der ersten Gurtfördervorrichtung 6 und der zweiten Gurtfördervorrichtung 7 für eine bestimmte Zeit sowohl ein Ansaugen durch die erste Gurtfördervorrichtung 6 als auch durch die zweite Gurtfördervorrichtung 7 erfolgt. Die Länge der ersten Gurtfördervorrichtung 6 ist dabei in etwa so bemessen, dass die Transportlänge, auf der das erste scheibenförmige Element in Kontakt mit dem Gurt ist, etwa vollständig in dem Flüssigkeitsbad angeordnet ist.
Während in dem Gurt der ersten Gurtfördervorrichtung 6 Ausnehmungen durch Ausstanzen erzeugt werden und somit relativ große Öffnungsquerschnitte erzeugt werden, ist der Gurt des Abschnitts 7.1 der zweiten Gurtfördervorrichtung lediglich mit Schnitten versehen. Es erfolgt also kein Herausstanzen von Material. Damit ist der Gurt des ersten Abschnitts 7.1 und in gleicher Weise des zweiten Abschnitts 7.2 zwar nicht mehr luftundurchlässig und aufgrund des erzeugten Unterdrucks durch die Vakuumpumpe VP wird ein sicheres Anhaften der scheibenförmigen Elemente erreicht. Andererseits wird gleichzeitig sichergestellt, dass im Bereich des wirkenden Unterdrucks die Oberfläche der scheibenförmigen Elemente vollflächig an dem Gurt anliegt. Eine in Richtung der
Unterdruckeinrichtung freie Oberfläche, wie sie im Bereich der Ausnehmungen des Gurts der ersten Gurtfördervorrichtung 6 vorhanden ist, existiert daher nicht. Dies verhindert, dass ein teilweises Abtrocknen der Oberfläche im Bereich der Ausnehmungen erfolgt.
Der Gurt des ersten Abschnitts 7.1 der zweiten Gurtfördervorrichtung 7 transportiert in vertikaler Richtung und mit einer zu der Förderebene der ersten Gurtfördervorrichtung 6 identischen Förderebene das scheibenförmige Element weiter. Der Transport durch den ersten Abschnitt 7.1 kann dabei soweit erfolgen, solange ein sicheres Anhaften an dem Gurt des ersten Abschnitts 7.1 gewährleistet ist. Der Gurt läuft in dem Bereich, in dem eine Anlage des scheibenförmigen Elements erfolgen muss, ebenfalls über eine Führungsfläche, in der Öffnungen vorhanden sind, die über ein weiteres Kanalsystem mit der Vakuumpumpe VP verbunden sind. Die in Transportrichtung vordere Kante des scheibenförmigen Elements erreicht irgendwann das Ende des Gurts des ersten Abschnitts 7.1. Da die Gurte über Walzen laufen und der übrige Teil des scheibenförmigen Elements noch durch den Unterdruck sowie zusätzlich Adhäsionskräfte an dem Gurt gehalten werden, entsteht nun ein in vertikaler Richtung in der Figur 1 nach oben überstehendes Ende des scheibenförmigen Elements. Dieses gelangt nun auf der von dem Gurt des ersten Abschnitts 7.1 abgewandten Seite in Anlage mit dem Gurt des zweiten Abschnitts 7.2. Auch hier sind Schnitte in den Gurt eingebracht, wie es weiter oben schon beschrieben wurde. Durch den dort erzeugten Unterdruck erfolgt nun ein sicheres Anhaften an dem Gurt des zweiten Abschnitts 7.2. Da die Gurte über denselben Antrieb angetrieben werden, laufen sie mit gleichen
Fördergeschwindigkeiten. Ein nahtloses Übernehmen durch den Gurt des zweiten Abschnitts 7.2 ist so gewährleistet. Auch hier ist der Abstand in Transportrichtung A so gewählt, dass im Zeitpunkt der Übergabe sowohl ein Unterdruck durch den ersten Abschnitt 7.1 als auch durch den zweiten Abschnitt 7.2 auf das scheibenförmige Element, wenngleich an verschiedenen Oberflächen, wirkt.
Nachdem nun durch Weitertransportieren in Richtung A das scheibenförmige Element vollständig durch den zweiten Abschnitt 7.2 der zweiten Gurtfördervorrichtung 7 übernommen wurde, wird der zweite Abschnitt 7.2 in der Fig. 1 um 90° im Uhrzeigersinn gedreht. Die Förderebene des zweiten Abschnitts 7.1 verläuft nunmehr parallel zu der Transportebene der weiteren Transportvorrichtung 8. Das Drehlager, um den der zweite Abschnitt 7.2 als drehbarer Abschnitt der zweiten Gurtfördervorrichtung gedreht werden kann, ist dabei so positioniert, dass der zwischen dem Gurt des zweiten Abschnitts 7.2 und der Transportvorrichtung ausgebildete Abstand etwas größer ist als die Dicke des scheibenförmigen Elements. Damit wird sichergestellt, dass ein Klemmen der scheibenförmigen Elemente, was zu einer mechanischen Belastung führt, vermieden wird. Zudem kann, wie es nachfolgend noch erläutert wird, durch Verformung des Gurts des zweiten Abschnitts 7.2 das Ablösen von dem Gurt des zweiten Abschnitts 7.2 begünstigt werden. Hierzu ist ein gewisser Bewegungsspielraum erforderlich.
Die Fig. 2 zeigt noch einmal eine vergrößerte Darstellung des Vereinzelers 5. Es ist noch einmal dargestellt, dass zunächst die erste Gurtfördervorrichtung 6 ein beispielhaft dargestelltes scheibenförmiges Element 12 aufnimmt. Das scheibenförmige Element 12 befindet sich mit einer Oberfläche in Anlage an dem Gurt 10 der ersten Gurtfördervorrichtung 6. Auf der von diesem scheibenförmigen Element abgewandten Seite läuft der Gurt 10 an einer tührungsflache anliegend. In der Führungsfläche sind wie schon beschrieben die Ausnehmungen angeordnet, die über ein Leitungssystem mit der Vakuumpumpe VP verbunden sind. Der Gurt 10 ist einem Förderband gleich endlos ausgeführt und zwischen zwei Walzen gespannt. Die Walzen sind in einem ersten Drehlager 11.1 und einem zweiten Drehlager 11.2 drehbar gelagert, wobei eine der Walzen mit einem in der Figur 2 nicht dargestellten Antriebssystem verbunden ist.
In gleicher Weise weist die zweite Gurtfördervorrichtung 7 einen ersten Abschnitt 7.1 auf. Auch hier ist ein endlos ausgebildeter Gurt vorgesehen, der über zwei Walzen gespannt ist. Deren Drehlager 14.1 und 14.2 liegen mit den beiden Drehlagern 11.1 und 11.2 auf einer Linie. Die Walzendurchmesser sind gleich groß gewählt, so dass der erste Gurt 10 und der zweite Gurt 13 eine gemeinsame Förderebene aufweisen. Mit 12' ist in der Figur 2 ein scheibenförmiges Element dargestellt, welches zu einem späteren Zeitpunkt allein in Anlage an dem Gurt 13 des ersten Abschnitts 7.1 ist. Das scheibenförmige Element 12' ist mit seiner ersten Oberfläche 25 in Anlage an dem Gurt 13. Die davon abgewandte zweite Oberfläche 26 ist frei und kann über eine in der Fig. 2 nicht dargestellte Benetzungsvorrichtung beispielsweise vor dem Austrocknen geschützt werden. Die Notwendigkeit, eine solche Benetzungsvorrichtung vorzusehen, ist vom jeweiligen Anwendungsfall abhängig. Die Gurte 10 und 13 werden gleichlaufend angetrieben, so dass durch die zweite Gurtfördervorrichtung 7 bzw. zunächst deren erstem Abschnitt 7.1 eine Weiterförderung in Richtung des Pfeils A erfolgt. Zu einem nochmal späteren Zeitpunkt befindet sich das scheibenförmige Element in der mit 12'' gekennzeichneten Position. Der zweite Abschnitt 7.2 weist ebenfalls ein erstes Drehlager 16.1 und ein zweites Drehlager 16.2 auf. Die beiden Drehlager 16.1 und 16.2 lagern wiederum Walzen, mit denen ein Gurt 15 des zweiten Abschnitts 7.2 gespannt und angetrieben wird. Gleichzeitig ist der zweite Abschnitt 7.2 insgesamt um das erste Drehlager 16.1 drehbar angeordnet. Damit kann die Förderebene vorzugsweise um etwa 90° gedreht werden.
Es ist zu beachten, dass die Drehung um 90° keine Beschränkung der vorliegenden Erfindung bilden soll. Diese kommt zustande, da die weitere Transportvorrichtung 8, welche nachfolgend noch erläutert wird, gegenüber der Förderebene der ersten Gurtfördervorrichtung 6 und des ersten Abschnitts 7 um 90° gedreht ist. Zunächst ist wie in der Fig. 2 dargestellt, der zweite Abschnitt 7.2 so angeordnet, dass die Förderebene des zweiten Abschnitts 7.2 parallel zu der Förderebene der ersten
Gurtfördervorrichtung 6 bzw. des ersten Abschnitts 7.2 ausgebildet ist. Die Förderebene ist jeweils die Ebene, die durch die in Kontakt mit dem scheibenförmigen Element 12 stehende Gurtoberfläche definiert wird.
Die Förderebenen des zweiten Abschnitts 7.2 und des ersten Abschnitts 7.1 weisen dabei einen solchen Abstand auf, der es ermöglicht, ohne Verformung das scheibenförmige Element 12 zu übernehmen. Während gegen Ende des Transportwegs des ersten Abschnitts 7.1 ein überstehender Teil an der in Transportrichtung vorderen Kante des scheibenförmigen Elements 12 ' ' bereits durch den Unterdruck an dem Gurt 15 des zweiten Abschnitts 7.2 gehalten wird, wird auch der mehr in Richtung der Hinterkante, in Transportrichtung gesehen, des scheibenförmigen Elements zugewandte Teil durch den ersten Abschnitt 7.1 gehalten.
Nachdem das scheibenförmige Element 12' ' vollständig in den Bereich zwischen dem ersten Drehlager 16.1 und dem zweiten Drehlager 16.2 des zweiten Abschnitts 7.2 transportiert wurde, wird der gesamte Abschnitt 7.2 um das erste Drehlager 16.1, wie es durch den Pfeil in der Fig. 2 dargestellt ist, gedreht. Da an dem Gurt 15 des zweiten Abschnitts 7.2 die zweite Oberfläche 26 des scheibenförmigen Elements 12 anliegt, ist nach der Drehung die erste Oberfläche 25 parallel zu einer Transportfläche 20 eines Fördermittels 18 der weiterführenden Transportvorrichtung 8 orientiert, wie es in Fig. 3 gezeigt ist. Das scheibenförmige Element 12 kann nunmehr auf dem Fördermittel 18 abgelegt werden. Das Fördermittel 18 kann dabei entweder durch eine weitere Gurtfördervorrichtung oder aber z. B. durch einen Schnurtrieb realisiert sein. Bei der bevorzugten Anordnung, die sich aus der Fig. 1 ergibt, bei der die Transportrichtung A in vertikaler Richtung und die Abförderrichtung zur weiteren Anlage c in horizontaler Richtung erfolgt, kann das Ablösen von dem Gurt 15 des zweiten Abschnitts 7.2 in der gedrehten Position des zweiten Abschnitts 7.2 durch die Schwerkraft erfolgen.
Allerdings kann aufgrund der zwischen dem Gurt 15 und dem scheibenförmigen Element 12 wirkenden Adhäsion unter Umständen die Schwerkraft nicht ausreichen, um das scheibenförmige Element 12 sicher von dem Gurt 15 zu lösen. Es ist daher auf der von dem scheibenförmigen
Element 12'' abgewandten Seite des Gurts 15 ein bewegbares Element vorgesehen, welches den Ablösevorgang unterstützt. Dies wird nachfolgend noch unter Bezugnahme auf die Fig. 4a und 4b erläutert.
Zur Ansteuerung und zur Ausbildung von
Unterdruckleitungen, die mit der Vakuumpumpe VP verbindbar sind, ist eine bewegliche Leitungsführung 17 vorgesehen, die an sich bekannt ist und deshalb keiner näheren Erläuterung bedarf. Die Leitungsführung 17 kann neben elektrischen Leitungen eben auch die Unterdruckleitungen enthalten. Eine andere Leitungsführung ist ebenso denkbar.
In dem etwa von der weiterführenden Transportvorrichtung 8 und dem zweiten Abschnitt 7.2 in der dargestellten
Ausgangsposition begrenzten Bereich ist außerdem eine Benetzungsvorrichtung 22 angeordnet. Die Benetzungsvorrichtung weist mehrere Düsen 23 und 24 auf. Ein Teil der Düsen, in der Fig. 2 beispielsweise die Düse 23, ist dabei so orientiert, dass die erste Oberfläche 25 des scheibenförmigen Elements 12' ' benetzt wird. Die zweite Düse 24 ist dagegen so ausgerichtet, dass die zweite Oberfläche 26 des scheibenförmigen Elements 12 auf dem weiteren Transportweg benetzt werden kann. Da die weitere Transportvorrichtung 8 keine Vakuumeinrichtung enthält, ist auf dem weiteren Transportweg das Abtrocknen der auf dem Fördermittel 18 aufliegenden Oberfläche erheblich unkritischer als in den Bereichen, wo mit Unterdruck gearbeitet werden muss. Es ist daher besonders vorteilhaft, den drehbaren Abschnitt 7.2 so auszubilden, dass die zunächst von dem Gurt des drehbaren Abschnitts 7.2 abgewandte Oberfläche 25 benetzt werden kann. Nach dem Ablegen ist dagegen die zuletzt mithilfe der Unterdruckeinrichtung gehaltene Oberfläche frei und kann ebenfalls benetzt werden. Es können somit in einfacher Weise beide Oberflächen des scheibenförmigen Elements benetzt werden. Das Fördermittel 18 der weiterführenden Transportvorrichtung 8 ist im dargestellten Ausführungsbeispiel ebenfalls eine Gurtfördereinrichtung und läuft über Walzen, die in einem ersten Drehlager 19.1 und einem zweiten Drehlager 19.2 drehbar gelagert sind.
Die bereits beschriebene Drehbewegung ist in der Fig. 3 noch einmal dargestellt. Es ist zu erkennen, dass der drehbare Abschnitt 7.2 der zweiten Gurtfördervorrichtung 7 parallel zu der weiterführenden Transportvorrichtung 8 angeordnet ist. Ferner ist es in einem teilweise geschnittenen Bereich der Figur angedeutet, dass eine bewegbare Einrichtung auf der von dem zu transportierenden scheibenförmigen Element 12 abgewandten Seite des Gurts 15 angeordnet ist. Dies ist vergrößert in den Fig. 4a und 4b noch einmal dargestellt. In der Fig. 4a befindet sich der zweite Abschnitt 7.2 bereits in seiner gedrehten Position. In dieser Position ist der das scheibenförmige Element 12 führende Teil des Gurts 15 bereits parallel zu einer Transportebene 20 des Fördermittels 18 angeordnet. Dabei ist jedoch der Gurt soweit von dem Fördermittel 18 entfernt angeordnet, dass das scheibenförmige Element 12' ' nicht zwischen den beiden fordernden Teilen eingeklemmt ist. In dem Fuhrungsabschnitt des Gurts des zweiten Abschnitts 7.2, der auch die Lagerungen 16.1 und 16.2 aufnimmt, isr neben den Kanälen, die in den Figuren nicht dargestellt sind, ein Aufnahmeraum 28 eingebracht. Der Aufnahmeräum 28 kann beispielsweise in Form einer Nut ausgebildet sein, welche zu der fordernden Seite des Gurts 15 hin offen ist, und sich im wesentlichen über die Breite des Gurts 15 erstreckt. In diesem Aufnahmeraum 28 ist als bewegbare Einrichtung ein elastisches Element 27 ausgebildet. Das elastische Element 27 ist hohl und kann mit einem Fluid gefüllt werden. Solange das elastische Element 27 nicht gefüllt ist, sind seine Außenabmessungen so gewählt, dass es vollständig in dem Aufnahmeraum 28 angeordnet ist. Der Gurt kann über die offene Seite der Nut eben verlaufen und durch die Unterdruckeinrichtung an dem fuhrenden Teil des Abschnitts 7.2 anliegend verlaufen.
Wird nun das scheibenförmige Element 12' ' soweit transportiert, dass es in den Bereich des Aufnahmeraums 28 gelangt, so ist ein Übergeben zu der weiterführenden Transportvorrichtung 8 erforderlich. Hierzu wird das elastische Element 27 gefüllt. Zur Füllung kann entweder ein kompressibles Medium verwendet werden oder aber ein inkompressibles Medium. Die Verwendung eines kompressiblen Mediums hat den Vorteil, dass die Vakuumpumpe gleichzeitig zum Befullen des elastischen Elements 27 verwendet werden kann. Aufgrund des Fullvorgangs kommt es zu einer Volumenvergroßerung des elastischen Elements 27. Da die Große in ungefülltem Zustand des elastischen Elements 27 bereits so ausgelegt ist, dass der Aufnahmeraum 28 weitgehend ausgenutzt wird, fuhrt die Volumenvergroßerung zu einem Austreten eines Teils des elastischen Elements 27 an der offenen Seite des Aufnahmeraums 28. Da der offene Bereich des Aufnahmeraums 28 praktisch von dem Gurt begrenzt wird, kommt es zu einer Verformung des Gurts, wie es in der Fig. 4b gezeigt. Wahrend zunächst bei nicht gefülltem elastischen Element 27 die zweite Oberflache 26 des scheibenförmigen Elements 12 ' ' vollflachig an dem Gurt 15 anliegt, und dort auch durch den Unterdrück gehalten wird, ist eine vollflächige Anlage des im Vergleich zu dem Gurt 15 biegesteifen scheibenförmigen Elements 12' ' nun nicht mehr möglich. Infolgedessen löst sich das scheibenförmige Element 12'' von dem Gurt 15 und fällt der Schwerkraft folgend auf das Fördermittel 18. Es ist zu beachten, dass ein vollständig biegesteifes Element 12" nicht erforderlich ist. Durch das Abheben des Gurts 15 bricht zudem der Unterdruck zusammen. Ferner ist es nicht erforderlich, dass durch eine Biegebewegung, die stark übertrieben in der Fig. 4b dargestellt ist, ein Ablösen des scheibenförmigen Elements ist. Vielmehr kann auch ein kurzer Impuls, der von der Rückseite des Gurts 15 auf das scheibenförmige Element 12 einwirkt, bereits ein Ablösen des scheibenförmigen Elements ermöglichen. In diesem Fall ist es vorteilhaft, wenn im nicht befüllten Zustand das elastische Element 27 geringfügig beabstandet von dem Gurt 15 angeordnet ist. Die genaue Ansteuerung und Ausführung der Bewegung der bewegbaren Einrichtung kann individuell auf die jeweilige Elastizität des scheibenförmigen Elements 12 und die auftretenden Adhäsionskräfte abgestimmt sein.
Die Fig. 5 zeigt schließlich noch einmal eine Ansicht von der in den Fig. 1-3 linken Seite des Vereinzelers 5, wobei sich der zweite Abschnitt 7.2 in seiner Ausgangsposition befindet. Es ist in dieser Ansicht gut zu erkennen, dass der Gurt 10 der ersten Gurtfördervorrichtung 6 Öffnungen 30 aufweist, durch die im mittleren Bereich sogar die Ausmündungen von den zur Erzeugung des Unterdrucks vorgesehenen Kanälen zu erkennen sind. In der Fig. 5 sind die Schnitte 31 in dem Gurt 15 lediglich schematisch angedeutet. Der besseren Übersichtlichkeit halber sind in dem Gurt 13 des ersten Abschnitts der zweiten Gurtfördervorrichtung 7 keine Schnitte zu erkennen. Auf der linken Seite ist es ferner noch zu erkennen, dass der erste Gurt 10 der ersten Gurtfördervorrichtung 6 und der zweite Gurt 13 des ersten Abschnitts 7.1 der zweiten Gurtfördervorrichtung 7 mithilfe eines gemeinsamen Antriebs 33 angetrieben werden. Ferner ist auf der linken Seite noch der mechanische Teil zum Antrieb der Drehbewegung des drehbaren Abschnitts 7.2 erkennen. Die mechanische Betätigung hat den Vorteil, eine hohe Wiederholgenauigkeit und Prozessstabilität im Bezug auf die getaktete Drehbewegung aus der Ausgangsposition in die gedrehte Position und wieder zurück sicherstellen zu können.
In den Figuren 6 und 7 ist jeweils ein alternativer Vereinzeier 5 'dargestellt, welcher anstelle des Vereinzelers 5 verwendet werden kann. Der alternative Vereinzeier 5' entspricht, bis auf einige im Folgenden erläuterten Unterschiede, dem Vereinzeier 5. Nicht dargestellte Elemente und nicht erwähnte Elemente des Vereinzelers 5 werden jedoch unverändert übernommen.
Im Gegensatz zu dem Vereinzeier 5, weist der alternative Vereinzeier 5' eine weiterführende Transporteinrichtung 8' auf, die mit einem Abstand zu der zweiten
Gurtfördervorrichtung 7 vorgesehen ist. Anstelle des zweiten Abschnitts 7.2 weist der alternative Vereinzeier 5' einen alternativen zweiten Abschnitt 7.2' auf.
Der alternative zweite Abschnitt 7.2 weist ebenfalls das erste Drehlager 16.1 und das zweite Drehlager 16.2 auf. Die beiden Drehlager 16.1 und 16.2 lagern in dem alternativen Vereinzeier 5' Walzen, mit denen der Gurt 15 des alternative zweiten Abschnitts 7.2' gespannt und angetrieben wird. Gleichzeitig ist der alternative zweite Abschnitt 7.2' insgesamt um das erste Drehlager 16.1 drehbar angeordnet. Damit kann die Förderebene, welche im dargestellten Fall senkrecht zur Zeichenebene und im Bild vertikal angeordnet ist, vorzugsweise um etwa 90° entsprechend Pfeil D gedreht werden. Die Förderebene des alternative zweiten Abschnitts 7.2' ist im dargestellten Fall identisch mit der Förderebene der ersten Gurtfördervorrichtung 6 und insbesondere auch des ersten Abschnitts 7.1'. Die Förderebene kann von der dargestellten Position ausgehend um etwa 90° im Uhrzeigersinn und entsprechend Pfeil D gedreht werden. Durch eine solche Drehung des alternativen zweiten Abschnitts 7.2' die Förderebene in eine Position gebracht, die identisch mit der Förderebene der weiterführenden
Transporteinrichtung 8' ist. Es ist auch hier zu beachten, dass die Drehung um 90° keine Beschränkung der vorliegenden Erfindung bilden soll. Es können z.B. auch kleinere oder größere Winkel verwendet werden.
Das erste Drehlager 16.1 des alternativen zweiten Abschnitts 7.2' ist gegenüber dem ersten Drehlager 16.1 des zweiten Abschnitts 7.2 verschoben. Das erste Drehlager 16.1 des alternativen zweiten Abschnitts 7.2' liegt mit den Drehlagern 14.1 und 14.2 des ersten Abschnitts 7.1 und mit den Drehlagern 11.1 und 11.2 der ersten Gurtfördervorrichtung 6 auf einer Linie. Die Drehlager 16.1, 14.1, 14.2, 11.1 und 11.2 sind zudem parallel zueinander ausgerichtet.
Der alternative zweite Abschnitt 7.2' ist in Fig. 6 so angeordnet, dass die Förderebene des alternativen zweiten Abschnitts 7.2' identisch mit zu der Förderebene der ersten Gurtfördervorrichtung 6 bzw. des ersten Abschnitts 7.1 ausgebildet ist. Die Förderebenen des alternativen zweiten Abschnitts 7.2' und des ersten Abschnitts 7.1 fallen zudem zusammen und sind gleich orientiert, wodurch sich die Kontaktflächen auf den in Fig. 6 linken Seiten des ersten Abschnitts 7.1 und des alternativen zweiten Abschnitts 7.2' befinden.
Auch in dem alternativen Vereinzeier 5 'weisen die erste Gurtfördervorrichtung 6, der erste Abschnitt 7.1 und der alternative zweite Abschnitt 7.2' jeweils einen eigenen Gurt auf. Die Gurte können fakultativ gemeinsam, wie im Vereinzeier 5, oder aber separat angetrieben werden, so dass jeder Gurt eine individuelle Geschwindigkeit aufweist. Mithilfe der Vakuumpumpe VP wird auch auf einer von der Kontaktfläche zwischen den scheibenförmigen Elementen und dem Gurt 15 abgewandten Seite des Gurts 15 in dem alternativen zweiten Abschnitt 7.2' ein Unterdrück erzeugt. Der Gurt des alternativen zweiten Abschnitts 7.2' lsc ebenfalls mcnt iuftαurcniassig, wobei aufgrund des erzeugten Unterdrucks durch die Vakuumpumpe VP ein sicheres Anhaften der scheibenförmigen Elemente erreicht wird. Es wird auch in diesem Fall gleichzeitig sichergestellt, dass im Bereich des wirkenden Unterdrucks die Oberflache der scheibenförmigen Elemente vollflachig an dem Gurt anliegt. Mit der Vakuumpumpe sind sowohl die erste als auch die zweite Gurtfordervorrichtung 6, 7' verbunden. Der erste Gurt 10 der ersten Gurtfordervorrichtung 6 weist weiterhin die ersten Offnungen 30 auf, wahrend der zweite Gurt 15 der zweiten Gurtfordervorrichtung 7 weiterhin zweite Offnungen aufwiest. Die Offnungsquerschnitte der zweiten Offnungen sind dabei auch in diesem Fall kleiner als die Offnungsquerschnitte der ersten Offnungen. Die ersten Offnungen 30 des ersten Gurts sind als Ausnehmungen in den Gurt 10 eingebracht. Die zweiten Offnungen in dem zweiten Gurt sind als Schnitte 31 eingebracht.
Wahrend des Transports eines scheibenförmigen Elements erreicht die in Transportrichtung vordere Kante des scheibenförmigen Elements das Ende des ersten Abschnitts 7.1. Die in Transportrichtung vordere Kante des scheibenförmigen Elements gelangt nun auf der an dem Gurt des ersten Abschnitts 7.1 anliegenden Seite in Anlage mit dem Gurt des alternativen zweiten Abschnitts 7.2'. Durch den dort erzeugten Unterdruck erfolgt nun ein sicheres
Anhaften an dem Gurt des alternativen zweiten Abschnitts 7.2'. Da die Gurte, wie im Vereinzelner 5, über denselben Antrieb angetrieben werden, laufen sie mit gleichen Fordergeschwindigkeiten, wodurch ein nahtloses Übernehmen durch den Gurt des alternativen zweiten Abschnitts 7.2' gewahrleistet ist. Im Zeitpunkt der Übergabe wirkt sowohl durch den ersten Abschnitt 7.1 als auch durch den zweiten Abschnitt 7.2 auf ein und derselben Oberflache des scheibenförmigen Elements ein Unterdruck ein. Dies bedeutet, dass der drehbare alternative zweite Abschnitt 7.2' und die erste Gurtfördervorrichtung 6 so angeordnet sind, dass die durch die erste Gurtfördervorrichtung 6 geförderten scheibenförmigen Elemente 12 mit der ersten Oberfläche 25 an dessen Gurt 10 anliegen und die durch den drehbaren alternativen zweiten Abschnitt 7.2' der zweiten Gurtfördervorrichtung 7 geförderten scheibenförmigen Elemente 12 ebenfalls mit der ersten Oberfläche 25 an dem Gurt 15 des drehbaren alternativen zweiten Abschnitts 7.2' anliegen.
Nach dem vollständigen Weitertransport des scheibenförmigen Elements auf den alternativen zweiten Abschnitt 7.2' der zweiten Gurtfördervorrichtung 7, wird der alternative zweite Abschnitt 7.2 um 90° im
Uhrzeigersinn gedreht. Der alternative zweite Abschnitt 7.2' übernimmt nun gleichzeitig die Funktion der weiteren Transportvorrichtung 8 des Ausführungsbeispiels der Fig. 2.
Der alternative zweite Abschnitt 7.2' braucht keine Einrichtung zum Auslenken des Gurts 15, da die Ablage durch Drehung des zweiten Abschnitts unter Ausnutzung der Schwerkraft erfolgt und kein Umsetzen beim Ablegen erforderlich ist. Der alternative zweite Abschnitt 7.2' weist in dem dargestellten Ausführungsbeispiel daher keine Einrichtung zum Auslenken des Gurts 15 auf.
Die Erfindung ist nicht auf die dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt. Insbesondere sind einzelne Merkmale der Erfindung auch vorteilhaft miteinander kombinierbar.
Wie in den Figuren 8A und 8B dargestellt, sind zur Erleichterung der Vereinzelung der scheibenförmigen Elemente aus dem Stapel 2 in der Vorrichtung 1 eine Vereinzelungsdüsenvorrichtung 200 und eine Rückhaltedüsenvorrichtung 60 angeordnet. Die Vereinzelungsdüsenvorrichtung 200 ist oberhalb des Stapels 2 angeordnet. Die Rückhaltedüsenvorrichtung 60 von dem Stapel 2 ausgehend direkt hinter der ersten Gurtfördervorrichtung 6 angeordnet.
Die Vereinzelungsdüsenvorrichtung 200 weist mehrere
Vereinzelungsdüsen 200.1 - 200.4 auf, welche oberhalb des Stapels 2 in das Flüssigkeitsbad münden. Mittels der Vereinzelungsdüsen 200.1 - 200.4 werden Flüssigkeitsstrahlen in dem Flüssigkeitsbad erzeugt. Die Vereinzelungsdüsen 200.1 - 200.4 sind dabei so angeordnet, dass die Flüssigkeitsstrahlen zu einer Beabstandung der scheibenförmigen Elemente in dem Stapel 2 führen. Dazu sind die Vereinzelungsdüsen 200.1 - 200.4 so orientiert, dass die Flüssigkeitsstrahlen zumindest teilweise im Wesentlichen parallel zur den scheibenförmigen Elementen verlaufen. Die Vereinzelungsdüsen 200.1 - 200.4 sind jedoch gleichzeitig auch so orientiert, dass die Flüssigkeitsstrahlen auch Komponenten senkrecht zu den scheibenförmigen Elementen und damit parallel zu der Förderrichtung des Stapels 2 aufweisen. Dadurch wird auf einfache Weise Flüssigkeit zwischen die scheibenförmigen Elemente gebracht .
Um das Abfördern eines scheibenförmigen Elements aus dem Stapel 2 mittels des Vereinzelers 5 bzw. des alternativen Vereinzeleres 5' zu vereinfachen, ist in der Vereinzelungsdüsenvorrichtung 200 eine Hilfsdüse 200.5 ausgebildet. Die Hilfsdüse 200.5 mündet ebenfalls in das Flüssigkeitsbad. Ein durch die Hilfsdüse 200.5 in dem Flüssigkeitsbad erzeugter Flüssigkeitsstrahl fördert in dem Flüssigkeitsbad Flüssigkeit senkrecht zu den scheibenförmigen Elementen und damit parallel zu der Förderrichtung des Stapels 2. Dieser Flüssigkeitsstrahl bedrückt bereits zumindest teilweise durch die erste Gurtfördervorrichtung 6 abgeförderte scheibenförmige Elemente gegen die erste Gurtfördervorrichtung 6.
Die Rückhaltedüsenvorrichtung 60 ist U-Förmig ausgebildet, wobei die Ebene in der das U liegt in Fig. 8A senkrecht zur Zeichenebene und parallel zur Förderrichtung des Stapels 2 orientiert ist. Das U umfasst - wie in der Draufsicht der Fig. 8B dargestellt - die erste Gurtfördervorrichtung 6. Die Rückhaltedüsenvorrichtung 60 umfasst zumindest zwei Rückhaltedüsen 60.1, 60.2 - an jedem Ende des U's jeweils eine -, welche in das Flüssigkeitsbad münden und in dem Flüssigkeitsbad Flüssigkeitsstrahlen erzeugen, welche scheibenförmige Elemente gegen den Stapel 2 drücken, welche jenen scheibenförmigen Elementen direkt benachbart sind, die mit der ersten Gurtfördervorrichtung 6 unmittelbar in Kontakt stehen und durch diese gerade dem Stapel 2 entnommen werden. Die Flüssigkeitsstrahlen der Rückhaltedüsen 60.1, 60.2 haben Komponenten parallel zur Förderrichtung des Stapels 2.

Claims

Ansprüche
1. Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Elementen aus einem Stapel (2) mit einer ersten Gurtfördervorrichtung (6) und einer zweiten Gurtfördervorrichtung (7), wobei die erste Gurtfördervorrichtung (6) zur Aufnahme jeweils eines scheibenförmigen Elements (12) aus dem Stapel (2) und die zweite Gurtfördervorrichtung (7) zum
Weitertransport und zur Ablage der scheibenförmigen Elemente (12) auf einer weiterführenden Transportvorrichtung (8, 8') vorgesehen ist; dadurch gekennzeichnet:, dass die erste und die zweite Gurtfördervorrichtung (6, 7) mit einer einen Unterdruck erzeugenden Vorrichtung (VP) verbunden sind und ein erster Gurt (10) der ersten Gurtfördervorrichtung (6) erste Öffnungen (30) aufweist und ein zweiter Gurt (13, 15) der zweiten Gurtfördervorrichtung (7) zweite
Öffnungen aufweist, wobei die Öffnungsquerschnitte der zweiten Öffnungen kleiner sind als die Öffnungsquerschnitte der ersten Öffnungen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Öffnungen (30) des ersten Gurts als Ausnehmungen in den Gurt eingebracht sind.
3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Öffnungen in dem zweiten Gurt als Schnitte (31) eingebracht sind.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Abschnitt (7.2) der zweiten Gurtfördervorrichtung (7) drehbar ist, so dass eine Förderebene im Bereich dieses Abschnitts in einer Ausgangsposition parallel zu einer Förderebene des ersten Gurtförderers (6) ausgerichtet ist und in einer zweiten, gedrehten Position einen Winkel mit dieser einschließt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Gurtfördervorrichtung (7) einen ersten Abschnitt (7.1) und einen zweiten Abschnitt (V.2) aufweist, wobei die Förderebene des ersten
Abschnitts (7.1) identisch mit der Förderebene der ersten Gurtfördervorrichtung (6) ist und der zweite Abschnitt (7.2) drehbar angeordnet ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der drehbare Abschnitt (7.2) und die erste Gurtfördervorrichtung (6) so angeordnet sind, dass die durch die erste Gurtfördervorrichtung geförderten scheibenförmigen Elemente (12) mit einer ersten
Oberfläche (25) an dessen Gurt (10) anliegen und die durch den drehbaren Abschnitt (7.2) der zweiten Gurtfördervorrichtung (7) geförderten scheibenförmigen Elemente (12) mit einer zweiten, davon abgewandten Oberfläche (26) an dem Gurt des drehbaren Abschnitts (7.2) anliegen.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der drehbare Abschnitt (7.2) und die erste
Gurtfördervorrichtung (6) so angeordnet sind, dass die durch die erste Gurtfördervorrichtung (6) geförderten scheibenförmigen Elemente (12) mit einer ersten Oberfläche (25) an dessen Gurt (10) anliegen und die durch den drehbaren Abschnitt (7.2') der zweiten Gurtfördervorrichtung (7) geförderten scheibenförmigen Elemente (12) mit derselben ersten Oberfläche (25) an dem Gurt des drehbaren Abschnitts ( 7 . 2 ) anliegen .
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass eine Transportebene (20) der weiterführenden Transportvorrichtung (8, 8') parallel zu der Förderebene des drehbaren Abschnitts (7.2) in der gedrehten Position ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der drehbare Abschnitt (7.2) der zweiten Gurtfördervorrichtung (7) und die weiterführende Transportvorrichtung (8) so zueinander ausgerichtet sind, dass sich der Gurt (15) des drehbaren
Abschnitts (7.2) und ein Fördermittel (18) der weiterführenden Transportvorrichtung (8) in gedrehter Position des Abschnitts (7.2) der zweiten Gurtfördervorrichtung (7) gegenüberliegen.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der weiterführenden Transportvorrichtung (8, 8') und des drehbaren Abschnitts (7.2, 7.2') eine BenetZungsvorrichtung (22) angeordnet ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Gurtfördervorrichtung (7) auf einer von der Transportseite abgewandten Seite des Gurts (15) eine bewegbare Einrichtung (27) zum Auslenken des Gurts (15) aufweist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die bewegbare Einrichtung (27) ein in einem Aufnahmeraum (28) angeordnetes elastisches Element aufweist, welches zur Vergrößerung mit einem Fluid füllbar ist.
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