DE102010006760A1 - Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem in einer Flüssigkeit angeordneten Stapel - Google Patents

Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem in einer Flüssigkeit angeordneten Stapel Download PDF

Info

Publication number
DE102010006760A1
DE102010006760A1 DE102010006760A DE102010006760A DE102010006760A1 DE 102010006760 A1 DE102010006760 A1 DE 102010006760A1 DE 102010006760 A DE102010006760 A DE 102010006760A DE 102010006760 A DE102010006760 A DE 102010006760A DE 102010006760 A1 DE102010006760 A1 DE 102010006760A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
stack
conveyor
belt conveyor
movement
angle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102010006760A
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AMB Apparate und Maschinenbau GmbH
Original Assignee
AMB Apparate und Maschinenbau GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AMB Apparate und Maschinenbau GmbH filed Critical AMB Apparate und Maschinenbau GmbH
Priority to DE102010006760A priority Critical patent/DE102010006760A1/de
Publication of DE102010006760A1 publication Critical patent/DE102010006760A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67271—Sorting devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67715—Changing the direction of the conveying path
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67718—Changing orientation of the substrate, e.g. from a horizontal position to a vertical position
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen (3.1, 3.2) aus einem Stapel (3). Die Vereinzelungsvorrichtung (1) weist einen eine Flüssigkeit enthaltenden Behälter (2) auf, in dem eine Aufnahmevorrichtung (5) angeordnet ist. Durch die Aufnahmevorrichtung (5) wird ein Stapel (3) scheibenförmiger Elemente (3.1, 3.2) getragen, so dass sich der Stapel (3) vollständig in Flüssigkeit befindet. Ferner weist die Vereinzelungsvorrichtung (1) eine Gurtfördervorrichtung (6) auf, die mit wenigstens einem Teil ihrer Förderlänge in den Behälter (2) ragt. Ein Ende der Gurtfördervorrichtung (6) liegt einer Stirnseite des Stapels (3) gegenüber. Es ist ferner eine Bewegungsvorrichtung (9) zum Erzeugen einer Relativbewegung zwischen dem Stapel (3) und der Gurtfördervorrichtung (6) vorgesehen. Die Gurtfördervorrichtung (6) ist so angeordnet, dass ihre Förderebene mit den durch die gestapelten Elemente (3.1, 3.2) definierten Ebenen einen von Null verschiedenen Winkel (α) einschließt.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem in einer Flüssigkeit angeordneten Stapel.
  • Eine Vorrichtung, bei der mit Hilfe von Fördergurten scheibenförmige Elemente aus einem Stapel vereinzelt werden, ist aus der DE 10 2006 011 870 A1 bekannt. Die dort vorgeschlagene Vereinzelungsvorrichtung zeigt einen Stapel, dessen Stapelachse sich in horizontaler Richtung erstreckt. Senkrecht hierzu ist eine Mehrzahl von hintereinander stehenden plattenförmigen Gegenständen, beispielsweise Siliciumwafern, angeordnet. Der Stapel befindet sich in einer Flüssigkeit in einer Wanne, wobei diese in Richtung der Stapelachse mit Hilfe eines Antriebs bewegbar ist. Zum Abheben des jeweils vordersten Elements des Stapels ist ein Fördergurt parallel zur Oberfläche des ersten scheibenförmigen Elements angeordnet.
  • Mit Hilfe einer Unterdruckeinrichtung wird das jeweils erste, parallel zum Fördergurt stehende Element an den Fördergurt angesaugt und mittels des Unterdrucks dort gehalten. Ist ein Element mit Unterdruck gegen den Fördergurt gezogen, so wird dieser angetrieben und so das Element parallel zu den durch die weiteren Elemente des Stapels definierten Ebenen abtransportiert. Nachteil der hier beschriebenen Anlage ist, dass durch die parallele Anordnung ein relativ großer Zeitraum verstreicht, bevor der Wafer so weit abtransportiert ist, bis der nächste Wafer herangeführt werden kann. Dies vergrößert die Gefahr von Kollisionen und damit auch von Beschädigungen bzw. fehlerhafter Vereinzelung.
  • Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem Flüssigkeitsbad zu schaffen, die eine hohe Taktfrequenz und eine sichere Vereinzelung erlaubt.
  • Die Aufgabe wird durch die erfindungsgemäße Vereinzelungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
  • Die erfindungsgemäße Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem Stapel weist einen Behälter auf, der eine Flüssigkeit enthält, z. B. eine Reinigungsflüssigkeit. In dem Behälter ist eine Aufnahmevorrichtung so angeordnet, dass ein durch die Aufnahmevorrichtung getragener Stapel scheibenförmiger Elemente sich in der Flüssigkeit befindet. Ferner weist die Vereinzelungsvorrichtung eine Gurtfördervorrichtung auf. Wenigstens ein Teil der Förderlänge der Gurtfördervorrichtung ragt so in den Behälter, dass ein Ende der Förderlänge der Gurtfördervorrichtung einer Stirnseite des Stapels gegenüber liegt. Zudem ist eine Bewegungsvorrichtung vorgesehen, welche eine Relativbewegung zwischen dem Stapel und der Gurtfördervorrichtung erzeugen kann. Dabei ist es grundsätzlich möglich, dass der Stapel auf die Gurtfördervorrichtung zu oder aber die Gurtfördervorrichtung auf den feststehenden Stapel zubewegt wird.
  • Die Gurtfördervorrichtung ist dabei so angeordnet, dass ihre Förderebene mit durch die gestapelten Elemente des Stapels definierten Ebenen einen von Null verschiedenen Winkel einschließt. Durch diesen von Null verschiedenen Winkel wird an einer Seite der Abstand zwischen dem ersten abzufördernden Element sowie dem nachfolgenden Element des Stapels vergrößert. Diese einseitige Vergrößerung führt zu einer Reduktion des Bruchrisikos, da der Kontakt des abzufördernden Elements zu den nachfolgenden Elementen reduziert wird. Zudem wird das Risiko von fehlerhafter Vereinzelung reduziert. Durch den nicht über die gesamte Fläche der Wafer gleich bleibenden Abstand wird das Risiko von sich ausbildender Adhäsion zwischen aufeinanderfolgenden scheibenförmigen Elementen reduziert. Insbesondere entfällt damit das häufige Nachvereinzeln von aneinander haftenden scheibenförmigen Elementen. Dies erhöht den Durchsatz der Vereinzelungsvorrichtung weiter.
  • In den Unteransprüchen sind vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung ausgeführt.
  • In einem Bereich der am nächsten zu dem Gurtförderer hin orientierten Elemente ist vorzugsweise auf derjenigen Seite des Stapels, die den größten Abstand zu der Gurtfördervorrichtung aufweist, wenigstens eine Düse angeordnet, deren Hauptstrahlrichtung mit der Förderebene einen Winkel von maximal 45° einschließt. Durch eine solche auf den Gurt der Gurtfördervorrichtung zugerichtete Hauptstrahlrichtung wird das Anlegen des vordersten scheibenförmigen Elements an den Gurt erleichtert. Dabei ist insbesondere auch vorteilhaft, dass durch den sich in einer Richtung öffnenden Spalt zwischen dem ersten und dem nachfolgenden scheibenförmigen Element mit Hilfe einer Strömung eine das scheibenförmige Element an den Gurt drückende Kraft erzeugt werden kann. Diese wirkt insbesondere auch noch nach Beginn des Förderns des scheibenförmigen Elements durch die Gurtfördervorrichtung nach.
  • Gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform ist die Bewegungsvorrichtung so eingerichtet, dass eine oszillierende Bewegung zwischen der Gurtfördervorrichtung und dem Stapel erzeugt wird. Dabei ist die Relativbewegung, welche den Abstand verringert stets etwas größer als die im Anschluss daran den Abstand wieder vergrößernde Bewegung. Auch durch diese Maßnahme wird das aneinander Haften von aufeinander folgenden scheibenförmigen Elementen verhindert oder zumindest eine entsprechende Wahrscheinlichkeit reduziert.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn der von Null verschiedene Winkel zwischen der Transportrichtung und die durch die gestapelten Elemente definierten Ebenen eingeschlossen wird. Dies ist besonders dann vorteilhaft, wenn die Gurtfördervorrichtung im Wesentlichen in vertikaler Richtung fördert. Der Neigungswinkel gegenüber der durch die gestapelten Elemente definierten Ebenen ist vorzugsweise wenigstens 3° und höchstens 10°, besonders bevorzugt höchstens 7,5°. In diesem Bereich hat sich die beschriebene Wirkung besonders stark gezeigt und die Vereinzelung verläuft besonders prozesssicher.
  • Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung ist in der Zeichnung dargestellt und wird in der nachfolgenden Beschreibung detailliert erläutert. Es zeigt:
  • 1 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung.
  • In der 1 ist eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung dargestellt. Die Vereinzelungsvorrichtung 1 umfasst eine Wanne 2. Die nach oben offene Wanne ist mit einer Flüssigkeit, beispielsweise einer Reinigungsflüssigkeit, gefüllt. Vollständig innerhalb der Wanne 2 und in der Flüssigkeit angeordnet befindet sich ein Stapel 3. Der Stapel 3 besteht aus einer Mehrzahl von scheibenförmigen Elementen 3.1, 3.2, ..., vorzugsweise Wafern, die z. B. gerade aus einem Sägevorgang kommen und gereinigt werden müssen. Die einzelnen scheibenförmigen Elemente des Stapels 3 sind vorzugsweise senkrecht zu einer horizontal verlaufenden Stapelachse 4 angeordnet. Jeder der Wafer definiert eine Ebene, in der er steht und die senkrecht auf der Stapelachse 4 steht.
  • Der Stapel 3 wird durch eine Aufnahmevorrichtung 5 getragen. Die Aufnahmevorrichtung 5 kann beispielsweise durch einen sog. Carrier gebildet werden. Um nun die einzelnen Wafer 3.1, 3.2, ... von einer Seite des Stapels 3 einzeln abzunehmen und stückweise dem weiteren Bearbeitungsprozess zur Verfügung zu stellen, ist eine Gurtfördervorrichtung 6 vorgesehen. Die Gurtfördervorrichtung 6 weist einen Gurt 7 auf, der über eine erste Walze 8.1 und eine zweite, angetriebene Walze 8.2 läuft. Es ist zu beachten, dass anstelle eines einzelnen, relativ breiten Gurts 7 auch z. B. zwei oder mehr parallel zueinander verlaufende Gurte vorgesehen sein können. Die Gurtfördervorrichtung 6 ist so angeordnet, dass sie der Stirnseite des Stapels 3 an einem Ende des Stapels 3 gegenüberliegt. Eine Förderebene wird durch die zu der Stirnseite des Stapels 3 hin orientierte Oberfläche des Gurts 7 gebildet. Diese Förderebene steht mit den durch die gestapelten Elemente 3.2, ... definierten Ebenen in einem Winkel α. Dieser Winkel α ist vorzugsweise wenigstens 3° und maximal 10°, vorzugsweise max. 7,5°. Die Ermittlung des Winkels α erfolgt dabei in Bezug auf die noch nicht aus dem Stapel 3 gelösten scheibenförmigen Elemente.
  • Wird der Gurt 7 durch eine nicht dargestellte Antriebsvorrichtung über die zweite Walze 8.2 angetrieben, so werden die scheibenförmigen Elemente 3.1, 3.2, ... einzeln und nacheinander in der durch den Pfeil angegebenen Transportrichtung abgefördert. Dabei wird das jeweils vorderste scheibenförmige Element 3.1 nach Anlage an den Gurt 7 durch Adhäsionskräfte an dem Gurt 7 gehalten. Um die Anlage an das Band bzw. den Vorgang des Anlegens zu unterstützen, kann eine Strömungseinrichtung vorgesehen sein. Diese Strömungseinrichtung wird im dargestellten Ausführungsbeispiel durch eine Pumpe 16 gebildet, welche die Flüssigkeit in der Wanne 2 in dem Behälter 2 durch den Gurt 7 bzw. bei mehreren Gurten durch den Zwischenraum fördert.
  • Um nach dem Abfördern des jeweils ersten scheibenförmigen Elements 3.1 das jeweils nächste scheibenförmige Element 3.2 des Stapels 3 wieder in Anlage an den Gurt 7 zu bringen, ist eine Bewegungsvorrichtung 9 vorgesehen. Die Bewegungsvorrichtung 9 weist einen Antrieb 10 sowie eine Basis 11 auf. Mit Hilfe des Antriebs 10 ist die Aufnahmevorrichtung 5 in Richtung der Stapelachse 4 auf der Basis 11 bewegbar. Damit kann das jeweils vorderste scheibenförmige Element 3.1 in Richtung auf die Gurtfördervorrichtung 6 zu bewegt werden. Vorzugsweise erfolgt das Annähern des ersten scheibenförmigen Elements 3.1 durch eine oszillierende Bewegung. D. h., dass zunächst die Aufnahmevorrichtung auf die Gurtfördervorrichtung 6 zu bewegt wird und anschließend in einer gegenüber der vorangegangenen Bewegung verkürzten Rückwärtsbewegung wieder von der Gurtfördervorrichtung 6 entfernt wird. Eine solche oszillierende Bewegung begünstigt das Auffächern des Stapels an seinem der Gurtfördervorrichtung 6 zugewandten Ende. Dieses Auffächern wird zudem unterstützt durch eine Düseneinrichtung 18. Die Düseneinrichtung 18 weist wenigstens eine Düse 20 auf, deren Hauptstrahlrichtung auf den Gurt 7 zu gerichtet ist. Der Winkel ist dabei näherungsweise 90° und vorzugsweise nicht größer als 45° in Bezug auf die Förderebene des Gurts 7. Eine solche Düseneinrichtung 18 begünstigt das Kippen des ersten scheibenförmigen Elements 3.1, sobald an seinem in der 1 unteren Ende das scheibenförmige Element 3.1 in Kontakt mit der Gurtfördervorrichtung 6 ist. Die Hauptstrahlrichtung der Düse 20 ist insbesondere so gewählt, dass sie in dem sich vergrößernden Spalt zwischen dem kippenden ersten scheibenförmigen Element 3.1 und dem noch aufrecht stehenden nächsten scheibenförmigen Element 3.2 gerichtet ist.
  • Das durch die Gurtfördervorrichtung 6 geförderte scheibenförmige Element 3.1 wird an eine zweite Gurtfördervorrichtung 13 übergeben, welche sich in geradliniger Verlängerung der ersten Gurtfördervorrichtung 6 befindet. Die scheibenförmigen Elemente 3.1, 3.2, ... sind zum Zeitpunkt der Übergabe an die zweite Gurtfördervorrichtung 13 bereits vereinzelt. Im Weiteren kann mit Hilfe einer klappbaren weiteren Gurtfördervorrichtung 14 nach der Übernahme das scheibenförmige Element in eine horizontale Lage gebracht werden und weiteren Fördermitteln wieder dem schematisch noch dargestellten Gurtförderer 15 übergeben werden. Der Gurt 7 sowie der Gurt der zweiten Gurtfördervorrichtung 13 bilden eine gemeinsame Förderebene aus.
  • Die Gurtfördervorrichtung 6 taucht mit einem wesentlichen Teil ihrer Förderlänge LF in die Flüssigkeit der Wanne 2 ein, so dass nur das antriebsseitige Ende heraussteht. Um dies zu verdeutlichen, ist in der 1 die Flüssigkeitslinie 12 angegeben. Wie es beispielhaft für die dritte Gurtfördervorrichtung 14 angegeben ist, wird die Förderlänge LF durch die freie Länge des Gurts zwischen den beiden Walzen definiert, über die der Gurt läuft.
  • Um das Anhaften der vereinzelten scheibenförmigen Elemente an der zweiten Gurtfördervorrichtung 13 und der weiteren Gurtfördervorrichtung 14 zu verbessern, kann eine Unterdruckeinrichtung 17 vorgesehen sein. Die Unterdruckeinrichtung 17 saugt durch Öffnungen in den Fördergurten die zu transportierenden scheibenförmigen Elemente 3.1, 3.2 an. Die Düseneinrichtung 18 weist vorzugsweise mehrere Düsen auf, wobei ein Teil dieser Düsen senkrecht zur Stapelachse 4 ihre Hauptstrahlrichtung aufweist und für eine Vorvereinzelung der scheibenförmigen Elemente 3.1, 3.2, ... sorgt. Weitere Düsen zum Unterstützen der Vorvereinzelung können vorgesehen sein.
  • Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Stapel mit seiner Stapelachse 4 in der Horizontalen angeordnet. Die Gurtfördervorrichtung 6 schließt mit ihrer Förderebene einen Winkel α mit den durch die gestapelten Elemente definierten Ebenen des Stapels 3 ein. Dieser Winkel α ist im dargestellten Ausführungsbeispiel gleich dem Zwischenwinkel aus der Förderrichtung (Pfeil) und den Ebenen der gestapelten Elemente. Es ist jedoch leicht erkennbar, dass ein Abfördern auch in horizontaler Richtung in dem Behälter 2 erfolgen könnte. In diesem Fall kann die Transportrichtung auch senkrecht auf der Stapelachse 4 stehen. Es ist daher nicht zwingend notwendig, dass die Achse der Walze 8.1 parallel zur Stirnseite des Stapels 3 angeordnet ist.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 102006011870 A1 [0002]

Claims (7)

  1. Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen (3.1, 3.2) aus einem Stapel (3), aufweisend einen eine Flüssigkeit enthaltenden Behälter (2), in dem eine Aufnahmevorrichtung (5) so angeordnet ist, dass ein durch die Aufnahmevorrichtung (5) getragener Stapel (3) scheibenförmiger Elemente (3.1, 3.2) sich in der Flüssigkeit befindet, und eine Gurtfördervorrichtung (6), die mit wenigstens einem Teil Ihrer Förderlänge in den Behälter (2) ragt, so dass ein Ende der Gurtfördervorrichtung (6) einer Stirnseite des Stapels (3) gegenüber liegt, wobei eine Bewegungsvorrichtung (9) zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen dem Stapel (3) und der Gurtfördervorrichtung (6) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Gurtfördervorrichtung (6) so angeordnet ist, dass ihre Förderebene mit den durch die gestapelten Elemente (3.1, 3.2) definierten Ebenen einen von Null verschiedenen Winkel (α) einschließt.
  2. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Bereich der am nächsten zu dem Gurtfördervorrichtung (6) hin orientierten scheibenförmigen Elemente (3.1, 3.2) auf derjenigen Seite des Stapels (3), die den größten Abstand zu der Gurtfördervorrichtung (6) aufweist, wenigstens eine Düse (20) angeordnet ist, deren Hauptstrahlrichtung mit der Förderebene einen Winkel von maximal 45° einschließt.
  3. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsvorrichtung (9) zur Erzeugung einer oszillierenden Bewegung eingerichtet ist.
  4. Vereinzelungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der von Null verschiedene Winkel (α) durch die Transportrichtung und die Ebenen der gestapelten Elemente (3.1, 3.2) eingeschlossen wird.
  5. Vereinzelungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel (α) wenigstens 3° beträgt.
  6. Vereinzelungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel (α) höchstens 10° beträgt.
  7. Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel (α) höchstens 7,5° beträgt.
DE102010006760A 2010-02-04 2010-02-04 Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem in einer Flüssigkeit angeordneten Stapel Withdrawn DE102010006760A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010006760A DE102010006760A1 (de) 2010-02-04 2010-02-04 Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem in einer Flüssigkeit angeordneten Stapel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010006760A DE102010006760A1 (de) 2010-02-04 2010-02-04 Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem in einer Flüssigkeit angeordneten Stapel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102010006760A1 true DE102010006760A1 (de) 2011-08-04

Family

ID=44316102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102010006760A Withdrawn DE102010006760A1 (de) 2010-02-04 2010-02-04 Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem in einer Flüssigkeit angeordneten Stapel

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102010006760A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012060130A (ja) * 2010-09-13 2012-03-22 Rena Gmbh 基板を分離並びに搬送する装置、及び、基板を分離並びに搬送する方法
CN103601015A (zh) * 2013-11-19 2014-02-26 张家港市超声电气有限公司 分片传输装置
WO2015155729A1 (en) 2014-04-10 2015-10-15 Meyer Burger Ag Transporting system and method
DE102015110564A1 (de) * 2015-07-01 2017-01-05 Von Ardenne Gmbh Prozessieranordnung, Ladevorrichtung, Substrathalter und Verfahren zum Prozessieren eines Substrats
CN114476697A (zh) * 2022-01-28 2022-05-13 上海美诺福科技有限公司 板材试样分张设备

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE68915457T2 (de) * 1989-03-17 1994-10-13 Guy Martin Vereinzelungsvorrichtung für Bögen mittels einer Turbulenzblasdüse
DE69912715T2 (de) * 1998-10-05 2004-09-23 Nec Corp. Verfahren und Vorrichtung zum Aufnehmen von Dokumenten
DE102006011870A1 (de) 2006-03-15 2007-09-20 Insotech Ohg Vereinzelungsvorrichtung und Verfahren zur stückweisen Bereitstellung plattenförmiger Gegenstände
US7677552B2 (en) * 2006-08-03 2010-03-16 Solystic Unstacker apparatus having a retractable blower member

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE68915457T2 (de) * 1989-03-17 1994-10-13 Guy Martin Vereinzelungsvorrichtung für Bögen mittels einer Turbulenzblasdüse
DE69912715T2 (de) * 1998-10-05 2004-09-23 Nec Corp. Verfahren und Vorrichtung zum Aufnehmen von Dokumenten
DE102006011870A1 (de) 2006-03-15 2007-09-20 Insotech Ohg Vereinzelungsvorrichtung und Verfahren zur stückweisen Bereitstellung plattenförmiger Gegenstände
US7677552B2 (en) * 2006-08-03 2010-03-16 Solystic Unstacker apparatus having a retractable blower member

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012060130A (ja) * 2010-09-13 2012-03-22 Rena Gmbh 基板を分離並びに搬送する装置、及び、基板を分離並びに搬送する方法
CN103601015A (zh) * 2013-11-19 2014-02-26 张家港市超声电气有限公司 分片传输装置
WO2015155729A1 (en) 2014-04-10 2015-10-15 Meyer Burger Ag Transporting system and method
CN106163752A (zh) * 2014-04-10 2016-11-23 梅耶博格公司 传输系统和方法
DE102015110564A1 (de) * 2015-07-01 2017-01-05 Von Ardenne Gmbh Prozessieranordnung, Ladevorrichtung, Substrathalter und Verfahren zum Prozessieren eines Substrats
CN114476697A (zh) * 2022-01-28 2022-05-13 上海美诺福科技有限公司 板材试样分张设备
CN114476697B (zh) * 2022-01-28 2023-10-27 上海美诺福科技有限公司 板材试样分张设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2806218C2 (de)
DE102010006760A1 (de) Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem in einer Flüssigkeit angeordneten Stapel
EP0729907A1 (de) Vorrichtung zum Transport von Blattlagen
DE102009058785B4 (de) Vorrichtung zum Greifen von Objekten und Verfahren zum Greifen von Objekten
DE102013112942A1 (de) Förder- und Sortiereinrichtung sowie Verfahren zum Fördern und Ausrichten von Gegenständen
EP0059746A1 (de) Vorrichtung zum stapeln von in einem schuppenstrom anfallenden flächigen erzeugnissen.
EP0346703A2 (de) Fördereinrichtung für den Transport von Blechzuschnitten
DE102018222579B4 (de) Endlosfördervorrichtung mit entnehmbarer Fördereinheit und Verfahren
DE1928110A1 (de) Vorrichtung zum Beschicken,Foerdern,Sortieren und Stapeln von Materialien wie z.B. Bleche,Furniere,Kunststoffe,Pappe und Platten jeder Art
DE10008831C2 (de) Fördervorrichtung für den hängenden Transport von flachen Gegenständen, insbesondere von metallischen Platinen
DE2544139A1 (de) Vorrichtung zum trennen und stapeln mehrerer aus einem kartonbogen o.dgl. gestanzter kartonzuschnitte
DE3132393A1 (de) Vorrichtung zum auflegen bzw. abnehmen von schutzblaettern auf bzw. von einem plattenstapel, bestehend aus traegerplatte, fuer elektronische schaltkreise, sowie zum zufuehren und abfuehren dieser traegerplatten
DE2533874A1 (de) Sortiervorrichtung
DE3533627A1 (de) Stapelauslage
DE10232215A1 (de) Fördereinrichtung zum Transport und Ausschleusen von flachen Gegenständen
WO2011063988A1 (de) Vereinzelungsvorrichtung
WO2010094502A1 (de) Vorrichtung zum vereinzeln von scheibenförmigen elementen
DE102005045583A1 (de) Verfahren zur Vereinzelung von gestapelten, scheibenförmigen Elementen und Vereinzelungsvorrichtung
DE102010052981A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Trennen von aneinander haftenden, scheibenförmigen Elementen
DE102009020102A1 (de) Vereinzelungsvorrichtung für Druckplatten
DE10202646B4 (de) Transportvorrichtung für Datenträgerkarten
DE102016101602A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Abblasen von Behältern, insbesondere von Flaschen oder Dosen
DE102013106483A1 (de) Aufnahmevorrichtung für flache Güter, insbesondere zur Verwendung in einem Beilagenanleger
DE10202641B4 (de) Förder-und Abnahmevorrichtung für Datenträgerkarten
WO2003016188A2 (de) Vorrichtung und ein verfahren zur ausrichtung von in einer lage übereinander angeordneten bogen

Legal Events

Date Code Title Description
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee