WO2011063988A1 - Vereinzelungsvorrichtung - Google Patents

Vereinzelungsvorrichtung Download PDF

Info

Publication number
WO2011063988A1
WO2011063988A1 PCT/EP2010/007263 EP2010007263W WO2011063988A1 WO 2011063988 A1 WO2011063988 A1 WO 2011063988A1 EP 2010007263 W EP2010007263 W EP 2010007263W WO 2011063988 A1 WO2011063988 A1 WO 2011063988A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
stack
container
nozzles
belt conveyor
belt
Prior art date
Application number
PCT/EP2010/007263
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jürgen Ackermann
Boris Matzner
Armin Seitz
Original Assignee
Amb Apparate + Maschinenbau Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Amb Apparate + Maschinenbau Gmbh filed Critical Amb Apparate + Maschinenbau Gmbh
Publication of WO2011063988A1 publication Critical patent/WO2011063988A1/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67751—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a single workpiece

Definitions

  • the invention relates to a separating device for separating disc-shaped elements from a stack.
  • the stack of wafers or other disk-shaped elements can in particular firstly be supplied in a first medium, whereas the further processing of the subsequently separated disk-shaped elements takes place in a second medium.
  • the stack is supplied in a liquid bath, for example a cleaning liquid.
  • the individual wafers are taken out of the liquid bath.
  • the individual elements of the stack strongly adhere to each other due to their flat, largely planar design. At the same time, the elements are only slightly resistant to mechanical stress. It is therefore the object of the invention to enable a reliable separation process in which the load on the elements is low.
  • the invention relates to a separating device for separating disc-forming disc-shaped elements with a container for receiving the stack.
  • the container is filled with a liquid and the separating device has a device for receiving and removing a respective first element of the stack.
  • the separating device has a flow-generating device which is set up at least from two different directions to generate a flow of liquid in the container with a directional component towards the stacking axis. Such support of detachment of the first element of a stack facilitates picking up and removal. The individual elements are detached from each other and sticking together is avoided. It is particularly advantageous that the liquid of the container is used, if this is a cleaning liquid.
  • the flow-generating device has a plurality of nozzles. This allows easy adjustment of the flow direction. This allows adaptation to the elements to be separated. It is particularly preferred if in addition to the nozzles, which have a directional component of the beam direction perpendicular to the Stapelachs also at least one nozzle is provided, which is directed to the device for receiving and removal. This nozzle radiates in particular parallel to the stack axis, in the case of a stack in which the surface normal of the elements coincides approximately with the stack axis.
  • the liquid preferably a cleaning liquid penetrates between the individual elements in the stack. This not only leads to the desired release of the individual elements but also to an improved cleaning of the elements, for example wafers, which come back from a sawing process. This is particularly advantageous when the elements are thus pressed against the contact surface of a belt conveyor. The otherwise with such
  • Belt conveyors used vacuum to secure holding the elements can then be eliminated or at least reduced. This is particularly important in a vertical arrangement of the stacking axis, which thus runs in the horizontal direction. In such an orientation, the elements can be accommodated only on the top of the stack without significant overhead. Thus, the recording is supported against gravity by the generated flow.
  • a vertical arrangement of the stack it is also advantageous to choose the arrangement of the nozzles with respect to the stack axis symmetrical. That it is supplied from at least two opposite sides of liquid.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of a system for
  • Fig. 2 shows a nozzle arrangement for fanning the stacked disc-shaped elements and for supporting the separation process by a belt conveyor.
  • FIG. 1 shows a separating device 1 in a simplified, schematic arrangement.
  • the separating device 1 comprises a container 2 in which a stack 4 disk-shaped elements 4.1, 4.2, ... is arranged in a liquid bath.
  • the stack 4 the stacking axis of which extends substantially perpendicular to the surface of the disk-shaped elements 4.1, 4.2,... Forming the stack 4, is arranged on a support device 3.
  • the support device 3 may have an approximately L-shaped geometry in the simplest example. This avoids tipping in one direction of the stack.
  • a first belt conveyor 5 For lifting the respective first disc-shaped element 4.1 from the stack 4, a first belt conveyor 5 is provided.
  • the belt conveyor 5 comprises an endless belt 6, which runs over a first drive roller 7 and a second drive roller 8.
  • the conveying direction of the belt 6 is indicated in FIG. 1 by means of an arrow.
  • a drive device 9 is provided, which cooperates with at least one of the drive rollers 7, 8.
  • the drive rollers 7, 8 are held on a frame structure shown only simplified and are held stationary by means of a holder 10.
  • the stack 4 For separating the respective first disk-shaped element 4.1 from the stack 4, the stack 4 is moved in the direction of a surface of the belt 6 until the first disk-shaped element with its from the stack facing away from the belt 6 abuts.
  • the belt has openings through which a first medium can be sucked by means of a first suction device.
  • the first suction device and a second suction device are provided.
  • the first suction device comprises a first pump 11 and a channel system 12 connected to the suction side of the pump 11.
  • the channel system 12 is formed in the frame construction of the first belt conveyor 5 such that channels open to the belt 6 are formed in the frame construction. Through the openings of the belt 6, therefore, the medium present in the container 2 is sucked.
  • the suction of the channel system 12 is dimensioned so that a suction of medium takes place only below the liquid line in the container 2.
  • this part of the belt conveyor 5 is already outside the liquid in the container 2.
  • the second pump 13 By the second pump 13, however, the outside of the liquid prevailing medium, usually air, is sucked.
  • the second pump 13 cooperates with a second channel system 14.
  • the second channel system 14 also has grooves open to the belt 6, so that the air surrounding the belt outside the liquid is sucked through the belt.
  • the adhesion between the wafer 4.1 adhering to the belt 6 is supported by means of the negative pressure.
  • the further transport of the disc-shaped elements, ie in the preferred embodiment of the wafer is carried out by a second transport device.
  • this is a further belt conveyor device 15.
  • the further belt conveyor device is constructed in principle in accordance with the first belt conveyor device 5. Again, an endless belt over a first drive roller 17 and a second drive roller 18 is guided. At least one of the two drive rollers 17, 18 is driven by means of a further drive device 20.
  • the first belt conveyor 5 and the second belt conveyor 15 are arranged so that the transport plane formed by the surface of the two belts is in one plane. Thus, a transition from the first belt conveyor 5 to the second belt conveyor 15 is possible, with the disc-shaped elements 4, 1, 34, 23 to be securely and stably adhered to the belt 6 of the first belt conveyor 5 and the belt of the second belt conveyor 15, respectively.
  • another suction or vacuum device is provided in order to support the adhesion forces here.
  • This vacuum device comprises a third pump 21, which cooperates with a third channel system 22.
  • the channel system 22 again has grooves open to the belt, which preferably extend over approximately the entire transport length, which is defined by the distance between the first drive roller 17 and the second drive roller 18.
  • a further holder 19 is provided which likewise holds the second belt conveyor 15 in alignment with the first belt conveyor 5 in a stationary manner.
  • the entire container 2 with the support device 3 fixedly arranged therein is preferably relative to the first Belt conveyor 5 moves.
  • the container 2 is arranged on a carriage 31 of a moving device 30.
  • the carriage 31 is movable relative to a base 32 of the drive.
  • Such linear drive systems are known per se.
  • the carriage 31 is moved on the base member 32.
  • the movement can be clocked or continuous.
  • a clocked movement is preferably used in order to reliably enable the first disk-shaped element 4.1 to be transported away by the first belt conveyor device 5 before the feeding stack 4 clamps in the first element 4.1.
  • a fanning of the stack 4 is preferably carried out.
  • This fanning is effected by means of a nozzle arrangement 25.
  • the nozzle assembly 25 has a first group of nozzles 26 i and a second group of nozzles 27 i.
  • the nozzles are acted upon in each case with the medium in the container 2.
  • a further pump is provided for this purpose, which sucks liquid from the container 2 and through the nozzles 26 i, 27 i promotes.
  • the first group of nozzles comprises precleaning nozzles 26.1 to 26.3.
  • the jet direction of these nozzles 26.1 to 26.3 is oriented approximately perpendicular to the stack axis.
  • the liquid conveyed through the nozzles 26.1 to 26.3 penetrates between the disk-shaped stacked elements 4.1, 4.2,... And dissolves them from one another.
  • the stripping in the vertical direction is simplified.
  • FIG. 1 has been chosen by way of example only. It is therefore not necessary that a removal of the disc-shaped elements takes place in the vertical direction.
  • the first belt conveyor 5 may be arranged so that the separation takes place even in the horizontal direction. After a transfer to the second belt conveyor 15 can then take place, for example, only by the second belt conveyor 15 further transport in the vertical direction.
  • the nozzle arrangement 25 further comprises, as already explained, a second group of nozzles 27.1, 27.2.
  • the jet direction of these nozzles 27.1, 27.2 is directed approximately parallel to the stacking axis and on the belt 6 of the first belt conveyor 5 to. With the aid of the liquid flow thus generated, the first disk-shaped element adhering to the belt 6 is additionally pressed against the belt 6.
  • the nozzles arranged laterally of the stack 4 in FIG. 1 can be arranged at a slight angle to the stacking axis.
  • the belt of the second belt conveyor 15 is preferably provided with a hole pattern, so that the surrounding medium can be sucked in by the second suction device.
  • nozzle arrangement 25 is provided in the exemplary embodiment shown. However, it is also conceivable, in particular for pre-singling, that a plurality of nozzle arrangements are provided one after the other in the transport direction of the stack 4.
  • the nozzle assembly 25 is the same as the first belt conveyor 5 and the second
  • Fig. 1 Belt conveyor 15 arranged stationary, whereas the stack 4 is moved by moving the container 2 relative thereto.
  • a detail of Fig. 1 is shown from a different perspective in Fig. 2.
  • the viewing direction is selected such that the nozzle arrangement 25 is viewed from the first belt conveyor device 5.
  • a U-shaped retaining element 28 is provided, which is held stationary in a manner not shown.
  • the legs of the basically U-shaped holding element 28 surround the stack 4, the first element 4.1 can be seen in the figure.
  • the first group of nozzles 26.1 - 26.6 is arranged on the carrier 28, the first group of nozzles 26.1 - 26.6 is arranged.
  • the outflow direction of the pressure medium from these nozzles 26.1 - 26.6 is approximately perpendicular to the stacking axis.
  • a plurality of nozzles of the second group of nozzles 27.1 to 27.7 are provided on the support 28, which have their main outflow direction substantially parallel to the stacking axis.
  • the nozzles of the first group and the nozzles of the second group can preferably be supplied with liquid by a common pump.
  • the change of the medium out of the container during the separation process by the first belt conveyor 5 is achieved.
  • the first belt conveyor 5 is so short that it is arranged exclusively in the region of the liquid in the container 2.
  • the second belt conveyor device 15 is then so long that during the change of media at the same time a change from the first belt conveyor 5 to the second
  • Belt conveyor 15 takes place during transport of a disk-shaped element.
  • the hole pattern which is the passage of the medium through the respective belt of the first belt conveyor device 5 and the second
  • Belt conveyor 15 allows to the medium customized.
  • the first suction device for sucking the liquid in the container 2 is dispensed with and worked there only with the aid of adhesion forces and the flows generated by the second group of nozzles 27.1 - 27.7.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vereinzelungsvorrichtung zum Vereinzeln von einen Stapel bildenden scheibenförmigen Elementen mit einem Behälter zum Aufnehmen des Stapels, wobei der Behälter mit einer Flüssigkeit gefüllt ist. Die Vereinzelungsvorrichtung weist eine Vorrichtung zum Aufnehmen und Abtransport eines jeweils ersten Elements des Stapels auf und eine Strömungserzeugungsvorrichtung auf, die eingerichtet ist, wenigstens aus zwei unterschiedlichen Richtungen eine Strömung der Flüssigkeit in dem Behälter mit einer Richtungskomponente auf die Stapelachse hin zu erzeugen.

Description

Vereinzelungsvorrichtung
Die Erfindung betrifft eine Vereinzelungsvorrichtung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Elementen aus einem Stapel.
Während des Herstellungsprozesses beispielsweise von Photovoltaikanlagen ist es erforderlich, die zunächst gestapelten Wafer als scheibenförmige Elemente zu vereinzeln und so einem weiteren Transport oder direkt einem weiteren Prozess zuzuführen. Dabei kann der Stapel von Wafern oder anderen scheibenförmiger Elemente insbesondere zunächst in einem ersten Medium zugeführt werden, wohingegen die weitere Verarbeitung der nachfolgend vereinzelten scheibenförmigen Elemente in einem zweiten Medium erfolgt. Insbesondere wird der Stapel in einem Flüssigkeitsbad zugeführt, beispielsweise einer Reinigungsflüssigkeit. Zur weiteren Verarbeitung werden jedoch die einzelnen Wafer aus dem Flüssigkeitsbad herausgenommen.
Die einzelnen Elemente des Stapels haften aufgrund ihrer flächigen, weitgehend ebenen Ausbildung stark aneinander. Gleichzeitig sind die Elemente nur gering mechanisch belastbar. Es ist daher die Aufgabe der Erfindung einen zuverlässigen Vereinzelungsvorgang zu ermöglichen, bei dem die Belastung der Elemente gering ist.
Die Erfindung betrifft eine Vereinzelungsvorrichtung zum Vereinzeln von einen Stapel bildenden scheibenförmigen Elementen mit einem Behälter zum Aufnehmen des Stapels. Der Behälter ist mit einer Flüssigkeit gefüllt und die Vereinzelungsvorrichtung weist eine Vorrichtung zum Aufnehmen und Abtransport eines jeweils ersten Element des Stapels auf. Die Vereinzelungsvorrichtung weist eine Strömungserzeugungsvorrichtung auf, die eingerichtet ist, wenigstens aus zwei unterschiedlichen Richtungen eine Strömung der Flüssigkeit in dem Behälter mit einer Richtungskomponente auf die Stapelachse hin zu erzeugen. Durch eine solche Unterstützung des Ablösens des ersten Elements eines Stapels wird die Aufnahme und der Abtransport erleichtert. Die einzelnen Elemente werden voneinander gelöst und ein Kleben aneinander wird vermieden. Dabei ist es besonders vorteilhaft, dass die Flüssigkeit des Behälters verwendet wird, wenn diese eine Reinigungsflüssigkeit ist.
Die Unteransprüche betreffen vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung. Insbesondere ist es vorteilhaft, wenn die Strömungserzeugungsvorrichtung eine Mehrzahl von Düsen aufweist. Dies erlaubt das einfache Einstellen der Strömungsrichtung. Damit ist eine Anpassung an die zu vereinzelnden Elemente möglich. Besonders bevorzugt ist es, wenn neben den Düsen, die eine Richtungskomponente der Strahlrichtung senkrecht zur Stapelachs aufweisen auch wenigstens eine Düse vorhanden ist, die auf die Vorrichtung zum Aufnehmen und Abtransport hin gerichtet ist. Diese Düse strahlt insbesondere parallel zu der Stapelachse, bei einem Stapel, in dem die Flächennormale der Elemente etwa mit der Stapelachse zusammenfällt.
Diejenigen Düsen, die das Auffächern des Stapels bewirken strahlen insbesondere senkrecht zur Stapelachse auf die Seiten des Stapels. Damit dringt die Flüssigkeit, vorzugsweise eine Reinigungsflüssigkeit zwischen den einzelnen Elementen in den Stapel ein. Dies führt nicht nur zu dem gewünschten Lösen der einzelnen Elemente sondern auch zu einer verbesserten Reinigung der Elemente, beispielsweise Wafer, die aus einem Sägevorgang zurückkommen. Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn die Elemente damit an die Anlagefläche einer Gurtfördervorrichtung gedrückt werden. Der sonst bei solchen
Gurtfördervorrichtungen eingesetzte Unterdruck zu sicheren Halten der Elemente kann dann entfallen oder zumindest reduziert werden. Besonders wichtig ist dies bei einer stehenden Anordnung der Stapelachse, die also in horizontaler Richtung verläuft. Bei einer solchen Ausrichtung können die Elemente ohne erheblichen Mehraufwand nur auf der Oberseite des Stapels aufgenommen werden. Damit wird das Aufnehmen entgegen der Schwerkraft durch die erzeugte Strömung unterstützt.
Bei einer stehenden Anordnung des Stapels ist es außerdem vorteilhaft, die Anordnung der Düsen bezüglich der Stapelachse symmetrisch zu wählen. D.h. es wird von wenigstens zwei gegenüberliegenden Seiten Flüssigkeit zugeführt. Um ein seitliches Wegschwimmen de gelösten Elemente zu verhindern, ist es besonders vorteilhaft, die Düsen über den gesamten äußeren Rand der Elemente verteilt anzuordnen. Da bei einer rein senkrecht zur Stapelachse gewählten Orientierung der Düsen zum Lösen der Elemente dennoch eine seitliche Verschiebung auftreten kann, ist es hier weiterhin vorteilhaft, zusätzlich eine Mehrzahl von auf die Vorrichtung zum Abtransport der Elemente gerichteter Düsen vorzusehen, die ebenfalls gleichmäßig bezüglich der Stapelachse wirkt.
Eine Anlage, mit der eine solche Vereinzelung von Wafern aus einem Stapel, der in einem Flüssigkeitsbad zugeführt wird, besonders vorteilhaft ist, ist in den Zeichnungen dargestellt und wird nachfolgend detailliert erläutert. Es zeigen: Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Anlage zur
Vereinzelung von in einem Flüssigkeitsbad zugeführten, gestapelten scheibenförmigen Elementen; und
Fig. 2 eine Düsenanordnung zum Auffächern der gestapelten scheibenförmigen Elemente und zum Unterstützen des Separationsvorgangs durch eine Gurtfördervorrichtung .
In der Fig. 1 ist eine Vereinzelungsvorrichtung 1 in einer vereinfachten, schematischen Anordnung dargestellt. Die Vereinzelungsvorrichtung 1 umfasst einen Behälter 2, in dem in einem Flüssigkeitsbad ein Stapel 4 scheibenförmiger Elemente 4.1, 4.2,... angeordnet ist. Der Stapel 4, dessen Stapelachse sich im Wesentlichen senkrecht zur Oberfläche der den Stapel 4 bildenden scheibenförmigen Elemente 4.1, 4.2,... erstreckt, ist auf einer Auflagevorrichtung 3 angeordnet. Die Auflagevorrichtung 3 kann im einfachsten Beispiel eine etwa L-förmige Geometrie aufweisen. Damit wird ein Umkippen in einer Richtung des Stapels vermieden.
Zum Abheben des jeweils ersten scheibenförmigen Elements 4.1 von dem Stapel 4 ist eine erste Gurtfördervorrichtung 5 vorgesehen. Die Gurtfördervorrichtung 5 umfasst einen endlosen Gurt 6, der über eine erste Antriebswalze 7 und eine zweite Antriebswalze 8 läuft. Die Förderrichtung des Gurts 6 ist in der Fig. 1 mittels eines Pfeils gekennzeichnet. Um den Gurt 6 in Bewegung zu versetzen, ist eine Antriebsvorrichtung 9 vorgesehen, die mit wenigstens einer der Antriebswalzen 7, 8 zusammenwirkt. Die Antriebswalzen 7, 8 sind über eine lediglich vereinfacht dargestellte Rahmenkonstruktion gehalten und werden mittels einer Halterung 10 ortsfest gehalten.
Zum Vereinzeln des jeweils ersten scheibenförmigen Elements 4.1 aus dem Stapel 4 wird der Stapel 4 in Richtung auf eine Oberfläche des Gurts 6 zubewegt, bis das erste scheibenförmige Element mit seiner von dem Stapel abgewandten Oberfläche an dem Gurt 6 anliegt. Der Gurt weist Öffnungen auf, durch die mittels einer ersten Saugvorrichtung ein erstes Medium angesaugt werden kann. Im Falle der ersten Gurtfördervorrichtung 5 ist die erste Saugvorrichtung und eine zweite Saugvorrichtung vorgesehen. Die erste Saugvorrichtung umfasst eine erste Pumpe 11 sowie ein mit der Saugseite der Pumpe 11 verbundenes Kanalsystem 12. Das Kanalsystem 12 ist in der Rahmenkonstruktion der ersten Gurtfördervorrichtung 5 so ausgebildet, dass zu dem Gurt 6 hin offene Kanäle in der Rahmenkonstruktion ausgebildet sind. Durch die Öffnungen des Gurtes 6 wird daher das in dem Behälter 2 vorhandene Medium angesaugt. Durch den so erzeugte Unterdruck bzw. die Strömung des Mediums durch den Gurt 6 hindurch wird eine Adhäsionskraft, die sich zwischen dem ersten scheibenförmigen Element 4.1 und dem Gurt 6 ausbildet, unterstützt. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist es zu erkennen, dass die Ansaugstrecke des Kanalsystems 12 so bemessen ist, dass ein Ansaugen von Medium lediglich unterhalb der Flüssigkeitslinie in dem Behälter 2 erfolgt.
In Transportrichtung anschließend folgt eine zweite Ansaugstrecke, die durch die zweite Saugvorrichtung gebildet wird. Im dargestellten Ausführungsbeispiel liegt dieser Teil der Gurtfördervorrichtung 5 bereits außerhalb der Flüssigkeit in dem Behälter 2. Durch die zweite Pumpe 13 wird dagegen das außerhalb der Flüssigkeit herrschende Medium, normalerweise Luft, angesaugt. Die zweite Pumpe 13 wirkt mit einem zweiten Kanalsystem 14 zusammen. Das zweite Kanalsystem 14 weist ebenfalls zum Gurt 6 hin offene Nuten auf, sodass die den Gurt außerhalb der Flüssigkeit umgebende Luft durch den Gurt hindurch angesaugt wird. Auch hier wird mittels des Unterdrucks die Adhäsion zwischen dem an dem Gurt 6 anhaftenden Wafer 4.1 unterstützt . Der Weitertransport der scheibenförmigen Elemente, also im bevorzugten Ausführungsbeispiel der Wafer wird durch eine zweite Transporteinrichtung vorgenommen. Im dargestellten Beispiel ist dies eine weitere Gurtfördervorrichtung 15. Die weitere Gurtfördervorrichtung ist prinzipiell entsprechend der ersten Gurtfördervorrichtung 5 aufgebaut. Auch hier wird ein endloser Gurt über eine erste Antriebswalze 17 und eine zweite Antriebswalze 18 geführt. Wenigstens eine der beiden Antriebswalzen 17, 18 ist mittels einer weiteren Antriebseinrichtung 20 angetrieben. Die erste Gurtfördervorrichtung 5 und die zweite Gurtfördervorrichtung 15 sind so angeordnet, dass die Transportebene, die durch die Oberfläche der beiden Gurte gebildet wird, in einer Ebene liegen. Damit ist ein Übergang von der ersten Gurtfördervorrichtung 5 zur zweiten Gurtfördervorrichtung 15 möglich, wobei die zu übergebenden scheibenförmigen Elemente 4, 1, 34, 23 jeweils sicher und stabil an dem Gurt 6 der ersten Gurtfördervorrichtung 5 bzw. dem Gurt der zweiten Gurtfördervorrichtung 15 anhaften. Um auch hier die Adhäsionskräfte zu unterstützen, ist eine weitere Saugoder Unterdruckeinrichtung vorgesehen. Diese Unterdruckeinrichtung umfasst eine dritte Pumpe 21, die mit einem dritten Kanalsystem 22 zusammenwirkt. Das Kanalsystem 22 weist wiederrum zum Gurt offene Nuten auf, die sich vorzugsweise über etwa die gesamte Transportlänge, die durch den Abstand der ersten Antriebswalze 17 zu der zweiten Antriebswalze 18 definiert ist, erstrecken. Zur mechanischen Fixierung ist eine weitere Halterung 19 vorgesehen, die die zweite Gurtfördervorrichtung 15 fluchtend zu der ersten Gurtfördervorrichtung 5 ebenfalls ortsfest hält.
Um den Stapel 4 nach dem Abtransport seines obersten Elements 4.1 weiter zu transportieren, wird bevorzugt der ganze Behälter 2 mit der fest darin angeordneten Auflagevorrichtung 3 relativ zu der ersten Gurtfördervorrichtung 5 bewegt. Hierzu ist der Behälter 2 auf einem Schlitten 31 einer Bewegungsvorrichtung 30 angeordnet. Der Schlitten 31 ist relativ zu einem Grundelement 32 des Antriebs bewegbar. Solche Linearantriebssysteme sind an sich bekannt. Mittels eines Motors 33 wird der Schlitten 31 auf dem Grundelement 32 bewegt. Die Bewegung kann getaktet oder kontinuierlich erfolgen. Bevorzugt wird eine getaktete Bewegung verwendet, um sicher einen Abtransport des ersten scheibenförmigen Elements 4.1 durch die erste Gurtfördervorrichtung 5 zu ermöglichen, bevor der nachrückende Stapel 4 das erste Element 4.1 einklemmt.
Bevor der Stapel 4 mit seinem ersten scheibenförmigen Element 4.1 in Anlage an den Gurt 6 gelangt, wird vorzugsweise eine Auffächerung des Stapels 4 durchgeführt. Diese Auffächerung wird mit Hilfe einer Düsenanordnung 25 bewirkt. Die Düsenanordnung 25 weist eine erste Gruppe von Düsen 26. i und eine zweite Gruppe von Düsen 27. i auf. Beaufschlagt werden die Düsen jeweils mit dem Medium in dem Behälter 2. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist hierzu eine weitere Pumpe vorgesehen, die aus dem Behälter 2 Flüssigkeit ansaugt und durch die Düsen 26. i, 27. i fördert. Die erste Gruppe von Düsen umfasst Vorvereinzelungsdüsen 26.1 bis 26.3. Die Strahlrichtung dieser Düsen 26.1 bis 26.3 ist etwa senkrecht zur Stapelachse orientiert. Damit dringt die durch die Düsen 26.1 bis 26.3 geförderte Flüssigkeit zwischen die scheibenförmigen gestapelten Elemente 4.1, 4.2, ... ein und löst diese voneinander. Beim Zuführen des ersten scheibenförmigen Elements 4.1 an dem Gurt 6 wird somit das Abziehen in vertikaler Richtung vereinfacht.
Es ist zu beachten, dass die Anordnung in der Fig. 1 lediglich beispielhaft gewählt wurde. Es ist folglich nicht erforderlich, dass ein Abtransport der scheibenförmigen Elemente in vertikaler Richtung erfolgt. Insbesondere kann die erste Gurtfördervorrichtung 5 so angeordnet sein, dass die Vereinzelung selbst in horizontaler Richtung erfolgt. Nach einer Übergabe an die zweite Gurtfördervorrichtung 15 kann dann beispielsweise lediglich durch die zweite Gurtfördervorrichtung 15 ein Weitertransport in vertikaler Richtung erfolgen.
Die Düsenanordnung 25 umfasst ferner wie bereits erläutert eine zweite Gruppe von Düsen 27.1, 27.2. Die Strahlrichtung dieser Düsen 27.1, 27.2 ist etwa parallel zur Stapelachse und auf den Gurt 6 der ersten Gurtfördervorrichtung 5 zu gerichtet. Mit Hilfe des so erzeugten Flüssigkeitsstroms wird das an dem Gurt 6 anhaftende erste scheibenförmige Element zusätzlich gegen den Gurt 6 gedrückt.
Dabei können insbesondere die seitlich des Stapels 4 angeordneten Düsen, in der Fig. 1 die Düse 27.2, mit einem geringfügigen Winkel auf die Stapelachse zu angeordnet sein.
Auch der Gurt der zweiten Gurtfördervorrichtung 15 ist vorzugsweise mit einem Lochmuster versehen, sodass durch die zweite Saugeinrichtung das Umgebungsmedium angesaugt werden kann.
Der Einfachheit halber ist im dargestellten Ausführungsbeispiel lediglich eine Düsenanordnung 25 vorgesehen. Es ist aber insbesondere zur Vorvereinzelung auch denkbar, dass mehrere Düsenanordnungen in Transportrichtung des Stapels 4 nacheinander vorgesehen sind. Die Düsenanordnung 25 ist ebenso wie die erste Gurtfördervorrichtung 5 und die zweite
Gurtfördervorrichtung 15 ortsfest angeordnet, wohingegen der Stapel 4 durch Bewegen des Behälters 2 relativ hierzu bewegt wird. Um noch einmal die Anordnung der beiden Gruppen von Düsen zu verdeutlichen, ist in Fig. 2 ein Ausschnitt der Fig. 1 aus einer anderen Perspektive gezeigt. Die Blickrichtung ist dabei so gewählt, dass von der ersten Gurtfördervorrichtung 5 aus die Düsenanordnung 25 betrachtet wird. Es ist zu erkennen, dass ein U-förmiges Halteelement 28 vorgesehen ist, welches in nicht gezeigter Weise ortsfest gehalten wird. Die Schenkel des grundsätzlich U-förmigen Halteelements 28 umgreifen den Stapel 4, dessen erstes Element 4.1 in der Figur zu sehen ist. An dem Träger 28 ist die erste Gruppe von Düsen 26.1 - 26.6 angeordnet. Die Abströmrichtung des Druckmittels aus diesen Düsen 26.1 - 26.6 ist in etwa senkrecht zur Stapelachse. Zusätzlich ist an den Träger 28 eine Mehrzahl von Düsen der zweiten Gruppe von Düsen 27.1 - 27.7 vorgesehen, die im Wesentlichen parallel zur Stapelachse ihre Hauptabströmrichtung haben. Die Düsen der ersten Gruppe und die Düsen der zweiten Gruppe können vorzugsweise durch eine gemeinsame Pumpe mit Flüssigkeit versorgt werden.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel der Fig. 1 ist es gezeigt, dass der Wechsel des Mediums aus dem Behälter heraus während des Vereinzelungsvorgangs durch die erste Gurtfördervorrichtung 5 erreicht wird. Ebenso ist es jedoch denkbar, dass die erste Gurtfördervorrichtung 5 so kurz ist, dass sie ausschließlich im Bereich der Flüssigkeit in dem Behälter 2 angeordnet ist. Die zweite Gurtf rdervorrichtung 15 ist dann so lang, dass bei dem Medienwechsel gleichzeitig ein Wechsel von der ersten Gurtfördervorrichtung 5 auf die zweite
Gurtfördervorrichtung 15 beim Transport eines scheibenförmigen Elements erfolgt. In diesem Fall ist vorzugsweise auch das Lochmuster, welches den Durchtritt des Mediums durch den jeweiligen Gurt der ersten Gurtfördervorrichtung 5 bzw. der zweiten
Gurtfördervorrichtung 15 ermöglicht, an das Medium angepasst. Alternativ ist es auch denkbar, dass auf die erste Saugvorrichtung zum Ansaugen der Flüssigkeit in dem Behälter 2 verzichtet wird und dort lediglich mit Hilfe von Adhäsionskräften und den Strömungen, die durch die zweite Gruppe von Düsen 27.1 - 27.7 erzeugt werden, gearbeitet wird.

Claims

Ansprüche
Vereinzelungsvorrichtung zum Vereinzeln von einen Stapel bildenden scheibenförmigen Elementen mit einem Behälter zum Aufnehmen des Stapels, wobei der
Behälter mit einer Flüssigkeit gefüllt ist, wobei die Vereinzelungsvorrichtung eine Vorrichtung zum
Aufnehmen und Abtransport eines jeweils ersten
Element des Stapels aufweist,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Vereinzelungsvorrichtung eine
Strömungserzeugungsvorrichtung aufweist, die
eingerichtet ist, wenigstens aus zwei
unterschiedlichen Richtungen eine Strömung der
Flüssigkeit in dem Behälter mit einer
Richtungskomponente auf die Stapelachse hin zu erzeugen .
Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Strömungserzeugungsvorrichtung eine Mehrzahl von Düsen umfasst.
Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Strahlrichtung der Düsen senkrecht auf der Stapelachse steht.
Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
dass die Strömungserzeugungsvorrichtung ein
wenigstens eine weitere Düse aufweist, deren
Strahlrichtung eine Richtungskomponente auf die Vorrichtung zum Aufnehmen und Abtransport auf weist
Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Vorrichtung zum Aufnehmen und Abtransport einen Gurtfördervorrichtung ist.
Vereinzelungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
dass sich die Stapelachse in vertikaler Richtung erstreckt und die Düsenanordnung symmetrisch zur Stapelachse verläuft.
PCT/EP2010/007263 2009-11-30 2010-11-30 Vereinzelungsvorrichtung WO2011063988A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009056342.3 2009-11-30
DE102009056342 2009-11-30

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2011063988A1 true WO2011063988A1 (de) 2011-06-03

Family

ID=43629214

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2010/007263 WO2011063988A1 (de) 2009-11-30 2010-11-30 Vereinzelungsvorrichtung

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE102010052987A1 (de)
TW (1) TW201128681A (de)
WO (1) WO2011063988A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012060130A (ja) * 2010-09-13 2012-03-22 Rena Gmbh 基板を分離並びに搬送する装置、及び、基板を分離並びに搬送する方法
WO2014012879A1 (de) 2012-07-20 2014-01-23 Xenon Automatisierungstechnik Gmbh Vorrichtung zum separieren von wafern
CN106180111A (zh) * 2016-08-24 2016-12-07 高佳太阳能股份有限公司 一种硅片自动插片机的上料装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19900671A1 (de) * 1999-01-11 2000-07-20 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten, insbesondere zur Waferherstellung
DE102005045583A1 (de) * 2005-05-20 2006-11-23 Brain, Bernhard Verfahren zur Vereinzelung von gestapelten, scheibenförmigen Elementen und Vereinzelungsvorrichtung
DE102006011870A1 (de) * 2006-03-15 2007-09-20 Insotech Ohg Vereinzelungsvorrichtung und Verfahren zur stückweisen Bereitstellung plattenförmiger Gegenstände
EP1935599A1 (de) * 2006-12-15 2008-06-25 Rena Sondermaschinen GmbH Vorrichtung und Verfahren zum Vereinzeln und Transportieren von Substraten
DE102007061410A1 (de) * 2007-12-11 2009-06-18 Gebr. Schmid Gmbh & Co. Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von Wafern von einem Waferstapel

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19900671A1 (de) * 1999-01-11 2000-07-20 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten, insbesondere zur Waferherstellung
DE102005045583A1 (de) * 2005-05-20 2006-11-23 Brain, Bernhard Verfahren zur Vereinzelung von gestapelten, scheibenförmigen Elementen und Vereinzelungsvorrichtung
DE102006011870A1 (de) * 2006-03-15 2007-09-20 Insotech Ohg Vereinzelungsvorrichtung und Verfahren zur stückweisen Bereitstellung plattenförmiger Gegenstände
EP1935599A1 (de) * 2006-12-15 2008-06-25 Rena Sondermaschinen GmbH Vorrichtung und Verfahren zum Vereinzeln und Transportieren von Substraten
DE102007061410A1 (de) * 2007-12-11 2009-06-18 Gebr. Schmid Gmbh & Co. Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von Wafern von einem Waferstapel

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012060130A (ja) * 2010-09-13 2012-03-22 Rena Gmbh 基板を分離並びに搬送する装置、及び、基板を分離並びに搬送する方法
WO2014012879A1 (de) 2012-07-20 2014-01-23 Xenon Automatisierungstechnik Gmbh Vorrichtung zum separieren von wafern
CN106180111A (zh) * 2016-08-24 2016-12-07 高佳太阳能股份有限公司 一种硅片自动插片机的上料装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201128681A (en) 2011-08-16
DE102010052987A1 (de) 2011-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2428987B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Vereinzeln und Transportieren von Substraten
DE60316624T2 (de) Anlage zum Behandeln von Substraten
DE102006011870B4 (de) Vereinzelungsvorrichtung und Verfahren zur stückweisen Bereitstellung plattenförmiger Gegenstände
WO2008003502A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum vereinzeln und transportieren von substraten
DE102010056123B3 (de) Drucktischanordnung, Verfahren zum Betreiben einer Drucktischanordnung
DE102014218313B4 (de) Transportvorrichtung für in einer Bearbeitungsmaschine zu bearbeitende und/oder dort bearbeitete Objekte
DE102007021512A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Vereinzelung
DE102008044919B4 (de) Vakuumbandförderer
WO2011063988A1 (de) Vereinzelungsvorrichtung
DE102018205944A1 (de) Drucksystem zum Bedrucken von Substraten, Verfahren zum Betreiben des Drucksystems
DE102010006760A1 (de) Vereinzelungsvorrichtung zum stückweisen Bereitstellen von scheibenförmigen Elementen aus einem in einer Flüssigkeit angeordneten Stapel
EP1935599B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Vereinzeln und Transportieren von Substraten
WO2010094502A1 (de) Vorrichtung zum vereinzeln von scheibenförmigen elementen
EP3247657B1 (de) Fertigungsanlage
EP3539883B1 (de) Tiefziehverpackungsmaschine mit folienumlenkung
DE102014218310A1 (de) Transportvorrichtung für in einer Bearbeitungsmaschine zu bearbeitende und/oder dort bearbeitete Objekte
EP1990293B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Vereinzelung
DE102005047268B4 (de) Vorrichtung zum Übergeben von Spritzen, Ampullen oder dergl.
DE202012102503U1 (de) Vorrichtung zum mehrspurigen Transport von flachen Gegenständen
EP1352862B1 (de) Verfahren zum wahlweisen Zuführen von Bogen oder Vorlaufbogen
DE102012221452A1 (de) Vorrichtung zum Separieren von Wafern
DE102014218308A1 (de) Transportvorrichtung für in einer Bearbeitungsmaschine zu bearbeitende und/oder dort bearbeitete Objekte
DE102018133455B4 (de) Transportverfahren und Halte- und Fördervorrichtung
DE10202646B4 (de) Transportvorrichtung für Datenträgerkarten
DE102018133451B4 (de) Haltevorrichtung sowie Verfahren zum Betreiben einer Haltevorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10798501

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 10798501

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1