DE19900671A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten, insbesondere zur Waferherstellung - Google Patents

Abstract

Zur Verbesserung der Vereinzelung von einander anhaftenden, scheibenförmigen Substraten, z. B. sogenannten Wafern, wird vorgeschlagen, zwei bereits getrennte benachbarte Substrate durch eine Bewegung im wesentlichen senkrecht zu ihren einander gegenüberliegenden Flächen zu vereinzeln, wobei gleichzeitig ein Fluidstrom zwischen die gegenüberliegenden Flächen eingebracht wird. Hierdurch läßt sich die Fehlerrate beim Vereinzeln der Substrate erheblich verringern.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Vereinzeln von schei­ benförmigen Substraten, insbesondere zur Waferherstellung.

Ein derartiges Verfahren bzw. eine derartige Vorrichtung kann zum automatischen Separieren von Substraten, z. B. sogenannten Wafern verwendet werden.

Solche Substrate werden üblicherweise aus einem blockförmigen, einstückigen Substratgrundkörper hergestellt, der bei Wafern aus Silizium besteht. Zur Erzeugung der scheibenförmigen Substrate wird der Substratgrundkörper durch ein Trennverfah­ ren, beispielsweise durch ein Sägen mit Hilfe einer Drahtsäge, in einzelne Scheiben zerlegt. Der Begriff Scheiben wird hier nicht lediglich im Sinne von runden Körpern verstanden, sondern generell für flache, platte Körper verwendet, deren Weitener­ streckung im Vergleich zur Dicke erheblich größer ist. Die Außenkontur in Weitenrich­ tung kann nahezu beliebig ausgebildet werden, z. B. rund, viereckig oder polygonal.

Die Herstellung der einzelnen Substrate erfolgt durch das Trennen des an einem Trä­ ger angebrachten Substratgrundkörpers in einzelne Substrate, die nach dem Trenn­ vorgang gemeinsam aufeinanderfolgend angeordnet über den Träger miteinander noch verbunden sind. Zur Trennung des Substratgrundkörpers in die einzelnen schei­ benförmigen Substrate können beliebige Trennverfahren verwendet werden, bei­ spielsweise das bereits oben genannte Sägen. Die über den Träger noch zusammen­ hängenden Substrate müssen zur weiteren Verwendung anschließend noch vereinzelt werden.

Üblicherweise wird während des Trennvorgangs eine Flüssigkeit, die oftmals auch als "Slurry" bezeichnet wird, verwendet. Diese Flüssigkeit dient unter anderem dazu, die beim Trennvorgang anfallenden Abraumpartikel, z. B. Späne, abzutransportieren. Die­ ses gelingt jedoch in der Praxis nicht vollständig, so daß nach dem Trennen in Zwi­ schenräumen zwischen den einzelnen Substraten ein Gemisch aus Flüssigkeit und Abraumpartikeln verbleibt, daß ein starkes Aneinanderhaften der jeweils einander ge­ genüberliegenden Seiten der scheibenförmigen Substrate bewirkt.

Die aneinanderhaftenden Substrate bilden den Ausgangszustand, an den nachfolgend die Vereinzelung der scheibenförmigen Substrate anschließt.

Aus dem Stand der Technik ist es bereits generell bekannt, die aneinanderhaftenden Substrate manuell zu vereinzeln. Bei der manuellen Vereinzelung greift eine Bedien­ person eine größere Anzahl zusammenhaftender Substrate und trennt diese en bloc durch manuelles, vorsichtiges Hin- und Herbiegen entlang einer Klebestrecke zwi­ schen dem jeweiligen Substrat und dem Träger. Bei diesem Vorgehen besteht die Gefahr, daß durch örtlich hohe Haltekräfte sogenannte Muschelausbrüche entstehen, und zwar insbesondere im Bereich der Fixierungsstellen der Substrate an dem Träger. Übersteigen diese Muschelausbrüche eine gewisse Größe bzw. Anzahl, müssen die Substrate ausgeschieden werden.

Nach dem Abtrennen eines Stapels von Substraten von dem Träger müssen die an­ einanderhaftenden Substrate durch die Bedienperson vereinzelt werden. Dabei dürfen lediglich die Kanten der Substrate berührt werden, da eine taktile Berührung der Trennflächen der Substrate durch die Bedienperson zu irreversiblen Beschädigungen führen kann. Die Vereinzelung erfolgt durch ein vorsichtiges Ergreifen eines Substra­ tes und eine Verschiebung des zu vereinzelnden Substrates gegenüber dem unmittel­ bar benachbarten Substrat parallel zu den Trennflächen der Substrate, in dem die Bedienperson das zu vereinzelnde Substrat über die Trennfläche des unmittelbar be­ nachbarten Substrates zieht. Solch eine Vorgehensweise bringt eine hohe Bruchrate sowie häufig Beschädigungen der Substrate an ihren Trennflächen mit sich.

Weiterhin ist aus der DE 197 23 078 A1 ein Verfahren zum automatischen Vereinzeln von Substraten bekannt. Die Vereinzelung der einzelnen Substrate erfolgt auch hier wieder, wie bei der manuellen Vereinzelung, durch eine Parallelverschiebung des zu vereinzelnden Substrates gegenüber dem unmittelbar benachbarten Substrat in deren gemeinsamer Trennebene. Wie bei dem manuellen Vereinzeln können auch hier Schädigungen der Trennflächen der Substrate auftreten.

Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, die Fehlerrate bei dem Vereinzeln der Substrate zu verringern.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten, die gemeinsam aufeinanderfolgend an einem Träger fixiert sind und aus einem zuvor an dem Träger angebrachten Substratgrundkörper durch Trennen erhalten werden, wobei zwei bereits getrennte, benachbarte Substrate durch eine Bewegung im wesentlichen senkrecht zu ihren einander gegenüberliegen­ den Flächen vereinzelt werden, unter Einführung eines Fluidstromes zwischen diese gegenüberliegenden Flächen.

Die Anmelderin hat festgestellt, daß durch eine solche Verfahrensweise, bei der be­ nachbarte Trennflächen während des Vereinzelungsvorganges nicht mehr aneinander gleiten, die Fehlerrate der Substrate erheblich verringert werden kann.

Die vorgenannte Aufgabe wird überdies erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrich­ tung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten mit einem Träger zum ge­ meinsamen, aufeinanderfolgenden Fixieren mehrerer Substrate, die durch Trennen aus einem zuvor an dem Träger angebrachten Substratgrundkörper erhalten sind, einer Vorrichtung zur Zufuhr eines Fluidstromes, dessen Fluidstromrichtung zwischen gegenüberliegende Flächen des zu vereinzelnden Substrates sowie dessen benach­ bartes Substrat gerichtet ist, und mindestens einer Vorrichtung zum Bewegen des zu vereinzelnden Substrates in eine Richtung im wesentlichen senkrecht zu den gegen­ überliegenden Flächen.

Neben der Unterstützung des Trennvorganges werden durch den Fluidstrom auch im Bereich der Trennflächen vorhandene Abraumpartikel beseitigt. Als Fluid kommen sowohl Flüssigkeiten als auch Gase, beispielsweise feuchte oder gesättigte Dämpfe in Frage. Auch können Flüssigkeit-Gasgemische, z. B. zerstäubte Flüssigkeiten, einge­ setzt werden. Vorzugsweise werden jedoch Flüssigkeiten verwendet.

Zur Erzielung eines besonders guten Trennverhaltens wird der Fluidstrom in die Richtung der Trennebene zwischen gegenüberliegenden Flächen der zu vereinzeln­ den Substrate gerichtet. Vorzugsweise wird der Fluidstrom im Bereich der Fixie­ rungsstelle des zu vereinzelnden Substrats an dem Träger eingebracht, da dort auf­ grund der Verbindung der Substrate mit dem Träger die jeweils benachbarten Substrate nach dem Trennvorgang bereits voneinander getrennt sind, tendenziell je­ doch an dem gegenüberliegenden Ende aneinander anhaften.

Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung wird der Fluidstrom derart einge­ bracht, daß dieser die Bewegung des zu vereinzelnenden Substrates im wesentlichen senkrecht zu der gegenüberliegenden Fläche unterstützt, also tendenziell dem Anhaf­ ten benachbarter Substrate entgegenwirkt. Unter einer im wesentlichen senkrecht zu den gegenüberliegenden Flächen erfolgten Bewegung sind sämtliche Bewegungen zu verstehen, bei denen im Moment der Aufhebung des Anhaftens eine Bewegungskom­ ponente in Richtung senkrecht zu den Trennflächen dominiert, was beispielsweise eine Kippbewegung des zu vereinzelnden Substrates gegenüber dem benachbarten Substrat mit einschließt. Nicht eingeschlossen ist jedoch eine Bewegung, bei der die Substrate in der Trennebene mit ihren gegenüberliegenden Flächen gegeneinander verschoben werden.

Es ist daher vorteilhaft, einen weiteren Fluidstrom, vorzugsweise Flüssigkeitsstrom auf das zu vereinzelnde Substrat aufzubringen, der eine Richtungskomponente in Rich­ tung der Vereinzelungsbewegung im wesentlichen senkrecht zu den gegenüberlie­ genden Flächen aufweist. So kann auch das zu vereinzelnde Substrat um seine Fixie­ rungsstelle, d. h. den Ort seiner Verbindung mit dem Träger, geschwenkt werden.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird vor und/oder bei der Vereinzelungsbewegung die Fixierungsstelle in Anlage gegen einen Anschlag ge­ bracht, und zwar auf der Seite, in deren Richtung das zu vereinzelnde Substrat be­ wegt wird. Durch die Relativbewegung zwischen Anschlag und Substrat kann eine besonders saubere Trennung zwischen letzterem und dem Träger erzielt werden. Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann vor und/oder bei der Verein­ zelungsbewegung ein Sauggreifer die Seite des zu vereinzelnden Substrates ergrei­ fen, in deren Richtung das zu vereinzelnde Substrat bewegt wird. Der Sauggreifer kann an Stelle oder in Ergänzung zu dem zuvor genannten Anschlag verwendet wer­ den, um den eigentlichen Abtrennvorgang von dem Träger zu bewirken oder zumin­ dest zu unterstützen. Gleichsam kann mittels des Sauggreifers das bereits erfaßte, vereinzelte Substrat unmittelbar an einen Carrier zum Weitertransport übergeben werden. Unter dem Carrier wird eine Fördervorrichtung zum kontinuierlichen oder schrittweisen Weitertransport der Substrate verstanden, sowie alternativ auch ein Transport oder Lagerbehälter, in dem die vereinzelten Substrate allein oder in Grup­ pen abgelegt werden.

Alternativ hierzu kann nach dem vollständigen Abtrennen des zu vereinzelnden Substrates von dem Träger dieses Substrat durch einen Flüssigkeitsstrom in ein Bad geleitet werden, von wo es dann dem Weitertransport übergeben wird. In diesem Fall dient eine geeignet ausgebildete Flüssigkeitsstromfördervorrichtung der Abführung des vereinzelten Substrates. Prinzipiell kann diese Flüssigkeitsvorrichtung jedoch auch zusammen mit dem Sauggreifer betrieben werden, wenn letzterer vor allem zur Bewirkung oder Unterstützung des eigentlichen Ablösevorganges eingesetzt wird.

Vorzugsweise werden zur einfacheren Abfuhr des Fluidstroms und der Abraumpartikel die Substrate in hängender Anordnung an dem Träger gehandhabt. Dies ist insbeson­ dere auch bei der durch einen Flüssigkeitsstrom geführten Abförderung der einzelnen Substrate vorteilhaft.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird eine Vorderseite der Substrate mit einem reinigenden Fluidstrom, vorzugsweise Flüssig­ keitsstrom, beaufschlagt. Hierdurch werden die an dem jeweils vordersten, zu verein­ zelnden Substrat aus dem Trennvorgang verbleibenden Abraumpartikel zuverlässig entfernt, so daß die Substrate bereits vorgereinigt aus dem Vereinzelungsvorgang erhalten werden.

Nach einer Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist der Träger im Bereich der Fixierstellen der Substrate mindestens eine Durchgangsöffnung auf, und die Fluidstromzufuhrvorrichtung ist derart angeordnet, daß deren Fluidstromrichtung durch die Durchgangsöffnung läuft. Hierdurch wird sichergestellt, daß ein Fluidstrom stets zwischen das zu vereinzelnde Substrat und das unmittelbar benachbarte Substrat eingebracht werden kann, selbst dann, wenn diese partiell aneinander anhaf­ ten.

Nach einer weiteren Ausgestaltung der Vereinzelungsvorrichtung wird die Vorrichtung zum Bewegen des zu vereinzelnden Substrates durch eine weitere Fluidstromzufuhr­ vorrichtung gebildet, deren Fluidstromrichtung eine Richtungskomponente in Richtung senkrecht zu den gegenüberliegenden Flächen aufweist, wodurch neben einem Reini­ gungseffekt das Ablösen des zu vereinzelnden Substrates von dem Träger begün­ stigt wird, bei ausreichendem Strömungsdruck auch bereits hierdurch die Ablösung erzielt werden kann.

Zur Erzielung einer besonders sauberen Trennkante an der Fixierstelle des Substra­ tes ist ein Anschlag, vorzugsweise in Form eines Stößels oder einer Schneide vorge­ sehen, der zur Anlage gegen die Fixierstelle eines vordersten, zu vereinzelnden Substrates in Anlage bringbar ist, wobei Träger und Substrat einerseits und der An­ schlag andererseits relativ zueinander bewegbar angeordnet sind. Die Ablösung kann durch eine ausreichend hohe Stoßkraft bewirkt werden. Diese kann geringer ausfal­ len, wenn die zuvor genannte weitere Fluidstromzufuhrvorrichtung den Ablösevorgang durch ein geeignetes Druckniveau unterstützt.

Nach einer weiteren Ausgestaltung der Vorrichtung ist ein gegenüber dem Träger be­ wegbarer Sauggreifer vorgesehen, der derart angeordnet und ausgebildet ist, um das zu vereinzelnde Substrat zu erfassen und an einen anderen Ort zum Weitertransport zu transferieren. Der Sauggreifer kann sowohl zur Unterstützung als auch zur Bewir­ kung der Ablösung des Substrates verwendet werden.

Zum Weitertransport kann alternativ eine Flüssigkeitsstrahlfördervorrichtung vorgese­ hen werden, die zum Transportieren eines abgelösten, zu vereinzelnden Substrates ausgebildet ist.

Nach einer weiteren Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist ein Carrier vorgesehen, auf dem die abgelösten, zu vereinzelnden Substrate ablegbar und weiter­ transportierbar sind. Zur besseren Abfuhr der Abraumpartikel und eines zugeführten Fluides sind die Substrate in hängender Anordnung an dem Träger fixiert.

Vorzugsweise ist überdies eine Reinigungsvorrichtung vorgesehen, die das jeweils vorderste Substrat mit einem reinigenden Fluidstrom beaufschlagt, wodurch nach dem Ablösevorgang die vereinzelten Substrate im vorgereinigten Zustand erhalten werden.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung gezeigten Ausfüh­ rungsbeispieles dargestellt. Die Zeichnung zeigt:

Fig. 1A eine räumliche Darstellung eines an einem Träger angebrachten Substratgrundkörpers,

Fig. 1B einen Schnitt entlang der Linie A-A von Fig. 1A,

Fig. 2 eine Darstellung der Fluidstromzufuhrvorrichtung in Zusammenwirkung mit dem Substratgrundkörper,

Fig. 3 die Fluidstromzufuhrvorrichtung in Zusammenwirkung mit dem in ein­ zelne, scheibenförmige Substrate aufgetrennten Substratgrundkörper, mit aneinander anhaftenden Substraten,

Fig. 4 die Situation von Fig. 3 nach Aufhebung der Anhaftung des vordersten Substrates,

Fig. 5 den Ablösevorgang des vordersten Substrates unter Verwendung eines Anschlages und eines zusätzlichen Fluidstromes,

Fig. 6 einen alternativen Ablösevorgang unter Verwendung eines Sauggreifers und eines zusätzlichen Fluidstromes, und

Fig. 7 die Reinigung eine Vorderseite des vordersten Substrates.

Zur Herstellung von scheibenförmigen Substraten, wie z. B. sogenannten Wafern, aus einem Halbleitermaterial, z. B. Silizium oder anderen Materialien, wird ein blockartiger Substratgrundkörper 1 mittels eines Haftmittels 3 an einem Träger befestigt. Dieser Träger besteht, wie in Fig. 1A und 1B gezeigt, aus zwei Platten 2 und 4 in geschichte­ ter Anordnung.

Zur Trennung des Substratgrundkörpers 1 in einzelne scheibenförmige Substrate 6A, 6B, 6C wird dieser einem Trennverfahren unterworfen, beispielsweise indem der Block mittels einer Drahtsäge in einzelne Substrate zerschnitten wird. Während des Trennvorganges werden die einzelnen scheibenförmigen Substrate 6A, 6B, 6C von­ einander vollständig getrennt. Gleichfalls wird in die Haftmittelschicht 3 sowie in die nächstfolgende Platte 2 eingeschnitten. Die letzte Platte 4, über die der Anschluß an einen Support einer Vorschubvorrichtung erfolgt, bleibt unbearbeitet. Nach dem Auf­ trennen des Substratgrundkörpers 1 in einzelne Substrate 6A, 6B, 6C ergibt sich die in Fig. 3 dargestellte Anordnung, bei der die Substrate noch über den Träger miteinan­ der verbunden sind. Wie in Fig. 3 dargestellt, neigen die freien Enden der Substrate 6A, 6B und 6C dazu, aneinander anzuhaften. Aufgrund der Fixierung der Substrate an dem Träger bleibt jedoch zumindest im Bereich der Fixierstellen, d. h. der Orte, an de­ nen die Substrate über das Haftmittel 3 mit dem Träger verbunden sind, stets ein Zwi­ schenraum 13 zwischen zwei benachbarten Substraten vorhanden.

Wie insbesondere in Fig. 1A und 1B zu erkennen ist, sind die beiden Trägerplatten 2 und 4, sowie auch das Haftmittel 3, jeweils mit einer Durchgangsöffnung 12, 11 ver­ sehen, die einen Zugang zu den Zwischenräumen 13 durch den Träger hindurch er­ möglicht. Nach dem erfolgten Trennvorgang an dem Substratgrundkörper 1 wird der Träger mit den noch zu vereinzelnden Substraten 6A, 6B, 6C in einer Stellung relativ zu einer Vorrichtung 5 zur Zufuhr eines Fluidstromes S1 gebracht, so daß diese, die im folgenden auch als Düse 5 bezeichnet werden wird, ein Fluid in den Zwischenraum 13 zwischen dem vordersten, zu vereinzelnden Substrat 6A und dessen benachbarten Substrat 6B einbringen kann. Alternativ kann die Düse 5 zu dem Träger oder auch beide zueinander bewegt werden.

Durch den in den Zwischenraum 13 eingebrachten Fluidstrom werden die aneinan­ derhaftenden Enden der hier in hängender Formation an dem Träger angebrachten Substrate 6B voneinander getrennt. Das hier als Flüssigkeit verwendete Fluid entfernt überdies an den einander gegenüberliegenden Trennflächen 14A und 14B der be­ nachbarten Substrate 6A und 6B anhaftende Abraumpartikel bzw. Späne sowie evtl. anhaftende Flüssigkeitsreste aus dem vorhergehenden Trennvorgang.

Fig. 4 zeigt einen Zustand, in dem das vorderste, zu vereinzelnde Substrat 6A von den restlichen Substraten 6B, 6C nach dem Einsprühen von Flüssigkeit durch die Dü­ se 5 bereits abgelöst ist. Zur Unterstützung der weiteren Trennung ist eine zusätzliche Fluidstromzufuhrvorrichtung in Form einer weiteren Düse 7 der erstgenannten Düse 5 gegenüberliegend angeordnet, deren Flüssigkeitsstrom eine Richtungskomponente in Richtung der Vereinzelungsbewegung im wesentlichen senkrecht zu den gegenüber­ liegenden Flächen 14A und 14B besitzt. Bei ausreichend hohem Strömungsdruck kann diese zusätzliche Düse 7 dazu verwendet werden, das zu vereinzelnde Substrat 6A um die Fixierstelle zu schwenken, d. h. in Fig. 4 im Gegenuhrzeigersinn, um so dieses Substrat 6A vollständig von dem Träger und somit dem Substratstapel 6B, 6C zu lösen. Selbstverständlich können neben der Düse 7 weitere Düsen mit einer gleichartigen Richtungskomponente zur Unterstützung der Ablösebewegung oder auch allein zur Bewirkung der Ablösebewegung eingesetzt werden.

Zur Erzielung einer besonders sauberen Trennkante wird, wie in Fig. 5 gezeigt, ein Anschlag 8 verwendet, der zu dem Träger relativ bewegbar ist. Dieser Anschlag 8 kann in Form eines Stößels oder Messers mit einer Schneide ausgebildet werden und durch eine geeignete Stoßkraft den Ablösevorgang bewirken oder in Zusammenwir­ kung mit der Düse 7 bei einem geeigneten Druckniveau vorzeitig einleiten. Wie in Fig. 5 gezeigt, greift der Anschlag 8 entlang des Haftmittels 3, und insbesondere entlang der Fixierungsstelle des zu vereinzelnden Substrates 6A mit dem Träger an. Die Trennung kann auch entlang der Trägerplatte 2 erfolgen.

Nach dem vollständigen Abtrennen des zu vereinzelnden Substrates 6A von dem Träger wird dieses aus seiner hängenden Anordnung befreit und mit Hilfe einer Flüs­ sigkeitsstrahlfördervorrichtung in ein Sammelbad geleitet. Die Flüssigkeitsstrahlförder­ vorrichtung weist geeignete Düsen zur Definierung eines vorgebbaren Förderweges auf. Aus diesem Sammelbad werden dann die Substrate einzeln heraustransportiert.

Alternativ zu der in der Fig. 5 gezeigten Vorgehensweise kann an Stelle des Anschla­ ges 8 ein Sauggreifer 9 verwendet werden, der an geeigneter Stelle zu dem Träger positionierbar bewegbar angeordnet ist. Der Sauggreifer besitzt einen Saugkopf 15 mit Saugdüsen 16, die gegen eine Stirnseite 17 des vordersten, zu vereinzelnden Substrates 6A in Anlage bringbar sind. Der Sauggreifer 9 greift, wie in Fig. 6 gezeigt, an das noch nicht vollständig abgelöste, zu vereinzelnde Substrat 6A an und bewirkt zusammen mit der zusätzlichen Düse 7 den eigentlichen Ablösevorgang. Nach dem Ablösen bleibt das Substrat 6A an dem Saugkopf 15 haften und wird durch eine Transferbewegung, beispielsweise ein Verschwenken des Sauggreifers 9 an einen Carrier (nicht dargestellt) übergeben. Dieser Carrier kann eine kontinuierliche oder schrittweise arbeitende Transportvorrichtung eines Teils einer Produktionslinie einer Waferherstellung sein. Genauso wird hierunter ein Transport oder Lagerbehälter ver­ standen, in dem abgelöste Substrate einzeln oder in Gruppen abgelegt werden.

Es ist auch möglich, den Anschlag 8 der in Fig. 5 dargestellten Vorrichtung bei der in Fig. 6 dargestellten Vorrichtung zu verwenden, wobei dann dem Sauggreifer im we­ sentlichen die Transportfunktion zur Weiterförderung eines abgelösten Substrates 6A zukommt.

Fig. 7 zeigt eine Düsenanordnung mit zusätzlichen Reinigungsdüsen 10, die sowohl einen Flüssigkeitsstrom S4 frontal auf die Stirnseite 17 des vordersten Substrates 6A richten sowie zusätzliche Reinigungsströme S3, die im wesentlichen in Richtung der Trennebene zwischen zwei benachbarten Substraten ausgerichtet und gegenüber der eigentlich Fluidzufuhrvorrichtung 5, die dem Lösen der anhaftenden Enden benach­ barte Substrate dient, geneigt angeordnet sind. Mit einer solchen Anordnung läßt sich das zu vereinzelnde Substrat 6A allseitig reinigen, so daß nach dem Vereinzelungs­ vorgang ein Substrat 6A im bereits gereinigten Zustand erhalten wird. Der Reini­ gungsvorgang kann vor und/oder während des Ablösevorganges ausgeführt werden.

Alternativ zu den in den Figuren dargestellten Anordnungen mit hängenden Substra­ ten 6A, 6B, 6C ist es auch möglich, den Substratstapel senkrecht stehend oder in ei­ nem zur Senkrechten gekippten Zustand anzuordnen. Im letzteren Fall erfolgt das Kippen vorzugsweise derart, daß die freien Enden der Substrate 6A, 6B, 6C zur Er­ leichterung des Abtransportes des Fluids nach unten gerichtet sind.

Mit der beschriebenen Ausführungsform sowie den aufgezeigten alternativen Ausge­ staltungsformen läßt sich die Fehlerrate bei der Herstellung von Substraten, wie z. B. sogenannten Wafern erheblich verringern.

Claims (23)

1. Verfahren zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten (6A, 6B, 6C), ins­ besondere zur Herstellung von Wafern, die gemeinsam aufeinanderfolgend an einem Träger (2, 4) fixiert sind und aus einem zuvor an dem Träger (2, 4) angebrachten Substratgrundkörper durch Trennen erhalten werden, dadurch gekennzeichnet, daß zwei bereits getrennte, benachbarte Substrate (6A, 6B) durch eine Bewegung im we­ sentlichen senkrecht zu ihren einander gegenüberliegenden Flächen (14A, 14B) ver­ einzelt werden, unter Einführung eines Fluidstromes (S1) zwischen diesen gegen­ überliegenden Flächen (14A, 14B).

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen die ge­ genüberliegenden Flächen (14A, 14B) ein Flüssigkeitsstrom eingebracht wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Fluid­ strom in die Richtung der Trennebene zwischen die gegenüberliegenden Flächen (14A, 14B) gerichtet wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Fluidstrom im Bereich der Fixierungsstelle des zu vereinzelnden Substrats (6A) an dem Träger (2, 4) eingebracht wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Fluidstrom (S1) derart eingebracht wird, daß dieser die Bewegung des zu verein­ zelnden Substrats (6A) im wesentlichen senkrecht zu den gegenüberliegenden Flä­ chen (14A, 14B) unterstützt.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein weiterer Fluidstrom (S2), vorzugsweise ein Flüssigkeitsstrom, auf das zu verein­ zelnde Substrat (6A) aufgebracht wird, der eine Richtungskomponente in Richtung der Vereinzelungsbewegung im wesentlichen senkrecht zu den gegenüberliegenden Flä­ chen (14A, 14B) aufweist.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das zu vereinzelnde Substrat (6A) bei der Bewegung im wesentlichen senkrecht zu den gegenüberliegenden Flächen (14A, 14B) um seine Fixierungsstelle an dem Träger (2, 4) geschwenkt wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß vor und/oder bei der Vereinzelungsbewegung im wesentlichen senkrecht zu den ge­ genüberliegenden Flächen (14A, 14B) die Fixierungsstelle oder das Substrat (6A) ge­ gen einen Anschlag (8) in Anlage gebracht wird, und zwar auf der Seite, in deren Richtung das zu vereinzelnde Substrat (6A) bewegt wird.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Vereinzelungsbewegung im wesentlichen senkrecht zu den gegenüberliegen­ den Flächen (14A, 14B) ein Sauggreifer (9) die Seite (17) des zu vereinzelnden Substrats (6A) ergreift, in dessen Richtung das zu vereinzelnde Substrat bewegt wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Sauggreifer (9) das vereinzelte Substrat (6A) an einen Carrier zum Weitertransport übergibt.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß nach vollständigem Abtrennen des zu vereinzelnden Substrats (6A) von dem Träger (2, 4) dieses Substrat (6) durch einen Flüssigkeitsstrom in ein Bad geleitet wird, von wo es dann dem Weitertransport übergeben wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Substrate (6A, 6B, 6C) in hängender Anordnung an dem Träger (2, 4) gehandhabt werden.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vorderseite (17) der Substrate (6A, 6B, 6C) mit einem reinigenden Fluidstrom, vorzugsweise einem Flüssigkeitsstrom beaufschlagt wird.

14. Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten (6A, 6B, 6C), ins­ besondere zur Herstellung von Wafern, mit:
einem Träger (2, 4) zum gemeinsamen, aufeinanderfolgenden Fixieren mehre­ rer Substrate (6A, 6B, 6C), die durch Trennen aus einem zuvor an dem Träger ange­ brachten Substratgrundkörper (1) erhalten sind,
einer Vorrichtung (5) zur Zufuhr eines Fluidstroms (S1), deren Fluidstromrich­ tung zwischen gegenüberliegende Flächen (14A, 14B) des zu vereinzelnden Substrats (6A) sowie dessen benachbartes Substrat (6B) gerichtet ist, und
mindestens einer Vorrichtung (5, 7, 8, 9) zum Bewegen des zu vereinzelnden Substrates (6A) in eine Richtung im wesentlichen senkrecht zu den gegenüberliegen­ den Flächen (14A, 14B).

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Fluidstrom­ zufuhrvorrichtung (5) einen Flüssigkeitsstrom bereitstellt.

16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (2, 4) im Bereich von Fixierstellen der Substrate (6A, 6B, 6C) an demselben mindestens eine Durchgangsöffnung (11, 12) aufweist und die Fluidstromzufuhrvorrich­ tung (5) derart angeordnet ist, daß in der Stellung zum Abtrennen des zu vereinzeln­ den Substrates deren Fluidstromrichtung durch die Durchgangsöffnung (11, 12) ver­ läuft.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 16 dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zum Bewegen des zu vereinzelnden Substrates (6A) durch eine weitere Fluidstromzufuhrvorrichtung (7) gebildet wird, deren Fluidstromrichtung eine Richtungskomponente in Richtung senkrecht zu den gegenüberliegenden Flächen (14A, 14B) aufweist.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß ein Anschlag (8), vorzugsweise in Form eines Stößels oder einer Schneide vor­ gesehen ist zur Anlage gegen die Fixierstelle eines vordersten, zu vereinzelnden Substrates (6A), wobei der Träger (2, 4) und die Substrate (6A, 6B, 6C) einerseits und der Anschlag (8) anderseits relativ zueinander bewegbar angeordnet sind.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß ein gegenüber dem Träger (2, 4) bewegbarer Sauggreifer (9) vorgesehen ist, der derart angeordnet ist und ausgebildet ist, um das zu vereinzelnde Substrat (6A) zu erfassen und an einen anderen Ort zum Weitertransport zu transferieren.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß eine Flüssigkeitsstrahlfördervorrichtung vorgesehen ist, die zum Transportieren eines abgelösten, vereinzelten Substrates (6A) mittels eines Flüssigkeitsstroms aus­ gebildet ist.

21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß ein Carrier vorgesehen ist, auf dem die abgelösten, zu vereinzelnden Substrate (6A, 6B, 6C) ablegbar und weitertransportierbar sind.

22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Substrate (6A, 6B, 6C) in hängender Anordnung an dem Träger (2, 4) fixiert sind.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß eine Reinigungsvorrichtung vorgesehen ist, die das jeweils vorderste Substrat (6A) mit einem reinigenden Fluidstrom beaufschlagt.