CN102369151A - 用于分离板型元件的设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于将盘形元件从堆(2)中分离的设备。所述设备具有第一带式传送器设备(6)和第二带式传送器设备(7)。所述第一带式传送器设备(6)被提供用于在每种情况下接收来自于所述堆(2)的一个盘型元件。所述第二带式传送器设备(7)被提供用于进一步输送并用于将所述盘型元件放置在通向更远的输送设备(8)上。所述第一带式传送器设备(6)和所述第二带式传送器设备(7)被连接到产生真空的设备(VP)。所述第一带式传送器设备(6)的第一带具有第一开口，所述第二带式传送器设备(7)的第二带具有第二开口，所述第二开口的开口横截面比所述第一开口的开口横截面小。

Description

用于分离板型元件的设备

技术领域

本发明涉及一种用于将板型元件从堆中分离的设备。

背景技术

用于分离堆叠的板型元件的带传送器装置的使用是已知的，例如，DE 102006011 870 A1。堆沿其堆叠轴线方向被朝向带移动。带本身沿真空压力设备被引导并提供若干开口，周围的介质通过该开口被吸入真空压力设备中。在待分离的堆的元件的表面与带接触的情况下，形成真空压力，其将待分离的元件保持在带上。带移动的方向和堆叠轴线的朝向被设置为彼此垂直。结果，待分离的元件关于堆叠轴线被横向地从堆收回并被供应到进一步输送机构。

为了移除下一个板型元件，堆然后再次沿堆叠轴线的方向被引导朝向带。在从DE 10 2006011 870 A1中已知的分离设备的情况下，进一步带传送器被布置在第一带传送器之后。当安装有真空压力设备的第一带传送器被提供用于在每种情况下沿与重力相反的竖直方向将第一板型元件从堆中移除时，传送方向相对于第一带传送器的传送方向倾斜大约45度的带传送器被布置在这个之后。进一步带传送器被布置为与第一带传送器的带相反，使得被从堆横向移除的元件夹在第一带传送器和进一步带传送器之间并以这种方式被输送。在离开第一带传送器的带之后，待输送的元件落到为此目的被布置为与前者对角地布置的后面的带传送器的部件上。如果重力不充分，为了实现任意潜在粘附的板型元件的可靠的释放，在进一步带传送器上布置剥离设备。

已知的传送器设备提供若干缺点。例如，直到传递到用于进一步输送的设备，只有第一带传送器被提供，其牵引周围流体通过被提供有穿孔以释放所述堆的第一元件的皮带。相反，后面的输送和传送器设备的进一步的带不被穿孔并且也没有提供真空压力设备。在这种情况下，只有基于通过粘附产生的力以及分别地基于重力，输送才是可能的。在半导体产品的制造中，经常需要分离例如来源于切割过程的晶片堆。此时，所述堆被设置在液池中。为了允许该情况下单独晶片的可靠提升，真空压力被用于第一带传送器中。所述堆沿水平方向被提供，使得传送方向垂直于堆叠轴线延伸，并且因此，第一元件在每种情况下沿垂直方向被从液池中收回。在整个输送距离上，被移除的板型元件可靠地粘附在带上是必须的。为此，在DE 10 2006011 870 A1的情况下，使用了根据给定类型穿孔的带。然而，在提升之后，仅通过粘附或板型元件在两个带之间夹住而提供保持。因此，保持力非常不确定，并且因为不能保证可靠地传递至另外的输送设备，所以在生产过程中频繁地发生问题。

发明内容

因此本发明基于提供一种分离设备的目的，其中板型元件能被单独地从堆引导至另外的输送设备。

该目的通过根据具有权利要求1中指定的特征的本发明而实现。

如权利要求1中指定，根据本发明的用于将板型元件从堆中分离的分离设备提供第一带式传送器设备和第二带式传送器设备。在本文中，第一带式传送器设备用于在每种情况下接收来自于堆的一个板型元件，第二带式传送器设备被用于进一步输送并用于将所述板型元件放置在另外的输送设备上。根据本发明，所述第一带式传送器设备和所述第二带式传送器设备被连接到产生真空压力的设备，例如真空泵。同时所述第一带式传送器设备的第一带提供第一横截面的开口，第二开口被引入所述第二带式传送器设备的第二带中。在本文中提供的所述第一带式传送器设备的所述开口的横截面比所述第二带传送设备的第二开口相对较大。用于第一带式传送器设备并还用于第二带式传送器设备的真空压力设备的提供确保板型元件安全地粘附在各自的带上。同时，当板型元件被从液池中移除时可能发生的干燥通过第一带的开口和第二带的开口的不同横截面积避免。通过基于所产生的真空压力的可靠粘附相当大地简化进一步的处理。特别地，避免了板型元件在被最终放置到另外的输送设备上之前过早的掉落。由于真空压力也能可靠粘附到第二带式传送器设备的板型元件能与第二带式传送器设备一起移动，所以能够实现目标放置。因此，另外的输送设备上的主动放置是可能的。

根据本发明的设备的有利的进一步优选方案在从属权利要求中指定。

特别地，如果第一带的开口被作为凹部引入、同时切口被引入第二带中以形成开口是有利的。大开口对于板型元件从堆中的释放是有利的。由于真空压力设备，相对大体积流能通过这里。因此，用相对大的力实现从堆吸引板型元件。然而，在已经从液池中移除的元件提升之后，由于在板型元件不与带接触的区域中存在开口，那里的板型元件的表面存在干燥的危险。这是不合要求的，因为它能导致不合格品的增加。因此，在第二带中仅引入切口被作为开口。事实上，仍然可能产生通过切口在带上增加保持力的真空压力。同时，然而，防止了板型元件的暴露表面的干燥。切口引入进一步带确保板型元件的表面与带接触，由此防止表面的干燥，为了简化的目的，板型元件在下文中还以通常的术语被称为晶片。

而且，第二带式传送器设备优选提供以可旋转方式布置的至少一部分。关于第一带式传送器设备的传送平面被执行的旋转允许板型元件在与第一带式传送器设备相同的传送平面传递以及在相对于与第一带式传送器设备相同的传送平面倾斜的平面、尤其是水平面中放置。在该旋转的第二位置，板型元件从第二带式传送器设备的可旋转的并且被供应到另外的输送设备的部分的带释放。这能够通过放置到带齿轮或进一步传送带上而简单实现。因此避免为了将板型元件放置到进一步成角度延伸的传送平面上而发生的不受控制的倾斜。可旋转部分以这种方式布置使得最初在可旋转部分的起始位置，第一带式传送器设备的传送平面平行于第二带式传送器设备的可旋转部分的传送平面。在本文中，在每种情况下，带与板型元件之间的接触表面被设置在其中的平面被定义为传送平面。第二带式传送器设备的部分的第二、旋转位置以这种方式被选择使得传送平面与第一带式传送器设备的传送平面在此位置中围起一角度。这两个平面之间的相交线优选被设置为垂直于两个传送方向。

因此，如果第二带式传送器设备提供第一部分和第二部分，则特别有利。在本文中，第一部分的传送平面优选与第一带式传送器设备的传送平面相同，使得，在该部分上，板型元件沿竖直方向被进一步输送。因此，与液池的距离最初被增加。通常可能需要相对更大，因为另外的输送设备本身提供给定的结构高度。然而，为了防止板型元件的表面甚至在此第一输送部分的干燥，第一带式传送器设备保持尽可能短。在每种情况下，在第一板型元件从堆的完全释放已经实现之后，尽可能快地执行至第二带式传送器设备或分别至其第一部分的传递。为了保持与液池的必须的距离，由第二带式传送器设备的第一部分最初执行进一步的竖直传送，第二带式传送器设备的第二部分被设计成可旋转的。在本文中，传递至另外的输送设备能被执行，另外的输送设备优选专有地使用重力传送板型元件。

在本发明的一个特别的实施例中，可旋转部分和第一带式传送器设备以这种方式被布置使得板型元件被第一部分和第二部分保持在不同表面上。当第一部分与晶体的第一表面接触时，在传递到第二部分之后，在晶体背离第二部分的第二表面上产生保持力。因此，在输送方向上，第一部分和第二部分被布置为相对彼此偏离至使得任何时候夹紧力都不会作用在晶体上的程度。相反，在第一部分的带上的传送被执行，直到晶体突出超过其端部。在该突出端，保持力随后由第二部分施加。

然而，同时，沿输送方向的距离被选择为如此短以使得晶体在第一和/或第二部分的带上的可靠粘附总是被保证。特别地，晶体通过带与其中产生真空压力的区域接触。

在本发明的优选的、可替代实施例中，相反地，可旋转部分和第一带式传送器设备被以这种方式布置，使得由第一带式传送器设备传送的板型元件以第一表面接触其带，由第二带式传送器设备的可旋转部分传送的板型元件同样以相同的第一表面接触可旋转部分的带。因此，在旋转位置，第二部分承担另外的输送设备的功能。

而且，如果另外的输送设备的输送平面被设置为平行于可旋转部分在其旋转位置中的传送方向，则是优选的。如果输送平面被水平定向使得在旋转位置中晶片能容易地放置在另外的输送设备上，则是特别有利的。特别地，第二带式传送器设备的可旋转部分和另外的输送设备也以这种方式相对彼此被对齐，使得可旋转部分的带和另外的输送设备的传送装置在第二带式传送器设备的旋转位置中彼此相对布置。因此，在旋转位置中，当晶片最初仍由第二带式传送器设备的第二部分的带上的真空压力保持时，另外的输送设备的传送装置已经被布置在晶片背离后者的一侧上。如果晶片现在从带上释放，它能被直接放置到另外的输送设备的传送装置上。

因为加湿设备被布置在该区域中，因此这是特别有利的。由于板型元件的输送通过保持到不同表面上而执行，所以板型元件的各个自由表面能被加湿。为此目的，加湿设备优选被提供在另外的输送设备和可旋转部分的区域中。

第二带式传送器设备优选提供用于在背离输送侧的一侧上将带偏转的可移置设备，也就是说，带的表面与晶体接触。当带以传统方式在滚筒上运行并沿设置在滚筒之间的引导表面沿直线延伸时，借助可移置设备能实现带的偏转。带的变形意味着粘附到带上的板型元件被释放，只要元件的给定弯曲刚度存在。即使在元件具有弯曲弹性的情况下，释放也由这种类型的脉冲支持，该脉冲是理想短暂的。

最好，可移置设备提供一弹性元件或完全由弹性元件形成。该弹性元件能由液体填充以便扩大其体积。弹性元件被容纳在第二带式传送器设备的保持室中。在通过例如填充流体而扩大体积的情况下，弹性元件的体积超过保持室的体积。因此，它从保持室中部分地露出并导致带的变形，当弹性元件未被填充时其直接沿保持室的打开侧延伸。弹性元件的扩大还能被间接传递到带。

附图说明

下面参照附图更详细地解释根据本发明的分离设备的进一步细节和优点。

图1示出阐明分离过程的全部程序的示意视图；

图2示出用于分离的分离器的放大视图；

图3示出图2的分离器中的第二带式传送器设备的第二部分旋转的进一步放大视图；

图4示出图2和图3的分离器的阐明可移置设备的功能的细节的示意视图；以及

图5示出第二透视点的分离器的视图；

图6示出用于分离的可选择的分离器的放大视图；

图7示出用于分离的可选择的分离器的进一步放大视图；

图8A示出分离喷嘴设备200；

图8B示出分配喷嘴设备(parting-nozzle device)60。

具体实施方式

图1示出相对大的设备的一部分，其在加工例如晶片的过程中使用。术语“晶片”在这里表示基本板型的元件。在本文中，板型意味着在第一尺度和第二尺度的延伸比第三尺度大得多。

设备1将板型元件从堆2分离。如图1中在堆2的右侧和左侧所示，堆2包括彼此平行定向的多个单独的板型元件。这些板型元件以这种方式被定向：沿由箭头指示的传送方向延伸的堆叠轴线被设置为垂直于单独的板型元件。堆2被布置在液池中的水平位置。在本文中，术语“水平”涉及操作期间采用的位置。如水线所示，堆2被整体设置在液池中，该液体可为例如失能水或降能水。

供应设备3被布置在液池中。堆2被以没有更详细地描述的方式布置在该供应设备3上。借助供应设备3，堆2沿堆叠轴线方向被引导朝向实际分离器5。为了允许改进的视觉表现，在图1中仅图示分离器5的基本的元件。在下面将参照进一步的图2-5提供更详细地描述。

分离器5提供第一带式传送器设备6和第二带式传送器设备7。第二带式传送器设备7提供第一部分7.1和第二部分7.2。第一带式传送器设备6、第一部分7.1和第二部分7.2各自提供它们自己的带，然而，所述带优选与其它带共同被驱动。因此，在设计期间仅需要一次速度匹配，其中在操作期间分离器5的单独的传送部分之间的空转难点不能发生。借助分离器5，以仍然有待于描述的方式从堆2传送的板型元件被朝向另外的输送设备8输送。另外的输送设备8如箭头C所示输送分离的板型元件并能将它们供应到例如损伤检测和分选站和/或用于进一步的加工。

为了将板型元件从堆2移除，堆2随着第一板型元件的第一表面4沿箭头方向，即朝右被输送，直到第一表面4与第一带式传送器设备6的带接触。第一带式传送器设备6和第二带式传送器设备7的部分7.1及7.2被各自连接到真空泵VP。真空压力借助于真空泵VP产生。该真空压力在背离板型元件与第一带式传送器设备6或各个部分7.1和部分7.2内的带之间的接触表面的一侧处产生。

为此，第一带式传送器设备6的带在其面向堆2的一侧上沿引导表面被引导。经由未示出的管线系统被连接到真空泵VP的凹部形成在引导表面中。一类穿孔被形成在带本身中。该类穿孔通过被引入带中的凹部实现。例如，多个圆形穿孔能以均匀设计的类型被打孔至带中。液池的周围流体被真空泵VP抽取。如果堆2沿朝向第一带式传送器设备6的方向被引导至第一表面4与带接触，则开口关闭，并且第一板型元件此时粘附到第一带式传送器设备6的带上。因此，循环的带沿箭头A方向将板型元件拉离堆2并沿朝向第二带式传送器设备7的第一部分7.1的方向将其输送。由于第二带式传送器设备7及从而第一部分7.1也被连接到真空泵VP，所以这里板型元件也被吸引抵靠带。沿由箭头A所示的输送方向，第一带式传送器设备6的带和第二带式传送器设备7的部分7.1的带被布置为相对于彼此偏置，然而，具有共同的传送平面。这意味着，板型元件的吸引在板型元件的相同侧上被执行，也就是，在第一表面4的一侧上。沿输送方向A的间隔距离在本文中以这种方式被选择，使得在第一带式传送器设备6和第二带式传送器设备7之间的过渡区域中，在给定时间，通过第一带式传送器设备6并通过第二带式传送器设备7发生吸引。在本文中，第一带式传送器设备6的长度以这种方式被大致设定尺寸，使得第一板型元件与带接触的输送长度被大致完全设置在液池中。

当通过冲孔在第一带式传送器设备6的带中产生凹部，并因此产生相对大的开口横截面时，第二带式传送器设备7的部分7.1的带仅被提供有切口。因此，没有冲出材料。第一部分7.1和相同方式的第二部分7.2的带因此事实上不再不能渗透空气，并且，由于真空泵VP产生的真空压力，实现板型元件的可靠粘附。相反地，同时，确保板型元件的整个表面在能起作用的真空压力的区域中与带接触。因此，由于被提供在第一带式传送器设备6的带的凹部区域中，不存在沿真空压力设备方向的暴露表面。这防止了凹部区域中表面的局部干燥。

第二带式传送器设备7的第一部分7.1的带沿竖直方向进一步输送板型元件，且具有与第一带式传送器设备6的传送平面相同的传送平面。只要保证可靠粘附在第一部分7.1的带上，通过第一部分7.1的输送就能够持续。在必须提供板型元件的接触的区域中，带还穿过引导表面之上，引导表面中被提供有经由进一步通道系统被连接到真空VP的开口。在某些时间，板型元件沿输送方向的前边缘到达第一部分7.1的带的端部。由于带在滚筒上运行，且板型元件的剩余部分通过真空压力和额外的粘附力仍被保持在带上，所以图1中板型元件的沿竖直方向向上突出的端部现在上升。该端部现在在背离第一部分7.1的带的一侧与第二部分7.2的带接触。同样，如上面已经描述的，切口被引入带中。由于在那里产生的真空压力，现在实现在第二部分7.2的带上的可靠粘附。由于带由同样的驱动器驱动，所以它们以同样的传送速度运行。由此确保无缝传递到第二部分7.2的带上。并且，沿输送方向A的距离以这种方式被选择，使得在传递的时候，真空压力通过第一部分7.1并通过第二部分7.2作用在板型元件上，虽然作用在不同表面上。

在板型元件已经通过沿方向A的进一步输送被完全传递到第二带式传送器设备7的第二部分7.2之后，第二部分7.2在图1中沿顺时针方向被旋转90°。第二部分7.1的传送平面现在平行于另外的输送设备8的输送平面延伸。在本文中，第二部分7.2能作为第二带式传送器设备的可旋转部分围绕其旋转的旋转轴承以这种方式被定位，使得形成在第二部分7.2的带与输送设备之间的间隔距离稍微宽于板型元件的厚度。这确保导致机械应力的板型元件的夹住被避免。而且，如将在下文中更详细地解释的，通过带7.2的变形能有利地从第二部分7.2的带中释放。为此，需要给定的移动路径(movement play)。

图2再一次示出分离器5的放大视图。再次明显看出，第一带式传送器设备6最初接收通过示例示出的板型元件12。板型元件12被设置为一个表面与第一带式传送器设备6的带10接触。在背离该板型元件的一侧，带10延伸至接触引导表面。如已经描述的，经由管线系统连接到真空泵VP的凹部被布置在引导面中。带10以相似方式被设计成环形(endless)传送器带并被安装在两个滚筒之间。滚筒被以能旋转的方式安装在第一旋转轴承11.1和第二旋转轴承11.2中，其中滚筒之一被连接到驱动系统，该驱动系统未在图2中示出。

以相似的方式，第二带式传送器设备7提供第一部分7.1。并且，提供以环形方式形成的安装在两个滚筒上的带。旋转轴承14.1和14.2与两个旋转轴承11.1和11.2被设置在一直线中。滚筒直径被选择为相同尺寸，使得第一带10和第二带13提供共同的传送平面。图2中的附图标记12’表示在随后时间仅与第一部分7.1的带13接触的板型元件。板型元件12’以其第一表面25接触带13。背离带13的第二表面26被暴露并能例如通过未在图2中示出的加湿设备被保护免于干燥。提供这种加湿设备的需求取决于各个应用。带10和13被同步驱动，使得沿箭头A方向的进一步传送由第二带式传送器设备7或最初由其第一部分7.1执行。在更后面的时间，板型元件被设置在由12”表示的位置中。第二部分7.2还提供第一旋转轴承16.1和第二旋转轴承16.2。两个旋转轴承16.1和16.2再次支撑滚筒，第二部分7.2的带15由滚筒拉紧和驱动。同时，第二部分7.2作为整体以能旋转方式围绕第一旋转轴承16.1被布置。因此，传送平面能优选旋转大约90°。

应该注意的是，旋转90°并不假设代表对本发明的限制。其由于另外的输送设备8(将在下面更详细地解释)相对第一带式传送器设备6和第一部分7.2的传送平面旋转90°而改变方向。最初，第二部分7.2如图2中所示被以这种方式布置，使得第二部分7.2的传送平面被形成为平行于第一带式传送器设备6或各个第一部分7.2的传送平面。在每种情况下，传送平面为由被设置与板型元件12接触的带表面限定的平面。

第二部分7.2和第一部分7.1的传送表面因此提供允许板型元件12在不变形情况下被传递的间隔距离。同时，朝向第一部分7.1的输送路径的端部，沿板型元件12”的输送方向在前边缘的突出部分已经通过真空压力被保持在第二部分7.2的带15上，沿输送方向观察，板型元件沿后边缘方向面向更远的部分也被第一部分7.1保持。

在板型元件12”已经完全被输送至第二部分7.2的第一旋转轴承16.1和第二旋转轴承16.2之间的区域中之后，整个部分7.2围绕第一旋转轴承16.1旋转，如图2中的箭头所示。由于板型元件12的第二表面26与第二部分7.2的带15接触，在此旋转之后，第一表面25被平行于另外的输送设备8的传送装置18的输送表面20定向，如图3中所示。现在板型元件12可被放置在传送装置18上。传送装置18因此能够通过进一步带式传送器设备或例如通过带式齿轮实现。在图1中所示的优选布置中，其中输送方向A沿竖直方向被提供，朝向进一步设备c的传送方向沿水平方向被提供，从在第二部分7.2的旋转位置中的第二部分7.2的带15的释放能够通过重力产生。然而，由于表现在带15和板型元件12之间的粘附，在一些情况下，重力可能不足以将板型元件12从带15可靠地释放。因此，支持释放过程的可移动元件被提供在带15的背离板型元件12”的一侧处。这在下文中将参照图4a和图4b进行解释。

为了可连接到真空泵VP的真空压力管线的控制和形成，本身已知且因此不需要进一步解释的可移动管线引导器17被提供。管线引导器17还能包含在电线旁边的真空压力管线。不同的管线引导器也是能想到的。

在所述起始位置大致由另外的输送设备8和第二部分7.2限定的区域中，还提供一加湿设备22。加湿设备22包括多个喷嘴23和24。在图2中，一些喷嘴，例如喷嘴23在这里以这种方式被定向，使得板型元件12”的第一表面25被加湿。相反，第二喷嘴24以这种方式被定向，使得板型元件12的第二表面26可在进一步输送路径上被加湿。由于另外的输送设备8不包含真空设备，因此设置在进一步传送路径之上的传送装置18上的表面的干燥与在需要用真空压力操作的区域中相比显著地没有那么重要。因此，特别有利的是，以最初背离可旋转部分7.2的带的表面25能被加湿的方式形成可旋转部分7.2。相反，在放置之后，最后借助真空压力设备保持的表面被暴露并且还能被加湿。因此，板型元件的两个表面能以简单的方式被加湿。所示的示例性实施例中另外的输送设备8的传送装置18也为带传送设备并在安装在第一旋转轴承19.1和第二旋转轴承19.2中的滚筒上运行。

在图3中再次示出已经描述的旋转运动。明显的是，第二带式传送器设备7的可旋转部分7.2被布置为平行于另外的输送设备8。此外，提供在局部截面上的图的区域显示，可移置设备被布置在带15的背离待输送的板型元件12的一侧。在图4a和4b中再次放大显示。在图4a中，第二部分7.2已经被设置在其旋转位置。在此位置，带15的引导板型元件12的部分已经被布置为平行于传送装置18的输送平面20。然而，在本文中，带被布置为远离传送装置18，使得板型元件12”不被夹在两个传送部分之间。在未在图中示出的通道旁边，保持室28被引入第二部分7.2的带的引导部分中，该保持室28还容纳轴承16.1和16.2。保持室28能被形成为例如槽形，该保持室28朝向带15的传送侧打开并基本横跨带15的宽度延伸。在该保持室28中，弹性元件27被形成为可移置设备。弹性元件27为中空并且可填充有液体。只要弹性元件27未被填充，那么外部尺寸以弹性元件27被完全布置在保持室28内的方式被选择。带能平坦地越过槽的打开侧，槽通过真空压力设备接触部分7.2的引导部分。

如果板型元件12”被输送至其到达保持室28的区域的位置，则需要传递到另外的输送设备8。为此目的，弹性元件被填充。可压缩介质或不可压缩介质能被用于填充。使用可压缩介质提供的优点在于真空泵能被同时用于填充弹性元件27。填充过程的结果是发生弹性元件27的体积扩大。由于在为填充条件下，弹性元件27的尺寸已经被设计使得保持室28被大部分占据，因此体积扩大导致弹性元件27的一部分在保持室28的打开侧露出。由于保持室28的打开区域在实践中由带限定，因此带发生变形，如图4b中所示。当最初弹性元件27未填充时，板型元件12”的第二表面26完全与带15接触，并且由真空压力保持在那里，现在与带15相比为刚性的板型元件12”不再可能全表面接触。结果，板型元件12”从带15释放并承受重力而落到传送装置18上。应该注意的是，不需要完全刚性的元件12”。而且，由于带15的提升，真空压力被打破。此外，板型元件不需要通过在图4b中被严重夸大的弯曲运动来释放。相反，从带15的后侧作用在板型元件12上的短暂的推动也能引起板型元件的释放。在这种情况下，如果处于未填充条件下的弹性元件27被设置在距离带15微小间隔距离处，则是有利的。可移置设备的运动的精确控制和执行能与板型元件12的相应弹性和发生的粘附力单独地匹配。

最终，图5再次示出图1至图3中所显示的分离器的从左侧的视图，其中第二部分7.2被设置在其起始位置。在该视图中，可以容易地看见第一带式传送器设备6的带10提供了开口30，通过开口30在中央区域中还能看见被提供产生真空压力的通道的出口。在图5中，仅以示意性方式表示带15中的切口31。为了改进视觉清晰度的缘故，在第二带式传送器设备7的第一部分中的带13中没有显示切口。在左侧，还能看见第一带式传送器设备6的第一带10和第二带式传送器设备7的第一部分7.1的带13借助共用的驱动器33被驱动。此外，用于驱动旋转部分7.2的旋转运动的机械部分能在左侧看到。这种机械启动关于从起始位置到旋转位置并再次回到原处的时钟脉冲提供可靠的再生产和过程稳定性的优点。

图6和图7分别表示可选择的分离器5’，分离器5’可代替分离器5被使用。除了在下文解释的一些不同之外，可替换代的分离器5’相当于分离器5。然而，未示出的分离器5的元件以及这里未提及的元件在不改变的情况下被采用。

与分离器5相比，可替代的分离器5’提供另外的输送设备8’，该另外的输送设备8’被提供有与第二带式传送器设备7的间隔距离。取代第二部分7.2，可选择的分离器5’提供可替代的第二部分7.2’。

可替代的第二部分7.2还提供第一旋转轴承16.1和第二旋转轴承16.2。在可替代的分离器5’中的两个旋转轴承16.1和16.2支撑滚筒，可替代的第二部分7.2’的带15由滚筒拉紧和驱动。同时，可替代的第二部分7.2’整体上以可旋转的方式被布置为围绕第一旋转轴承16.1。因此，在所示情况下被设置成垂直于图的平面且在图像中竖直的传送平面能对应箭头D优选旋转大约90°。在所示情况下可替代的第二部分7.2’的传送平面与第一带式传送器设备6由其是部分7.1’的传送平面相同。从所示位置开始，传送平面沿顺时针方向且对应于箭头D旋转大约90°。随着可替代的第二部分7.2’的这种转动，传送平面被带入与另外的输送设备8’的传送平面相同的位置中。并且，应该注意的是，旋转90°不应该代表对本发明的限制。例如，还可以使用更小或更大的角度。

可替代的第二部分7.2’的第一旋转轴承16.1相对于第二部分7.2的第一旋转轴承16.1被移置。可替代的第二部分7.2’的第一旋转轴承16.1与第一部分7.1的旋转轴承14.1和14.2在一条线上并与第一带式传送器设备6的旋转轴承11.1和11.2在一条线上。而且，旋转轴承16.1、14.1、14.2、11.1和11.2彼此平行地被定向。

图6中，可替代的第二部分7.2’被以这种方式布置，使得可替代的第二部分7.2’的传送平面以与第一带式传送器设备6或各个第一部分7.1的传送平面相同的方式形成。可替代的第二部分7.2’和第一部分7.1的传送平面同样一致并以相同的方式被定向，使得接触表面在图6中被设置在第一部分7.1和可替代的第二部分7.2’的左手侧。

在可替代的分离器5’中，第一带式传送器设备6、第一部分7.1和可替代的第二部分7.2’同样各自提供它们自己的带。所述带可选择性地如在分离器5中一样被一起驱动，或者被单独驱动以使得每个带提供单独的速度。借助于真空泵VP，在可替代的第二部分7.2’中在带15的背离板型元件与带15之间接触表面的一侧处也产生真空压力。可替代的第二部分7.2’的带也不能渗透空气，其中在由真空泵VP产生的真空压力的基础上实现板型元件的可靠粘附。也是在这种情况下，同时保证板型元件的表面在起作用的真空压力的区域中与带完全接触。第一带式传送器设备6以及第二带式传送器设备7’均被连接到真空泵。第一带式传送器设备6的第一带10仍提供第一开口30，同时第二带式传送器设备7的第二带15仍提供第二开口。在本文中，第二开口的开口横截面小于第一开口的开口横截面。第一带的第一开口30作为凹部被引入带10中。第二带中的第二开口作为切口31被引入。

在板型元件的输送期间，板型元件沿输送方向的前边缘到达第一部分7.1的端部。板型元件沿输送方向的前边缘现在在设置为与第一部分7.1的带接触的一侧与可替代的第二部分7.2’的带接触。通过那里产生的真空压力，现在在可替代的第二部分7.2’的带上产生可靠的粘附。由于带由相同的驱动器驱动，如在分离器5的情况下一样，它们以相同的传送速度运行，由此保证无缝传递到可替代的第二部分7.2’的带。在传递的时刻，真空压力通过第一部分7.1和第二部分7.2作用在板型元件的一个且相同的表面上。这意味着可旋转、可替代的第二部分7.2’和第一带式传送器设备6以这种方式被布置，使得由第一带式传送器设备6传送的板型元件12以第一表面25接触其带10，由第二带式传送器设备7的可旋转、可替代的第二部分7.2’传送的板型元件12同样以第一表面25接触可旋转、可替代的第二部分7.2’的带15。

在将板型元件完全进一步输送到第二带式传送器设备7的可替代的第二部分7.2’上之后，可替代的第二部分7.2沿顺时针方向旋转90°。可替代的第二部分7.2’现在承担图2的示例性实施例的另外的输送设备8的功能。

可替代的第二部分7.2’不需要用于带15的偏转的设备，因为通过第二部分的旋转的放置利用重力且不需要在放置期间传递。因此，在所示的示例性实施例中的可替代的第二部分7.2’不提供用于带15的偏转的设备。

本发明不限于所示的示例性实施例。特别地，本发明的单独的特征也能有利地彼此组合。

如图8A和图8B中所示，为了便于将板型元件从堆2中分离，在设备1中布置分离喷嘴设备200和保持喷嘴设备60。分离喷嘴设备200被布置在堆2上方。保持喷嘴设备60被布置，从堆2开始，直接在第一带式传送器设备6之后。

分离喷嘴设备200提供在堆2之上打开至液池中的数个分离喷嘴200.1-200.4。借助分离喷嘴200.1-200.4，在液池中产生液体喷射。在本文中，分离喷嘴200.1-200.4被以这种方式布置，使得液体喷射导致堆2中的板型元件的间隔。为此目的，分离喷嘴200.1-200.4被以这种方式定向，使得液体喷射至少部分地基本平行于板型元件延伸。然而，同时，分离喷射200.1-200.4还以这种方式定向，使得液体喷射还提供垂直于板型元件并因此平行于堆2的传送方向的部件。因此，液体以简单的方式被引入板型元件之间。

为了简化借助分离器5或各个可替代的分离器5’将板型元件从堆2传送，辅助喷嘴200.5形成在分离喷嘴设备200中。辅助喷嘴200.5同样打开至液池中。由辅助喷嘴200.5在液池中产生的液体喷射在液池内垂直于板型元件并因此平行于堆2的传送方向地泵送液体。该液体喷射已经至少部分地朝向第一带式传送器设备6推动由第一带式传送器设备6移除的板型元件。

保持喷嘴设备60形成为U形，其中U被设置在其中的平面被定位为垂直于图8A中图的平面并平行于堆2的传送方向。如在图8B中的平面图中所示，U环绕第一带式传送器设备6。保持喷嘴设备60包括分别设置在U的每个端部的至少两个保持喷嘴60.1、60.2，保持喷嘴60.1、60.2打开至液池中并在液池内产生挤压所述堆2的液体喷射，板型元件直接邻近被直接设置为与第一带式传送器设备6直接接触的那些板型元件且被后者从堆2直接移除。保持喷嘴60.1、60.2的液体喷射提供平行于堆2的传送方向的部件。

Claims (12)

1.一种设备，用于用第一带式传送器设备(6)和第二带式传送器设备(7)将板型元件从堆(2)分离，其中所述第一带式传送器设备(6)被提供用于在每种情况下接收来自于所述堆(2)的一个板型元件(12)，并且所述第二带式传送器设备(7)被提供用于进一步输送并用于将所述板型元件(12)放置在另外的输送设备(8，8’)上；

其特征在于：

所述第一带式传送器设备(6)和所述第二带式传送器设备(7)被提供有用于产生真空压力的设备(VP)，并且所述第一带式传送器设备(6)的第一带(10)提供第一开口(30)，所述第二带式传送器设备(7)的第二带(13，15)提供第二开口，其中所述第二开口的开口横截面比所述第一开口的开口横截面小。

2.根据权利要求1所述的设备，

其特征在于：

所述第一带的所述第一开口(30)作为凹部被引入所述带中。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的设备，

其特征在于：

所述第二带的所述第二开口作为切口(31)被引入。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的设备，

其特征在于：

所述第二带式传送器设备(7)的至少一部分(7.2)为能旋转的，使得在起始位置，在该部分的区域中的传送平面被定向为平行于所述第一带传送器(6)的传送平面，并且在第二旋转位置，与所述第一带传送器(6)的传送平面围起一角度。

5.根据权利要求4所述的设备，

其特征在于：

所述第二带式传送器设备(7)提供第一部分(7.1)和第二部分(7.2)，其中所述第一部分(7.1)的传送平面与所述第一带式传送器设备(6)的传送平面相同，并且所述第二部分(7.2)以能旋转的方式被布置。

6.根据权利要求4或5中任一项所述的设备，

其特征在于：

所述能旋转部分(7.2)和所述第一带式传送器设备(6)以这种方式被布置：由所述第一带式传送器设备传送的所述板型元件(12)以第一表面(25)接触所述第一带式传送器设备的带(10)，由所述第二带式传送器设备(7)的所述能旋转部分(7.2)传送的所述板型元件(12)用背离所述第一表面的第二表面(26)接触所述能旋转部分(7.2)的所述带。

7.根据权利要求4或5中任一项所述的设备，

其特征在于：

所述能旋转部分(7.2)和所述第一带式传送器设备(6)以这种方式被布置：由所述第一带式传送器设备(6)传送的所述板型元件(12)用第一表面(25)接触所述第一带式传送器设备的带(10)，由所述第二带式传送器设备(7)的所述能旋转部分(7.2’)传送的所述板型元件(12)以相同的所述第一表面(25)接触所述能旋转部分(7.2)的所述带。

8.根据权利要求4至7中任一项所述的设备，

其特征在于：

所述另外的输送设备(8，8’)的输送平面(20)被设置平行于所述能旋转部分(7.2)在所述旋转位置的传送平面。

9.根据权利要求6所述的设备，

其特征在于：

所述第二带式传送器设备(7)的所述能旋转部分(7.2)和所述另外的输送设备(8)以这种方式相对于彼此被定向：所述能旋转部分(7.2)的所述带(15)和所述另外的输送设备(8)的传送器装置(18)被设置成在所述第二带式传送器设备(7)的所述部分(7.2)的所述旋转位置彼此相对。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的设备，

其特征在于：

加湿设备(22)被布置在所述另外的输送设备(8，8’)和所述能旋转部分(7.2，7.2’)的区域中。

11.根据权利要求6所述的设备，

其特征在于：

在所述带(15)的背离输送侧的一侧上，所述第二带式传送器设备(7)提供用于所述带(15)的偏转的可移置设备(27)。

12.根据权利要求11所述的设备，

其特征在于：

所述可移置设备(27)提供布置在保持室(28)中的弹性元件，该弹性元件填充有液体以使所述弹性元件扩大。

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