EP2175328A3 - Spiral de résonateur balancier-spiral et son procédé de fabrication - Google Patents

Spiral de résonateur balancier-spiral et son procédé de fabrication Download PDF

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Abstract

Le spiral (10) comporte des spires de section rectangulaire (h x e), dont le pas p et/ou l'épaisseur e peut varier depuis la courbe à l'intérieur (11) jusqu'à la courbe à l'extérieur (14), ou dont l'enroulement peut s'écarter du tracé d'une spirale parfaite. La courbe à l'intérieur (11) peut en outre être prolongée par une rondelle autobloquante (17) permettant une fixation sans jeu du spiral sur l'axe du balancier.
Le spiral est fabriqué par photolithographie et croissance galvanique, ou par micro-usinage d'un matériau amorphe ou cristallin, tel qu'une plaquette de silicium.
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