EP2008073A2 - Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der dichtigkeit eines prüfobjekts - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der dichtigkeit eines prüfobjekts

Info

Publication number
EP2008073A2
EP2008073A2 EP07727970A EP07727970A EP2008073A2 EP 2008073 A2 EP2008073 A2 EP 2008073A2 EP 07727970 A EP07727970 A EP 07727970A EP 07727970 A EP07727970 A EP 07727970A EP 2008073 A2 EP2008073 A2 EP 2008073A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
gas
test
valve
test object
chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP07727970A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Klaus Polster
Volker Dahm
Ingo Stegemann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of EP2008073A2 publication Critical patent/EP2008073A2/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
    • G01M3/229—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell

Definitions

  • the present invention relates to a method and an apparatus for determining the tightness of aticians / admirobj ects.
  • a test piece may be a container, a pipe or other object with a cavity, wherein a specified tightness of the cavity to be tested.
  • the determination of the tightness of a test specimen is used in many cases of quality control. These may be, for example, containers for household chemicals or foodstuffs, but also containers for operating media in air-conditioning technology or in the automotive industry. Especially when environmentally critical media should be guided or stored in the specimen or when the functionality of a system depends on the exact amount of the medium contained, a permanent tightness is of great importance.
  • test object is placed in a test chamber and filled with helium or another search gas. In the cavity of the object there is an overpressure.
  • the test chamber has an inlet opening, via which nitrogen or another carrier gas is introduced into the test chamber.
  • the test chamber has a trigger for the carrier gas, which is positioned such that the carrier gas that has flowed into the test chamber flows around the test object as far as possible before it comes to the trigger. If the object has a leak, the leaked tende search gas in the test chamber.
  • the tracer gas is directed by the flow of carrier gas into the exhaust where there is a sensor to determine the amount of tracer gas.
  • the accuracy of the system depends on the technical availability of a high negative pressure in the test chamber.
  • a disadvantage of this solution is the complexity of the system, which is necessary due to the large negative pressure to be achieved.
  • the system must be robust and vacuum-compatible.
  • the cycle time for testing several objects depends almost exclusively on the duration of the generation of the high negative pressure, since a quick suction of the air leads to icing on the components of the system and thus to falsifications of the measurement results. For a hundred percent inspection of components in a series production with high clock rates, this method is therefore not suitable due to the long measurement times.
  • WO 2005/054806 A1 discloses a system and a method for determining the tightness of an object.
  • the test object is placed in a test chamber and filled with hydrogen as a search gas.
  • the pressure in the test chamber is reduced to 0.1 to 250 millibars.
  • the test chamber has an inlet opening, via which a carrier gas is introduced into the test chamber.
  • the test chamber has a trigger for the carrier gas, which is positioned so that the carrier gas flowed into the test chamber flows around the test object as far as possible before it comes to the trigger.
  • the carrier gas is pumped off with a pump and passed to a sensor for determining the hydrogen content. If the object has a leak, hydrogen flows into the test chamber, whereby the hydrogen together with the carrier gas directed to the sensor.
  • a disadvantage of this solution is that in addition to the hydrogen as a search gas, a carrier gas is needed, whereby the system and the method are very expensive. Even with this device, a quantity of gas has to be taken from the test chamber at a certain time, which is subsequently detected by the sensor. The sensor can not detect any changes that occur after the sampling time of the sample. In order to achieve reliable results, a uniform distribution of the test gas in the test chamber must be awaited, which in turn results in long measuring cycles.
  • WO 02/075268 Al it is known to determine a leak without the use of a carrier gas.
  • the test object is filled with hydrogen or helium as the search gas.
  • the concentration of the search gas in the vicinity of the test object is determined.
  • the level of concentration is an indication of the size of the leak, this method does not allow any accurate conclusions about the leak rate, as the search gas concentration is not uniform.
  • WO 99/49290 discloses a method and apparatus for determining the tightness of containers.
  • the container is placed in a test chamber.
  • the interior of the container is placed in a test chamber.
  • Container is connected via two connections with lines through which aerosol is passed through the container.
  • the test chamber is filled on one side with an aerosol-free gas, while on the other side of the test chamber, an aerosol sensor is connected via a line.
  • the container with the aerosol-free gas and the test chamber can be filled with aerosol, wherein the aerosol sensor is connected via a line to the interior of the container. is to connect.
  • a switching valve can be used to change between these two operating modes.
  • GB 2 314 421 A teaches a method for determining leaks in heat exchangers. The one for the first circuit at
  • Heat exchanger provided cavity is filled with helium.
  • the space provided for the second circuit on the heat exchanger cavity is connected to a circulation system comprising a helium sensor.
  • JP 2005274291 A discloses a device for determining leaks in a multi-channel system.
  • Such a multi-channel system includes an internal cavity disposed within an external cavity.
  • the multi-channel system is also introduced into a test chamber.
  • a gas sensor is connected to the test chamber and the internal cavity.
  • Test gas filled is filled.
  • the test container is filled with the test gas.
  • the test object is placed under a test hood.
  • the test hood has a sensor opening for connecting a sensor line.
  • the test chamber atmosphere is circulated with fans, so that escaping leakage gas is supplied to the sensor.
  • the partial pressure sensor is disposed within the chamber or on a wall of the chamber. It is proposed to arrange in the test chamber a fan device opposite to the partial pressure sensor so that the test gas atoms are evenly distributed in the chamber. Alternatively, it is proposed to direct the gas in the chamber by means of a fan via a bypass line to effect the ventilation required in the chamber.
  • the test object is in a chamber which is continuously flowed through by the filling gas. With the help of a suction fan ambient air is permanently sucked in via an inflow line. The air first flows past the test object and then past the partial pressure sensor.
  • the partial pressure sensor is arranged at or directly behind a filling gas outlet.
  • the main object of the present invention is to provide an improved method and a device for determining the tightness of a test object, ie an object having a cavity.
  • the aim is to make the measurement more independent of the time of sampling, and to reduce the waiting time until a reliable measurement value is available, without having to accept any restrictions with regard to the measurability of the smallest leaks.
  • a 100% inspection of components (test specimens) should ultimately be possible even with high quantities.
  • no specific carrier gas should be required for the measurement.
  • the device should be flexibly and quickly adaptable to different measuring methods, such as the inverse measurement.
  • the determination of the tightness between a plurality of cavities within a test object should be made possible.
  • An important aspect of the invention is the fact that a sensor for determining the amount of a search gas in a measuring chamber is located directly within an external circulation circuit in which the leaked by a leaking test sample in the sample circulating together with the existing gas in the test chamber becomes.
  • the measuring chamber provides a measuring position within the circulation and can be formed in the simplest case as a section of the tubes or lines of the circuit.
  • the sensor is therefore permanently flowed around by the search gas to be measured, so that an accurate measurement firstly after a short time and secondly also several times without re-sampling is possible.
  • a particular advantage of this invention is that the method according to the invention and the device according to the invention can be realized with conventional components.
  • Another advantage of this invention is the reproducibility of the measurement.
  • the predetermined filling of the test object with the search gas and a constant circulation in the circulation cause the search gas concentration at the sensor to deviate only insignificantly in the case of several measurements of the same test object or of a test object with the same leak rate.
  • the measurement reliability is significantly increased by the invention.
  • a further advantage of the invention results from the fact that the area of the possible leak of the test object and the location of the measurement are spatially separated. Therefore, there is no dependence between the location of the leak on the test object and the concentration of the search gas on the sensor.
  • the device may also be constructed as a two-circuit device. It can also be used to examine test objects with several separate cavities for their tightness.
  • Fig. 1 is a schematic diagram of a first embodiment of a device according to the invention
  • FIG. 2 is a schematic diagram of a second embodiment of the device according to the invention for inverse and accumulation measurements
  • FIG. 3 is a schematic diagram of a third embodiment of the device according to the invention for testing objects having a plurality of cavities;
  • FIG. 4 is a schematic representation of a fourth embodiment of the device according to the invention for testing a plurality of mutually closed cavities of an object
  • Fig. 5 shows two views of a cycle switching valve of the embodiment shown in Fig. 4.
  • Fig. 6 is a sectional view of that shown in Fig. 5
  • FIG. 1 shows a schematic representation of a preferred embodiment of a device 01 according to the invention for determining the tightness of a test object 02.
  • the test object 02 is arranged in a test chamber 03 of the device 01.
  • the test chamber 03 can be designed in the form of a hood. be formed, which is placed on a base plate.
  • In the test chamber 03 is ambient air.
  • the evacuation of the test chamber before the start of the test process is conceivable, but not mandatory.
  • the use-dimensioned openings of the cavity of the test object 02 are connected via a filling line 04 to a reservoir 06 for providing a forming gas.
  • the reservoir 06 for providing the forming gas is expediently outside the test chamber 03 and may be formed by a container for storing the Formiergases and a controllable pressure pump.
  • the filling line 04 for supplying the forming gas is sealed off from the testing chamber 03. If the test object 02 were ideally tight, no forming gas would enter the test chamber 03.
  • the test chamber 03 has a feed line 07 and a discharge line 08.
  • the supply line 07 and the discharge line 08 are preferably arranged so that they are located on two opposite sides of the test chamber 03, but in any case have a distance which largely corresponds to the extent of the test chamber 03. In this way, dead volumes in the test chamber are avoided.
  • the supply line 07 and the discharge line 08 are designed so that any gas flow between the supply line 07 and the discharge line 08 flows around the test object 02 as far as possible.
  • the feed line 07 and the discharge line 08 are connected to each other via an external circuit.
  • This external circuit comprises a Umwalzü 09 and a measuring chamber 11. Furthermore, the external circuit comprises a calibration leak 12 and Changeover valves 13.
  • the gas in the test chamber 03 is circulated via the external circuit as soon as the test procedure starts. This circulation process is driven by the circulation unit 09, for example a pump with a volume flow rate of 10 liters per second.
  • the arrangement of the feed line 07 and the discharge line 08 ensures that almost all of the gas particles present in the test chamber 03 are continuously passed through the external circuit.
  • a sensor 14 In the measuring chamber 11 is a sensor 14.
  • the sensor 14 is used to determine the amount of Formiergases.
  • the supply of the recirculated gas in the circuit to the sensor 14 may advantageously be carried out via a pitot tube to obtain a constant back pressure on the sensor.
  • the sensor 14 and the pitot tube are designed so that a permanent
  • the forming gas preferably consists of a proportion of 95% nitrogen and a proportion of 5% hydrogen.
  • Hydrogen is particularly suitable as a search gas, since highly sensitive semiconductor sensors for accurate determination of the amount of hydrogen have become available. Such semiconductor sensors can detect a hydrogen content of already 1 particle per million of particles.
  • hydrogen is suitable because the background concentration of hydrogen in the ambient air is only about 0.5 particles per million particles.
  • the concentration of hydrogen in a leaked forming gas is about 5 particles per million of particles for very small leaks. This provides a safe distance for determining the tightness with forming gas under atmospheric conditions. Due to the presence of atmospheric conditions in the test chamber 03 and in the external circuit, the requirements for the tightness of the test chamber 03 and the external circuit are low.
  • the invention can also be used for other search gases insofar as a sensor suitable for the used search gas is available and the concentration of the search gas, which is increased by the leak to be measured, differs significantly from the concentration of the search gas in the air.
  • a sensor suitable for the used search gas is available and the concentration of the search gas, which is increased by the leak to be measured, differs significantly from the concentration of the search gas in the air.
  • helium or carbon dioxide are suitable as search gas.
  • the use of forming gas to determine the tightness of the test object 02 is particularly suitable for measuring leak rates in the range of 10 ⁇ 5 to 10 ° millibar-liter per second. This is an area in which neither the determination of the tightness with compressed air nor the use of helium as a search gas leads to a satisfactory cost-benefit ratio.
  • Forming gas in which the hydrogen content is increased, allows the determination of leak rates that are less than 10 ⁇ 5 millibar-liters per second. If pure hydrogen is used as the search gas, leakage rates of 10 ⁇ 8 millibars per second can be determined. Leak rates of this magnitude could previously only be determined with helium as the search gas.
  • a technical vacuum is generated in the test chamber 03 and in the external circuit.
  • By the circulation of the remaining air including the optionally leaked search gas through the external circuit ensures that the sensor 14 is flowed around by the search gas in a concentration which corresponds to the concentration in the test chamber 03.
  • This embodiment of the invention is also suitable for search gases whose detection in air is problematic.
  • the usable opening of the test object 02 is initially connected with the test chamber 03 open to the filling line 04 to the means 06 for providing the forming gas.
  • Many test objects have exactly one usable opening. This is for bottles and similar containers through the opening at which the bottle is opened and closed for use.
  • a corresponding number of full lines 04 are to be connected to the test object 02 or to close some of the usable openings.
  • the filling lines 04 may be combined within the testing chamber 03 to form a conduit or may be guided all the way to the reservoir 06 for the provision of the forming gas.
  • test object 02 has no use-dimensioned opening
  • the test object is to be provided with an opening for carrying out the tightness determination, wherein this opening is to be closed again after the completion of the tightness determination.
  • the full lines 04 and their connections to the specimen 02 must have a leakage rate which is substantially smaller than the leak rate of the specimen 02 to be measured.
  • the test object 02 is connected to a discharge line 17.
  • the drain line 17 is closed by a check valve 18. After completion of the D Publishedspru- tion the check valve 18 is opened so that the forming gas is discharged from the test object 02 in a receptacle 19 or can escape as exhaust air. If the test object 02 is completely connected to the fill lines 04 and the drain line 17, the test chamber 03 is closed.
  • test chamber 03 Insofar as the test chamber 03 is designed as a hood, it must be placed on the base plate and sealed against the base plate. To start the leak test, the specimen 02 must be filled with forming gas. The forming gas must have a certain overpressure in the test object 02, which is to be selected depending on the type of the test object 02 and the leak to be measured. The smaller the leak rates to be measured, the greater the pressure of the forming gas to choose. Furthermore, the straightening unit 09 and the evaluation unit 16 are to be put into operation. First, the air which is in the test chamber 03 including the feed line 07 and the discharge line 08 and in the measuring chamber 11 and in the roller unit 09, rolled over.
  • this air initially corresponds to the ambient air, so that hydrogen is present at the sensor 14 in a typical concentration of about 0.5 particles per million particles.
  • the forming gas will pass into the test chamber 03, since an overpressure is given in the test object 02. Since the air in the test chamber 03 is circulated over the external circuit with a relatively large volume flow, the forming gas flowing in from the test object 02 into the test chamber 03 is likewise immediately rolled over via the external circuit.
  • the mixture of air and forming gas is transported in the direction 21 through the test chamber 03 and in the direction 22 through the measuring chamber 11. Since the forming gas contains hydrogen, the hydrogen concentration at the sensor 14 increases without appreciable delay. Consequently, it is possible to determine with the evaluation unit 16 whether the test object 02 has a leak.
  • the level of hydrogen concentration in each measurement period is a measure of the size of the leak or the sum of the leaks when there are multiple leaks. This method of leak testing is also called accumulation measurement.
  • the gas mixture in the external circuit can be discharged by opening one of the switching valves 13 in an exhaust duct 23.
  • the arrangement of the sensor in the circuit, in which the gas contained in the test chamber 03 is rolled, is intended to bring about the direct integration of the sensor into the complete gas volume in order to allow a quasi-continuous measurement of the search gas concentration without the need for sampling.
  • the inventive method and the inventive device can also be used for a Permeationsprufung.
  • a Permeationsprufung the permeability of the test object. Due to the permeability of the material of the test object, the search gas also occurs without the presence of leaks (in the form of defects).
  • Permeation tests are carried out, for example, for rubber protective gloves. Among other things, the so-called breakthrough time is determined here. Breakthrough time is the time between the start of the test and the time from which the permeability rate is at least 1 microgram per square centimeter and minute. Often, after the breakthrough time, the permeability rate increases sharply. With the method according to the invention and the device according to the invention, permeation tests can be carried out particularly precisely, since an accurate measurement of the time course of the search gas outlet is possible by the circulation.
  • the method according to the invention and the device according to the invention can also be used for an inverse measurement.
  • the test chamber is filled with the search gas, while a cavity of the test object has a supply line and a derivative for an external circuit.
  • the search gas enters in the presence of a leak from the test chamber into the cavity of the test object and can then be detected as described in the external circuit.
  • the method according to the invention and the device according to the invention can also be used for a partial measurement.
  • a partial measurement is required if the test object 02 can not be arranged completely within the test chamber 03.
  • the test chamber 03 is formed by a hood, the hood is sealed against the test object 02.
  • the hood encloses the part of the surface of the test object 02, which can be tested with this partial test.
  • the method according to the invention and the device according to the invention can also be used for a bombing test for determining the tightness of a hermetically sealed test object.
  • the bombing test is suitable, for example, for electronic components, such as transistors or circuits.
  • the test object is first placed in a pressure chamber which is filled with a search gas, wherein the
  • Pressure in the pressure chamber is increased to, for example, 5 bar.
  • the test object remains in the pressure chamber for a fixed period of, for example, 5 minutes. During this period of time, search gas flows into the interior of the test object insofar as the test object has leaks. Im immediate
  • test object is placed in the test chamber, wherein the circulation and the measurement are carried out as described above. During this phase, the search gas that has entered the test object flows out of it again. From the measured leak rate can be deduced the true leak rate.
  • the device 01 is calibrated.
  • the device is calibrated with measurement standards or calibration leaks.
  • Such calibration leaks are produced, for example, by accredited laboratories in accordance with DIN.
  • the calibration leaks can be integrated into an object which is similar to the test object 02 and is leak-free.
  • one or more calibration leaks within the recirculation loop may be integrated into the device 01.
  • the embodiment shown in FIG. 1 has a calibration leak 12 in FIG external circuit before the Umisselzappel 09.
  • the measuring capability of the device 01 is determined so that a definition of the parameters for filling the test object 02 and the parameters for the circulation as well as a determination of the measurement sequences can take place. Furthermore, these values can be compared with information provided by the manufacturer in order to be able to evaluate the measuring capability of the device 01 at the time of the external calibration.
  • An internal calibration is also done with measurement standards or calibration leaks.
  • the evaluation unit 16 has an automatic adjustment possibility. A comparison is made of the standard data stored in the memory of the evaluation unit 16 for the calibration leak 12 used, with the measurement data recorded for the calibration leak 12 during the internal calibration. In most cases, only slight deviations occur, so that only the parameters of the functional relationship between leak rate and the measured search gas concentration used in the evaluation unit 16 have to be adjusted. If larger deviations occur, the evaluation unit 16 gives an alarm that the device is to be recalibrated at the factory.
  • the sensor 14 When the search gas strikes the surface of the sensor 14, the sensor 14 emits an analog signal which changes in relation to the impinging amount of tracer gas per unit of time.
  • the change of this signal in a certain time unit is a parameter for the amount of search gas that flows out of the leak.
  • the evaluation of this characteristic can be done at certain times, integrally over one certain period of time or for the time course. The determination of such dimensions is possible because the sensor 14 is permanently flowed around by the recirculated in the circulation of the search gas-air mixture.
  • the measurements determined are comparable to other measurements, in particular those of the calibrations. Consequently, accurate conclusions about the leak rate of the test object can be drawn from the functional relationship between the leak rate and the measured gas concentration measurements as determined in the calibration.
  • the measurement can be started faster according to the invention, since a quasi-uniform distribution through the circulation process is achieved quickly.
  • a continuous measurement of the gas concentration can be made by the sensor over a predetermined measuring time. From the ascertained increase in concentration in the recirculation flow, it is possible with conventional mathematical methods to determine a function which already represents the leak rate of the test object after the acquisition of fewer measured values.
  • the calibration of the device 01 and the guarantee of constant parameters for the filling of the test object 02 and for the circulation in the circuit allows an exact determination of the leakage rate of the test object 02 over a large range of values.
  • the leak rate can be determined in different units and output as plain text on the evaluation unit. For example, units of cubic centimeters per minute or millibar liters per second for the indication of the leak rate can be used. It is also possible to issue a decision on the display as to whether the test object is a good part or a bad part. This decision can be issued visually or acoustically in other ways, so that the operator can sort out the bad parts very quickly and a short cycle time is ensured in the review of many Pruf Congresse.
  • Fig. 2 shows a schematic diagram of the inventive
  • the device 01 in a modified embodiment, which allows both an accumulation measurement and alternatively an inverse measurement.
  • the device 01 furthermore has a second full line 24 for filling the test chamber 03 with forming gas and a second discharge line 26 for emptying the test chamber 03.
  • the guide lines 04, 24 are over a second one Switching valve 27 connected to the reservoir 06 for the provision of forming gas.
  • the second switching valve 27 By switching the second switching valve 27, alternatively, the test chamber 03 or the test object 02 can be filled with forming gas.
  • the emptying lines 17, 26 are guided in the same way to a third switching valve 28.
  • the switching valves 27, 28 are each to be switched in such a way that the forming gas flow is conducted either from the reservoir 06 via the test chamber 03 to the collector 19 or from the reservoir 06 via the test object 02 to the collector 19.
  • a fourth switching valve 29 With which the volume circulated over the external circuit either the test chamber 03 or the test object 02 is supplied.
  • a fifth change-over valve 31 in the discharge line 08 with which the volume circulated via the external circuit is removed either from the test chamber 03 or from the test object 02.
  • the switching valves 29, 31 are each to be switched in such a way that either the volume in the test chamber 03 or the volume in the test object 02 is circulated via the external circuit.
  • the third changeover valve 27 in the filling lines 04, 24 and the fourth changeover valve 28 in the discharge lines 17, 26 are to be switched so that the forming gas is introduced into the test object 02 and slides off the test object 02.
  • the changeover valves 29, 31 are each to be switched in such a way that the volume in the test chamber 03 is circulated via the external circuit.
  • Switching valve 27 in the filling lines 04, 24 and the fourth switching valve 28 in the discharge lines 17, 26 to switch so that the forming gas is introduced into the test chamber 03 and slides off the test chamber 03.
  • the changeover valves 29, 31 are each to be switched in such a way that the volume in the test object 02 is circulated via the external circuit.
  • the mode of operation of the device 01 thus achieved corresponds to the function of the embodiment explained above for performing inverse measurements.
  • the embodiment shown in Fig. 2 has the advantage that the device 01 by switching the valves 27, 28, 29, 31 can be configured very quickly and simply for an accumulation measurement or an inverse measurement.
  • the switching valves 27, 28, 29, 31 can also be formed by other switching devices for the controlled inlet and outlet of the gases.
  • the switching devices may for example also be formed by multi-way valves or slides.
  • the switching valves 29, 31 and the switching valves 27, 28 may be combined in each case to a switching device.
  • FIG. 3 shows a schematic representation of the device 01 according to the invention in a modified embodiment, which makes possible the leak-tightness test of test objects 02 which, in addition to the first cavity, have at least one second cavity 32.
  • both the tightness of the test object 02 to the outside (ie relative to the test chamber 03) and the tightness between the plurality of cavities 02, 32 can be determined within the test object.
  • the switching valves 27, 28, 29, 31 explained in connection with FIG. 2 allow a switchover between the measurements, without the need for a modification of the device 01 or changes to the test object 02.
  • the device 01 is only modified such that the second filling line 24 is guided to the second cavity 32 in the test object 02 and the second discharge line 26 is connected to the second cavity 32.
  • the third switching valve 27 in the filling lines 04, 24 and the fourth switching valve 28 in the drain lines 17, 26 to be switched so that the forming gas in the first cavity 02 is introduced and slides off the first cavity 02.
  • the changeover valves 29, 31 are each to be switched in such a way that the volume in the test chamber 03 is circulated via the external circuit.
  • the thus achieved function of the device 01 corresponds to the function of the embodiment shown in FIG.
  • the third switching valve 27 in the filling lines 04, 24 and the fourth switching valve 28 in the discharge lines 17, 26 are switched so that the forming gas is introduced into the second cavity 32 and is derived from the second cavity 32.
  • the switching valves 29, 31 are to be switched so that the volume in the first cavity 02 is circulated via the external circuit.
  • the first cavity 02 is thus in the function of the test chamber 03 of the embodiment shown in Fig. 1.
  • the third switching valve 27 in the filling lines 04, 24 and the fourth switching valve 28 in the drain lines 17, 26 to be switched so that the forming gas is introduced into the second cavity 32 and the second cavity 32nd is derived.
  • the changeover valves 29, 31 are each to be switched in such a way that the volume in the test chamber 03 is circulated via the external circuit.
  • FIG. 4 shows a schematic representation of the device 01 according to the invention in a preferred embodiment for testing a plurality of cavities of a test object.
  • this embodiment has a first and a second external circuit.
  • the first circuit comprises a first supply line 36, a first discharge line 37, a first pump 38 and a first measuring chamber 39, which is arranged outside the test chamber 03.
  • the search gas is provided by a first reservoir 41, which is connected by a first filling line 42 to the first circuit.
  • the first filling line 42 opens into a changeover valve 43 in the first discharge line 37.
  • the changeover valve 43 in the first discharge line 37 can either be connected in such a way that the volume in the first cycle can be circulated or if the search gas from the first reservoir 41 flows via the first filling line 42 and over part of the first discharge line 37 into the first cavity 02.
  • a simple pipe connection between the first discharge line 37 and the first filling line 42 can alternatively be used if the outlet of the search gas from the first reservoir 41 can be controlled, for example by an outlet valve on the first reservoir 41.
  • a switching valve 44 is switched in the first supply line 36.
  • a circulation of the volume in the first circuit can take place.
  • the search gas flows from the first cavity 02 via a part of the first supply line 36 into a first discharge line 46.
  • the first discharge line 46 there is a first suction 47, with which the search gas from the first cavity 02 can be sucked off.
  • the switching valve 44 in the first supply line 36 may alternatively be formed by a simple pipe connection between the first supply line 36 and the first discharge line 46, when the exit of the search gas via the first exhaust 47 is completely and controllable prevented.
  • the first drain line 46 opens into a first exhaust duct 48, which in turn opens into a first catchment 49.
  • a first circulation switching valve 51 and a circulation supply valve 52 are further arranged.
  • the first cycle switching valve 51 has four ports and two paths.
  • a first position of the circulation switching valve 51 the first circuit is closed.
  • a second position of the circulation switching valve 51 a first supply air duct 53 is connected to the first supply line 36, while at the same time a first measuring chamber outlet 54 is connected to the first exhaust air duct 48.
  • a first position of the circulation supply valve 52 the first circuit is closed.
  • a Messcrozzakanal 56 is connected to a first pump supply line 57.
  • the first cycle switching valve 51 is designed as a double valve with a first valve connection 58, a second valve connection 59, a third valve connection 61 and a fourth valve connection 62 (shown in FIG. 5, respectively).
  • the first valve connection 58 is connected to the measuring chamber outlet 54, the second valve connection 59 to the first supply line 36, the third valve connection 61 to the first supply air duct 53 and the fourth valve connection 62 to the first exhaust air duct 48.
  • the first valve port 58 and the second valve port 59 and the third valve port 61 and the fourth valve port 62 are connected, and the connection between the third valve port 61 and the fourth valve port 62 is not used.
  • the first valve connection 58 and the fourth valve connection 62 as well as the second valve connection 59 are and the third valve port 61 connected to each other.
  • the circulation supply valve 52 is designed in the same way as the first circulation switching valve 51, but with only three valve connections.
  • a first pitot tube with a sensor 63 is located in the first measuring chamber 39.
  • the second external circuit comprises, in the same way as the first external circuit, a second supply line 70, a second discharge line 71, a second pump 72 and a second measuring chamber 73, which is arranged outside the test chamber 03.
  • the search gas is provided by a second reservoir 74, which is connected by a second filling line 76 to the second cavity 32.
  • the second cavity 32 is emptied via a second drain line 77, in which a second suction 78 is located.
  • the second discharge line 77 opens into a second exhaust duct 79, which in turn opens into a second catchment 81.
  • a second circulation switching valve 82 is further arranged.
  • the second cycle switching valve 82 has four ports and two paths. In a first position of the second circulation switching valve 82, the second circuit is closed. In a second position of the second circulation switching valve 82, a second supply air duct 83 is connected to the second supply line 70, while at the same time a second measuring chamber outlet 84 is connected to the second exhaust air duct 79.
  • the second cycle switching valve 82 is similar in design to the first cycle switching valve 51.
  • both the density of the test object 02 to the outside (that is to say relative to the test chamber 03) and the tightness between the two cavities 02, 32 within the test object can be determined.
  • the test object 02 is introduced into the test chamber 03 and connected to the first supply line 36, the first discharge line 37, the second charge line 76 and the second discharge line 77.
  • the second cavity 32 is filled with test gas from the second reservoir 74, whereupon a measurement in the first circuit with the first sensor 63 can take place.
  • the emerging from the second cavity 32 into the first cavity 02 is measured gas.
  • the first cavity 02 is closed.
  • a measurement is carried out in the second circuit with the second sensor 86. In this case, the emerging from the second cavity 32 in the test chamber 03 search gas is measured.
  • both cavities 02, 32 are filled with search gas.
  • both cavities 02, 32 and the test chamber 03 can now be vented and the measurement can be repeated.
  • the two circuit switching valves 51, 82 and the circulation air valve 52 are each brought into the second switching position, whereupon on the one hand ambient air is sucked in via the two supply air ducts 53, 83 and the Messcrozuluftkanal 56 and on the other hand the volume located in the two circuits including the first cavity 02 and the test chamber 03 is conducted via the exhaust air channels 48, 79 into the two recesses 49, 81.
  • the two cavities 02, 32 via the two drain lines 46, 77 with the help of the two suction devices 47, 78 are emptied.
  • the possibilities mentioned for emptying the two circuits, the two cavities 02, 32 and the test chamber 03 can also be performed individually during a measurement sequence.
  • the preferred embodiment shown in FIG. 4 is based on the idea of combining two devices according to the invention, each with an external circuit, to form a device according to the invention with two external circuits.
  • the two individual devices, each with an external circuit are designed differently to allow on the one hand the circulation and measurement of the volume in the test chamber 03 and on the other hand, the circulation and measurement of the volume located in the first cavity 02.
  • Fig. 5 shows two views of the first cycle switching valve 51 shown in Fig. 4.
  • Fig. A) of Fig. 5 shows a perspective view
  • Fig. B) of Fig. 5 shows a plan view.
  • the circulation switching valve 51 comprises a valve body 90, on whose circumference the first valve connection 58, the second valve connection 59, the third valve connection 61 and the fourth valve connection 62 are arranged. are net.
  • the four valve ports 58, 59, 61, 62 are arranged in a plane and evenly distributed on a circle, so that two adjacent valve ports 58, 59; 61, 62 each have an angle of 90 ° to each other.
  • the four valve connections 58, 59, 61, 62 represent openings of the valve body 90 which all fit into a valve interior 91 of the valve body 90.
  • the valve interior 91 has a cylindrical shape in which a valve rotor 92 is rotatably arranged.
  • the valve rotor 92 has a first passage 93 and a second passage 94 (shown in FIG. 6).
  • the two passages 93, 94 are each formed by a lateral recess of the cylindrical valve rotor 92, wherein the recesses relative to the axis of rotation of the valve rotor 92 face each other.
  • the valve rotor 92 has only these recesses a cylindrical shape, which is accurately inserted into the cylindrical shape of the valve interior 91.
  • the two passages 93, 94 are designed so that they also on the height of the recess only partially remove the cylinder surface circumferentially. It requires between the valve interior 91 and the valve rotor 92 no seal or sealant to ensure a tightness between the two. The tightness is ensured exclusively by the low manufacturing tolerances and the surface properties of the valve interior 91 and the valve rotor 92.
  • the circulation switching valve 51 is shown in the second switching position in which the second valve port 59 communicates with the third valve port 61 via the first passage 93 connected is.
  • the first valve connection 58 is connected to the fourth valve connection 62 via the second passage 93.
  • a change between the two switching positions takes place by a rotation of the valve rotor 52 by a quarter turn.
  • the circulation switching valve 51 is in the first switching position, the first valve port 58 is connected to the second valve port 59 via the first passage 93, and the third valve port 61 is connected to the fourth valve port 62 via the second passage 93.
  • a rotor shaft 96 of the valve rotor 92 is guided to the outside, via which a torque can be transmitted from the outside to the valve rotor 92.
  • a toggle 97 is attached, at the end of a pneumatically driven actuator 98 engages, so that a toggle lever drive is formed.
  • a drive of the longitudinally acting actuator 98 via the toggle 97 causes a rotation of the valve rotor 92, so that the circuit switching device 51 can be switched from the first to the second switching position and vice versa.
  • other drive variants for the valve rotor are possible, for example, using the electromagnetic principle, when the valve rotor is simultaneously the rotor of an engine or is drivingly connected to such.
  • FIG. 6 is a sectional view of the cycle switching valve 51 shown in FIG. 5. More specifically, the first passage 93 and the second passage 94 are shown. The first valve port 58 is connected to the fourth valve port 62 via the second passage 94. The two recesses 93, 94 forming recesses were each provided by a bore which is perpendicular and spaced from the Rotation axis of the valve rotor 92 were introduced into the valve rotor 92.
  • the circuit switching valve 51 shown has the advantage that two valve paths can be easily and quickly switched by rotation.
  • the circulation switching valve 51 requires no additional sealing means and is hardly prone to failure.
  • the shown circulation switching valve 51 can also be adapted to other requirements.
  • the arrangement of the valve connections can be changed so that two valve ports are aligned in one direction.
  • the arrangement can be varied as desired, as long as the valve connections open into the valve interior so that they have in each case a connection to one of the two passages in the two switching positions.
  • the passages may be formed by differently shaped recesses such as dome-shaped recesses.
  • the valve rotor may also be formed by a flat plate, the space forming a passage adjacent to both sides of the plate.
  • the number of valve connections and the number of passages can also be adapted to the requirements. For example, such a valve can be designed with three valve ports and two ports or with six valve ports and three ports.
  • valve rotor can be effected by a motor instead of the toggle lever drive.
  • the rotor shaft does not have to be routed to the outside in principle, but can be magnetically coupled, for example.
  • valves can also be used advantageously in other arrangements, so that they are of general interest. LIST OF REFERENCE NUMBERS

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüfobjektes (02). Dabei wird zunächst ein Prüfobjekt (02) in einer Prüfkammer (03) angeordnet. Das Prüfobjekt (02) wird mit einem Suchgas mit Überdruck gegenüber der Prüfkammer (03) befüllt. Anschließend erfolgt die Umwälzung des in der Prüfkammer (03) befindlichen Gasvolumens über einen an die Prüfkammer (03) angekoppelten externen Kreislauf (07, 08, 09), welcher eine Messkammer (11) umfasst. Die Messung einer quantitativen Kenngröße des Suchgases erfolgt mit einem Sensor (14), der zur Ausführung der Messung in der Messkammer (11) angeordnet ist und sich im umgewälzten Gasvolumenstrom befindet. Die Erfindung betrifft außerdem eine Vorrichtung (01) zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüfobjektes (02), mit welcher das genannte Verfahren ausgeführt werden kann.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dichtigkeit eines PrüfObjektes
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüflings/ Prüfobj ektes . Ein solcher Prüfling kann ein Behalter, eine Leitung oder ein sonstiges Objekt mit einem Hohlraum sein, wobei eine festgelegte Dichtigkeit des Hohlraums geprüft werden soll.
Die Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüflings dient in vielen Fallen der Qualitätsprüfung. Dabei kann es sich beispielsweise um Behaltnisse für Haushaltschemikalien oder Lebensmittel, aber auch um Behaltnisse für Betriebsmedien in der Klimatechnik oder im Automobilbau handeln. Gerade wenn umweltkritische Medien im Prüfling gefuhrt oder gespeichert werden sollen oder wenn die Funktionsfahigkeit einer Anlage von der exakten Menge des enthaltenen Mediums abhangt, ist eine Dauerdichtigkeit von großer Bedeutung.
Aus der US 5,553,483 A ist ein System zur Bestimmung eines Leckes eines Objektes mit einem Hohlraum bekannt. Das Prufob- jekt wird in einer Prufkammer angeordnet und mit Helium oder einem anderen Suchgas gefüllt. Im Hohlraum des Objektes herrscht ein Überdruck. Die Prufkammer weist eine Einlassoff- nung auf, über die Stickstoff oder ein anderes Tragergas in die Prufkammer hineingeleitet wird. Weiterhin weist die Pruf- kammer einen Abzug für das Tragergas auf, der so positioniert ist, dass das in die Prufkammer eingeströmte Tragergas das Prufobjekt weitestgehend umströmt, bevor es zum Abzug gelangt. Weist das Objekt ein Leck auf, so strömt das austre- tende Suchgas in die Prüfkammer . Das Suchgas wird durch die Strömung des Trägergases in den Abzug geleitet, wo sich ein Sensor zur Bestimmung der Menge des Suchgases befindet. Die Genauigkeit des Systems ist von der technischen Erreichbar- keit eines hohen Unterdruckes in der Prüfkammer abhängig. Je größer der Unterdruck ist, desto genauer kann die Leckrate bestimmt werden bzw. desto kleiner ist die nachweisbare Leckrate. Nachteilig an dieser Lösung ist die Komplexität der Anlage, die auf Grund des großen zu erzielenden Unterdruckes notwendig ist. Die Anlage muss robust und vakuumtauglich sein. Die Taktzeit zur Prüfung mehrere Objekte ist fast ausschließlich von der Dauer zur Erzeugung des großen Unterdruckes abhängig, da ein schnelles Absaugen der Luft zu Vereisungen an den Bauteilen des Systems und somit zu Verfäl- schungen der Messergebnisse führt. Für eine hundertprozentige Prüfung von Bauteilen in einer Serienproduktion mit hohen Taktraten ist dieses Verfahren daher schon aufgrund der langen Messzeiten nicht geeignet.
Aus der WO 2005/054806 Al sind ein System und ein Verfahren zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Objektes bekannt. Das Prüfobjekt wird in einer Prüfkammer angeordnet und mit Wasserstoff als Suchgas gefüllt. Der Druck in der Prüfkammer wird auf 0,1 bis 250 Millibar verringert. Die Prüfkammer weist eine Einlassöffnung auf, über die ein Trägergas in die Prüfkammer hineingeleitet wird. Weiterhin weist die Prüfkammer einen Abzug für das Trägergas auf, der so positioniert ist, dass das in die Prüfkammer eingeströmte Trägergas das Prüfobjekt weitestgehend umströmt, bevor es zum Abzug gelangt. Das Trägergas wird mit einer Pumpe abgepumpt und an einen Sensor zur Bestimmung des Wasserstoffgehaltes geleitet. Weist das Objekt ein Leck auf, so strömt Wasserstoff in die Prüfkammer, wobei der Wasserstoff gemeinsam mit dem Trägergas zum Sensor geleitet wird. Nachteilig an dieser Losung ist, dass neben dem Wasserstoff als Suchgas ein Tragergas benotigt wird, wodurch das System und das Verfahren sehr aufwandig sind. Auch bei diesem Gerat muss zu einem bestimmten Zeit- punkt eine Gasmenge aus der Prufkammer entnommen werden, die nachfolgend vom Sensor detektiert wird. Der Sensor kann keine Änderungen feststellen, die erst nach dem Entnahmezeitpunkt der Probe eintreten. Um verlassliche Ergebnisse zu erzielen, muss eine Gleichverteilung des Prufgases in der Prufkammer abgewartet werden, woraus wiederum lange Messzyklen resultieren .
Aus der WO 02/075268 Al ist bekannt, ein Leck ohne die Verwendung eines Tragergases zu bestimmen. Das Prufobjekt wird hierzu mit Wasserstoff oder Helium als Suchgas gefüllt. Mit Hilfe eines Sensors für das jeweilige Suchgas wird die Konzentration des Suchgases in der Nahe des Prufobjektes ermittelt. Zwar ist die Hohe der Konzentration ein Indiz für die Große des Leckes, jedoch lassen sich mit diesem Verfahren keine genauen Rückschlüsse auf die Leckrate ziehen, da die Suchgaskonzentration nicht gleichverteilt ist.
Die WO 99/49290 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Dichtigkeit von Behaltnissen. Das Behalt- nis wird in einer Testkammer angeordnet. Das Innere des
Behältnisses ist über zwei Anschlüsse mit Leitungen verbunden, über welche Aerosol durch das Behältnis geleitet wird. Die Testkammer wird auf der einen Seite mit einem aerosolfreien Gas gefüllt, wahrend auf der anderen Seite der Test- kammer ein Aerosolsensor über eine Leitung angeschlossen ist. Alternativ kann auch das Behältnis mit dem aerosolfreien Gas und die Testkammer mit Aerosol gefüllt werden, wobei der Aerosolsensor über eine Leitung mit dem Inneren des Behalt- nisses zu verbinden ist. Zum Wechsel zwischen diesen beiden Betriebsarten kann ein Umschaltventil genutzt werden.
Die GB 2 314 421 A lehrt ein Verfahren zur Bestimmung von Lecken in Wärmetauschern. Der für den ersten Kreislauf am
Wärmetauscher vorgesehene Hohlraum wird mit Helium gefüllt. Der für den zweiten Kreislauf am Wärmetauscher vorgesehene Hohlraum wird mit einem Umwälzsystem verbunden, welches einen Heliumsensor umfasst.
Die JP 2005274291 A offenbart eine Vorrichtung zur Bestimmung von Lecken in einem Mehrkanalsystem. Ein solches Mehrkanalsystem umfasst einen inneren Hohlraum, welcher innerhalb eines äußeren Hohlraumes angeordnet ist. Das Mehrkanalsystem wird zudem in eine Testkammer eingebracht. Ein Gassensor ist mit der Testkammer und dem inneren Hohlraum verbunden.
Die DE 42 28 149 Al zeigt ein Vakuum-Messgerät für die integrale Dichtigkeitskontrolle mit leichten Gasen. Der in einem Prüfbehälter eingebrachte Prüfling wird mit einem
Testgas gefüllt. Alternativ wird der Prüfbehälter mit dem Testgas gefüllt.
Die DE 103 04 996 Al lehrt ein Dichtigkeitsprüfverfahren für Pumpen oder Druckbehälter. Der mit einem Prüfgas gefüllte
Prüfling wird unter einer Prüfhaube angeordnet. Die Prüfhaube weist eine Sensoröffnung zum Anschluss einer Sensorleitung auf. Die Prüfkammeratmosphäre wird mit Ventilatoren umgewälzt, sodass austretendes Leckagegas dem Sensor zugeführt wird.
Die DE 10 2004 045 803 Al zeigt ein Leckprüfverfahren und eine Vorrichtung hierfür. Diese LeckprüfVorrichtung weist eine gegenüber der Umgebung teilweise oder vollständig abgeschlossene Kammer auf, welche mit Füllgas gefüllt ist und in welcher sich das mit einem Prüfgas gefüllte Prüfobjekt befindet. Das aus einem möglichen Leck des PrüfObjektes austretende Prüfgas wird mit einem Partialdrucksensor detektiert, der auf das Prüfgas, aber nicht auf das Füllgas anspricht. Hierdurch sei eine Messung ohne Hochvakuum und ohne Massenspektrometer mit einfachen Mitteln ermöglicht. Bei einer ersten Variante dieser vorbekannten Lösung befindet sich das Prüfobjekt in einer hermetisch abgeschlossenen
Kammer, wobei der Partialdrucksensor innerhalb der Kammer oder an einer Wand der Kammer angeordnet ist. Es wird vorgeschlagen, in die Prüfkammer eine Ventilatorvorrichtung gegenüberliegend vom Partialdrucksensor anzuordnen, sodass die Prüfgasatome gleichmäßig in der Kammer verteilt werden. Alternativ hierzu wird vorgeschlagen, das in der Kammer befindliche Gas mit Hilfe eines Ventilators über eine Bypass- Leitung zu leiten, um die in der Kammer erforderliche Ventilation zu bewirken. Bei einer zweiten Variante dieser Lösung befindet sich das Prüfobjekt in einer Kammer, welche kontinuierlich vom Füllgas durchströmt wird. Mit Hilfe eines Sauggebläses wird permanent Umgebungsluft über eine Zuströmleitung angesaugt. Die Luft strömt zunächst am PrüfObjekt und anschließend am Partialdrucksensor vorbei. Der Partialdruck- sensor ist an einem Füllgasauslass oder unmittelbar dahinter angeordnet .
Die Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung besteht ausgehend von der DE 10 2004 045 803 Al darin, eine verbessertes Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüflings, d.h. eines Objektes mit einem Hohlraum bereitzustellen. Insbesondere wird angestrebt, die Messung unabhängiger vom Zeitpunkt einer Probenentnahme zu machen und die Wartezeit bis zum Vorliegen eines verlässlichen Messwertes zu verkürzen, ohne hierfür Einschränkungen hinsichtlich der Messbarkeit kleinster Lecke in Kauf nehmen zu müssen. Dadurch soll letztlich auch bei hohen Stückzahlen eine hundertprozentige Prüfung von Bauteilen (Prüflingen) möglich werden. Vorzugsweise soll für die Messung kein spezielles Trägergas erforderlich sein. Gemäß einer ersten Teilaufgabe der Erfindung soll die Vorrichtung flexibel und schnell an verschiedene Messmethoden, wie beispielsweise die Inversmessung anpassbar sein. Gemäß einer zweiten Teilaufgabe der Erfindung soll die Bestimmung der Dichtigkeit zwischen mehreren Hohlräumen innerhalb eines Prüfobjektes ermöglicht sein .
Die Hauptaufgabe wird gelöst durch Verfahren gemäß den beigefügten Ansprüchen 1 und 8 sowie durch Vorrichtungen gemäß den nebengeordneten Ansprüchen 9, 13, 14 und 15.
Ein wichtiger Aspekt der Erfindung ist darin zu sehen, dass sich ein Sensor zur Bestimmung der Menge eines Suchgases in einer Messkammer unmittelbar innerhalb eines externen Umwälzkreislaufes befindet, in welchem das durch ein im Prüfling vorhandenes Leck ausgetretene Suchgas gemeinsam mit dem in der Prüfkammer vorhandenen Gas umgewälzt wird. Die Messkammer stellt eine Messposition innerhalb des Umwälzkreislaufes bereit und kann im einfachsten Fall auch als Abschnitt der Rohre oder Leitungen des Kreislaufes ausgebildet sein. Der Sensor wird daher permanent von dem zu messenden Suchgas umströmt, sodass eine genaue Messung erstens nach kurzer Zeit und zweitens auch mehrfach ohne erneute Probenentnahme möglich ist. Es findet in dem unmittelbar kommunizierenden Umwälzkanal eine kontinuierliche Messung statt. Ein besonderer Vorteil dieser Erfindung besteht darin, dass das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung mit konventionellen Bauteilen realisiert werden können. Es wird weder ein spezielles Trägergas noch ein großer Unterdruck in der Prüfkammer benötigt. Daher ist eine kurze Taktzeit für die Prüfung mehrere Prüfobjekte ermöglicht. Natürlich ist das grobe Evakuieren der Prüfkammer oder das Befüllen mit einem Trägergas zweckmäßig, um das Prüfgas besser nachweisen zu können.
Ein weiterer Vorteil dieser Erfindung ist die Reproduzierbarkeit der Messung. Die vorbestimmte Füllung des Prüfobjektes mit Suchgas und eine gleich bleibende Umwälzung im Kreislauf bewirken, dass die Suchgaskonzentration am Sensor bei mehre- ren Messungen desselben Prüfobjektes oder eines Prüfobjektes mit einer gleichen Leckrate nur unwesentlich abweichen wird. Damit ist die Messsicherheit durch die Erfindung wesentlich erhöht .
Ein weiterer Vorteil der Erfindung ergibt sich daraus, dass der Bereich des möglichen Leckes des Prüfobjektes und der Ort der Messung räumlich getrennt sind. Daher besteht keine Abhängigkeit zwischen dem Ort des Leckes am PrüfObjekt und der Konzentration des Suchgases am Sensor.
Gemäß einer abgewandelten Ausführungsform kann die Vorrichtung auch als Zweikreisgerät aufgebaut sein. Es lassen sich dadurch auch PrüfObjekte mit mehreren voneinander getrennten Hohlräumen auf ihr Dichtigkeit untersuchen.
Besondere Ausführungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen genannt. Weitere Vorteile, Einzelheiten und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung mehrere Ausführungsformen, unter Bezugnahme auf die Zeichnungen. Es zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipdarstellung einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;
Fig. 2 eine Prinzipdarstellung einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung für Invers- und Akkumulationsmessungen;
Fig. 3 eine Prinzipdarstellung einer dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Prüfung von Objekten mit mehreren Hohlräumen;
Fig. 4 eine Prinzipdarstellung einer vierten Ausführungs- form der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Prüfung von mehreren, zueinander abgeschlossenen Hohlräumen eines Objektes;
Fig. 5 zwei Ansichten eines Kreislaufumschaltventils der in Fig. 4 gezeigten Ausführungsform; und
Fig. 6 eine Schnittansicht des in Fig. 5 gezeigten
Kreislaufumschaltventils .
Fig. 1 zeigt eine Prinzipdarstellung einer bevorzugten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 01 zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüfobjektes 02. Das Prüfobjekt 02 wird in einer Prüfkammer 03 der Vorrichtung 01 angeordnet. Die Prüfkammer 03 kann in Form einer Haube ausge- bildet sein, die auf einer Grundplatte aufgesetzt wird. In der Prufkammer 03 befindet sich Umgebungsluft. Alternativ konnte aber auch eine Befüllung der Prufkammer mit einem Trager- oder Inertgas erfolgen. Ebenso ist die Evakuierung der Prufkammer vor Beginn des PrüfVorgangs denkbar jedoch nicht zwingend erforderlich.
Die gebrauchsmaßigen Offnungen des Hohlraumes des PrüfObjektes 02 sind über eine Fullleitung 04 mit einem Reservoir 06 zur Bereitstellung eines Formiergases verbunden. Das Reservoir 06 zur Bereitstellung des Formiergases befindet sich zweckmaßigerweise außerhalb der Prufkammer 03 und kann durch ein Behältnis zur Aufbewahrung des Formiergases und eine steuerbare Druckpumpe gebildet sein. Die Fullleitung 04 zur Zufuhrung des Formiergases ist gegenüber der Prufkammer 03 abgedichtet. Wenn das Prufobjekt 02 ideal dicht wäre, wurde kein Formiergas in die Prufkammer 03 gelangen.
Die Prufkammer 03 weist eine Zuleitung 07 und eine Ableitung 08 auf. Die Zuleitung 07 und die Ableitung 08 sind vorzugsweise so angeordnet, dass sie sich an zwei gegenüberliegenden Seiten der Prufkammer 03 befinden, jedenfalls aber einen Abstand aufweisen, welcher der Ausdehnung der Prufkammer 03 weitgehend entspricht. Auf diese Weise werden Totvolumina in der Prufkammer vermieden. Des Weiteren sind die Zuleitung 07 und die Ableitung 08 so ausgeführt, dass eine gegebenenfalls vorhandene Gasstromung zwischen der Zuleitung 07 und der Ableitung 08 das Prufobjekt 02 weitestgehend umströmt.
Die Zuleitung 07 und die Ableitung 08 sind über einen externen Kreislauf miteinander verbunden. Dieser externe Kreislauf umfasst eine Umwalzeinheit 09 und eine Messkammer 11. Weiterhin umfasst der externe Kreislauf ein Kalibrierleck 12 und Umschaltventile 13. Das Gas in der Prüfkammer 03 wird über den externen Kreislauf umgewälzt, sobald der Prüfvorgang startet. Dieser Umwälzvorgang wird durch die Umwälzeinheit 09, z.B. eine Pumpe mit einem Volumendurchsatz von 10 Liter pro Sekunde angetrieben. Durch die Anordnung der Zuleitung 07 und der Ableitung 08 ist gewährleist, dass nahezu alle der in der Prüfkammer 03 vorhandenen Gasteilchen kontinuierlich durch den externen Kreislauf geleitet werden.
In der Messkammer 11 befindet sich ein Sensor 14. Der Sensor 14 dient zur Bestimmung der Menge des Formiergases. Die Zuführung des im Kreislauf umgewälzten Gases an den Sensor 14 kann vorteilhaft über ein Staurohr erfolgen, um am Sensor einen gleich bleibenden Staudruck zu erhalten. Der Sensor 14 und das Staurohr sind so ausgeführt, dass ein permanenter
Austausch des am Sensor 14 befindlichen Gases infolge des in die Messkammer 11 einströmenden Gases gegeben ist. Dadurch ist gewährleistet, dass die Gaskonzentration am Sensor 14 ständig der Gaskonzentration im externen Kreislauf ent- spricht. Während bei den vorbekannten Lösungen lediglich eine kleine Probe aus dem Gasvolumen entnommen wird, strömt am Sensor 14 ein Gasvolumen vorbei, welches pro Umwälzung des gesamten Kreislaufes dem einhundert- bis zweihundertfachen oder mehr des Volumens einer entnommenen Probe entspricht. Der Sensor 14 ist an eine Auswerteinheit 16 angeschlossen.
Weiterhin befinden sich im Kreislauf ein oder mehrere Filter (nicht gezeigt) zur Luftreinigung.
Das Formiergas besteht vorzugsweise aus einem Anteil von 95% Stickstoff und ein Anteil von 5% Wasserstoff. Wasserstoff eignet sich insbesondere als Suchgas, da hoch empfindliche Halbleitersensoren zur genauen Bestimmung der Wasserstoffmenge verfügbar geworden sind. Solche Halbleitersensoren können einen Wasserstoffgehalt von bereits 1 Partikel je einer Million Partikel feststellen. Zudem ist Wasserstoff geeignet, da die Hintergrundkonzentration von Wasserstoff in der Umgebungsluft nur etwa 0,5 Partikel je einer Million Partikel beträgt. Die Konzentration von Wasserstoff eines ausgetretenen Formiergases beträgt bei sehr kleinen Lecks etwa 5 Partikel je einer Million Partikel. Damit ist ein sicherer Abstand zur Bestimmung der Dichtigkeit mit Formiergas unter Atmosphärenbedingungen gegeben. Durch das Vorhan- densein von Atmosphärenbedingungen in der Prüfkammer 03 und im externen Kreislauf sind die Anforderungen an die Dichtigkeit der Prüfkammer 03 und des externen Kreislaufes niedrig. Die Erfindung ist auch für andere Suchgase anwendbar, insofern ein für das verwendete Suchgas geeigneter Sensor verfüg- bar ist und sich die durch die zu messenden Lecke erhöhte Konzentration des Suchgases deutlich von der Konzentration des Suchgases in der Luft unterscheidet. Beispielsweise kommen Helium oder Kohlendioxid als Suchgas in Frage.
Die Verwendung von Formiergas zur Bestimmung der Dichtigkeit des Prüfobjektes 02 ist insbesondere für zu messende Leckraten im Bereich von 10~5 bis 10° Millibar-Liter je Sekunde geeignet. Dies ist ein Bereich, in dem weder die Bestimmung der Dichtigkeit mit Druckluft noch die Verwendung von Helium als Suchgas zu einem befriedigenden Kosten-Nutzen-Verhältnis führt. Formiergas, bei welchem der Wasserstoffanteil erhöht ist, lässt die Bestimmung von Leckraten zu, die kleiner als 10~5 Millibar-Liter je Sekunde sind. Wird reiner Wasserstoff als Suchgas verwendet, lassen sich Leckraten von 10~8 Milli- bar-Liter je Sekunde ermitteln. Leckraten dieser Größenordnung ließen sich bislang nur mit Helium als Suchgas bestimmen . In einer alternativen Ausfuhrungsform wird in der Prufkammer 03 und im externen Kreislauf ein technisches Vakuum erzeugt. Dies ist beispielsweise vorteilhaft, wenn ein großer Druckunterschied zum Innendruck des Prufobjektes 02 erforderlich ist. Durch die Umwälzung der verbleibenden Luft einschließlich des gegebenenfalls ausgetretenen Suchgases durch den externen Kreislauf ist sichergestellt, dass der Sensor 14 vom Suchgas in einer Konzentration umströmt wird, welche der Konzentration in der Prufkammer 03 entspricht. Diese Ausfuh- rungsform der Erfindung ist auch für Suchgase geeignet, deren Nachweis in Luft problematisch ist.
Für die Bestimmung der Dichtigkeit des Prufobjektes 02 wird die gebrauchsmaßige Öffnung des Prufobjektes 02 zunächst bei geöffneter Prufkammer 03 mit der Fullleitung 04 zum Mittel 06 zur Bereitstellung des Formiergases verbunden. Viele Prufob- jekte weisen genau eine gebrauchsmaßige Öffnung auf. Diese ist für Flaschen und ahnliche Behaltnisse durch die Öffnung gegeben, an der die Flasche zum Gebrauch geöffnet und verschlossen wird. Insofern das Prufobjekt 02 mehrere gebrauchsmaßige Offnungen aufweist, sind entsprechend mehrere Fullleitungen 04 mit dem Prufobjekt 02 zu verbinden oder einige der gebrauchsmaßigen Offnungen zu verschließen. Die Fullleitungen 04 können innerhalb der Prufkammer 03 zu einer Leitung vereinigt sein oder aber samtlich zum Reservoir 06 zur Bereitstellung des Formiergases gefuhrt sein. Insofern das Prufobjekt 02 keine gebrauchsmaßige Öffnung aufweist, ist das Prufobjekt mit einer Öffnung zur Durchfuhrung der Dichtigkeitsbestimmung zu versehen, wobei diese Öffnung nach dem Abschluss der Dichtigkeitsbestimmung wieder zu verschließen ist. Die Fullleitungen 04 und deren Verbindungen zum Prufobjekt 02 müssen eine Leckrate aufweisen, die wesentlich kleiner als die zu messende Leckrate des Prufobjektes 02 ist. Weiterhin ist das Prufobjekt 02 mit einer Entleerungsleitung 17 verbunden. Die Entleerungsleitung 17 ist mit einem Sperrventil 18 verschlossen. Nach Abschluss der Dichtigkeitspru- fung wird das Sperrventil 18 geöffnet, sodass das Formiergas aus dem Prufobjekt 02 in einen Auffang 19 abgeführt wird oder als Abluft entweichen kann. Wenn das Prufobjekt 02 vollständig mit den Fullleitungen 04 und der Entleerungsleitung 17 verbunden ist, wird die Prufkammer 03 verschlossen. Insofern die Prufkammer 03 als Haube ausgebildet ist, muss diese auf die Grundplatte aufgesetzt werden und gegenüber der Grundplatte abgedichtet werden. Für den Start der Dichtigkeitspru- fung muss das Prufobjekt 02 mit Formiergas gefüllt werden. Das Formiergas muss im Prufobjekt 02 einen bestimmten Uber- druck aufweisen, der in Abhängigkeit von der Art des Prufob- jektes 02 und den zu messenden Lecken zu wählen ist. Je kleiner die zu messenden Leckraten sind, desto großer ist der Druck des Formiergases zu wählen. Des Weiteren sind die Umwalzeinheit 09 und die Auswerteeinheit 16 in Betrieb zu nehmen. Zunächst wird die Luft, die sich in der Prufkammer 03 einschließlich der Zuleitung 07 und der Ableitung 08 sowie in der Messkammer 11 und in der Umwalzeinheit 09 befindet, umgewalzt. Diese Luft entspricht in ihrer Zusammensetzung anfanglich der Umgebungsluft, sodass am Sensor 14 Wasserstoff in einer typischen Konzentration von etwa 0,5 Partikeln je einer Million Partikel vorhanden ist. Gerade bei der Ausfuhrung zahlreicher aufeinander folgender Prüfungen ist es aber zweckmäßig, vor der Befüllung des Prufobjekts 02 mit dem Suchgas bei geschlossener Prufkammer 03 eine Startmessung am Sensor 14 auszufuhren, um die anfanglich vorhandene Konzentration des Suchgases zu bestimmen. Insofern das Prufobjekt 02 ein oder mehrere Lecks aufweist, wird das Formiergas in die Prufkammer 03 gelangen, da im Prufobjekt 02 ein Überdruck gegeben ist. Da die Luft in der Prufkammer 03 über den externen Kreislauf mit relativ großem Volumenstrom umgewalzt wird, wird ebenso das aus dem Prufobjekt 02 in die Prufkammer 03 einströmende Formiergas sofort über den externen Kreislauf umgewalzt. Das Gemisch aus Luft und Formiergas wird dabei in Richtung 21 durch die Prufkammer 03 und in Richtung 22 durch die Messkammer 11 transportiert. Da das Formiergas Wasserstoff enthalt, steigt die Wasserstoffkonzentration am Sensor 14 ohne nennenswerte Verzögerung an. Folglich lasst sich mit der Auswerteeinheit 16 ermitteln, ob das Prufobjekt 02 ein Leck aufweist. Die Hohe der Wasserstoffkonzentration in der jeweiligen Messperiode ist ein Maß für die Große des Leckes oder der Summe der Lecke, wenn mehrere Lecke vorhanden sind. Diese Methode der Dichtigkeits- prufung wird auch als Akkumulationsmessung bezeichnet.
Nach dem Abschluss der Dichtigkeitsbestimmung kann das im externen Kreislauf befindliche Gasgemisch durch Offnen eines der Umschaltventile 13 in einen Abluftkanal 23 ausgelassen werden .
Die Anordnung des Sensors im Kreislauf, in welchem das in der Prufkammer 03 enthaltene Gas umgewalzt wird, soll die unmittelbare Einbindung des Sensors in das komplette Gasvolumen bewirken, um ohne das Erfordernis einer Probenentnahme eine quasi kontinuierliche Messung der Suchgaskonzentration zu ermöglichen .
Das erfindungsgemaße Verfahren und die erfindungsgemaße Vorrichtung können auch für eine Permeationsprufung genutzt werden. Bei einer Permeationsprufung wird die Permeabilität des PrüfObjektes bestimmt. Auf Grund der Permeabilität des Werkstoffes des Prüfobjektes tritt das Suchgas auch ohne das Vorhandensein von Lecken (in Form von Fehlerstellen) auf. Permeationsprüfungen werden beispielsweise für Gummischutz- handschuhe durchgeführt. Hierbei wird unter anderem die so genannte Durchbruchszeit bestimmt. Die Durchbruchszeit ist die Zeitdauer zwischen dem Beginn der Prüfung und dem Zeitpunkt, ab dem die Permeabilitätsrate mindestens 1 Mikrogramm je QuadratZentimeter und Minute beträgt. Oft nimmt nach der Durchbruchszeit die Permeabilitätsrate stark zu. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und der erfindungsgemäßen Vorrichtung lassen sich Permeationsprüfungen besonders genau durchführen, da durch die Umwälzung eine exakte Messung des zeitlichen Verlaufes des Suchgasaustrittes möglich ist.
Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung können auch für eine Inversmessung genutzt werden. Bei der Inversmessung wird die Prüfkammer mit dem Suchgas gefüllt, während ein Hohlraum des Prüfobjektes eine Zuleitung und eine Ableitung für einen externen Kreislauf aufweist. Das Suchgas tritt bei Vorhandensein eines Leckes aus der Prüfkammer in den Hohlraum des PrüfObjektes ein und lässt sich dann wie beschrieben im externen Kreislauf nachweisen .
Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung können auch für eine Partialmessung genutzt werden. Eine solche Partialmessung ist erforderlich, wenn das Prüfobjekt 02 nicht vollständig innerhalb der Prüfkammer 03 angeordnet werden kann. Insofern die Prüfkammer 03 durch eine Haube gebildet ist, wird die Haube gegen das Prüfobjekt 02 abgedichtet. Die Haube umschließt dabei den Teil der Oberflä- che des Prüfobjektes 02, der mit dieser Partialprüfung geprüft werden kann.
Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung können auch für einen Bombing-Test zur Bestimmung der Dichtigkeit eines hermetisch abgeschlossenen Prüfobjektes angewendet werden. Der Bombing-Test ist beispielsweise für elektronische Bauelemente, wie Transistoren oder Schaltkreise geeignet. Das Prüfobjekt wird zunächst in einer Druckkammer angeordnet, die mit einem Suchgas gefüllt ist, wobei der
Druck in der Druckkammer auf beispielsweise 5 Bar erhöht ist. Das Prüfobjekt verbleibt für eine festgelegte Zeitdauer von beispielsweise 5 Minuten in der Druckkammer. Während dieser Zeitdauer strömt Suchgas in das Innere des PrüfObjektes, insofern das PrüfObjekt Lecke aufweist. Im unmittelbaren
Anschluss wird das Prüfobjekt in der Prüfkammer angeordnet, wobei die Umwälzung und die Messung wie oben beschrieben durchgeführt werden. Während dieser Phase strömt das in das PrüfObjekt eingedrungene Suchgas wieder aus diesem heraus. Aus der gemessenen Leckrate kann auf die wahre Leckrate rückgeschlossen werden.
Um mit der Vorrichtung 01 zur Bestimmung der Dichtigkeit die Leckrate des Prüfobjektes 02 exakt bestimmen zu können, wird die Vorrichtung 01 kalibriert. Bei einer externen Kalibrierung wird die Vorrichtung mit Messnormalen oder Kalibrierlecks kalibriert. Solche Kalibrierlecke werden beispielsweise von akkreditierten Laboren gemäß DIN hergestellt. Die Kalibrierlecke können in ein Objekt, welches dem Prüfobjekt 02 ähnelt und leckfrei ist, integriert werden. Alternativ können ein oder mehrere Kalibrierlecke innerhalb des Umwälzungskreislaufes in die Vorrichtung 01 integriert sein. Die in der Fig. 1 gezeigte Ausführungsform weist ein Kalibrierleck 12 im externen Kreislauf vor der Umwälzeinheit 09 auf. Durch die Aufnahme von Messwerten bei abgeschaltetem und bei zugeschaltetem Kalibrierleck 12 wird die Messfähigkeit der Vorrichtung 01 festgestellt, sodass eine Festlegung der Parameter für die Befüllung des Prüfobjektes 02 und der Parameter für die Umwälzung sowie eine Festlegung der Messabläufe erfolgen können. Des Weiteren können diese Werte mit herstellerseiti- gen Angaben verglichen werden, um die Messfähigkeit der Vorrichtung 01 zum Zeitpunkt der externen Kalibrierung bewer- ten zu können.
Eine interne Kalibrierung erfolgt ebenfalls mit Messnormalen oder Kalibrierlecken. Hierfür weist die Auswerteinheit 16 eine automatische Abgleichmöglichkeit auf. Es erfolgt ein Vergleich der Normdaten, die für das verwendete Kalibrierleck 12 im Speicher der Auswerteeinheit 16 abgelegt sind, mit den Messdaten, die während der internen Kalibrierung für das Kalibrierleck 12 aufgenommen werden. In den meisten Fällen treten nur geringe Abweichungen auf, sodass lediglich die in der Auswerteeinheit 16 verwendeten Parameter des funktionellen Zusammenhanges zwischen Leckrate und der gemessenen Suchgaskonzentration angepasst werden müssen. Falls es zu größeren Abweichungen kommt, gibt die Auswerteeinheit 16 einen Alarm, dass die Vorrichtung werkseitig neu zu kalibrieren ist.
Der Sensor 14 gibt beim Auftreffen des Suchgases auf die Oberfläche des Sensors 14 ein analoges Signal ab, welches sich im Verhältnis zur auftreffenden Menge Suchgas pro Zeit- einheit ändert. Die Veränderung dieses Signals in einer bestimmten Zeiteinheit ist eine Kenngröße für die Menge an Suchgas, die aus dem Leck ausströmt. Die Auswertung dieser Kenngröße kann für bestimmte Zeitpunkte, integral über eine bestimmte Zeitdauer oder für den zeitlichen Verlauf erfolgen. Die Ermittlung derartiger Maße ist möglich, da der Sensor 14 permanent von dem im Kreislauf umgewälzten Suchgas-Luft- Gemisch umströmt ist. Insofern die Parameter für die Befül- lung des Prüfobjektes 02 und die Parameter für die Umwälzung im Kreislauf konstant sind, sind die ermittelten Maße mit anderen Messungen, insbesondere mit denen der Kalibrierungen vergleichbar. Folglich können mit dem in der Kalibrierung ermittelten funktionellen Zusammenhang zwischen der Leckrate und den Maßen für die gemessene Suchgaskonzentration genaue Rückschlüsse auf die Leckrate des Prüfobjektes gezogen werden .
Im Vergleich mit anderen Prüfmethoden, die eine Probe aus der Prüfkammer entnehmen und diese einem Sensor zuführen, kann erfindungsgemäß schneller mit der Messung begonnen werden, da eine quasi Gleichverteilung durch den Umwälzvorgang schnell erreicht ist. Außerdem kann über eine vorgegebene Messzeit eine kontinuierliche Messung der Gaskonzentration durch den Sensor vorgenommen werden. Aus dem ermittelten Konzentrationsanstieg im Umwälzstrom lässt sich mit herkömmlichen mathematischen Verfahren bereits nach der Aufnahme weniger Messwerte eine Funktion bestimmen, welche die Leckrate des PrüfObjekts repräsentiert.
Die Kalibrierung der Vorrichtung 01 und die Gewährleistung konstanter Parameter für die Befüllung des Prüfobjektes 02 und für die Umwälzung im Kreislauf erlaubt eine exakte Bestimmung der Leckrate des Prüfobjektes 02 über einen großen Wertebereich. Die Leckrate kann in unterschiedlichen Einheiten ermittelt werden und als Klartext auf der Auswerteeinheit ausgegeben werden. Es können beispielsweise die Einheiten Kubikzentimeter je Minute oder Millibar-Liter je Sekunde für die Angabe der Leckrate verwendet werden. Weithin kann über die Anzeige eine Entscheidung ausgegeben werden, ob es sich bei dem Prufobjekt um ein Gut-Teil oder ein Schlecht-Teil handelt. Diese Entscheidung kann auch in anderer Weise optisch oder akustisch ausgegeben werden, sodass der Bediener die Schlecht-Teile sehr schnell aussortieren kann und eine kurze Taktdauer bei der Überprüfung vieler Prufobjekte gewahrleistet ist.
Fig. 2 zeigt eine Prinzipdarstellung der erfindungsgemaßen
Vorrichtung 01 in einer abgewandelten Ausfuhrungsform, welche sowohl eine Akkumulationsmessung als auch alternativ eine Inversmessung erlaubt. Die Vorrichtung 01 besitzt zusatzlich zu den im Zusammenhang mit Fig. 1 beschriebenen generellen Bestandteilen weiterhin eine zweite Fullleitung 24 zur Befüllung der Prufkammer 03 mit Formiergas und eine zweite Entleerungsleitung 26 zur Entleerung der Prufkammer 03. Die FuIl- leitungen 04, 24 sind über ein zweites Umschaltventil 27 mit dem Reservoir 06 zur Bereitstellung von Formiergas verbunden. Durch eine Umschaltung des zweiten Umschaltventils 27 kann alternativ die Prufkammer 03 oder das Prufobjekt 02 mit Formiergas gefüllt werden. Die Entleerungsleitungen 17, 26 sind in gleicher Weise zu einem dritten Umschaltventil 28 gefuhrt. So kann entweder die Prufkammer 03 oder das Prufob- jekt 02 entleert und das Formiergas zu dem Auffang 19 geleitet werden. Die Umschaltventile 27, 28 sind jeweils beide so zu schalten, dass der Formiergasstrom entweder vom Reservoir 06 über die Prufkammer 03 zum Auffang 19 geleitet wird oder vom Reservoir 06 über das Prufobjekt 02 zum Auffang 19.
In der Zuleitung 07 befindet sich ein viertes Umschaltventil 29, mit welchem das über den externen Kreislauf umgewalzte Volumen entweder der Prufkammer 03 oder dem Prufobjekt 02 zugeführt wird. In gleicher Weise befindet sich in der Ableitung 08 ein fünftes Umschaltventil 31, mit welchem das über den externen Kreislauf umgewälzte Volumen entweder von der Prüfkammer 03 oder von dem Prüfobjekt 02 abgeführt wird. Die Umschaltventile 29, 31 sind jeweils beide so zu schalten, dass entweder das Volumen in der Prüfkammer 03 oder das Volumen im Prüfobjekt 02 über den externen Kreislauf umgewälzt wird.
Zur Durchführung einer Akkumulationsmessung sind das dritte Umschaltventil 27 in den Füllleitungen 04, 24 und das vierte Umschaltventil 28 in den Entleerungsleitungen 17, 26 so zu schalten, dass das Formiergas in das Prüfobjekt 02 eingeleitet und vom Prüfobjekt 02 abgleitet wird. Die Umschaltventile 29, 31 sind jeweils beide so zu schalten, dass das Volumen in der Prüfkammer 03 über den externen Kreislauf umgewälzt wird. Die so erzielte Funktionsweise der Vorrichtung 01 entspricht der Funktion der in der Fig. 1 gezeigten Ausführungsform.
Zur Durchführung einer Inversmessung sind das dritte
Umschaltventil 27 in den Füllleitungen 04, 24 und das vierte Umschaltventil 28 in den Entleerungsleitungen 17, 26 so zu schalten, dass das Formiergas in die Prüfkammer 03 eingeleitet und von der Prüfkammer 03 abgleitet wird. Die Umschalt- ventile 29, 31 sind jeweils beide so zu schalten, dass das Volumen im Prüfobjekt 02 über den externen Kreislauf umgewälzt wird. Die so erzielte Funktionsweise der Vorrichtung 01 entspricht der Funktion der oben erläuterten Ausführungsform zur Durchführung von Inversmessungen .
Die in Fig. 2 gezeigte Ausführungsform weist den Vorteil auf, dass die Vorrichtung 01 durch ein Umschalten der Ventile 27, 28, 29, 31 sehr schnell und einfach für eine Akkumulationsmessung oder eine Inversmessung konfiguriert werden kann.
Die Umschaltventile 27, 28, 29, 31 können auch durch andere Umschalteinrichtungen zum gesteuerten Ein- und Auslass der Gase gebildet sein. Die Umschalteinrichtungen können beispielsweise auch durch Mehrwegehähne oder Schieber gebildet sein. Auch können die Umschaltventile 29, 31 sowie die Umschaltventile 27, 28 jeweils zu einer Umschalteinrichtung kombiniert sein.
Fig. 3 zeigt eine Prinzipdarstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 01 in einer abgewandelten Ausführungsform, welche die Dichtigkeitsprüfung von Prüfobjekten 02 ermöglicht, die neben dem ersten Hohlraum mindestens einen zweiten Hohlraum 32 aufweisen. Mit dieser Ausführungsform kann sowohl die Dichtigkeit des Prüfobjektes 02 nach außen (also gegenüber der Prüfkammer 03) als auch die Dichtigkeit zwischen den mehreren Hohlräumen 02, 32 innerhalb des Prüfobjekts bestimmt werden. Die im Zusammenhang mit Fig. 2 erläuterten Umschaltventile 27, 28, 29, 31 ermöglichen ein Umschalten zwischen den Messungen, ohne dass hierfür ein Umbau der Vorrichtung 01 oder Veränderungen am Prüfobjekt 02 notwendig sind. Die Vorrichtung 01 ist hinsichtlich der in Fig. 2 beschriebenen Ausführungsform nur derart verändert, dass die zweite Füllleitung 24 zu dem zweiten Hohlraum 32 im Prüfobjekt 02 geführt ist und die zweite Entleerungsleitung 26 am zweiten Hohlraum 32 angeschlossen ist.
Zur Bestimmung der Dichtigkeit des ersten Hohlraumes 02 nach außen sind das dritte Umschaltventil 27 in den Füllleitungen 04, 24 und das vierte Umschaltventil 28 in den Entleerungsleitungen 17, 26 so zu schalten, dass das Formiergas in den ersten Hohlraum 02 eingeleitet und vom ersten Hohlraum 02 abgleitet wird. Die Umschaltventile 29, 31 sind jeweils beide so zu schalten, dass das Volumen in der Prüfkammer 03 über den externen Kreislauf umgewälzt wird. Die so erzielte Funk- tionsweise der Vorrichtung 01 entspricht der Funktion der in der Fig. 1 gezeigten Ausführungsform.
Zur Bestimmung der Dichtigkeit des zweiten Hohlraumes 32 gegenüber dem ersten Hohlraum 02 sind das dritte Umschaltven- til 27 in den Füllleitungen 04, 24 und das vierte Umschaltventil 28 in den Entleerungsleitungen 17, 26 so zu schalten, dass das Formiergas in den zweiten Hohlraum 32 eingeleitet und vom zweiten Hohlraum 32 abgleitet wird. Die Umschaltventile 29, 31 sind so zu schalten, dass das Volumen im ersten Hohlraum 02 über den externen Kreislauf umgewälzt wird. Der erste Hohlraum 02 steht somit in der Funktion der Prüfkammer 03 der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform.
Zur Bestimmung der Dichtigkeit des zweiten Hohlraumes 32 nach außen sind das dritte Umschaltventil 27 in den Füllleitungen 04, 24 und das vierte Umschaltventil 28 in den Entleerungsleitungen 17, 26 so zu schalten, dass das Formiergas in den zweiten Hohlraum 32 eingeleitet und vom zweiten Hohlraum 32 abgleitet wird. Die Umschaltventile 29, 31 sind jeweils beide so zu schalten, dass das Volumen in der Prüfkammer 03 über den externen Kreislauf umgewälzt wird.
Fig. 4 zeigt eine Prinzipdarstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 01 in einer bevorzugten Ausführungsform zur Prüfung von mehreren Hohlräumen eines PrüfObjektes . Hierfür weist diese Ausführungsform einen ersten und einen zweiten externen Kreislauf auf. Der erste Kreislauf umfasst eine erste Zuleitung 36, eine erste Ableitung 37, eine erste Pumpe 38 und eine erste Messkammer 39, die außerhalb der Prüfkammer 03 angeordnet ist. Das Suchgas wird durch ein erstes Reservoir 41 bereitgestellt, welches durch eine erste Füllleitung 42 mit dem ersten Kreislauf verbunden ist. Die erste Fülllei- tung 42 mündet in ein Umschaltventil 43 in der ersten Ableitung 37. Das Umschaltventil 43 in der ersten Ableitung 37 kann entweder so geschaltet sein, dass eine Umwälzung des im ersten Kreislauf befindlichen Volumens erfolgen kann oder dass das Suchgas aus dem ersten Reservoir 41 über die erste Füllleitung 42 und über einen Teil der ersten Ableitung 37 in den ersten Hohlraum 02 strömt. Statt des Umschaltventils 43 kann alternativ eine einfache Rohrverbindung zwischen der ersten Ableitung 37 und der ersten Füllleitung 42 genutzt werden, wenn der Austritt des Suchgases aus dem ersten Reser- voir 41 steuerbar ist, beispielsweise durch ein Auslassventil am erstem Reservoir 41.
Zur Entleerung des ersten Hohlraumes 02 wird ein Umschaltventil 44 in der ersten Zuleitung 36 umgeschaltet. In einer ers- ten Stellung des Umschaltventils 44 in der ersten Zuleitung 36 kann eine Umwälzung des im ersten Kreislauf befindlichen Volumens erfolgen. In einer zweiten Stellung des Umschaltventils 44 strömt das Suchgas aus dem ersten Hohlraum 02 über einen Teil der ersten Zuleitung 36 in eine erste Entleerungs- leitung 46. In der ersten Entleerungsleitung 46 befindet sich eine erste Absaugung 47, mit der das Suchgas aus dem ersten Hohlraum 02 abgesaugt werden kann. Das Umschaltventil 44 in der ersten Zuleitung 36 kann alternativ durch eine einfache Rohrverbindung zwischen der ersten Zuleitung 36 und der ersten Entleerungsleitung 46 gebildet sein, wenn der Austritt des Suchgases über die erste Absaugung 47 vollständig und steuerbar verhinderbar ist. Die erste Entleerungsleitung 46 mündet in einen ersten Abluftkanal 48, der seinerseits in einen ersten Auffang 49 mündet.
Im ersten Kreislauf sind weiterhin ein erstes Kreislaufum- schaltventil 51 und ein Kreislaufzuluftventil 52 angeordnet. Das erste Kreislaufumschaltventil 51 weist vier Anschlüsse und zwei Wege auf. In einer ersten Stellung des Kreislaufumschaltventils 51 ist der erste Kreislauf geschlossen. In einer zweiten Stellung des Kreislaufumschaltventils 51 ist ein erster Zuluftkanal 53 mit der ersten Zuleitung 36 verbunden, während gleichzeitig ein erster Messkammeraustritt 54 mit dem ersten Abluftkanal 48 verbunden ist. In einer ersten Stellung des Kreislaufzuluftventils 52 ist der erste Kreislauf geschlossen. In einer zweiten Stellung des Kreislaufzu- luftventils 52 ist ein Messkammerzuluftkanal 56 mit einer ersten Pumpenzuleitung 57 verbunden. Das erste Kreislaufum- schaltventil 51 ist als Doppelventil mit einem ersten Ventil- anschluss 58, einem zweiten Ventilanschluss 59, einem dritten Ventilanschluss 61 und einem vierten Ventilanschluss 62 (jeweils gezeigt in Fig. 5) ausgeführt. Bei dem ersten Kreislaufumschaltventil 51 ist der erste Ventilanschluss 58 mit der Messkammeraustritt 54, der zweite Ventilanschluss 59 mit der ersten Zuleitung 36, der dritte Ventilanschluss 61 mit dem ersten Zuluftkanal 53 und der vierte Ventilanschluss 62 mit dem ersten Abluftkanal 48 verbunden. In der ersten Stellung des ersten Kreislaufumschaltventils 51 sind der erste Ventilanschluss 58 und der zweite Ventilanschluss 59 sowie der dritte Ventilanschluss 61 und der vierte Ventilanschluss 62 verbunden, wobei die Verbindung zwischen dem dritten Ventilanschluss 61 und dem vierten Ventilanschluss 62 nicht genutzt wird. In der zweiten Stellung des ersten Kreislaufumschaltventils 51 sind der erste Ventilanschluss 58 und der vierte Ventilanschluss 62 sowie der zweite Ventilanschluss 59 und der dritte Ventilanschluss 61 miteinander verbunden. Das Kreislaufzuluftventil 52 ist in gleicher Weise wie das erste Kreislaufumschaltventil 51 mit jedoch nur drei Ventilanschlüssen ausgeführt.
In der ersten Messkammer 39 befindet sich ebenso wie bei den in Fig. 1 bis 3 gezeigten Ausführungsformen ein erstes Staurohr mit einem Sensor 63.
Der zweite externe Kreislauf umfasst in gleicher Weise wie der erste externe Kreislauf eine zweite Zuleitung 70, eine zweite Ableitung 71, eine zweite Pumpe 72 und eine zweite Messkammer 73, die außerhalb der Prüfkammer 03 angeordnet ist. Das Suchgas wird durch ein zweites Reservoir 74 bereit- gestellt, welches durch eine zweite Füllleitung 76 mit dem zweiten Hohlraum 32 verbunden ist. Der zweite Hohlraum 32 wird über eine zweite Entleerungsleitung 77 entleert, in welcher sich eine zweite Absaugung 78 befindet. Die zweite Entleerungsleitung 77 mündet in einen zweiten Abluftkanal 79, der seinerseits in einen zweiten Auffang 81 mündet.
Im zweiten Kreislauf ist weiterhin ein zweites Kreislaufumschaltventil 82 angeordnet. Das zweite Kreislaufumschaltven- til 82 weist vier Anschlüsse und zwei Wege auf. In einer ersten Stellung des zweiten Kreislaufumschaltventils 82 ist der zweite Kreislauf geschlossen. In einer zweiten Stellung des zweiten Kreislaufumschaltventils 82 ist ein zweiter Zuluftkanal 83 mit der zweiten Zuleitung 70 verbunden, während gleichzeitig ein zweiter Messkammeraustritt 84 mit dem zweiten Abluftkanal 79 verbunden ist. Das zweite Kreislaufumschaltventil 82 gleicht in seiner Ausführung dem ersten Kreislaufumschaltventil 51. In der zweiten Messkammer 73 befindet sich ebenso wie bei dem ersten Kreislauf ein zweites Staurohr mit einem Sensor 86.
Mit dieser bevorzugten Ausführungsform kann sowohl die Dich- tigkeit des Prüfobjektes 02 nach außen (also gegenüber der Prüfkammer 03) als auch die Dichtigkeit zwischen den beiden Hohlräumen 02, 32 innerhalb des Prüfobjekts bestimmt werden. Im Gegensatz zu der in Fig. 3 gezeigten Ausführungsform kann eine Messung sowohl des in die Prüfkammer 03 austretenden Suchgases als auch des in den ersten Hohlraum 02 austretenden Suchgases erfolgen, ohne dass hierfür eine Umschaltung oder ein veränderter Anschluss erforderlich sind.
Zu Beginn einer Messung wird das Prüfobjekt 02 in die Prüf- kammer 03 eingebracht und an die erste Zuleitung 36, die erste Ableitung 37, die zweite Füllleitung 76 und die zweite Entleerungsleitung 77 angeschlossen. Anschließend wird der zweite Hohlraum 32 mit Testgas aus dem zweiten Reservoir 74 gefüllt, woraufhin eine Messung im ersten Kreislauf mit dem ersten Sensor 63 erfolgen kann. Hierbei wird das aus dem zweiten Hohlraum 32 in den ersten Hohlraum 02 austretende Suchgas gemessen. Im nächsten Schritt wird der erste Hohlraum 02 geschlossen. Nun erfolgt eine Messung im zweiten Kreislauf mit dem zweiten Sensor 86. Hierbei wird das aus dem zweiten Hohlraum 32 in die Prüfkammer 03 austretende Suchgas gemessen. Im letzten Schritt werden beide Hohlräume 02, 32 mit Suchgas gefüllt. Es erfolgt eine Messung im zweiten Kreislauf mit dem zweiten Sensor 86, wodurch das aus beiden Hohlräumen 02, 32 in die Prüfkammer 03 austretende Suchgas gemessen wird. Gegebenenfalls können nun beide Hohlräume 02, 32 und die Prüfkammer 03 entlüftet werden und die Messung wiederholt werden . Zur Entleerung der beiden Kreisläufe einschließlich des ersten Hohlraumes 02 und der Prüfkammer 03 werden die beiden Kreislaufumschaltventile 51, 82 und das Kreislaufzuluftventil 52 jeweils in die zweite Schaltstellung gebracht, woraufhin einerseits Umgebungsluft über die beiden Zuluftkanäle 53, 83 und den Messkammerzuluftkanal 56 angesaugt wird und anderseits das in den beiden Kreisläufen einschließlich des ersten Hohlraumes 02 und der Prüfkammer 03 befindliche Volumen über die Abluftkanäle 48, 79 in die beiden Auffänge 49, 81 gelei- tet wird. Ergänzend oder alternativ können die beiden Hohlräume 02, 32 über die beiden Entleerungsleitungen 46, 77 mit Hilfe der beiden Absaugungen 47, 78 entleert werden. Die genannten Möglichkeiten zur Entleerung der beiden Kreisläufe, der beiden Hohlräume 02, 32 und der Prüfkammer 03 können während einer Messabfolge auch einzeln durchgeführt werden.
Der in der Fig. 4 gezeigten bevorzugten Ausführungsform liegt die Idee zugrunde, zwei erfindungsgemäße Vorrichtungen mit jeweils einem externen Kreislauf zu einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit zwei externen Kreisläufen zu vereinen. Die beiden einzelnen Vorrichtungen mit jeweils einem externen Kreislauf sind unterschiedlich ausgeführt, um einerseits die Umwälzung und Messung des in der Prüfkammer 03 befindlichen Volumens und andererseits die Umwälzung und Messung des im ersten Hohlraum 02 befindlichen Volumens zu ermöglichen.
Fig. 5 zeigt zwei Ansichten des in der Fig. 4 gezeigten ersten Kreislaufumschaltventils 51. Abbildung a) der Fig. 5 zeigt eine perspektivische Ansicht und Abbildung b) der Fig. 5 zeigt eine Draufsicht. Das Kreislaufumschaltventil 51 umfasst einen Ventilkörper 90, auf dessen Umfang der erste Ventilanschluss 58, der zweite Ventilanschluss 59, der dritte Ventilanschluss 61 und der vierte Ventilanschluss 62 angeord- net sind. Die vier Ventilanschlusse 58, 59, 61, 62 sind in einer Ebene und gleich verteilt auf einem Kreis angeordnet, sodass zwei benachbarte Ventilanschlusse 58, 59; 61, 62 jeweils einen Winkel von 90° zueinander aufweisen. Die vier Ventilanschlusse 58, 59, 61, 62 stellen Offnungen des Ventil- korpers 90 dar, welche samtlich in einen Ventilinnenraum 91 des Ventilkorpers 90 munden. Der Ventilinnenraum 91 weist eine Zylinderform auf, in welcher ein Ventilrotor 92 rotierbar angeordnet ist. Der Ventilrotor 92 weist einen ersten Durchlass 93 und einen zweiten Durchlass 94 (gezeigt in Fig. 6) auf. Die beiden Durchlasse 93, 94 sind durch jeweils eine seitliche Ausnehmung des zylinderförmigen Ventilrotors 92 gebildet, wobei sich die Ausnehmungen bezogen auf die Rotationsachse des Ventilrotors 92 gegenüberstehen. Der Ventilrotor 92 weist ausschließlich dieser Ausnehmungen eine Zylinderform auf, welche passgenau in die Zylinderform des Ventilinnenraumes 91 eingebracht ist. Es besteht ausschließlich der die Durchlasse 93, 94 bildenden Ausnehmungen und ausschließlich der Offnungen zu den Ventilanschlussen 58, 59, 61, 62 ein Formschluss zwischen dem Ventilrotor 92 und dem Ventilinnenraum 91. Die beiden Durchlasse 93, 94 sind so ausgeführt, dass sie auch auf der Hohe der Ausnehmung die Zylinderoberflache umfänglich nur teilweise wegnehmen. Es bedarf zwischen dem Ventilinnenraum 91 und dem Ventilrotor 92 keiner Dichtung oder Dichtungsmasse, um eine Dichtigkeit zwischen beiden zu gewahrleisten. Die Dichtigkeit ist ausschließlich durch die geringen Fertigungstoleranzen und die Oberflacheneigenschaften des Ventilinnenraumes 91 und des Ventilrotors 92 gewahrleistet.
Das Kreislaufumschaltventil 51 ist in der zweiten Schaltstellung gezeigt, in welcher der zweite Ventilanschluss 59 mit dem dritten Ventilanschluss 61 über den ersten Durchlass 93 verbunden ist. In gleicher Weise ist der erste Ventilan- schluss 58 mit dem vierten Ventilanschluss 62 über den zweiten Durchlass 93 verbunden. Ein Wechsel zwischen den beiden Schaltstellungen erfolgt durch eine Rotation des Ventilrotors 52 um eine viertel Umdrehung. Befindet sich das Kreislaufumschaltventil 51 in der ersten Schaltstellung, so ist der erste Ventilanschluss 58 mit dem zweiten Ventilanschluss 59 über den ersten Durchlass 93 verbunden und der dritte Ventilanschluss 61 ist mit dem vierten Ventilanschluss 62 über den zweiten Durchlass 93 verbunden. Um einen Wechsel zwischen den Schaltstellungen vornehmen zu können, ist eine Rotorwelle 96 des Ventilrotors 92 nach außen geführt, über die ein Drehmoment von außen auf den Ventilrotor 92 übertragen werden kann. Am äußeren Ende der Rotorwelle 96 ist ein Kniehebel 97 befestigt, an dessen Ende ein pneumatisch angetriebener Aktuator 98 angreift, sodass ein Kniehebelantrieb ausgebildet ist. Ein Antrieb des longitudinal agierenden Aktuators 98 bewirkt über den Kniehebel 97 eine Rotation des Ventilrotors 92, sodass die Kreislaufumschaltvorrichtung 51 von der ersten in die zweite Schaltstellung und umgekehrt geschaltet werden kann. Natürlich sind auch andere Antriebsvarianten für den Ventilrotor möglich, beispielsweise unter Nutzung des elektromagnetischen Prinzips, wenn der Ventilrotor gleichzeitig den Rotor eines Motors darstellt oder mit einem solchen antriebswirksam verbunden ist.
Fig. 6 zeigt eine Schnittansicht des in der Fig. 5 gezeigten Kreislaufumschaltventils 51. Es sind insbesondere der erste Durchlass 93 und der zweite Durchlass 94 gezeigt. Der erste Ventilanschluss 58 ist über den zweiten Durchlass 94 mit dem vierten Ventilanschluss 62 verbunden. Die beiden die Durchlässe 93, 94 bildenden Ausnehmungen wurden jeweils durch eine Bohrung geschaffen, welche senkrecht und beabstandet zur Rotationsachse des Ventilrotors 92 in den Ventilrotor 92 eingebracht wurden.
Das gezeigte Kreislaufumschaltventil 51 weist den Vorteil auf, dass zwei Ventilwege durch eine Rotation einfach und schnell umgeschaltet werden können. Das Kreislaufumschaltven- til 51 bedarf keiner zusätzlichen Dichtmittel und ist kaum störanfällig.
Das gezeigte Kreislaufumschaltventil 51 kann auch an andere Anforderungen angepasst werden. Beispielsweise kann die Anordnung der Ventilanschlüsse so verändert werden, dass jeweils zwei Ventilanschlüsse in eine Richtung ausgerichtet sind. Die Anordnung kann beliebig verändert werden, solange die Ventilanschlüsse in den Ventilinnenraum derart münden, dass sie in den beiden Schaltstellungen jeweils eine Verbindung zu einem der beiden Durchlässe haben. Die Durchlässe können durch unterschiedlich geformte Ausnehmungen wie beispielsweise kalottenförmige Ausnehmungen gebildet sein. Der Ventilrotor kann auch durch eine flache Platte gebildet sein, wobei der Raum neben den beiden Seiten der Platte jeweils einen Durchlass bildet. Die Anzahl der Ventilanschlüsse und die Anzahl der Durchlässe kann ebenfalls den Anforderungen angepasst werden. Beispielweise kann ein solches Ventil mit drei Ventilanschlüssen und zwei Durchlässen oder mit sechs Ventilanschlüssen und drei Durchlässen ausgeführt werden. Die Rotation des Ventilrotors kann statt durch den Kniehebelantrieb auch durch einen Motor bewirkt werden. Die Rotorwelle muss nicht grundsätzlich nach außen geführt sein, sondern kann beispielsweise magnetisch angekoppelt sein. Solche Ventile lassen sich natürlich auch vorteilhaft in anderen Anordnungen einsetzten, so dass sie von generellem Interesse sind. Bezugszeichenliste
01 Vorrichtung zur Bestimmung der Dichtigkeit
02 Prüfobjekt mit Hohlraum 03 Prüfkammer
04 Füllleitung für Formiergas 05
06 Reservoir zur Bereitstellung von Formiergas
07 Zuleitung 08 Ableitung
09 Umwälzeinheit 10
11 Messkammer
12 Kalibrierleck 13 Umschaltventil
14 Staurohr mit Sensor 15
16 Auswerteeinheit
17 Entleerungsleitung des Formiergases 18 Sperrventil
19 Auffang 20
21 Umwälzrichtung in der Prüfkammer
22 Umwälzrichtung in der Messkammer 23 Abluftkanal
24 zweite Füllleitung 25
26 zweite Entleerungsleitung
27 Umschaltventil zwischen den Füllleitungen 28 Umschaltventil zwischen den Entleerungsleitungen
29 Umschaltventil in der Zuleitung
31 Umschaltventil in der Ableitung
32 zweiter Hohlraum im Prüfobjekt 33 34 35
36 erste Zuleitung 37 erste Ableitung
38 erste Pumpe
39 erste Messkammer 40
41 erste Reservoir 42 erste Füllleitung
43 Umschaltventil in der ersten Ableitung
44 Umschaltventil in der ersten Zuleitung 45
46 erste Entleerungsleitung 47 erste Absaugung
48 erster Abluftkanal
49 erster Auffang 50
51 erstes Kreislaufumschaltventil 52 Kreislaufzuluftventil
53 erster Zuluftkanal
54 erster Messkammeraustritt 55
56 Messkammerzuluftkanal 57 erste Pumpenzuleitung
58 erster Ventilanschluss
59 zweiter Ventilanschluss 60
61 dritter Ventilanschluss 62 vierter Ventilanschluss
63 erstes Staurohr mit Sensor
64
65 66 67 68 69 70 zweite Zuleitung
71 zweite Ableitung
72 zweite Pumpe
73 zweite Messkammer
74 zweites Reservoir 75
76 zweite Füllleitung
77 zweite Entleerungsleitung
78 zweite Absaugung
79 zweiter Abluftkanal 80
81 zweiter Auffang
82 zweites Kreislaufumschaltventil
83 zweiter Zuluftkanal
84 zweiter Messkammeraustritt 85
86 zweites Staurohr mit Sensor 87 88 89 90 Ventilkörper
91 Ventilinnenraum
92 Ventilrotor
93 erster Durchlass
94 zweiter Durchlass 95
96 Rotorwelle
97 Kniehebel
98 Aktuator

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prufobjek- tes (02), die folgenden Schritte umfassend:
— Anordnung des PrüfObjektes (02) in einer Prufkammer
(03);
- Befüllung des Prufobjektes (02) mit einem Suchgas mit Überdruck gegenüber der Prufkammer (03);
- Umwälzung des in der Prufkammer (03) befindlichen Gasvolumens über einen an die Prufkammer (03) angekoppelten externen Kreislauf (07, 08, 09), welcher eine Messkammer (11) umfasst; und
— Messung einer quantitativen Kenngroße des Suchgases mit einem Sensor (14), der zur Ausfuhrung der Messung in der Messkammer (11) angeordnet ist und sich im umgewalzten Gasvolumenstrom befindet.
2. Verfahren nach Anspruch 1, weiterhin einen Kalibrierungsschritt umfassend, in welchem die quantitative Kenngroße des Suchgases gemessen wird, wenn das Prufobjekt (02) durch ein Kalibrierleck (12) gebildet ist.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass für die Messung der quantitativen Kenngroße des Suchgases die bei der Prüfung des Prufobjekts erhaltenen Sensorwerte über einen festgelegten Zeitraum in einem festgelegten Zeittakt aufsummiert werden.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass für die Messung der quantitativen Kenngroße des Suchgases die zeitabhängigen Verlaufe der Sensorwerte wahrend der Kalibrierung und der Prüfung des Prufobjekts gemessen und verglichen werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Leckrate des Prufobjektes (02) als Funktion der quantitativen Kenngroße des Suchgases ermittelt wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Prufkammer (03) vor dem Beginn der Umwälzung evakuiert und/oder mit einem Inertgas gefüllt wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, zur Bestimmung der Dichtigkeit eines hermetisch abgeschlossen Prufobjektes (02), wobei die Befüllung des Prufobjektes dadurch erfolgt, dass das Prufobjekt (02) für eine vorbestimmte Zeit in einer mit dem Suchgas befullten Druckkammer angeordnet wird, bevor das Prufobjekt (02) in die Prufkammer (03) eingebracht wird.
8. Verfahren zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prufobjektes (02), die folgenden Schritte umfassend:
- Anordnung des Prufobjektes (02) in einer Prufkammer
(03);
- Befüllung der Prufkammer (03) mit einem Suchgas mit Überdruck gegenüber dem Inneren des Prufobjektes (02);
— Umwälzung des im Inneren des Prufobjektes (02) befindlichen Gasvolumens über einen an das Prufobjekt (02) angekoppelten externen Kreislauf, welcher eine Messkammer (11) umfasst; und
— Messung einer quantitativen Kenngroße des Suchgases mit einem Sensor (14), der zur Ausfuhrung der Messung in der Messkammer (11) angeordnet ist und sich im umgewalzten Gasvolumenstrom befindet.
9. Vorrichtung (Ol) zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüfobjektes (02), umfassend:
— eine Prüfkammer (03), in welche das Prüfobjekt (02) einbringbar ist;
- ein Reservoir (06) mit einem Suchgas zur Befüllung des Prüfobjekts (02), wobei ein Druck im Prüfobjekt (02) eingestellt wird, der höher als der Druck in der Prüfkammer (03) ist;
- ein Mittel zur Umwälzung des in der Prüfkammer (03) befindlichen Gasvolumens, umfassend Kreislaufleitungen
(07, 08), eine Pumpe (09) und eine Messkammer (11), die außerhalb der Prüfkammer (03) angeordnet ist; und
— einen Sensor (14) zum quantitativen Nachweis des Suchgases, wobei sich der Sensor (14) in der Messkammer
(11) befindet und innerhalb des umgewälzten Gasvolumens angeordnet ist.
10. Vorrichtung (01) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor (14) am Ende eines Staurohrs angeordnet ist, welches innerhalb des umgewälzten Gasvolumens angeordnet ist.
11. Vorrichtung (01) nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekenn- zeichnet, dass sie weiterhin eine Auswerteeinheit (16) zur Erfassung eines zeitlichen Verlaufes der Messwerte des Sensors (14) umfasst.
12. Vorrichtung (01) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit (16) eine Leckrate des Prüfobjektes (02) aus den Messwerten bestimmt und diese Leckrate als einen absoluten Wert ausgibt.
13. Vorrichtung (Ol) zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüfobjektes (02), umfassend:
- eine Prüfkammer (03), in welche das Prüfobjekt (02) einbringbar ist;
- ein Reservoir (06) zur Befüllung einen Volumens (02, 03) mit einem Suchgas;
- eine erste Umschalteinrichtung (27), wobei in einer ersten Schaltstellung das Prüfobjekt (02) vom Reservoir (06) gefüllt wird und ein Druck im Prüfobjekt
(02) eingestellt wird, der höher als der Druck in der Prüfkammer (03) ist, und wobei in einer zweiten Schaltstellung die Prüfkammer (03) vom Reservoir (06) gefüllt wird und ein Druck in der Prüfkammer (03) eingestellt wird, der höher als der Druck im Prüfobjekt (02) ist;
- ein Mittel zur Umwälzung eines Gases in einem Volumen
(02, 03), umfassend Kreislaufleitungen (07, 08), eine Pumpe (09) und eine Messkammer (11), die außerhalb der Prüfkammer (03) angeordnet ist;
- eine zweite Umschalteinrichtung (29, 31), wobei in einer ersten Schaltstellung das Gas in der Prüfkammer
(03) durch das Mittel zur Umwälzung eines Gases umgewälzt wird, und wobei in einer zweiten Schaltstellung das Gas im Prüfobjekt (02) durch das Mittel zur Umwälzung eines Gases umgewälzt wird; und
- einen Sensor (14) zum quantitativen Nachweis des Suchgases, wobei sich der Sensor (14) in der Messkammer
(11) befindet und innerhalb des umgewälzten Gasvolumens angeordnet ist.
14. Vorrichtung (Ol) zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüfobjektes (02) mit einem ersten Hohlraum (02) und einem zweiten Hohlraum (32), umfassend:
— eine Prüfkammer (03), in welche das Prüfobjekt (02) einbringbar ist;
— ein Reservoir (06) zur Befüllung eines Hohlraumes (02, 32) mit einem Suchgas;
— eine erste Umschalteinrichtung (27), wobei in einer ersten Schaltstellung der erste Hohlraum (02) vom Reservoir (06) gefüllt wird und ein Druck im ersten Hohlraum (02) eingestellt wird, der höher als der Druck in der Prüfkammer (03) ist, und wobei in einer zweiten Schaltstellung der zweite Hohlraum (32) vom Reservoir (06) gefüllt wird und ein Druck im zweiten Hohlraum (32) eingestellt wird, der höher als der Druck im ersten Hohlraum (02) ist;
— ein Mittel zur Umwälzung eines Gases in einem Volumen
(02, 03), umfassend Kreislaufleitungen (07, 08), eine Pumpe (09) und eine Messkammer (11), die außerhalb der Prüfkammer (03) angeordnet ist;
— eine zweite Umschalteinrichtung (29, 31), wobei in einer ersten Schaltstellung das Gas in der Prüfkammer
(03) durch das Mittel zur Umwälzung eines Gases umgewälzt wird, und wobei in einer zweiten Schaltstellung das Gas im ersten Hohlraum (02) durch das Mittel zur Umwälzung eines Gases umgewälzt wird; und
— einen Sensor (14) zum quantitativen Nachweis des Suchgases, wobei sich der Sensor (14) in der Messkammer
(11) befindet und innerhalb des umgewälzten Gasvolumens angeordnet ist.
15. Vorrichtung (Ol) zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüfobjektes (02) mit einem ersten Hohlraum (02) und einem zweiten Hohlraum (32), umfassend:
— eine Prüfkammer (03), in welche das Prüfobjekt (02) einbringbar ist;
— ein erstes Reservoir (41) zur Befüllung des ersten Hohlraumes (02) mit einem Suchgas;
— ein zweites Reservoir (74) zur Befüllung des zweiten Hohlraumes (32) mit einem Suchgas;
— ein erstes Mittel zur Umwälzung eines Gases in einem Volumen (02), umfassend erste Kreislaufleitungen (36, 37, 54, 57), eine erste Pumpe (38) und eine erste Messkammer (39), die außerhalb der Prüfkammer (03) angeordnet ist;
— ein zweites Mittel zur Umwälzung eines Gases in der Prüfkammer (03), umfassend zweite Kreislaufleitungen (70, 71, 84), eine zweite Pumpe (72) und eine zweite
Messkammer (73), die außerhalb der Prüfkammer (03) angeordnet ist;
— einen ersten Sensor (63) zum quantitativen Nachweis des Suchgases, wobei sich der erste Sensor (63) in der ersten Messkammer (39) befindet und innerhalb des durch das erste Mittel umgewälzten Gasvolumens angeordnet ist; und
— einen zweiten Sensor (86) zum quantitativen Nachweis des Suchgases, wobei sich der zweite Sensor (86) in der zweiten Messkammer (73) befindet und innerhalb des durch das zweite Mittel umgewälzten Gasvolumens angeordnet ist.
16. Vorrichtung (Ol) nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Reservoir (41) zur Befüllung des ersten Hohlraumes (02) über eine der ersten Kreislauflei- tungen (43) mit dem ersten Hohlraum (02) verbunden ist.
17. Vorrichtung (01) nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest das erste oder das zweite Mittel zur Umwälzung eines Gases weiterhin eine Kreislaufumschaltvorrichtung (51; 82) aufweist, die mit einer ersten der Kreislaufleitungen (54; 84) und mit einer zweiten der Kreislaufleitungen (36; 70) des Mittels zur Umwälzung eines Gases verbunden ist, wobei in einer ersten Schaltstellung der Kreislaufumschaltvorrichtung
(51; 82) die erste der Kreislaufleitungen (54; 84) mit der zweiten der Kreislaufleitungen (36; 70) verbunden ist und in einer zweiten Schaltstellung der Kreislaufumschaltvorrichtung (51, 82) einerseits die erste der Kreislaufleitungen (54; 84) mit einer Abluftleitung (48; 79) verbunden ist und anderseits die zweite der Kreislaufleitungen (36; 70) mit einer Zuluftleitung (53; 83) verbunden ist.
18. Vorrichtung (01) nach Anspruch 17, dadurch gekennzeich- net, dass die Kreislaufumschaltvorrichtung durch ein Doppelventil (51; 82) mit einem ersten Ventilanschluss (58), einem zweiten Ventilanschluss (59), einem dritten
Ventilanschluss (61) und einem vierten Ventilanschluss (62) gebildet ist, wobei in der ersten Schaltstellung der erste Ventilanschluss (58) und der zweite Ventilanschluss (59) sowie der dritte Ventilanschluss (61) und der vierte Ventilanschluss (62) verbunden sind, während in der zweiten Schaltstellung der erste Ventilanschluss (58) und der vierte Ventilanschluss (62) sowie der zweite Ventilan- Schluss (59) und der dritte Ventilanschluss (61) miteinander verbunden sind.
19. Vorrichtung (Ol) nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass das Doppelventil (51; 82) einen Ventilkorper (90) aufweist:
- auf dem umfänglich der erste Ventilanschluss (58), der zweite Ventilanschluss (59) , der dritte Ventilanschluss (61) und der vierte Ventilanschluss (62) jeweils in Form einer Öffnung angeordnet ist; und
- der einen Ventilrotor (92) aufweist; wobei der Ventilrotor (92):
- zwischen der ersten Schaltstellung und der zweiten Schaltstellung im Ventilkorper (90) rotierbar ist;
- formschlussig gegenüber einem Ventilinnenraum (91) in den Ventilkorper (90) eingebracht ist;
- einen ersten Durchlass (93) in Form eines Hohlraumes aufweist, der in der ersten Schaltstellung den ersten Ventilanschluss (58) mit dem zweiten Ventilanschluss
(59) verbindet und in der zweiten Schaltstellung den zweiten Ventilanschluss (59) mit dem dritten Ventilanschluss (61) verbindet; und
- einen zweiten Durchlass (94) in Form eines Hohlraumes aufweist, der in der ersten Schaltstellung den dritten Ventilanschluss (61) mit dem vierten Ventilanschluss
(62) verbindet und in der zweiten Schaltstellung den ersten Ventilanschluss (58) mit dem vierten Ventilanschluss (63) verbindet.
20. Vorrichtung (01) nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Ventilanschluss (58), der zweite Ventilanschluss (59), der dritte Ventilanschluss (61) und der vierte Ventilanschluss (62) des Doppelventils (51; 82) in einer Ebene und auf einem Kreis angeordnet sind sowie auf dem Kreis gleichmaßig verteilt sind, wobei zwischen zwei benachbarten Ventilanschlussen (58, 59; 61, 62) jeweils ein Winkel von 90° gegeben ist; wobei der Ventilrotor (92) ausschließlich der beiden Durchlasse (93; 94) eine Zylinderform aufweist, die in eine Zylinderform des Ventilinnenraumes (90) eingebracht ist, und eine Rotorwelle (96) zur Übertragung eines Drehmomentes auf den Ventilrotor (92) aufweist, die durch den Ventil- korper (90) nach außen gefuhrt ist; und wobei der erste Durchlass (93) und der zweite Durchlass (94) jeweils durch eine seitliche Ausnehmung am Ventilrotor (92) gebildet sind.
EP07727970A 2006-04-13 2007-04-11 Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der dichtigkeit eines prüfobjekts Withdrawn EP2008073A2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006017958A DE102006017958A1 (de) 2006-04-13 2006-04-13 Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüfobjektes
PCT/EP2007/053502 WO2007118822A2 (de) 2006-04-13 2007-04-11 Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der dichtigkeit eines prüfobjekts

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP2008073A2 true EP2008073A2 (de) 2008-12-31

Family

ID=38536610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP07727970A Withdrawn EP2008073A2 (de) 2006-04-13 2007-04-11 Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der dichtigkeit eines prüfobjekts

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20090277249A1 (de)
EP (1) EP2008073A2 (de)
JP (1) JP2010516998A (de)
CA (1) CA2680180A1 (de)
DE (1) DE102006017958A1 (de)
WO (1) WO2007118822A2 (de)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008010974A1 (de) * 2008-02-25 2009-08-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Quantifizierung von Leckagemengen
DE102008037058A1 (de) * 2008-08-08 2010-02-11 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage sowie eine Vakuumanlage
DE102008046551B4 (de) * 2008-09-10 2022-01-20 Dr. Ing. H.C. F. Porsche Aktiengesellschaft Verfahren zur Prüfung der Dichheit eines Kühlkanals bei einem Gussbauteil, insbesondere eines Zylinderkopfes oder eines Motorblocks einer Verbrennungskraftmaschine
DE102008063776A1 (de) * 2008-12-18 2010-07-01 Csl Behring Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung der Dichtigkeit eines flexiblen Sterilbehälters
DE102010005494A1 (de) * 2009-11-27 2011-06-01 Inficon Gmbh Verfahren zur Dichtheisprüfung von wasserführenden Komponenten in einem Gehäuse
FR2969287B1 (fr) * 2010-12-17 2013-10-25 Alcatel Lucent Dispositif de detection de fuite utilisant l'hydrogene comme gaz traceur
FR2971501B1 (fr) * 2011-02-11 2013-02-22 Ateq Production de melange diazote-dihydrogene pour un test d'etancheite
MX2013014743A (es) * 2011-06-28 2014-02-19 Hutchinson Fred Cancer Res Aparato de monitoreo de gas del final de la espiracion.
DE102011107334B4 (de) * 2011-07-14 2023-03-16 Leybold Gmbh Lecksucheinrichtung sowie Verfahren zum Überprüfen von Gegenständen auf Dichtigkeit mittels einer Lecksucheinrichtung
US8806919B2 (en) * 2011-07-29 2014-08-19 Vacuum Technology Inc. Leak detection apparatus and method
ITPI20120109A1 (it) 2012-10-25 2014-04-26 Letomec S R L Dispositivo e metodo per misure di permeazione di idrogeno
BR102013026645A2 (pt) * 2012-12-07 2014-09-16 Sulzer Pumpen Ag Aparelho de teste para um alojamento externo de uma bomba e método para o teste de um alojamento externo de uma bomba
PL2994736T3 (pl) * 2013-05-07 2019-12-31 Lüdolph Management GmbH Układ badania szczelności i sposób badania szczelności
JP5970618B2 (ja) 2013-10-15 2016-08-17 株式会社フクダ 漏洩試験装置及び方法
US9140627B2 (en) * 2013-10-29 2015-09-22 Ford Global Technologies, Llc Cooling fan assisted engine-off natural vacuum test
DE102014012151A1 (de) 2014-08-14 2016-02-18 Mahle International Gmbh Verfahren zur Lokalisierung von undichten Stellen eines Prüfobjekts
EP3250897B1 (de) * 2015-01-30 2020-05-06 Mécanique Analytique Inc. Systeme und verfahren zum testen auf gaslecks durch eine gasstromkomponente
FR3039273B1 (fr) * 2015-07-20 2017-08-11 Pfeiffer Vacuum Sas Procede de controle de l'etancheite de produits scelles et installation de detection de fuites
DK178977B1 (en) * 2015-12-07 2017-07-24 Dansensor As Fremgangsmåde og indretning til at teste en forseglet emballage for lækkende sporgas
US10928268B2 (en) * 2016-05-18 2021-02-23 Phil MCNEIL Apparatus and methodologies for leak detection using gas and infrared thermography
FR3068781A1 (fr) * 2017-07-06 2019-01-11 Ateq Procede de detection de fuite d'une piece creuse et installation pour la mise en œuvre d'un tel procede
CN111093741B (zh) * 2017-09-14 2022-08-16 隆萨有限公司 用于改进密封完整性测试的设备和方法
JP6708191B2 (ja) * 2017-09-21 2020-06-10 株式会社デンソー 漏れ検査装置及び漏れ検査方法
CN109060265A (zh) * 2018-06-28 2018-12-21 芜湖泰和管业股份有限公司 一种燃气波纹管气密性检测装置及其检测方法
CN109060266A (zh) * 2018-06-28 2018-12-21 芜湖泰和管业股份有限公司 带有保护的燃气波纹管气密性检测装置及其检测方法
US20200018663A1 (en) * 2018-07-16 2020-01-16 Arthur Nelson Hoffmann, III Methods and Apparatus for Leak Testing
IT201900006920A1 (it) * 2019-05-16 2020-11-16 Ft System Srl Metodo ed apparato per il riconoscimento della presenza di fughe da contenitori sigillati
CN115265935A (zh) * 2021-04-30 2022-11-01 宁德时代新能源科技股份有限公司 箱体的检漏方法及检漏系统
DE102021131283A1 (de) 2021-11-29 2023-06-01 Inficon Gmbh Dichtheitsprüfung mit Blockiereinrichtung
CN114323489B (zh) * 2021-12-20 2024-04-26 深圳市道通科技股份有限公司 一种车辆部件的气密性检测方法及设备
FR3133449B1 (fr) * 2022-03-11 2024-04-12 Valeo Systemes Thermiques Procédé et installation de test d’étanchéité d’une pièce pour déterminer sa conformité ou sa non-conformité
CN115791411A (zh) * 2022-10-18 2023-03-14 杭州万全金属软管有限公司 一种不锈钢波软管耐压性检测设备

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2924965A (en) * 1957-06-28 1960-02-16 Foster M Poole Leakage determining apparatus
DE2009197A1 (en) * 1970-02-27 1971-09-09 Volkswagenwerk Ag Gas leak testing device
US3738158A (en) * 1972-04-06 1973-06-12 Us Air Force Gross leak vacuum and pressure chamber assembly
DE4228149A1 (de) * 1992-08-25 1994-03-03 Leybold Ag Vakuum-Meßgerät für die integrale Dichtigkeitskontrolle mit leichten Gasen
US5553483A (en) * 1995-08-15 1996-09-10 Pilot Industries, Inc. Leak detection system
GB9612677D0 (en) * 1996-06-18 1996-08-21 Werner Thomas Leak detection in heat exchangers
WO1999046572A1 (en) * 1998-03-11 1999-09-16 True Technology, Inc. Method and apparatus for detection of leaks in hermetic packages
AU3366199A (en) * 1998-03-27 1999-10-18 M. Louis Arin Method and apparatus for determining the integrity of packages utilizing flowingaerosols
DE10304996A1 (de) * 2002-02-25 2003-09-04 Luk Automobiltech Gmbh & Co Kg Dichtigkeitsprüfung
US6957155B2 (en) * 2003-12-10 2005-10-18 Ishikawajima Inspection & Instrumentation Co., Ltd. Method and apparatus for inspecting leakage of container
DE102004045803A1 (de) * 2004-09-22 2006-04-06 Inficon Gmbh Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2007118822A2 *

Also Published As

Publication number Publication date
DE102006017958A1 (de) 2007-10-25
WO2007118822A2 (de) 2007-10-25
WO2007118822A3 (de) 2008-05-22
JP2010516998A (ja) 2010-05-20
CA2680180A1 (en) 2007-10-25
US20090277249A1 (en) 2009-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2008073A2 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der dichtigkeit eines prüfobjekts
EP2994736B1 (de) Dichtheitsprüfanordnung und dichtheitsprüfverfahren
EP1792157B1 (de) Leckpruefverfahren und leckpruefvorrichtung mit partialdrucksensor
DE4301930C2 (de) Verfahren zum Entnehmen und Prüfen von Gasproben aus versiegelten, flexiblen Verpackungen
EP3198251B1 (de) Vorrichtung und verfahren zum kalibrieren einer folienkammer zur leckdetektion
DE102012008274A1 (de) Gasbeaufschlagungs-Vorrichtung für Gasmessgeräte, Verfahren zum Prüfen von Gas-Messgeräten sowie Kalibrierungsmessgerät zum Prüfen und Kalibrieren von Gasmessgeräten
DE19846800A1 (de) Folien-Lecksucher
DE102015222554A1 (de) Lecksuche mit Sauerstoff
DE10055057A1 (de) Leckdetektorpumpe
DE69208108T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von Gasleckage
EP1821009B1 (de) Prüfvorrichtung zur Erfassung der Dampfemission an wenigstens einer Leckagestelle, vorzugsweise bei Gleitringdichtungen, insbesondere im automotiven Bereich
DE2403360A1 (de) Leckpruefverfahren
EP2801808A1 (de) Dichtheitsprüfanordnung und Dichtheitsprüfverfahren
DE2201520A1 (de) Lackage-detektor-einheit
DE19846799A1 (de) Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher
WO2000022400A1 (de) Einrichtung zur integralen testgas-lecksuche sowie betriebsverfahren dafür
DE102013104682B3 (de) Dichtheitsprüfanordnung und Dichtheitsprüfverfahren
WO2018130323A1 (de) Prüfvorrichtung, insbesondere für pharmazeutische erzeugnisse, mit verbesserter messqualität
EP0724716B1 (de) Integrale Lecksuche an einem Verdampfer für Kältemaschinen mit weiterer Messung
DE4412762C2 (de) Verfahren und Einrichtung zur Prüfung der Wasserdichtigkeit von Uhrengehäusen
DE4333951A1 (de) Verfahren und Anordnung zum Prüfen der Dichtigkeit des Gasentnahmesystems einer Gasanalysevorrichtung
DE19962006A1 (de) Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher
DE102015222769A1 (de) Verfahren zum Abgleichen eines optischen Fluidsensors
WO2001046667A1 (de) Verfahren zum betrieb eines folien-lecksuchers sowie für die durchführung dieses verfahrens geeigneter folien-lecksucher
DE2921662A1 (de) Anordnung zur analyse einer probe, insbesondere zur feststellung der verunreinigung oder verseuchung durch lebende insekten, und verfahren zur durchfuehrung der analyse

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20081106

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL BA HR MK RS

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20111102