EP1933037A2 - Anordnung mit Vakuumpumpe - Google Patents

Anordnung mit Vakuumpumpe Download PDF

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EP1933037A2
EP1933037A2 EP07022563A EP07022563A EP1933037A2 EP 1933037 A2 EP1933037 A2 EP 1933037A2 EP 07022563 A EP07022563 A EP 07022563A EP 07022563 A EP07022563 A EP 07022563A EP 1933037 A2 EP1933037 A2 EP 1933037A2
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EP
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torque
flange
rotor
vacuum pump
pump
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EP07022563A
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EP1933037B1 (de
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Matthias Mädler
Peter Fahrenbach
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
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    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/16—Vessels
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/18—Vacuum control means
    • H01J2237/182—Obtaining or maintaining desired pressure
    • H01J2237/1825—Evacuating means

Definitions

  • the invention relates to an arrangement with a vacuum chamber, which has a chamber flange, and a vacuum pump, which has a arranged in a rotor housing, fast-rotating rotor and a pump flange.
  • Vacuum pumps with fast-rotating rotors store high energies due to the high rotational frequency of the rotor.
  • rotor-stator crash there is contact between rotor and stator.
  • pump components e.g. Pump flange issued in the form of a torque.
  • the rotation of the pump in such a rotor-stator crash must be avoided as this creates a risk of injury to persons and damage to the system is expected.
  • As a result of this rotation of the pump may also lead to leakage or tearing of the pump.
  • toxic gases are sometimes pumped, which then leads to contamination of the environment. If the system leaks, the current process of the user is influenced so much that it usually has to be aborted. This results in costs that can reach very high amounts in large processes, for example in the semiconductor industry.
  • the vacuum pumps are mounted with the high vacuum flange on pipe components, slides or directly to the recipient.
  • the vacuum pumps are mounted with the high vacuum flange on pipe components, slides or directly to the recipient.
  • the flanges of the recipients and pipe components are usually not able to take the high moments.
  • vacuum pumps can also be fastened to the floor in addition to the flange, which can lead to tensioning of the pump or the slide due to non-aligned attachment points, so that trouble-free operation is not ensured.
  • the object of the invention is therefore to introduce an arrangement with a vacuum pump with fast-rotating rotor, in which in the case of a rotor-stator Chrashes a secure connection of the vacuum pump and vacuum chamber is ensured.
  • the core idea of the invention is to provide, in addition to the flange connection between the vacuum pump and the vacuum chamber by torque-proof securing means, a further connection via which a reliable dissipation of the torques occurring in a rotor-stator crash takes place.
  • the securing means engage the rotor housing, whereby the disadvantages of ground mounting are avoided.
  • the torques are instead recorded directly at the place of origin.
  • the intermediate member When the intermediate member performs functions such as with a slider, the tensions due to floor fixtures are even more critical because they can cause a malfunction due, for example, to jamming of the slider in the tensioned housing. This is avoided by application of the invention.
  • a development of the invention relates to the design of the attachment point of the torque-proof means on the vacuum pump or the intermediate component.
  • An easy to produce and mechanically very stable solution is to provide the vacuum pump or intermediate component a ring that is integrally formed.
  • the torque sink comprises a supporting structure or vacuum chamber. These are due to their dimensions and for the levers relevant dimensions very well to take high torques.
  • a first embodiment shows illustration 1 , On a support structure 9, a vacuum chamber 1 is mounted, which has a chamber flange 3.
  • Vacuum chamber and support structure are connected to each other, for example by screwing or welding seams.
  • the support structure stands on a floor 8, for example the floor of a factory, a laboratory or the like. It can be fixed to the ground.
  • a vacuum pump 2 has a pump flange 4, which is detachably connected to the chamber flange. This connection is provided by suitable means known in the art, such as screws or staples. These means are symbolized in the figures by vertical lines in the area of the flanges.
  • the vacuum pump has a pump lower part 6, in which bearings, drive and the like are housed, and a rotor housing 5, which surrounds a high-speed rotor. This rotor is symbolized in the figures by a vertical line with four cross lines.
  • the rotor housing has an integrally formed with him ring 11, which is connected by suitable means, such as screws 7, with a cross member 10 of the support structure.
  • the torque-resistant securing means comprises the cross member 10, the screws 7 and the ring 11.
  • the torque is no longer dissipated alone on the chamber flange and pump flange, but largely via the torque-resistant securing means to the support structure issued. In this way, a tearing or leaking of the flange connection by rotation of the vacuum pump relative to the vacuum chamber can be effectively prevented.
  • the larger levers which have the securing means with respect to the chamber flange. These levers are determined by the radii of flange or securing means.
  • the support structure acts as a torque sink, since the torque is absorbed by it, without causing damage to the vacuum chamber, vacuum pump and in particular their connection.
  • FIG. 2 A development of the invention shows Figure 2 , Between the vacuum pump and the vacuum chamber, an intermediate component 12 is arranged, which has a ring 11 ', which is connected to the cross member 10 of the support structure 9.
  • the connection of the flanges of intermediate component and vacuum pump must be designed so that they can transmit the torques occurring in the event of a rotor-stator crash. This is easier to ensure than to design the chamber flange accordingly, since the intermediate component and the vacuum pump can be built by the manufacturer of the vacuum pump, which can calculate the torques occurring or determine them experimentally.
  • the torque is delivered to the acting as a torque sink support structure.
  • a next training shows Figure 3 , She is opposite the Figure 2 changed so that between the intermediate member 12 and the vacuum chamber another element is arranged.
  • this is a slide valve 37, which is characterized in the drawing by a corresponding symbol of the vacuum technique.
  • This gate valve makes it possible to separate the gas connection between the vacuum pump and the vacuum chamber.
  • the intermediate member from a ring 11 'from which is connected to the torque sink.
  • This structure makes it possible to use a slide valve, which is not designed mechanically strong enough to absorb the torques.
  • the torque derivation on the torque sink via the arranged between the slide valve and the vacuum pump intermediate member.
  • the arranged between the vacuum chamber and intermediate member element may be in a favorable development, a damping body. These have due to their decoupling structure only a low mechanical stability.
  • slide valve 37 and intermediate member 12 are made in one piece.
  • FIG 4 shows an alternative for the design of the torque-proof securing means. Shown in this figure is a section through a part of the arrangement, which here has vacuum pump and vacuum chamber.
  • the illustrated embodiment of the securing means can of course also be applied to the developments according to Figures 2 and 3.
  • the stator disks are held by spacer rings 32 at an axial distance such that between the stator disks, the rotor disks can rotate freely and without contact. In a rotor-stator crash, these discs come into contact so that the rotation of the rotor is stopped.
  • the contact can come about, for example, by an unplanned introduction of a foreign body in the vacuum pump to conditions. By stopping the disks are usually very much deformed, whereby already a part of the rotational energy is converted. The remainder is delivered to the rotor housing 5.
  • the vacuum pump has a pump flange 4, which is detachably connected to the chamber flange 3 by means of known clamping screws 33.
  • the rotor housing has a ring 11 which surrounds it at least on a part of the circumference.
  • a screw 36 provides a non-positive Connection to a support 34 which is attached to the vacuum chamber with a weld 35. This connection can also be made by a screw connection.
  • the torque resistant securing means in this example includes the support 34, the screw 36, and the ring 11.
  • the vacuum chamber acts as a torque sink in this example.

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Abstract

Anordnung mit einer Vakuumkammer, welche einen Kammerflansch aufweist, und einer Vakuumpumpe, welche einen in einem Rotorgehäuse angeordneten, schnelldrehenden Rotor und einen Pumpenflansch aufweist. Um im Falle eines Rotor-Stator-Kontakts freiwerdende Drehmomente sicher aufzufangen, schlägt die Erfindung vor, dass die Anordnung ein drehmomentsicheres Sicherungsmittel aufweist, welches das Rotorgehäuse mit einer Drehmomentsenke verbindet.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Anordnung mit einer Vakuumkammer, welche einen Kammerflansch aufweist, und einer Vakuumpumpe, welche einen in einem Rotorgehäuse angeordneten, schnelldrehenden Rotor und einen Pumpenflansch aufweist.
  • Vakuumpumpen mit schnelldrehenden Rotoren, beispielsweise Turbomolekularpumpen, speichern aufgrund der hohen Drehfrequenz des Rotors in diesem hohe Energien. Bei einem so genannten Rotor-Stator-Crash kommt es zu einem Kontakt von Rotor und Stator. Dabei werden diese hohen Energien über Pumpenbauteile wie z.B. Pumpenflansch in Form eines Drehmomentes abgegeben. Das Verdrehen der Pumpe bei einem solchen Rotor-Stator Crash muss vermieden werden, da dabei eine Verletzungsgefahr für Personen entsteht und eine Beschädigung der Anlage zu erwarten ist. In Folge dieser Verdrehung der Pumpe kann es außerdem zum Leckschlagen oder Abreißen der Pumpe kommen. In der Prozesstechnik werden zum Teil toxische Gase gepumpt, was dann zu einer Kontamination der Umgebung führt. Bei einem Leckschlagen der Anlage wird auch der laufende Prozess des Anwenders so stark beeinflusst, dass er in der Regel abgebrochen werden muss. Dadurch fallen Kosten an, die bei großen Prozessen, beispielsweise in der Halbleiterindustrie, sehr hohe Beträge erreichen können.
  • Die Vakuumpumpen werden mit dem Hochvakuumflansch an Rohrbauteile, Schieber oder direkt an den Rezipienten montiert. Insbesondere bei der Montage an einem Schieber besteht im Falle eines plötzlichen Blockierens die Gefahr einer Verdrehung oder Leckage des Schiebers. Auch sind die Flansche der Rezipienten und auch Rohrbauteile in der Regel nicht in der Lage, die hohe Momente aufzunehmen.
  • Zum Teil können Vakuumpumpen zusätzlich zum Flansch auch am Boden befestigt werden, was aufgrund von nicht-fluchtenden Befestigungspunkten zu einer Verspannung der Pumpe oder des Schiebers führen kann, so dass ein störungsfreier Betrieb nicht sichergestellt ist.
  • Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Anordnung mit einer Vakuumpumpe mit schnelldrehendem Rotor vorzustellen, bei der im Falle eines Rotor-Stator-Chrashes eine sichere Verbindung von Vakuumpumpe und Vakuumkammer gewährleistet ist.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Anordnung mit den Merkmalen des ersten Anspruchs. Die abhängigen Ansprüche 2 bis 9 stellen vorteilhafte Weiterbildungen dar.
  • Kerngedanke der Erfindung ist, neben der Flanschverbindung zwischen Vakuumpumpe und Vakuumkammer durch drehmomentsichere Sicherungsmittel eine weitere Verbindung vorzusehen, über die eine sichere Ableitung der bei einem Rotor-Stator-Crash auftretenden Drehmomente stattfindet. Dabei greifen die Sicherungsmittel am Rotorgehäuse an, wodurch die Nachteile der Bodenbefestigung vermieden werden. Die Drehmomente werden stattdessen direkt am Ort der Entstehung aufgenommen.
  • Es kann sinnvoll sein, zwischen Vakuumpumpe und Vakuumkammer eines oder mehrere Zwischenbauteile anzuordnen, beispielsweise ein Ventilbauteil. Es wird auch das Bedürfnis bestehen, vorhandene Anlagen umrüsten zu können. Für diese Fälle ist es sinnvoll, eine drehmomentsichere Flanschverbindung zwischen Vakuumpumpe und Zwischenbauteil zu schaffen und die drehmomentsicheren Sicherungsmittel mit dem Zwischenbauteil zu verbinden.
  • Wenn das Zwischenbauteil Funktionen übernimmt, indem es beispielsweise mit einem Schieber ausgestattet ist, sind die Verspannungen durch Bodenbefestigungen noch kritischer, weil sie zu einer Fehlfunktion führen können, die beispielsweise auf dem Verklemmen des Schiebers im verspannenten Gehäuse beruht. Dies wird durch Anwendung der Erfindung vermieden.
  • Eine Weiterbildung der Erfindung bezieht sich auf die Gestaltung des Befestigungspunktes des drehmomentsicheren Mittels an der Vakuumpumpe oder dem Zwischenbauteil. Eine einfach herzustellende und mechanisch sehr stabile Lösung ist es, an Vakuumpumpe oder Zwischenbauteil einen Ring vorzusehen, der einstückig ausgebildet ist.
  • In vorteilhaften Weiterbildungen umfasst die Drehmomentsenke Tragstruktur oder Vakuumkammer. Diese eignen sich aufgrund ihrer Maße und für die Hebel maßgeblichen Abmessungen sehr gut, hohe Drehmomente aufzunehmen.
  • Anhand von Ausführungsbeispielen soll die Erfindung näher erläutert werden.
  • Es zeigen:
    • Fig. 1:
    Anordnung mit Vakuumkammer und Vakuumpumpe.
    Fig. 2:
    Anordnung mit Vakuumkammer, Vakuumpumpe und Zwischenbauteil.
    Fig. 3:
    Anordnung mit Vakuumkammer, Vakuumpumpe, Zwischenbauteil und Schieberventil.
    Fig. 4:
    Schnitt durch den Flanschbereich einer Anordnung mit Vakuumkammer und Vakuumpumpe.
  • In den nachfolgenden Abbildungen bezeichnen gleiche Ziffern gleiche Teile.
  • Ein erstes Ausführungsbeispiel zeigt Abbildung 1. Auf einer Tragstruktur 9 ist eine Vakuumkammer 1 montiert, welche einen Kammerflansch 3 aufweist.
  • Vakuumkammer und Tragstruktur sind miteinander verbunden, beispielsweise durch Verschraubungen oder Schweißnähte. Die Tragstruktur steht auf einem Boden 8, beispielsweise dem Boden einer Fabrikhalle, eines Labors oder dergleichen. Sie kann am Boden befestigt sein. Eine Vakuumpumpe 2 weist einen Pumpenflansch 4 auf, welcher lösbar mit dem Kammerflansch verbunden ist. Diese Verbindung wird durch geeignete, im Stand der Technik bekannte Mittel wie Schrauben oder Klammern geschaffen. Diese Mittel sind in den Abbildungen durch senkrechte Striche im Bereiche der Flansche symbolisiert. Die Vakuumpumpe besitzt ein Pumpenunterteil 6, in welchem Lager, Antrieb und dergleichen untergebracht sind, und ein Rotorgehäuse 5, welches einen schnelldrehenden Rotor umgibt. Dieser Rotor ist in den Abbildungen durch eine senkrechte Linie mit vier Querlinien symbolisiert. Das Rotorgehäuse weist einen einstückig mit ihm ausgeführten Ring 11 auf, der durch geeignete Mittel, beispielsweise Schrauben 7, mit einem Querträger 10 der Tragstruktur verbunden ist. In dieser Ausführung umfasst das drehmomentsichere Sicherungsmittel den Querträger 10, die Schrauben 7 und den Ring 11. Im Falle eines Rotor-Stator-Crashes wird das auftretende Drehmoment nicht mehr alleine über Kammerflansch und Pumpenflansch abgeführt, sondern zum Großteil über das drehmomentsichere Sicherungsmittel an die Tragstruktur abgegeben. Hierdurch kann ein Abreißen oder Undichtwerden der Flanschverbindung durch Verdrehung der Vakuumpumpe gegenüber der Vakuumkammer wirksam verhindert werden.Günstig sind dabei die größeren Hebel, die das Sicherungsmittel gegenüber dem Kammerflansch aufweisen. Diese Hebel sind durch die Radien von Flansch bzw. Sicherungsmittel bestimmt. Die Tragstruktur wirkt als Drehmomentsenke, da das Drehmoment von ihr aufgenommen wird, ohne dass es zu Schäden an Vakuumkammer, Vakuumpumpe und insbesondere deren Verbindung kommt.
  • Durch die Erfindung ist es möglich, Vakuumpumpen mit mehr gespeicherter Rotorenergie in dieser Anordnung einzusetzen. Im Stand der Technik begrenzt der Kammerflansch das maximal zu verkraftende Drehmoment und damit Rotorgröße und Drehzahl. Diese Grenze kann durch die Erfindung überschritten werden.
  • Eine Weiterbildung der Erfindung zeigt Abbildung 2. Zwischen Vakuumpumpe und Vakuumkammer ist ein Zwischenbauteil 12 angeordnet, welches einen Ring 11' aufweist, der mit dem Querträger 10 der Tragstruktur 9 verbunden ist. Hierbei muss die Verbindung der Flansche von Zwischenbauteil und Vakuumpumpe so ausgeführt sein, dass sie die im Falle eines Rotor-Stator-Crashes auftretenden Drehmomente übertragen kann. Dies ist leichter zu gewährleisten als den Kammerflansch entsprechend auszulegen, da Zwischenbauteil und Vakuumpumpe vom Hersteller der Vakuumpumpe gebaut werden können, welcher die auftretenden Drehmomente berechnen oder experimentell ermitteln kann. Über den Ring 11' und den Querträger, die als drehmomentsicheres Sicherungsmittel dienen, wird das Drehmoment an die als Drehmomentsenke wirkende Tragstruktur abgegeben.
  • Eine nächste Weiterbildung zeigt Abbildung 3. Sie ist gegenüber der Abbildung 2 derart geändert, dass zwischen Zwischenbauteil 12 und Vakuumkammer ein weiteres Element angeordnet ist. Im Beispiel ist das ein Schieberventil 37, welches in der Zeichnung durch ein entsprechendes Symbol der Vakuumtechnik gekennzeichnet ist. Dieses Schieberventil ermöglicht es, die Gasverbindung zwischen Vakuumpumpe und Vakuumkammer zu trennen. In diesem Beispiel weist wiederum das Zwischenbauteil einen Ring 11' ab, der mit der Drehmomentsenke verbunden ist. Dieser Aufbau erlaubt es, ein Schieberventil einzusetzen, welches an sich mechanisch nicht stark genug ausgelegt ist, um die Drehmomente aufzunehmen. Die Drehmomentableitung auf die Drehmomentsenke erfolgt über das zwischen Schieberventil und Vakuumpumpe angeordnete Zwischenbauteil. Das zwischen Vakuumkammer und Zwischenbauteil angeordnete Element kann in einer vorteilhaften Weiterbildung auch ein Dämpfungskörper sein. Diese weisen aufgrund ihrer entkoppelnden Struktur nur eine geringe mechanische Stabilität auf.
  • In einer nicht abgebildeten Weiterbildung sind Schieberventil 37 und Zwischenbauteil 12 einstückig ausgeführt.
  • Ein Vorteil der Weiterbildungen nach den Abbildungen 2 und 3 ist, dass bestehende Anlagen auch nachträglich noch sicher ausgeführt werden können. Sollte die Sicherheit gegenüber einem Rotor-Stator-Crash beim Bau der Vakuumkammer vernachlässigt worden sein, kann durch das Zwischenbauteil und die Kopplung über ein drehmomentsicheres Sicherungsmittel an eine Drehmomentsenke die Anlage nachträglich gesichert werden.
  • Abbildung 4 zeigt eine Alternative für die Gestaltung der drehmomentsicheren Sicherungsmittel auf. Gezeigt ist in dieser Abbildung ein Schnitt durch einen Teil der Anordnung, die hier Vakuumpumpe und Vakuumkammer aufweist. Die gezeigte Ausführungsform der Sicherungsmittel kann natürlich auch auf die Weiterbildungen nach den Abbildungen 2 und 3 angewendet werden. Gezeigt sind die Rotorscheiben 30, welche Bestandteil des Rotors sind und die diesen gegenüberstehenden Statorscheiben 31. Die Statorscheiben werden durch Distanzringe 32 derart auf axialem Abstand gehalten, dass zwischen den Statorscheiben die Rotorscheiben frei und ohne Berührung drehen können. Bei einem Rotor-Stator-Crash gelangen diese Scheiben derart in Berührung, dass die Drehung des Rotors gestoppt wird. Die Berührung kann beispielsweise durch ein unplanmäßiges Einbringen eines Fremdkörpers in die Vakuumpumpe zu Stande kommen. Durch das Stoppen werden die Scheiben meist sehr stark verformt, wodurch bereits ein Teil der Rotationsenergie umgesetzt wird. Der Rest wird an das Rotorgehäuse 5 abgegeben. Die Vakuumpumpe weist einen Pumpenflansch 4 auf, der mit dem Kammerflansch 3 durch an sich bekannte Klammerschrauben 33 lösbar verbunden ist. Das Rotorgehäuse weist einen Ring 11 auf, der es wenigstens auf einem Teil des Umfangs umgibt. Eine Schraube 36 stellt eine kraftschlüssige Verbindung zu einer Stütze 34 her, die mit einer Schweißnaht 35 an der Vakuumkammer angebracht ist. Auch diese Verbindung kann durch eine Schraubverbindung hergestellt werden. Die drehmomentsicheren Sicherungsmittel umfassen in diesem Beispiel die Stütze 34, die Schraube 36 und den Ring 11. Die Vakuumkammer wirkt in diesem Beispiel als Drehmomentsenke.

Claims (9)

  1. Anordnung mit einer Vakuumkammer (1), welche einen Kammerflansch (3) aufweist, und einer Vakuumpumpe (2), welche einen in einem Rotorgehäuse (5) angeordneten, schnelldrehenden Rotor und einen Pumpenflansch (4) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass sie ein drehmomentsicheres Sicherungsmittel aufweist, welches das Rotorgehäuse mit einer Drehmomentsenke verbindet.
  2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das drehmomentsichere Sicherungsmittel einen das Rotorgehäuse umgebenden Ring (11) umfasst.
  3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass Ring (11) und Rotorgehäuse (5) einstückig ausgeführt sind.
  4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass sie ein zwischen Pumpenflansch (4) und Kammerflansch (3) angeordnetes Zwischenbauteil (12) aufweist.
  5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das drehmomentsichere Sicherungsmittel anstelle des Rotorgehäuses (5) das Zwischenbauteil (12) mit der Drehmomentsenke verbindet und die Flanschverbindung zwischen Vakuumpumpe und Zwischenbauteil drehmomentsicher ausgeführt ist.
  6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das drehmomentsichere Sicherungsmittel einen einstückig mit dem Zwischenbauteil (12) ausgeführten Ring (11') umfasst.
  7. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumkammer (1) die Drehmomentsenke beinhaltet.
  8. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehmomentsenke eine Tragstruktur (9) beinhaltet, welche die Vakuumkammer (1) trägt.
  9. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenbauteil (12) Mittel zum Sperren des Gasflusses zwischen seinen Verbindungsflanschen aufweist.
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