EP2068000B1 - Anordnung mit Vakuumpumpe - Google Patents

Anordnung mit Vakuumpumpe Download PDF

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EP2068000B1
EP2068000B1 EP08020361.5A EP08020361A EP2068000B1 EP 2068000 B1 EP2068000 B1 EP 2068000B1 EP 08020361 A EP08020361 A EP 08020361A EP 2068000 B1 EP2068000 B1 EP 2068000B1
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EP
European Patent Office
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vacuum
chamber
vacuum pump
flange
arrangement
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EP2068000A2 (de
EP2068000A3 (de
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Robert Watz
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Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/02—Surge control
    • F04D27/0292—Stop safety or alarm devices, e.g. stop-and-go control; Disposition of check-valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps

Definitions

  • the invention relates to an arrangement with a vacuum pump according to the preamble of the first claim.
  • Vacuum pumps with fast-rotating rotors store high energies due to the high rotational frequency of the rotor.
  • the rotational frequency is often at some 10,000 revolutions per minute.
  • rotor-stator crash there is contact between rotor and stator.
  • pump components e.g. Pump flange issued in the form of a torque.
  • the rotation of the pump in such a rotor-stator crash must be avoided as this creates a risk of injury to persons and damage to the system is expected. As a result of this rotation of the pump may also lead to leakage or tearing of the pump.
  • the vacuum pumps are mounted with the high vacuum flange on pipe components, slides or directly to the recipient.
  • the vacuum pumps are mounted with the high vacuum flange on pipe components, slides or directly to the recipient.
  • the flanges of the recipient and pipe components are usually not able to take the high moments.
  • vacuum pumps can also be fastened to the floor in addition to the flange, which can lead to tensioning of the pump or the slide due to non-aligned attachment points, so that trouble-free operation is not ensured.
  • EP 1 795 757 A2 an assembly having a vacuum pump connected to a chamber flange via a ring of a harder material than the remaining housing of the vacuum pump.
  • the object of the invention is to provide an arrangement with a vacuum pump with fast-rotating rotor, wherein in the case of a rotor-stator crash, the vacuum tightness is maintained.
  • Rotor-stator crash refers to the jamming of rotor and stator during operation of the rotor at high speeds with their subsequent mechanical deformation.
  • the rotational energy of the rotor is partly converted into this deformation, in part delivered to the housing of the vacuum pump.
  • Crash-torque safe therefore designates a A compound designed to transmit these torques without the elements connected by them rotating relative to each other. Beyond the vacuum tightness, the intermediate component is protected from damage.
  • connection means is designed inexpensively and technically simply as a support arranged between the vacuum pump and the intermediate component. This avoids changes to the vacuum pump and intermediate component.
  • the carrier and the chamber flange are connected by a screw which is inserted through a spacer sleeve.
  • Screw and spacer sleeve form a rigid system, which is due to the bias by tightening the screw is very resistant to rotation of the assembly about the vertical plane to the chamber flange plane.
  • carrier and vacuum pump are made in one piece. This can be achieved by materially joining the two parts, for example by friction welding and equivalent methods. This achieves a low-cost crash-proof connection.
  • Another development relates to the chamber flange. This is connected to a arranged on the vacuum chamber web. This results in a connection between the vacuum chamber and the chamber flange with a larger one Distance to the chamber flange center. This additionally increases the crash torque safety.
  • the chamber flange is arranged on a flat wall of the vacuum chamber. These walls should be as thin as possible on the one hand for cost reasons, on the other hand are exposed to the air pressure. This leads to deflections of the wall. Due to the small footprint, the arrangement is insensitive to such deflections, it will be introduced no tension in the arrangement. It is possible to arrange several arrangements side by side on the wall, without mutual interference.
  • FIG. 1 shows a section through the arrangement along its axis perpendicular to the chamber flange. Along this axis, the following components are arranged and connected to one another in the stated sequence: the vacuum pump 1, the carrier 7, the intermediate component 6, the chamber flange 5 and the vacuum chamber 4.
  • the vacuum pump has a high-speed rotor 2. This cooperates with a stator 3 to pump gas from the vacuum chamber 4. Of the Pump flange 25 of the vacuum pump is releasably secured by means of pump screws 12 to a support 7. This connection is dimensioned so that the maximum crash moment does not lead to a rotation of vacuum pump and carrier against each other.
  • the intermediate member 6 which is designed as a vacuum slide valve, connected by slide bolts 14.
  • the vacuum slide valve is detachably fastened to the chamber flange 5 via further slide screws 14.
  • similarly acting means known in the art such as clamps, may be used.
  • sealing means are provided, for example, elastomeric O-rings.
  • the chamber flange 5 is secured to a cylindrical portion 26 crashworthy, for example, by a cohesive connection.
  • a web is provided between a wall 16 of the vacuum chamber and the chamber flange. It is connected with both force, material or form-fitting, so that it can absorb crash moments.
  • Carrier 7 and chamber flange 5 are connected by a screw 11, which is inserted through a spacer sleeve 10 therethrough.
  • the carrier 7 it is guided in a through hole and screwed into a thread 15 on the chamber flange.
  • the screw can receive bias, ie be tightened with high torque without the distance between the carrier and chamber flange is reduced. Tensions of the vacuum slide valve are therefore avoided.
  • the spacer sleeve surrounding the screw increases the security against rotation: at a torque about the axis of the arrangement, a tilting moment is created on the spacer sleeve, which receives the Pretension of the screw counteracts.
  • this arrangement is able to safely pick up a large crash torque from the vacuum pump and pass without loss of vacuum tightness on the carrier, screw and chamber flange to the vacuum chamber.
  • the crash moment does not lead to a load on the intermediate component, in this example, the vacuum slide valve.
  • FIG. 2 is a section through the arrangement along the line II 'shown.
  • the chamber wall 16 of the vacuum chamber has by way of example a rectangular shape with the shortest edge length W.
  • the chamber flange 5, which is connected to three webs 13, 13 'and 13 ", is arranged on this wall, and the chamber flange also has screwing holes 27, 27' and 27", in which the screws are screwed in between the carrier and chamber flange. It has a free diameter F, which allows the gas connection to the vacuum chamber.
  • the advantages of the arrangement come in such walls to advantage, in which the edge length W is much larger than the free diameter F. In the size ratio is also the wall thickness. A much larger ratio is when the deflection of the wall due to the air pressure exceeds the manufacturing tolerances of the flange, ie position on the wall, diameter, position of the screw holes 27, 27 ', 27 ".

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Description

  • Die Erfindung betrifft eine Anordnung mit Vakuumpumpe nach dem Oberbegriff des ersten Anspruches.
  • Vakuumpumpen mit schnelldrehenden Rotoren, beispielsweise Turbomolekularpumpen, speichern aufgrund der hohen Drehfrequenz des Rotors hohe Energien. Die Drehfrequenz liegt oftmals bei einigen 10 000 Umdrehungen pro Minute. Bei einem so genannten Rotor-Stator-Crash kommt es zu einem Kontakt von Rotor und Stator. Dabei werden diese hohen Energien über Pumpenbauteile wie z.B. Pumpenflansch in Form eines Drehmomentes abgegeben. Das Verdrehen der Pumpe bei einem solchen Rotor-Stator Crash muss vermieden werden, da dabei eine Verletzungsgefahr für Personen entsteht und eine Beschädigung der Anlage zu erwarten ist. In Folge dieser Verdrehung der Pumpe kann es außerdem zum Leckschlagen oder Abreißen der Pumpe kommen. In der Prozesstechnik werden zum Teil toxische Gase gepumpt, was dann zu einer Kontamination der Umgebung führt. Bei einem Leckschlagen der Anlage wird auch der laufende Prozess des Anwenders so stark beeinflusst, dass er in der Regel abgebrochen werden muss. Dadurch fallen Kosten an, die bei großen Prozessen, beispielsweise in der Halbleiterindustrie, sehr hohe Beträge erreichen können.
  • Die Vakuumpumpen werden mit dem Hochvakuumflansch an Rohrbauteile, Schieber oder direkt an den Rezipienten montiert. Insbesondere bei der Montage an einem Schieber besteht im Falle eines plötzlichen Blockierens die Gefahr einer Verdrehung oder Leckage des Schiebers. Auch sind die Flansche der Rezipienten und auch Rohrbauteile in der Regel nicht in der Lage, die hohen Momente aufzunehmen.
  • Zum Teil können Vakuumpumpen zusätzlich zum Flansch auch am Boden befestigt werden, was aufgrund von nicht-fluchtenden Befestigungspunkten zu einer Verspannung der Pumpe oder des Schiebers führen kann, so dass ein störungsfreier Betrieb nicht sichergestellt ist.
  • Aus der EP 1 580 477 A1 ist eine Anordnung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bekannt.
  • Ferner beschreibt die EP 1 795 757 A2 eine Anordnung mit einer Vakuumpumpe, die über einen Ring aus einem härteren Material als das restliche Gehäuse der Vakuumpumpe mit einem Kammerflansch verbunden ist.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anordnung mit einer Vakuumpumpe mit schnelldrehendem Rotor vorzustellen, bei der im Falle eines Rotor-Stator-Crashes die Vakuumdichtheit erhalten bleibt.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Anordnung mit den Merkmalen des ersten Anspruches. Die Ansprüche 2 bis 6 geben vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung an.
  • Durch Anordnen der Vakuumpumpe an einem Verbindungsmittel, welches crashmomentsicher mit dem Kammerflansch verbunden ist, wird die bei einem sogenannten Rotor-Stator-Crash freigesetzte Rotationsenergie sicher auf die Vakuumkammer übergeleitet, und dadurch werden die Verbindungen zwischen den Bauteilen und damit die gesamte Anordnung vakuumdicht gehalten. Rotor-Stator-Crash bezeichnet dabei das Verklemmen von Rotor und Stator während des Betriebes des Rotors bei hohen Drehzahlen mit deren anschließender mechanischer Verformung. Die Rotationsenergie des Rotors wird zum Teil in diese Verformung umgesetzt, zum Teil an das Gehäuse der Vakuumpumpe abgegeben. Es treten große Drehmomente auf. Crashmomentsicher bezeichnet daher eine Verbindung, die so gestaltet ist, dass sie diese Drehmomente übertragen kann, ohne dass sich durch sie verbundene Elemente gegeneinander verdrehen. Über die Vakuumdichtheit hinaus wird das Zwischenbauteil vor Beschädigung geschützt. Erfindungsgemäß ist das Verbindungsmittel kostengünstig und technisch einfach als ein zwischen Vakuumpumpe und Zwischenbauteil angeordneter Träger gestaltet. Dies vermeidet Änderungen an Vakuumpumpe und Zwischenbauteil. Der Träger und der Kammerflansch sind durch eine Schraube, welche durch eine Abstandshülse hindurch gesteckt ist, miteinander verbunden.
  • Dies ermöglicht eine sichere Verschraubung und damit Verbindung von Träger und Kammerflansch, ohne dass das Zwischenbauteil verspannt wird. Fehlfunktionen aufgrund von Verspannungen des Zwischenbauteils werden daher vermieden.
  • Schraube und Abstandshülse bilden ein steifes System, das aufgrund der Vorspannung durch Anziehen der Schraube sehr widerstandsfähig gegen Verdrehungen der Anordnung um die zur Kammerflanschebene senkrechte Achse ist.
  • In einer anderen Weiterbildung sind Träger und Vakuumpumpe einstückig ausgeführt. Dies kann durch stoffschlüssiges Verbinden der beiden Teile erreicht werden, beispielsweise durch Reibschweißen und gleichwirkende Verfahren. Dies erreicht kostengünstig eine sehr crashmomentsichere Verbindung.
  • Eine weitere Weiterbildung bezieht sich auf den Kammerflansch. Dieser ist mit einem an der Vakuumkammer angeordneten Steg verbunden. Daraus ergibt sich eine Verbindung zwischen Vakuumkammer und Kammerflansch mit einem größeren Abstand zur Kammerflanschmitte. Dies erhöht die Crashmomentsicherheit zusätzlich.
  • Die bisher genannten Vorteile der Anordnung kommen insbesondere zur Geltung, wenn das Zwischenbauteil als Vakuumschieberventil ausgeführt ist, da bei diesen Verspannungen besonders leicht zu Fehlfunktionen führen und Crashmomentsicherheit nur konstruktiv aufwändig und teuer zu bewerkstelligen ist.
  • In einer anderen Weiterbildung ist der Kammerflansch auf einer ebenen Wand der Vakuumkammer angeordnet. Diese Wände sollen einerseits aus Kostengründen möglichst dünnwandig sein, sind andererseits dem Luftdruck ausgesetzt. Dies führt zu Durchbiegungen der Wand. Aufgrund der geringen Grundfläche ist die Anordnung unempfindlich gegen solche Durchbiegungen, es werden keine Verspannungen in die Anordnung eingeleitet. Es wird möglich, mehrere Anordnungen nebeneinander auf der Wand anzuordnen, ohne dass es zur gegenseitigen Beeinflussung kommt.
  • Anhand eines Ausführungsbeispieles soll die Erfindung näher erläutert und die Vorteile vertieft werden. Es zeigen:
    • Fig. 1: : Schnitt durch eine Anordnung mit Vakuumpumpe
    • Fig. 2: : Draufblick auf die entlang der Linie I-I' geschnittene Anordnung
  • Die Figur 1 zeigt einen Schnitt durch die Anordnung entlang ihrer zum Kammerflansch senkrechten Achse. Entlang dieser Achse sind in der genannten Reihenfolge folgende Bauteile angeordnet und miteinander verbunden: die Vakuumpumpe 1, der Träger 7, das Zwischenbauteil 6, der Kammerflansch 5 und die Vakuumkammer 4.
  • Die Vakuumpumpe weist einen schnelldrehenden Rotor 2 auf. Dieser wirkt mit einem Stator 3 zusammen, um Gas aus der Vakuumkammer 4 abzupumpen. Der Pumpenflansch 25 der Vakuumpumpe ist mittels Pumpenschrauben 12 an einem Träger 7 lösbar befestigt. Diese Verbindung ist so dimensioniert, dass das maximale Crashmoment nicht zu einer Verdrehung von Vakuumpumpe und Träger gegeneinander führt.
  • Mit dem Träger ist das Zwischenbauteil 6, welches als Vakuumschieberventil ausgeführt ist, durch Schieberschrauben 14 verbunden. Das Vakuumschieberventil wiederum ist über weitere Schieberschrauben 14 am Kammerflansch 5 lösbar befestigt. Anstelle der Pumpen- und Schieberschrauben können gleichwirkende und im Stand der Technik bekannte Mittel wie Klammern verwendet werden. Zwischen den Flanschverbindungen von Vakuumpumpe, Träger, Zwischenbauteil und Vakuumkammer sind nicht gezeigte und im Stand der Technik bekannte Dichtmittel vorgesehen, beispielsweise elastomere Rundschnurringe.
  • Der Kammerflansch 5 ist an einem zylindrischen Abschnitt 26 crashmomentsicher befestigt, beispielsweise durch eine stoffschlüssige Verbindung. Ein Steg ist zwischen einer Wand 16 der Vakuumkammer und dem Kammerflansch vorgesehen. Er ist mit beiden kraft-, stoff- oder formschlüssig verbunden, so dass er Crashmomente aufnehmen kann.
  • Träger 7 und Kammerflansch 5 sind durch eine Schraube 11 miteinander verbunden, welche durch eine Abstandshülse 10 hindurch gesteckt ist. Im Träger 7 ist sie in einem Durchgangsloch geführt und am Kammerflansch in ein Gewinde 15 eingeschraubt. Durch die Abstandshülse kann die Schraube Vorspannung erhalten, d.h. mit hohem Drehmoment angezogen werden, ohne dass der Abstand zwischen Träger und Kammerflansch verringert wird. Verspannungen des Vakuumschieberventils werden daher vermieden. Gleichzeitig erhöht die die Schraube umgebende Abstandshülse die Verdrehsicherheit: bei einem Drehmoment um die Achse der Anordnung entsteht ein Kippmoment auf die Abstandshülse, dem die Vorspannung der Schraube entgegenwirkt. Daher ist diese Anordnung in der Lage, ein großes Crashmoment sicher von der Vakuumpumpe aufzunehmen und ohne Verlust der Vakuumdichtheit über Träger, Schraube und Kammerflansch auf die Vakuumkammer überzuleiten. Das Crashmoment führt dabei nicht zu einer Belastung des Zwischenbauteils, in diesem Beispiel des Vakuumschieberventils.
  • In Fig. 2 ist ein Schnitt durch die Anordnung entlang der Linie I-I' gezeigt. Die Kammerwand 16 der Vakuumkammer weist beispielhaft eine rechteckige Form mit der kürzesten Kantenlänge W auf. Auf dieser Wand ist der Kammerflansch 5 angeordnet, der mit drei Stegen 13, 13' und 13" verbunden ist. Der Kammerflansch weist zudem Verschraubungslöcher 27, 27' und 27" auf, in welche die Schrauben zwischen Träger und Kammerflansch eingeschraubt werden. Er weist einen freien Durchmesser F auf, der die Gasverbindung zur Vakuumkammer ermöglicht. Die Vorteile der Anordnung kommen bei solchen Wänden zur Geltung, bei der die Kantenlänge W wesentlich grösser als der freie Durchmesser F ist. In das Größenverhältnis geht zusätzlich die Wandstärke ein. Ein wesentlich größeres Verhältnis liegt vor, wenn die Durchbiegung der Wand aufgrund des Luftdrucks die Fertigungstoleranzen der Flanschmasse übersteigt, d.h. Position auf der Wand, Durchmesser, Lage der Verschraubungslöcher 27, 27', 27".

Claims (4)

  1. Anordnung mit einer Vakuumpumpe (1) mit einem schnelldrehenden Rotor (2) und einem Stator (3), einer Vakuumkammer (4) mit einem Kammerflansch (5) und einem zwischen Vakuumpumpe (1) und Vakuumkammer (4) vorgesehenen Zwischenbauteil (6), wobei Vakuumkammer (1), Vakuumpumpe (4) und Zwischenbauteil (6) lösbar miteinander verbunden sind,
    wobei die Vakuumpumpe (1) an einem Verbindungsmittel (7) angeordnet ist, welches crashmomentsicher mit dem Kammerflansch (5) verbunden ist,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass das Verbindungsmittel (7) einen zwischen der Vakuumpumpe (1) und dem Zwischenbauteil (6) angeordneten Träger (7) umfasst, mit welchem die Vakuumpumpe (1) und das Zwischenbauteil (6) lösbar verbunden sind, und
    dass der Träger (7) und der Kammerflansch (5) durch eine Schraube (11), welche durch eine Abstandshülse (10) hindurch gesteckt ist, miteinander verbunden sind.
  2. Anordnung nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass der Kammerflansch (5) und ein an der Vakuumkammer (4) angeordneter Steg (13, 13', 13") miteinander verbunden sind.
  3. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass das Zwischenbauteil (6) ein Vakuumschieberventil umfasst.
  4. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass der Kammerflansch (5) auf einer ebenen Wand (16) der Vakuumkammer (4) angeordnet ist.
EP08020361.5A 2007-12-08 2008-11-22 Anordnung mit Vakuumpumpe Active EP2068000B1 (de)

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