EP1221492A2 - Behälter aus einer Leichtmetalllegierung und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Behälter aus einer Leichtmetalllegierung und Verfahren zu seiner Herstellung Download PDF

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EP1221492A2 EP01811212A EP01811212A EP1221492A2 EP 1221492 A2 EP1221492 A2 EP 1221492A2 EP 01811212 A EP01811212 A EP 01811212A EP 01811212 A EP01811212 A EP 01811212A EP 1221492 A2 EP1221492 A2 EP 1221492A2
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Definitions

  • the invention relates to a container - in particular one Containers with a tubular container wall - from one Light metal alloy for use as a reaction chamber in a processing process for wafers, in particular for use in wafer etching processes.
  • the invention also covers a process for its manufacture.
  • Such containers made of a light alloy are as Inner container for process containers in the treatment of Wafers known, in particular for performing wafer etching processes.
  • Wafers are wafer-like thin slices with a thickness of less than 0.5 mm, that of single crystals of doped silicon or others Semiconductor materials are cut in order for integrated Circuits or the like electrical components used to be able to. To be able to produce a wafer after cutting a silicon ingot into wafer-thin slices lapped, etched and polished.
  • the container wall is made of a metallic Material - made by extrusion - the aluminum-based material used has a magnesium content between 1.2 and 2.0% by weight with extremely small proportions of Cu, Fe, Si approximately in the order of magnitude of impurities.
  • a container the container wall of which is also within the scope of the invention with a base plate made of the material mentioned on an aluminum basis with a magnesium content between 1.2 and 2.0 wt .-% is integrally formed as a container.
  • Another manufacturing possibility according to the invention is the ring rolling of that container wall.
  • the result can be welded sufficiently well Manufacture a tube that is also sufficiently strong for the - Container manufacturing and the use described is but not the Si that is disruptive in the wafer production process and contains Fe.
  • a cross-sectionally polygonal vessel 10 is used for wafer treatment from here ten wall sections 12 with a support arm mounted on a central shaft 14 and comprising a plurality of articulated arm sections 16 for a support disk 18 for a wafer (not shown). This is removed through wall slots 20 on the one hand from a delivery station 22 and subjected to etching and cleaning processes in processing stations 24, 24 a , 24 b , and then fed to a removal station 26.
  • Embodiments also polygonal - tubular body as a container wall 32 of the outer diameter d of 450, for example mm at one end a molded radial collar 34 as a support element having.
  • a parallel half length a is the tubular body or the container wall 32 with a groove-shaped ring indentation 36 equipped as well as on its distal radial collar 34 End - thanks to a radial gradation 38 - with one too molded - muzzle ring 40 of the outer diameter e from here 400 mm.
  • the axial length f of the muzzle ring 20 corresponds to just over a sixth of that length a of tubular body 32 engaging it.
  • On radial step 38 a base plate is indicated at 42.
  • the inner container 30 is made of an alloy material AlMgX shaped; its proportion of "X" in the alloy is between 1.2 and 2.0% by weight. This alloy contains the elements Cu, Fe, Si, at most in an order of magnitude of impurities.

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Abstract

Bei einem Behälter -- insbesondere einem Behälter (30) mit rohrartiger Behälterwandung (32) -- aus einer Leichtmetalllegierung zum Einsatz als Reaktionskammer in einem Bearbeitungsprozess für Wafer ist die -- vor allem auf dem Wege des Strangpressens geformte oder auf dem Wege des Ringwalzens hergestellte -- Behälterwandung (32) aus einem metallischen Werkstoff auf Aluminiumbasis mit einem Magnesiumgehalt zwischen 1,2 und 2,0 Gew.-% hergestellt; die Elemente Cu, Fe, Si sind nur in Anteilen unter 0,5 Gew.-% enthalten. Diese Behälterwandung (32) kann auch mit einer Bodenplatte (42) einstückig als Behälter (30) ausgeformt sein.

Description

Die Erfindung betrifft einen Behälter -- insbesondere einen Behälter mit rohrartiger Behälterwandung -- aus einer Leichtmetalllegierung zum Einsatz als Reaktionskammer in einem Bearbeitungsprozess für Wafer, insbesondere zum Einsatz bei Wafer-Ätzprozessen. Zudem erfasst die Erfindung ein Verfahren zu dessen Herstellung.
Derartige Behälter aus einer Leichtmetalllegierung sind als Innenbehälter für Prozessbehälter bei der Behandlung von Wafern bekannt, insbesondere zur Durchführung von Wafer-Ätzprozessen.
Wafer sind oblatenartig dünne Scheiben unter 0,5 mm Dicke, die aus Einkristallen von dotiertem Silizium oder anderen Halbleiterwerkstoffen geschnitten werden, um für integrierte Schaltkreise od.dgl. elektrische Bauelemente eingesetzt werden zu können. Zur Erzeugung eines Wafers werden nach dem Trennen eines Siliziumbarrens in hauchdünne Scheiben diese geläppt, geätzt und poliert.
Im Gegensatz zum Läppen, bei dem eine rotierende Ober- und Unterscheibe mittels einer Kristallkörneremulsion Material von der dazwischenliegenden Siliziumscheibe abtragen, werden beim Schleifen höhere Materialabträge sowie bessere Oberflächenqualitäten erreicht, gleichzeitig wird die sog. Kristallstörtiefe vermindert. Durch spezielle Schleifscheiben und Prozessparameter ist es möglich, an der Zerspanstelle lokal hohe Drücke und Temperaturen aufzubauen und das Silizium zu plastifizieren; Siliziumspäne können an der Oberfläche ohne Materialsausbrüche abgenommen werden.
Für die Behandlung bislang gängiger Wafer-Größen -- Durchmesser 200 mm -- werden Metallbehälter benutzt, die aus nahtlos über einen Dorn stranggepressten Rohren gefertigt werden können. Bei maximalen Rohrdurchmessern von etwa 450 mm ist diese Herstellungsweise der Behälter etwa aus AlMg 4 -- also einem Werkstoff mit hohen Mg-Gehalt für hinreichende Härte -- kostenträchtig. Die Innenfläche ist üblicherweise eloxiert; trotzdem wirken sich Legierungsbestandteile in Wafer-Fertigungsprozessen aus, dies insbesondere dann, wenn je nach Ätzmedium in der Eloxalschicht aufgrund des Angriffes von Gasen Fehlstellen entstehen oder sich vermehren. Zudem sind durch zunehmende Durchmesser der Wafer entsprechende Rohre für die Behältergestaltung nicht mehr mittels der üblichen Dornmatrize herstellbar.
Angesichts dieser Gegebenheiten hat sich der Erfinder das Ziel gesetzt, die Herstellbarkeit solcher Metallbehälter zu verbessern und zudem ihre Haltbarkeit zu erhöhen.
Zur Lösung dieser Aufgabe führt die Lehre des unabhängigen Anspruches; die Unteransprüche geben günstige Weiterbildungen an. Zudem fallen in den Rahmen der Erfindung alle Kombinationen aus zumindest zwei der in der Beschreibung, der Zeichnung und/oder den Ansprüchen offenbarten Merkmale.
Erfindungsgemäß wird die Behälterwandung aus einem metallischen Werkstoff -- auf dem Wege des Strangpressens -- hergestellt, wobei der eingesetzte Werkstoff auf Aluminiumbasis einen Magnesiumgehalt zwischen 1,2 und 2,0 Gew.-% aufweist bei äußerst geringen Anteilen von Cu, Fe, Si etwa in der Größenordnung von Verunreinigungen.
Man setzt für die Produktion vorteilhafterweise eine im Verfahren preisgünstige Spezialmatrize für Rohre ein, dazu jedoch -- anstelle des traditionellen, zusammen mit Spezialmatrizen verwendeten Legierungsmaterials AlMgSi -- einen diesbezüglichen neuen Legierungswerkstoff, nämlich das erwähnte AlMgX, dessen Anteil "X" -- wie gesagt -- zwischen 1,2 und 2,0 Gew.-% liegt und das insbesondere weder Si noch Cu oder Fe in beachtenswerter Menge enthält.
Im Rahmen der Erfindung liegt auch ein Behälter, dessen Behälterwandung mit einer Bodenplatte aus dem erwähnten Werkstoff auf Aluminiumbasis mit einem Magnesiumgehalt zwischen 1,2 und 2,0 Gew.-% einstückig als Behälter ausgeformt ist.
Durch den Verzicht auf einen Anteil von beispielsweise 0,8 Gew.-% Si beim neuen Verfahren mittels Spezialmatrize entsteht der bei Spezialmatrizen an sich zu erwartende Aushärteeffekt durch Koagulation intermetallischer Phasen nicht mehr. Stattdessen wird ein alternativer Härteeffekt erreicht, indem der Magnesium-Gehalt angehoben wird. Das Vorurteil der Fachwelt, dass Großrohre nur über eine Matrize mit Mg und Si in der Legierung herstellbar sind, trifft erkennbar nicht zu.
Eine weitere erfindunsgemäße Herstellungsmöglichkeit ist das Ringwalzen jener Behälterwandung.
Im Ergebnis läßt sich ein hinreichend gut verschweissbares Rohr herstellen, das zudem noch ausreichend fest für die - Behälter-Fertigung sowie den beschriebenen Einsatz ist, nicht jedoch die im Wafer-Herstellungsprozess störenden Si und Fe enthält.
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispieles sowie anhand der Zeichnung; diese zeigt skizzenhaft in:
Fig. 1:
eine Draufsicht auf eine Herstellungsstation für die Waferbehandlung;
Fig. 2:
eine Schrägsicht auf einen -- teilweise geschnittenen -- Innenbehälter für einen nicht gezeigten Prozessbehälter zur Wafer-Behandlung, insbesondere für Wafer-Ätzprozesse.
Zur Waferbehandlung dient nach Fig. 1 ein querschnittlich polygones Gefäß 10 aus hier zehn Wandabschnitten 12 mit an einer zentralen Welle 14 gelagertem Tragarm aus mehreren aneinandergelenkten Armabschnitten 16 für eine Tragscheibe 18 für einen nicht gezeigten Wafer. Dieser wird durch Wandschlitze 20 zum einen einer Abgabestation 22 entnommen und in Bearbeitungsstationen 24, 24a, 24b Ätz- und Reinigungsprozessen unterworfen sowie anschließend einer Abnahmestation 26 zugeführt.
Benötigt wird dazu auch der erwähnte Prozessbehälter, dessen Innenbehälter 30 an einem zylindrischen -- in anderen Ausgestaltungen auch polygonen -- Rohrkörper als Behälterwandung 32 des Außendurchmessers d von beispielsweise 450 mm einends einen angeformten Radialkragen 34 als Stützelement aufweist. Etwa in der Mitte seiner zur Längsachse A parallelen halben Länge a ist der Rohrkörper bzw. die Behälterwandung 32 mit einer nutförmigen Ringeinformung 36 ausgestattet sowie an seinem dem Radialkragen 34 fernen Ende -- dank einer radialen Stufung 38 -- mit einem ebenfalls angeformten -- Mündungsring 40 des Außendurchmessers e von hier 400 mm. Die axiale Länge f des Mündungsringes 20 entspricht etwas mehr als einem Sechstel jener Länge a des ihn erfassenden Rohrkörpers 32. An der radialen Stufung 38 ist bei 42 eine Bodenplatte angedeutet.
Nicht dargestellt ist eine Ausführung mit an die Behälterwandung bzw. den Rohrkörper 32 angeformter Bodenplatte 42.
Der Innenbehälter 30 wird aus einem Legierungswerkstoff AlMgX geformt; dessen Anteil von "X" in der Legierung zwischen 1,2 und 2,0 Gew.-% liegt. Diese Legierung enthält die Elemente Cu, Fe, Si, allenfalls in einer Größenordnung von Verunreinigungen.

Claims (5)

  1. Behälter, insbesondere Behälter (30) mit rohrartiger Behälterwandung (32), aus einer Leichtmetalllegierung zum Einsatz als Reaktionskammer in einem Bearbeitungsprozess für Wafer, vor allem zum Einsatz bei Wafer-Ätzprozessen,
    dadurch gekennzeichnet, dass die Behälterwandung (32) aus einem metallischen Werkstoff auf Aluminiumbasis mit einem Magnesiumgehalt zwischen 1,2 und 2,0 Gew.-% hergestellt ist, wobei die Elemente Cu, Fe, Si in Anteilen unter 0,5 Gew.-% enthalten sind.
  2. Behälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Behälterwandung (32) mit einer Bodenplatte (42) einstückig als Behälter (30) ausgeformt ist.
  3. Verfahren zur Herstellung eines Behälters nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Behälterwandung (32) auf dem Wege des Strangpressens geformt wird.
  4. Verfahren zur Herstellung eines Behälters nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Behälterwandung (32) in einer Spezialmatrize stranggepresst wird.
  5. Verfahren zur Herstellung eines Behälters nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Behälterwandung (32) auf dem Wege des Ringwalzens hergestellt wird.
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