EP1203391A1 - Elektromechanisches mikrorelais und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Elektromechanisches mikrorelais und verfahren zu dessen herstellung

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Publication number
EP1203391A1
EP1203391A1 EP00958315A EP00958315A EP1203391A1 EP 1203391 A1 EP1203391 A1 EP 1203391A1 EP 00958315 A EP00958315 A EP 00958315A EP 00958315 A EP00958315 A EP 00958315A EP 1203391 A1 EP1203391 A1 EP 1203391A1
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EP
European Patent Office
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spring
contact
relay according
fixed contacts
switching
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP00958315A
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English (en)
French (fr)
Inventor
Helmut Schlaak
Martin Hanke
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TE Connectivity Solutions GmbH
Original Assignee
Tyco Electronics Logistics AG
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Filing date
Publication date
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Publication of EP1203391A1 publication Critical patent/EP1203391A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
    • H01G5/16—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes
    • H01G5/18—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes due to change in inclination, e.g. by flexing, by spiral wrapping
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    • H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
    • H01G5/40—Structural combinations of variable capacitors with other electric elements not covered by this subclass, the structure mainly consisting of a capacitor, e.g. RC combinations
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    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H1/00—Contacts
    • H01H1/12—Contacts characterised by the manner in which co-operating contacts engage
    • H01H1/14—Contacts characterised by the manner in which co-operating contacts engage by abutting
    • H01H1/20—Bridging contacts
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
    • H01H2059/0081—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics with a tapered air-gap between fixed and movable electrodes

Definitions

  • the invention relates to a relay, in particular a micro relay, with a bridge closer contact.
  • the invention also relates to a method for producing the relay.
  • a micromechanically producible icro relay which consists of an etched silicon spring tongue, which is pre-curved, and a flat counter electrode.
  • the spring tongue forms a wedge-shaped capacitor with the counter electrode.
  • the spring tongue is stretched until the free end of the spring contacts the work contact on the 'counter electrode by applying a control voltage between the elastic tongue of the flat counter electrode.
  • the curved spring tongue rolls on the counter electrode and thus forms a traveling wedge.
  • relays in which a normally open contact makes a bridge contact via two fixed contacts are desirable.
  • the bridge closer contact offers a higher dielectric strength and, in the case of high-frequency load current signals, a lower crosstalk capacity and thus a higher frequency response.
  • bridge closer contacts however, the problem arises that the fixed contacts can wear to different extents, and the switching strokes of the individual fixed contacts thus have different sizes. As a result, different contact forces occur at the two fixed contacts. In the event of heavy one-sided wear, contact would no longer be possible.
  • the object of the present invention to provide a relay which can be miniaturized and which, even with different heights of the fixed contacts, establishes a secure bridge contact.
  • the invention further relates to a method for producing the microrelay.
  • the invention provides a relay comprising a base element with two fixed contacts and a switch spring.
  • the switching spring is fastened with an edge section along a fastening line and is movable between two positions, an open and a closed one. Furthermore, the switching spring has a contact spring.
  • a movable contact is arranged on the contact spring, which bridges the fixed contacts when the switching spring is closed.
  • the relay further comprises a drive element which moves the switching spring and the contact spring between the open and the closed position.
  • the contact spring is designed as a torsion spring which can be rotated about an axis of rotation. The axis of rotation lies in the plane of the contact spring in the middle between the two fixed contacts.
  • the projection of the axis of rotation onto the base element intersects the connecting line of the fixed contacts essentially vertically.
  • the contact spring can be produced in a particularly advantageous manner from the switching spring by etching away areas of the switching spring. Such a procedure offers in particular the possibility of using the structuring methods known from silicon technology, possibly transferred to a metallic switching spring.
  • a contact spring which can be rotated about an axis of rotation can be achieved in a particularly simple and therefore advantageous manner by providing a contact part and one or more spring parts in the contact spring.
  • the contact part is the carrier of the movable contact and extends transversely to the axis of rotation to cover the fixed contacts.
  • This contact part is connected to the switching spring by one or more spring parts, the spring parts being connected to the contact part in the region of the axis of rotation of the torsion spring. This ensures that the contact spring is a torsion spring and at the same time is resiliently coupled to the switching spring.
  • an embodiment of the relay according to the invention is particularly advantageous in which the shape of the spring parts follows multiple curved paths.
  • the spring parts are arranged on two opposite sides of the switching part, which ensures that the axis of rotation does not tilt due to one-sided fastening of the contact part.
  • the relay in a form in which the switching spring is attached to the base element and curved away from it. This enables the realization of a relay with bridge contact with the traveling wedge mentioned at the beginning.
  • an electrostatic drive as the drive element for the relay. This consists in that a first electrode arranged on the side of the switching spring facing the base element and a second electrode arranged on the base element with respect to the first electrode are connected to a DC voltage source. Such a drive only needs energy briefly for switching, while the closed position alone 01/09911
  • a relay is particularly advantageous in which the switching spring is made of silicon and the base element is made of silicon or glass.
  • Such a relay can be easily implemented using the structuring and manufacturing methods known from silicon technology.
  • the invention also provides a method for producing such a relay, which comprises the following steps:
  • the second electrode and the fixed contacts are deposited on the base substrate forming the base element and subsequently structured.
  • a silicon wafer with a doped silicon layer on the side of the wafer facing the base substrate is bonded to the base substrate.
  • the latter is etched back, for example by KOH etching, until the doped silicon layer which is to form the switching spring remains.
  • the contact spring is made from the switching spring or
  • Such a method has the advantage that miniaturized relays can be produced very easily.
  • Figure 1 shows the switch spring of a relay according to the invention, in which the connecting line of the fixed contacts runs parallel to the mounting line, in a schematic plan view.
  • Figure 2 shows the switching spring of a relay according to the invention, in which the connecting line of the fixed contacts is perpendicular to the fastening line, in a schematic plan view.
  • Figure 3 shows an inventive relay with traveling wedge in the open state in a schematic longitudinal section.
  • Figure 4 shows an inventive relay with traveling wedge in the closed state in a schematic longitudinal section.
  • FIG. 1 shows the switching spring 3 of a relay according to the invention, which is fastened along the fastening line 11.
  • the switching spring 3 has a contact spring 4, which consists of the contact part 6 and the spring parts 7.
  • the shape of the spring parts 7 follows curved paths several times. As a result, the torsional rigidity can be set to a desired, arbitrarily low value.
  • the spring parts connect this to the switching spring 3, which ensures that the axis of rotation 12 does not tilt due to one-sided fastening of the contact part 6.
  • the movable contact 5 (FIG. 3) is arranged on the underside of the contact part 6.
  • the fixed contacts 2 of the base element, not shown, are arranged below the contact part 6.
  • the contact part 6 is rotatable about the axis of rotation 12.
  • the axis of rotation 12 is perpendicular to the fastening line 11.
  • the fixed contacts 2 are arranged on both sides of the axis of rotation 12 under the contact part 6.
  • FIG. 2 shows the switching spring 3 of a relay according to the invention, which is fastened along the fastening line 11.
  • the switching spring 3 has a contact spring 4 which the contact part 6 and the spring parts 7.
  • the shape of the spring parts 7 follows curved paths several times. This allows the torsional rigidity to be set to the desired low value.
  • the spring parts connect this to the switching spring 3, which ensures that the axis of rotation 12 does not tilt due to one-sided fastening of the contact part 6.
  • the movable contact 5 (FIG. 3) is arranged on the underside of the contact part 6.
  • the fixed contacts 2 are arranged below the contact part 6.
  • the contact part 6 is rotatable about the axis of rotation 12.
  • the axis of rotation 12 is parallel to the fastening line 11.
  • the fixed contacts are arranged on both sides of the axis of rotation 12 under the contact part.
  • Figure 3 shows an inventive relay with traveling wedge in the open state.
  • the traveling wedge is formed from the base element 1 and the switching spring 3 curved away therefrom, which is otherwise designed according to FIG.
  • the fixed contacts 2 and the second electrode 9 with an insulating layer 10 are arranged on the base element 1.
  • the switching spring 3 is firmly connected to the base element 1 on the left edge.
  • the switching spring 3 has a first electrode 8 and the spring part 7 and the contact part 6 of the contact spring.
  • the contact part 6 can be rotated about the axis of rotation 12.
  • the contact part 6 also has a movable contact 5 on its underside.
  • the rotatable contact part 6 can easily adapt to different high fixed contacts 2 and thus mediate a reliable contact.
  • the fixed contacts 2 are arranged in such a way that their connecting line is perpendicular to the fastening line 11. This causes the left and then the right of the fixed contacts 2 to be contacted when the relay closes. In addition, the contact distance of the left fixed contact 2 is always smaller than the contact distance of the right fixed contact 2 (except when closed).
  • Figure 4 shows the relay of Figure 3 in the closed state.
  • the switching spring 3 rests on the base element 1. Via the switching spring 3, the contact part 6 rests on the fixed contacts 2.
  • the spring parts 7 connect the switching spring to the contact spring and establish the contact force between the movable contact 5 and the fixed contacts 2.
  • the invention is not limited to the exemplary embodiments shown, but is defined in its most general form by claim 1.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Micromachines (AREA)
  • Push-Button Switches (AREA)
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Relais, insbesondere ein miniaturisiertes elektrostatisches Relais, mit einem Brückenschliesserkontakt. Die Kontaktfeder ist als Torsionsfeder gestaltet, die über mehrmals gekrümmte Federteile (7) mit einer Schaltfeder (3) verbunden ist. Damit können insbesondere unterschiedlich hohe feste Kontakte (2) ausgeglichen werden. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung des Relais als mikromechanisches elektrostatisches Relais.

Description

Beschreibung
MIKRO ELEKTROMECHANISCHES RELAISUND VERFAHRENZUDESSENHERSTELLUNG
Die Erfindung betrifft ein Relais, insbesondere ein Mikrore- lais, mit Brückenschließerkontakt . Zudem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des Relais.
Aus DE 44 37 261 Cl ist ein mikromechanisch herstellbares i- krorelais bekannt, das aus einer freigeätzten Siliziumfederzunge, die vorgekrümmt ist, und einer flachen Gegenelektrode besteht. Die Federzunge bildet mit der Gegenelektrode einen keilförmigen Kondensator. Durch Anlegen einer SteuerSpannung zwischen der Federzunge der ebenen Gegenelektrode wird die Federzunge gestreckt bis das freie Federende den Arbeitskontakt auf der 'Gegenelektrode berührt. Während des Schaltvorgangs rollt die gekrümmte Federzunge auf der Gegenelektrode ab und bildet somit einen Wanderkeil.
Neben Relais mit einer einfachen Schließerfunktion, bei denen der zu schaltende Laststrom in einer Leiterbahn auf der beweglichen Feder geführt wird, sind Relais wünschenswert, bei denen ein Schließer einen Brückenkontakt über zwei feste Kontakte herstellt. Der Brückenschließerkontakt bietet eine hö- here Spannungsfestigkeit und im Fall von hochfrequenten Laststromsignalen eine geringere Übersprechkapazität und damit einen höheren Frequenzgang. Bei Brückenschließerkontakten tritt jedoch das Problem auf, daß die festen Kontakte unterschiedlich stark verschleißen können, und somit die Schalthü- be der einzelnen festen Kontakte unterschiedlich groß werden. Dies hat zur Folge, daß an den beiden festen Kontakten unterschiedliche Kontaktkräfte auftreten. Bei starken einseitigen Verschleiß würde ein Kontakt schließlich gar nicht mehr schließen.
Zur Realisierung eines Brückenschließerkontakts mit Hilfe des bekannten Mikrorelais würde auf der beweglichen Federzunge ein rechteckiger Kontakt angeordnet, der zwei feste Gegenkontakte überdeckt. Eine solche Anordnung hat den Nachteil, daß bei unterschiedlicher Abnutzung der beiden nebeneinanderlie- genden festen Kontakte unterschiedliche Kontaktkräfte auftreten. Aufgrund der hohen Torsionssteifigkeit der Federzunge kann sich der Brückenkontakt nicht auf unterschiedlich hohe Gegenkontakte einstellen. Bei weiter fortschreitender Kontakthöhendifferenz würde schließlich ein Kontakt gar nicht mehr geschlossen.
Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Relais bereitzustellen, das miniaturisierbar ist und das auch bei unterschiedlicher Höhe der festen Kontakte einen sicheren Brük- kenkontakt herstellt. Die Erfindung betrifft ferner ein Ver- fahren zur Herstellung des Mikrorelais.
Dieses Ziel wird erfindungsgemäß durch ein Relais nach Anspruch 1 erreicht. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung und ein Verfahren zur Herstellung der Erfindung sind den wei- teren Ansprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung gibt ein Relais an, das ein Basiselement mit zwei festen Kontakten und eine Schaltfeder umfaßt. Die Schaltfeder ist mit einem Randabschnitt entlang einer Befe- stigungslinie befestigt und zwischen zwei Stellungen, einer geöffneten und einer geschlossenen, beweglich. Ferner weist die Schaltfeder eine Kontaktfeder auf. Auf der Kontaktfeder ist ein beweglicher Kontakt angeordnet, der bei geschlossener Schaltfeder die festen Kontakte überbrückt. Ferner umfaßt das Relais ein Antriebselement, das die Schaltfeder und die Kontaktfeder zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung bewegt. Die Kontaktfeder ist als Torsionsfeder gestaltet, die um eine Drehachse drehbar ist. Die Drehachse liegt in der Ebene der Kontaktfeder in der Mitte zwischen den zwei festen Kontakten. Die Projektion der Drehachse auf das Basiselement schneidet die Verbindungslinie der festen Kontakte im wesentlichen senkrecht. Durch die erfindungsgemäße Aufteilung der Relaisfeder in eine Kontakt- und eine Schaltfeder, wobei die Kontaktfeder als Torsionsfeder ausgebildet ist, kann erreicht werden, daß ein sicherer Kontakt auch bei unterschiedlicher Höhe der festen Kontakte gewährleistet ist. Durch die Drehbarkeit der Torsionsfeder um eine Drehachse zwischen den festen Kontakten kann sich der bewegliche Kontakt auf verschiedene Höhen der festen Kontakte einstellen. Dies geht, ohne das Schaltverhal- ten der Schaltfeder zu beeinträchtigen.
Eine besonders leichte Miniaturisierbarkeit erreicht man bei einem erfindungsgemäßen Relais, bei dem die Kontaktfeder ein Teil der Schaltfeder ist.
Die Kontaktfeder ist in besonders vorteilhafter Weise aus der Schaltfeder herzustellen, indem Bereiche der Schaltfeder weggeätzt werden. Eine solche Vorgehensweise bietet insbesondere die Möglichkeit, die aus der Siliziumtechnologie bekannten Strukturierungsverfahren, ggf. übertragen auf eine metallische Schaltfeder, zu verwenden.
Eine um eine Drehachse drehbare Kontaktfeder erreicht man in besonders einfacher und daher vorteilhafter Weise, indem man in der Kontaktfeder ein Kontaktteil und ein oder mehrere Federteile vorsieht. Das Kontaktteil ist dabei der Träger des beweglichen Kontakts und erstreckt sich quer zur Drehachse, um die festen Kontakte zu überdecken. Dieses Kontaktteil wird durch ein oder mehrere Federteile mit der Schaltfeder verbun- den, wobei die Federteile im Bereich der Drehachse der Torsionsfeder mit dem Kontaktteil verbunden sind. Dadurch wird erreicht, daß die Kontaktfeder eine Torsionsfeder ist und gleichzeitig federnd an die Schaltfeder gekoppelt ist.
Weiterhin ist eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Relais besonders vorteilhaft, bei der die Form der Federteile mehrfach gekrümmten Bahnen folgt. Durch diesen verlängerten Fe- 01
4 derweg läßt sich besonders einfach eine beliebig geringe Steifigkeit der Torsionsfeder erreichen, was die Verkippung des beweglichen Kontakts zur Auflage auf zwei unterschiedlich hohen festen Kontakten erleichtert.
Ferner ist es besonders vorteilhaft, die Federteile an zwei gegenüberliegenden Seiten des Schaltteils anzuordnen, wodurch gewährleistet ist, daß die Drehachse nicht aufgrund einseitiger Befestigung des Kontaktteils verkippt.
Es ist besonders vorteilhaft, das Relais in einer Form auszuführen, bei der die Schaltfeder am Basiselement befestigt und von diesem weggekrümmt ist. Dies ermöglicht die Realisierung eines Relais mit Brückenkontakt mit dem eingangs genannten Wanderkeil.
Bei dieser Anordnung (mit gekrümmter Schaltfeder) ist es besonders vorteilhaft, wenn die Verbindungslinie der festen Kontakte parallel zur Befestigungslinie steht. Da die Schalt- feder bei einem Relais nach dem Wanderkeilprinzip ausgehend von der Befestigungslinie auf ein Gegenstück gedrückt wird, wird durch gleiche Abstände der festen Kontakte von der Befestigungslinie erreicht, daß der bewegliche Kontakt die festen Kontakte nahezu gleichzeitig kontaktiert. Aus demselben Grund hat ein solches Relais bei dieser Anordnung der festen Kontakte zu allen Zeiten gleiche Kontaktabstände zwischen den festen und dem beweglichen Kontakt.
Es ist besonders vorteilhaft, als Antriebselement für das Re- lais einen elektrostatischen Antrieb zu wählen. Dieser besteht darin, daß eine auf der dem Basiselement zugewandten Seite der Schaltfeder angeordnete erste Elektrode und eine gegenüber der ersten Elektrode auf dem Basiselement angeordnete zweite Elektrode an eine Gleichspannungsquelle ange- schlössen sind. Ein solcher Antrieb benötigt nur zum Schalten kurzzeitig Energie, während die geschlossenen Stellung allein 01/09911
5 durch elektrostatische Wechselwirkung fixiert wird, ohne daß dazu weitere Energiezufuhr notwendig wäre.
Des weiteren ist ein Relais besonders vorteilhaft, bei dem die Schaltfeder aus Silizium und das Basiselement aus Silizium oder Glas besteht. Ein solches Relais läßt sich mit dem aus der Siliziumtechnologie bekannten Strukturierungs- und Herstellungsmethoden leicht realisieren.
Die Erfindung gibt ferner ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Relais an, welches folgende Schritte umfaßt:
1. Die zweite Elektrode und die festen Kontakte werden auf dem das Basiselement bildende Basissubstrat abgeschieden und nachfolgend strukturiert.
2. Danach wird auf der zweiten Elektrode eine Isolierschicht abgeschieden.
3. Ein Silizium-Wafer mit einer dotierten Siliziumschicht auf der dem Basissubstrat zugewandten Seite des Wafers wird auf das Basissubstrat gebondet.
4. Beginnend von der der dotierten Siliziumschicht abgewand- ten Seiten des Silizium-Wafers wird dieser, beispielsweise durch KOH-Ätzen, rückgeätzt, bis die dotierte Siliziumschicht, die die Schaltfeder bilden soll, stehenbleibt.
5. Schließlich wird durch Strukturierung der dotierten Sili- ziumschicht die Kontaktfeder aus der Schaltfeder bzw. die
Schaltfeder selbst geformt.
Ein solches Verfahren hat den Vorteil, daß sehr leicht miniaturisierte Relais hergestellt werden können.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei- spielen und den dazugehörigen Figuren näher erläutert. 01
Figur 1 zeigt die Schaltfeder eines erfindungsgemäßen Relais, bei dem die Verbindungslinie der festen Kontakte parallel zur Befestigungslinie verläuft, in schematischer Draufsicht.
Figur 2 zeigt die Schaltfeder eines erfindungsgemäßen Relais, bei dem die Verbindungslinie der festen Kontakte senkrecht auf der Befestigungslinie steht, in schematischer Draufsicht.
Figur 3 zeigt ein erfindungsgemäßes Relais mit Wanderkeil im geöffneten Zustand im schematischen Längsschnitt.
Figur 4 zeigt ein erfindungsgemäßes Relais mit Wanderkeil im geschlossenen Zustand im schematischen Längsschnitt.
Figur 1 zeigt die Schaltfeder 3 eines erfindungsgemäßen Relais, welche entlang der Befestigungslinie 11 befestigt ist. Die Schaltfeder 3 weist eine Kontaktfeder 4 auf, welche aus dem Kontaktteil 6 und den Federteilen 7 besteht. Die Feder- teile 7 folgen in ihrer Form mehrmals gekrümmten Bahnen. Dadurch kann die Torsionssteifigkeit auf einen gewünschten, beliebig niedrigen Wert eingestellt werden. Die Federteile verbinden, ausgehend von beiden Seiten des Kontaktteils 6, dieses mit der Schaltfeder 3, wodurch gewährleistet ist, daß die Drehachse 12 nicht aufgrund einseitiger Befestigung des Kontaktteils 6 verkippt. Auf der Unterseite des Kontaktteils 6 ist der bewegliche Kontakt 5 (Fig. 3) angeordnet. Unterhalb des Kontaktteils 6 sind die festen Kontakte 2 des nicht dargestellten Basiselementes angeordnet. Das Kontaktteil 6 ist um die Drehachse 12 drehbar. Die Drehachse 12 steht senkrecht auf der Befestigungslinie 11. Die festen Kontakte 2 sind zu beiden Seiten der Drehachse 12 unter dem Kontaktteil 6 angeordnet .
Figur 2 zeigt die Schaltfeder 3 eines erfindungsgemäßen Relais, welche entlang der Befestigungslinie 11 befestigt ist. Die Schaltfeder 3 weist eine Kontaktfeder 4 auf, welche aus dem Kontaktteil 6 und den Federteilen 7 besteht. Die Federteile 7 folgen in ihrer Form mehrmals gekrümmten Bahnen. Dadurch kann die Torsionssteifigkeit auf den gewünschten niedrigen Wert eingestellt werden. Die Federteile verbinden, aus- gehend von gegenüberliegenden Seiten des Kontaktteils 6, dieses mit der Schaltfeder 3, wodurch gewährleistet ist, daß die Drehachse 12 nicht aufgrund einseitiger Befestigung des Kontaktteils 6 verkippt. Auf der Unterseite des Kontaktteils 6 ist der bewegliche Kontakt 5 (Fig. 3) angeordnet. Unterhalb des Kontaktteils 6 sind die festen Kontakte 2 angeordnet. Das Kontaktteil 6 ist um die Drehachse 12 drehbar. Die Drehachse 12 liegt parallel zur Befestigungslinie 11. Die festen Kontakte sind zu beiden Seiten der Drehachse 12 unter dem Kontaktteil angeordnet.
Figur 3 zeigt ein erfindungsgemäßes Relais mit Wanderkeil im geöffneten Zustand. Der Wanderkeil ist gebildet aus dem Basiselement 1 und der davon weggekrümmten Schaltfeder 3, die ansonsten gemäß Figur 2 ausgebildet ist. Auf dem Basiselement 1 sind die festen Kontakte 2, sowie die zweite Elektrode 9 mit einer Isolierschicht 10 angeordnet. Die Schaltfeder 3 ist am linken Rand mit dem Basiselement 1 fest verbunden. Die Schaltfeder 3 weist eine erste Elektrode 8 sowie das Federteil 7 und das Kontaktteil 6 der Kontaktfeder auf. Das Kon- taktteil 6 ist um die Drehachse 12 drehbar. Das Kontaktteil 6 weist ferner auf seiner Unterseite einen beweglichen Kontakt 5 auf. Das drehbare Kontaktteil 6 kann sich an unterschiedlich hohe feste Kontakte 2 leicht anpassen und somit eine sichere Kontaktgabe vermitteln. Die festen Kontakte 2 sind in diesem Beispiel so angeordnet, daß ihre Verbindungslinie senkrecht steht auf der Befestigungslinie 11. Dies bewirkt, daß beim Schließen des Relais zuerst der linke und danach der recht der festen Kontakte 2 kontaktiert wird. Zudem ist auch der Kontaktabstand des linken festen Kontakts 2 stets klei- ner, als der Kontaktabstand des rechten festen Kontakts 2 (außer im geschlossenen Zustand) . Figur 4 zeigt das Relais aus Figur 3 im geschlossenen Zustand. Die Schaltfeder 3 liegt auf dem Basiselement 1 auf. Über die Schaltfeder 3 erhöht liegt das Kontaktteil 6 auf den festen Kontakten 2 auf. Die Federteile 7 verbinden die Schaltfeder mit der Kontaktfeder und stellen die Kontaktkraft zwischen dem beweglichen Kontakt 5 und den festen Kontakten 2 her.
Die Erfindung beschränkt sich nicht auf die beispielhaft ge- zeigten Ausführungsformen, sondern wird in ihrer allgemeinsten Form durch Anspruch 1 definiert.

Claims

Patentansprüche
• Relais, umfassend ein Basiselement (1) mit zwei festen Kontakten (2) , - eine mit einem Randabschnitt entlang einer Befestigungslinie (11) befestigte Schaltfeder (3), die zwischen einer geöffneten und einer geschlossenen Stellung beweglich ist und die eine Kontaktfeder (4) aufweist, - einen auf der Kontaktfeder (4) angeordneten beweglichen Kontakt (5), der in der geschlossenen Stellung der Schaltfeder (3) die festen Kontakte (2) überbrückt, ein Antriebselement, das die Schaltfeder (3) und die Kontaktfeder (4) zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung bewegt, bei dem die Kontaktfeder (4) als Torsionsfeder gestaltet ist, die um eine mittig senkrecht auf der Verbindungslinie der festen Kontakte (2) stehende, in der Kontaktfederebene liegende Drehachse (12) drehbar ist.
2. Relais nach Anspruch 1, bei dem die Kontaktfeder (4) ein Teil der Schaltfeder (3) ist.
3. Relais nach Anspruch 2 , bei dem die Kontaktfeder (4) durch Wegätzen von Bereichen der Schaltfeder (3) hergestellt ist.
4. Relais nach Anspruch 2 bis 3, bei dem die Kontaktfeder (4) aus einem Kontaktteil (6), das sich quer zur Drehachse (12) erstreckt, und einem oder mehreren Federteilen (7) besteht, die im Bereich der Drehachse (12) mit dem Kontaktteil (6) sowie mit der Schaltfeder (3) verbunden sind.
5. Relais nach Anspruch 4, bei dem die die Form der Federteile (7) mehrmals gekrümmten Bahnen folgt.
6. Relais nach Anspruch 4 oder 5, bei dem die Federteile von gegenüberliegenden Seiten des Kontaktteils ausgehen.
7. Relais nach Anspruch 1 bis 6, bei dem die Schaltfeder (3) am Basiselement (1) befestigt und von diesem weggekrümmt ist.
8. Relais nach Anspruch 1 bis 7, bei dem die festen Kontakte (2) so angeordnet sind, daß ihre Verbindungslinie senkrecht zur Befestigungslinie (11) steht.
9. Relais nach Anspruch 1 bis 7, bei dem die festen Kontakte (2) so angeordnet sind, daß ihre Verbindungslinie parallel zur Befestigungslinie (11) steht.
10. Relais nach Anspruch 7 bis 9, bei dem das Antriebselement eine auf der dem Basiselement (1) zugewandten Seite der Schal feder (3) angeordnete erste Elektrode (8) , eine gegenüber der ersten Elektrode
(8) auf dem Basiselement (1) angeordnete zweite Elektrode
(9) und eine an die Elektroden (8,9) angeschlossene Gleichspannungsquelle umfaßt.
11. Relais nach Anspruch 1 bis 10, bei dem die Schaltfeder (3) aus Silizium und das Basiselement (1) aus Silizium oder Glas besteht.
12. Verfahren zur Herstellung eines Relais nach Anspruch 11, mit den Schritten: a) Abscheiden der zweiten Elektrode (9), einer dar- überliegenden Isolierschicht (10) und der festen Kontakte (2) auf einem das Basiselement (1) bildende Basissubstrat b) Bonden eines Silizium-Wafers mit einer dotierten Siliziumschicht auf der dem Basissubstrat zugewandten Seite des Wafers auf das Basissubstrat c) Rückätzen des Silizium-Wafers, bis die dotierte Siliziumschicht stehenbleibt d) Strukturierung der dotierten Siliziumschicht zur Formung der Schaltfeder (3) und der Kontaktfeder (4) .
EP00958315A 1999-07-29 2000-07-28 Elektromechanisches mikrorelais und verfahren zu dessen herstellung Withdrawn EP1203391A1 (de)

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DE19935819A DE19935819B4 (de) 1999-07-29 1999-07-29 Relais und Verfahren zu dessen Herstellung
DE19935819 1999-07-29
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US (1) US6639325B1 (de)
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