EP1183133B1 - Strahlwerkzeug und vorrichtung enthaltend ein strahlwerkzeug - Google Patents
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- EP1183133B1 EP1183133B1 EP00940351A EP00940351A EP1183133B1 EP 1183133 B1 EP1183133 B1 EP 1183133B1 EP 00940351 A EP00940351 A EP 00940351A EP 00940351 A EP00940351 A EP 00940351A EP 1183133 B1 EP1183133 B1 EP 1183133B1
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- B24C1/00—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
- B24C1/08—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for polishing surfaces, e.g. smoothing a surface by making use of liquid-borne abrasives
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- B24C1/003—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods using material which dissolves or changes phase after the treatment, e.g. ice, CO2
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- B24C5/00—Devices or accessories for generating abrasive blasts
- B24C5/02—Blast guns, e.g. for generating high velocity abrasive fluid jets for cutting materials
- B24C5/04—Nozzles therefor
Definitions
- the present invention relates to a jet tool and to a device for the treatment, in particular for the cleaning of surfaces by means of a CO 2 snow jet.
- Such blasting tools and devices are used in the optical industry, medical technology, the pharmaceutical industry, painting technology, micro-and precision engineering for the treatment of surfaces, including the treatment of soft surface coatings, gels and the like.
- the basis of this treatment or cleaning process is the cleaning by means of CO 2 -iscrystals.
- the method is also used for the dry local cleaning of particulate and cinematic impurity of structured and composed of elements of different materials surfaces to the submicron range.
- a jet tool according to the preamble of Claim 1 is at US-A-5,681,206 known.
- the progressive miniaturization with simultaneous hybridization of assemblies requires a cleaning process that allows local cleaning of functional surfaces without contaminating adjacent areas by cross-contamination.
- the use of conventional cleaning methods, such as ultrasound or the use of aggressive chemicals is due to material incompatibilities only rarely possible. Blasting with CO 2 particles is an interesting alternative here.
- CO 2 ice cleaning is a dry, deep-cold, residue-free blasting process with a wide range of applications.
- dry ice blasting can be divided into two different processes - cleaning with airborne dry ice pellets and cleaning with CO 2 snow.
- the cleaning effect is fundamentally based on three mechanisms.
- the contamination or the coating on the surface is strongly supercooled, as a result of which they shrink and become brittle. Due to the different thermal expansion of the base material and contamination or coating stresses arise so that the connection between the pollution and the base material is loosened or dissolved.
- the embrittled impurity is further released and mechanically removed by the impulse transmitted by the CO 2 pellets.
- the material removed by the dry ice pellets is held in suspension by the sublimated CO 2 and possibly further supporting gas and transported away from the cleaning zone.
- the blasting process using dry ice pellets is for example in “edged or round, metal salts and carbon dioxide pellets are exotic agents in blasting technology "by Reinhold Shufer in Maschinenre Würzburg 98 (1992).
- a disadvantage of the blasting technique using dry ice pellets is that the cooling during and after the cleaning carried out a recontamination of the surface by deposition previously contained in the air and remaining during the drying of the CO 2 ice film remaining substances.
- the ambient moisture precipitates on the cooled surface following the radiation, so that the object to be cleaned becomes moist.
- dry ice crystals can also be used as blasting agents.
- a jet of CO 2 snow is generated, which is blasted at high speed onto the surface to be cleaned.
- a disadvantage of the blasting method using CO 2 -snow crystals is that they have a much lower pulse than the dry ice pellets with a diameter of several millimeters, so that the cleaning effect compared to dry ice pellets is considerably lower.
- Object of the present invention is a Blasting tool and a jet device containing this to provide with the surfaces easy and reliable without recondensation treated by water or cross-contamination, in particular can be radiated.
- the suction device according to the invention is advantageously the radiated, sublimated CO 2 and the high-volume support or pressure jet, which flows without further deflection from the sample table, collected and then sucked from there, whereby a cross-contamination of other surface areas is reliably minimized.
- the suction device according to the invention also does not generate any whirl or the like outside of the suction device itself, so that the laminar flow of the inflowing air is not disturbed and its purity is reliably maintained.
- the Trokkeneisstrahlvon invention a variety of materials can be cleaned, provided that they withstand the short-term temperature shock.
- the cleaning of blind undercuts is not possible or only very limited. The same applies to depressions with a relatively large aspect ratio, which fill relatively quickly with sublimed CO 2 and thus impede or even prevent the further penetration of the ice crystals.
- Fig. 1 shows schematically the inventive method.
- a surface of an object for example a sample table, is irradiated with CO 2 ice crystals (CO 2 snow) 3 from a spray nozzle 2.
- the CO 2 snow thereby forms a CO 2 beam 5, which emits an impurity 4 from the surface of the object 1.
- There are two mechanisms of action With a, a mechanism of action is described, in which a CO 2 crystal 3 impinges on the surface of the object 1 and thereby the impurity 4 is broken off. With b another mechanism is described, in which the CO 2 snow crystal impinges on the surface of the object 1 and sublimated there. In this sublimation, the contaminant 4 is released from the surface of the object 1 by the gas pressure and is carried along by the effluent CO 2 .
- Fig. 2 shows a device according to the invention for Treating, in particular for radiating Surfaces.
- This device has a cleaning chamber 36, in which a sample table 1 and a jet tool 2 for generating a CO 2 snow jet 5 are arranged and are surrounded by laminar flowing air.
- the extraction of the process gases is therefore outside the sample table 1 by means of the flow trap 21, which is arranged laterally to the sample table 1 in the plane of its surface and the sample table completely surrounding.
- This flow trap 21 catches the CO 2 flowing off as surface flow 35, which is generated by the CO 2 snow jet 5 on the surface of the sample table 1, laterally.
- the sample table 1 is movable in all three dimensions, heated by a heater 22 and is of below via a valve 24 and a vacuum connection 23 connected to a vacuum line.
- the sample table 1 consists of a metal perforated plate, so that to be radiated by means of this negative pressure objects fixed on the surface of the sample table 1 can be.
- a controller 25 for the Heating 22 of the sample table 1 provided to this to bring to a constant temperature.
- a laminar flow 6 is generated which flows along the walls 36 of the cleaning chamber and in the direction of the CO 2 snow jet 5.
- the jet tool 2 is supplied via a cooler 26, a filter 27 and a high-pressure valve 28 liquid CO 2 from a CO 2 tank 34.
- the jet device 2 is supplied via a valve with pressure reducer 32, a high pressure valve 30 and a further valve 31 gaseous N 2 from a N 2 tank 33.
- the two high pressure valves 28 and 30 are connected to a controller 29.
- This device generates a low-turbulence Pure air flow in the cleaning chamber 36, which is directed so that the jet tool 2 in front of the sample table 1 and the sample table 1 is flowed perpendicular bouncing.
- the suction device 21 In combination with the suction device 21 is therefore a by the injection effect of the cleaning jet taking place uncontrollable pollution from the air avoided. At the same time it is prevented that with the Time dirt nests in the area of the entire plant form.
- the jet tool 2 is composed essentially of two nozzles integrated into one another: Firstly, a capillary, through which the carbon dioxide liquefied under high pressure is passed, as the first nozzle. At the flared end of the capillary liquid carbon dioxide exits, with about 55% of the mass evaporated by expansion and about 45% solidifies by resublimation into small crystals, the CO 2 ice snow. The amount of effluent CO 2 can be adjusted by variation and the capillary diameter.
- the jet tool 2 has a second nozzle which concentrically surrounds the first nozzle and the capillary.
- This second nozzle is a Laval nozzle which discharges ultrapure, dry compressed gas (N 2 ) at room temperature.
- N 2 ultrapure, dry compressed gas
- This pressure or support beam can be started or terminated with a time delay to the CO 2 snow jet, so that when switching on the CO 2 snow jet after the start of the compressed gas jet, the ambient air is kept away from the cleaning point. Thus, the condensation of humidity at the cooled by the cleaning jet cleaning point is successfully prevented.
- the support beam can be switched off only after the CO 2 snow jet.
- the support jet of dry compressed gas continues to lead to ensure that the substrate surface after Cleaning quickly reheated at the cleaning point becomes.
- Fig. 3 shows a cross section through an inventive Blasting tool, which will now be described in more detail shall be.
- the jet tool is composed essentially of two nozzles integrated into one another: a capillary 42, through which the CO 2 liquefied under high pressure is passed and at whose conically widened end 49 the CO 2 expands. This produces a mixture of gas and dry ice snow. The proportion of snow is approximately 45% of the total mass flowing out.
- the amount of effluent CO 2 can be adjusted by varying the diameter of the capillary 42.
- the capillary 42 is concentric with a special Laval nozzle 51 enclosed from the over a line 56 supplied, dry compressed gas (Pure air or pure nitrogen) supersonic fast flows.
- This compressed gas jet bundles the steel from dry ice snow to a parallel jet and accelerated this.
- this Pressurized gas jet the ambient air from the cleaning point kept away and the substrate surface warmed up again quickly after cleaning. The condensation of humidity is thus successfully prevented.
- the Laval nozzle 51 is through the outer contour of a nozzle needle 45, which contains the capillary 42 and through the inner contour of a nozzle head 46 is formed.
- the Laval nozzle 51 can by changing the minimum Cross section by moving the nozzle needle 45th relative to the nozzle head 46 finely adjusted and optimal be set. The fixation then takes place Inserting suitable spacers between a arranged on the nozzle needle 45 flange 43rd and the nozzle head 46.
- Both the liquid CO 2 and the compressed gas is supplied via the nozzle needle 45.
- the compressed gas then flows to calm over four inlet side of the Laval nozzle 51 arranged star-shaped holes in the antechamber of the Laval nozzle 51. From the Laval nozzle, the pressurized gas flows with supersonic, twist-free and symmetrical.
- the CO 2 is supplied via the capillary 42, which is guided in the channel of the nozzle needle 45.
- a plug 48 at the lower end of the nozzle needle 45 centers the capillary 42 and at the same time seals the compressed gas channel downwards.
- At the upper end of the compressed gas channel is closed by the CO 2 line 40 and the screw 41.
- the two nozzles, the Laval nozzle 41 and formed at the end of the capillary 42 snow nozzle 49 are arranged so that the supporting gas until the finished dry ice snow beam is mixed. Otherwise, the function of the jet tool would not be guaranteed.
- a metal ring 50 with three ionization tips is isolated by an insulator 47, which is connected via a high voltage cable 53 to a rotatable ionizer. Via the ionization peaks of the metal ring 50, the strongly negative charge of the CO 2 jet during crystallization of the CO 2 at the outlet of the capillary 42 is compensated by continuous deionization.
- the capillary 42 is grounded by means of a ground cable, so that the charge separation in the peripheral layer of flowing through the capillary liquid CO 2 is raised in mind.
- FIG. 4 shows a cross section through the plane of the sample table 1.
- the sample table 1 is completely surrounded by a suction tube 65 of the suction device 21 in the plane of the sample table 1.
- the gas jet 5, which is usually aligned perpendicularly to the sample carrier, is deflected by 90 ° on the mostly flat cleaning objects or on the sample table itself and flows radially from the point of impact on the surface of the object or the sample table as a laminar flow 35.
- the extraction of the process gases takes place in the suction device 21 according to the invention therefore only outside the sample table.
- the suction tube 65 has a kidney-shaped cross section with indentations in the plane of the sample table 1.
- this indentation is opened as a gas inlet opening.
- the effluent from the sample table 1 gas 35 thus hits the inner wall of the suction ring 65 and is, supported by the center bend 66 due to the kidney-shaped constriction in the plane of the sample table 1, up or down deflected.
- the process gas 35 compressed gas, CO 2 gas, abraded particles 4
- the process gas 35 flowing off the sample table 1 at high speed is transferred into a swirl flow 63 flowing to the corners of the suction ring 65.
- fans 61 In the corners of the suction ring 65 are fans 61, which communicate with the suction ring 65 via suction openings 64. These fans generate a suction volume flow through a suction channel 60 which assists in the flow of this jet flow and prevents backflow to the sample carrier.
- the openings 64 between the suction ring 65 and the Suction channel 60 are located above and below of the center crease 66 so that the vertebrae formed 63 are sucked off.
- the suction volume of the fans 61 is continuously adapted via a speed control the sum of laminar supply air gas stream 6 (see FIG. 2) and cleaning gas stream 5.
- the supply air flow is determined by the free cross-sectional area of the suction ring 65 and the supply air velocity (velocity of the high purity gas stream 6).
- the calculation of the cleaning gas stream 5 is essentially based on the diameter of the capillary 42 of the CO 2 supply, the geometry of the Laval nozzle 51 and the form of the pressure / supporting gas in a conventional manner.
- the extracted gas is then removed by the fans 61 blown to a process exhaust system 62, where the extracted air cleaned, treated and / or can be recycled.
- microsystem or precision engineering successful cleaned include, for example, contact surfaces of micro switches, nozzle elements of printing technology, on a ceramic carrier built microchips and stampings for the construction of switching elements. Both particulate deposits and biotic and / or abiotic coating such as Fingerprints or thin layers of paint away.
- the CO 2 supply is designed so that short CO 2 beam bursts can be generated. These are much more effective compared to a continuous CO 2 jet, since higher thermal stresses are generated here compared to the longer exposure time of the dry ice jet.
- Fig. 6 shows an example of a cleaning with the Device according to the invention. Above are encrusted Nozzles of an ink jet printhead are shown, the were purified according to the invention. In the lower part of the Illustration is a microchip on a ceramic carrier shown, its scaling on the right side you can see. On the left side in this picture is the to recognize the cleaned area.
- Fig. 7 shows a paint layer, with the inventive Device was treated.
- the representation in Fig. 7 is enlarged 50 times. How to recognize is, the lacquer layer is partially with the inventive Procedure has been removed. Clear is cracking and blasting from the base material to recognize.
Description
Claims (45)
- Strahlwerkzeug (2) zur Erzeugung eines Strahles aus CO2-Schnee mit einem CO2-Behälter (34) und einer Druckgaszufuhr (33) sowie einer ersten Düse (49) zur Erzeugung eines CO2-Schnee-Strahles und einer zweiten Düse (51) zur Erzeugung eines Stütz- bzw. Druckstrahles, wobei die zweite Düse (51) eine Düse zur Erzeugung eines Überschall-Strahles ist,
dadurch gekennzeichnet, daß
die erste Düse (49) mit dem CO2-Behälter (34) und die zweite Düse (51) mit der Druckgaszufuhr verbunden ist sowie daß
die zweite Düse (51) die erste Düse (49) umgibt. - Strahlwerkzeug (2) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Düse eine Laval-Düse (51) ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Düse (51) so ausgebildet ist, daß sie den Strahl der ersten Düse bündelt, vorzugsweise parallel bündelt, und/oder beschleunigt.
- Strahlwerkzeug (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Düse (49) mit einer Kapillare (42) als Zuleitung verbunden ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapillare (42) elektrisch geerdet ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Düse (49) als konische Erweiterung der Kapillare (42) ausgebildet ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Düse (51) die erste Düse (49) konzentrisch umschließt.
- Strahlwerkzeug (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Strahlwerkzeug (2) eine Düsennadel (45) und einen diese umgebenden Düsenkopf (46) aufweist, wobei die erste Düse (49) in der Düsennadel (45) angeordnet ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Düse (51) als Zwischenraum zwischen Düsennadel (45) und Düsenkopf (46) ausgebildet ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontur der zweiten Düse (51) durch die Außenkontur der Düsennadel (45) und/oder durch die Innenkontur des Düsenkopfes (46) ausgebildet ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsennadel (45) längs des Düsenkopfes (46) verschiebbar ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß am unteren Ende der Düsennadel (45) eine Vorrichtung zur Lagerung und Zentrierung der Düsennadel (45) in dem Düsenkopf (46) angeordnet ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Düse (51) an ihrem Einlaß mehrere sternförmige Bohrungen zur Gaszufuhr aufweist.
- Strahlwerkzeug (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in Strahlrichtung hinter der ersten Düse (49) eine Vorrichtung (50) zur Deionisation des Co2-Schnee-Strahles angeordnet ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (50) zur Deionisation einen zur ersten Düse (49) konzentrischen Metallring aufweist.
- Strahlwerkzeug (2) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Metallring mindestens eine in den Strahlbereich ragende Ionisationsspitze aufweist.
- Strahlwerkzeug (2) nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (50) zur Deionisation über ein Hochspannungskabel (53) mit einem Ionisator verbunden ist.
- Strahlwerkzeug (2) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Ionisator regelbar ist.
- Vorrichtung zur Behandlung, beispielsweise zur Abreinigung, der Oberfläche eines Objektes (1), beispielsweise eines Werkstückes oder eines Probentisches, durch Anstrahlen der Oberfläche mit CO2-Schnee
gekennzeichnet durch
ein Strahlwerkzeug (2) zum Erzeugen eines Strahles aus CO2-Schnee nach einem der vorhergehenden Ansprüche. - Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß das Strahlwerkzeug (2) und das Objekt (1) in einer Reinigungskammer (36) angeordnet sind.
- Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungskammer (36) von Reinstluft (6) durchströmt ist.
- Vorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungskammer (36) von der Reinstluft (6) turbulenzarm, quasilaminar durchströmt ist.
- Vorrichtung nach einem der vorhergehenden drei Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungskammer (36) einen Probentisch (1) zur Montage eines zu behandelnden oder abzureinigenden Werkstückes aufweist.
- Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Probentisch (1) beheizbar ist.
- Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Probentisch (1) elektrisch beheizbar ist.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß der Probentisch (1) eine flache Metallplatte zur Befestigung des zu behandelnden oder abzureinigenden Werkstücks aufweist.
- Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallplatte mehrere Bohrungen aufweist und eine Vakuumpumpe (23) zum Anlegen eines Vakuums an die Bohrungen vorgesehen ist.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß das Objekt derart in der Reinigungskammer (36) angeordnet ist, daß seine Oberfläche von der Reinstluft (6) senkrecht prallend angeströmt ist.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 28, gekennzeichnet durch eine, gegebenenfalls in der Reinigungskammer (36) angeordnete Absaugvorrichtung (21) zum Absaugen von Luft von der Oberfläche des Objektes (1), mit einem Absaugrohr (65), das das Objekt (1) in der Ebene der Oberfläche vollständig umgibt und längs seines Innenumfangs Gasdurchtrittsöffnungen aufweist.
- Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Querschnitt des Absaugrohres (65) derart ausgebildet ist, daß die abgesaugte Luft innerhalb des Rohres (65) längs seines Querschnitts Wirbel (63) bildet.
- Vorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) einen nierenförmigen Querschnitt mit einer Einbuchtung längs seines Außenumfangs aufweist.
- Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) längs der Einbuchtung längs seines Innenumfangs als Gasdurchtrittsöffnung geöffnet ist.
- Vorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die längs des Außenumfangs des Absaugrohres (65) vorhandene Einbuchtung einen als spitz zusammenlaufende, nach innen weisende Kante ausgebildeten Mittenknick (66) aufweist.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 29 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) mit mindestens einem Ventilator (61) zur Absaugung der Luft aus dem Absaugrohr (65) verbunden ist.
- Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Ventilator (61) in seiner Drehzahl regelbar ist.
- Vorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Ventilator (61) über Öffnungen (64) mit dem Absaugrohr (65) verbunden ist, die an der Ober- und/oder Unterseite des Absaugrohres (65) angeordnet sind.
- Vorrichtung nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Ventilator (61) über Öffnungen (64) mit dem Absaugrohr (65) verbunden ist, die seitlich des Mittenknicks (66) angeordnet sind.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 29 bis 37, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) ringförmig ausgebildet ist.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 29 bis 37, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) als Vieleck ausgebildet ist.
- Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) zwischen je zwei benachbarten Ecken bogenförmig in Richtung des Objektes (1) gekrümmt ist.
- Vorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in jeder Ecke des Vielecks ein, vorzugsweise regelbarer, Ventilator (61) gemäß einem der Ansprüche 34 bis 37 angeordnet ist.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 29 bis 41, dadurch gekennzeichnet, daß eine Aufbereitungsanlage für abgesaugte Luft und darin gegebenenfalls enthaltene Partikel vorgesehen ist.
- Verwendung eines Strahlwerkzeugs (2) und/oder einer Vorrichtung zur Behandlung, insbesondere Abreinigung, von Oberflächen nach einem der vorhergehenden Ansprüche zum Reinigen von Oberflächen und/oder der Entfernung von Beschichtungen im Bereich der optischen Industrie, der Medizintechnik, der pharmazeutischen Industrie, der Lackiertechnik, der Mikrotechnik und/oder der Feinwerktechnik und anderen.
- Verwendung nach dem vorhergehenden Anspruch zur Behandlung weicher Oberflächen, zur Entfernung partikulärer, biotischer und/oder abiotischer Beschichtungen und/oder Ablagerungen und/oder zur Entfernung von Lackschichten.
- Verwendung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche zur Behandlung von Oberflächen im sub-µm-Bereich.
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