EP1031533B1 - Système de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur - Google Patents

Système de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur Download PDF

Info

Publication number
EP1031533B1
EP1031533B1 EP19990403239 EP99403239A EP1031533B1 EP 1031533 B1 EP1031533 B1 EP 1031533B1 EP 19990403239 EP19990403239 EP 19990403239 EP 99403239 A EP99403239 A EP 99403239A EP 1031533 B1 EP1031533 B1 EP 1031533B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
liquid
pressure
delivery system
delivery
distribution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP19990403239
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP1031533A1 (fr
Inventor
Georges Guarneri
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Air Liquide Electronics Systems SA
Original Assignee
Air Liquide Electronics Systems SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Air Liquide Electronics Systems SA filed Critical Air Liquide Electronics Systems SA
Publication of EP1031533A1 publication Critical patent/EP1031533A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP1031533B1 publication Critical patent/EP1031533B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E03—WATER SUPPLY; SEWERAGE
    • E03C—DOMESTIC PLUMBING INSTALLATIONS FOR FRESH WATER OR WASTE WATER; SINKS
    • E03C1/00—Domestic plumbing installations for fresh water or waste water; Sinks
    • E03C1/12—Plumbing installations for waste water; Basins or fountains connected thereto; Sinks
    • E03C1/26—Object-catching inserts or similar devices for waste pipes or outlets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0238—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers
    • B67D7/0266—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers by gas acting directly on the liquid
    • B67D7/0272—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers by gas acting directly on the liquid specially adapted for transferring liquids of high purity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0277—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure
    • B67D7/0283—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure specially adapted for transferring liquids of high purity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/06—Details or accessories
    • B67D7/78—Arrangements of storage tanks, reservoirs or pipe-lines
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E03—WATER SUPPLY; SEWERAGE
    • E03C—DOMESTIC PLUMBING INSTALLATIONS FOR FRESH WATER OR WASTE WATER; SINKS
    • E03C1/00—Domestic plumbing installations for fresh water or waste water; Sinks
    • E03C1/12—Plumbing installations for waste water; Basins or fountains connected thereto; Sinks
    • E03C1/14—Wash-basins connected to the waste-pipe
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/0318—Processes
    • Y10T137/0396—Involving pressure control
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/2931—Diverse fluid containing pressure systems
    • Y10T137/3115—Gas pressure storage over or displacement of liquid
    • Y10T137/3124—Plural units
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/2931—Diverse fluid containing pressure systems
    • Y10T137/3115—Gas pressure storage over or displacement of liquid
    • Y10T137/3127—With gas maintenance or application

Definitions

  • the present invention relates to a system for liquid distribution. It applies in particular to the distribution of ultra-pure chemicals, in particular for the microelectronics industry.
  • the pumped distribution generates bound particles to variations in pump pressure, and the pumps pose reliability issues.
  • tanks are at least 200 l. This leads to dimensions large cabinets, and the tanks must be able withstand the distribution pressure, of the order of 4 bars, or the vacuum.
  • the materials used include an inner shell in polyethylene (PE) plastic, perfluoroalkoxy (PFA) or polyvinylidene fluororide (PVDF), and an external reinforcement in fiberglass or stainless steel.
  • PE polyethylene
  • PFA perfluoroalkoxy
  • PVDF polyvinylidene fluororide
  • This design of the tanks can cause ionic contamination if the manufacturing is not perfectly under control, and security issues related to pressurization or vacuum for large volumes tanks.
  • the object of the invention is to provide a system for space-saving distribution, relatively easy to manufacture, minimizing the risk of contamination of the liquid and optimizing safety.
  • the invention also relates to the use of such a distribution system for the distribution of a ultra-pure liquid, in particular hydrogen peroxide, ammonia or hydrofluoric acid.
  • the distribution system shown in Figure 1 is intended to supply an ultra-pure liquid to a network user 100.
  • the system consists of an upstream part supply 1 and a downstream distribution part 2.
  • a sampling can 10 used to carry out analyzes of the conveyed liquid.
  • Line 14 is equipped with two filters 15A, 15B mounted in parallel, then a sampling container and 16, and it ends up at the user network 100.
  • Line 17 stuck on line 14 downstream filters 15A, 15B allows the recycling of liquid to the inlet of the tank 11, and another pipe 18 makes it possible to recycle excess liquid from user network 100 to the same location.
  • the installation also includes a number of known measurement and control devices per se and which have not been 'represented for the sake of clarity drawing.
  • the barrels 3A and 3B can have a volume of 100 to 20,000 liters, the tank 11, made of PE, PFA or PVDF slightly reinforced with fibers, a volume of 200 l to 5 m 3 , and the containers 12A and 12B have a much lower volume than the previous one, typically from 1 to 50 liters.
  • the filter 7 is a microfiltration member with membrane up to 0.2 ⁇ m
  • filter 8 provides filtration up to 0.1 ⁇ m
  • filters 15A and 15B filtration up to 0.05 ⁇ m.
  • each container 12A, 12B consists of a section of tube 23 made of PE, PFA or PVDF unreinforced, the thickness of which is adapted to withstand distribution pressure.
  • This tube is arranged vertically, its upper end is closed by a plug 24 connected to the associated nitrogen source 21A or 21B, and its lower end is closed by a second plug 25 to which is connected a connecting tee 26.
  • the two horizontal branches of this tee are connected respectively, upstream to a pipe 27 itself connected to the tube plunger 13, and downstream to a pipe 28 itself connected to line 14.
  • the size of the distribution part 2 is particularly reduced.
  • the gaseous sky of barrels 3A and 3B is maintained at slight overpressure, at a pressure less than 100 mbar by the device 4.
  • the pumped liquid by the pump 5 passes through the filters 7 and 8, and part of the liquid is eventually recycled via line 9.
  • the non-recycled liquid reaches the storage tank 11, via a second dip tube 29 which supplies it at source.
  • the gaseous sky of this tank is constantly maintained at a predetermined pressure P2, less than 500 mbar by source 20.
  • One of the two containers 12A, 12B is maintained at a positive pressure P4 or zero but less than pressure P2, by its source nitrogen 21B, and its outlet valve is closed while its inlet valve is open.
  • the other container 12A has its valve inlet valve closed, its outlet valve open, and it is maintained at a pressure P3 greater than P2 and equal to the distribution pressure by its nitrogen source 21A.
  • the container 12B is filled while the container 12A is used for distribution.
  • the pressures of the two containers are reversed, as well as the state of their inlet valves and outlet, so that container 12A fills while that the container 12B empties into the line of distribution 14.
  • the liquid thus distributed continuously undergoes the last filtration step in 15A and / or 15B, then is sent via line 14 to user network 100.
  • Ultrapure liquid can optionally be recycled in the tank 11, from the line 14 via the branch 17 and / or from network 100 via line 18.
  • a third dispensing container similar to containers 12A, 12B and mounted in parallel with them, as a container for help.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
  • Pipeline Systems (AREA)
  • Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)

Description

La présente invention est relative à un système de distribution de liquide. Elle s'applique en particulier à la distribution de produits chimiques ultra-purs, notamment destinés à l'industrie micro-électronique.
Les pressions dont il est question ici sont des pressions relatives.
L'évolution rapide de la micro-électronique vers une miniaturisation toujours plus poussée a des conséquences quant à la pureté des produits chimiques utilisés dans diverses phases de la fabrication des circuits intégrés. Il devient maintenant courant pour des produits chimiques comme le peroxyde d'hydrogène, l'ammoniaque, l'acide fluorhydrique de spécifier des teneurs en cations inférieures au ppb (partie par milliard), et des teneurs en particules inférieures à 500 particules de 0,2 micromètres par litre.
Ces produits chimiques liquides dits ultra-purs, utilisés par exemple dans les procédés de nettoyage, sont distribués au-delà d'une certaine consommation par des systèmes de distribution centralisés. Ces systèmes comprennent les fonctions suivantes :
  • soutirage du produit à partir d'une source de produit fournisseur, ou réservoir d'alimentation, vers une cuve de stockage, à travers des étages de filtration pour améliorer les spécifications particulaires du produit, avec recirculation éventuelle à travers des étages de filtration pour améliorer les spécifications particulaires du produit tout en maintenant la qualité ionique,;
  • distribution du produit à partir de la cuve de stockage vers un réseau utilisateur via un étage de filtration pour améliorer les specifications particulaires du produit.
Différents moyens sont connus pour véhiculer le produit à partir de la cuve de stockage. Ces moyens utilisent soit des pompes, soit la pression, soit le vide, ou encore des combinaisons de ces moyens (voir par exemple les brevets US-A-5 330 072, US-A- 5 417 346 et US-A- 5 772 447).
Ces moyens présentent certains inconvénients :
La distribution pompée génère des particules liées aux variations de pression des pompes, et les pompes posent des problèmes de fiabilité.
La distribution par pression et vide pose des problèmes de fiabilité liés à la non-compatibilité des vannes à membranes dans le système avec le vide, alors que ces vannes à membranes sont les seules compatibles avec les niveaux de pureté exigés.
Les systèmes de distribution classiques à pression utilisent au moins deux cuves de stockage d'un volume unitaire important, correspondant typiquement à la consommation journalière des équipements. Typiquement, les cuves sont au minimum de 200 l. Ceci entraíne des dimensions d'armoire importantes, et les cuves doivent pouvoir supporter la pression de distribution, de l'ordre de 4 bars, ou le vide. Pour cela, dans le cas des produits corrosifs, les matériaux utilisés comprennent une coquille intérieure en matière plastique du type polyéthylène (PE), perfluoroalkoxy (PFA) ou fluororure de polyvinylidène (PVDF), et un renforcement extérieur en fibre de verre ou en acier inoxydable. Cette conception des cuves peut entraíner des contaminations ioniques si les fabrications ne sont pas parfaitement maítrisées, et des problèmes de sécurité liés à la pressurisation ou au vide pour les cuves de gros volumes.
L'invention a pour but de fournir un système de distribution d'encombrement réduit, relativement facile à fabriquer, minimisant les risques de contamination du liquide et optimisant la sécurité.
A cet effet, l'invention a pour objet un système de distribution de liquide qui comprend :
  • - un réservoir d'alimentation contenant un liquide à distribuer, muni de moyens de maintien d'un ciel gazeux sous une surpression inférieure à une première pression prédéterminée P1;
  • une cuve intermédiaire de stockage munie de moyens de maintien d'un ciel gazeux sous une pression intermédiaire prédéterminée P2 > P1;
  • des moyens de transfert du liquide du réservoir d'alimentation à la cuve intermédiaire;
  • au moins deux récipients de distribution ayant un volume très inférieur à celui de la cuve intermédiaire, reliés, en parallèle, en amont à une sortie de liquide de cette dernière et en aval à une conduite de distribution du liquide à un réseau utilisateur; et
  • des moyens de commande pour appliquer individuellement à chaque récipient soit une pression de distribution P3 > P2, soit une pression de remplissage P4 < P2.
Le système de distribution suivant l'invention peut comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prises isolément ou suivant toutes leurs combinaisons techniquement possibles :
  • le système comprend trois récipients de distribution montés en parallèle;
  • les moyens de transfert et/ou la conduite de distribution sont équipés de moyens de filtration du liquide;
  • lesdits moyens de maintien et lesdits moyens de commande comprennent des sources de gaz d'inertage, notamment d'azote, équipées de moyens de régulation de pression;
  • le système de distribution comprend une conduite de recyclage de liquide de la conduite de distribution à l'entrée de la cuve de stockage;
  • le système de distribution comprend une conduite de recyclage de liquide du réseau utilisateur à l'entrée de la cuve de stockage;
  • chaque récipient de distribution est constitué par un tronçon de tube vertical obturé à son extrémité inférieure par un té d'alimentation et d'évacuation et à son extrémité supérieure par un bouchon équipé d'une entrée de gaz de pressurisation;
  • la pression P1 est égale à 100 mbars environ et/ou la pression P2 est comprise entre 100 et 500 mbars environ et/ou la pression P3 est comprise entre 500 mbars et 6 bars environ; et
  • les volumes de la cuve de stockage et de chaque récipient de distribution sont respectivement compris entre 200 1 et 5 m3 et entre 1 et 50 1.
L'invention a également pour objet l'utilisation d'un tel système de distribution pour la distribution d'un liquide ultra-pur, notamment de peroxyde d'hydrogène, d'ammoniaque ou d'acide fluorhydrique.
Un exemple de réalisation va maintenant être décrit en regard des dessins annexés, sur lesquels :
  • la Figure 1 représente schématiquement un système de distribution de liquide ultra-pur conforme à l'invention; et
  • la Figure 2 représente un mode de réalisation avantageux d'une partie du système de la Figure 1.
Le système de distribution représenté sur la Figure 1 est destiné à fournir un liquide ultra-pur à un réseau utilisateur 100. Le système est constitué d'une partie amont d'alimentation 1 et d'une partie aval de distribution 2.
La partie amont comprend, d'amont en aval :
  • deux réservoirs ou fûts d'alimentation 3A, 3B, disposés en parallèle et utilisés successivement. Chacun de ces fûts contient le liquide à distribuer, mais n'ayant pas la très basse teneur en particules désirée;
  • un dispositif 4 de maintien dans les deux fûts d'une légère surpression gazeuse inférieure à une pression P1 prédéterminée. La pression P1 est typiquement comprise entre 50 et 100 mbar. Le dispositif 4 comprend une alimentation en azote 104, un évent 105 et un régulateur 106 adapté pour relier le ciel gazeux des fûts 3A et 3B soit à la source 104, soit à l'évent 105. Des dispositifs de ce type sont disponibles dans le commerce;
  • une pompe de circulation 5;
  • un pot dégazeur 6 adapté pour protéger contre l'assèchement les filtres disposés en aval;
  • un premier filtre 7;
  • un deuxième filtre 8;
  • entre les deux filtres 7 et 8, une conduite de piquage 9, équipée d'une vanne, pour le recyclage de liquide dans les fûts 3A et 3B.
On a également représenté, an aval du filtre 8, un bidon de prélèvement 10 servant à effectuer des analyses du liquide véhiculé.
La partie de distribution 2 est constituée, d'amont en aval :
  • d'une cuve de stockage 11;
  • de deux récipients de distribution 12A, 12B montés en parallèle. Ces récipients sont reliés, en amont, à un tube plongeur 13 de sortie de liquide de la cuve 11 et, en aval, à une conduite 14 de distribution du liquide.
La conduite 14 est équipée de deux filtres 15A, 15B montés en parallèle, puis d'un bidon de prélèvement et d'analyse 16, et elle aboutit au réseau utilisateur 100.
Une conduite 17 piquée sur la conduite 14 en aval des filtres 15A, 15B permet de recycler du liquide à l'entrée de la cuve 11, et une autre conduite 18 permet de recycler du liquide en excès du réseau utilisateur 100 vers le même emplacement.
On a également représenté sur la Figure 1 divers accessoires :
  • plusieurs sources 19 d'eau déionisée, servant au rinçage du système;
  • une source 20 d'alimentation régulée en azote du ciel gazeux de la cuve 11, et des sources 21A et 21B d'alimentation régulée en azote des récipients 12A et 12B respectivement;
  • un compteur de particules 22 branché sur la conduite 14 en aval du piquage 17; et
  • un certain nombre de vannes, qui permettent de mettre en oeuvre le fonctionnement qui sera décrit ci-dessous.
Bien entendu, l'installation comporte par ailleurs un certain nombre d'organes de mesure et de commande, connus en soi et qui n'ont pas été' représentés pour la clarté du dessin.
A titre d'exemple, les fûts 3A et 3B peuvent avoir un volume de 100 à 20 000 litres, la cuve 11, réalisée en PE, PFA ou PVDF légèrement renforcée de fibres, un volume de 200 l à 5 m3, et les récipients 12A et 12B un volume très inférieur eu précédent, typiquement de 1 à 50 litres.
Le filtre 7 est un organe de microfiltration à membrane jusqu'à 0,2 µm, le filtre 8 assure une filtration jusqu'à 0,1 µm, et les filtres 15A et 15B une filtration jusqu'à 0,05 µm.
Dans un mode de réalisation particulièrement avantageux représenté à la Figure 2, chaque récipient 12A, 12B est constitué d'un tronçon de tube 23 en PE, PFA ou PVDF non renforcé, dont l'épaisseur est adaptée pour résister à la pression de distribution. Ce tube est disposé verticalement, son extrémité supérieure est obturée par un bouchon 24 relié à la source d'azote associée 21A ou 21B, et son extrémité inférieure est obturée par un second bouchon 25 auquel est raccordé un té de raccordement 26. Les deux branches horizontales de ce té sont reliées respectivement, vers l'amont à une conduite 27 elle-même reliée au tube plongeur 13, et vers l'aval à une conduite 28 elle-même reliée à la conduite 14.
Un tel mode de réalisation est peu coûteux et très fiable, et il en est de même de la cuve 11, qui ne doit supporter que la pression P2, inférieure à 500 mbar.
De plus, l'encombrement de la partie de distribution 2 est particulièrement réduit.
En fonctionnement, le ciel gazeux des fûts 3A et 3B est maintenu en légère surpression, à une pression inférieure à 100 mbar, par le dispositif 4. Le liquide pompé par la pompe 5 traverse les filtres 7 et 8, et une partie du liquide est éventuellement recyclé via la conduite 9. Le liquide non recyclé parvient dans la cuve de stockage 11, via un second tube plongeur 29 qui l'alimente en source.
Le ciel gazeux de cette cuve est constamment maintenu à une pression P2 prédéterminée, inférieure à 500 mbar, par la source 20.
L'un des deux récipients 12A, 12B, par exemple le récipient 12B, est maintenu à une pression P4 positive ou nulle mais inférieure à la pression P2, par sa source d'azote 21B, et sa vanne de sortie est fermée tandis que sa vanne d'entrée est ouverte. L'autre récipient 12A a sa vanne d'entrée fermée, sa vanne de sortie ouverte, et il est maintenu à une pression P3 supérieure à P2 et égale à la pression de distribution par sa source d'azote 21A.
Ainsi, le récipient 12B se remplit pendant que le récipient 12A est utilisé pour la distribution. Lorsque le niveau du liquide dans le récipient 12A est descendu jusqu'à un seuil prédéterminé, les pressions des deux récipients sont inversées, ainsi que l'état de leurs vannes d'entrée et de sortie, de sorte que le récipient 12A se remplit tandis que le récipient 12B se vide dans la conduite de distribution 14.
Le liquide ainsi distribué en continu subit la dernière étape de filtration en 15A et/ou 15B, puis est envoyé par la conduite 14 au réseau utilisateur 100.
Du liquide ultra-pur peut éventuellement être recyclé dans la cuve 11, à partir de la conduite 14 via le piquage 17 et/ou à partir du réseau 100 via la conduite 18.
En variante, il peut être prévu un troisième récipient de distribution, analogue aux récipients 12A, 12B et monté en parallèle avec eux, à titre de récipient de secours.

Claims (10)

  1. Système de distribution de liquide, caractérisé en ce qu'il comprend :
    un réservoir d'alimentation (3A, 3B) contenant un liquide à distribuer, muni de moyens (4) de maintien d'un ciel gazeux sous une surpression inférieure à une première pression prédéterminée P1;
    une cuve intermédiaire de stockage (11) munie de moyens (20) de maintien d'un ciel gazeux sous une pression intermédiaire prédéterminée P2 > P1;
    des moyens (5 à 8) de transfert du liquide du réservoir d'alimentation à la cuve intermédiaire;
    au moins deux récipients de distribution (12A, 12B) ayant un volume très inférieur à celui de la cuve intermédiaire, reliés, en parallèle, en amont à une sortie de liquide (13) de cette dernière et en aval à une conduite (14) de distribution du liquide à un réseau utilisateur (100); et
    des moyens de commande (21A, 21B) pour appliquer individuellement à chaque récipient de distribution soit une pression de distribution P3 > P2, soit une pression de remplissage P4 < P2.
  2. Système de distribution de fluide suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend trois récipients de distribution montés en parallèle.
  3. Système de distribution de fluide suivant la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les moyens de transfert et/ou la conduite de distribution sont équipés de moyens de filtration du liquide (7, 8, 15A, 15B).
  4. Système de distribution de fluide suivant l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que lesdits moyens de maintien (4, 20) et lesdits moyens de commande (21A, 21B) comprennent des sources de gaz d'inertage, notamment d'azote, équipées de moyens de régulation de pression.
  5. Système de distribution de fluide suivant l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comprend une conduite (17) de recyclage de liquide de la conduite de distribution (14) à l'entrée de la cuve de stockage (11).
  6. Système de distribution de fluide suivant l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comprend une conduite (18) de recyclage de liquide du réseau utilisateur (100) à l'entrée de la cuve de stockage (11).
  7. Système de distribution de fluide suivant l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que chaque récipient de distribution (12A, 12B) est constitué par un tronçon de tube vertical (23) obturé à son extrémité inférieure par un té d'alimentation et d'évacuation (26) et à son extrémité supérieure par un bouchon (24) équipé d'une entrée de gaz de pressurisation.
  8. Système de distribution de liquide suivant l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la pression P1 est égale à 100 mbar environ et/ou la pression P2 est comprise entre 100 et 500 mbar environ et/ou la pression P3 est comprise entre 500 mbar et 6 bar environ.
  9. Système de distribution de liquide suivant l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que les volumes de la cuve de stockage (11) et de chaque récipient de distribution (12A, 12B) sont respectivement compris entre 200 1 et 5 m3 et entre 1 et 50 1.
  10. Utilisation d'un système de distribution de liquide suivant l'une quelconque des revendications 1 à 9 pour la distribution d'un liquide ultra-pur, notamment de peroxyde d'hydrogène, d'ammoniaque ou d'acide fluorhydrique.
EP19990403239 1999-02-26 1999-12-21 Système de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur Expired - Lifetime EP1031533B1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9902467 1999-02-26
FR9902467A FR2790253B1 (fr) 1999-02-26 1999-02-26 Systeme de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1031533A1 EP1031533A1 (fr) 2000-08-30
EP1031533B1 true EP1031533B1 (fr) 2003-10-15

Family

ID=9542619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP19990403239 Expired - Lifetime EP1031533B1 (fr) 1999-02-26 1999-12-21 Système de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6267132B1 (fr)
EP (1) EP1031533B1 (fr)
JP (1) JP2000249299A (fr)
KR (1) KR100668392B1 (fr)
DE (1) DE69912089T2 (fr)
FR (1) FR2790253B1 (fr)
SG (1) SG76001A1 (fr)
TW (1) TW418299B (fr)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100668392B1 (ko) * 1999-02-26 2007-01-16 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드 액체 이송 시스템

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6299753B1 (en) * 1999-09-01 2001-10-09 Applied Materials, Inc. Double pressure vessel chemical dispenser unit
US6953047B2 (en) 2002-01-14 2005-10-11 Air Products And Chemicals, Inc. Cabinet for chemical delivery with solvent purging
US20030185690A1 (en) * 2002-03-28 2003-10-02 Mindi Xu Systems and methods for transferring and delivering a liquid chemical from a source to an end use station
US6648034B1 (en) * 2002-05-23 2003-11-18 Air Products And Chemicals, Inc. Purgeable manifold for low vapor pressure chemicals containers
US7172096B2 (en) * 2004-11-15 2007-02-06 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid dispensing system
FR2880011B1 (fr) * 2004-12-23 2007-03-30 Air Liquide Electronics Sys Systeme de distribution de liqudes chimiques
US8322571B2 (en) 2005-04-25 2012-12-04 Advanced Technology Materials, Inc. Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability
KR20080039373A (ko) * 2005-06-06 2008-05-07 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 유체 저장 및 분배 시스템과 프로세스
US20070215639A1 (en) * 2006-02-15 2007-09-20 Roberts Benjamin R Method and Apparatus for Dispensing Liquid with Precise Control
JP4697882B2 (ja) * 2006-05-19 2011-06-08 東京エレクトロン株式会社 処理液供給装置及び処理液供給方法並びに処理液供給用制御プログラム
US20090107562A1 (en) * 2007-10-29 2009-04-30 Ruibo Wang Pre-pressurized self-balanced negative-pressure-free water-supply apparatus
WO2009156304A1 (fr) * 2008-06-25 2009-12-30 Basf Se Procédé permettant d’éviter en toute fiabilité un refoulement lors du transport d’un liquide
KR101639465B1 (ko) 2009-07-09 2016-07-14 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 라이너 베이스의 저장 시스템, 라이너 및 반도체 공정에 고순도 재료를 공급하는 방법
KR101899747B1 (ko) 2010-01-06 2018-10-04 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 분배 장치 및 커넥터
WO2012071370A2 (fr) 2010-11-23 2012-05-31 Advanced Technology Materials, Inc. Distributeur à cuve intérieure
FR2969994B1 (fr) * 2011-01-05 2013-02-08 Hypred Dispositif de raccordement d'une cuve de stockage a une alimentation et procede de gestion d'un tel raccordement
BR112013022316A2 (pt) 2011-03-01 2017-05-30 Advanced Tech Materials sistema baseado em revestimento interno, e, método para prover um sistema baseado em revestimento interno
CN102563350B (zh) * 2012-03-07 2013-11-27 北京航空航天大学 大尺寸双热沉闭式液氮输送系统及其工作方法
US9605346B2 (en) * 2014-03-28 2017-03-28 Lam Research Corporation Systems and methods for pressure-based liquid flow control
CN104373817A (zh) * 2014-11-05 2015-02-25 东晶锐康晶体（成都）有限公司 一种ipa供应和回收装置
US10363543B2 (en) * 2016-04-19 2019-07-30 General Electric Company Gas driven fluid transport
JP7139467B2 (ja) * 2018-06-29 2022-09-20 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 液体リチウムの供給及び制御
CN114394570B (zh) * 2022-02-14 2023-05-26 连云港石化有限公司 一种不易挥发化工液体输送系统及自动控制方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5417346A (en) 1990-09-17 1995-05-23 Applied Chemical Solutions Process and apparatus for electronic control of the transfer and delivery of high purity chemicals
US5148945B1 (en) 1990-09-17 1996-07-02 Applied Chemical Solutions Apparatus and method for the transfer and delivery of high purity chemicals
US5556002A (en) * 1995-02-03 1996-09-17 Abc Techcorp Measured liquid dispensing system
JP3533512B2 (ja) * 1995-04-26 2004-05-31 株式会社荏原製作所 液化ガス供給システム
US5772447A (en) 1996-02-26 1998-06-30 Koontat Development Co. Ltd. Pivoting electrical plug
US5832948A (en) * 1996-12-20 1998-11-10 Chemand Corp. Liquid transfer system
JP3546121B2 (ja) * 1997-02-25 2004-07-21 三菱重工業株式会社 管路内流体圧制御装置
FR2790253B1 (fr) * 1999-02-26 2001-04-20 Air Liquide Electronics Sys Systeme de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100668392B1 (ko) * 1999-02-26 2007-01-16 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드 액체 이송 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
FR2790253A1 (fr) 2000-09-01
DE69912089T2 (de) 2004-07-22
TW418299B (en) 2001-01-11
SG76001A1 (en) 2000-10-24
DE69912089D1 (de) 2003-11-20
US6267132B1 (en) 2001-07-31
KR20000076712A (ko) 2000-12-26
JP2000249299A (ja) 2000-09-12
EP1031533A1 (fr) 2000-08-30
KR100668392B1 (ko) 2007-01-16
FR2790253B1 (fr) 2001-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1031533B1 (fr) Système de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d&#39;un liquide ultra-pur
US20180237285A1 (en) Liquid dispensing systems with gas removal and sensing capabilities
KR101357961B1 (ko) 가스 제거를 수행하는 액체 분배 시스템
CN104813095B (zh) 压力调节流体贮存和输送容器的抗尖峰压力管理
TWI621571B (zh) 用於塡充及分配液體之裝置與方法
US6171367B1 (en) Method and apparatus for delivering and recycling a bubble-free liquid chemical
JP3527470B2 (ja) 化学薬品配給システム、及び液体が入っている貯槽が空状態になったことを検出する方法
TWI635999B (zh) 高黏度液體含納材料的壓力分配裝置及方法
JPH06500621A (ja) 高純度化学薬品を移送及び送出するための改良された装置及び方法
WO2006009717A2 (fr) Contenant de fluide pliable
US7013916B1 (en) Sub-atmospheric gas delivery method and apparatus
CN101039851A (zh) 贮藏和分配来自位于桶内的囊中的酒
EP1180638A2 (fr) Méthode de distribution de gaz à pression sub-atmosphérique et appareil
US4646784A (en) Liquid chemical dispensing apparatus
JP2009177056A (ja) レジスト液回収方法
EP3116792B1 (fr) Procede et dispositif de conditionnement de boisson
KR100904052B1 (ko) 약액 공급 장치
US20030185690A1 (en) Systems and methods for transferring and delivering a liquid chemical from a source to an end use station
US6435227B1 (en) Tank filling apparatus and method
FR2723005A1 (fr) Dispositif de distribution de liquide par gravite et dispositif d&#39;enduction photographique
FR2878312A1 (fr) Procede de remplissage d&#39;un recipient de fluide sous pression a entree et sortie separees
TW509970B (en) Liquid transfer system
FR3036697A1 (fr) Appareil pour debiter une boisson hors d&#39;une bouteille a goulot de gros volume, utilisant un gaz sous pression
FR2849011A1 (fr) Procede de remplissage automatique de contenants pour liquides alimentaires et appareil mettant en oeuvre ce procede

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE GB IE IT

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

17P Request for examination filed

Effective date: 20010228

AKX Designation fees paid

Free format text: DE GB IE IT

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE GB IE IT

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20031015

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: FRENCH

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IE

Payment date: 20031120

Year of fee payment: 5

REF Corresponds to:

Ref document number: 69912089

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20031120

Kind code of ref document: P

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 20040117

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FD4D

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20040716

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20081128

Year of fee payment: 10

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20081128

Year of fee payment: 10

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20081120

Year of fee payment: 10

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20091221

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100701

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20091221

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20091221