JP2000249299A - 超純粋液体の配達用液体配達システムおよびその使用 - Google Patents

超純粋液体の配達用液体配達システムおよびその使用

Info

Publication number
JP2000249299A
JP2000249299A JP2000044335A JP2000044335A JP2000249299A JP 2000249299 A JP2000249299 A JP 2000249299A JP 2000044335 A JP2000044335 A JP 2000044335A JP 2000044335 A JP2000044335 A JP 2000044335A JP 2000249299 A JP2000249299 A JP 2000249299A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
delivery
delivery system
pressure
line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
JP2000044335A
Other languages
English (en)
Inventor
Georges Guarneri
ジョルジュ・ガーネリ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Original Assignee
Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Air Liquide SA, LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude filed Critical Air Liquide SA
Publication of JP2000249299A publication Critical patent/JP2000249299A/ja
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E03—WATER SUPPLY; SEWERAGE
    • E03C—DOMESTIC PLUMBING INSTALLATIONS FOR FRESH WATER OR WASTE WATER; SINKS
    • E03C1/00—Domestic plumbing installations for fresh water or waste water; Sinks
    • E03C1/12—Plumbing installations for waste water; Basins or fountains connected thereto; Sinks
    • E03C1/26—Object-catching inserts or similar devices for waste pipes or outlets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0238—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers
    • B67D7/0266—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers by gas acting directly on the liquid
    • B67D7/0272—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers by gas acting directly on the liquid specially adapted for transferring liquids of high purity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0277—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure
    • B67D7/0283—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure specially adapted for transferring liquids of high purity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/06—Details or accessories
    • B67D7/78—Arrangements of storage tanks, reservoirs or pipe-lines
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E03—WATER SUPPLY; SEWERAGE
    • E03C—DOMESTIC PLUMBING INSTALLATIONS FOR FRESH WATER OR WASTE WATER; SINKS
    • E03C1/00—Domestic plumbing installations for fresh water or waste water; Sinks
    • E03C1/12—Plumbing installations for waste water; Basins or fountains connected thereto; Sinks
    • E03C1/14—Wash-basins connected to the waste-pipe
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/0318—Processes
    • Y10T137/0396—Involving pressure control
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/2931—Diverse fluid containing pressure systems
    • Y10T137/3115—Gas pressure storage over or displacement of liquid
    • Y10T137/3124—Plural units
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/2931—Diverse fluid containing pressure systems
    • Y10T137/3115—Gas pressure storage over or displacement of liquid
    • Y10T137/3127—With gas maintenance or application

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
  • Pipeline Systems (AREA)
  • Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)

Abstract

(57)【要約】 配達されるべき液体が過圧Ｐ1で維持されたコンテナ
（３Ａ、３Ｂ）を去り、そこから予定の中間圧力Ｐ2>Ｐ
1に維持された中間蓄積タンク（１１）に移送される。
複数の小容量配達コンテナ（１２Ａ、１２Ｂ）がこのタ
ンクの下流に並列に接続され、その各々が配達圧力Ｐ3>
Ｐ2あるいは充填圧力Ｐ4<Ｐ2に圧力をかけられる。マイ
クロエレクトロニクス産業のために意図された超純粋化
学製品の配達に適用。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液体配達システムに
関する。それは特にマイクロエレクトロニクス産業に意
図された超純粋化学製品の配達に適用する。
【０００２】ここに含まれる圧力は相対圧力である。
【０００３】
【従来の技術】絶えずより小型化に向かうマイクロエレ
クトロニクス産業の急速な発展は、集積回路の製造の種
々の相で使用される化学製品の純粋さに関して重要性を
有する。過酸化水素、アンモニア水、および弗化水素酸
のような化学製品の場合に、１ppb（1/ビリオン）以下
の陽イオン含有量、およびリッター当りの大きさで0.2
マイクロメータの500粒子以下の粒子含有量を指定する
ことは、今では普通の手順である。
【０００４】例えば、清掃工程で使用されるこれらのい
わゆる超純粋液体化学製品は、中央配達システムにより
確かな消費以上およびそれを超えて配達される。これら
のシステムは以下の機能を備える。
【０００５】−供給者生成物源あるいは供給コンテナか
ら、生成物の特別な仕様を改善するため濾過段階を通し
て蓄積タンクへ生成物を回収し、イオン質をまだ維持し
ている間、生成物の特別な仕様を改善するため濾過段階
を通して再循環可能にする。
【０００６】−蓄積タンクからユーザ網へ、生成物の特
別な仕様を改善するため濾過段階を経て生成物を配達す
る。
【０００７】蓄積タンクから生成物を運ぶために種々の
手段が知られている。これらの手段はポンプ、圧力、真
空、またはこれらの手段の組合せの何れかを使用する
（例えば、U.S.特許5,330,072、5,417,346、および5,77
2,447参照）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】これらの手段はある欠
点がある。
【０００９】ポンプにより押される配達は、ポンプの圧
力変化で構成される粒子を発生し、かつポンプは信頼性
の問題を提起する。
【００１０】圧力および真空配達は、真空システムのダ
イアフラム弁に対する非互換性を構成される信頼性の問
題を提起し、これらのダイアフラム弁は要求される純粋
さレベルではただ１つの互換性しかないからである。
【００１１】通常の圧力配達システムは、典型的に装置
の毎日の消費に対応している大きな別々な容量の少なく
とも２つの蓄積タンクを使用する。典型的にタンクの最
小容量は200リットルである。これは大きなキャビネッ
ト寸法を必要とし、タンクは略4バールまたは真空の配
達圧力に耐えることができなければならない。これをす
るため、腐食性の生成物の場合、使用される物質はポリ
エチレン（ＰＥ）、パーフルオロアルコキシル（ＰＦ
Ａ）またはポリ弗化ビニリデン（ＰＶＤＦ）型のプラス
チックで作られた内側シェル、およびグラスファイバー
またはステンレス鋼で作られた外側補強を備える。この
タンク設計は、もし製造工程が完全に制御されないなら
イオンの汚染をもたらし、かつ大容量タンクの場合に圧
力または真空で構成される安全問題をもたらす。
【００１２】発明の目的は、製造が比較的容易であり、
液体の汚染の危険を最少にしかつ安全を最適にする小型
化された配達システムを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この目的のため、発明の
主題は、 −第１の予定の圧力Ｐ1以下の過圧でオーバーヘッドを
維持するための手段を備え、配達されるべき液体を含ん
でいる供給コンテナと、 −予定の中間圧力Ｐ2>Ｐ1でオーバーヘッドを維持する
ための手段を備えた中間蓄積タンクと、 −供給コンテナからの液体を中間タンクに移送する手段
と、 −中間タンクの容量よりも非常に小さい容量を有する少
なくとも２つの配達コンテナであって、これらのコンテ
ナは中間タンクの液体出口の上流およびユーザ網に液体
を配達するラインの下流間で並列に接続され、 −各コンテナに配達圧力Ｐ3>Ｐ2かまたは充填圧力Ｐ4<
Ｐ2かを個々に適用する制御手段とを備えた液体配達シ
ステムである。
【００１４】発明による配達システムは、別々にまたは
幾つかのそれらの技術的に可能な組合せをとられた１つ
またはそれ以上の以下の特徴を含む。
【００１５】−システムは並列に接続された３つの配達
コンテナを備える。
【００１６】−移送手段および/または配達ラインは液
体を濾過する手段を備えられる。
【００１７】−前記維持手段および前記制御手段は特に
窒素の不活性ガス源を備え、これらの源は圧力調節手段
を装着される。
【００１８】−配達システムは配達ラインから蓄積タン
クの入口に液体を再循環するラインを備える。
【００１９】−配達システムはユーザ網から蓄積タンク
の入口に液体を再循環するラインを備える。
【００２０】−各配達コンテナは、供給および放出ティ
ーによりその下端で閉じられ、圧力をかけられたガスの
入口に装着されたストッパによりその上端で閉じられた
垂直パイプの区分からなる。
【００２１】−圧力Ｐ1は略100mbに等しく、および/ま
たは圧力Ｐ2は略100および500mbの間にあり、および/ま
たは圧力Ｐ3は略500mbおよび6バールの間にある。
【００２２】−蓄積タンクの容積および配達コンテナの
各容積は、それぞれ200リットルと5ｍ３の間および１お
よび50リットルの間である。
【００２３】発明の主題はまた、超純粋液体、特に過酸
化水素、アンモニア水、および弗化水素酸の配達のため
かかる配達システムの使用にある。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して図解的例が
説明される。
【００２５】図１に示された配達システムは、ユーザ網
１００に超純粋液体を配達するために意図される。シス
テムは上流供給部分１および下流配達部分２からなる。
【００２６】上流部分は上流端から下流端に以下を備え
る。
【００２７】−並列に配置されかつ連続して使用される
２つの供給コンテナあるいはドラム３Ａ、３Ｂ。これら
の各ドラムは配達されるべき液体を含むが、非常に低い
所望の粒子含有量を有していない。
【００２８】−２つのドラムに予定の圧力Ｐ1より低い
僅かなガス過圧を維持する装置４．圧力Ｐ1は典型的に5
0から100mbの間である。装置４は窒素供給源１０４、ベ
ント１０５、およびドラム３Ａおよび３Ｂにオーバヘッ
ドのため源１０４またはベント１０５の何れにも接続し
ている適当な調節計１０６を備える。この型の装置は商
業的に利用可能である。
【００２９】−循環ポンプ５。
【００３０】−下流に配置されたフィルタを乾燥から保
護するために設計されたガス除去装置６。
【００３１】−第１フィルタ７。
【００３２】−第２フィルタ８。
【００３３】−液体をドラム３Ａおよび３Ｂに再循環す
るため、２つのフィルタ７および８間から弁を備えたタ
ップライン９。
【００３４】図はまた、フィルタ８の下流に運ばれる液
体を分析するために使用されるサンプリングカン１０を
示す。
【００３５】配達部分２は上流端から下流端に以下を備
える。
【００３６】−蓄積タンク１１。
【００３７】−並列に接続された２つの配達コンテナ１
２Ａ、１２Ｂ。これらのコンテナは、上流側でタンク１
１から液体を取り出すため浸液パイプ１３に接続され、
下流側で液体を配達するライン１４に接続される。
【００３８】ライン１４は並列に接続された２つのフィ
ルタ１５Ａ、１５Ｂ、それからサンプリングおよび分析
カン１６を備え、それはユーザ網１００に達する。
【００３９】フィルタ１５Ａ、１５Ｂの下流にライン１
４からタップを付けられたライン１７が、液体をタンク
１１の入口に再循環させることを許容し、かつ他のライ
ン１８が過剰液体をユーザ網１００から同じ場所に再循
環させることを許容する。
【００４０】図１はまた以下の種々の構成要素を示す。
【００４１】−システムを立ち上げるために使用される
脱イオン化水の複数の源１９。
【００４２】−タンク１１のオーバヘッドに窒素の調節
された供給をするための源２０、およびコンテナ１２Ａ
および１２Ｂにそれぞれ窒素の調節された供給をするた
めの源２１Ａおよび２１Ｂ。
【００４３】−タップ１７の下流でライン１４から分岐
された粒子計数器２２。
【００４４】以下に記述される運転を行うことを可能に
する多数の弁。
【００４５】勿論、プラントはまたそれ自体知られた多
くの測定および制御部材を含み、図を複雑にしないため
それらは示されなかった。
【００４６】例示として、ドラム３Ａおよび３Ｂは100
から20,000リッターの容積を有し、僅かに繊維補強され
たＰＥ、ＰＦＡまたはＰＶＤＦで作られたタンク１１は
200リッターから5ｍ３の容積を有し、コンテナ１２Ａお
よび１２Ｂは前述のものより非常に小さく、典型的に１
から50リッターを有する。
【００４７】フィルタ７は0.2μmに濾過し、フィルタ８
は0.1μmに濾過し、フィルタ１５Ａおよび１５Ｂは0.05
μmに濾過するダイアフラムマイクロ濾過部材である。
【００４８】図２に示された特に有利な実施例の一つに
おいて、各コンテナ１２Ａ、１２ＢはＰＥ、ＰＦＡまた
はＰＶＤＦで補強されないパイプ２３の区分を含み、そ
の厚みは配達圧力によく耐えるように設計される。この
パイプは垂直に置かれ、その上端は構成された窒素源２
１Ａまたは２１Ｂに接続されたストッパ２４により閉じ
られ、その下端は接続ティー２６が接続される第２スト
ッパ２５により閉じられる。このティーの２つの水平分
岐は、それぞれ上流側でそれ自身浸液パイプ１３に接続
されたライン２７に、下流側でそれ自身ライン１４に接
続されたライン２８に接続される。
【００４９】このような実施例は高価ではなく非常に信
頼性があり、それは500mb以下の圧力Ｐ2にただよく耐え
なくてはならないタンク１１に適用する。
【００５０】加えて配達部分２の全体の大きさが特別に
小さい。
【００５１】運転において、ドラム３Ａおよび３Ｂのオ
ーバーヘッドは装置４により100mb以下の圧力で僅かに
過圧に維持される。ポンプ５により押し出された液体は
フィルタ７および８を通過し、液体のいくらかはライン
９を経て再循環可能である。循環されなかった液体は第
２浸液パイプ２９を経て液体源としてそれを供給する蓄
積タンク１１に入る。
【００５２】このタンクのオーバーヘッドは源２０によ
り500mb以下の予定の圧力Ｐ2一定に維持される。
【００５３】２つのコンテナ１２Ａ、１２Ｂの一つ、例
えばコンテナ１２Ｂは、その窒素源２１Ｂにより圧力Ｐ
2より小さい正またはゼロである圧力Ｐ4に維持され、そ
の出口弁が閉じられ、それに対してその入口弁が開かれ
る。他のコンテナ１２Ａは閉じられたその入口弁と開か
れたその出口弁を有し、それはＰ2より大きくかつその
窒素源２１Ａにより配達の圧力に等しい圧力Ｐ3に維持
される。
【００５４】かくして、コンテナ１２Ａが配達に使用さ
れる間、コンテナ１２Ｂが満たされる。コンテナ１２Ａ
の液体のレベルが予定の閾値以下に落ちたとき、２つの
コンテナの圧力は逆転され、それらの入口および出口弁
の状態が逆転されるので、コンテナ１２Ａはコンテナ１
２Ｂが配達ライン１４へ空になる間に充満される。
【００５５】かくして連続的に配達された液体は、１５
Ａおよび/または１５Ｂで最終濾過段階を受け、ライン
１４を経てユーザ網１００に送られる。
【００５６】選択的に、超純粋液体はライン１４からタ
ップ１７を経ておよび/または網１００からライン１８
を経てタンク１１に再循環されてもよい。
【００５７】変形として、コンテナ１２Ａおよび１２Ｂ
と同様な第３の配達コンテナが設けられ、バックアップ
コンテナとしてそれらと並列に接続されてもよい。
【００５８】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、製
造が比較的容易で、安価で信頼性の高い小型化可能な超
純粋液体配達システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による超純粋液体配達システムの概要を
示す。
【図２】図１のシステムの一部の有利な実施例そ示す。
【符号の説明】
１００…ユーザ網、 １…上流供給部分、 ２…下流配
達部分 ３Ａ、３Ｂ…供給ドラム、 ４…装置、 １０
４…窒素源、 １０５…ベント、 １０６…調節計、
５…循環ポンプ、 ６…脱ガス装置、 ７、８、１５
Ａ、１５Ｂ…フィルタ、 ９、１７…タップライン １
０…サンプリングカン、 １１…蓄積タンク、 １２
Ａ、１２Ｂ…配達コンテナ、 １３、２９…浸液パイ
プ、 １４…ライン、 １８…他のライン、 １９…脱
イオン水源、 ２０、２１Ａ、２１Ｂ…窒素源、 ２２
…コンテナ、 ２３…パイプ、 ２４、２５…ストッ
パ、 ２６…接続ティー、 ２７、２８…ライン

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１の予定圧力Ｐ1以下の過圧でオーバ
    ーヘッドを維持するための手段を備え、配達されるべき
    液体を含んでいる供給コンテナと、 予定の中間圧力Ｐ2>Ｐ1でオーバーヘッドを維持するた
    めの手段を備えた中間蓄積タンクと、 供給コンテナからの液体を中間タンクに移送する手段
    と、 中間タンクの容量よりも非常に小さい容量を有する少な
    くとも２つの配達コンテナであって、これらのコンテナ
    は中間タンクの液体出口の上流およびユーザ網に液体を
    配達するラインの下流間で並列に接続され、 各コンテナに配達圧力Ｐ3>Ｐ2かまたは充填圧力Ｐ4<Ｐ2
    かを個々に適用する制御手段とを備えたことを特徴とす
    る液体配達システム。
  2. 【請求項２】 並列に接続された３つの配達コンテナを
    備えることを特徴とする請求項１による液体配達システ
    ム。
  3. 【請求項３】 移送手段および/または配達ラインは液
    体を濾過する手段を備えられることを特徴とする請求項
    １または請求項２による液体配達システム。
  4. 【請求項４】 前記維持手段および前記制御手段は特に
    窒素の不活性ガス源を備え、これらの源は圧力調節手段
    を装着されることを特徴とする請求項１乃至３の何れか
    一つによる液体配達システム。
  5. 【請求項５】 配達ラインから蓄積タンクの入口に液体
    を再循環するラインを備えることを特徴とする請求項１
    乃至４の何れか一つによる液体配達システム。
  6. 【請求項６】 ユーザ網から蓄積タンクの入口に液体を
    再循環するラインを備えることを特徴とする請求項１乃
    至５の何れか一つによる液体配達システム。
  7. 【請求項７】 各配達コンテナは、供給および放出ティ
    ーによりその下端で閉じられ、圧力をかけられたガスの
    入口に装着されたストッパによりその上端で閉じられた
    垂直パイプの区分からなることを特徴とする請求項１乃
    至６の何れか一つによる液体配達システム。
  8. 【請求項８】 圧力Ｐ1は略100mbに等しく、および/ま
    たは圧力Ｐ2は略100および500mbの間にあり、および/ま
    たは圧力Ｐ3は略500mbおよび6バールの間にあることを
    特徴とする請求項１乃至７の何れか一つによる液体配達
    システム。
  9. 【請求項９】 蓄積タンクの容積および配達コンテナの
    各容積は、それぞれ200リットルと5ｍ３の間および１お
    よび50リットルの間であることを特徴とする請求項１乃
    至８の何れか一つによる液体配達システム。
  10. 【請求項１０】 超純粋液体、特に過酸化水素、アンモ
    ニア水、および弗化水素酸の配達のため請求項１乃至９
    の何れか一つによる液体配達システムの使用。
JP2000044335A 1999-02-26 2000-02-22 超純粋液体の配達用液体配達システムおよびその使用 Ceased JP2000249299A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9902467A FR2790253B1 (fr) 1999-02-26 1999-02-26 Systeme de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur
FR9902467 1999-02-26

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000249299A true JP2000249299A (ja) 2000-09-12

Family

ID=9542619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000044335A Ceased JP2000249299A (ja) 1999-02-26 2000-02-22 超純粋液体の配達用液体配達システムおよびその使用

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6267132B1 (ja)
EP (1) EP1031533B1 (ja)
JP (1) JP2000249299A (ja)
KR (1) KR100668392B1 (ja)
DE (1) DE69912089T2 (ja)
FR (1) FR2790253B1 (ja)
SG (1) SG76001A1 (ja)
TW (1) TW418299B (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100668392B1 (ko) * 1999-02-26 2007-01-16 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드 액체 이송 시스템
JP2007311603A (ja) * 2006-05-19 2007-11-29 Tokyo Electron Ltd 処理液供給装置及び処理液供給方法並びに処理液供給用制御プログラム
JP2019520192A (ja) * 2016-04-19 2019-07-18 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ ガス駆動型流体輸送
JP2021528568A (ja) * 2018-06-29 2021-10-21 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 液体リチウムの供給及び制御

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6299753B1 (en) * 1999-09-01 2001-10-09 Applied Materials, Inc. Double pressure vessel chemical dispenser unit
US6953047B2 (en) * 2002-01-14 2005-10-11 Air Products And Chemicals, Inc. Cabinet for chemical delivery with solvent purging
US20030185690A1 (en) * 2002-03-28 2003-10-02 Mindi Xu Systems and methods for transferring and delivering a liquid chemical from a source to an end use station
US6648034B1 (en) * 2002-05-23 2003-11-18 Air Products And Chemicals, Inc. Purgeable manifold for low vapor pressure chemicals containers
US7172096B2 (en) * 2004-11-15 2007-02-06 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid dispensing system
FR2880011B1 (fr) * 2004-12-23 2007-03-30 Air Liquide Electronics Sys Systeme de distribution de liqudes chimiques
EP3006102A1 (en) 2005-04-25 2016-04-13 Advanced Technology Materials, Inc. Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability
KR101384427B1 (ko) * 2005-06-06 2014-04-11 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 유체 저장 및 분배를 위한 장치 및 방법
US20070215639A1 (en) * 2006-02-15 2007-09-20 Roberts Benjamin R Method and Apparatus for Dispensing Liquid with Precise Control
US20090107562A1 (en) * 2007-10-29 2009-04-30 Ruibo Wang Pre-pressurized self-balanced negative-pressure-free water-supply apparatus
MY183847A (en) * 2008-06-25 2021-03-17 Basf Se Method for safely preventing backflowing in the conveying of a fluid
EP2669213A1 (en) 2009-07-09 2013-12-04 Advanced Technology Materials, Inc. Liner-based storage system
KR101899747B1 (ko) 2010-01-06 2018-10-04 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 분배 장치 및 커넥터
US9637300B2 (en) 2010-11-23 2017-05-02 Entegris, Inc. Liner-based dispenser
FR2969994B1 (fr) * 2011-01-05 2013-02-08 Hypred Dispositif de raccordement d'une cuve de stockage a une alimentation et procede de gestion d'un tel raccordement
JP5932847B2 (ja) 2011-03-01 2016-06-08 アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド 入れ子式吹込み成形ライナーおよびオーバーパックならびにその作製方法
CN102563350B (zh) * 2012-03-07 2013-11-27 北京航空航天大学 大尺寸双热沉闭式液氮输送系统及其工作方法
US9605346B2 (en) * 2014-03-28 2017-03-28 Lam Research Corporation Systems and methods for pressure-based liquid flow control
CN104373817A (zh) * 2014-11-05 2015-02-25 东晶锐康晶体（成都）有限公司 一种ipa供应和回收装置
CN114394570B (zh) * 2022-02-14 2023-05-26 连云港石化有限公司 一种不易挥发化工液体输送系统及自动控制方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5148945B1 (en) 1990-09-17 1996-07-02 Applied Chemical Solutions Apparatus and method for the transfer and delivery of high purity chemicals
US5417346A (en) 1990-09-17 1995-05-23 Applied Chemical Solutions Process and apparatus for electronic control of the transfer and delivery of high purity chemicals
US5556002A (en) * 1995-02-03 1996-09-17 Abc Techcorp Measured liquid dispensing system
JP3533512B2 (ja) * 1995-04-26 2004-05-31 株式会社荏原製作所 液化ガス供給システム
US5772447A (en) 1996-02-26 1998-06-30 Koontat Development Co. Ltd. Pivoting electrical plug
US5832948A (en) * 1996-12-20 1998-11-10 Chemand Corp. Liquid transfer system
JP3546121B2 (ja) * 1997-02-25 2004-07-21 三菱重工業株式会社 管路内流体圧制御装置
FR2790253B1 (fr) * 1999-02-26 2001-04-20 Air Liquide Electronics Sys Systeme de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100668392B1 (ko) * 1999-02-26 2007-01-16 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드 액체 이송 시스템
JP2007311603A (ja) * 2006-05-19 2007-11-29 Tokyo Electron Ltd 処理液供給装置及び処理液供給方法並びに処理液供給用制御プログラム
JP4697882B2 (ja) * 2006-05-19 2011-06-08 東京エレクトロン株式会社 処理液供給装置及び処理液供給方法並びに処理液供給用制御プログラム
JP2019520192A (ja) * 2016-04-19 2019-07-18 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ ガス駆動型流体輸送
JP2021528568A (ja) * 2018-06-29 2021-10-21 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 液体リチウムの供給及び制御
JP7139467B2 (ja) 2018-06-29 2022-09-20 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 液体リチウムの供給及び制御
US11603306B2 (en) 2018-06-29 2023-03-14 Applied Materials, Inc. Liquid lithium supply and regulation
US11987489B2 (en) 2018-06-29 2024-05-21 Applied Materials, Inc. Liquid lithium supply and regulation

Also Published As

Publication number Publication date
TW418299B (en) 2001-01-11
DE69912089T2 (de) 2004-07-22
FR2790253B1 (fr) 2001-04-20
KR20000076712A (ko) 2000-12-26
FR2790253A1 (fr) 2000-09-01
SG76001A1 (en) 2000-10-24
US6267132B1 (en) 2001-07-31
KR100668392B1 (ko) 2007-01-16
EP1031533A1 (fr) 2000-08-30
EP1031533B1 (fr) 2003-10-15
DE69912089D1 (de) 2003-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000249299A (ja) 超純粋液体の配達用液体配達システムおよびその使用
JP2911219B2 (ja) 高純度化学薬品を移送及び送出するための改良された装置及び方法
US10676341B2 (en) Liquid dispensing systems with gas removal and sensing capabilities
US8336734B2 (en) Liquid dispensing systems encompassing gas removal
KR101849799B1 (ko) 액 처리 방법 및 필터 내의 기체의 제거 장치
EP1007855A1 (en) Liquid transfer system
JP2016533309A (ja) 高粘性の液体含有材料を加圧分配する装置および方法
TW201440879A (zh) 用於調節過濾器裝配的系統和方法
KR101099848B1 (ko) 액정 물질의 포장 및 저장을 위한 방법 및 시스템 및 그 사용 방법, 순환 방법, 용기 및 용기 사용 방법, 액정 디스플레이의 충진 방법
AU605569B2 (en) System for separating solutions
US5437710A (en) Chemical processing system for maintaining concentration of semiconductor processing solution
CN1075209C (zh) 用于供给光致抗蚀剂的系统
US20030185690A1 (en) Systems and methods for transferring and delivering a liquid chemical from a source to an end use station
JPH10273193A (ja) 高純度薬液輸送用大型容器
US11851236B2 (en) Pipe connectable plastic bucket and method of using the same
JPH11347375A (ja) 中空糸膜濾過装置
CN220364463U (zh) 一种纯化水制备系统
JP4736339B2 (ja) 送液手段および送液方法
US20230090558A1 (en) Pre-wet system having pneumatic circulation
TW509970B (en) Liquid transfer system
JPH0696099B2 (ja) 気液分離装置
CN117704280A (zh) 一种超临界流体制备系统
KR20050106663A (ko) 반도체 제조공정의 액상 화학물질 공급 시스템
JP2004106912A (ja) 圧力容器
KR20160143343A (ko) 고순도 헥사클로로디실란 파티클 제거 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060929

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090908

A045 Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment]

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045

Effective date: 20100126