EP0989201B1 - Verdampferkörper - Google Patents
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
Definitions
- the invention relates to an evaporator body for a Evaporator of a vacuum evaporation system, which consists of at least two in a row by one Connection on one end face electrically conductive coupled evaporator boat exists.
- Evaporator body of the above type is in the German Patent 40 16 225 described.
- the invention is based on the problem of an evaporator body to develop with at least two evaporator boats, where the connection of the evaporator boats is as simple as possible and becomes a rigid, unchangeable Alignment of the evaporator boats to each other leads.
- This design is between the evaporator boats no additional connecting part to create the connection required.
- There the projection has no arc-shaped surfaces instead of an articulated connection, a rigid connection, so the orientation of the evaporator boat to each other is determined by the connection.
- the projection as formed by an upper and lower inclined surface horizontally extending wedge is designed and the recess accordingly by two from above and from below Areas leading obliquely into the end face are limited.
- This design makes play in the area of connection avoided. Furthermore, it can be achieved that the entire connection area is sufficiently high, axial Forces can be transferred, what a reliable Plant the parts and thereby to a low electrical Contact resistance leads.
- connection area To further improve the current flow through the connection area it helps if between the jump of an evaporator boat and the recess of the another evaporator boat arranged a graphite foil is.
- FIG. 1 shows end regions of an evaporator body 1 two evaporator boats connected to each other on the face 2 and 3. This connection is made by that the evaporator boat 2 with a projection 4 in a corresponding recess 5 of the evaporator boat 3 takes effect. Between the projection 4 and the recess 5 is a graphite foil 6 in this exemplary embodiment arranged. In the upper side of the evaporator body 1 there is a cavity 7, which over the connection area both evaporator boats 2, 3 away leads and in which the metal to be evaporated is introduced becomes. The evaporator body 1 thus has a single continuous excavation 7.
- FIG. 2 shows a view from the right of the evaporator boat 2.
- this figure 2 there were two sloping surfaces 8, 9 positioned, which limit the projection 4, so that this is a horizontally extending wedge forms.
- the wedge tip an angle of about 90 °. In practice, this must be flattened be so that the wedge surfaces 8, 9 against the corresponding in Figure 1 positioned surfaces 10, 11 of the Fit recess 5.
- FIG. 3 shows the evaporator boat 2 as a whole. Again, the wedge-shaped projection 4 and the cavity 7 in the top of the evaporator boat Second
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Description
Die Erfindung betrifft einen Verdampferkörper für einen
Verdampfer einer Vakuum-Bedampfungsanlage, welcher aus
zumindest zwei in einer Reihe hintereinander durch eine
Verbindung an einer Stirnseite elektrisch leitend miteinander
gekoppelten Verdampferschiffchen besteht. Ein
Verdampferkörper der vorstehenden Art ist in dem deutschen
Patent 40 16 225 beschrieben.
Bei großen Verdampfern ist es aus Fertigungsgründen nicht
mehr möglich, Verdampferschiffchen einteilig in der erforderlichen
Länge herzustellen. Deshalb ist es in solchen
Fällen erforderlich, zwei oder sogar mehrere Verdampferschiffchen
in einer Reihe hintereinander anzuordnen
und dabei an den aneinanderstoßenden Stirnseiten miteinander
zu verbinden. Diese Verbindung erfolgt bei den
Verdampferschiffchen nach der genannten DE 40 16 225 C2
dadurch, dass die aneinanderstoßenden Stirnseiten jeweils
eine halbschalenförmige Ausnehmung aufweisen und diese
Ausnehmungen über eine beiden Verdampferschiffchen gemeinsame,
horizontal ausgerichtete Rolle greifen. Die
Rolle besteht dabei aus dem gleichen Material wie die
beiden Verdampferschiffchen.
Über die Verbindung zwischen den Verdampferschiffchen
muss beim Arbeiten des Verdampfers der gesamte, zum Beheizen
der beiden Verdampferschiffchen erforderliche
Strom fließen. Deshalb müssen die Verdampferschiffchen an
den Berührungsflächen fest aneinander liegen. Das ist jedoch
bei den bekannten Verdampferschiffchen nur unvollkommen
zu verwirklichen, weil infolge der Zylinderflächen
sich nur in der Mitte eine hohe Spannkraft erreichen
lässt, diese jedoch nach oben und unten hin entsprechend
der Krümmung der Zylinderflächen abnimmt. Ein weiterer
Nachteil der bekannten Verbindung liegt darin, dass diese
ein Gelenk bildet. Die miteinander verbundenen Verdampferschiffchen
sollen sich jedoch möglichst geradlinig erstrecken.
Das wird im eingebauten Zustand dadurch erreicht,
dass jeweils ein Verdampferschiffchen zwischen
den als Stützen ausgeführten, elektrischen Zuleitungen
von einer weiteren Stütze getragen wird. Die gelenkige
Verbindung der beiden Verdampferschiffchen macht jedoch
Schwierigkeiten bei der Handhabung der Verdampferschiffchen
während der Montage und Demontage.
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, einen Verdampferkörper
mit zumindest zwei Verdampferschiffchen zu entwickeln,
bei dem die Verbindung der Verdampferschiffchen
möglichst einfach gestaltet ist und zu einer starren, unveränderlichen
Ausrichtung der Verdampferschiffchen zueinander
führt.
Dieses Problem wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass
die Verbindung der Verdampferschiffchen durch einen sich
verjüngenden, nicht durch kreisbogenförmige Flächen begrenzten
Vorsprung an einer Stirnseite eines Verdampferschiffchens
und eine entsprechende Ausnehmung in der
Stirnseite des angrenzenden Verdampferschiffchen gebildet
ist.
Durch diese Gestaltung ist zwischen den Verdampferschiffchen
zur Erzeugung der Verbindung kein zusätzliches Verbindungsteil
erforderlich. Dadurch dass die Verdampferschiffchen
stirnseitig mit dem Vorsprung und der Ausnehmung
ineinandergreifen, wird eine starre, zu einer festgelegten
Ausrichtung führende Verbindung erreicht, die
zugleich einen zuverlässigen Stromfluss ermöglicht. Da
der Vorsprung keine kreisbogenförmigen Flächen hat, entsteht
statt einer gelenkigen Verbindung eine starre Verbindung,
so dass die Ausrichtung der Verdampferschiffchen
zueinander durch die Verbindung festgelegt wird.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Vorsprung als
durch eine obere und untere Schrägfläche gebildeter, sich
horizontal erstreckender Keil gestaltet ist und die Ausnehmung
entsprechend durch zwei von oben und von unten
schräg in die Stirnfläche führende Flächen begrenzt ist.
Durch diese Gestaltung wird Spiel im Bereich der Verbindung
vermieden. Weiterhin lässt sich erreichen, dass über
den gesamten Verbindungsbereich ausreichend hohe, axiale
Kräfte übertragen werden können, was für eine zuverlässige
Anlage der Teile und dadurch zu einem geringen elektrischen
Übergangswiderstand führt.
Zur weiteren Verbesserung des Stromflusses durch den Verbindungsbereich
trägt es bei, wenn zwischen dem Versprung
des einen Verdampferschiffchens und der Ausnehmung des
anderen Verdampferschiffchens eine Graphitfolie angeordnet
ist.
Die Erfindung lässt verschiedene Ausführungsformen zu.
Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips ist eine
davon in der Zeichnung dargestellt und wird nachfolgend
beschrieben. Diese zeigt in
- Fig.1
- einen Verbindungsbereich zweier einen Verdampferkörper bildender Verdampferschiffchen,
- Fig.2
- eine Ansicht einer Stirnseite eines Verdampferschiffchens,
- Fig.3
- eine Seitenansicht eines kompletten Verdampferschiffchens.
Die Figur 1 zeigt von einem Verdampferkörper 1 Endbereiche
zweier stirnseitig miteinander verbundener Verdampferschiffchen
2 und 3. Diese Verbindung erfolgt dadurch,
dass das Verdampferschiffchen 2 mit einem Vorsprung 4 in
eine entsprechende Ausnehmung 5 des Verdampferschiffchens
3 greift. Zwischen dem Vorsprung 4 und der Ausnehmung 5
ist bei diesem Ausführungsbeispiel eine Graphitfolie 6
angeordnet. In der oberen Seite des Verdampferkörpers 1
ist eine Aushöhlung 7 vorhanden, welche über den Verbindungsbereich
beider Verdampferschiffchen 2, 3 hinweg
führt und in der das zu verdampfende Metall eingebracht
wird. Der Verdampferkörper 1 hat also eine einzige,
durchgehende Aushöhlung 7.
Die Figur 2 zeigt einen Blick von rechts auf das Verdampferschiffchen
2. In dieser Figur 2 wurden zwei Schrägflächen
8, 9 positioniert, welche den Vorsprung 4 begrenzen,
so dass dieser einen sich horizontal erstreckenden Keil
bildet. Wie in Figur 1 zu sehen ist, hat die Keilspitze
einen Winkel von etwa 90°. In der Praxis muss diese abgeflacht
sein, damit die Keilflächen 8, 9 gegen die entsprechenden,
in Figur 1 positionierten Flächen 10, 11 der
Ausnehmung 5 anliegen.
Die Figur 3 zeigt das Verdampferschiffchen 2 als Ganzes.
Zu sehen sind wiederum der keilförmige Vorsprung 4 und
die Aushöhlung 7 in der Oberseite des Verdampferschiffchens
2.
- 1
- Verdampferkörper
- 2
- Verdampferschiffchen
- 3
- Verdampferschiffchen
- 4
- Vorsprung
- 5
- Ausnehmung
- 6
- Graphitfolie
- 7
- Aushöhlung
- 8
- Schrägfläche
- 9
- Schrägfläche
- 10
- Fläche
- 11
- Fläche
Claims (3)
- Verdampferkörper für einen Verdampfer einer Vakuum-Bedampfungsanlage, welcher aus zumindest zwei in einer Reihe hintereinander durch eine Verbindung an einer Stirnseite elektrisch leitend miteinander gekoppelten Verdampferschiffchen besteht, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung der Verdampferschiffchen (2, 3) durch einen sich verjüngenden, nicht durch kreisbogenförmige Flächen begrenzten Vorsprung (4) an einer Stirnseite eines Verdampferschiffchens (2) und eine entsprechende Ausnehmung (5) in der Stirnseite des angrenzenden Verdampferschiffchen (3) gebildet ist.
- Verdampferkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorsprung (4) als durch eine obere Schrägfläche (8) und untere Schrägfläche (9) gebildeter, sich horizontal erstreckender Keil gestaltet ist und die Ausnehmung (5) entsprechend durch zwei von oben und von unten schräg in die Stirnfläche führende Flächen (10, 11) begrenzt ist.
- Verdampferkörper nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Versprung (4) des einen Verdampferschiffchens (2) und der Ausnehmung (5) des anderen Verdampferschiffchens (3) eine Graphitfolie (6) angeordnet ist.
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