EP0733802A1 - Membranpumpe mit einer Formmembran - Google Patents
Membranpumpe mit einer Formmembran Download PDFInfo
- Publication number
- EP0733802A1 EP0733802A1 EP96101648A EP96101648A EP0733802A1 EP 0733802 A1 EP0733802 A1 EP 0733802A1 EP 96101648 A EP96101648 A EP 96101648A EP 96101648 A EP96101648 A EP 96101648A EP 0733802 A1 EP0733802 A1 EP 0733802A1
- Authority
- EP
- European Patent Office
- Prior art keywords
- membrane
- ribs
- stabilizing
- radial
- underside
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract description 108
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 72
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 11
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 9
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 claims description 5
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 claims description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 230000003019 stabilising effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 3
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000006735 deficit Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000002028 premature Effects 0.000 description 1
- 238000004073 vulcanization Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/0009—Special features
- F04B43/0054—Special features particularities of the flexible members
Definitions
- the invention relates to a diaphragm pump with a shaped membrane made of elastic material, which is reinforced in its central area in the stroke direction and has a flexible ring area around it, which is held on the outside with a clamping edge on the pump housing, which shaped membrane by means of a connecting rod acting on its central area or the like lifting device can be deflected from an upper to a lower dead center position and vice versa, the membrane top facing the pump chamber in the central region and the adjacent wall of the pump chamber in particular being geometrically adapted to one another and radial ribs for stabilization being provided on the membrane underside facing away from the pump chamber, at least in the ring region.
- Such a diaphragm pump is already known from DE 40 07 932 C2, in which the wall of the pump chamber facing the molded membrane is approximately spherical in its central region and the upper side of the molded membrane is geometrically geometrically attached to this spherical pump chamber region with respect to its upper side is adapted so that the upper side of the shaped membrane, at least in its central region, at least almost completely conforms to the wall of the pump chamber with its top dead center position.
- the ring area of the forming membrane is designed to be comparatively thin and flexible, while the central area is reinforced in the direction of the stroke in order to prevent the lifting movement Type of piston effect.
- the known diaphragm pump In order to reduce the risk of the molded membrane bulging in the direction of the adjacent pump chamber wall when the diaphragm pumps are used, preferably used as a vacuum pump, during operation of the pump - particularly during the suction stroke - the known diaphragm pump has radial ribs on the underside of the ring area. that should stabilize it.
- radial ribs on the underside of the ring area.
- the radial ribs are arranged so far apart that the diaphragm has sufficient flexibility in the ring area, the ring area bulges too much, so that at low suction pressures the volumetric efficiency and the pumping speed of the pump accordingly is reduced.
- vibrations can occur in the membrane, which on the one hand lead to heating of the molded membrane and on the other hand can also cause the molded membrane to collide with the adjacent pump chamber wall. Abutment of the molded membrane on the pump chamber wall is particularly undesirable because it leads to premature wear of the molded membrane in addition to increased noise. Particles removed from the molded membrane can also impair the function of the inlet and outlet valves, which further reduces the quality of the vacuum that can be achieved with the membrane pump.
- the stabilizing ribs are either aligned in the circumferential direction, that is to say arranged concentrically to the longitudinal axis of the membrane, or that they are aligned tangentially to the circumferential direction or somewhat obliquely to the circumferential direction, for example spirally.
- the ring area of the shaped membrane is supported both by the radial ribs and by the stabilizing ribs running transversely to it.
- the radial ribs can therefore be arranged at a sufficiently large distance from one another, so that there is a particularly flexible ring area which causes only comparatively little flexing work when the pump is in operation. Nevertheless, arching of the ring area and the associated vibrations, in particular also during the suction movement of the membrane and with large negative pressures, are effectively avoided.
- the membrane areas lying between the radial ribs are thus arranged in a targeted manner so that the ring area of the shaped membrane is flexible around a circumferential line, but has a comparatively great bending stiffness in a direction running transversely thereto.
- This results in a smoothly actuated molded membrane which converts only a very small proportion of the lifting energy applied into flexing work, and which nevertheless prevents vibrations and an impact on the molded membrane at top dead center on the adjacent pump chamber wall.
- the molded membrane has a longer service life and, on the other hand, the action of the valves of the membrane pump is not so quickly impaired by membrane particles rubbed off the molded membrane.
- the diaphragm pump according to the invention is therefore particularly suitable for use as a vacuum pump.
- the stabilizing ribs enable a significant reduction in the deformation of the membrane, especially in the area of the inlet and outlet openings of the pump chamber.
- An advantageous embodiment provides that a plurality of radially offset stabilizing ribs are arranged between adjacent radial ribs. The forces acting on the ring area under vacuum can then be absorbed even more evenly by the stabilizing ribs and via the radial ribs be introduced into the pump housing or the central region of the molded membrane.
- a further development of the invention provides that the bending moment of the radial ribs around a circumferential line of the shaped membrane is greater than that of an individual stabilizing rib around a radius of the shaped membrane crossing it.
- the radial ribs are thus designed to be more rigid than the stabilizing ribs, with several stabilizing ribs each interacting with and being supported on a common radial rib.
- the number of radial ribs can thus be reduced, so that there is a ring region which is flexible about a circumferential line but is nevertheless comparatively rigid about a diameter line and which despite low flexing work losses also enables good pumping speed even at working pressures in the displacement of just a few millibars.
- the greater bending moment of the radial ribs in comparison to the stabilizing ribs can be achieved particularly simply in that the height of the radial ribs oriented in the direction of the longitudinal axis of the membrane is greater than the height of at least one, in particular the stabilizing rib arranged on the outside in the radial direction.
- the stabilizing ribs are applied in the circumferential direction run around the underside of the membrane and cross or penetrate the radial ribs.
- At least the stabilizing rib of the ring region arranged on the inside in the radial direction points in the axial direction the molded membrane has a greater height than at least one stabilizing rib which is arranged further out in comparison to this.
- This also allows the stretching of the elastic membrane material to be reduced, which is particularly advantageous in the case of Teflon-coated molded membranes, since Teflon tends to crack easily due to its low elasticity.
- One embodiment provides that the underside of the stabilizing rib arranged on the inside in the radial direction connects approximately flush with the underside of the radial ribs.
- the rubber material used for the molded membrane can then flow better into the corner areas between the stabilizing and radial ribs during the vulcanization process.
- the thickness of the inner stabilizing rib oriented in the axial direction of the shaped membrane is approximately as large or somewhat smaller than the thickness of the outer edge region of the central region adjacent to this stabilizing rib. This results in a particularly smooth transition between the central area and the ring area, by means of which the mechanical stresses which occur in the molded membrane during operation of the membrane pump are reduced.
- the central area has a shoulder on the underside of the membrane, which forms a preferably stepped transition area to the ring area.
- a particularly smooth and favorable for the power flow transition between the central area and the ring area can be achieved in that the underside of the radial ribs connects flush with the underside of the shoulder and that the height of the radial ribs decreases radially outwards at least between the shoulder and the radial stabilizing rib .
- the stabilizing ribs which are preferably arranged at equal intervals radially offset from one another, form an approximately wavy profile in the radial direction with rounded transitions between the individual stabilizing ribs.
- a rectangular cross section viewed in the circumferential direction of the molding membrane is preferred in order to achieve greater flexural rigidity.
- a particularly advantageous embodiment provides that the central region narrows downward on its underside and is preferably approximately frustoconical in shape, that the central region has essentially radially-axially arranged stabilizing projections on its underside and that these protrude outward into the stabilizing ribs continue the ring area.
- the supporting forces transmitted from the stabilizing ribs to the radial ribs can then be better introduced into the central area, so that bending or arching of the ring area in the direction of the pumping space is counteracted even more effectively when the molding membrane is subjected to a vacuum.
- a diaphragm pump designated as a whole by 1 has a shaped diaphragm 2 made of elastic material, which is reinforced in its central region 3 in the stroke direction 4 and has a flexible ring region 5 around this central region 3. This is clamped on its outer circumference with a clamping edge 6 on the pump housing between the crankcase 7 and the pump head 8.
- a molded core 9 designed as a driver core is vulcanized into the molded membrane 2, and a connecting rod 11 engages the threaded connector 10, with which the molded membrane 2 can be deflected from an upper to a lower dead center position and vice versa.
- the pump head 8 has an inlet channel 12 and an outlet channel 13 for the medium to be pumped or suctioned, which each open into the pump chamber 16 delimited by the pump wall 14 of the pump head 8 and the membrane top 15.
- the inlet and outlet channels 12, 13 are provided in a known manner with inclusion or outlet valves, which are not shown in FIG. 1 for reasons of clarity.
- the membrane top 15 facing the pump chamber 16 in the central region 3 and the adjacent pump chamber wall 14 are geometrically adapted to one another. Both the pump chamber wall 14 and the molded membrane 2 are each spherical in their central area.
- the shaped membrane 2 has on its underside 17 facing away from the pump chamber 16 in the ring area 5 a total of 18 evenly over the Circumferential ribs 18 distributed around the circumference of the ring area 5, which are combined with four stabilizing ribs 19 that run concentrically and at equal intervals from one another on the underside 17 of the ring area 5.
- the support ribs 19 allow through the recesses between them, on which the shaped membrane 2 only one has a comparatively small wall thickness, a particularly flexible shaped membrane 2 around a circumferential line in the ring area 5, which converts only a very small proportion of the lifting energy applied into flexing work during the lifting movement.
- the stabilization ribs 19 have a comparatively high bending stiffness, so that the deflection or curvature of the ring region 5 in the direction of the pump chamber 16 is reduced under vacuum.
- the radial ribs 18 prevent the ring region 5 from bending excessively around a circumferential line of the shaped membrane 2 when subjected to negative pressure or vacuum in the pump chamber 16.
- the diaphragm pump 1 Due to the combination of the radial ribs 18 with the supporting ribs 19 running in the circumferential direction, the diaphragm pump 1 has an improved volumetric efficiency, particularly at low suction pressures, which results in a greater pumping speed.
- FIG. 5 shows the pumping speed curve 24 of the diaphragm pump 1 according to the invention in comparison to the pumping speed curve 25 of the diaphragm pump previously known from DE-PS 40 07 932 C2, which, although radial ribs 18, but has no stabilizing ribs 19 oriented in the circumferential direction.
- the pumping speed in liters per hour is plotted as a function of the suction pressure of the diaphragm pump 1, which is given in absolute terms in millibars.
- FIG. 5 shows that the diaphragm pump 1, which is equipped with radial and stabilizing ribs, has a significantly improved pumping speed compared to the diaphragm pump which has only radial ribs 18, especially at suction pressures below 10 mbar.
- the minimum negative pressure against which the diaphragm pump 1 can still draw is reduced by about a third compared to the previously known diaphragm pump.
- the diaphragm pump 1 according to the invention is therefore even more suitable as a vacuum pump and can in particular also be used as a backing pump for a turbo-molecular pump.
- the stabilizing ribs 19 combined with the radial ribs 18 also reduce vibrations in the molded membrane 2, which can lead to the molded membrane 2 bumping against the adjacent pump chamber wall 14. This results on the one hand in a longer service life of the membrane, which is particularly advantageous in the case of relatively expensive, Teflon-coated molded membranes, and on the other hand also an impairment of the function of the inlet and outlet valves due to the wear of the molded membrane 2 when it hits the pump chamber wall 14 Particles largely avoided.
- a total of four concentric stabilizing ribs 19 are arranged on the underside 17 of the ring area 5.
- the stabilizing ribs 19 run closed on the underside of the membrane 17 and cross the radial ribs 18. The membrane forces can thereby be transmitted particularly well from the stabilizing ribs 19 to the radial ribs 18. Because everyone Radial rib 18 supports a plurality of stabilizing ribs 19, the bending moment of the radial ribs 18 around a circumferential line of the shaped membrane 2 is greater than that of the individual stabilizing ribs 19 around a diameter line of the shaped membrane 2. For this purpose, the radial ribs 18 have a greater height a than the height b three outer stabilizing ribs 19.
- the inner stabilizing rib 19 has a greater height c than the height b of the outer stabilizing ribs 19. This results in the lifting movement of the molded membrane 2 in the transition region between Ring and central area a more uniform load on the elastic membrane material. If necessary, additional gradations can be provided for the height of the individual stabilizing ribs 19, this height becoming smaller and smaller as the distance from the central region 3 increases.
- the height c of the inner stabilization ribs 19 is preferably chosen to be somewhat smaller than the thickness d of the outer edge of the central region 3 adjacent to these stabilization ribs 19.
- a shoulder 20 is provided on the outer edge of the central area 3, which forms the transition to the ring area 5.
- the thickness d of this shoulder 20 corresponds approximately to four times the height b of the outer stabilizing ribs 19.
- the thickness of the ring region at the highest point of the inner stabilizing rib 19 is somewhat smaller than the thickness d of the shoulder 20.
- the radial ribs 18 go along their inner, the longitudinal central axis 21 facing the molding membrane 2 directly into the shoulder 20 and extend with its outer end region into the thickened clamping edge 6.
- the radial ribs 18 between the inner stabilizing rib 19 and the shoulder 20 are chamfered on their underside, so that in this area the height of the radial ribs 18 radially outwards decreases.
- the radial ribs 18 have a constant rib height between the inner stabilizing rib 19 and the clamping edge 6.
- the stabilizing ribs 19, which are offset with respect to one another, have an approximately wavy profile in the radial direction with rounded transitions.
- the flow of force in the form membrane 2 is thereby to be distributed particularly uniformly over the available material cross section.
- a rectangular cross section is provided for the radial ribs 18, since these are practically only subjected to bending in the longitudinal direction.
- radially-axially arranged stabilizing projections 22 are provided on its underside, which extend from the flange 23 for the connecting rod 11 to the shoulder 20 and continue outward in the radial ribs 18 (FIG 1).
- this increases the rigidity of the central region 3 and, on the other hand, the supporting forces absorbed by the radial ribs 18 can be transmitted even better to the central region.
- annular intermediate membrane region 27 Radially inward from the shoulder 20 is an annular intermediate membrane region 27 which is arranged concentrically to the longitudinal axis 21 of the membrane and which has an approximately constant thickness both in the circumferential direction and along its radial extent.
- the radial width of this intermediate region 27 corresponds approximately to its thickness.
- Recesses 26 adjoin the intermediate region 27 radially inwards and between the Stabilizing projections 22 are arranged. In the area of these recesses 26, the shaped membrane 2 - viewed in the direction of the longitudinal central axis 21 - has an approximately 10% smaller thickness than in the intermediate area 27.
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
Description
- Die Erfindung bezieht sich auf eine Membranpumpe mit einer Formmembran aus elastischem Material, die in ihrem Zentralbereich in Hubrichtung verstärkt ist und um diesen herum einen flexiblen Ringbereich hat, der außenseitig mit einem Einspannrand am Pumpengehäuse gehalten ist, welche Formmembran mittels eines an ihrem Zentralbereich angreifenden Pleuels oder dergleichen Hubvorrichtung von einer oberen in eine untere Totpunktlage und umgekehrt auslenkbar ist, wobei insbesondere die dem Pumpraum zugewandte Membranoberseite im Zentralbereich sowie die benachbarte Wandung des Pumpraumes geometrisch aneinander angepaßt sind und an der dem Pumpraum abgewandten Membranunterseite zumindest im Ringbereich Radialrippen zur Stabilisierung vorgesehen sind.
- Aus DE 40 07 932 C2 ist bereits eine solche Membranpumpe bekannt, bei der die der Formmembran zugewandte Wandung des Pumpraumes in ihrem zentralen Bereich etwa kugelförmig ausgebildet ist und die Formmembran in ihrem zugehörigen Zentralbereich bezüglich ihrer Oberseite geometrisch an diesen kugelförmigen Pumpraumbereich angepaßt ist, so daß die Formmembran sich mit ihrer Oberseite in der oberen Totpunktlage zumindest in ihrem Zentralbereich wenigstens nahezu vollständig an die Wandung des Pumpraumes anschmiegt. Damit die während des Pumpens in der Formmembran auftretende Walkarbeit möglichst klein gehalten werden kann und die Membranpumpe beim Förderhub dennoch ein ausreichendes Ansaugvolumen aufweist, ist der Ringbereich der Formmembran vergleichsweise dünn und flexibel ausgebildet, während der Zentralbereich in Hubrichtung verstärkt ist, um bei der Hubbewegung eine Art Kolbenwirkung zu erzielen.
- Um bei einer Verwendung dieser, vorzugsweise als Vakuum-Pumpe eingesetzten Memranepumpen, während des Betriebs der Pumpe - insbesondere beim Saughub - die Gefahr einer Durchwölbung der Formmembran in Richtung der benachbarten Pumpraumwand zu vermindern, weist die vorbekannte Membranpumpe an der Unterseite des Ringbereichs Radialrippen auf, die diesen stabilisieren sollen.
Obwohl sich solche mit Radialrippen ausgestatteten Formmembranen in der Praxis in vielerlei Hinsicht bewährt haben, so hat sich doch gezeigt, daß besonders bei Vakuumpumpen, die als Vorpumpen für Turbo-Molekularpumpen verwendet werden, ein unerwünschtes Durchwölben der Membran nur dann in ausreichendem Maße verhindert werden kann, wenn an der Unterseite des Ringbereichs eine Vielzahl von Radialrippen dicht benachbart zueinander angeordnet sind. Dies hat jedoch den Nachteil, daß die Flexibilität des Ringbereichs entsprechend verringert wird, wodurch sich die Walkarbeit, die Erwärmung der Membran und der damit verbundene Verschleiß der Membrane erhöhen. - Sind die Radialrippen dagegen soweit voneinander beabstandet angeordnet, daß die Membrane im Ringbereich eine ausreichende Flexibilität aufweist, kommt es zu einem zu starken Durchwölben des Ringbereichs, so daß bei niedrigen Saugdrücken der volumetrische Wirkungsgrad und das Saugvermögen der Pumpe entsprechend verringert ist. Außerdem können Schwingungen in der Membrane auftreten, die einerseits zu einer Erwärmung der Formmembran führen und andererseits aber auch ein Anstossen der Formmembran an der benachbarten Pumpraumwand verursachen können. Ein Anstoßen der Formmembran an der Pumpraumwand ist vor allem auch deshalb unerwünscht, da dies es außer zu einer erhöhten Geräuschentwicklung auch zu einem vorzeitigen Verschleiß der Formmembran führt. Dabei können von der Formmembran abgetragene Partikel auch die Funktion der Ein- und Auslaßventile beeinträchtigen, was die Qualität des mit der Membranepumpe erzielbare Vakuums zusätzlich vermindert.
- Es besteht deshalb die Aufgabe, eine Membranpumpe der eingangs genannten Art zu schaffen, bei welcher der Ringbereich der Formmembran flexibel genug ist, um eine möglichst leichtgängige Hubbewegung mit nur geringen Walkarbeitsverlusten zu ermöglichen, bei der aber dennoch die Verformungen des Ringbereichs der Membran unter Vakuum minimiert sind, so daß das Saugvermögen der Membranpumpe entsprechend verbessert ist.
- Die Lösung dieser Aufgabe besteht bei einer Membranpumpe der eingangs genannten Art darin, daß an der Unterseite des Ringbereichs zwischen benachbarten Radialrippen wenigstens eine im wesentlichen in Umfangsrichtung verlaufende Stabilisierungsrippe angeordnet ist.
- Dabei wird unter im wesentlichen in Umfangsrichtung verlaufend verstanden, daß die Stabilisierungsrippen entweder in Umfangsrichtung ausgerichtet sind, also konzentrisch zu Membrane-Längsachse angeordnet sind, oder daß sie tangental zur Umfangsrichtung ausgerichtet oder etwas schräg zur Umfangsrichtung, beispielsweise spiralförmig verlaufen. Der Ringbereich der Formmenbran wird also bei der erfindungsgemäßen Membranpumpe sowohl durch die Radialrippen, als auch durch die quer dazu verlaufenden Stabilisierungsrippen gestützt. Die Radialrippen können deshalb in einem ausreichend großen Abstand zueinander angeordnet werden, so daß sich ein besonders flexibler Ringbereich ergibt, der beim Betrieb der Pumpe nur eine vergleichsweise geringe Walkarbeit verursacht. Dennoch werden ein Durchwölben des Ringbereichs sowie die damit einhergehenden Schwingungen, insbesondere auch bei der Saugbewegung der Membran und bei großen Unterdrücken, wirkungsvoll vermieden.
- Die zwischen den Radialrippen liegenden Membranbereiche werden also Die Stabilisierungsrippen sind also gezielt so angeordnet, daß der Ringbereich der Formmembran um eine Umfangslinie flexibel ist, jedoch in einer quer dazu verlaufenden Richtung eine vergleichsweise große Biegesteifigkeit aufweist. Somit ergibt sich eine leichtgängig betätigbare Formmembran, die nur einen sehr kleinen Anteil der aufgebrachten Hubenergie in Walkarbeit umsetzt und bei der dennoch Schwingungen sowie ein Anstoßen der Formmembran im oberen Totpunkt an die benachbarte Pumpraumwand vermieden werden. Die Formmembran weist dadurch einerseits eine höhere Lebensdauer auf und andererseits wird die Wirkung der Ventile der Membranpumpe nicht so schnell durch von der Formmembran abgeriebene Membranpartikel beeinträchtigt. Vorteilhaft ist auch, daß durch die geringe Durchwölbung des Ringbereichs während der Saug- beziehungsweise Hubbewegung der volumetrische Wirkungsgrad und das Saugvermögen der Membranpumpe insbesondere bei niedrigen Drücken verbessert wird. Die erfindungsgemäße Membranpumpe eignet sich deshalb besonders für eine Verwendung als Vakuumpumpe. Dabei ermöglichen die Stabilisierungsrippen speziell im Bereich der Einlaß- und Auslaßöffnung des Pumpraumes eine deutliche Reduzierung der Verformung der Membran.
- Eine vorteilhafte Ausführungsform sieht vor, daß zwischen benachbarten Radialrippen mehrere, radial zueinander versetzte Stabilisierungsrippen angeordnet sind. Die auf den Ringbereich unter Vakuum einwirkenden Kräfte können dann noch gleichmäßiger von den Stabilisierungsrippen aufgenommen und über die Radialrippen in das Pumpengehäuse beziehungsweise den Zentralbereich der Formmembran eingeleitet werden.
- Eine Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß das Biegemoment der Radialrippen um eine Umfangslinie der Formmembran jeweils größer ist als das einer einzelnen Stabilisierungsrippe um einen diese kreuzenden Radius der Formmembran. Die Radialrippen sind also biegesteifer ausgeführt als die Stabilisierungsrippen, wobei jeweils mehrere Stabilisierungsrippen mit einer gemeinsamen Radialrippe zusammenwirken und an dieser abgestützt sind. Die Anzahl der Radialrippen kann somit reduziert werden, so daß sich ein um eine Umfangslinie flexibler, aber dennoch um eine Durchmesserlinie vergleichsweise biegesteifer Ringbereich ergibt, der trotz geringer Walkarbeitsverluste auch bei Arbeitsdrücken im Hubraum von nur wenigen Millibar noch ein gutes Saugvermögen ermöglicht.
- Das im Vergleich zu den Stabilisierungsrippen größere Biegemoment der Radialrippen kann besonders einfach dadurch erzielt werden, daß die in Richtung der Membran-Längsachse orientierte Höhe der Radialrippen größer ist als die Höhe wenigstens einer, insbesondere der in Radialrichtung außen angeordneten Stäbilisierungsrippe.
- Damit die Membrankräfte besonders gut von den Stabilisierungsrippen auf die Radialrippen übertragen werden können und von dort einerseits radial nach innen in den Zentralbereich der Formmembran und andererseits aber auch radial nach außen in das Pumpengehäuse eingeleitet werden können, ist es vorteilhaft, wenn die Stabilisierungsrippen in Umfangsrichtung an der Membranunterseite geschlossen umlaufen und die Radialrippen kreuzen bzw. durchdringen.
- Zweckmäßigerweise weist zumindest die in Radialrichtung innen angeordnete Stabilisierungsrippe des Ringbereichs in Axialrichtung der Formmembran eine größere Höhe auf, als wenigstens eine im Vergleich dazu weiter außen angeordnete Stabilisierungsrippe. Dadurch ergibt sich ein gleichmäßiger Übergang von dem vergleichsweise dünnen Ringbereich zu dem in Hubrichtung verstärkten Zentralbereich der Formmembran, so daß die Zug- und Druckspannungen in der Formmembran möglichst gleichmäßig verteilt werden. Dadurch kann auch die Dehnung des elastischen Membran-Materials reduziert werden, was insbesondere bei teflonbeschichteten Formmembranen vorteilhaft ist, da Teflon aufgrund seiner geringen Elastizität leicht zu Rißbildung neigt.
- Eine Ausführungsform sieht vor, daß die Unterseite der in Radialrichtung innen angeordneten Stabilisierungsrippe etwa bündig an die Unterseite der Radialrippen anschließt. Das für die Formmembran verwendete Kautschuk-Material kann dann während des Vulkanisationsprozesses besser in die Eckbereiche zwischen den Stabilisierungs- und den Radialrippen fließen.
- Zweckmäßig ist, wenn die in Axialrichtung der Formmembran orientierte Dicke der inneren Stabilisierungsrippe etwa genau so groß oder etwas kleiner ist als die Dicke des dieser Stabilisierungsrippe benachbarten äußeren Randbereichs des Zentralbereichs. Dadurch ergibt sich ein besonders gleichmäßiger Übergang zwischen dem Zentralbereich und dem Ringbereich, durch den die während des Betriebs der Membranpumpe in der Formmembran auftretenden mechanischen Spannungen reduziert werden.
- Eine vorteilhafte Ausführungsform sieht vor, daß der Zentralbereich an der Membranunterseite einen Absatz aufweist, der einen vorzugsweise stufenförmig ausgebildete Übergangsbereich zum Ringbereich bildet. Für die Übertragung der insbesondere bei Vakuumpumpen in der Formmembran auftretenden Zugkräfte vom Ringbereich auf den Zentralbereich der Formmembran steht dann im Zentralbereich trotz des in diesem Bereich verkleinerten Membrandurchmessers eine ausreichende Krafteinleitungsfläche zur Verfügung, so daß die in diesem Bereich auftretenden Zugspannungen reduziert sind.
- Ein besonders gleichmäßiger und für den Kraftfluß günstiger Übergang zwischen Zentralbereich und Ringbereich kann dadurch erreicht werden, daß die Unterseite der Radialrippen bündig die Unterseite des Absatzes anschließt und daß die Höhe der Radialrippen zumindest zwischen dem Absatz und der in Radialrichtung inneren Stabilisierungsrippe radial nach außen hin abnimmt.
- Um einen noch günstigeren und homogenen Kraftfluß in dem Ringbereich der Membran zu ermöglichen, ist vorgesehen, daß die vorzugsweise in gleichen Abständen radial zueinander versetzt angeordneten Stabilisierungsrippen in Radialrichtung ein etwa wellenförmiges Profil mit gerundeten Übergängen zwischen den einzelnen Stabilisierungsrippen bilden. Für die Stabilisierungsrippen und/oder die Stabilisierungsvorsprünge wird dagegen ein in Umfangsrichtung der Formmenbran gesehen rechteckiger Querschnitt bevorzugt, um eine größere Biegesteifigkeit zu erreichen.
- Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform sieht vor, daß sich der Zentralbereich an seiner Unterseite nach unten hin verengt und dort vorzugsweise etwa kegelstumpfförmig ausgebildet ist, daß der Zentralbereich an seiner Unterseite im wesentlichen radial-axial angeordnete Stabilisierungsvorsprünge aufweist und daß sich diese nach außen hin in den Stabilisierungsrippen des Ringbereichs fortsetzen. Die von den Stabilisierungsrippen auf die Radialrippen übertragenen Stützkräfte können dann besser in den Zentralbereich eingeleitet werden, so daß einem Durchbiegen oder Wölben des Ringbereichs in Richtung des Pumpraumes bei Beaufschlagung der Formmembran mit Vakuum noch wirkungsvoller entgegengewirkt wird.
- Als besonders günstig für das Saugvermögen der Membranpumpe hat sich in der Praxis erwiesen, wenn die Radialrippen etwa im Abstand von 20° zueinander versetzt gleichmäßig über den Umfang der Formmembran verteilt angeordnet sind und wenn jeweils zwischen benachbarten Radialrippen vier radial zueinander versetzte Stabilisierungsrippen vorgesehen sind.
- Nachfolgend ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert.
- Es zeigen in unterschiedlichen Maßstäben und zum Teil stärker schematisiert:
- Fig. 1
- eine im Schnitt gehaltene Teilansicht einer Membranpumpe mit einer Formmembran, deren äußerer Membran-Randbereich zwischen dem Kurbelgehäuse der Membranpumpe und dem Pumpenkopf eingespannt ist und die mit einem nur teilweise dargestellten Pleuel in Antriebsverbindung steht,
- Fig. 2
- eine Ansicht auf die Unterseite der Formmembran nach Figur 1, welche die in Umfangsrichtung verlaufenden Stabilisierungsrippen sowie die Radialrippen des Ringbereichs besonders gut erkennen lassen, welche sich nach innen hin in den Stabilisierungsvorsprüngen des Zentralbereichs fortsetzen,
- Fig. 3
- eine Seitenansicht der in Figur 1 gezeigten Formmembran in Ruhestellung, wobei der Ringbereich teilweise im Schnitt dargestellt ist, damit die Anordnung der Stabilisierungsrippen sichtbar ist,
- Fig. 4
- eine Detailvergrößerung des in Figur 3 mit X gekennzeichneten Membranebereichs, wobei die unterschiedliche Höhe der einzelnen Stabilisierungsrippen und der Absatz des Zentralbereichs besonders gut erkennbar sind, der den Übergang zum Ringbereich bildet und
- Fig. 5
- das Saugvermögen der erfindungsgemäßen Membranpumpe als Funktion des Saugdruckes, wobei zum Vergleich auch die Saugvermögenskurve der aus DE-40 07 932 C2 vorbekannten Membranepumpe in das Diagramm eingezeichnet ist.
- Eine im ganzen mit 1 bezeichnete Membranpumpe (Fig. 1) weist eine Formmembran 2 aus elastischem Material auf, die in ihrem Zentralbereich 3 in Hubrichtung 4 verstärkt ist und um diesen Zentralbereich 3 herum einen flexiblen Ringbereich 5 hat. Dieser ist an seinem Außenumfang mit einem Einspannrand 6 am Pumpengehäuse zwischen dem Kurbelgehäuse 7 und dem Pumpenkopf 8 eingespannt. In die Formmembran 2 ist ein als Mitnehmerkern ausgebildeter Formkern 9 einvulkanisiert, an dessen Gewindestutzen 10 ein Pleuel 11 angreift, mit dem die Formmembran 2 aus einer oberen in eine untere Totpunktlage und umgekehrt auslenkbar ist. Der Pumpenkopf 8 weist einen Einlaßkanal 12 und einen Auslaßkanal 13 für das zu fördernde oder abzusaugende Medium auf, die jeweils in den durch die Pumpenwand 14 des Pumpenkopfs 8 und die Membranoberseite 15 begrenzten Pumpraum 16 einmünden. Die Einund Auslaßkanäle 12, 13 sind in bekannter Weise mit Einbeziehungsweise Auslaßventilen versehen, die aus Gründen der Übersichtlichkeit in Figur 1 nicht dargestellt sind.
- Um in der oberen Totpunktstellung der Formmembran 2 eine möglichst kleinen Totraum zu erreichen, sind die dem Pumpraum 16 zugewandte Membranoberseite 15 im Zentralbereich 3 sowie die benachbarte Pumpraumwand 14 geometrisch aneinander angepaßt. Dabei sind sowohl die Pumpraumwand 14, als auch die Formmembran 2 jeweils in ihrem zentralen Bereich kugelförmig ausgebildet.
- Die Formmembran 2 weist an ihrer dem Pumpraum 16 abgewandten Unterseite 17 im Ringbereich 5 insgesamt 18 gleichmäßig über den Umfang des Ringbereichs 5 verteilte Radialrippen 18 auf, die kombiniert sind mit vier konzentrisch und in gleichen Abständen voneiander an der Unterseite 17 des Ringbereichs 5 umlaufenden Stabilisierungsrippen 19. Dabei ermöglichen die Stützrippen 19 durch die zwischen ihnen befindlichen Aussparungen, an denen die Formmembran 2 nur eine vergleichsweise geringe Wandstärke aufweist, eine um eine Umfangslinie im Ringbereich 5 besonders flexible Formmembran 2, die bei der Hubbewegung nur einen sehr kleinen Anteil der aufgebrachten Hubenergie in Walkarbeit umsetzt.
- Um eine Durchmesserlinie weisen die Stabiliserungsrippen 19 dagegen eine vergleichsweise hohe Biegesteifigkeit auf, so daß unter Vakuum die Durchbiegung oder die Wölbung des Ringbereichs 5 in Richtung des Pumpraums 16 vermindert ist. Zusätzlich verhindern die Radialrippen 18, daß sich der Ringbereich 5 unter Beaufschlagung mit Unterdruck oder Vakuum im Pumpraum 16 um eine Umfangslinie der Formmembran 2 unzulässig stark krümmt.
- Die während des Betriebs der Membranpumpe 1 an dem Ringbereich 5 angreifenden Kräfte werden also durch die Stabilisierungsrippen 19 in Umfangsrichtung abgestützt und dadurch auf die Radialrippen 18 übertragen, die wiederum einerseits die Kräfte nach außen in das Pumpengehäuse abführen und andererseits diese aber auch nach innen hin in den im Vergleich zum Ringbereich 5 wesentlich dicker und daher besonders formstabil ausgebildeten Zentralbereich 3 einleiten.
- Durch die Kombination der Radialrippen 18 mit den Umfangsrichtung verlaufenden Stützrippen 19 weist die Membranpumpe 1 besonders bei niedrigen Ansaugdrücken einen verbesserten volumetrischen Wirkungsgrad auf, der in einem größeren Saugvermögen resultiert.
- Figur 5 zeigt die Saugvermögenskurve 24 der erfindungsgemäßen Membranpumpe 1 im Vergleich zu der Saugvermögenskurve 25 der aus DE-PS 40 07 932 C2 vorbekannten Membranpumpe, die zwar Radialrippen 18, jedoch keine in Umfangsrichtung orientierten Stabilisierungsrippen 19 aufweist. Aufgetragen ist das Saugvermögen in Liter pro Stunde als Funktion des in Millibar absolut angegebenen Ansaugdrucks der Membranpumpe 1.
- Figur 5 läßt erkennen, daß die mit Radial- und Stabilisierungsrippen ausgestattete Membranpumpe 1 gegenüber der nur Radialrippen 18 aufweisenden Membranpumpe besonders bei Ansaugdrücken unterhalb von 10 mbar absolut ein deutlich verbessertes Saugvermögen aufweist. Außerdem ist der Mindest-Unterdruck, gegen den die Membranpumpe 1 gerade noch ansaugen kann, gegenüber der vorbekannten Membranpumpe um etwa ein Drittel vermindert. Die erfindungsgemäße Membranpumpe 1 eignet sich deshalb noch besser als Vakuumpumpe und kann insbesondere auch als Vorpumpe für eine Turbo-Molekularpumpe verwendet werden.
- Erwähnt werden soll noch, daß durch die mit den Radialrippen 18 kombinierten Stabilisierungsrippen 19 auch Schwingungen in der Formmembran 2, die zu einem Anstoßen der Formmembran 2 an die benachbarte Pumpraumwand 14 führen können, verringert werden. Dadurch ergibt sich einerseits eine größere Lebensdauer der Membran, was besonders bei relativ teuren, teflon-beschichteten Formmembranen vorteilhaft ist, und andererseits wird aber auch eine Beeinträchtigung der Funktion der Ein- und Auslaßventile durch bei einem Anstoßen an der Pumpraumwand 14 von der Formmembran 2 abgetragene Partikel weitestgehend vermieden.
- Damit die an der Formmembran 2 angreifenden Betriebskräfte möglichst gleichmäßig abgestützt werden können, sind an der Unterseite 17 des Ringbereichs 5 insgesamt vier konzentrische und gleichmäßig voneinander beabstandete Stabilisierungsrippen 19 angeordnet. Die Stabilisierungsrippen 19 laufen an der Membran-Unterseite 17 geschlossen um und kreuzen die Radialrippen 18. Die Membrankräfte können dadurch besonders gut von den Stabilisierungsrippen 19 auf die Radialrippen 18 übertragen werden. Da jede Radialrippe 18 jeweils mehrere Stabilisierungsrippen 19 abstützt, ist das Biegemoment der Radialrippen 18 um eine Umfangslinie der Formmembran 2 jeweils größer als das der einzelnen Stabilisierungsrippen 19 um eine Durchmesserlinie der Formmembran 2. Die Radialrippen 18 weisen dazu eine größere Höhe a auf als die Höhe b der drei äußeren Stabilisierungsrippen 19 auf.
- Um den Übergang zu dem im Vergleich zu dem Ringbereich 5 dicker ausgebildeten Zentralbereich 3 gleichmäßiger zu gestalten, weist die innere Stabilisierungsrippe 19 eine größere Höhe c auf als die Höhe b der äußeren Stabilisierungsrippen 19. Dadurch ergibt sich bei der Hubbewegung der Formmembran 2 im Übergangsbereich zwischen Ring- und Zentralbereich eine gleichmäßigere Belastung des elastischen Membranmaterials. Gegebenenfalls können für die Höhe der einzelnen Stabilisierungsrippen 19 zusätzliche Abstufungen vorgesehen sein, wobei diese Höhe mit zunehmendem Abstand vom Zentralbereich 3 immer kleiner wird. Dabei ist die Höhe c der inneren Stäbilisierungsrippen 19 vorzugsweise etwas kleiner gewählt als die Dicke d des diesen Stabilisierungsrippen 19 benachbarten Außenrands des Zentralbereichs 3.
- Damit die mechanischen Spannungen am Außenrand des Zentralbereichs 3 trotz des an dieser Stelle bereits vergleichsweise kleinen Membrandurchmessers auf einen ausreichend großen Materialquerschnitt verteilt werden können, ist am Außenrand des Zentralbereichs 3 ein Absatz 20 vorgesehen, der den Übergang zum Ringbereich 5 bildet. Die Dicke d dieses Absatzes 20 entspricht etwa der vierfachen Höhe b der äußeren Stabilisierungsrippen 19. Die Dicke des Ringbereichs an der höchst Stelle der inneren Stabilisierungsrippe 19 ist etwas kleiner als die Dicke d des Absatzes 20. Die Radialrippen 18 gehen an ihrem inneren, der Längsmittelachse 21 der Formmembran 2 zugewandten Ende unmittelbar in den Absatz 20 über und reichen mit ihrem äußeren Endbereich bis in den verdickt ausgebildeten Einspannrand 6.
- Damit die an dem Ringbereich 5 angreifende Betriebskräfte noch besser in den Zentralbereich 3 abgeleitet werden können, sind die Radialrippen 18 zwischen der inneren Stabilisierungsrippe 19 und dem Absatz 20 an ihrer Unterseite abgeschrägt, so daß in diesem Bereich die Höhe der Radialrippen 18 radial nach außen hin abnimmt. Zwischen der inneren Stabilisierungsrippe 19 und dem Einspannrand 6 weisen die Radialrippen 18 dagegen eine konstante Rippenhöhe auf.
- Wie aus Figur 4 besonders gut erkennbar ist, haben die zueinander versetzt angeordneten Stabilisierungsrippen 19 in Radialrichtung ein etwa wellenförmiges Profil mit gerundeten Übergängen. Der Kraftfluß in der Fornmembran 2 soll dadurch besonders gleichmäßig auf dem zur Verfügung stehenden Materialquerschnitt verteilt werden. Für die Radialrippen 18 ist dagegen ein rechteckiger Querschnitt vorgesehen, da diese praktisch nur in Längsrichtung auf Biegung beansprucht werden.
- Um einen möglichst leichten und materialsparenden Zentralbereich 3 zu ermöglichen, sind an dessen Unterseite radial-axial angeordnete Stabilisierungsvorsprünge 22 vorgesehen, die von dem Flansch 23 für das Pleuel 11 bis an den Absatz 20 reichen und sich nach außen hin in den Radialrippen 18 fortsetzen (Figur 1). Dadurch wird einerseits die Formsteifigkeit des Zentralbereichs 3 erhöht und andererseits können aber auch die von den Radialrippen 18 aufgenommenen Stützkräfte noch besser auf den Zentralbereich übertragen werden.
- An den Absatz 20 schließt sich radial nach innen ein kreisringförmiger, konzentrisch zur Membranelängsachse 21 angeordneter Membrane-Zwischenbereich 27 an, der sowohl in Umfangsrichtung, als auch entlang seiner Radialerstreckung eine etwa konstante Dicke aufweist. Die radiale Breite dieses Zwischenbereichs 27 entspricht etwa seiner Dicke. An den Zwischenbereich 27 schließen sich radial nach innen hin Aussparungen 26 an, die zwischen den Stabilisierungsvorsprüngen 22 angeordnet sind. Im Bereich dieser Aussparungen 26 weist die Formmembrane 2 - in Richtung der Längsmittelachse 21 betrachtet - eine etwa 10% geringere Dicke auf als im Zwischenbereich 27.
Claims (14)
- Membranpumpe (1) mit einer Formmembran (2) aus elastischem Material, die in ihrem Zentralbereich (3) in Hubrichtung (4) verstärkt ist und um diesen herum einen flexiblen Ringbereich (5) hat, der außenseitig mit einem Einspannrand (6) am Pumpengehäuse gehalten ist, welche Formmembran (2) mittels eines an ihrem Zentralbereich (3) angreifenden Pleuels (11) oder dergleichen Hubvorrichtung von einer oberen in eine untere Totpunktlage und umgekehrt auslenkbar ist, wobei insbesondere die dem Pumpraum (16) zugewandte Membran-Oberseite (15) im Zentralbereich (3) sowie die benachbarte Pumpraumwand (14) geometrisch aneinander angepaßt sind und an der dem Pumpraum (16) abgewandten Membran-Unterseite (17) zumindest im Ringbereich (5) Radialrippen (18) zur Stabilisierung vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß an der Unterseite (17) des Ringbereichs (5) zwischen benachbarten Radialrippen (18) wenigstens eine im wesentlichen in Umfangsrichtung verlaufende Stabilisierungsrippe (19) angeordnet ist.
- Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen benachbarten Radialrippen (18) mehrere, radial zueinander versetzte Stabilisierungsrippen (19) angeordnet sind.
- Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Biegemoment der Radialrippen (18) um eine Umfangslinie der Formmembran (2) jeweils größer ist als das einer einzelnen Stabilisierungsrippe (19) um einen diese kreuzenden Radius der Formmembran (2).
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die in Richtung der Membran-Längsachse (21) orientierte Höhe (a) der Radialrippen größer ist als die Höhe (b) wenigstens einer, insbesondere der in Radialrichtung außen angeordneten Stabilisierungsrippe (19).
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stabilisierungsrippen (19) in Umfangsrichtung an der Membranunterseite (17) geschlossen umlaufen und die Radialrippen (18) kreuzen.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die in Radialrichtung innen angeordnete Stabilisierungsrippe (19) des Ringbereichs (5) in Axialrichtung der Formmembran (2) eine größere Höhe (c) aufweist als wenigstens eine im Vergleich dazu weiter außen angeordnete Stabilisierungsrippe (19).
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterseite der in Radialrichtung innen angeordneten Stabilisierungsrippe (19) etwa bündig an die Unterseite der Radialrippe (18) anschließt.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die in Axialrichtung der Formmembran (2) orientierte Dicke (c) der inneren Stabilisierungsrippe (19) etwa genau so groß oder etwas kleiner ist als die Dicke (d) des dieser Stabilisierungsrippe (19) benachbarten äußeren Randbereichs des Zentralbereichs (3).
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterseite der Radialrippen (18) bündig an die Unterseite des Absatzes (20) anschließt und daß die Höhe der Radialrippen (18) zumindest zwischen dem Absatz (20) und der in Radialrichtung inneren Stabilisierungsrippe (19) radial nach außen abnimmt.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterseite der Radialrippen (18) an die Unterseite des Absatzes (20) anschließt und daß die Höhe der Radialrippen (18) zumindest zwischen dem Absatz (20) und der in Radialrichtung inneren Stabilisierungsrippe (19) radial nach außen hin abnimmt.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die vorzugsweise in gleichen Abständen radial zueinander versetzt angeordneten Stabilisierungsrippen (19) in Radialrichtung etwa ein wellenförmiges Profil mit gerundeten Übergängen zwischen den einzelnen Stabilisierungsrippen (19) bildet.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Zentralbereich (3) an seiner Unterseite (17) nach unten hin verengt und dort vorzugsweise etwa kegelstumpfförmig ausgebildet ist, daß der Zentralbereich (3) an seiner Unterseite (17) im wesentlichen radialaxial angeordnete Stabilisierungsvorsprünge (22) aufweist und daß sich diese nach außen hin in den Stabilisierungsrippen (17) des Ringbereichs (5) fortsetzen.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Stabilisierungsrippen (19) und/oder die Stabilisierungsvorsprünge (22) in Umfangsrichtung der Formmembran (2) gesehen einen etwa rechteckigen Querschnitt aufweisen.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Radialrippen (18) etwa im Abstand von 20° zueinander versetzt gleichmäßig über den Umfang der Formmembran (2) verteilt angeordnet sind und daß jeweils zwischen benachbarten Radialrippen (18) vier radial zueinander versetzte Stabilisierungsrippen (19) vorgesehen sind.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19510828 | 1995-03-24 | ||
| DE19510828A DE19510828C2 (de) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | Membranpumpe mit einer Formmembran |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| EP0733802A1 true EP0733802A1 (de) | 1996-09-25 |
| EP0733802B1 EP0733802B1 (de) | 1998-08-26 |
Family
ID=7757644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| EP96101648A Expired - Lifetime EP0733802B1 (de) | 1995-03-24 | 1996-02-06 | Membranpumpe mit einer Formmembran |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5699717A (de) |
| EP (1) | EP0733802B1 (de) |
| JP (1) | JPH08261156A (de) |
| DE (2) | DE19510828C2 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024115010A1 (de) * | 2022-12-01 | 2024-06-06 | Robert Bosch Gmbh | Membranpumpe |
Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE29612117U1 (de) * | 1996-07-11 | 1996-09-12 | ASF THOMAS Industries GmbH, 82178 Puchheim | Membrane für eine Membranpumpe |
| DE19647882A1 (de) * | 1996-11-20 | 1998-05-28 | Knf Neuberger Gmbh | Membranpumpe |
| US6067893A (en) * | 1998-03-10 | 2000-05-30 | Westinghouse Air Brake Company | Ribbed diaphragm |
| DE19906317C1 (de) * | 1999-02-16 | 2000-10-19 | Knf Flodos Ag Sursee | Membranpumpe |
| US6295918B1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-10-02 | John M. Simmons | Suspended diaphragm |
| DE50112760D1 (de) | 2001-01-02 | 2007-09-06 | Medela Holding Ag | Membranpumpe |
| DE10227192B4 (de) * | 2002-06-18 | 2009-08-06 | Ulman Dichtungstechnik Gmbh | Verbundmembran für Membranpumpen |
| DE10227193B4 (de) * | 2002-06-18 | 2007-05-10 | Ulman Dichtungstechnik Gmbh | Verbundmembran für Membranpumpen |
| US6748848B1 (en) * | 2002-12-11 | 2004-06-15 | Gits Manufacturing Company, Llc | Waste gate valve actuator |
| DE10312899A1 (de) | 2003-03-22 | 2004-10-07 | Knf Neuberger Gmbh | Membranpumpe |
| DE20307457U1 (de) * | 2003-05-13 | 2003-07-31 | GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG, 74653 Ingelfingen | Druckstück für ein Membranventil |
| ITTO20070440A1 (it) | 2007-06-20 | 2007-09-19 | Giorgio Tosini | Coperchio flessibile a tenuta contro gli agenti atmosferici. |
| US20090001638A1 (en) * | 2007-06-28 | 2009-01-01 | Semaan Gilbert A | Bellows structure |
| CA2722592C (en) | 2008-05-16 | 2016-05-03 | Joe Santa & Associates Pty Limited | A valve and diaphragm for a pump |
| DE202008007700U1 (de) * | 2008-06-10 | 2009-10-22 | Mann+Hummel Gmbh | Handpumpe zum Pumpen von Kraftstoff |
| CN104791226A (zh) * | 2014-01-16 | 2015-07-22 | 蔡应麟 | 隔膜增压泵的减震构造 |
| US20150198154A1 (en) * | 2014-01-16 | 2015-07-16 | Ying Lin Cai | Vibration-reducing structure for compressing diaphragm pump |
| CN104791235B (zh) * | 2014-01-16 | 2018-10-26 | 蔡应麟 | 隔膜增压泵的减震方法 |
| JP6080080B2 (ja) * | 2014-05-20 | 2017-02-15 | 蔡応麟 | 4圧縮チャンバダイアフラムポンプの振動低減構造 |
| US10173183B2 (en) | 2014-09-11 | 2019-01-08 | Flowserve Management Company | Diaphragm pump with improved tank recirculation |
| US9896829B2 (en) | 2014-09-12 | 2018-02-20 | Zurn Industries, Llc | Flush valve diaphragm |
| JP6412460B2 (ja) | 2015-04-14 | 2018-10-24 | 株式会社Soken | 走行路推定装置 |
| TWI659719B (zh) * | 2017-02-09 | 2019-05-21 | 瑞士商耐斯泰克公司 | 用於飲料製備模組之薄膜泵 |
| KR102734939B1 (ko) * | 2017-02-17 | 2024-11-28 | 한온시스템 주식회사 | 사판식 압축기의 리어 헤드 |
| US10677238B2 (en) * | 2017-11-08 | 2020-06-09 | Ingersoll-Rand Industrial U.S., Inc. | Filled resin layer separated pump housing |
| US10859540B2 (en) * | 2018-08-03 | 2020-12-08 | Chromatography Research Supplies, Inc. | Duckbill septum |
| DE102020126241B4 (de) * | 2020-10-07 | 2026-03-19 | Alfmeier Präzision SE | Membrananordnung mit um den Membrankörper umlaufendem Ring sowie Sitzanordnung und Pumpenanordnung |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0010943A1 (de) * | 1978-10-30 | 1980-05-14 | Jr. Alan Dean Tuck | Mit Arbeitsfluid angetriebene Membranpumpe |
| FR2482674A1 (fr) * | 1980-05-16 | 1981-11-20 | Wagner Gmbh J | Diaphragme pour pompes foulantes a haute pression, compresseurs ou analogues |
| DE4007932A1 (de) * | 1990-03-13 | 1991-09-19 | Knf Neuberger Gmbh | Membranpumpe mit einer formmembrane |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2840339A (en) * | 1953-05-13 | 1958-06-24 | Saunders Valve Co Ltd | Diaphragm valves and diaphragms therefor |
| US3135173A (en) * | 1961-10-26 | 1964-06-02 | Midland Ross Corp | Diaphragm |
| GB950678A (en) * | 1961-11-16 | 1964-02-26 | Nat Res Dev | Improvements in and relating to diaphragms and diaphragm-operated machines |
| US3911796A (en) * | 1973-02-12 | 1975-10-14 | Gates Rubber Co | Diaphragm |
| US3872777A (en) * | 1973-05-30 | 1975-03-25 | Berg Manufacturing Co | Diaphragm |
| US4270441A (en) * | 1978-10-30 | 1981-06-02 | Wilden Pump & Engineering Co. | Pump diaphragm |
| JPS59577B2 (ja) * | 1979-08-13 | 1984-01-07 | 新日本製鐵株式会社 | 冷延鋼帯の短時間連続焼鈍方法 |
| JPS60211052A (ja) * | 1984-04-03 | 1985-10-23 | Hitachi Ltd | プラスチック成型用型材およびその製造方法 |
| US5335584A (en) * | 1993-03-30 | 1994-08-09 | Baird Dayne E | Improved diaphragm |
| US5349896A (en) * | 1993-06-14 | 1994-09-27 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Pump diaphragm |
| DE4328559C5 (de) * | 1993-08-25 | 2004-11-25 | Knf-Neuberger Gmbh | Membranpumpe mit wenigstens zwei Membranen |
-
1995
- 1995-03-24 DE DE19510828A patent/DE19510828C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-02-06 DE DE59600466T patent/DE59600466D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-02-06 EP EP96101648A patent/EP0733802B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-20 US US08/618,959 patent/US5699717A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-22 JP JP8066714A patent/JPH08261156A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0010943A1 (de) * | 1978-10-30 | 1980-05-14 | Jr. Alan Dean Tuck | Mit Arbeitsfluid angetriebene Membranpumpe |
| FR2482674A1 (fr) * | 1980-05-16 | 1981-11-20 | Wagner Gmbh J | Diaphragme pour pompes foulantes a haute pression, compresseurs ou analogues |
| DE4007932A1 (de) * | 1990-03-13 | 1991-09-19 | Knf Neuberger Gmbh | Membranpumpe mit einer formmembrane |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024115010A1 (de) * | 2022-12-01 | 2024-06-06 | Robert Bosch Gmbh | Membranpumpe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19510828C2 (de) | 1998-12-24 |
| JPH08261156A (ja) | 1996-10-08 |
| DE59600466D1 (de) | 1998-10-01 |
| EP0733802B1 (de) | 1998-08-26 |
| US5699717A (en) | 1997-12-23 |
| DE19510828A1 (de) | 1996-09-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0733802B1 (de) | Membranpumpe mit einer Formmembran | |
| DE4328559C2 (de) | Membranpumpe mit wenigstens zwei Membranen | |
| EP1153218B1 (de) | Membranpumpe | |
| DE4007932C2 (de) | ||
| DE2713599C2 (de) | ||
| DE19634922C2 (de) | Membranpumpe | |
| EP0604740A1 (de) | Membranpumpe | |
| EP1525399B1 (de) | Membranpumpe | |
| DE60315785T2 (de) | Pumpe | |
| EP0731273A2 (de) | Kolben mit Kolbenstange | |
| EP1532366B1 (de) | Pumpe für ein hochdruckreinigungsgerät | |
| DE29505021U1 (de) | Membranpumpe mit einer Formmembran | |
| DE9406216U1 (de) | Membranpumpe mit einer Formmembran | |
| EP0112404B1 (de) | Zweizylinderdickstoffpumpe, vorzugsweise Betonpumpe | |
| EP0017789B1 (de) | Kolben-Zylinderanordnung | |
| WO1998022713A1 (de) | Membranpumpe | |
| CH704934B1 (de) | Vakuumventil. | |
| DE1085642B (de) | Kolbenkompressor zum Foerdern von gasfoermigem Medium | |
| CH359507A (de) | Verfahren für den Betrieb eines Labyrinthkolben-Kompressors und Kompressor zur Durchführung des Verfahrens | |
| DE102015006126A1 (de) | Exzenterscheibenstruktur für Verdichtungsmembranpumpe mit Mehrfachwirkungen | |
| EP0929743A1 (de) | Radialkolbenpumpe | |
| EP0263199B2 (de) | Membrankompressor | |
| DE102023115951A1 (de) | Statorauskleidung, Stator sowie Verfahren zum Herstellen einer Statorauskleidung | |
| DE10312898A1 (de) | Hubkolbenmaschine | |
| DE102016224715A1 (de) | Baukastenoptimierter pneumatischer Bremskraftverstärker |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PUAI | Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012 |
|
| AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): DE FR GB |
|
| 17P | Request for examination filed |
Effective date: 19960831 |
|
| 17Q | First examination report despatched |
Effective date: 19971014 |
|
| GRAG | Despatch of communication of intention to grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA |
|
| GRAG | Despatch of communication of intention to grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA |
|
| GRAG | Despatch of communication of intention to grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA |
|
| GRAH | Despatch of communication of intention to grant a patent |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA |
|
| GRAH | Despatch of communication of intention to grant a patent |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA |
|
| GRAA | (expected) grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210 |
|
| AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: B1 Designated state(s): DE FR GB |
|
| REF | Corresponds to: |
Ref document number: 59600466 Country of ref document: DE Date of ref document: 19981001 |
|
| ET | Fr: translation filed | ||
| GBT | Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977) |
Effective date: 19981215 |
|
| PLBE | No opposition filed within time limit |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261 |
|
| STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT |
|
| 26N | No opposition filed | ||
| REG | Reference to a national code |
Ref country code: GB Ref legal event code: IF02 |
|
| REG | Reference to a national code |
Ref country code: FR Ref legal event code: PLFP Year of fee payment: 20 |
|
| PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DE Payment date: 20150309 Year of fee payment: 20 |
|
| PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: GB Payment date: 20150219 Year of fee payment: 20 Ref country code: FR Payment date: 20150115 Year of fee payment: 20 |
|
| REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R071 Ref document number: 59600466 Country of ref document: DE |
|
| REG | Reference to a national code |
Ref country code: GB Ref legal event code: PE20 Expiry date: 20160205 |
|
| PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: GB Free format text: LAPSE BECAUSE OF EXPIRATION OF PROTECTION Effective date: 20160205 |