EP0733802B1 - Membranpumpe mit einer Formmembran - Google Patents

Membranpumpe mit einer Formmembran Download PDF

Info

Publication number
EP0733802B1
EP0733802B1 EP96101648A EP96101648A EP0733802B1 EP 0733802 B1 EP0733802 B1 EP 0733802B1 EP 96101648 A EP96101648 A EP 96101648A EP 96101648 A EP96101648 A EP 96101648A EP 0733802 B1 EP0733802 B1 EP 0733802B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
ribs
stabilising
diaphragm
radial
underside
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP96101648A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0733802A1 (de
Inventor
Heinz Riedlinger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KNF Neuberger GmbH
Original Assignee
KNF Neuberger GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KNF Neuberger GmbH filed Critical KNF Neuberger GmbH
Publication of EP0733802A1 publication Critical patent/EP0733802A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0733802B1 publication Critical patent/EP0733802B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/0009—Special features
    • F04B43/0054—Special features particularities of the flexible members

Definitions

  • the invention relates to a diaphragm pump with a Form membrane made of elastic material in its central area is reinforced in the stroke direction and flexible around it Has ring area, the outside with a clamping edge on Pump housing is held, which shaped membrane by means of a connecting rods attacking their central area or the like Lifting device from an upper to a lower dead center position and can be reversely deflected, in particular that of the pump chamber facing membrane top in the central area and the adjacent Wall of the pump chamber are geometrically adapted to each other and on the underside of the membrane facing away from the pump chamber, at least in Ring area radial ribs are provided for stabilization.
  • Such a diaphragm pump is already known from DE 40 07 932 C2, in which the wall of the pump chamber facing the molded membrane is approximately spherical in its central region and the molded membrane in its associated central area geometrically on the top of this spherical pump chamber area is adjusted so that the shaped membrane with its top in the top dead center position at least in its central area at least almost completely on the wall of the pump room hugs. So that during the pumping in the mold membrane occurring flexing work can be kept as small as possible and the diaphragm pump is still sufficient during the delivery stroke Has suction volume, is the ring area of the molded membrane comparatively thin and flexible, during the Central area is reinforced in the stroke direction to at Stroke to achieve a kind of piston effect.
  • the previously known diaphragm pump has radial ribs on the underside of the ring area. that should stabilize it.
  • the radial ribs are spaced as far apart from each other arranged that the membrane in the ring area is sufficient Flexibility, there is too much bulging of the ring area, so that at low suction pressures the volumetric Efficiency and the pumping speed of the pump accordingly is reduced. It can also cause vibrations in the membrane occur, on the one hand, to a heating of the molded membrane lead and on the other hand also an abutment of the molded membrane on the adjacent pump room wall. A toast the form membrane on the pump chamber wall is mainly because of this undesirable as this leads to increased noise also leads to premature wear of the molded membrane. Particles which have been removed from the shaped membrane can also be the Function of the intake and exhaust valves affect what the Quality of the vacuum that can be achieved with the diaphragm pump reduced.
  • the stabilizing ribs are either aligned in the circumferential direction, that is to say arranged concentrically to the longitudinal axis of the membrane, or that they are aligned tangentially to the circumferential direction or somewhat obliquely to the circumferential direction, for example spirally.
  • the ring area of the shaped membrane is supported both by the radial ribs and by the stabilizing ribs running transversely to it.
  • the radial ribs can therefore be arranged at a sufficiently large distance from one another, so that there is a particularly flexible ring area which causes only comparatively little flexing work when the pump is in operation.
  • the membrane areas lying between the radial ribs are thus supported in the circumferential direction by the stabilizing ribs.
  • the stabilizing ribs are thus arranged in such a way that the ring area of the molded membrane is flexible around a circumferential line, but has a comparatively great bending stiffness in a direction running transverse to it. This results in a smoothly actuated molded membrane, which converts only a very small proportion of the lifting energy applied into flexing work, and which nevertheless prevents vibrations and an impact on the molded membrane at top dead center on the adjacent pump chamber wall.
  • the molded membrane has a longer service life and, on the other hand, the action of the valves of the membrane pump is not so quickly impaired by membrane particles rubbed off the molded membrane. It is also advantageous that the slight arching of the ring area during the suction or lifting movement improves the volumetric efficiency and the pumping speed of the diaphragm pump, particularly at low pressures.
  • the diaphragm pump according to the invention is therefore particularly suitable for use as a vacuum pump.
  • the stabilizing ribs enable a significant reduction in the deformation of the membrane, especially in the area of the inlet and outlet openings of the pump chamber.
  • An advantageous embodiment provides that between adjacent Radial ribs a plurality of stabilizing ribs offset radially to one another are arranged. The on the ring area below Forces acting under vacuum can then be evenly distributed by the Stabilizing ribs added and over the radial ribs into the pump housing or the central area of the Form membrane are introduced.
  • a further development of the invention provides that the bending moment the radial ribs around a circumferential line of the molding membrane in each case is larger than that of a single stabilization rib by one this intersecting radius of the shaped membrane.
  • the radial ribs are So executed more rigid than the stabilizing ribs, wherein several stabilizing ribs with a common one Interact radial rib and are supported on this.
  • the number of radial ribs can thus be reduced, so that a more flexible by a circumference, but still by one Diameter line results in a comparatively rigid ring area, which despite low flexing work losses even at working pressures good pumping speed in the displacement of just a few millibars enables.
  • the greater bending moment compared to the stabilizing ribs the radial ribs can be achieved particularly simply by that the height of the oriented in the direction of the membrane longitudinal axis Radial ribs is greater than the height of at least one, in particular the stabilization rib arranged on the outside in the radial direction.
  • the Stabilizing ribs in the circumferential direction on the underside of the membrane circulate closed and cross or penetrate the radial ribs.
  • One embodiment provides that the underside of the in Stabilization rib arranged radially on the inside approximately flush connects to the underside of the radial ribs. That for them Rubber material used can then be used during the molding process Vulcanization process better in the corner areas between the Stabilizing and radial ribs flow.
  • the central area has a shoulder on the underside of the membrane that has a preferably step-shaped transition area to Ring area forms.
  • the ring area then stands on the central area of the shaped membrane in the central area despite the reduced in size in this area Membrane diameter a sufficient force transmission area for Available so that the tensile stresses occurring in this area are reduced.
  • the stabilizing ribs and / or the stabilizing protrusions on the other hand seen rectangular cross section in the circumferential direction of the shaped membrane preferred to achieve greater bending stiffness.
  • a particularly advantageous embodiment provides that the central area is narrowed downwards at its bottom and there is preferably approximately frustoconical, that the central area at its bottom essentially has radially-axially arranged stabilizing projections and that this is outward in the radial ribs of the Continue ring area.
  • the from the stabilizing ribs on the radial forces transmitted support forces can then better in the central area are initiated so that a deflection or arching of the ring area in the direction of the pump chamber Applying vacuum to the molded membrane even more effectively is counteracted.
  • a membrane pump designated as a whole by 1 has a shaped membrane 2 made of elastic material, which in its Central area 3 is reinforced in the stroke direction 4 and around this Central area 3 has a flexible ring area 5 around. This is on its outer circumference with a clamping edge 6 on the pump housing between the crankcase 7 and the pump head 8 clamped.
  • a driver core trained molded core 9 vulcanized at its threaded connector 10 attacks a connecting rod 11 with which the shaped membrane 2 from a upper to a lower dead center position and vice versa.
  • the pump head 8 has an inlet channel 12 and an outlet channel 13 for the medium to be pumped or extracted, each in the through the pump wall 14 of the pump head 8 and the Diaphragm top 15 open limited pump chamber 16.
  • the Einund Outlet channels 12, 13 are in a known manner with inclusion Exhaust valves provided for the sake of Clarity are not shown in Figure 1.
  • the pump chamber 16 facing Membrane top 15 in the central area 3 and the adjacent Pump chamber wall 14 geometrically adapted to one another. Both are the pump chamber wall 14, as well as the molded membrane 2 in each case central area spherical.
  • the shaped membrane 2 faces away from the pump chamber 16 Bottom 17 in the ring area 5 a total of 18 evenly over the Circumference of the annular region 5 distributed radial ribs 18 on the are combined with four concentrically and at equal intervals from one another on the underside 17 of the ring area 5 Stabilizing ribs 19.
  • the support ribs 19 enable through the recesses between them, on which the Molded membrane 2 has only a comparatively small wall thickness, a particularly flexible around a circumferential line in the ring area 5 Shaped membrane 2, which is only a very small one during the lifting movement Share of the lifting energy applied in flexing work.
  • the stabilization ribs 19 point around a diameter line a comparatively high bending stiffness, so that under Vacuum the deflection or curvature of the ring area 5 in Direction of the pump chamber 16 is reduced.
  • the diaphragm pump 1 By combining the radial ribs 18 with the circumferential direction extending support ribs 19 has the diaphragm pump 1 in particular improved volumetric at low intake pressures Efficiency that results in greater pumping speed.
  • Figure 5 shows the pumping speed curve 24 of the invention Diaphragm pump 1 in comparison to the pumping speed curve 25 from DE-PS 40 07 932 C2 known membrane pump, the radial ribs 18, but no stabilizing ribs oriented in the circumferential direction 19 has.
  • the pumping speed is shown in liters per hour as a function of the absolute value given in millibars Suction pressure of the diaphragm pump 1.
  • Figure 5 shows that the radial and stabilizing ribs equipped diaphragm pump 1 compared to only radial ribs 18 diaphragm pump especially at suction pressures below of 10 mbar absolutely a significantly improved pumping speed having.
  • the minimum vacuum against which the Diaphragm pump 1 can just suck against the previously known diaphragm pump reduced by about a third.
  • the Diaphragm pump 1 according to the invention is therefore even better as a vacuum pump and can in particular also be used as a backing pump for a Turbo molecular pump can be used.
  • the inner stabilizing rib 19 To make the transition to the thicker compared to the ring area 5 trained trained central area 3, has the inner stabilizing rib 19 to a greater height c than the height b of the outer stabilizing ribs 19. This gives during the lifting movement of the shaped membrane 2 in the transition area between the ring and central area a more even load of the elastic membrane material. If necessary, for the Height of the individual stabilization ribs 19 additional gradations be provided, this height with increasing distance from Central area 3 is getting smaller.
  • the height c is the inner stabilizing ribs 19 are preferably chosen somewhat smaller than the thickness d of the adjacent stabilizing ribs 19 Outer edge of the central area 3.
  • the radial ribs 18 between the inner stabilizing rib 19 and the paragraph 20 bevelled on its underside, so that in this area the height of the radial ribs 18 radially outwards decreases. Between the inner stabilizing rib 19 and the clamping edge 6, however, the radial ribs 18 have one constant rib height.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Membranpumpe mit einer Formmembran aus elastischem Material, die in ihrem Zentralbereich in Hubrichtung verstärkt ist und um diesen herum einen flexiblen Ringbereich hat, der außenseitig mit einem Einspannrand am Pumpengehäuse gehalten ist, welche Formmembran mittels eines an ihrem Zentralbereich angreifenden Pleuels oder dergleichen Hubvorrichtung von einer oberen in eine untere Totpunktlage und umgekehrt auslenkbar ist, wobei insbesondere die dem Pumpraum zugewandte Membranoberseite im Zentralbereich sowie die benachbarte Wandung des Pumpraumes geometrisch aneinander angepaßt sind und an der dem Pumpraum abgewandten Membranunterseite zumindest im Ringbereich Radialrippen zur Stabilisierung vorgesehen sind.
Aus DE 40 07 932 C2 ist bereits eine solche Membranpumpe bekannt, bei der die der Formmembran zugewandte Wandung des Pumpraumes in ihrem zentralen Bereich etwa kugelförmig ausgebildet ist und die Formmembran in ihrem zugehörigen Zentralbereich bezüglich ihrer Oberseite geometrisch an diesen kugelförmigen Pumpraumbereich angepaßt ist, so daß die Formmembran sich mit ihrer Oberseite in der oberen Totpunktlage zumindest in ihrem Zentralbereich wenigstens nahezu vollständig an die Wandung des Pumpraumes anschmiegt. Damit die während des Pumpens in der Formmembran auftretende Walkarbeit möglichst klein gehalten werden kann und die Membranpumpe beim Förderhub dennoch ein ausreichendes Ansaugvolumen aufweist, ist der Ringbereich der Formmembran vergleichsweise dünn und flexibel ausgebildet, während der Zentralbereich in Hubrichtung verstärkt ist, um bei der Hubbewegung eine Art Kolbenwirkung zu erzielen.
Um bei einer Verwendung dieser, vorzugsweise als Vakuum-Pumpe eingesetzten Memranepumpen, während des Betriebs der Pumpe - insbesondere beim Saughub - die Gefahr einer Durchwölbung der Formmembran in Richtung der benachbarten Pumpraumwand zu vermindern, weist die vorbekannte Membranpumpe an der Unterseite des Ringbereichs Radialrippen auf, die diesen stabilisieren sollen.
Obwohl sich solche mit Radialrippen ausgestatteten Formmembranen in der Praxis in vielerlei Hinsicht bewährt haben, so hat sich doch gezeigt, daß besonders bei Vakuumpumpen, die als Vorpumpen für Turbo-Molekularpumpen verwendet werden, ein unerwünschtes Durchwölben der Membran nur dann in ausreichendem Maße verhindert werden kann, wenn an der Unterseite des Ringbereichs eine Vielzahl von Radialrippen dicht benachbart zueinander angeordnet sind. Dies hat jedoch den Nachteil, daß die Flexibilität des Ringbereichs entsprechend verringert wird, wodurch sich die Walkarbeit, die Erwärmung der Membran und der damit verbundene Verschleiß der Membrane erhöhen.
Sind die Radialrippen dagegen soweit voneinander beabstandet angeordnet, daß die Membrane im Ringbereich eine ausreichende Flexibilität aufweist, kommt es zu einem zu starken Durchwölben des Ringbereichs, so daß bei niedrigen Saugdrücken der volumetrische Wirkungsgrad und das Saugvermögen der Pumpe entsprechend verringert ist. Außerdem können Schwingungen in der Membrane auftreten, die einerseits zu einer Erwärmung der Formmembran führen und andererseits aber auch ein Anstossen der Formmembran an der benachbarten Pumpraumwand verursachen können. Ein Anstoßen der Formmembran an der Pumpraumwand ist vor allem auch deshalb unerwünscht, da dies es außer zu einer erhöhten Geräuschentwicklung auch zu einem vorzeitigen Verschleiß der Formmembran führt. Dabei können von der Formmembran abgetragene Partikel auch die Funktion der Ein- und Auslaßventile beeinträchtigen, was die Qualität des mit der Membranepumpe erzielbare Vakuums zusätzlich vermindert.
Aus EP-A-0 010 943 ist eine Membranpumpe bekannt, die im Gegensatz zu der vorerwähnten Membran gemäß DE-40 07 932 C2 eine gute Flexibilität und somit eine in allen Bereichen gleich gute Nachgiebigkeit haben soll. Um dennoch eine vergrößerte Lebensdauer zu ermöglichen, sind an einer Seite dieser Membrane konzentrisch zueinander angeordnete ringförmige Rippen vorgesehen. Dadurch ist jedoch eine gezielte Beeinflussung der Verformbarkeit der Membrane nicht möglich.
Es besteht deshalb die Aufgabe, eine Membranpumpe der eingangs genannten Art zu schaffen, bei welcher der Ringbereich der Formmembran flexibel genug ist, um eine möglichst leichtgängige Hubbewegung mit nur geringen Walkarbeitsverlusten zu ermöglichen, bei der aber dennoch die Verformungen des Ringbereichs der Membran unter Vakuum minimiert sind, so daß das Saugvermögen der Membranpumpe entsprechend verbessert ist.
Die Lösung dieser Aufgabe besteht bei einer Membranpumpe der eingangs genannten Art darin, daß an der Unterseite des Ringbereichs zwischen benachbarten Radialrippen wenigstens eine im wesentlichen in Umfangsrichtung verlaufende Stabilisierungsrippe angeordnet ist.
Dabei wird unter im wesentlichen in Umfangsrichtung verlaufend verstanden, daß die Stabilisierungsrippen entweder in Umfangsrichtung ausgerichtet sind, also konzentrisch zu Membrane-Längsachse angeordnet sind, oder daß sie tangental zur Umfangsrichtung ausgerichtet oder etwas schräg zur Umfangsrichtung, beispielsweise spiralförmig verlaufen. Der Ringbereich der Formmembran wird also bei der erfindungsgemäßen Membranpumpe sowohl durch die Radialrippen, als auch durch die quer dazu verlaufenden Stabilisierungsrippen gestützt. Die Radialrippen können deshalb in einem ausreichend großen Abstand zueinander angeordnet werden, so daß sich ein besonders flexibler Ringbereich ergibt, der beim Betrieb der Pumpe nur eine vergleichsweise geringe Walkarbeit verursacht. Dennoch werden ein Durchwölben des Ringbereichs sowie die damit einhergehenden Schwingungen, insbesondere auch bei der Saugbewegung der Membran und bei großen Unterdrücken, wirkungsvoll vermieden.
Die zwischen den Radialrippen liegenden Membranbereiche werden also durch die Stabilisierungsrippen in Umfangsrichtung abgestützt. Die Stabilisierungsrippen sind also gezielt so angeordnet, daß der Ringbereich der Formmembran um eine Umfangslinie flexibel ist, jedoch in einer quer dazu verlaufenden Richtung eine vergleichsweise große Biegesteifigkeit aufweist. Somit ergibt sich eine leichtgängig betätigbare Formmembran, die nur einen sehr kleinen Anteil der aufgebrachten Hubenergie in Walkarbeit umsetzt und bei der dennoch Schwingungen sowie ein Anstoßen der Formmembran im oberen Totpunkt an die benachbarte Pumpraumwand vermieden werden. Die Formmembran weist dadurch einerseits eine höhere Lebensdauer auf und andererseits wird die Wirkung der Ventile der Membranpumpe nicht so schnell durch von der Formmembran abgeriebene Membranpartikel beeinträchtigt. Vorteilhaft ist auch, daß durch die geringe Durchwölbung des Ringbereichs während der Saug- beziehungsweise Hubbewegung der volumetrische Wirkungsgrad und das Saugvermögen der Membranpumpe insbesondere bei niedrigen Drücken verbessert wird. Die erfindungsgemäße Membranpumpe eignet sich deshalb besonders für eine Verwendung als Vakuumpumpe. Dabei ermöglichen die Stabilisierungsrippen speziell im Bereich der Einlaß- und Auslaßöffnung des Pumpraumes eine deutliche Reduzierung der Verformung der Membran.
Eine vorteilhafte Ausführungsform sieht vor, daß zwischen benachbarten Radialrippen mehrere, radial zueinander versetzte Stabilisierungsrippen angeordnet sind. Die auf den Ringbereich unter Vakuum einwirkenden Kräfte können dann noch gleichmäßiger von den Stabilisierungsrippen aufgenommen und über die Radialrippen in das Pumpengehäuse beziehungsweise den Zentralbereich der Formmembran eingeleitet werden.
Eine Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß das Biegemoment der Radialrippen um eine Umfangslinie der Formmembran jeweils größer ist als das einer einzelnen Stabilisierungsrippe um einen diese kreuzenden Radius der Formmembran. Die Radialrippen sind also biegesteifer ausgeführt als die Stabilisierungsrippen, wobei jeweils mehrere Stabilisierungsrippen mit einer gemeinsamen Radialrippe zusammenwirken und an dieser abgestützt sind. Die Anzahl der Radialrippen kann somit reduziert werden, so daß sich ein um eine Umfangslinie flexibler, aber dennoch um eine Durchmesserlinie vergleichsweise biegesteifer Ringbereich ergibt, der trotz geringer Walkarbeitsverluste auch bei Arbeitsdrücken im Hubraum von nur wenigen Millibar noch ein gutes Saugvermögen ermöglicht.
Das im Vergleich zu den Stabilisierungsrippen größere Biegemoment der Radialrippen kann besonders einfach dadurch erzielt werden, daß die in Richtung der Membran-Längsachse orientierte Höhe der Radialrippen größer ist als die Höhe wenigstens einer, insbesondere der in Radialrichtung außen angeordneten Stäbilisierungsrippe.
Damit die Membrankräfte besonders gut von den Stabilisierungsrippen auf die Radialrippen übertragen werden können und von dort einerseits radial nach innen in den Zentralbereich der Formmembran und andererseits aber auch radial nach außen in das Pumpengehäuse eingeleitet werden können, ist es vorteilhaft, wenn die Stabilisierungsrippen in Umfangsrichtung an der Membranunterseite geschlossen umlaufen und die Radialrippen kreuzen bzw. durchdringen.
Zweckmäßigerweise weist zumindest die in Radialrichtung innen angeordnete Stabilisierungsrippe des Ringbereichs in Axialrichtung der Formmembran eine größere Höhe auf, als wenigstens eine im Vergleich dazu weiter außen angeordnete Stabilisierungsrippe. Dadurch ergibt sich ein gleichmäßiger Übergang von dem vergleichsweise dünnen Ringbereich zu dem in Hubrichtung verstärkten Zentralbereich der Formmembran, so daß die Zug- und Druckspannungen in der Formmembran möglichst gleichmäßig verteilt werden. Dadurch kann auch die Dehnung des elastischen MembranMaterials reduziert werden, was insbesondere bei teflon-beschichteten Formmembranen vorteilhaft ist, da Teflon aufgrund seiner geringen Elastizität leicht zu Rißbildung neigt.
Eine Ausführungsform sieht vor, daß die Unterseite der in Radialrichtung innen angeordneten Stabilisierungsrippe etwa bündig an die Unterseite der Radialrippen anschließt. Das für die Formmembran verwendete Kautschuk-Material kann dann während des Vulkanisationsprozesses besser in die Eckbereiche zwischen den Stabilisierungs- und den Radialrippen fließen.
Zweckmäßig ist, wenn die in Axialrichtung der Formmembran orientierte Höhe der inneren Stabilisierungsrippe etwa genau so groß oder etwas kleiner ist als die Dicke des dieser Stabilisierungsrippe benachbarten äußeren Randbereichs des Zentralbereichs. Dadurch ergibt sich ein besonders gleichmäßiger Übergang zwischen dem Zentralbereich und dem Ringbereich, durch den die während des Betriebs der Membranpumpe in der Formmembran auftretenden mechanischen Spannungen reduziert werden.
Eine vorteilhafte Ausführungsform sieht vor, daß der Zentralbereich an der Membranunterseite einen Absatz aufweist, der einen vorzugsweise stufenförmig ausgebildete Übergangsbereich zum Ringbereich bildet. Für die Übertragung der insbesondere bei Vakuumpumpen in der Formmembran auftretenden Zugkräfte vom Ringbereich auf den Zentralbereich der Formmembran steht dann im Zentralbereich trotz des in diesem Bereich verkleinerten Membrandurchmessers eine ausreichende Krafteinleitungsfläche zur Verfügung, so daß die in diesem Bereich auftretenden Zugspannungen reduziert sind.
Ein besonders gleichmäßiger und für den Kraftfluß günstiger Übergang zwischen Zentralbereich und Ringbereich kann dadurch erreicht werden, daß die Unterseite der Radialrippen bündig die Unterseite des Absatzes anschließt und daß die Höhe der Radialrippen zumindest zwischen dem Absatz und der in Radialrichtung inneren Stabilisierungsrippe radial nach außen hin abnimmt.
Um einen noch günstigeren und homogenen Kraftfluß in dem Ringbereich der Membran zu ermöglichen, ist vorgesehen, daß die vorzugsweise in gleichen Abständen radial zueinander versetzt angeordneten Stabilisierungsrippen in Radialrichtung ein etwa wellenförmiges Profil mit gerundeten Übergängen zwischen den einzelnen Stabilisierungsrippen bilden. Für die Stabilisierungsrippen und/oder die Stabilisierungsvorsprünge wird dagegen ein in Umfangsrichtung der Formmembran gesehen rechteckiger Querschnitt bevorzugt, um eine größere Biegesteifigkeit zu erreichen.
Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform sieht vor, daß sich der Zentralbereich an seiner Unterseite nach unten hin verengt und dort vorzugsweise etwa kegelstumpfförmig ausgebildet ist, daß der Zentralbereich an seiner Unterseite im wesentlichen radial-axial angeordnete Stabilisierungsvorsprünge aufweist und daß sich diese nach außen hin in den Radialrippen des Ringbereichs fortsetzen. Die von den Stabilisierungsrippen auf die Radialrippen übertragenen Stützkräfte können dann besser in den Zentralbereich eingeleitet werden, so daß einem Durchbiegen oder Wölben des Ringbereichs in Richtung des Pumpraumes bei Beaufschlagung der Formmembran mit Vakuum noch wirkungsvoller entgegengewirkt wird.
Als besonders günstig für das Saugvermögen der Membranpumpe hat sich in der Praxis erwiesen, wenn die Radialrippen etwa im Abstand von 20° zueinander versetzt gleichmäßig über den Umfang der Formmembran verteilt angeordnet sind und wenn jeweils zwischen benachbarten Radialrippen vier radial zueinander versetzte Stabilisierungsrippen vorgesehen sind.
Nachfolgend ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen in unterschiedlichen Maßstäben und zum Teil stärker schematisiert:
Fig. 1
eine im Schnitt gehaltene Teilansicht einer Membranpumpe mit einer Formmembran, deren äußerer Membran-Randbereich zwischen dem Kurbelgehäuse der Membranpumpe und dem Pumpenkopf eingespannt ist und die mit einem nur teilweise dargestellten Pleuel in Antriebsverbindung steht,
Fig. 2
eine Ansicht auf die Unterseite der Formmembran nach Figur 1, welche die in Umfangsrichtung verlaufenden Stabilisierungsrippen sowie die Radialrippen des Ringbereichs besonders gut erkennen lassen, welche sich nach innen hin in den Stabilisierungsvorsprüngen des Zentralbereichs fortsetzen,
Fig. 3
eine Seitenansicht der in Figur 1 gezeigten Formmembran in Ruhestellung, wobei der Ringbereich teilweise im Schnitt dargestellt ist, damit die Anordnung der Stabilisierungsrippen sichtbar ist,
Fig. 4
eine Detailvergrößerung des in Figur 3 mit X gekennzeichneten Membranebereichs, wobei die unterschiedliche Höhe der einzelnen Stabilisierungsrippen und der Absatz des Zentralbereichs besonders gut erkennbar sind, der den Übergang zum Ringbereich bildet und
Fig. 5
das Saugvermögen der erfindungsgemäßen Membranpumpe als Funktion des Saugdruckes, wobei zum Vergleich auch die Saugvermögenskurve der aus DE-40 07 932 C2 vorbekannten Membranepumpe in das Diagramm eingezeichnet ist.
Eine im ganzen mit 1 bezeichnete Membranpumpe (Fig. 1) weist eine Formmembran 2 aus elastischem Material auf, die in ihrem Zentralbereich 3 in Hubrichtung 4 verstärkt ist und um diesen Zentralbereich 3 herum einen flexiblen Ringbereich 5 hat. Dieser ist an seinem Außenumfang mit einem Einspannrand 6 am Pumpengehäuse zwischen dem Kurbelgehäuse 7 und dem Pumpenkopf 8 eingespannt. In die Formmembran 2 ist ein als Mitnehmerkern ausgebildeter Formkern 9 einvulkanisiert, an dessen Gewindestutzen 10 ein Pleuel 11 angreift, mit dem die Formmembran 2 aus einer oberen in eine untere Totpunktlage und umgekehrt auslenkbar ist. Der Pumpenkopf 8 weist einen Einlaßkanal 12 und einen Auslaßkanal 13 für das zu fördernde oder abzusaugende Medium auf, die jeweils in den durch die Pumpenwand 14 des Pumpenkopfs 8 und die Membranoberseite 15 begrenzten Pumpraum 16 einmünden. Die Einund Auslaßkanäle 12, 13 sind in bekannter Weise mit Einbeziehungsweise Auslaßventilen versehen, die aus Gründen der Übersichtlichkeit in Figur 1 nicht dargestellt sind.
Um in der oberen Totpunktstellung der Formmembran 2 eine möglichst kleinen Totraum zu erreichen, sind die dem Pumpraum 16 zugewandte Membranoberseite 15 im Zentralbereich 3 sowie die benachbarte Pumpraumwand 14 geometrisch aneinander angepaßt. Dabei sind sowohl die Pumpraumwand 14, als auch die Formmembran 2 jeweils in ihrem zentralen Bereich kugelförmig ausgebildet.
Die Formmembran 2 weist an ihrer dem Pumpraum 16 abgewandten Unterseite 17 im Ringbereich 5 insgesamt 18 gleichmäßig über den Umfang des Ringbereichs 5 verteilte Radialrippen 18 auf, die kombiniert sind mit vier konzentrisch und in gleichen Abständen voneiander an der Unterseite 17 des Ringbereichs 5 umlaufenden Stabilisierungsrippen 19. Dabei ermöglichen die Stützrippen 19 durch die zwischen ihnen befindlichen Aussparungen, an denen die Formmembran 2 nur eine vergleichsweise geringe Wandstärke aufweist, eine um eine Umfangslinie im Ringbereich 5 besonders flexible Formmembran 2, die bei der Hubbewegung nur einen sehr kleinen Anteil der aufgebrachten Hubenergie in Walkarbeit umsetzt.
Um eine Durchmesserlinie weisen die Stabiliserungsrippen 19 dagegen eine vergleichsweise hohe Biegesteifigkeit auf, so daß unter Vakuum die Durchbiegung oder die Wölbung des Ringbereichs 5 in Richtung des Pumpraums 16 vermindert ist. Zusätzlich verhindern die Radialrippen 18, daß sich der Ringbereich 5 unter Beaufschlagung mit Unterdruck oder Vakuum im Pumpraum 16 um eine Umfangslinie der Formmembran 2 unzulässig stark krümmt.
Die während des Betriebs der Membranpumpe 1 an dem Ringbereich 5 angreifenden Kräfte werden also durch die Stabilisierungsrippen 19 in Umfangsrichtung abgestützt und dadurch auf die Radialrippen 18 übertragen, die wiederum einerseits die Kräfte nach außen in das Pumpengehäuse abführen und andererseits diese aber auch nach innen hin in den im Vergleich zum Ringbereich 5 wesentlich dicker und daher besonders formstabil ausgebildeten Zentralbereich 3 einleiten.
Durch die Kombination der Radialrippen 18 mit den Umfangsrichtung verlaufenden Stützrippen 19 weist die Membranpumpe 1 besonders bei niedrigen Ansaugdrücken einen verbesserten volumetrischen Wirkungsgrad auf, der in einem größeren Saugvermögen resultiert.
Figur 5 zeigt die Saugvermögenskurve 24 der erfindungsgemäßen Membranpumpe 1 im Vergleich zu der Saugvermögenskurve 25 der aus DE-PS 40 07 932 C2 vorbekannten Membranpumpe, die zwar Radialrippen 18, jedoch keine in Umfangsrichtung orientierten Stabilisierungsrippen 19 aufweist. Aufgetragen ist das Saugvermögen in Liter pro Stunde als Funktion des in Millibar absolut angegebenen Ansaugdrucks der Membranpumpe 1.
Figur 5 läßt erkennen, daß die mit Radial- und Stabilisierungsrippen ausgestattete Membranpumpe 1 gegenüber der nur Radialrippen 18 aufweisenden Membranpumpe besonders bei Ansaugdrücken unterhalb von 10 mbar absolut ein deutlich verbessertes Saugvermögen aufweist. Außerdem ist der Mindest-Unterdruck, gegen den die Membranpumpe 1 gerade noch ansaugen kann, gegenüber der vorbekannten Membranpumpe um etwa ein Drittel vermindert. Die erfindungsgemäße Membranpumpe 1 eignet sich deshalb noch besser als Vakuumpumpe und kann insbesondere auch als Vorpumpe für eine Turbo-Molekularpumpe verwendet werden.
Erwähnt werden soll noch, daß durch die mit den Radialrippen 18 kombinierten Stabilisierungsrippen 19 auch Schwingungen in der Formmembran 2, die zu einem Anstoßen der Formmembran 2 an die benachbarte Pumpraumwand 14 führen können, verringert werden. Dadurch ergibt sich einerseits eine größere Lebensdauer der Membran, was besonders bei relativ teuren, teflon-beschichteten Formmembranen vorteilhaft ist, und andererseits wird aber auch eine Beeinträchtigung der Funktion der Ein- und Auslaßventile durch bei einem Anstoßen an der Pumpraumwand 14 von der Formmembran 2 abgetragene Partikel weitestgehend vermieden.
Damit die an der Formmembran 2 angreifenden Betriebskräfte möglichst gleichmäßig abgestützt werden können, sind an der Unterseite 17 des Ringbereichs 5 insgesamt vier konzentrische und gleichmäßig voneinander beabstandete Stabilisierungsrippen 19 angeordnet. Die Stabilisierungsrippen 19 laufen an der Membran-Unterseite 17 geschlossen um und kreuzen die Radialrippen 18. Die Membrankräfte können dadurch besonders gut von den Stabilisierungsrippen 19 auf die Radialrippen 18 übertragen werden. Da jede Radialrippe 18 jeweils mehrere Stabilisierungsrippen 19 abstützt, ist das Biegemoment der Radialrippen 18 um eine Umfangslinie der Formmembran 2 jeweils größer als das der einzelnen Stabilisierungsrippen 19 um eine Durchmesserlinie der Formmembran 2. Die Radialrippen 18 weisen dazu eine größere Höhe a auf als die Höhe b der drei äußeren Stabilisierungsrippen 19 auf.
Um den Übergang zu dem im Vergleich zu dem Ringbereich 5 dicker ausgebildeten Zentralbereich 3 gleichmäßiger zu gestalten, weist die innere Stabilisierungsrippe 19 eine größere Höhe c auf als die Höhe b der äußeren Stabilisierungsrippen 19. Dadurch ergibt sich bei der Hubbewegung der Formmembran 2 im Übergangsbereich zwischen Ring- und Zentralbereich eine gleichmäßigere Belastung des elastischen Membranmaterials. Gegebenenfalls können für die Höhe der einzelnen Stabilisierungsrippen 19 zusätzliche Abstufungen vorgesehen sein, wobei diese Höhe mit zunehmendem Abstand vom Zentralbereich 3 immer kleiner wird. Dabei ist die Höhe c der inneren Stabilisierungsrippen 19 vorzugsweise etwas kleiner gewählt als die Dicke d des diesen Stabilisierungsrippen 19 benachbarten Außenrands des Zentralbereichs 3.
Damit die mechanischen Spannungen am Außenrand des Zentralbereichs 3 trotz des an dieser Stelle bereits vergleichsweise kleinen Membrandurchmessers auf einen ausreichend großen Materialquerschnitt verteilt werden können, ist am Außenrand des Zentralbereichs 3 ein Absatz 20 vorgesehen, der den Übergang zum Ringbereich 5 bildet. Die Dicke d dieses Absatzes 20 entspricht etwa der vierfachen Höhe b der äußeren Stabilisierungsrippen 19. Die Dicke des Ringbereichs an der höchst Stelle der inneren Stabilisierungsrippe 19 ist etwas kleiner als die Dicke d des Absatzes 20. Die Radialrippen 18 gehen an ihrem inneren, der Längsmittelachse 21 der Formmembran 2 zugewandten Ende unmittelbar in den Absatz 20 über und reichen mit ihrem äußeren Endbereich bis in den verdickt ausgebildeten Einspannrand 6.
Damit die an dem Ringbereich 5 angreifende Betriebskräfte noch besser in den Zentralbereich 3 abgeleitet werden können, sind die Radialrippen 18 zwischen der inneren Stabilisierungsrippe 19 und dem Absatz 20 an ihrer Unterseite abgeschrägt, so daß in diesem Bereich die Höhe der Radialrippen 18 radial nach außen hin abnimmt. Zwischen der inneren Stabilisierungsrippe 19 und dem Einspannrand 6 weisen die Radialrippen 18 dagegen eine konstante Rippenhöhe auf.
Wie aus Figur 4 besonders gut erkennbar ist, haben die zueinander versetzt angeordneten Stabilisierungsrippen 19 in Radialrichtung ein etwa wellenförmiges Profil mit gerundeten Übergängen. Der Kraftfluß in der Formmembran 2 soll dadurch besonders gleichmäßig auf dem zur Verfügung stehenden Materialquerschnitt verteilt werden. Für die Radialrippen 18 ist dagegen ein rechteckiger Querschnitt vorgesehen, da diese praktisch nur in Längsrichtung auf Biegung beansprucht werden.
Um einen möglichst leichten und materialsparenden Zentralbereich 3 zu ermöglichen, sind an dessen Unterseite radial-axial angeordnete Stabilisierungsvorsprünge 22 vorgesehen, die von dem Flansch 23 für das Pleuel 11 bis an den Absatz 20 reichen und sich nach außen hin in den Radialrippen 18 fortsetzen (Figur 1). Dadurch wird einerseits die Formsteifigkeit des Zentralbereichs 3 erhöht und andererseits können aber auch die von den Radialrippen 18 aufgenommenen Stützkräfte noch besser auf den Zentralbereich übertragen werden.
An den Absatz 20 schließt sich radial nach innen ein kreisringförmiger, konzentrisch zur Membranelängsachse 21 angeordneter Membrane-Zwischenbereich 27 an, der sowohl in Umfangsrichtung, als auch entlang seiner Radialerstreckung eine etwa konstante Dicke aufweist. Die radiale Breite dieses Zwischenbereichs 27 entspricht etwa seiner Dicke. An den Zwischenbereich 27 schließen sich radial nach innen hin Aussparungen 26 an, die zwischen den Stabilisierungsvorsprüngen 22 angeordnet sind. Im Bereich dieser Aussparungen 26 weist die Formmembrane 2 - in Richtung der Längsmittelachse 21 betrachtet - eine etwa 10% geringere Dicke auf als im Zwischenbereich 27.

Claims (14)

  1. Membranpumpe (1) mit einer Formmembran (2) aus elastischem Material, die in ihrem Zentralbereich (3) in Hubrichtung (4) verstärkt ist und um diesen herum einen flexiblen Ringbereich (5) hat, der außenseitig mit einem Einspannrand (6) am Pumpengehäuse gehalten ist, welche Formmembran (2) mittels eines an ihrem Zentralbereich (3) angreifenden Pleuels (11) oder dergleichen Hubvorrichtung von einer oberen in eine untere Totpunktlage und umgekehrt auslenkbar ist, wobei insbesondere die dem Pumpraum (16) zugewandte MembranOberseite (15) im Zentralbereich (3) sowie die benachbarte Pumpraumwand (14) geometrisch aneinander angepaßt sind und an der dem Pumpraum (16) abgewandten Membran-Unterseite (17) zumindest im Ringbereich (5) Radialrippen (18) zur Stabilisierung vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß an der Unterseite (17) des Ringbereichs (5) zwischen benachbarten Radialrippen (18) wenigstens eine im wesentlichen in Umfangsrichtung verlaufende Stabilisierungsrippe (19) angeordnet ist.
  2. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen benachbarten Radialrippen (18) mehrere, radial zueinander versetzte Stabilisierungsrippen (19) angeordnet sind.
  3. Membranpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Biegemoment der Radialrippen (18) um eine Umfangslinie der Formmembran (2) jeweils größer ist als das einer einzelnen Stabilisierungsrippe (19) um einen diese kreuzenden Radius der Formmembran (2).
  4. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die in Richtung der Membran-Längsachse (21) orientierte Höhe (a) der Radialrippen größer ist als die Höhe (b) wenigstens einer, insbesondere der in Radialrichtung außen angeordneten Stabilisierungsrippe (19).
  5. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stabilisierungsrippen (19) in Umfangsrichtung an der Membranunterseite (17) geschlossen umlaufen und die Radialrippen (18) kreuzen.
  6. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die in Radialrichtung innen angeordnete Stabilisierungsrippe (19) des Ringbereichs (5) in Axialrichtung der Formmembran (2) eine größere Höhe (c) aufweist als wenigstens eine im Vergleich dazu weiter außen angeordnete Stabilisierungsrippe (19).
  7. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterseite der in Radialrichtung innen angeordneten Stabilisierungsrippe (19) etwa bündig an die Unterseite der Radialrippe (18) anschließt.
  8. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die in Axialrichtung der Formmembran (2) orientierte Höhe (c) der inneren Stabilisierungsrippe (19) etwa genau so groß oder etwas kleiner ist als die Dicke (d) des dieser Stabilisierungsrippe (19) benachbarten äußeren Randbereichs des Zentralbereichs (3).
  9. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterseite der Radialrippen (18) bündig an die Unterseite des Absatzes (20) anschließt und daß die Höhe der Radialrippen (18) zumindest zwischen dem Absatz (20) und der in Radialrichtung inneren Stabilisierungsrippe (19) radial nach außen abnimmt.
  10. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterseite der Radialrippen (18) an die Unterseite des Absatzes (20) anschließt und daß die Höhe der Radialrippen (18) zumindest zwischen dem Absatz (20) und der in Radialrichtung inneren Stabilisierungsrippe (19) radial nach außen hin abnimmt.
  11. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die vorzugsweise in gleichen Abständen radial zueinander versetzt angeordneten Stabilisierungsrippen (19) in Radialrichtung etwa ein wellenförmiges Profil mit gerundeten Übergängen zwischen den einzelnen Stabilisierungsrippen (19) bilden.
  12. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Zentralbereich (3) an seiner Unterseite (17) nach unten hin verengt und dort vorzugsweise etwa kegelstumpfförmig ausgebildet ist, daß der Zentralbereich (3) an seiner Unterseite (17) im wesentlichen radial-axial angeordnete Stabilisierungsvorsprünge (22) aufweist und daß sich diese nach außen hin in den Radialrippen (18) des Ringbereichs (5) fortsetzen.
  13. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Stabilisierungsrippen (19) und/oder die Stabilisierungsvorsprünge (22) in Umfangsrichtung der Formmembran (2) gesehen einen etwa rechteckigen Querschnitt aufweisen.
  14. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Radialrippen (18) etwa im Abstand von 20° zueinander versetzt gleichmäßig über den Umfang der Formmembran (2) verteilt angeordnet sind und daß jeweils zwischen benachbarten Radialrippen (18) vier radial zueinander versetzte Stabilisierungsrippen (19) vorgesehen sind.
EP96101648A 1995-03-24 1996-02-06 Membranpumpe mit einer Formmembran Expired - Lifetime EP0733802B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19510828 1995-03-24
DE19510828A DE19510828C2 (de) 1995-03-24 1995-03-24 Membranpumpe mit einer Formmembran

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0733802A1 EP0733802A1 (de) 1996-09-25
EP0733802B1 true EP0733802B1 (de) 1998-08-26

Family

ID=7757644

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP96101648A Expired - Lifetime EP0733802B1 (de) 1995-03-24 1996-02-06 Membranpumpe mit einer Formmembran

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5699717A (de)
EP (1) EP0733802B1 (de)
JP (1) JPH08261156A (de)
DE (2) DE19510828C2 (de)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE29612117U1 (de) * 1996-07-11 1996-09-12 ASF THOMAS Industries GmbH, 82178 Puchheim Membrane für eine Membranpumpe
DE19647882A1 (de) * 1996-11-20 1998-05-28 Knf Neuberger Gmbh Membranpumpe
US6067893A (en) * 1998-03-10 2000-05-30 Westinghouse Air Brake Company Ribbed diaphragm
DE19906317C1 (de) * 1999-02-16 2000-10-19 Knf Flodos Ag Sursee Membranpumpe
US6295918B1 (en) * 1999-10-15 2001-10-02 John M. Simmons Suspended diaphragm
DE50112760D1 (de) 2001-01-02 2007-09-06 Medela Holding Ag Membranpumpe
DE10227192B4 (de) * 2002-06-18 2009-08-06 Ulman Dichtungstechnik Gmbh Verbundmembran für Membranpumpen
DE10227193B4 (de) * 2002-06-18 2007-05-10 Ulman Dichtungstechnik Gmbh Verbundmembran für Membranpumpen
US6748848B1 (en) * 2002-12-11 2004-06-15 Gits Manufacturing Company, Llc Waste gate valve actuator
DE10312899A1 (de) 2003-03-22 2004-10-07 Knf Neuberger Gmbh Membranpumpe
DE20307457U1 (de) * 2003-05-13 2003-07-31 GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG, 74653 Ingelfingen Druckstück für ein Membranventil
ITTO20070440A1 (it) 2007-06-20 2007-09-19 Giorgio Tosini Coperchio flessibile a tenuta contro gli agenti atmosferici.
US20090001638A1 (en) * 2007-06-28 2009-01-01 Semaan Gilbert A Bellows structure
CA2722592C (en) 2008-05-16 2016-05-03 Joe Santa & Associates Pty Limited A valve and diaphragm for a pump
DE202008007700U1 (de) * 2008-06-10 2009-10-22 Mann+Hummel Gmbh Handpumpe zum Pumpen von Kraftstoff
CN104791226A (zh) * 2014-01-16 2015-07-22 蔡应麟 隔膜增压泵的减震构造
US20150198154A1 (en) * 2014-01-16 2015-07-16 Ying Lin Cai Vibration-reducing structure for compressing diaphragm pump
CN104791235B (zh) * 2014-01-16 2018-10-26 蔡应麟 隔膜增压泵的减震方法
JP6080080B2 (ja) * 2014-05-20 2017-02-15 蔡応麟 ４圧縮チャンバダイアフラムポンプの振動低減構造
US10173183B2 (en) 2014-09-11 2019-01-08 Flowserve Management Company Diaphragm pump with improved tank recirculation
US9896829B2 (en) 2014-09-12 2018-02-20 Zurn Industries, Llc Flush valve diaphragm
JP6412460B2 (ja) 2015-04-14 2018-10-24 株式会社Ｓｏｋｅｎ 走行路推定装置
TWI659719B (zh) * 2017-02-09 2019-05-21 瑞士商耐斯泰克公司 用於飲料製備模組之薄膜泵
KR102734939B1 (ko) * 2017-02-17 2024-11-28 한온시스템 주식회사 사판식 압축기의 리어 헤드
US10677238B2 (en) * 2017-11-08 2020-06-09 Ingersoll-Rand Industrial U.S., Inc. Filled resin layer separated pump housing
US10859540B2 (en) * 2018-08-03 2020-12-08 Chromatography Research Supplies, Inc. Duckbill septum
DE102020126241B4 (de) * 2020-10-07 2026-03-19 Alfmeier Präzision SE Membrananordnung mit um den Membrankörper umlaufendem Ring sowie Sitzanordnung und Pumpenanordnung
DE102022212934A1 (de) * 2022-12-01 2024-06-06 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Membranpumpe

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2840339A (en) * 1953-05-13 1958-06-24 Saunders Valve Co Ltd Diaphragm valves and diaphragms therefor
US3135173A (en) * 1961-10-26 1964-06-02 Midland Ross Corp Diaphragm
GB950678A (en) * 1961-11-16 1964-02-26 Nat Res Dev Improvements in and relating to diaphragms and diaphragm-operated machines
US3911796A (en) * 1973-02-12 1975-10-14 Gates Rubber Co Diaphragm
US3872777A (en) * 1973-05-30 1975-03-25 Berg Manufacturing Co Diaphragm
US4270441A (en) * 1978-10-30 1981-06-02 Wilden Pump & Engineering Co. Pump diaphragm
US4238992A (en) * 1978-10-30 1980-12-16 Wilden Pump & Engineering Co. Pump diaphragm
JPS59577B2 (ja) * 1979-08-13 1984-01-07 新日本製鐵株式会社 冷延鋼帯の短時間連続焼鈍方法
DE3018687C2 (de) * 1980-05-16 1986-10-30 J. Wagner Gmbh, 7990 Friedrichshafen Membran für Hochdruckförderpumpen, Kompressoren oder dgl.
JPS60211052A (ja) * 1984-04-03 1985-10-23 Hitachi Ltd プラスチック成型用型材およびその製造方法
DE4007932A1 (de) * 1990-03-13 1991-09-19 Knf Neuberger Gmbh Membranpumpe mit einer formmembrane
US5335584A (en) * 1993-03-30 1994-08-09 Baird Dayne E Improved diaphragm
US5349896A (en) * 1993-06-14 1994-09-27 W. L. Gore & Associates, Inc. Pump diaphragm
DE4328559C5 (de) * 1993-08-25 2004-11-25 Knf-Neuberger Gmbh Membranpumpe mit wenigstens zwei Membranen

Also Published As

Publication number Publication date
DE19510828C2 (de) 1998-12-24
JPH08261156A (ja) 1996-10-08
DE59600466D1 (de) 1998-10-01
US5699717A (en) 1997-12-23
DE19510828A1 (de) 1996-09-26
EP0733802A1 (de) 1996-09-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0733802B1 (de) Membranpumpe mit einer Formmembran
DE4007932C2 (de)
EP1153218B1 (de) Membranpumpe
DE2713599C2 (de)
EP0604740B1 (de) Membranpumpe
EP4328448B1 (de) Membranpumpe
DE3319822A1 (de) Hydraulikpumpe mit vorkompressionsventil
DE2211178A1 (de) Dichtungssatz und diesen enthaltende Dichtungsgruppe für Hochdruckpumpen od. dgl
EP1525399B1 (de) Membranpumpe
EP3978751A1 (de) Verbundmembran für membranpumpen
EP0731273A2 (de) Kolben mit Kolbenstange
EP3827189B1 (de) Absperrmittel
DE29505021U1 (de) Membranpumpe mit einer Formmembran
DE9406216U1 (de) Membranpumpe mit einer Formmembran
DE69018831T2 (de) Ansaugventil für eine pumpe zum auffangen von verunreinigungen.
EP0929743B1 (de) Radialkolbenpumpe
EP0892174B1 (de) Pumpenkopf für eine Hubkolbenpumpe
CH704934B1 (de) Vakuumventil.
EP0280070A2 (de) Doppelmembranpumpe
WO1998022713A1 (de) Membranpumpe
DE1503390A1 (de) Hydraulische Membranpumpe
DE9410116U1 (de) Membranpumpe mit einer Formmembran
DE3813500A1 (de) Membranpumpe oder membrankompressor
EP0263199B2 (de) Membrankompressor
DE1528535C3 (de) Flüssigkeitspumpe

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE FR GB

17P Request for examination filed

Effective date: 19960831

17Q First examination report despatched

Effective date: 19971014

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE FR GB

REF Corresponds to:

Ref document number: 59600466

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19981001

ET Fr: translation filed
GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 19981215

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: IF02

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 20

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20150309

Year of fee payment: 20

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20150219

Year of fee payment: 20

Ref country code: FR

Payment date: 20150115

Year of fee payment: 20

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R071

Ref document number: 59600466

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: PE20

Expiry date: 20160205

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF EXPIRATION OF PROTECTION

Effective date: 20160205