EP0408681A1 - Magnetisches aufzeichnungsmedium sowie verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Magnetisches aufzeichnungsmedium sowie verfahren zu dessen herstellung

Info

Publication number
EP0408681A1
EP0408681A1 EP89911807A EP89911807A EP0408681A1 EP 0408681 A1 EP0408681 A1 EP 0408681A1 EP 89911807 A EP89911807 A EP 89911807A EP 89911807 A EP89911807 A EP 89911807A EP 0408681 A1 EP0408681 A1 EP 0408681A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
layer
recording medium
protective layer
carbon
fluorine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP89911807A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Franz Josef LÖFFLER
Dietrich Stephani
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of EP0408681A1 publication Critical patent/EP0408681A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
    • G11B5/725—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction containing a lubricant, e.g. organic compounds
    • G11B5/7253—Fluorocarbon lubricant
    • G11B5/7257—Perfluoropolyether lubricant

Definitions

  • the invention relates to a magnetic recording medium
  • At least one agnetizable storage layer on at least one flat side of the carrier body
  • a protective layer made of carbon or a carbon compound which covers the at least one storage layer
  • Such a recording medium is e.g. from the publication "Solid State Technology", October 1988, pages 113 to 115.
  • the invention further relates to methods for producing such a recording medium.
  • Corresponding recording media can be present, in particular, in the form of rigid magnetic storage disks or flexible individual disks (floppy discs).
  • a magnetic head which is adapted to the respective magnetization principle and which can be constructed in particular in thin-film technology is passed over them.
  • the distance between the magnetic head and the surface of the recording medium should be kept extremely small. They can be below 1 ⁇ m, for example in the case of vertical magnetization.
  • such short distances can practically only be ensured by designing a substrate carrying the magnetic head as a so-called missile, which aerodynamically slides over the recording medium.
  • the substrate is advantageously equipped on its underside facing the recording medium with corresponding glide or flight skids (cf., for example, EP-A-0 137 051).
  • the starting and landing phases of the substrate designed as a missile are particularly critical.
  • the storage layer has hitherto been coated with a thin protective layer made of a hard, abrasion-resistant material and, in addition, a thin layer of a friction-reducing lubricant or lubricant has been applied to its surface.
  • carbon can be found in the publication mentioned at the outset, which is applied, for example, by a sputtering process to the storage layer of a plate-shaped recording medium.
  • Protective silicon nitride layers cf. EP-A-0 175389
  • oxides, nitrides or carbides of cobalt or chromium cf. for example EP-A-0 186 358 are also provided.
  • lubricants examples include silicon dioxide (see, for example, EP-A-0 134412), hydrocarbon compounds (see, for example, DE-A-35 39 724) or fluorocarbon compounds (see, for example, EP-A-0 175) 389, EP-A-0 186 358 or the publication mentioned at the beginning). These lubricants are generally applied to the respective recording 1 medium separated. They are often referred to as Lubrikant.
  • the object of the present invention is now to design the recording medium of the type mentioned at the outset in such a way that the increase in the coefficient of friction due to the inhomogeneous wetting of the protective layer is at least largely eliminated.
  • fluorine is incorporated in the protective layer at least in a zone which adjoins the surface of the protective layer facing the lubricant layer.
  • the invention is based on the knowledge that with such incorporation of fluorine into the carbon material of the protective layer, so-called hydrophobization of the carbon surface, ie resistance to adsorption of Water molecules, is to be achieved.
  • hydrophobization of the carbon surface ie resistance to adsorption of Water molecules.
  • the result of this is that the surface is wetted with a liquid lubricant made from one of the known fluorine-carbon compounds in a much more uniform manner.
  • the previously observed increase in the coefficient of friction when a magnetic head comes into contact with the surface of this recording medium then advantageously no longer occurs.
  • a method for producing a recording medium according to the invention is characterized in that the carbon or the carbon compound of the protective layer is deposited on the storage layer at the same time as a fluorine-carbon compound.
  • FIG. 1 schematically shows a cross section through an inventive recording medium.
  • FIG. 2 shows the coefficient of friction of this recording medium to be determined in a start-stop test.
  • FIG. 1 schematically illustrates a cross section through part of a recording medium according to the invention.
  • the recording medium generally designated 2
  • the carrier body can be, for example, a hardened glass plate (cf. the
  • a storage layer 7 is applied, which is to be magnetized depending on the magnetization principle provided.
  • the storage layer 7 can have a layer 7a made of a cobalt-chromium alloy, which can be located on a lower layer 7b made of a soft magnetic material.
  • the storage layer 7 is covered with a hard, abrasion-resistant protective layer 9, which consists of carbon (C) or a carbon (C) compound.
  • This protective layer 9 has a thickness d between 5 nm and 100 n, preferably between 10 nm and 50 nm.
  • this protective layer should be in at least one zone 9a that connects to the Surface 10 adjacent to the protective layer, fluorine (F) must be installed.
  • the depth t of this zone 9a to be measured perpendicular to the flat side 4 should be at least 0.5 nm.
  • the surface 10 should advantageously be made extremely smooth and have a surface roughness of at most 70 nm, preferably at most 30 nm, based on the maximum roughness depth R t , based on a measuring distance of 2 mm.
  • the size R is a surface roughness of at most 70 nm, preferably at most 30 nm, based on the maximum roughness depth R t , based on a measuring distance of 2 mm.
  • a thin layer 11 of a liquid lubricant is applied wet to this smooth surface 10, for example by a dip coating process or by spraying.
  • they can be oily lubricants made from a perfluorinated ether of the general chemical formula R-CF 2 0- (C 2 F.0) - (CF 2 0) -CF 2 -R.
  • a protective layer 9 according to the invention on the upper flat side of the at least one storage layer 7: 1) With this process route the C or a C compound such as e.g. TiC, ZrC or WC deposited simultaneously with the F. Known chemical processes such as CVD are used for this purpose
  • sputtering process can be used particularly advantageously for this purpose. According to a specific exemplary embodiment for such a sputtering process, at a pressure of 5 to
  • FC connections suitable for this are in particular and CHF ,.
  • the addition can consist of one of these compounds. Mixtures of these compounds can also be added.
  • these volatile FC compounds can optionally also be used for other gaseous substances, for example be mixed with inert gases.
  • This procedure provides for the subsequent incorporation of the F into an already deposited preliminary layer of C or a C compound.
  • the preliminary layer initially formed by known processes is then physically or chemically post-treated such that the F penetrates into the layer from its free surface and is built into at least one zone 9a near the surface.
  • An RF plasma process can advantageously be provided for this, a plasma being formed with a volatile FC compound in accordance with process route 1), such as CF ⁇ .
  • post-treatment is at a pressure of 5 to 100. 10 " mbar of this FC connection and a power density of 0.1 to 3 W / cm 2 is possible.
  • the substrate carrier with the preliminary C-containing layer deposited on it is switched so that it is at a negative potential. Although a small part of the C-containing layer is etched off again, saturation of at least the layer surface with F is achieved.
  • the surfaces of the protective layers formed according to the two methods are distinguished by the fact that C and F, but no adsorbates with oxygen, can be detected on them during eye electron spectroscopic examinations. It is also advantageously achieved that the layers can be wetted well with perfluoropolyethers and these can be adsorbed well. In a subsequent dip coating process, it is therefore possible to apply a thin, continuous film of the lubricant which has good tribological properties (good sliding values).
  • the determination of the coefficient of friction of a magnetic storage disk designed according to the invention is possible by means of a start-stop test. The results of such a test are recorded in a diagram, as shown in FIG. 2.
  • the count z of the respective new starting process is plotted in the abscissa direction and the friction coefficient ⁇ in the ordinate direction.
  • the disk is driven in accordance with commercially available data storage systems, with a known read / write magnetic head made using thin-film technology being guided over it.
  • the magnetic head can slide aerodynamically over the plate rotating underneath it.
  • This behavior is tested over several 1000 cycles, the force required for starting being measured and the coefficient of friction being determined in this way. In between, the test is interrupted for a long time, with the magnetic head remaining on the disk.
  • the coefficient of static friction is then recorded.
  • the measures according to the invention allow an average value of the coefficient of friction ⁇ to be maintained which is clearly below the value of approximately 0.6 generally required by practice.

Description

Magnetisches Aufzeichnungsmedium sowie Verfahren zu dessen Herstellung
Die Erfindung bezieht sich auf ein magnetisches Aufzeichnungs- medium mit
- einem plattenförmigen Trägerkörper,
- mindestens einer agnetisierbaren Speicherschicht auf minde¬ stens einer Flachseite des Trägerkörpers,
- einer die mindestens eine Speicherschicht aufdeckenden Schutzschicht aus Kohlenstoff oder einer Kohlenstoff-Verbin¬ dung sowie
- einer auf der Schutzschicht aufgebrachten Schicht aus einem Gleitmittel, welches eine Fluor-Kohlenstoff-Verbindung ent- hält.
Ein derartiges Aufzeichnungsmedium geht z.B. aus der Veröffent¬ lichung "Solid State Technology", Oktober 1988, Seiten 113 bis 115 hervor. Die Erfindung betrifft ferner Verfahren zur Herstellung eines derartigen AufZeichnungsmediums.
Eine Speicherung von Informationen durch senkrechte (vertikale) oder longitudinale (horizontale) Magnetisierung entsprechender Speicherschichten in einem Aufzeichnungsmedium ist allgemein bekannt. Entsprechende Aufzeichnungsmedien können insbesondere in Form von starren Magnetspeicherplatten oder flexiblen Ein¬ zelplatten (floppy discs) vorliegen. Über sie wird ein dem je¬ weiligen Magnetisierungsprinzip angepaßter Magnetkopf hinweg¬ geführt, der insbesondere in Dünnfilmtechnik aufgebaut sein kann. Dabei sollte der Abstand zwischen dem Magnetkopf und der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums äußerst klein gehalten wer- den können und z.B. im Falle einer senkrechten Magnetisierung unter 1 μm liegen. Derartig geringe Abstände lassen sich aber praktisch nur dadurch gewährleisten, daß man ein den Magnet¬ kopf tragendes Substrat als sogenannten Flugkörper gestaltet, der aerodynamisch über dem Aufzeichnungsmedium hinweggleitet. Hierzu wird vorteilhaft das Substrat auf seiner dem Aufzeich¬ nungsmedium zugewandten Unterseite mit entsprechenden Gleit¬ bzw. Flugkufen ausgestattet (vgl. z.B. EP-A-0 137 051).
Kritisch sind hierbei insbesondere die Start- und Landephasen des als Flugkörper gestalteten Substrates. Um nämlich Be¬ schädigungen an dem Aufzeichnungsmedium und seinen Aggregaten einerseits und dem von dem Substrat getragenen Magnetkopf andererseits zu vermeiden, sieht man sich gezwungen, Maßnahmen zu ergreifen, mit denen eine geringe Reibung an der gemein¬ samen Grenzfläche dieser Teile sowie ein Schutz der verhält¬ nismäßig dünnen Speicherschicht des Mediums zu gewährleisten sind. Hierzu hat man bisher die Speicherschicht mit einer dünnen Schutzschicht aus einem harten, abriebfesten Material überzogen und außerdem auf deren Oberfläche eine dünne Schicht aus einem reibungsmindernden Gleit- oder Schmiermittel aufge¬ bracht. Als geeignetes Material für die Schutzschicht ist der eingangs genannten Veröffentlichung Kohlenstoff zu entnehmen, der beispielsweise durch einen Sputterprozeß auf die Speicher- schicht eines plattenförmigen Aufzeichnungsmediums aufgebracht ist. Auch Siliziumnitrid-Schutzschichten (vgl. EP-A-0 175389) oder Oxide, Nitride oder Karbide von Kobalt oder Chrom (vgl. z.B. EP-A-0 186 358) werden vorgesehen. Als Gleitmittel sind z.B. Siliziumdioxid (vgl. z.B. EP-A-0 134412), Kohlenwasser- Stoffverbindungen (vgl. z.B. DE-A-35 39 724) oder Fluor-Koh¬ lenstoff-Verbindungen (vgl. z.B. EP-A-0 175 389, EP-A-0 186 358 oder die eingangs genannten Veröffentlichung) bekannt. Diese Gleitmittel werden im allgemeinen nach bekannten chemischen oder physikalischen Verfahren auf dem jeweiligen Aufzeichnungs- 1 medium abgeschieden. Sie werden vielfach auch als Lubrikant bezeichnet.
Will man als hartes, abriebfestes Material für die Schutz- 5. schicht Kohlenstoff oder eine Kohlenstoff-Verbindung vorsehen, so zeigt sich, daß die Oberfläche dieser Schicht nicht gleich¬ mäßig mit einem flüssigen Gleitmittel aus einer der bekannten Fluor-Kohlenstoff-Verbindungen zu benetzen ist. Dies trifft insbesondere bei extrem glatten Oberflächen der Schutzschicht 0 zu. Es bildet sich dann nämlich kein homogener Film, sondern es werden unter Umständen nur kleine Tröpfchen erhalten, die ohne weiteres in einem Mikroskop zu erkennen sind. Dies führt beim Kontakt des Magnetkopfes mit dem plattenförmigen Aufzeich¬ nungsmedium zu hohen Reibungskoeffizienten und teilweise zu sehr großen Haftkräften. Es wurde erkannt, daß dieses Verhalten des Gleitmittels auf der Schutzschicht vor allem auf eine Adsorption von Wassermolekülen auf der Kohlenstoffoberfläche vor der Beschichtung mit dem Gleitmittel zurückzuführen ist.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es nun, das Aufzeich¬ nungsmedium der eingangs genannten Art dahingehend auszugestal¬ ten, daß die auf die inhomogene Benetzung der Schutzschicht zu¬ rückzuführende Erhöhung des Reibungskoeffizienten zumindest großenteils eliminiert wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß in die Schutzschicht zumindest in einer Zone, welche an die der Gleit¬ mittelschicht zugewandte Oberfläche der Schutzschicht angrenzt, Fluor eingebaut ist.
Die Erfindung geht dabei von der Erkenntnis aus, daß mit einem derartigen Einbau von Fluor in das Kohlenstoff-Material der Schutzschicht eine sogenannte Hydrophobierung der Kohlenstoff¬ oberfläche, d.h. eine Resistenz gegen eine Adsorption von Wassermolekülen, zu erreichen ist. Dies hat zur Folge, daß die Oberfläche mit einem flüssigen Gleitmittel aus einer der be¬ kannten Fluor-Kohlenstoff-Verbindungen wesentlich gleichmäßiger benetzt wird. Die bisher zu beobachtende Erhöhung des Reibungs- koeffizienten bei einem Kontakt eines Magnetkopfes mit der Oberfläche dieses Aufzeichnungsmediums tritt dann vorteilhaft nicht mehr auf.
Ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Aufzeich- nungs ediums ist dadurch gekennzeichnet, daß der Kohlenstoff oder die Kohlenstoff-Verbindung der Schutzschicht zugleich mit einer Fluor-Kohlenstoff-Verbindung auf der Speicherschicht ab¬ geschieden wird. Man kann aber auch zunächst eine vorläufige Schicht aus dem Kohlenstoff oder der Kohlenstoff-Verbindung der Schutzschicht auf der Speicherschicht abscheiden und an¬ schließend die freie Oberfläche dieser vorläufigen Schicht einer Fluor-Kohlenstoff-Verbindung aussetzen. Beide Verfahren haben den Vorteil, daß sie verhältnismäßig leicht durchzuführen sind, um das Fluor zumindest in eine oberflächennahe Zone ein- zubringen.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Aufzeich¬ nungsmediums bzw. der Verfahren zu seiner Herstellung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbei¬ spieles noch weiter erläutert, wobei auf die Zeichnung Bezug genommen wird. Dabei zeigt Figur 1 schematisch einen Quer¬ schnitt durch ein erfindungsgemäßes Aufzeichnungsmedium. Aus Figur 2 ist der in einem Start-Stop-Test zu ermittelnde Rei¬ bungskoeffizient dieses Aufzeichnungsmediums ersichtlich.
In Figur 1 ist ein Querschnitt durch einen Teil eines erfin¬ dungsgemäßen Aufzeichnungsmediums schematisch veranschaulicht. Bei dem allgemein mit 2 bezeichneten Aufzeichnungsmedium kann es sich insbesondere um eine starre, zu einer Achse A rota¬ tionssymmetrische Magnetspeicherplatte handeln, die einen an sich bekannten Trägerkörper 3 beträgt. Der Trägerkörper kann beispielsweise eine gehärtete Glasplatte sein (vgl. die
EP-A-0 256 278). Auf mindestens einer der beiden Flachseiten 4 und 5, beispielsweise auf der oberen Flachseite 4, ist eine Speicherschicht 7 aufgebracht, die je nach dem vorgesehenen Magnetisierungsprinzip zu magnetisieren ist. Im Fall des ver- tikalen Magnetisierungsprinzips kann die Speicherschicht 7 ein Schicht 7a aus einer Kobalt-Chrom-Legierung aufweisen, die sic auf einer Unterschicht 7b aus einem weichmagnetischen Material befinden kann. Die Speicherschicht 7 ist mit einer harten, ab¬ riebfesten Schutzschicht 9 abgedeckt, die aus Kohlenstoff (C) oder aus einer Kohlenstoff(C)-Verbindung besteht. Diese Schutz schicht 9 hat eine Dicke d zwischen 5 nm und 100 n , vorzugs¬ weise zwischen 10 nm und 50 nm. Wie in der Figur durch eine Schraffur angedeutet ist, soll erfindungsgemäß in diese Schutz schicht zumindest in einer Zone 9a, die an die Oberfläche 10 der Schutzschicht angrenzt, Fluor (F) eingebaut sein. Dabei soll die senkrecht zur Flachseite 4 zu messende Tiefe t dieser Zone 9a mindestens 0,5 nm betragen. Es kann aber auch der gesamte Querschnitt der Schicht 9 mit F versehen sein, so daß dann gilt: t' = d. Die Oberfläche 10 soll vorteilhaft extrem glatt ausgebildet werden und eine durch die maximale Rauhtiefe Rt festgelegte Oberflächenrauhigkeit von höchstens 70 nm, vorzugsweise höchstens 30 nm, bezogen auf eine Me߬ strecke von 2 mm Ausdehnung aufweisen. Unter der Größe R. wird dabei innerhalb der vorbestimmten Meßstrecke der Abstand ver- standen, der zwischen einer oberen, das Oberflächenprofil an seiner höchsten Profilerhebung berührenden Begrenzungslinie und einer dazu parallelen unteren, das Oberflächenprofil an seinem tiefsten Profilteil berührenden Begrenzungslinie ausgebildet ist (vgl. auch Entwurf 1968 zu DIN 4762). Auf dieser glatten Oberfläche 10 ist schließlich eine dünne Schicht 11 aus einem flüssigen Gleitmittel beispielsweise durch ein Tauchbeschichtungsverfahren oder durch Aufspritzen naß aufgebracht. Das Gleitmittel soll eine F-C-Verbindung enthalten und eine kinematische Viskosität zwischen 15 cSt und 350 cSt (= 350 . 10 m2/s) aufweisen. Derartige Gleitmittel sinα an sich bekannt. Insbesondere können sie ölige Schmiermittel aus einem perfluorierten Ether der allgemeinen chemischen Formel R-CF20-(C2F.0) -(CF20) -CF2-R sein. Bei einer entsprechenden Benetzung der Oberfläche 10 mit einem derartigen Gleitmittel ergeben sich dann senkrecht zur Flachseite 4 zu messende Dicken d' der Gleitmittelschicht 11 zwischen 1 und 20 nm.
Zur Herstellung des erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmediums können insbesondere zwei Verfahrenswege beschritten werden, um auf der oberen Flachseite der mindestens einen Speicherschicht 7 eine erfindungsgemäße Schutzschicht 9 auszubilden: 1) Bei diesem Verfahrensweg wird das C oder eine C-Verbindung wie z.B. TiC, ZrC oder WC gleichzeitig mit dem F abgeschie- den. Hierzu sind bekannte chemische Verfahren wie CVD
(Chemical Vapor Deposition) oder bekannte physikalische Verfahren wie PVD (Physical Vapor Deposition) einsetzbar. Besonders vorteilhaft kann hierfür ein Sputterprozeß ange¬ wandt werden. Gemäß einem konkreten Ausführungsbeispiel für einen solchen Sputterprozeß wird bei einem Druck von 5 bis
50 . 10 mbar und einer Leistungsdichte von 0,5 bis 4 W/cm2 eine etwa 10 bis 50 nm dicke C-Schicht aufgebracht. Hierbei sind dem Sputtergas Ar bereits 5 bis 40 % einer flüchtigen F-C-Verbindung zugegeben. Hierfür geeignete F-C-Verbindungen sind insbesondere und CHF,. Die Zugabe kann dabei jeweils aus einer dieser Verbindungen bestehen. Eben¬ so können auch Mischungen aus diesen Verbindungen zugesetzt werden. Außerdem können diese flüchtigen F-C-Verbindungen gegebenenfalls auch anderen gasförmigen Stoffen wie z.B. inerten Gasen beigemischt sein. Mittels des entsprechenden Sputterprozesses erhält man so eine Schutzschicht, in der das F homogen über den gesamten Querschnitt verteilt ein¬ gebaut ist.
2) Dieser Verfahrensweg sieht einen nachträglichen Einbau des F in eine bereits abgeschiedene vorläufige Schicht aus C oder einer C-Verbindung vor. Die nach bekannten Verfahren zunächst ausgebildete vorläufige Schicht wird anschließend so physikalisch oder chemisch nachbehandelt, daß das F von ihrer freien Oberfläche her in die Schicht eindringt und sich zumindest in einer oberflächennahen Zone 9a einbaut. Vorteilhaft kann hierfür ein RF-Plasmaprozeß vorgesehen werden, wobei ein Plasma mit einer flüchtigen F-C-Verbin- düng entsprechend dem Verfahrensweg 1) wie z.B. CF^ ausge¬ bildet wird. Beispielsweise ist eine Nachbehandlung bei einem Druck von 5 bis 100 . 10" mbar dieser F-C-Verbindung und einer Leistungsdichte von 0,1 bis 3 W/cm2 möglich. Bei diesem Prozeß wird der Substratträger mit der auf ihm abge- schiedenen vorläufigen C-haltigen Schicht so geschaltet, daß dieser auf negativem Potential liegt. Zwar wird hierbei ein geringer Teil der C-haltigen Schicht wieder abgeätzt; jedoch wird eine Absättigung zumindest der Schichtoberfläche mit F erreicht.
Die Oberflächen der nach den beiden Verfahrenswegen ausgebil¬ deten Schutzschichten zeichnen sich dadurch aus, daß auf ihnen C und F, jedoch keine Adsorbate mit Sauerstoff bei Augerelek- tronen-spektroskopischen Untersuchungen nachzuweisen sind. Wei- ter wird vorteilhaft erreicht, daß die Schichten gut mit Per- fluoropolyethern benetzt werden können und diese gute adsor¬ biert werden können. Man kann deshalb bei einem sich an¬ schließenden Tauchbeschichtungsverfahren einen dünnen zusammen¬ hängenden Film des Gleitmittels aufbringen, der gute tribolo- gische Eigenschaften (gute Gleitwerte) aufweist. Die Bestimmung des Reibungskoeffizienten einer erfindungsge¬ mäß ausgebildeten Magnetspeicherplatte ist mittels eines Start-Stop-Tests möglich. Die ermittelten Ergebnisse eines solchen Tests werden in ein Diagramm eingetragen, wie es Figur 2 zeigt. In diesem Diagramm sind in Abszissenrichtung der Zäh¬ lerstand z des jeweiligen neuen Start-Vorganges und in Ordi- natenrichtung der Reibungskoeffizient μ aufgetragen. Die Platte ist entsprechend handelsüblicher Datenspeicheranlagen angetrie¬ ben, wobei über sie ein bekannter, in Dünnfilmtechnik er- stellter Schreib-/ Lese-Magnetkopf hinweggeführt wird. Der Magnetkopf kann dabei aerodynamisch über die sich unter ihm hinwegdrehende Platte gleiten. Beim Anlaufen bzw. beim Stoppen des Antriebs der Platte kommt der Magnetkopf in Kontakt mit der Platte. In dieser Phase tritt Reibung und Verschleiß auf. Dieses Verhalten wird über mehrere 1000 Zyklen getestet, wobei die zum Anlaufen benötigte Kraft gemessen und so der Reibungs¬ koeffizient bestimmt wird. Zwischendurch wird der Test über längere Zeit unterbrochen, wobei der Magnetkopf auf der Platte liegen bleibt. Daran anschließend wird der Haftreibungskoeffi- zient aufgenommen. Wie der in das Diagramm eingetragenen Me߬ kurve zu entnehmen ist, läßt sich mit den erfindungsgemäßen Maßnahmen ein mittlerer Wert des Reibungskoeffizienten μ ein¬ halten, der deutlich unterhalb des von der Praxis im allge¬ meinen geforderten Wertes von etwa 0,6 liegt.

Claims

Patentansprüche
1. Magnetisches Aufzeichnungsmedium mit
- einem plattenförmigen Trägerkörper, - mindestens einer magnetisierbaren Speicherschicht auf minde¬ stens einer Flachseite des Trägerkörpers,
- einer die mindestens eine Speicherschicht abdeckenden Schutz¬ schicht aus Kohlenstoff oder aus einer Kohlenstoff-Verbin¬ dung sowie
- einer auf der Schutzschicht aufgebrachten Schicht aus einem Gleitmittel, welches eine Fluor-Kohlenstoff-Verbindung ent¬ hält, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß in die Schutzschicht (9) zumindest in einer Zone (9a), welche an die der Gleitmittelschicht (11) zugewandte Oberfläche (10) der Schutzschicht angrenzt, Fluor eingebaut ist.
2. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, d a d u r c h g e- k e n n z e i c h n e t , daß die Schutzschicht (9) eine senkrecht bezüglich der Flachseite (4) des Trägerkörpers (3) zu messende Dicke (d) zwischen 5 nm und 100 nm, vorzugsweise zwi¬ schen 10 nm und 50 nm, aufweist.
3. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die senkrecht bezüglich der Flachseite (4) des Trägerkörpers (3) zu messende Tiefe (t) der oberflächennahen Zone (9) der Schutzschicht (9) mindestens 0,5 nm beträgt.
4. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3, d a- d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die auf eine Meßstrecke von 2 mm Länge bezogene maximale Rauhtiefe (RA der mit der Schutzschicht (9) zu versehenden Oberfläche der Spei- cherschicht (7) höchstens 70 nm, vorzugsweise höchstens 30 nm beträgt.
5. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 4, d a- d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die senkrecht bezüglich der Flachseite (4) des Trägerkörpers (3) zu messende Dicke (d1) der Gleitmittelschicht (11) zwischen 1 nm und 20 nm liegt.
6. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 5, d a- d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Gleitmittel bei Raumtemperatur eine Viskosität zwischen 15 . 10 m2/s und 350 . 10~6 m2/s aufweist.
7. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a- d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Gleitmittel wenigstens einen perfluorierten Ether zumindest enthält.
8. Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungsmediums nach einem der Ansprüche 1 bis 7, d a d u r c h g e k e n n¬ z e i c h n e t , daß der Kohlenstoff oder die Kohlenstoff- Verbindung der Schutzschicht (9) zugleich mit einer Fluor- Kohlenstoff-Verbindung auf der Speicherschicht (7) abgeschie¬ den wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, d a d u r c h g e k e n n¬ z e i c h n e t , daß der Kohlenstoff oder die Kohlenstoff- Verbindung der Schutzschicht (9) mittels eines Sputterprozesses abgeschieden wird, wobei einem Sputtergas eine flüchtige Fluor- Kohlenstoff-Verbindung zugegeben wird.
10. Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungsmediums nach einem der Ansprüche 1 bis 7, d a d u r c h g e k e n n¬ z e i c h n e t , daß zunächst eine vorläufige Schicht aus dem Kohlenstoff oder der Kohlenstoff-Verbindung der Schutz¬ schicht (9) auf der Speicherschicht (7) abgeschieden wird und daß anschließend die freie Oberfläche dieser vorläufigen Schicht einer Fluor-Kohlenstoff-Verbindung ausgesetzt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, d a d u r c h g e k e n n¬ z e i c h n e t , daß der Kohlenstoff oder die Kohlenstoff- Verbindung der vorläufigen Schicht mittels eines Sputterpro¬ zesses abgeschieden wird und daß anschließend die freie Ober- fläche dieser vorläufigen Schicht in einem Plasma mit einer flüchtigen Fluor-Kohlenstoff-Verbindung nachbehandelt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 9 oder Anspruch 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß als flüchtige Fluor-Kohlen- stoff-Verbindung CF^ und/oder C2Fg und/oder C3Fg und/oder CHF3 vorgesehen wird.
EP89911807A 1988-12-07 1989-10-16 Magnetisches aufzeichnungsmedium sowie verfahren zu dessen herstellung Withdrawn EP0408681A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP88120464 1988-12-07
EP88120464 1988-12-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP0408681A1 true EP0408681A1 (de) 1991-01-23

Family

ID=8199638

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP89911807A Withdrawn EP0408681A1 (de) 1988-12-07 1989-10-16 Magnetisches aufzeichnungsmedium sowie verfahren zu dessen herstellung

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP0408681A1 (de)
WO (1) WO1990006575A1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19622732C2 (de) * 1996-06-07 2000-04-13 Ibm Oberflächenmodifikation von Magnetköpfen
US8425982B2 (en) 2008-03-21 2013-04-23 Micron Technology, Inc. Methods of improving long range order in self-assembly of block copolymer films with ionic liquids

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3665041A (en) * 1967-04-04 1972-05-23 Montedison Spa Perfluorinated polyethers and process for their preparation
DE3106184C2 (de) * 1981-02-19 1983-01-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur Schmierung von Lagerstellen und Getriebeteilen
GB2166668B (en) * 1984-11-09 1988-03-09 Tdk Corp Magnetic recording medium
IT1185508B (it) * 1985-02-14 1987-11-12 Monfefluos Spa Composizioni lubrificanti aventi migliorate proprieta'di filmatura
JP2500934B2 (ja) * 1985-03-27 1996-05-29 ティーディーケイ株式会社 磁気記録媒体
JPS62246137A (ja) * 1986-04-18 1987-10-27 Mitsubishi Electric Corp 磁気記録媒体
JPH07114016B2 (ja) * 1986-06-12 1995-12-06 株式会社東芝 磁気記録媒体及びその製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO9006575A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO1990006575A1 (de) 1990-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3601848C2 (de)
DE3707096A1 (de) Magnetkopftragfluegel zur verwendung mit einem magnetischen aufzeichnungstraeger
DE3619615C2 (de)
DE60311355T2 (de) Magnetische Aufzeichnungsmittel und Apparat
DE10349317A1 (de) Texturieren von Substraten für magnetische Platten
DE19963917A1 (de) Negativ-Kopf-Kontur für eine Linear-Bandaufnahmevorrichtung, mit einem Bandverformungshohlraum
DE102008004874B4 (de) Polierkissen mit Rillen zum Halten einer Aufschlämmung auf der Kissentextur
DE3001597A1 (de) Traegerkoerper fuer mindestens einen lese- und/oder schreibkopf zur abtastung von auf einem aufzeichnungstraeger enthaltenen informationen
DE4211712A1 (de) Flächige Polyethylenterephthalat-Materialien mit geringer Oberflächenrauhigkeit sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung und ihre Verwendung
DE2941446C2 (de)
DE10120035A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Manipulation kleiner Flüssigkeitsmengen auf Oberflächen
EP0186032B1 (de) Dünnfilm-Magnetkopf für ein senkrecht zu magnetisierendes Aufzeichnungsmedium
DE19654554A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Dünnfilms aus ultrafeinen Teilchen
EP0135739B1 (de) Kombinierter Schreib- und Lese-Magnetkopf für ein senkrecht zu magnetisierendes Aufzeichnungsmedium
EP0408681A1 (de) Magnetisches aufzeichnungsmedium sowie verfahren zu dessen herstellung
DE19622732C2 (de) Oberflächenmodifikation von Magnetköpfen
DE4123744A1 (de) Gleitstueck fuer einen fliegenden magnetkopf
DE3714787A1 (de) Magnetische speichereinrichtung mit einem zu magnetisierenden aufzeichnungsmedium sowie einem entsprechenden magnetkopf
DE2838263A1 (de) Magnetkopf und verfahren zu seiner herstellung
DE3940098C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilm-Magnetkopfes mit in einem Substrat versenkten Teilen
DE2837319A1 (de) Pipettensystem fuer die volumengenaue entnahme und strichfoermige deposition eines in suspension vorliegenden materials
DE19852955A1 (de) Röntgenanalysegerät mit röntgenoptischem Halbleiterbauelement
DE19616347A1 (de) Direkt kontaktierbare Platte für vertikale magnetische Datenspeicherung
DE4108486A1 (de) Verfahren zum herstellen eines schmierfilms und ein verfahren zum herstellen eines magnetischen aufzeichnungsmediums
DE19531746C2 (de) Kopfschieber für ein Magnetplattenlaufwerk

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 19900717

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LI LU NL SE

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 19900808