EP0205819B1 - System zum fleckenfreien Trocknen von Gegenständen mit durch Flüssigkeit benetzten Oberflächen - Google Patents

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EP0205819B1
EP0205819B1 EP19860105655 EP86105655A EP0205819B1 EP 0205819 B1 EP0205819 B1 EP 0205819B1 EP 19860105655 EP19860105655 EP 19860105655 EP 86105655 A EP86105655 A EP 86105655A EP 0205819 B1 EP0205819 B1 EP 0205819B1
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EP
European Patent Office
Prior art keywords
objects
blowing
container
treatment liquid
order
Prior art date
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Application number
EP19860105655
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English (en)
French (fr)
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EP0205819A1 (de
Inventor
Hans René Suter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Roag AG
Original Assignee
Roag AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Roag AG filed Critical Roag AG
Publication of EP0205819A1 publication Critical patent/EP0205819A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0205819B1 publication Critical patent/EP0205819B1/de
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/04Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to gases
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/004Nozzle assemblies; Air knives; Air distributors; Blow boxes
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B5/00Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
    • F26B5/005Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by dipping them into or mixing them with a chemical liquid, e.g. organic; chemical, e.g. organic, dewatering aids
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B9/00Machines or apparatus for drying solid materials or objects at rest or with only local agitation; Domestic airing cupboards

Definitions

  • the present invention relates to a method and a device for spot-free drying of objects with a smooth surface.
  • the drying in question here is the last stage of a cleaning process for objects whose surfaces have a high degree of purity at the end of the cleaning process.
  • This high degree of purity is a surface quality such as is required for a coating or sputtering.
  • Deionized water is generally used for rinsing.
  • the drying is also carried out using chlorinated or fluorinated hydrocarbons, the object drying completely after being left in steam from chlorinated or fluorinated hydrocarbon when it is pulled out.
  • dewatering must take place before the actual drying.
  • the object is dewatered either with isopropanol, dewatering fluid or with solvents containing additives before drying. Drying is carried out using the drying processes known per se with chlorinated or fluorinated hydrocarbons. After pulling out of the steam zone at the end of the process, the item is completely dry.
  • the drying based on evaporation i.e. by means of an infrared oven or with a heated medium, cannot be applied to an object with surfaces that need to be cleaned to a high degree because the remaining dry stains and residual dirt on the surface cannot be excluded, or is the rule.
  • the reasons for this are the contaminated ambient air, the qualitatively inadequate degree of purity of the aqueous treatment medium and the drying medium, and the long treatment time required for the drying process.
  • the substrate surface is blown on. This blowing can take place, for example, with purified nitrogen or purified air.
  • a drying process is used that combines displacement and evaporation.
  • the silicon wafers are cleaned in a solvent made of water, hydrogen peroxide and ammonium hydroxide solution, which is subjected to sound energy in the megahertz range, then rinsed with deionized water and finally in a spatially separated, separate drying station in a first phase with filtered room air for one minute is blown at a high flow rate exclusively from above in order to blow off most of the wetted water and then in a second phase for two to three minutes with a filtered room air heated to 100 ° C to completely dry the silicon wafers.
  • a solvent made of water, hydrogen peroxide and ammonium hydroxide solution, which is subjected to sound energy in the megahertz range, then rinsed with deionized water and finally in a spatially separated, separate drying station in a first phase with filtered room air for one minute is blown at a high flow rate exclusively from above in order to blow off most of the wetted water and then in a second phase for two to three minutes with a filtered room air heated to 100 °
  • the water film thickness is reduced by centrifugation.
  • the centrifugal effect removes the water from the surfaces of the object to be dried.
  • This method also known as dry spin, has the disadvantage that only flat and disc-shaped objects, e.g. Semiconductor substrates can be dried perfectly.
  • the invention has for its object to provide a method for spot-free drying of objects in which, while avoiding the disadvantages mentioned, the object to be dried is kept in a defined purity by rapid and direct transition from a liquid to a gaseous treatment medium and by displacement the liquid treatment medium is dried by blowing with the gaseous treatment medium.
  • a device for spot-free drying of objects is characterized according to the invention by the features of claim 11.
  • pure nitrogen, ultra-pure nitrogen, noble gas, pure air or ultra-pure air is used as the gaseous treatment medium. This has the advantage that contamination of the object during the drying process can be completely ruled out.
  • the object is blown at a pressure in the range of 1-8 bar.
  • the bath level can be done by draining the treatment liquid or by moving the container containing the treatment liquid. This can prevent splashes from treatment liquid being generated by the onset of the blowing. It is advantageous if the bathing level is lowered within a period of approx. 0.1-5 seconds.
  • objects of a similar, but not the same, geometric configuration such as e.g. Eyeglass lenses from prescription production can be dried quickly because the liquid forced to the edge by the blowing in one direction is blown off the edge by the blowing in the other direction.
  • the blowing device has a first blowing element, which is fixed with respect to the objects to be dried, and a second blowing element, which can be moved back and forth with respect to the objects to be dried, in order to selectively blow the objects to be dried from two directions, being the rays from the first and the second blowing element intersect at a certain angle.
  • the first and second blowing elements can be arranged so as to be movable or offset in time with respect to the object to be dried, so that the jets from the blowing elements sweep over the objects in order to selectively blow the objects from two directions. This drying from two directions advantageously reduces the drying time.
  • the blowing member is an elongated hollow body, the outlet opening or outlet openings extending over most of the length of the hollow body. This configuration advantageously allows a plurality of objects arranged side by side to be dried simultaneously.
  • the bath has a container which is arranged in a tub, the upper part of the container consists of two members which are pivotably arranged on the lower part in order to close the container and the third device is with the lower part of the container connected to move the container up and down, the trough being provided with stops which are each movable in engagement with the organs in order to open the container during the upward movement and to close it during the downward movement.
  • This configuration allows items to be dried in batches, the treatment liquid being able to be used for a number of drying processes.
  • the device for moving the objects to be dried has a driving means which is mounted on the holding device, a driven means on which the objects to be dried are arranged and which is movably mounted in the holding device, and a transmission means connecting the driving means and the driven means.
  • FIGS. 1 and 2 essentially serve to dry flat objects, in particular spectacle lenses, and differ in the design of the blowing device.
  • the device contains a container 1 with an upper part 2 and a lower part 3, which have an essentially circular cross section and different inside diameters.
  • the container 1 is mounted upright on a frame 4.
  • the container 1 is open at the top and closed at the bottom by a shut-off device 5.
  • An overflow opening 6 is provided on the upper section of the lower part 3 in order to keep the liquid level of a treatment liquid filled into the lower part at a constant level.
  • In the lower part 3 of the container 1 there is also a nozzle 7 for filling the treatment liquid, which opens into the lower part 3 at a level below the liquid level.
  • the treatment liquid is located in a storage container 8, which is connected to the nozzle 7 via a pipeline 9.
  • a shut-off valve 10 is installed in this pipeline 9.
  • the lower container part 1 is formed from the cylindrical section 20 and a conical section 21, which tapers towards the outlet opening 22 of the container 1 and determines the outlet opening 22.
  • the section 21 is designed such that the cross-sectional area of the outlet opening 22 is substantially equal to the cross-sectional area of the section 20. It is pointed out that the lower container part '3 can also consist of a single cylindrical section.
  • the shut-off device 5 already mentioned is a conventional gate valve 23 which is mounted on the one hand on a flange 24 on the lower part 3 and on the other hand on a flange 25 of the pipeline 12.
  • the gate valve 23 is provided with a drive member 26.
  • a nozzle 27 is provided in order to generate an atmosphere above the liquid level, which consists of a gaseous treatment medium.
  • This nozzle 27 is movably arranged on a holding device 28 such that the height of the nozzle can be adjusted with respect to the liquid level.
  • the holding device 28 is fastened to the inside of the upper container part 2 by means of holders 29.
  • a carriage 30 is mounted on the frame 4 and can be moved in the directions indicated by the arrow A.
  • a frame 31 is mounted on the carriage 30 in a self-supporting manner so that it lies above the opening of the container 1.
  • a holding device 32 for the objects to be dried is attached or fastened to the frame.
  • the design of the holding device depends on the geometric shape of the object to be dried and is intended for spectacle lenses in the present case.
  • the holding device 32 contains two rods 33 which can be attached to the frame 31 at one end and two plates 34 which are fastened to the other ends of the rods 33.
  • the plates 34 are U-shaped.
  • two struts 35 are fastened parallel to one another, which serve as a support for the lenses 36 to be dried and keep the two plates 34 at a distance.
  • the holder of the lenses 36 can be designed in accordance with that described in US Pat. No. 4,432,380.
  • the device is also provided with a device for blowing on the objects to be dried.
  • a device for blowing on the objects to be dried An embodiment of such a device is shown in Figures 1 and 2.
  • This device contains two fixed blowing elements 40, 41, which are mounted parallel to each other in the upper container part 2, so that they are always above the liquid level and two movable blowing elements 42, 43, which are at a certain distance above the fixed blowing elements 40, 41 in the upper container part - And are arranged movable.
  • the movable blowing elements 42, 43 are each mounted on two identically designed holding devices, which have a guide 44 mounted on the frame 4, a push rod 45 arranged displaceably in the guide 44, a drive device with two wheels 46, 47 and has a support rod 48 which is attached to the push rod at one end and has a holder 49 at the other end for attaching the movable blowing element 42, 43.
  • the blowing device further comprises a storage container 50 for the gaseous treatment medium.
  • This storage container 50 is via a line 51 in which a valve 52 is installed, with the nozzle 27, via a line 52 in which a valve 53 is installed, with the fixed blowing elements 40, 41 and via a line 54 into which a Valve 55 is installed, connected to the movable blowing members 42, 43.
  • a blowing member can also be used which has two outlet openings which are essentially arranged opposite one another.
  • the blower is attached at both ends to a feed rod which is led out of the upper part 2 of the container. These push rods are connected to a drive to move the blowing member in the upper container part 2 into a rest position or working position.
  • FIG. 3 shows a further exemplary embodiment of the device for blowing on the objects, which is mounted in a housing which corresponds in its basic structure to the housing 1 shown in FIG. 1.
  • a bearing block 51 is attached to the inside of the upper container part 2.
  • An upper holding device 52 and a lower holding device 53 are pivotably arranged on this bearing block 51, which are pivoted individually or together by a drive device 54.
  • the drive device 54 is fastened to the bearing block 51 or upper housing part 2 by suitable means.
  • the upper holding device 52 contains a one-armed lever 55 which is articulated at one end on the bearing block 51.
  • two holding members 56 are pivotally attached.
  • the holding members 56 are designed in the present case as a one-armed lever and articulated at one end to the one-armed lever 55.
  • a blowing member 57 is attached to the other end of the holding member 56.
  • This blowing element 57 is an elongated hollow body which has a plurality of holes formed in a line or a slot which extends over most of its length. The holes and the slot form the outlet openings for the gaseous treatment medium.
  • the other holding device 53 consists of a one-armed lever 58 which is articulated at one end on the bearing block 51. At the other end of the one-armed lever 58, a blowing member 59 is attached.
  • the blowing member 59 on the lower holding device 53 is designed as a two-jet nozzle, in which the outlet openings are formed on the opposite sides of the hollow body.
  • Figures 4a and 4b show two versions of such blowing elements in cross section.
  • Treatment liquid is poured from the storage container 8 through the pipeline 9 and the valve 10 into the lower container part 3 until the liquid level determined by the overflow opening 6 is reached. This liquid level is maintained by the system of overflow tank 11 and pump 16 if necessary.
  • the spectacle lenses 36 inserted in two rows and side by side in the holding device are inserted into the device from the device 30, 31 from above Container 1 retracted until the lenses 36 are completely immersed in the treatment liquid bath.
  • a gaseous treatment medium is then introduced from the storage container 50 through the nozzle 27 into the space above the liquid level. The air present in the space above the liquid level is displaced by the gaseous treatment medium flowing out of the nozzle 27 and an atmosphere consisting of gaseous treatment medium is thus generated.
  • the blowing members 42, 43 are displaced relative to one another, as a result of which the spectacle lenses are blown from above by the downward jet of gaseous treatment medium.
  • the treatment liquid adhering to the surface of the spectacle lenses 36 is displaced downward and the surface regions freed from treatment liquid are dried at the same time.
  • the treatment liquid displaced downward by the blowing through the blowing members 42, 43 collects in the lower edge region of the spectacle lenses 36.
  • the treatment liquid accumulated in the edge region of the spectacle glasses 36 is displaced by the two blowing members 40, 41 and by short, intermittent blowing at high pressure blown off outside. With this measure, the drying time is significantly reduced.
  • a new drying cycle can then be carried out.
  • the method runs in the same way, in which case the movable blowing elements 57 are pivoted and not shifted.
  • Figures 5 and 6 show another embodiment of the inventive device for drying objects with a complicated geometric shape.
  • the device has a container 60 with a cylindrical upper part 61, a trough-shaped section 62 with a semicircular cross section which is butt welded to the upper part 61 with one leg 62a, and a conical lower part 63 which is welded to the outside of the other leg 62b and tapers towards the outlet.
  • the container 60 is open at the top and closed at the bottom by a shut-off device 64.
  • the inner legs 62b form an overflow edge 65, so that the level of the liquid level of a treatment liquid filled into the lower part 63 is determined.
  • a nozzle 66 is provided for filling the treatment liquid, which opens into the lower part 63 at a level below the liquid level.
  • the treatment liquid is located in a storage container 67, which is connected to the nozzle 66 via a pipe 68.
  • a valve 69 is installed in this pipeline 68.
  • the trough-shaped section 62 serves as a collecting container and has two outlets 70.
  • the outlet of the container 60 is connected to a feed pump 72 via a pipeline 71.
  • the outlets 70 of the section 62 are each connected to the pipeline 71 via a pipeline 73, 74.
  • the feed pump 72 is connected to the pipeline 68 via a pipeline 75 in which a shut-off valve 76 is installed. This creates a system for maintaining the liquid level, wherein the losses of treatment liquid from the storage container 67 can be covered if necessary.
  • the outlet opening of the container 60 is determined by the lower part 63 tapering towards the outlet.
  • the lower part 63 is designed such that the cross-sectional area of the outlet opening is substantially equal to the cross-sectional area of the section with the smallest inside diameter of the lower part 63.
  • the shut-off device 64 already mentioned is a conventional gate valve 74 which is mounted on the one hand on a flange 78 on the lower part 63 and on the other hand on a flange 79 of the pipeline 71.
  • the gate valve 74 is provided with a drive member 80.
  • the device also has a frame 81 on which a carriage 82 is mounted, which can be moved in the direction indicated by the arrow A.
  • a frame 83 is mounted on the carriage 82 in a self-supporting manner so that it lies over the opening of the container 60.
  • a holding device 84 for the object to be dried is detachably attached to the frame.
  • the design of the holding device depends on the geometric shape of the object to be dried and is intended for a ring laser gyro in the present case.
  • the holding device 84 contains a first strut 85, which is detachably fastened to the frame 83 at one end and has a bushing 86 at the other end, and a second strut 87, which is likewise attached to the frame 83 at one end is releasably attached and has a fork-shaped section 88 at the other end.
  • a rod 89 can be provided in the fork-shaped section 88 and the sleeve 86.
  • a shaft 90 is rotatably mounted, on which, for example, a ring laser gyro 91 is arranged in a certain position in a stable position.
  • a bevel gear 92 is arranged on the shaft 90 and lies within the fork opening. This gear 92 is driven by a shaft 93.
  • the shaft 93 is driven by another bevel gear 94a, which is drive-connected to a drive device 94, which is fastened to the strut 87.
  • This drive device 94 can be an electric motor, for example.
  • the device also contains a device for blowing the object with a gaseous treatment medium.
  • This device comprises six nozzles 95, which are arranged in two rows of three nozzles opposite each other in the container upper part 61 in such a way that the outlet openings of two nozzles 95 lie on the same line.
  • the nozzles 95 are adjustably mounted on holding devices 96 in order to be able to adjust their position with respect to the liquid level.
  • the holding devices 96 are fastened to the inside of the upper container part 61 by means of brackets 97.
  • two opposing nozzles 95 are connected in parallel via a pipeline 98 to a storage container 99 for the gaseous treatment medium.
  • a valve 100 is installed in each of these pipelines 98.
  • Treatment liquid is filled from the storage container 67 through the pipeline 68 and the valve 69 into the lower container part 63 until the liquid level determined by the overflow edge 65 is reached. This level of liquid is maintained by the gutter 62 and pump 72 system if necessary.
  • the ring laser gyro 91 arranged in the holding device is inserted into the container 60 from above by the device 82, 83 until the ring laser gyro 91 is completely immersed in the bath of treatment liquid.
  • a gaseous treatment medium is then introduced from the storage container through the lowermost nozzles 95 into the space above the liquid level.
  • the treatment liquid is then drained by opening the gate valve 77. This draining takes place very quickly because the outlet opening of the lower container part has a cross section which is essentially equal to the cross section of the lower container part 63.
  • This draining of the treatment liquid can be accelerated by the treatment liquid being sucked off by means of the feed pump 72.
  • the space released by draining the treatment liquid above the liquid level is filled by the gaseous treatment medium which flows in through the lowermost nozzles 95.
  • the device 82, 83 raises the holding device and thus the ring laser gyro 92 into a blowing position shown in dashed lines in FIG. 6.
  • the ring laser gyro In this position, the ring laser gyro is blown on both sides by two nozzles 95 with gaseous treatment medium at a high flow rate.
  • the ring laser gyro 91 is rotated by the device 92, 93.95 in order to blow off or blow off the liquid adhering to the surfaces and located in blind holes and to dry the ring laser gyro.
  • FIGS. 1-10 Another exemplary embodiment of the device for spot-free drying of objects is shown in FIGS.
  • the device contains a container 101 which is arranged so that it can be moved up and down within a tub 100.
  • the tub 101 is mounted in a frame, not shown, so that it is accessible from above.
  • the container 101 consists essentially of a lower part 102 with a curved bottom and two flat side walls and two lid segments 103, 104 with a curved ceiling and two flat side walls, which are pivotably mounted at 105 on the side walls of the lower part 102.
  • a holding and connecting block 106 is fastened to a side wall of the lower part 102 (FIG. 9).
  • the outlet opening 197 of the container 101 is led out via this connection block 106.
  • an inlet opening 108 and an opening 109 are also provided for the overflow.
  • the outlet opening, inlet opening and overflow opening can be connected to a storage container and collecting container in order to supply the container 101 with treatment liquid.
  • the container 101 is connected to a device 110 via the connection block 106 in order to move the container 101 up and down within the tub 100.
  • a device 110 such devices are known.
  • the container 101 is moved up and down by a carriage 112 which can be displaced by means of a drive worm 111 and which is guided on two guides 113.
  • the carriage 111 and the connection block 106 are connected to one another by a fastening bracket 114. Since the device 110 is arranged outside the tub 100, the corresponding side wall of the tub 100 has a recess 115.
  • the tub 100 encloses one for the through management of the process required treatment room, which is essentially filled by the gaseous treatment medium.
  • the tub 100 is provided with a fan 116 which is arranged in a compartment 117 which is shielded from the treatment room.
  • the fan 116 is connected to the treatment room via an inlet opening 118 and to the room surrounding the device via an outlet opening 119.
  • a baffle 120 is provided on the side of the tub opposite compartment 117.
  • the compartment 117 and the guide plate 120 are designed and arranged in such a way that there is essentially the same distance between them and the container.
  • the device also has a holding device 121 for the objects 122 to be dried. Since the design of the holding device 121 depends on the design of the object to be dried, an exemplary embodiment for holding eyeglass lenses 122 is shown schematically in FIGS. 7 and 8. Thereafter, this holding device 121 consists of two plates 123 which are connected opposite one another by struts 124, the struts 124 simultaneously serving as support members for the spectacle lenses 122. Rods 125 are welded to the plates 123 at one end. At the other end, the rods 125 are designed such that they can be suspended in a device (not shown) for moving the holding device 121 up and down. The device can be similar to the embodiment shown in FIG.
  • two nozzles 130 are provided. These nozzles 130 are arranged in the area of the tub floor.
  • the device also includes a blowing device 132, which is divided into two functional units. As can be seen from FIG. 8, one functional unit contains two blowing elements 133, 134 and the other functional unit contains a number of nozzles 135 and 136 arranged one behind the other in each row with an adjustable nozzle head 137, 138, so that the direction of the emerging jet with respect to the object to be dried is adjustable. These functional units also differ in their function in that the blowing members 133, 134 can be moved back and forth as well as up and down and the nozzles 135, 136 can only be moved up and down. In order to move the blowing elements and nozzles 133 to 136, the blowing device contains means, not shown, which e.g.
  • a support is arranged on a spindle arranged next to the tub 100.
  • the blowing elements 133, 134 are mounted on a right and left hand winch spindle, which is mounted on the support and is driven by a motor.
  • the nozzles 135, 136 are mounted on a spindle with a right-hand thread, which is also mounted on the support and is driven by another motor.
  • the blowing device 132 similar to that shown in FIG. 1, comprises a storage container for the gaseous treatment medium, which is connected to the blowing members 132, 134 and to the nozzles 135, 136 as well as to the nozzles 130 arranged inside the tub 100.
  • the container 101 is filled with treatment liquid up to the line 140, which represents the bath level.
  • This filling is monitored, e.g. with a level control loop. The filling can take place when the container 101 occupies the upper position in the tub 100.
  • the spectacle lenses 122 inserted in the holding device 121 in two rows and side by side are inserted into the container 101 from above until the spectacle lenses 122 are completely immersed in the treatment liquid.
  • a gaseous treatment medium can be introduced into the space above the bath level 140 either through the two nozzles 130 inside the tub 100 or through the blowing device 132. The preconditions for spotless drying of the spectacle lenses 122 are thus fulfilled.
  • the container 101 is lowered by the device 110.
  • the container With the lowering of the container 101, the container is closed at the same time and moved into a lower position within the trough 100 (FIG. 8). This process takes place very quickly, within about 1 second.
  • the space above the closed container 101 is filled by the gaseous treatment medium.
  • the actual drying is then carried out by the blowing device 132.
  • the blowing members 133, 134 and the nozzles 135, 136 are moved into a blowing position which corresponds to that shown in FIG. 2.
  • the blowing of the spectacle lenses 122 takes place analogously to that described in connection with FIG. 2.
  • the fan 116 runs during the actual drying, but can already be put into operation if the atmosphere is to be generated from the treatment medium above the bath level 140 by the blowing device 132 in order to produce a uniform laminar suction flow within the space determined by the tub 100.

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum fleckenfreien Trocknen von Gegenständen mit glatter Oberfläche.
  • Bei der hier in Rede stehenden Trocknung handelt es sich um die letzte Stufe eines Reinigungsprozesses für Gegenstände, deren Oberflächen am Ende des Reinigungsprozesses einen hohen Reinheitsgrad haben. Bei diesem hohen Reinheitsgrad handelt es sich um eine Oberflächenqualität, wie sie z.B. für eine Beschichtung oder ein Sputtern erforderlich ist.
  • Bei den zur Zeit angewendeten Reinigungsverfahren in der metallverarbeitenden Industrie, Optik, Elektronik, usw. erfolgt die Reinigung in der Reinigungsstufe mit
    • - chlorierten oder insbesondere mit fluorierten Kohlenwasserstoffen oder
    • - wäßrigen Lösungen, die aus Wasser und Detergentien bestehen.
  • Zum Spülen wird in der Regel deionisiertes Wasser verwendet.
  • Um einen durch einen Reinigungs- und Spülvorgang benetzten Gegenstand zu trocknen, sind verschiedene Verfahren bekannt.
  • Wird der Gegenstand mittels chlorierten oder fluorierten Kohlenwasserstoffen gereinigt, so erfolgt die Trocknung ebenfalls mit chlorierten oder fluorierten Kohlenwasserstoffen, wobei der Gegenstand nach einem Aufenthalt in Dampf aus chloriertem oder fluoriertem Kohlenwasserstoff beim Herausziehen vollständig trocknet.
  • Wird der Gegenstand mittels einer wäßrigen Lösung aus Wasser und Detergentien gereinigt, so muß vor der eigentlichen Trocknung eine Entwässerung erfolgen. Bei dieser Entwässerung wird der Gegenstand entweder mit Isopropanol, Dewatering fluid oder mit Additiven enthaltenden Lösemitteln vor dem Trocknen entwässert. Die Trocknung erfolgt nach den an sich bekannten Trocknungsverfahren mit chlorierten oder fluorierten Kohlenwasserstoffen. Nach dem Herausziehen aus der Dampfzone am Ende des Prozesses ist der Gegenstand vollständig trocken.
  • Obwohl mit diesem Trocknungsverfahren brauchbare Ergebnisse erzielt werden, haben sie folgende Nachteile:
    • - Die Gegenstände müssen vor dem Trocknen durch Behandlung mit Isopropanol oder mit Lösemittelverbindungen (Isopropylalkohol oder Additive) entwässert werden.
    • - Die Lösemittel z.B. fluorierte und chlorierte Kohlenwasserstoffe sind als nicht umweltfreundlich zu betrachten, teuer in der Herstellung, und bei der Anwendung ist z.T. ein Schutz des Personals erforderlich.
    • - Die vorhandenen Lösemittel, insbesondere aus fluorierten und chlorierten Kohlenwasserstoffen, können nicht bei allen Materialien z.B. Kunststoffen, wie Polycarbonat, problemlos angewendet werden.
    • - Die in der Oberflächenschicht vorhandene Lösemittelrückstände können dazu führen, daß bei einer nachfolgenden Beschichtung der Oberflächen Haftungsprobleme mit der aufzubringenden Schicht auftreten, daß die Qualität der aufgebrachten Schicht und deren Lebensdauer geringer sind und daß beim Beschichten unter Hochvakuum die Chloride und Fluoride ausdampfen und das Vakuum verunreinigen.
    • - Die Lösemittelrückstände können auch bei der Anwendung der Gegenstände deren Funktion beeinträchtigen, z.B. bei einem Ringlasergyro kann dadurch das eingefüllte gasförmige Medium verunreinigt werden, und somit die Funktion des Gyros beeinträchtigen bzw. verunmöglichen.
  • In der Halbleitertechnologie sind zum Teil andere, speziell auf diese Produkte und deren Herstellung ausgerichtete Trocknungsverfahren bekannt. Im Buch "Halbleitertechnologie", Band 1 "Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung", 1981, VEB VERLAG TECHNIK werden für das Trocknen von Substratoberflächen das Verdunsten, das Verdrängen und das Verdünnen erwähnt, die man meistens kombiniert anwendet.
  • Die auf Verdunsten beruhende Trocknung, d.h. mittels eines Infrarotofens oder mit einem erwärmten Medium, kann bei einem Gegenstand mit Oberflächen, die einen hohen Reinigungsgrad aufweisen müssen, nicht angewendet werden, weil das Zurückbleiben von Trockenflecken und Restverschmutzungen auf der Oberfläche nicht ausgeschlossen werden kann, bzw. die Regel ist. Gründe hierfür bildet die verunreinigte Umgebungsluft, der qualitativ ungenügende Reinheitsgrad des wäßrigen Behandlungsmediums und des Trocknungsmediums, sowie die notwendige lange Behandlungszeit des Trocknungsvorganges.
  • Wird die Umgebungsluft aufbereitet, so wird der Reinheitsgrad dementsprechend verbessert.
  • Bei der auf Verdrängen beruhenden Trocknung wird die Substratoberfläche angeblasen. Dieses Anblasen kann z.B. mit gereinigtem Stickstoff oder gereinigter Luft erfolgen. Um Siliziumscheiben, z.B. Solarzellen zu trocknen, wird ein aus Verdrängen und Verdunsten kombiniertes Trocknungsverfahren angewendet. Hierbei werden die Siliziumscheiben in einem Lösungsmittel aus Wasser, Wasserstoffperoxid und Ammoniumhydroxidlösung, das mit Schallenergie im Megahertzbereich beaufschlagt wird, gereinigt werden, anschließend mit entionisiertem Wasser gespült werden und abschließend in einer räumlich getrennten, separaten Trocknungsstation in einer ersten Phase während einer Minute mit gefilterter Raumluft mit hoher Strömungsgeschwindigkeit ausschließlich von oben angeblasen wird, um den größten Teil des benetzten Wassers abzublasen und anschließend in einer zweiten Phase während zwei bis drei Minuten mit einer gefilterten und auf 100°C erwärmten Raumluft angeblasen wird, um die Siliziumscheiben vollständig zu trocknen.
  • Das vorstehend erläuterte Vorgehen stellt einen Spezialfall in der Halbleiterherstellung dar für eine Anzahl planer, identischer Siliziumscheiben und ist somit nicht überall anwendbar, was ein Nachteil ist.
  • Bei der auf Verdünnen beruhenden Trocknung wird die Wasserfilmdicke durch Zentrifugieren reduziert. Dabei wird das Wasser durch die Zentrifugalwirkung von den Oberflächen des zu trocknenden Gegenstandes entfernt.
  • Dieses auch als Trockenschleudern bekannte Verfahren hat den Nachteil, daß nur plane und scheibenförmige Gegenstände z.B. Halbleitersubstrate einwandfrei getrocknet werden können.
  • Aus der EP-A 0 137 947 ist eine Trockenschleuder bekannt, bei der das zu trocknende Substrat mittels Wasserdüsen durch eine Anzahl von Stufen einer Trocknungsstufe zugeleitet wird, ohne daß das Substrat mit der Umgebungsluft in Kontakt kommt. Nachdem das Wasser aus der Trocknungsstufe abgelassen ist, wird der Drehteller mit dem Substrat innerhalb der Kammer angehoben, die Substratoberfläche mit einem Trocknungsgas, z.B. trockenem, staubfreiem Stickstoff beaufschlagt, und anschließend der Drehteller mit ca. 5000 Min.-1 gedreht. Hierbei wird die auf der Substratoberfläche vorhandene Wasserschicht durch die Zentrifugalwirkung verdünnt und das Wasser auf der Substratoberfläche durch das Trocknungsgas verdrängt. Diese Trocknung hat im wesentlichen folgende Nachteile:
    • - es kann jeweils nur ein Substrat getrocknet werden,
    • - es können nur plane und scheibenförmige Substrate getrocknet werden,
    • - die Trocknung im wesentlichen auf die Zentrifugalwirkung beruht, so daß eine sehr hohe Drehzahl benötigt wird,
    • - das Trocknungsgas rechtwinklig zur Substratoberfläche zugeführt wird und folglich nur eine untergeordnete Rolle beim Verdrängen spielt,
    • - daß Gegenstände mit anderen Formen z.B. konvexe und konkave und/oder mit Löchern usw. nicht getrocknet werden können.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum fleckenfreien Trocknen von Gegenständen zu schaffen, bei dem unter Vermeidung der erwähnten Nachteile der zu trocknende Gegenstand durch einen schnellen und direkten Übergang aus einem flüssigen in ein gasförmiges Behandlungsmedium in einer Umgebung definierter Reinheit gehalten und durch Verdrängen des flüssigen Behandlungsmediums mittels Anblasen mit dem gasförmigen Behandlungsmedium getrocknet wird.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Patentanspruches 1 gelöst.
  • Eine Vorrichtung zum fleckenfreien Trocknen von Gegenständen ist erfindungsgemäß durch die Merkmale des Patentanspruches 11 gekennzeichnet.
  • Die mit dieser Erfindung erreichbaren Vorteile sind im wesentlichen darin zu sehen, daß
    • - zum Trocknen von mit wäßrigen Lösungen gereinigten Gegenständen der vorgängig erforderliche Entwässerungsvorgang entfallen kann,
    • - keine Lösemittel verwendet werden, die eine chemische Reaktion mit dem Material des zu trocknenden Gegenstandes eingehen können,
    • - ein qualitativ höherer Reinheitsgrad der Oberflächen erzielt werden kann,
    • - auch sehr komplizierte geometrische Formen mit Sacklöchern, Durchgängen, Schrägflächen, konvexe und konkave Flächen problemlos getrocknet werden können,
    • - das Verfahren umweltfreundlich ist und keine atmosphärische Verschmutzung zur Folge hat,
    • - der Kostenaufwand für die Trocknung gegenüber den bekannten Verfahren wesentlich herabgesetzt wird,
    • - der Zeitaufwand für die Trocknung gleich/kleiner 2 Minuten ist,
    • - auch für Materialien wie Glas, Keramik, Germanium, Metall usw. geeignet ist,
    • - der zu trocknende Gegenstand nicht aus dem letzten Spülbad in eine spezielle Trocknungseinheit transportiert werden muß,
    • - daß Kunststoffe in Raumtemperatur getrocknet werden können, die empfindlich sind gegen Erwärmung,
    • - zerbrechliche oder empfindliche Teile werden nicht beschädigt, und
    • - die Temperatur des gasförmigen Behandlungsmediums im Bereich der Umgebungstemperaturen liegt.
  • Bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird als gasförmiges Behandlungsmedium Reinstickstoff, Reinststickstoff, Edelgas, Reinluft oder Reinstluft verwendet. Dies hat den Vorteil, daß eine Verschmutzung des Gegenstandes während des Trocknungsprozesses vollständig ausgeschlossen werden kann.
  • Es ist von Vorteil, wenn die Anblasung des Gegenstandes mit einem Druck im Bereich von 1-8 bar erfolgt.
  • Der Badspiegel kann durch Ablassen der Behandlungsflüssigkeit oder durch Verschieben des die Behandlungsflüssigkeit aufweisenden Behälters erfolgen. Dadurch kann verhindert werden, daß durch die einsetzende Anblasung Spritzer aus Behandlungsflüssigkeit erzeugt werden. Es ist von Vorteil, wenn der Badespiegel innerhalb eines Zeitraumes von ca. 0,1-5 Sekunden abgesenkt wird.
  • Dadurch, daß der Gegenstand aus einer Richtung, die bezüglich dem Gegenstand veränderbar ist, und aus einer weiteren Richtung, die bezüglich dem Gegenstand festeingestellt ist, gezielt angeblasen wird, können Gegenstände ähnlicher, jedoch nicht gleicher geometrischer Ausgestaltung, wie z.B. Brillengläser aus der Rezeptfertigung schnell getrocknet werden, weil die durch die Anblasung in der einen Richtung an den Rand gedrängte Flüssigkeit durch die Anblasung in der anderen Richtung vom Rand abgeblasen wird.
  • Bei einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist die Anblaseinrichtung ein erstes Anblasorgan, das bezüglich den zu trocknenden Gegenständen feststeht, und ein zweites Anblasorgan auf, das bezüglich den zu trocknenden Gegenständen hin- und herbewegbar ist, um die zu trocknenden Gegenstände aus zwei Richtungen gezielt anzublasen, wobei die Strahlen aus dem ersten und zweiten Anblasorgan sich unter einem bestimmten Winkel schneiden. Mit dieser Anordnung der durch die Anblasung aus einer feststehenden Richtung erzielbare Effekt und die die Gegenstände überstreichende Anblasung verbessert werden und Gegenstände mit sehr komplizierter geometrischer Form vollumfänglich angeblasen werden.
  • Das erste und zweite Anblasorgan kann bezüglich dem zu trocknenden Gegenstand gleichzeitig oder zeitlich versetzt beweglich angeordnet sein, so daß die Strahlen aus den Anblasorganen die Gegenstände überstreichen, um die Gegenstände aus zwei Richtungen gezielt anzublasen. Durch diese Anblasung aus zwei Richtungen kann die Trocknungszeit in vorteilhafter Weise herabgesetzt werden.
  • Bei einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist das Anblasorgan ein länglicher Hohlkörper, wobei die Austrittsöffnung oder Austrittsöffnungen sich über den größten Teil der Länge des Hohlkörpers erstrecken. Durch diese Ausbildung können in vorteilhafter Weise eine Mehrzahl nebeneinanderliegend angeordnete Gegenstände gleichzeitig getrocknet werden.
  • Bei einer anderen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist das Bad einen Behälter auf, der in einer Wanne angeordnet ist, besteht der Oberteil des Behälters aus zwei Organen, die am Unterteil schwenkbar angeordnet sind, um den Behälter zu schließen und die dritte Einrichtung ist mit dem Unterteil des Behälters verbunden, um den Behälter auf- und abzubewegen, wobei die Wanne mit Anschlägen versehen ist, die jeweils mit den Organen in Eingriff bewegbar sind, um den Behälter während der Aufwärtsbewegung zu öffnen und während der Abwärtsbewegung zu schließen.
  • Durch diese Ausbildung können Gegenstände chargenweise getrocknet werden, wobei die Behandlungsflüssigkeit für eine Anzahl Trocknungsvorgänge verwendet werden kann.
  • Bei einer anderen bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist die Einrichtung zum Bewegen der zu trocknenden Gegenstände ein antreibendes Mittel, das an der Haltevorrichtung montiert ist, ein angetriebenes Mittel, auf dem die zu trocknenden Gegenstände angeordnet sind und das in der Halteeinrichtung beweglich montiert ist, und ein Übertragungsmittel auf, das das antreibende Mittel und das angetriebene Mittel verbindet. Dadurch können in vorteilhafter Weise Gegenstände beliebiger geometrischer Form in kürzester Zeit einwandfrei getrocknet werden.
  • Die Erfindung wird nachfolgend mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen erläutert.
  • Es zeigen:
    • Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zum fleckenfreien Trocknen von Gegenständen,
    • Fig. 2 eine schematische Darstellung der in Fig. 1 gezeigten Anblaseinrichtung, aus der die Zuordnung der Anblasdüsen zu den zu trocknenden Gegenständen ersichtlich ist,
    • Fig.. 3 eine schematische Darstellung eines anderen Ausführungsbeispiels einer Anblasvorrichtung, aus der die Zuordnung der Anblasdüsen zu den zu trocknenden Gegenständen ersichtlich ist,
    • Fig. 4a und 4b Querschnitte der Düsen,
    • Fig. 5 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Vorrichtung zum fleckenfreien Trocknen von Gegenständen, und
    • Fig. 6 einen Schnitt entlang der Linie VI-VI in Fig. 5,
    • Fig. 7 und 8 eine schematische Darstellung eines anderen Ausführungsbeispiels der Vorrichtung zum fleckenfreien Trocknen von Gegenständen in zwei Arbeitzuständen, und
    • Fig. 9 einen Schnitt entlang der Linie VIII-VIII in Fig. 7, die einen Teil der Vorrichtung und des Behälters zeigt.
  • Die in Figur 1 und 2 gezeigten Vorrichtungen dienen im wesentlichen zum Trocknen von flachen Gegenständen, insbesondere Brillengläsern und unterscheiden sich in der Ausführung der Anblasvorrichtung.
  • Wie Fig. 1 zeigt, enthält die Vorrichtung einen Behälter 1 mit einem Oberteil 2 und einem Unterteil 3, die einen im wesentlichen kreisförmigen Querschnitt und unterschiedliche Innendurchmesser aufweisen. Der Behälter 1 ist aufrechtstehend an einem Gestell 4 montiert. Der Behälter 1 ist oben offen und untern durch eine Absperrvorrichtung 5 abgeschlossen. Am oberen Abschnitt des Unterteiles 3 ist eine Ueberlauföffnung 6 vorgesehen, um den Flüssigkeitsspiegel einer in den Unterteil eingefüllten Behandlungsflüssigkeit auf ein konstantes Niveau zu halten. Im Unterteil 3 des Behälters 1 ist ferner ein Stutzen 7 zum Einfüllen der Behandlungsflüssigkeit vorgesehen, der auf einem unterhalb des Flüssigkeitsspiegels liegenden Niveau in den Unterteil 3 mündet.
  • Die Behandlungsflüssigkeit befindet sich in einem Lagerbehälter 8, der über eine Rohrleitung 9 mit dem Stutzen 7 verbunden ist. In dieser Rohrleitung 9 ist ein Absperrventil 10. installiert. Zur Aufrechterhaltung des Bades aus Behandlungsflüssigkeit ist ein Auffangbehälter 11 vorhanden, der über eine Rohrleitung 12 mit dem Auslass des Behälters 1 und über eine Rohrleitung 13 mit einer Ueberlaufrinne 14 am Unterteil 3 des Behälters 1 verbunden ist, um die Behandlungsflüssigkeit aus dem Behälterunterteil 3 aufzunehmen, und der über eine Rohrleitung 15, in die eine Förderpumpe 16 und ein Absperrventil 17 installiert sind, mit dem Behälterunterteil verbunden ist, um die Behandlungsflüssigkeit in den Behälterunterteil 3 zu fördern, wobei die Rohrleitung vor dem Stutzen 7 in die Rohrleitung 9 mündet.
  • Wie Figur 1 zeigt, wird der Behälterunterteil 1 aus dem zylindrischen Abschnitt 20 und einem konischen Abschnitt 21 gebildet, der sich zur Auslassöffnung 22 des Behälters 1 hin verjüngt und die Auslassöffnung 22 bestimmt. Der Abschnitt 21 ist so ausgelegt, dass die Querschnittfläche der Auslassöffnung 22 im wesentlichen gleich der Querschnittfläche des Abschnittes 20 ist. Es wird darauf hingewiesen, dass der Behälterunterteil '3 auch aus einem einzelnen zylindrischen Abschnitt bestehen kann.
  • Die bereits erwähnte Absperrvorrichtung 5 ist ein herkömmlicher Absperrschieber 23, der einerseits an einem Flansch 24 am Unterteil 3 und andererseits an einem Flansch 25 der Rohrleitung 12 montiert ist. Der Absperrschieber 23 ist mit einem Antriebsorgan 26 versehen.
  • Um über dem Flüssigkeitsspiegel eine Atmosphäre zu erzeugen, die aus-einem gasförmigen Behandlungsmedium besteht, ist eine Düse 27 vorgesehen. Diese Düse 27 ist an einer Halteeinrichtung 28 beweglich so angeordnet, dass die Düse bezüglich dem Flüssigkeitsspiegel in der Höhe verstellbar ist. Die Halteeinrichtung 28 ist mittels Haltern 29 an der Innenseite des Behälteroberteiles 2 befestigt.
  • Am Gestell 4 ist ein Wagen 30 montiert, der in den durch den Pfeil A angegebenen Richtungen verfahrbar ist. Am Wagen 30 ist ein Rahmen 31 freitragend montiert, so dass dieser über der Oeffnung des Behälters 1 liegt.
  • Am Rahmen ist eine Halteeinrichtung 32 für die zu trocknenden Gegenstände eingehängt oder befestigt.
  • Die konstruktive Ausgestaltung der Halteeinrichtung ist jeweils von der geometrischen Form des zu trocknenden Gegenstandes abhängig und ist im vorliegenden Fall für Brillengläser gedacht.
  • Wie aus den Figuren 1 und 2 ersichtlich ist, enthält die Halteeinrichtung 32 zwei Stäbe 33, die an einem Ende am Rahmen 31 einhängbar sind, und zwei Platten 34, die an den anderen Enden der Stäbe 33 befestigt sind. Die Platten 34 sind U-förmig. Im Bereich der Enden der Schenkel sind jeweils zwei Streben 35 parallel zueinander befestigt, die als Auflage für die zu trocknenden Linsen 36 dienen und die beiden Platten 34 auf Abstand halten. Die Halterung der Linsen 36 kann gemäss der in der US-A-4 432 380 beschriebenen ausgebildet sein.
  • Die Vorrichtung ist ausserdem mit einer Einrichtung zum Anblasen der zu trocknenden Gegenstände versehen. Ein Ausführungsbeispiel einer solchen Einrichtung ist in den Figuren 1 und 2 dargestellt. Diese Einrichtung enthält zwei feststehende Anblasorgane 40,41, die parallel zueinanderliegend im Behälteroberteil 2 montiert sind, so dass diese immer oberhalb des Flüssigkeitsspiegels liegen und zwei bewegliche Anblasorgane 42,43, die in einem bestimmten Abstand oberhalb der feststehenden Anblasorgane 40,41 im Behälteroberteil hin- und herbewegbar angeordnet sind. Die beweglichen Anblasorgane 42,43 sind jeweils an zwei identisch ausgebildeten Halteeinrichtungen montiert, die eine am Gestell 4 montierte Führung 44, eine in der Führung 44 verschiebbar angeordnete Schubstange 45, eine mit der Schubstange 45 in Wirkverbindung stehende Antriebsvorrichtung mit zwei Rädern 46,47 und eine Haltestange 48 aufweist, die an einem Ende an der Schubstange befestigt ist und am anderen Ende ein Halter 49 zum Befestigen der beweglichen Anblasorgan 42,43 aufweist.
  • Die Anblaseinrichtung umfasst ferner einen Lagerbehälter 50 für das gasförmige Behandlungsmedium. Dieser Lagerbehälter 50 ist über eine Leitung 51 in der ein Ventil 52 installiert ist, mit der Düse 27, über eine Leitung 52, in der ein Ventil 53 installiert ist, mit den feststehenden Anblasorganen 40,41 und über eine Leitung 54, in die ein Ventil 55 installiert ist, mit den beweglichen Anblasorganen 42,43 verbunden.
  • Anstelle der feststehenden Anblasorgane 40,41 kann auch ein Anblasorgan verwendet werden, das zwei im wesentlichen gegenüberliegend ausgebildete Auslassöffnungen aufweist. Das Anblasorgan ist an beiden Enden jeweils an einer Vorschubstange befestigt, die aus dem Oberteil 2 des Behälters herausgeführt ist. Diese Schubstangen sind mit einem Antrieb verbunden, um das Anblasorgan im Behälteroberteil 2 in eine Ruhestellung bzw. Arbeitsstellung zu verschieben.
  • In Figur 3 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der Einrichtung zum Anblasen der Gegenstände dargestellt, die in einem Gehäuse montiert ist, das im Grundaufbau dem in Fig. 1 dargestellten Gehäuse 1 entspricht.
  • Wie Figur 3 zeigt, ist ein Lagerbock 51 an der Innenseite des Behälteroberteiles 2 befestigt. An diesem Lagerbock 51 ist eine obere Halteeinrichtung 52 und eine untere Halteeinrichtung 53 verschwenkbar angeordnet, die durch eine Antriebsvorrichtung 54 einzeln oder gemeinsam verschwenkt werden. Die Antriebsvorrichtung 54 ist durch geeignete Mittel am Lagerbock 51 oder Gehäuseoberteil 2 befestigt. Die obere Halteeinrichtung 52 enthält einen einarmigen Hebel 55, der an einem Ende am Lagerbock 51 angelenkt ist. Am anderen Ende des einarmigen Hebels 55 sind zwei Halteorgane 56 schwenkbar befestigt. Die Halteorgane 56 sind im vorliegenden Fall als einarmige Hebel ausgebildet und an einem Ende an den einarmigen Hebel 55 angelenkt. Am anderen Ende des Halteorgans 56 ist jeweils ein Anblasorgan 57 befestigt. Dieses Anblasorgan 57 ist ein länglicher Hohlkörper, der mit einer Mehrzahl von auf einer Linie liegend ausgebildeter Löcher oder einen sich über den grössten Teil seiner Länge erstreckenden Schlitz aufweist. Die Löcher und der Schlitz bilden die Austrittsöffnungen für das gasförmige Behandlungsmedium. Die andere Halteeinrichtung 53 besteht aus einem einarmigen Hebel 58, der an einem Ende am Lagerbock 51 angelenkt ist. Am anderen Ende des einarmigen Hebels 58 ist ein Anblasorgan 59 befestigt. Gegenüber dem Anblasorgan 57 an der oberen Halteeinrichtung 52 ist das Anblasorgan 59 an der unteren Halteeinrichtung 53 als Zweistrahldüse ausgebildet, bei der die Austrittsöffnungen an den gegenüberliegenden Seiten des Hohlkörpers ausgebildet sind.
  • Die Figuren 4a und 4b zeigen zwei Ausführungen solcher Anblasorgane im Querschnitt.
  • Nachfolgend wird das Verfahren zum Trocknen von Brillengläsern anhand der Figuren 1-3 erläutert.
  • Aus dem Lagerbehälter 8 wird Behandlungsflüssigkeit durch die Rohrleitung 9 und das Ventil 10 in den Behälterunterteil 3 eingefüllt, bis der durch die Ueberlauföffnung 6 bestimmte Flüssigkeitsspiegel erreicht ist. Dieser Flüssigkeitsspiegel wird durch das System aus Ueberlaufbehälter 11 und Pumpe 16 aufrechterhalten, falls erforderlich. Nachdem das Bad aus Behandlungsflüssigkeit bereitgestellt ist, werden die in der Halteeinrichtung in zwei Reihen und nebeneinanderliegend eingelegten Brillengläser 36 durch die Einrichtung 30,31 von oben her in den Behälter 1 eingefahren, bis die Brillengläser 36 vollständig in dem Bad aus Behandlungsflüssigkeit eingetauch sind. Danach wird aus dem Lagerbehälter 50 ein gasförmiges Behandlungsmedium durch die Düse 27 in den Raum oberhalb des Flüssigkeitsspiegels eingeführt. Durch das aus der Düse 27 ausströmende gasförmige Behandlungsmedium wird die im Raum oberhalb des Flüssigkeitsspiegels vorhandene Luft verdrängt und so eine aus gasförmigem Behandlungsmedium bestehende Atmosphäre erzeugt. Dadurch sind die Bedingungen für das fleckenfreie Trocknen der Brillengläser 36 geschaffen, denn im Behälter 1 befinden sich nun ein Bad aus technisch reiner Behandlungsflüssigkeit und darüber eine Atmosphäre aus technisch reinem gasförmigem Behandlungsmedium. In der Folge wird die Behandlungsflüssigkeit durch Oeffnen des Absperrschiebers 5 abgelassen. Dieses Ablassen erfolgt sehr schnell, weil die Auslassöffnung 22 des Behälterunterteiles 3 einen Querschnitt hat, der im wesentlichen gleich dem Querschnitt des Behälterunterteiles ist. Bei diesem Ablassen wird der durch den absinkenden Flüssigkeitsspiegel freigegebene Raum im Behälterunterteil 3 durch das gasförmige Behandlungsmedium ausgefüllt. Durch die Einrichtung 30,31 werden die Brillengläser 36 in eine in Fig. 1 gestrichelt dargestellte Anblasstellung angehoben. In Fig.2 ist diese Anblasstellung gezeigt. Bei dieser Stellung der Brillengläser 36 werden die Anblasorgane 42,43 gegeneinander verschoben, wodurch die Brillengläster durch den nach unten gerichteten Strahl aus gasförmigem Behandlungsmedium von oben her angeblasen werden. Durch dieses Anblasen, das mit einer bestimmten Strömungsgeschwindigkeit erfolgt, wird die an der Oberfläche der Brillengläser 36 haftende Behandlungsflüssigkeit nach unten verdrängt und die von Behandlungsflüssigkeit frei werdenden Oberflächenbereiche gleichzeitig getrocknet. Die durch die Anblasung durch die Anblasorgane 42,43 nach unten verdrangte Behandlungsflüssigkeit sammelt sich im unteren Randbereich der Brillengläser 36. Die im Randbereich der Brillengläser 36 angesammelte Behandlungsflüssigkeit wird durch die zwei Anblasorgane 40,41 verdrangt und durch kurzes, stossweises Anblasen bei hohem Druck nach aussen abgeblasen. Mit dieser Massnahme wird die Trocknungszeit wesentlich verkürzt. Sind die Brillengläser 36 auf die vorstehende Weise getrocknet, werden die Anblasorgane 42,43 in die Ruhestellung verschoben und die Halteeinrichtung mit den Brillengläsern 36 aus dem Behälter 1 herausgefahren.
  • Anschliessend kann ein neuer Trocknungszyklus durchgeführt werden.
  • Bei dem in Figur 3 dargestellten Ausführungsbeispiel läuft das Verfahren in der gleichen Weise ab, wobei in diesem Fall die beweglichen Anblasorgane 57 verschwenkt und nicht verschoben werden.
  • Die Figuren 5 und 6 zeigen ein anderes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemässen Vorrichtung zum Trocknen von Gegenständen mit komplizierter geometrischer Form.
  • Die Vorrichtung hat einen Behälter 60 mit einem zylindrischen Oberteil 61, einen rinnenförmigen Abschnitt 62 mit halbrundem Querschnitt, der mit einem Schenkel 62a stumpf an den Oberteil 61 angeschweisst ist, und einen konischen Unterteil 63, der an der Aussenseite des anderen Schenkels 62b angeschweisst ist und sich zum Auslass hin verjüngt. Der Behälter 60 ist oben offen und unten durch eine Absperreinrichtung 64 abgeschlossen. Die innenliegenden Schenkel 62b bilden eine Ueberlaufkante 65, so dass das Niveau des Flüssigkeitsspiegels eine in den Unterteil 63 eingefüllten Behandlungsflüssigkeit bestimmt wird. Im Unterteil 63 des Behälters 60 ist ein Stutzen 66 zum Einfüllen der Behandlungsflüssigkeit vorgesehen, der auf einem unterhalb des Flüssigkeitsspiegels liegenden Niveau in den Unterteil 63 mündet.
  • Die Behandlungsflüssigkeit befindet sich in einem Lagerbehälter 67, der über eine Rohrleitung 68 mit dem Stutzen 66 verbunden ist. In dieser Rohrleitung 68 ist ein Ventil 69 installiert. Der rinnenförmige Abschnitt 62 dient als Auffangbehälter und weist zwei Auslässe 70 auf. Der Auslass des Behälters 60 ist über eine Rohrleitung 71 mit einer Förderpumpe 72 verbunden. Die Auslässe 70 des Abschnittes 62 sind jeweils über eine Rohrleitung 73,74 mit der Rohrleitung 71 verbunden. Die Förderpumpe 72 ist über eine Rohrleitung 75, in der ein Absperrventil 76 installiert ist, mit der Rohrleitung 68 verbunden. Dadurch wird ein System zur Aufrechterhaltung des Flüssigkeitsspiegels geschaffen, wobei die Verluste an Behandlungsflüssigkeit aus dem Lagerbehälter 67 bei Bedarf gedeckt werden können.
  • Die Auslassöffnung des Behälters 60 wird durch den sich zum Auslass hin verjüngenden Unterteil 63 bestimmt. Der Unterteil 63 ist so ausgebildet, dass die Querschnittfläche der Auslassöffnung im wesentlichen gleich der Querschnittfläche des Abschnittes mit dem kleinsten Innendurchmesser des Unterteiles 63 ist.
  • Die bereits erwähnte Absperreinrichtung 64 ist ein herkömmlicher Absperrschieber 74, der einerseits an einem Flansch 78 am Unterteil 63 und andererseits an einem Flansch 79 der Rohrleitung 71 montiert ist. Der Absperrschieber 74 ist mit einem Antriebsorgan 80 versehen.
  • Die Vorrichtung weist ferner ein Gestell 81 auf, an dem ein Wagen 82 montiert ist, der in den durch den Pfeil A angegebenen Richtung verfahrbar ist. Am Wagen 82 ist ein Rahmen 83 freitragend montiert, so dass dieser über der Oeffnung des Behälters 60 liegt. Am Rahmen ist eine Haltevorrichtung 84 für den zu trocknenden Gegenstand lösbar befestigt.
  • Wie bereits erwähnt, ist die konstruktive Ausgestaltung der Halteeinrichtung von der geometrischen Form des zu trocknenden Gegenstandes abhängig und ist im vorliegenden Fall für einen Ringlasergyro gedacht.
  • Wie die Figuren 5 und 6 zeigen, enthält die Halteeinrichtung 84 eine erste Strebe 85, die an einem Ende am Rahmen 83 lösbar befestigt ist und am anderen Ende eine Büchse 86 aufweist, und eine zweite Strebe 87, die an einem Ende am Rahmen 83 ebenfalls lösbar befestigt ist und am anderen Ende einen gabelförmig ausgebildeten Abschnitt 88 aufweist. Um die beiden Streben 85,87 auf Abstand zu halten und gegenseitig zu stützen, kann ein Stab 89 vorgesehen werden. In dem gabelförmigen Abschnitt 88 und der Büchse 86 ist eine Welle 90 drehbar geiagert, .auf der z.B. ein Ringlasergyro 91 in einer bestimmten Stellung lagerstabil angeordnet ist. Auf der Welle 90 ist ein Kegelzahnradgetriebe 92 angeordnet, das innerhalb der gabelöffnung liegt. Dieses Getriebe 92 wird durch eine Welle 93 angetrieben. Die Welle 93 wird durch ein weiteres Kegelzahnradgetriebe 94a angetrieben, das mit einer Antriebsvorrichtung 94 antriebsverbunden ist, die an der Strebe 87 befestigt ist. Diese Antriebsvorrichtung 94 kann z.B. ein Elektromotor sein.
  • Wie Figur 6 zeigt, enthält die Vorrichtung ferner eine Einrichtung zum Anblasen des Gegenstandes mit gasförmigem Behandlungsmedium. Diese Einrichtung umfasst sechs Düsen 95, die in zwei Reihen zu je drei Düsen so im Behälteroberteil 61 aneinander gegenüberliegend angeordnet sind, dass die Austrittsöffnungen von zwei Düsen 95 auf einer gleichen Linie liegen. Die Düsen 95 sind an Haltevorrichtungen 96 verstellbar montiert, um deren Lage bezüglich des Flüssigkeitsspiegels einstellen zu können. Die Halteeinrichtungen 96 sind mittels Trägern 97 an der Innenseite des Behälteroberteiles 61 befestigt. Jeweils zwei einander gegenüberliegende Düsen 95 sind parallel über eine Rohrleitung 98 mit einem Lagerbehälter 99 für das gasförmige Behandlungsmedium verbunden. In dieser Rohrleitung 98 ist jeweils ein Ventil 100 installiert.
  • Anstelle der einzelnen Düsen 95 in jeder Reihe können auch die in den Figuren 4a und 4b dargestellten Abblasorgane vorgesehen werden, um eine Mehrzahl unter-bzw. nebeneinanderliegender Gegenstände gezielt anzublasen.
  • Im folgenden wird das Verfahren zum Trocknen eines Ringlasergyro anhand der Figuren 5 und 6 beschrieben.
  • Aus dem Lagerbehälter 67 wird Behandlungsflüssigkeit durch die Rohrleitung 68 und das Ventil 69 in den Behälterunterteil 63 eingefüllt, bis der durch die Ueberlaufkante 65 bestimmte Flüssigkeitsspiegel erreicht ist. Dieser Flüssigkeitsspiegel wird durch das System aus Rinne 62 und Pumpe 72 aufrechterhalten, falls erforderlich. Nachdem das Bad aus Behandlungsflüssigkeit vorbereitet ist, wird der in der Halteeinrichtung angeordnete Ringlasergyro 91 durch die Einrichtung 82,83 von oben her in den Behälter 60 eingefahren, bis der Ringlasergyro 91 vollständig in dem Bad aus Behandlungsflüssigkeit eingetaucht ist. Im Unterschied zum Verfahren zum Trocknen von Brillengläsern wird danach aus dem Lagerbehälter ein gasförmiges Behandlungsmedium durch die untersten Düsen 95 in den Raum oberhalb des Flüssigkeitsspiegels eingeführt. Dadurch wird gleich wie beim Verfahren zum Trocknen von Brillengläsern eine aus dem gasförmigen Behandlungsmedium bestehende Atmosphäre erzeugt, um die Vorbedingungen für das fleckenfreie Trocknen des Ringlasergyro zu schaffen. Anschliessend wird die Behandlungsflüssigkeit durch Oeffnen des Absperrschiebers 77 abgelassen. Dieses Ablassen erfolgt sehr schnell, weil die Auslassöffnung des Behälterunterteiles einen Querschnitt hat, der im wesentlichen gleich dem Querschnitt des Behälterunterteiles 63 ist. Dieses Ablassen der Behandlungsflüssigkeit kann beschleunigt werden, indem die Behandlungsflüssigkeit mittels der Förderpumpe 72 abgesaugt wird. Der durch das Ablassen der Behandlungsflüssigkeit über dem Flüssigkeitsspiegel freigegebene Raum wird durch das gasförmige Behandlungsmedium ausgefüllt, welches durch die untersten Düsen 95 einströmt. Durch die Einrichtung 82,83 wird die Halteeinrichtung und somit der Ringlasergyro 92 in eine in Fig. 6 gestrichelt dargestellte Anblasstellung angehoben.
  • In dieser Stellung wird der Ringlasergyro beidseitig durch jeweils zwei Düsen 95 mit gasförmigem Behandlungsmedium mit hoher Strömungsgeschwindigkeit erzielt angeblasen. Während der Anblasung wird der Ringlasergyro 91 durch die Einrichtung 92,93,95 gedreht, um die an den Oberflächen haftende und in Sacklöchern befindliche Flüssigkeit ab- bzw. auszublasen und den Ringlasergyro zu trocknen.
  • Bei diesem Verfahren ist es aber auch möglich, den Ringlasergyro 91 kontinuierlich nach oben zu verschieben und gleichzeitig zu drehen, um den Gegenstand zu trocknen.
  • In den Figuren 7 bis 9 ist ein anderes Ausführungsbeispiel der Vorrichtung zum fleckenfreien Trocknen von Gegenständen dargestellt.
  • Die Vorrichtung enthält einen Behälter 101, der innerhalb einer Wanne 100 auf- und abbewegbar angeordnet ist. Die Wanne 101 ist in einem nicht dargestellten Gestell so montiert, dass sie von oben zugänglich ist.
  • Der Behälter 101 besteht im wesentlichen aus einem Unterteil 102 mit einem gewölbten Boden und zwei ebenen Seitenwänden und zwei Deckelsegmenten 103,104 mit einer gewölbten Decke und zwei ebenen Seitenwänden, die bei 105 an den Seitenwänden des Unterteiles 102 schwenkbar montiert sind.
  • An einer Seitenwand des Unterteiles 102 ist ein Halte- und Anschlussblock 106 befestigt (Fig. 9). Ueber diesen Anschlussblock 106 ist die Auslassöffnung 197 des Behälters 101 herausgeführt. Neben der Auslassöffnung sind noch eine Einlassöffnung 108 und eine Oeffnung 109 für den Ueberlauf vorgesehen.
  • Die Auslassöffnung, Einlassöffnung und Ueberlauföffnung können wie in Fig. 1 dargestellt mit einem Lagerbehälter und Auffangbehälter verbunden sein, um den Behälter 101 mit Behandlungsflüssigkeit zu versorgen.
  • Wie aus Figur 9 ferner ersichtlich, ist der Behälter 101 über den Anschlussblock 106 mit einer Einrichtung 110 verbunden, um den Behälter 101 innerhalb der Wanne 100 auf- und abzubewegen. Derartige Einrichtungen sind bekannt. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel wird der Behälter 101 durch einen mittels einer Antriebsschnecke 111 verschiebbaren Schlitten 112 auf- und abbewegt, der an zwei Führungen 113 geführt wird. Der Schlitten 111 und der Anschlussblock 106 sind durch einen Befestigungswinkel 114 miteinander verbunden. Da die Einrichtung 110 ausserhalb der Wanne 100 angeordnet ist, weist die entsprechende Seitenwand der Wanne 100 eine Ausnehmung 115 auf.
  • Die Wanne 100 umschliesst einen für die Durchführung des Verfahrens erforderlichen Behandlungsraum, der im wesentlichen durch das gasförmige Behandlungsmedium ausgefüllt wird. Die Wanne 100 ist mit einem Ventilator 116 versehen, der in einem bezüglich dem Behandlungsraum abgeschirmten Abteil 117 angeordnet ist. Der Ventilator 116 steht über eine Einlassöffnung 118 mit dem Behandlungsraum und über eine Auslassöffnung 119 mit dem die Vorrichtung umgebenden Raum in Verbindung. Um eine gleichmässige Strömung innerhalb des Behandlungsraumes zu erzeugen, ist an der dem Abteil 117 gegenüberliegenden Seite der Wanne ein Leitblech 120 vorgesehen. Das Abteil 117 und das Leitblech 120 sind dabei so ausgebildet und angeordnet, dass zwischen diesen und dem Behälter jeweils im wesentlichen der gleiche Abstand vorhanden ist.
  • Die Vorrichtung weist ferner eine Halteeinrichtung 121 für die zu trocknenden Gegenstände 122 auf. Da die Ausbildung der Halteeinrichtung 121 von der Ausbildung des zu trocknenden Gegenstandes abhängt, ist in den Figuren 7 und 8 ein Ausführungsbeispiel zum Halten von Brillengläsern 122 schematisch dargestellt. Danach besteht diese Halteeinrichtung 121 aus zwei Platten 123, die einander gegenüberliegend durch Streben 124 verbunden sind, wobei die Streben 124 gleichzeitig als Auflageorgane für die Brillengläser 122 dienen. An den Platten 123 sind Stäbe 125 an einem Ende angeschweisst. Am anderen Ende sind die Stäbe 125 so ausgebildet, dass sie in eine nicht dargestellte Einrichtung zum Auf- und Abbewegen der Halteeinrichtung 121 einhängbar sind. Die Einrichtung kann ähnlich der in Figur 1 dargestellten Ausführung sein.
  • Um innerhalb der Wanne 100 und über dem Badspiegel eine Atmosphäre zu erzeugen, die aus einem gasförmigen Behandlungsmedium besteht, sind zwei Düsen 130 vorgesehen. Diese Düsen 130 sind im Bereich des Wannenbodens angeordnet.
  • Die Vorrichtung enthält ferner eine Anblaseinrichtung 132, die in zwei Funktionseinheiten unterteilt ist. Wie aus Fig. 8 ersichtlich ist, enthält die eine Funktionseinheit zwei Anblasorgane 133,134 und die andere Funktionseinheit eine jeweils in einer Reihe hintereinanderliegend angeordnete Anzahl von Düsen 135 und 136 mit einem verstellbaren Düsenkopf 137,138, so dass die Richtung des austretenden Strahles bezüglich dem zu trocknenden Gegenstand einstellbar ist. Diese Funktionseinheiten unterschieden sich ferner in ihrer Funktion, indem die Anblasorgane 133,134 sowohl hin- und her- als auch auf- und abbewegbar sind und die Düsen 135,136 nur auf- und abbewegbar sind. Um die Anblasorgane und Düsen 133 bis 136 zu verschieben, enthält die Anblaseinrichtung nicht dargestellte Mittel, die z.B. wie folgt ausgestaltet sein können: Auf einer neben der Wanne 100 angeordneten Spindel ist ein Support angeordnet. Die Anblasorgane 133,134 sind auf einer Rechts- und Linkswinde aufweisenden Spindel montiert, die am Support gelagert ist und durch einen Motor angetrieben wird. Die Düsen 135,136 sind auf einer mit Rechtsgewinde versehenen Spindel montiert, die ebenfalls am Support gelagert ist und durch einen weiteren Motor angetrieben wird.
  • Die Anblaseinrichtung 132 umfasst ähnlich wie in Fig. 1 dargestellt, einen Lagerbehälter für das gasförmige Behandlungsmedium, der mit den Anblasorganen 132,134 und mit den Düsen 135,136 als auch mit den innerhalb der Wanne 100 angeordneten Düsen 130 verbunden ist.
  • Nachfolgend wird das Verfahren zum Trocknen von Brillengläsern in der in den Figuren 7-9 dargestellten Vorrichtung beschrieben.
  • Der Behälter 101 wird mit Behandlungsflüssigkeit bis zur Linie 140 gefüllt, die den Badspiegel darstellt. Dieses Füllen wird überwacht, z.B. mit einem Niveauregelkreis. Das Füllen kann erfolgen, wenn der Behälter 101 die obere Stellung in der Wanne 100 einnimmt. Nachdem das Bad bereitgestellt ist, werden die in der Halteeinrichtung 121 in zwei Reihen und nebeneinander eingelegten Brillengläser 122 von oben her in den Behälter 101 eingefahren, bis die Brillengläser 122 vollständig in die Behandlungsflüssigkeit eingetaucht sind. Um die über dem Badspiegel 140 vorhandene Luft zu verdrängen, kann ein gasförmiges Behandlungsmedium entweder durch die zwei Düsen 130 innerhalb der Wanne 100 oder durch die Anblaseinrichtung 132 in den Raum oberhalb des Badspiegels 140 eingeführt werden. Damit sind die Vorbedingungen für das fleckenfreie Trocknen der Brillengläser 122 erfüllt. In der Folge und nach Ablauf einer vorbestimmten Eintauchzeit wird der Behälter 101 durch die Einrichtung 110 abgesenkt. Mit dem Absenken des Behälters 101 wird der Behälter gleichzeitig verschlossen und in eine untere Stellung innerhalb der Wanne 100 verschoben (Fig. 8). Dieser Vorgang läuft sehr schnell ab, und zwar innerhalb ca. 1 Sekunde. Dabei wird der Raum oberhalb des geschlossenen Behälters 101 durch das gasförmige Behandlungsmedium ausgefüllt. Anschließend erfolgt die eigentliche Trocknung durch die Anblaseinrichtung 132. Hierzu werden die Anblasorgane 133, 134 und die Düsen 135, 136 in eine Anblasstellung verschoben, die der in Fig. 2 dargestellten entspricht. Die Anblasung der Brillengläser 122 erfolgt analog wie in Zusammenhang mit Fig. 2 beschrieben.
  • Der Ventilator 116 läuft während der eigentlichen Trocknung, kann aber bereits in Betrieb genommen werden, wenn die Atmosphäre aus Behandlungsmedium oberhalb des Badspiegels 140 durch die Anblaseinrichtung 132 erzeugt werden soll, um eine gleichmäßige laminare Saugströmung innerhalb des durch die Wanne 100 bestimmten Raumes zu erzeugen.

Claims (22)

1. Verfahren zum fleckenfreien Trocknen von in einer Behandlungsflüssigkeit mit vorgegebenem Reinheitsgrad gereinigten Gegenständen mit glatter Oberfläche, wobei die Gegenstände mit im wesentlichen gleicher Ausrichtung in die Behandlungsflüssigkeit eingetaucht werden, um eine homogene Benetzung der Oberfläche der Gegenstände zu erzielen, wobei zum Trocknen folgende Verfahrensschritte durchgeführt werden:
a) über der Behandlungsflüssigkeit wird eine Schutzatmosphäre mit einem gasförmigen Behandlungsmedium mit vorgegebenem Reinheitsgrad errichtet,
b) nach dem Benutzen wird die Behandlungsflüssigkeit von den Gegenständen getrennt, wobei eine rasche Trennbewegung durch Absenken der Flüssigkeit bzw. des Bades erfolgt, derart, daß der freiwerdende Raum um die Gegenstände ohne Zeitverzug mit dem gasförmigen Behandlungsmedium ausgefüllt wird, um eine Kontaktierung mit anderen gasförmigen Medien zu verhindern,
c) gleichzeitig mit oder unmittelbar nach der Trennung von Behandlungsflüssigkeit und Gegenstände wird gasförmiges Behandlungsmedium im wesentlichen coplanar zur Körperoberfläche der Gegenstände und nach unten auf jeden Gegenstand gerichtet, um anhaftende Flüssigkeit abzublasen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das gasförmige Behandlungsmedium aus der Gruppe Reinstickstoff, Reinststickstoff, Edelgas, Reinluft oder Reinstluft ausgewählt ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsflüssigkeit durch einen Behälterauslaß mit einem großen Querschnitt abgesenkt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Badspiegel durch Verschieben des die Behandlungsflüssigkeit aufweisenden Behälters abgesenkt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Badspiegel innerhalb eines Zeitraumes von ca. 0,1 bis 5 Sekunden abgesenkt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsflüssigkeit abgesaugt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenstände aus zwei Richtungen gleichzeitig oder sequentiell gezielt angeblasen werden.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenstände aus zwei Richtungen, die einen bestimmten Winkel einschließen, direkt angeblasen werden.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenstände aus einer Richtung, die bezüglich der Gegenstände veränderbar ist, und aus einer weiteren Richtung, die bezüglich der Gegenstände festeingestellt ist, gezielt angeblasen werden.
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anblasung des Gegenstandes mit einem Druck im Bereich von 1-8 bar erfolgt.
11. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 mit einer Haltevorrichtung (32; 84; 121) für die Gegenstände mit im wesentlichen gleicher Ausrichtung (36; 91; 122), einem Bad (1; 60; 101) mit Behandlungsflüssigkeit, einer Taucheinrichtung (30, 31; 81-83), die mit der Halteeinrichtung (32; 84; 121) verbunden ist, um die Halteeinrichtung zuzuführen und kontinuierlich oder schrittweise auf- und abzubewegen und die Gegenstände (36; 91; 122) in das Bad einzutauchen, einer Trenneinrichtung (5; 64; 110), um durch Absenken der Behandlungsflüssigkeit oder des Bades die Behandlungsflüssigkeit von den Gegenständen zu trennen, einer Einrichtung (27-29; 40-49; 95-99; 131-135), die mit einer externen Quelle (50; 99) mit gasförmigem Behandlungsmedium verbunden ist, um eine aus dem gasförmigen Behandlungsmedium bestehende Schutzatmosphäre über dem Flüssigkeitsspiegel zu errichten, aufrechtzuerhalten und den frei werdenden Raum um die Gegenstände nach Trennung von Behandlungsflüssigkeit und Gegenstände ohne Zeitverzug mit dem gasförmigen Behandlungsmedium auszufüllen und mit einer Anblaseinrichtung, um gleichzeitig mit oder unmittelbar nach der Trennung von Behandlungsflüssigkeit und Gegenstände gasförmiges Behandlungsmedium im wesentlichen coplanar zur Körperoberfläche der Gegenstände und nach unten auf jeden Gegenstand zu richten, um anhaftende Flüssigkeit abzublasen.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Anblaseinrichtung ein erstes Anblasorgan (40, 41; 59; 95), das bezüglich den zu trocknenden Gegenständen (36) feststeht, und ein zweites Anblasorgan (42, 43; 57) aufweist, das bezüglich den zu trocknenden Gegenständen hin- und herbewegbar ist, um die zu trocknenden Gegenstände (36) aus zwei Richtungen gezielt anzublasen, wobei die Strahlen aus dem ersten und zweiten Anblasorgan sich unter einem bestimmten Winkel schneiden.
13. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Anblaseinrichtung ein erstes Anblasorgan (59; 133; 134) und ein zweites Anblasorgan (57; 133, 134) aufweist, die bezüglich den zu trocknenden Gegenstände (36, 122) gleichzeitig oder zeitlich versetzt beweglich sind, so daß die Strahlen aus den Anblasorganen die Gegenstände überstreichen, um die Gegenstände aus zwei Richtungen gezielt anzublasen.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Anblasorgan ein länglicher Hohlkörper ist, wobei die Austrittsöffnung oder Austrittsöffnung auf einer Linie liegend sich über den größten Teil der Länge des Hohlkörpers erstrecken.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper ein Rohr mit einer Mehrzahl von Löchern ist, die über die Länge des Rohres verteilt ausgebildet sind und die Austrittsöffnungen bilden.
16. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper ein Kanal mit einem Austrittsbereich ist, der einen Spalt bestimmt, um den Austrittsstrahl so auszubilden und zu führen, daß ein gebündelter Strahl erzeugt wird.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Anblasorgan eine Düse (95) ist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltevorrichtung (84) eine Einrichtung (90, 92, 93, 94, 94a) zum Bewegen der zu trocknenden Gegenstände (91) aufweist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Bewegen der zu trocknenden Gegenstände ein antreibendes Mittel (94), das an der Haltevorrichtung (84) montiert ist, ein angetriebenes Mittel (90), auf dem die zu trocknenden Gegenstände (91) angeordnet sind, und das in der Halteeinrichtung (84) beweglich montiert ist, und ein Übertragungsmittel (92, 93, 94a) aufweist, das das antreibende Mittel und das angetriebene Mittel verbindet.
20. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Bad einen Behälter (101) aufweist, der in einer Wanne (100) angeordnet ist, der Oberteil des Behälters (101) aus zwei Organen (103, 104) besteht, die am Unterteil (102) schwenkbar angeordnet sind, um den Behälter zu schließen, und eine dritte Einrichtung (110) mit dem Unterteil (102) des Behälters (101) verbunden ist, um den Behälter auf-und abzubewegen, wobei die Wanne (100) mit Anschlägen versehen ist, die jeweils mit den Organen in Eingriff bringbar sind, um den Behälter während der Aufwärtsbewegung zu öffnen und während der Abwärtsbewegung zu schließen.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ventilator (116) in der Wanne angeordnet ist, um innerhalb der Wanne (100) eine geführte, die Anblasung unterstützende Saugströmung zu erzeugen.
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