DES0000460MA - Vorrichtung zum Herstellen von Aufnahmen auf im Vakuum untergebrachten photographischen Schichten - Google Patents

Description

Es sind zahlreiche Einrichtungen zum Herstellen von Aufnahmen auf in Vakuumräumen untergebrachten photographischen Schichten, beispielsweise für Kathodenstrahloszillographen und Elektronenmikroskope, entwickelt worden. Vor diesen bekannten Einrichtungen zeichnet sich die Einrichtung gemäß der Erfindung durch besondere Einfachheit aus. Sie ist daher nicht nur billiger sondern auch zuverlässiger als beispielsweise die Einrichtungen, bei denen die photographischen Platten nacheinander von einem Stapel genommen, durch ein Schleusensystem in den Vakuumraum eingeführt und anschließend ebenso wieder in den Außenraum gebracht werden. Sie besteht lediglich aus einem drehbaren Halter, auf den mehrere ebene Schichtträger, vorzugsweise zur Drehachse symmetrisch, derart gelagert sind, daß sie durch Drehen des Halters nacheinander in die gleiche Stellung in Bezug auf das abbildende System gebracht werden können.

Die Figuren zeigen in zum Teil schematischer Darstellung Ausführungsbeispiele der Einrichtung gemäß der Erfindung.

Die ebenen Schichtträger 1 sind in einem um die Achse 2 drehbaren Halter 3 derart gelagert, daß sie vorzugsweise ein regelmäßiges, beispielsweise sechs- oder achtseitiges, um seine Symmetrieachse drehbares Prisma bilden.

Es ist zweckmäßig, wie bei dem Ausführungsbeispiel in Fig. 1 angedeutet ist, den Halter 3 in einem Raum unterzubringen, der zum Auswechseln des Aufnahmematerials von übrigen Vakuumraum getrennt und unabhängig von diesem evakuiert werden kann. Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 befindet sich der Halter 3 der Schichtträger in einem zur Drehachse 2 symmetrischen kreiszylindrischen Ringraum, der durch die beiden zylindrischen Wände 4, 5 begrenzt ist. Dieser Ringraum sollte möglichst eng sein, damit er nach dem Auswechseln des Aufnahmematerials möglichst schnell wieder evakuiert werden kann. Um ein Eindringen von Luft in den übrigen Vakuumraum 6 während des Auswechselns zu verhindern, ist bei dem Ausführungsbeispiel eine gut verriegelte Verschlußklappe 7 vorgesehen, die vor dem Einlassen von Luft in den Ringraum 8 geschlossen wird. Es ist zweckmäßig, sie auf ihrer dem Vakuumraum zugekehrten Seite mit einem Leuchtschirm 9 zu versehen, der die Beobachtung des nach dem Öffnen der Klappe 7 aufzunehmenden Bildes gestattet. Besonders wenn die Verschlußklappe 7 nur dazu dient, eine Einwirkung der abbildenden Strahlung sowie etwaiger Streustrahlung auf das Aufnahmematerial während der visuellen Beobachtung zu verhindern, wird man häufig eine zweiteilige Klappe, wie in Fig. 2 angedeutet, einer einteiligen vorziehen und auch diese beiden Klappen auf ihrer dem Elektronenstrahl zugekehrten Seite mit einem Leuchtschirm 9 versehen. Das Herstellen eines vakuumdichten Verschlusses ist bei Anwendung eines zweiteiligen Deckels allerdings etwas schwieriger durchzuführen als bei der Anordnung nach Fig. 1. Der Raum, in dem der Halter der Schichtträger untergebracht ist, muß zudem mit einem lösbaren, vakuumdicht schließenden Deckel versehen sein.

Es kann stattdessen auch ein vom übrigen Vakuumraum vakuumdicht trennbarer Schleusenraum vorgesehen sein, in den der Halter der Schichtträger zum Auswechseln des

Aufnahmematerials gebracht werden kann. Dieser Schleusenraum steht somit abwechselnd mit dem übrigen Vakuumraum und mit dem Außenraum in Verbindung. Er wird jeweils nach dem Schließen des Außenraumdeckels evakuiert, bevor der Verschluß, der die Dichtung gegen den Vakuumraum herstellt, geöffnet wird.

Claims (6)

1. Einrichtung zum Herstellen von Aufnahmen auf in Vakuumräumen untergebrachten photographischen Schichten, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere ebene Schichtträger in einem gemeinsamen drehbaren Halter derart, vorzugsweise zur Drehachse symmetrisch, gelagert sind, daß sie durch Drehen des Halters nacheinander in die gleiche Stellung in Bezug auf das abbildende System gebracht werden können.

2. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtträger die Flächen eines regelmäßigen, vorzugsweise sechs- oder achtseitigen, um seine Symmetrieachse drehbaren Prismas bilden.

3. Einrichtung nach Patentanspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter der Schichtträger in einem Raum untergebracht ist, der zum Auswelchseln des Aufnahmematerials vom übrigen Vakuumraum getrennt und unabhängig von diesem evakuiert werden kann.

4. Einrichtung nach Patentanspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter der Schichtträger in einem zur Drehachse symmetrischen, kreiszylindrischen Ringraum untergebracht ist, der zum Auswechseln des Aufnahmematerials einen lösbaren, vakuumdicht schließenden Deckel aufweist.

5. Einrichtung nach Patentanspruch 1 oder folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß ein vom übrigen Vakuumraum vakuumdicht trennbarer Schleusenraum vorgesehen ist, in den der Halter der Schichtträger zum Auswechseln des Aufnahmematerials gebracht werden kann.

6. Einrichtung nach Patentanspruch 1 oder folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß ein ein- oder mehrteiliger Leuchtschirm vorgesehen ist, der zur visuellen Beobachtung in den Strahlengang gebracht werden kann und eine Einwirkung der abbildenden Strahlung sowie etwaiger Streustrahlung auf das Aufnahmematerial verhindert.