DEP0034914DA - Verfahren zur Herstellung von Athylhalogensilanen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Athylhalogensilanen

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DEP0034914DA
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Germany
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silicon
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copper chloride
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Inventor
Siegfried Dr. Burghausen Nitzsche
Original Assignee
Decker, Rudolf, München
Holz, Hellmuth, Dr., München
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Verfahren zur Herstellu von Äthylhftlonei*
Es 1st bekannt , siliciutnor ganlsche Verbindungen durch Einwirkung von gasförmigen Methyl- oder Arylhalogenverbindungen bei erhöhter Temperatur auf Silicium unter Zusatz von Kupfer» Kupferoxyd oder Kupferchlorid herzustellen · Es bestehen Schwierigkeiten, diese Umseteungen gleichmäßig zu leiten, außerdem 1st es erwünscht, höher® Umsätze zu erzielen.
Es wurde gefunden» daß Athylhalogensilane durch Umsetzung von Äthylchlorid alt Silicium oder dessen !legierungen bei erhöhter Temperatur hergestellt werden können, wobei hauptsächlich Verbindungen wie CgHf-SiHClg neben CglgSiCl^ und (CgH^)2 SiClg je mit Ausbeuten von etwa 50» 50 und 15 $ entstehen, wenn das verwendete ■ Silicium bzw. seine legierungen mit Metallsalzen, insbesondere mit Kupferchlorid oder Eisenchlorid, deren Abkömmlingen oder besonders mit Gemischen solcher Metallsalze , vor allea Gemischen alt KupferohlorUr, aktiviert werden. Als Metallsalze kommen vornehmlich Halogenide von Sohwermetetilen» wie Kupfer und Eisen, in Betracht · Für die Aktivierung können die verschiedenst en Verfahren Anwendung finden, die vor oder während der Umsetzung vorgenommen werden können. Es 1st auch möglich, die Bildung der Metallsalze auf dem Silicium durch entsprechende Umsetzungen vor oder w-ihrend der Herstellung der s 11 Ic lumorganischen Verbindungen herbeizuführen. In allen Fällen können verschiedene Oxydationsstufen vor oder während der Umsetzung eingestellt bzw· aufrecht erhalten werden.
Im einfachsten Ausführung&galle mischt man Pulver von Silicium oder dessen Legierungen, z.B. Ferrosillcium, mit der aktivierenden Metallsalz bzw. einem Gemisch solcher Salze, Ä.B. Elsen- und Kupferchlorid, formt Preßlinge daraus, z.B.
RUDOLF DECKER DR. HELLMUTH HOLZ
(13b) MÜNCHEN 22
pRiNZREGENTENsis^It», und verwendet diese fix Me BinwirJkung des Äthylchlorids- Man tas «taeh so vorgehe«, daß aas Jcleinetiiekiges Silicium oder dessen legierungen salt einer i&öeung octer ©te Paste des liotellsalaes besetzt. Außerdea ta» ÄS «sieb Λ»#ι Elnv^drlcuag eines* SÜi»e@ e.B« CUXerwasse*» stoffsaure» auf das alt einem Schwermetall» z.B. Elsen oder Kupfer » vereebe&e Sllleivs die eat sprechenden Salse bilden» gegebenenfalls such während der Herst e3 lung der silicium« organisehsn Verbindungen* Us ferner den Aktivator dabei alt des Silioiuia Ixi Berührung m krijagea» kenn mm Äese» »eÄiÄßlg gleichseitig fortlaufend oder ze it ho Iee alt Äthylchlorid in flüssiger oder fester Form in das tfrasetsungsgefäß einführen» ä.B* als Steub, Bampf oder Hebel·
leitet mm ÄthylchlorId über gÄi der Erfindung aktivierte« Silicium, ©o zeigt sieh» daö das Sllioiuia mit hoher Geschwindigkeit und untear gleichmäßige© Ablauf der Umsetsrong verbraucht v/ird*
Sian stellt »erst eine gepulverte Legierung von Silicium «te !'eyrosilAeiam her uaft versetzt diese a&t eines üeaiseii von Kupfer- oder Eisenhalogenide», 2*3. Kupfer» und Elsen» Chloriden» entweder als trocfcenos Pulver» als !»ösung oder als Paete* Der Katalysator wird getrocknet» eweckmü&lg im Vorwärmer des Umset zunge ge fäßee» vorteilhaft bei einer Se^erstur utifcesbalfe der Hl&tag der etlletHrosgeslecfeen Verbindusgf ist allsemeitteft eol 1ß& ~ Msa leitet
dnnu z.B. bei 340° Chloräthyl darüber und erhüXt ms 28 g des gesamten vorhandenen Siliciums pro Stunde 52 g Ä.thyl~ chlorsilane (Gesamtmenge über 80 g)» die bis zu 70 $ aus Äthyldlchlorsilan bestehen♦ Der Kest setzt sich em Athyltrichlorsilan and Diäthjldiehlorsllsn salesmen. W&°* wendet «a eSnt© JegteseeBgl, die «i SHloiua und %fey und eine» Metall der Eisengruppe besteht, a.B« Bisen» Eobalt oder Dickel, und verfährt nach obigen /abgaben» führt Jedoch ÄS» Btagetsuiui bei SBO0 tenh^ eofchglt de« B#a»i©»s» produkt wenig ÄthyldichlorsHa», jedoch bedeutende Mengen

Claims (3)

RUDOLF DECKER DR. HELLMUTH HOLZ (13b) MÜNCHEN 22 PRINZREGENTENSTRASSE 20 Pqtenftan ,ρ ,ar, ti Q h e :
1. Verfiihren soar Ieretellun^ von /ithylhalogeGBil&nen durah Ersetzung von AtiQrlcdilorid alt Silietei oder dessen Legierungen bei erhöhter £eja£>eratur , dadurch gekennzeichnet $ da& das verwendete Siliciuai bzw. seine Legierungen mit Metallealaen, ins besonder© mit KupferefclorUr oder Eisenchlorid, deren AbJcS tamltogen »der besonders mit Gemischen aelcher ?üet,:llsalze, vor alle» ö«iscfeöB mit Kupferchlorür, aktiviert werden.
2. Varfbluren aaefe, /jispruch änderen g©tea»eißli»t # SeS Metallsalsse verschiedener Oxydstionsstufen verwendet tyerden*
3. Verfahren nach Anspruch 1 «ad 2, dadurch ^kennseichnett Aaß die Oxydationsstufen vor oder während der Umsetzung eingestellt werden.
Verfahren naeh Anspruch 1 - 3» dadurch gekennzeiciine t > daiä da® Silicium, vor oder v/ahr«^ aer Umsetzung mit Pulvern, Kebeln, lösungen oder Pastea des Aktivatore dta Berührung gehrncht wird.

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