DEP0012262DA - Vorrichtung zum Überziehen großer Flächen mit dünnen Schichten durch Vakuumverdampfung oder Kathodenzerstäubung - Google Patents

Description

Phys i kai is che s Untersuchuiigslaboratorium G.m.b.H. Onstmettingen/Wttbg.

"Vorrichtung gum Ueberziehen grosser Fläcnen mit dünnen Sciiichten durch Vakkumverdampf ung oder Kathodenzerstäubung¹¹

Beim be trie bsmäes igen Aufbringen dünner Schichten auf kleine Ge» genstände durch Vakuumverdampf ung oder KathodenzerstäuDung ist es Vorteilnaft₃ bei grossen Stücüzaxilen in Verdampfungsgläcken von grossem Durchmesser zu aroeiten. Gewisse Verspiegelungsverfahren, wie aie ü/6hodiumauf dampf ung, werden in der Praxis überhaupt nur in derart grossen Kesseln ausgeführt, da nur hier der Abstand der zu belegenden Flächen von den Wandungen des Bezipienten so gross gewählt werden kann, dass sich aie Gasabgaoe der Wände beim Aufdampfverfahren auf die Güte des Spie gel oel ages η lent ungünstig auswirft« Ee ist ausserdem zu berücicsiciitigen, dass die Zeiten» die zum Einlegen der zu überziehenden Gegenstände in die Spiegel, zum Auspumpen, zur Reinigung durch Gl imme nt lad ung und zum Be Ie gen benötigt werden, mit der Vergrosserung des Durchmessers bei geeignetem Aufbau der Ver spie gelungsanlage nur unwesentIicn ansteigen, während die belegbaren Fläcnen mit dem Quadrat des Durcnmessers zunenmen. Neben der grösseren Gleichmässigkeit dn der Güte des aufgebrachten Belages ist also aueTT der Arbeitsaufwand je Flächeneinheit bei grossen Anordnungen wesentlich günstiger«

Bei den grösseren Anlagen von beispielsweise 2 m Durchmesser, #ie sie zur Herstellung von Spiegeln Anwendung finden, treten nun aber zum Unterschied von kleineren Anlagen SchwierigKeiten auf, von deren Ueuerwindung der Wert der Anlagen in vielen Fällen entscheidend abhängt« Es handelt sich, darum, die zu Delegenden grossen Fläcneri so sauber und staubfrei zu halten wie bei kleinen Anlagen, bei denen nach dem einlegen der zu belegenden Gläser jede Verunreinigung sofort ersannt wird. Wenn es nie nt möglic h ist, aie Gläser vollkommen staubfrei zu halten oder vor dem Schliessen des Hezipienten einwandfrei zu reinigen, sinict die Ausbeute an fehlt stellenfreien Spiegeln so stark, dass aie oben beschriebenen Vorteile der Verspiegelung grösserer Flächen demgegenüber zurücktreten. Besonders bei Rhodiumspiegeln e nt st enen an den Stellen, an denen sich organische Staubteilcnen oder Fasern befinden, düsen» sicxitige Stellen, deren Ausmasse um ein Vielfacnes grösser sind als die Ausdennung der Teilcnen₈ Die Wahrscheinlichkeit für das Absetzen von Staubteilchen auf den Gläsern ist zwar geringer, wenn die Fläcneu von unten bedampft werden| dieses Verfahren würde aber besonders bei kleinen Gegenständen wegen der schwierigen Befestigung das Herstellungsverfahren sehr erschweren und verteuern, weil für jede Spiegelform besondere Haltevorricnt ungen hergestellt werden müßten. Man ist. also gezwungen, bei der das Absetzen von Staubteilchen begünstigenden Bedampf ung von oben nach unten zu Dleioen_e

Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zu Grunde, die—--Verdampfungsanordnung so zu gestalten, dass beider Verdampfung von

oben, nach unten in Eezipienten mit grösserem Durchmesser die beschriebenen lachteile Vermiedenwerden_s

Zur Lösung dieser Aufgabe wurde eine Anordnung getroffen, bei der es möglich ist, onne De sondere Schwierigkeiten eine ^einwandfreie Beinigung oder •^ntsteuoung der Gläser unmittelbar vor dem Schließen des Eezipientea durchzuführen, und α ie ausserdem α ie Möglich» Keit bietet^ die zu belegenden Gegenstände ausserhalb der Verdampfungsanlage auf einem Teller zu ordnen und die Charge als Ganzes in den Kessel einzuführen, sodass die beste Ausnutzung der Anlage ermöglicht wird. Erfindungsgemäss ist das Oberteil des Eezipienten mit grossem Durchmesser ortsfest angeoracht und in ihm die Ibsaugeνorrichtung und die Verdampfungsquelie bzw. Bestattungsvorrichtung fest angeordnet, während das vergleiche ise niedrige Unterteil zur Aufnahme der zu üe Ie gen α en Gegenstände Deweglick und ausfahrbar gestaltet ist.

Eine vorteilhafte Ausführung sei im Folgenden näher Deschriebeni Das Kesselaoerueil und das Kesselunterteil₉ die voneinander abgenooen werden können, sind uurcn einen Gummiring abgedichtet. Das Kesseloberteil ist fast montiert und üoer den Purapenstutzen mit der Vakuumpumpanlage verbunden; ausserdem sind an ihm die wassergekühlten Stromzuführungen für die Ve, dampf u ng ε que lie und die Verdampf ungs que lie selbst oaer, falls eine Katnoaenzerst;äuuung durchgeführt Wird₉ die Kathode mit der Hochspannungsdurchführung befestigt. Das Kesselunterteil ist niedriger als das Oberteil und beweglich angeordnet. Es enthält die Lagerung für die Trageinricntung der Spiegel₉ die als ebener Teller oder als Kugelscaale ausgeDilaet sein kann? sie wird auf einen Hing aufgesetzt, der einen nur wenig geringeren Durchmesser als das Kesse!unterteil aufweist und der auf drei Rollen gelagert ist, von denen die eine mit einem Motoranicrieb gekuppelt wird. Der fiing mit der aufgelegten Trageinricntung lässt sich also um seine Mittelachse drehen. Das Unterteil besitzt ausserdem ein Fahrgestell, das auf dem Druckstempel einer im Boaen eingelassenen hydraulischen Hebevorrichtung ruht, solange der Hezipient geschlossen ist. Wenn der Eezipient geöffnet wifrrd, wird der Stempel der hydraulichen Hebevorrichtung zurückgezogen, bis das Unterteil mit seinem Fahrgestell auf dem Boden aufsitzt und dann unter dem Oberteil ausgefahren werden kann,

Die neue Verdampfungsanlage löst in einfacher ieise die gestellte Aufgabe? ohne irgendwelche Behinderung durch Strom, Wasser zuführung Usw· ist es möglich, den Teller mit den Delegten Gegenständen bei ausgefahrenem Unterteil als Ganzes mit einem Kran abzuheben und eine neue Onrarge aufzulegen. Sodann kann das Unterteil unter das Oberteil gefahren und unter der Glocke einer gründlichen Ent« staubung unterzogen Werden₈ Der Teller wird hierbei fortwährend gedreht. Die Beinigung kann also von einer Stelle vom Hand des Kessels aus bequem durchgeführt werden; es ist nicht notwendig, dasi sich, der Aroeiter₅ der axe Reinigung durchführt, bei der Reinigung um den Kessel herum Dewegt oder sich über das Kesselunterteil Deugti die starke Luftbewegung, die damit verbunden wäre, wird also vermieden und die erneute Staubablagerung auf ein Minimum herabgedrückt, lach Beinigung der Gläser lässt sich das Unterteil durch die HeDevorrichtung langsam und stetig gegen das Oberteil anheben. Jede Erschütterung, uie gegeDenenfalls zur Löslösung von Teilcnea von αer Wandung des Hezipienten und damit zu erneuter Verschmutzung führen könnte, wird auf diese Weise vermieden. Da die Verdampfungsquelle und die Kühlungen im Oberteil ortsfest angeordnet sind , ist der Kessel nun'sofort be tr ie D s oe re it. Die Beschickung des Kessels ist in wenigen Minuten durchführbar, und ebenso wie bei kleinen Verdampfungsglocken ist diese Zeit gegen«·

über der Zeit_s die zum Evakuieren und Belegen der Gläser erfor*er lien Ist₁ klein_e

Mit der neuen Vorrichtung ist es also erstmalig möglich geworden, die forteile grosser Anlagen aucn bei Belegung kleiner -Gegenstände auszunutzen und ohne grösseren Ausschuss durch Fehlstellen mit wesentlich geringerem Arbeitsauf wand als bei kleinen Verdampf ungs glocke η eine laufende Fertigung durchzuführen.

Claims (1)

1. Patentanspr ach:

   Vorrichtung zum Ueberzienen grosser lläcnen mit dünnen Schichten durch Vakuumverdampfung oder Eatnodenzerstaubung_? dadurch geleenn- »lehnet5 dass das Oberteil eines Eezipienten alt grossem Durchmesser ortsfest angebracht ist und in ihm die Absaugeeinrichtung und die Verdampfungsquelle bzw. Bestäubungsvorrichtung fest angeordnet Sind_s während das Vergleichsweise niedrige Unterteil zur Aufnahme der zu belegenden Gegenstände beweglich und ausfahrbar gestaltet ist.