Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Reiniger von inerten gasen, besonders geeignet fuer die produktion von grossen mengen stickstoff ohne benutzung von wasserstoff oder sonstigen reduzierenden gasen.
Verfahren zur regenerierung von nichtumgesetzten chlorsilanen und nichtumgesetztem wasserstoff bei der herstellung von polykristallinem halbleitersilizium
Verfahren zur Verarbeitung von Stickoxyde, Sauerstoff und Wasserdampf in beliebigen Konzentrationen enthaltenden Ammoniakverbrennungsgemischen auf hochkonzentrierte Salpetersaeure