DE977445C - Interferenz- oder Interferenz-Schlierengeraet mit grossem Messfeld - Google Patents

Interferenz- oder Interferenz-Schlierengeraet mit grossem Messfeld

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DE977445C
DE977445C DEZ1069A DEZ0001069A DE977445C DE 977445 C DE977445 C DE 977445C DE Z1069 A DEZ1069 A DE Z1069A DE Z0001069 A DEZ0001069 A DE Z0001069A DE 977445 C DE977445 C DE 977445C
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    • GPHYSICS
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    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods

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Description

  • Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät mit großem Meßfeld Die Anwendung von optischen Meßmethoden in der aerodynamischen und thermodynamischen Meßtechnik ist von zunehmender Bedeutung. Die Entwicklung und der Bau von neuen Meßanlagen für extreme Bedingungen bezüglich der geometrischen Abmessungen, der Machschen Zahlen in Windkanälen und der Temperaturbedingungen erfordert die Vergrößerung der Meßfelder optischer Methoden und die Verbesserung der Methoden zu hoher Qualität und Empfindlichkeit.
  • Bei dem augenblicklichen Stand der Technik muß festgestellt werden, daß die Entwicklung optischer Meßmethoden weit hinter der Entwicklung aerodynamischer und thermodynamischer Meßanlagen zurückgeblieben ist.
  • Bei den technischen und physikalischen Anforderungen, die in Verbindung mit modernsten Meßanlagen der Zukunft verlangt werden, ist es zweifelhaft, ob übliche Standardgeräte der bisherigen Form nach dem 5 chatten- und Schlierenverfahren überhaupt noch mit Erfolg angewandt werden können. Das einzige optische Meßverfahren, das wahrscheinlich Aussicht hat, auf direktem Wege quantitative Ergebnisse zu liefern, ist das Interferenzverfahren oder das kombinierte Interferenz-Schlieren-Verfahren.
  • Große Abmessungen von Meßfeldern, wie z. B. mit Iooo mm Durchmesser und wesentlich darüber, konnten bisher nur mit Geräten nach dem Schatten-und Schlierenverfahren verwirklicht werden, weil die dazugehörigen optischen Bestandteile, wie Parabolspiegel, mit ausreichender Genauigkeit hergestellt werden konnten. Sollen Interferenzgeräte mit ungewöhnlich großen Meß feldern verwirklicht wer- den, so treten gänzlich neue und schwerwiegende Probleme auf. Diese lassen sich in drei Hauptgruppen zusammenfassen: I. Die Glasbeschaftung Für die Teilerplatten von Interferenzgeräten geeignete Glasplatten müssen von solcher Qualität sein, daß die Ungleichheit im Glas kleiner ist als +5- I0-7 der Brechzahl von Glas bei Dicken von 75 bis 100 mm (s. Research Paper RP I969, Vol.
  • 42, March 1949, Part of the Journal of Research of the National Bureau of Standards, USA., »Optical Glass of Interferometer- and Schlieren-Ouality for Wind Tunnel Optics« by Leroy W. Tilton).
  • Zur Zeit scheinen überhaupt nur ein bis zwei Stellen zu existieren, wo die Tradition, Technik und Erfahrungen vorhanden sind, ungewöhnlich große und dicke hochwertige Glasplatten herzustellen, die für Interferenzzwecke ausreichend sind.
  • Solche Platten sind so extrem teuer, daß nur ganz wenige Institutionen davon Gebrauch machen können. Das nächste Problem ist: 2. Die Oberflãchengenauigkeit Da die zulässige Ungenauigkeit einer Oberfläche, gerechnet als Zahl von konzentrischen Interferenzringen, unabhängig von der Plattengröße konstant bleiben muß, muß die notwendige Oberflächengenauigkeit mit dem Quadrat der Vergrößerung der Platte erhöht werden. Wenn also z. B. eine Platte von Interferenzgüte auf die vierfache Größe einer Vergleichsplatte vergrößert werden soll, müßte die Herstellung sechzehnmal genauer sein, um nach der Bearbeitung in der großen Platte dieselbe Anzahl Interferenzringe als Maß für die Oberflächengüte zu haben. Wenn überhaupt möglich, so muß es extrem schwierig und kostspielig sein, eine solche Genauigkeitsforderung zu erfüllen.
  • Hinzu kommt, daß nach eingehendem Studium des Erfinders die Flexibilität solcher großen Platten mit Verhältnissen von Durchmesser zu Dicke von 5 oder größer bisher weder in der Herstellung qualitativ hochwertiger Oberflächen noch in der Messung der Oberflächengestalt beherrscht wird.
  • Es ist sehr zweifelhaft, ob es innerhalb der nächsten Jahre überhaupt möglich sein wird, große Platten mit Interferenz güte selbst mit extremen Kosten herzustellen, auch wenn einwandfreies Glas vorhanden wäre (s. »Optical Corrections for Interference Measurements by a Controllable Deformation of Reflecting Surfaces« by Theodor W. Z obel, AF Techn. Report 5664).
  • Eine weitere Gruppe von Problemen ist verbunden mit der: 3. Oberflächenmessung Umfangreiche Versuche des Erfinders führten zu der Feststellung, daß exakte Oberflächenmessungen an ungewöhnlich großen Platten aus verschiedenen Gründen nicht mehr mit üblichen Methoden durchgeführt werden können. Die Methode mit einer Vergleichsplatte zur Erzeugung von Interferenzen in der Zwischenschicht zwischen der ebenen oder wenigstens genau bekannten Vergleichsplatte und der zu untersuchenden Oberfläche wäre nur erfolgreich, wenn eine »gewichtslose Vergleichsplattea von Interferenzgüte existieren würde, die wenigstens so groß wäre wie die zu untersuchende Platte. Die Flexibilität schließt die Herstellung einer Vergleichsplatte ungewöhnlich großer Abmessungen aus.
  • Eine neuerdings entwickelte und in Anwendung befindliche Interferenzmethode mit einer Flüssigkeitsschicht als Vergleichsoberfläche könnte einen Teilbetrag zur Lösung des Gesamtproblems liefern (s. »Optical Work on Unusually Large Glass Platest. An Interference Method for Investigating High Quality Flat Surfaces« by Theedor W. Z ob el and Ferdinand M. Mirus, AF Techn. Report 5991).
  • Zusammengefaßt kann gesagt werden, daß es zur Zeit wegen der obenerwähnten noch ungelösten technischen Schwierigkeiten ziemlich zweifelhaft erscheint, daß Interferenzgeräte irgendeines Typs mit ungewöhnlich großem Meßfeld in bekannter Art überhaupt verwirklicht werden können.
  • Überdies sei erwähnt, daß ein großes Mach-Zehnder-Interferenzgerät für Windkanalmessungen als Minimum fünfzehn große Teile einschließlich der hochwertigen Scheiben für die Meßstrecke und die Druckkammer sowie für die Kompensatorplatten erfordern würde. Das optische Grundsystem allein ohne die Windkanal- und Drudçkammerscheiben, die ja ohnehin gebraucht werden, umfaßt danach elf große optische Teile, von denen acht zum Interferenz system selbst gehören und deshalb bezüglich Glasqualität, ebener Oberfläche und Planparallelismus Interferenzgüte haben müssen. Nach der obenerwähnten Schrift von Leroy W. Tilton sollte die Dicke großer Glasplatten selbst für Windkanalfenster innerhalb fl/lo;l gleichmäßig sein, wenn hochwertige Messungen mit Interferenzstreifen gemacht werden sollen.
  • Selbst wenn es technisch möglich wäre, ein solches Gerät zu erstellen, wäre es mit einem ungellenren Kostenaufwand verbunden, da zur Zeit der Preis pro Glasplatte für etwa I300 mm Durchmesser und 100 mm Dicke etwa in der Größenordnung von 200000 DM liegt. Die Bearbeitung bis auf Interferenzqualität würde hinzukommen und ebenfalls extrem teuer sein. Es ist leicht abzuschätzen, daß ein solches Interferenzgerät ein Millionenprojekt wäre.
  • Die vorliegende Erfindung beschreibt einen Typ eines Gerätes, bei dem die Zahl der großen und optisch hochwertigen Bestandteile bis auf ein Minimum von zwei, eventuell sogar eins reduziert werden kann, wobei diese zwei großen Teile vorzugsweise Hohlspiegel sind, die nur der Oberflächengenauigkeit genügen müssen. Solche Hohlspiegel können dick genug gemacht werden, um die Einflüsse der Flexibilität klein genug zu halten, und für die Oberflächenmessung sind die bisher in Be- nutzung befindlichen Meßmethoden ausreichend.
  • Alle übrigen für das Interferenzgerät erforderlichen optischen Bestandteile können sehr klein gemacht werden, z. B. l/lo oder kleiner vom Durchmesser der großen Hohlspiegel. Herstellungsmäßig erfordert die Erzielung von Interferenzgenauigkeit für kleine Oberflächen, die nur l/loo oder weniger der Oberfläche der großen Spiegel betragen, keine besonderen Schwierigkeiten. Ebenso können so winzige Teilerplatten mit der erforderlichen Genauigkeit in üblicher Weise hergestellt werden.
  • Der Grundgedanke der Erfindung beruht auf folgendem: Man kann bekanntlich auch Interferenzerscheinungen in einem Grundsystem erzeugen, wenn man optische Zusatzglieder, wie Linsen od. dgl., in den Strahlengang einführt, wie bereits von Will iams in derUSA.-Patentschrift2 I 5 I 63 I beschrieben worden ist. Dadurch kann erreicht werden, daß der Strahlengang vor de!m Durchsetzen der Meßstrecke erweitert wird und nach Verlassen der Meßstrecken wieder verengt wird. Die bekannte Anordnung erfordert jedoch große optische Elemente sowohl im Meßstrahlengang als auch im Vergleichsstrahlengang, um die Symmetrie des Interferometeraufbaues nicht zu stören. Dementsprechend sind immernochverhãltnismäßigviele große optische Elemente vorhanden, und diese Geräte werden sehr teuer. Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß man an eine solche Symmetrie nicht gebunden ist, sondern daß man Zusatzglieder in den einen Strahlengang einführen kann und die Strahlenveränderung im anderen Strahlengang kompensieren kann. Es kommt lediglich darauf an, daß durch eine Umformung der Wellenfronten innerhalb der Strahlengänge des Interferenzsystems die Erzeugung von Interferenzstreifen nicht gestört wird, daß also die Umformung in beiden Strahlengängen in »optisch gleicher Weise« erfolgt. Diese Erkenntnis führt dazu, das Interferometer nach der Erfindung unsymmetrisch aufzubauen, wodurch die Zahl der großen und teueren optischen Elemente auf zwei bzw. eins reduziert werden kann.
  • Dementsprechend ist bei einem Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät mit großem Meßfeld, welches im Verhältnis zur Meßstrecke aus kleinen optischen Standardteilen aufgebaut ist und Mittel aufweist, um den Meßstrahl vor dem Durchschreiten der Meßstrecke auf die Abmessungen derselben zu erweitern und anschließend wieder zu verengen, dadurch gekennzeichnet, daß nur der Meßstrahlengang erweitert und verengt ist und der Vergleichsstrahlengang unter Beibehaltung seines kleinen Durchmessers hinsichtlich seiner optischen Länge dem erweiterten Meßstrahl angepaßt ist. Das ganze Interferometer ist also im Verhältnis zur Größe des Meßfeldes aus kleinen optischen Teilen aufgebaut, und nur der Meßstrahlengang wird vor dem Durchschreiten der Meßstrecke in Anpassung an diese erweitert und danach wieder auf die Abmessungen der optischen Standardteile des Gerätes verengt.
  • Bei einem solchen Interferometer benötigt man aber auch für die Ergänzung eines solchen Interferenzgerätes zu einem kombinierten Interferenz-Schlierengerät, mit dem also auch gleichzeitig Schlierenbilder erzeugt werden können, keine weiteren großen optischen Bestandteile. Bei dem normalen Mach-Zehnder-Gerät würde diese Ergänzung dagegen fünf weitere große Teile erfordern.
  • Für die Erweiterung und Verengung können zwei Parabolspiegel verwendet sein, von denen der eine den Meßstrahl erweitert und der andere verengt.
  • Der Erfindungsgedanke sei beispielsweise an einigen Anwendungsbeispielen erläutert, die in den Fig. I bis g schematisch dargestellt sind.
  • Fig. 1 zeigt das Interferenz-Grundsystem nach Mach-Zehnder. Das Licht der Quelle I wird durch die achromatische Linse 2 parallel gemacht und an der ersten Teilerplatte 3 in einen durchgehenden und einen reflektierenden Teil aufgeteilt. Das Interferenz-Grundsystem erhält ferner einen Hohlspiegel 4, welcher das parallele Bündel auf einen Vollspiegel 5 lenkt und dort sammelt. Von hier aus wird das Lichtbündel auf einen Hohlspiegel 6 großen Durchmessers geworfen. Es durchsetzt anschließend im parallelen Strahlengang eine Meßkammer (Windkanal 21). Ein Hohlspiegel 7 sammelt das Lichtbündel auf einem Vollspiegel 8 und lenkt es von hier auf einen Hohlspiegel 9, von wo es als paralleles Strahlenbündel geringen Querschnitts nach weiterer Umlenkung an einem Spiegel 10 auf eine teildurchlässige Spiegelschicht 1 1 fällt. Die Hohlspiegel 4 und 9 sind exzentrisch angeordnete Parabolspiegel und vereinigen das Licht korrekt, d. h. ohne Astigmatismus, auf den kleinen Spiegeln 5 und 8. Die Spiegel 5 und 8 sind in der optischen Achse der großen Parabolspiegel 6 und 7 in genau einer Brennweiteentfernung angeordnet, so daß ein korrekter Parallelstrahl zum Durchsetzen des Windkanals erzeugt wird. Das am Spiegel 3 reflektierte Licht wird über Spiegel I4, I5, 16 ebenfalls auf die teildurchlässige Spiegelschicht 11 gelenkt, welche die geteilten Lichtbündel überlagert.
  • Über eine Linse I2 gelangen die überlagerten Bündel auf einen Schirm I3. Gangunterschiede, welche die Lichtbündel aufweisen, zeigen sich hier als Interferenz figuren.
  • Für ein Interferenz-Schlierengerät wird gleichzeitig ein Teil des Lichtes aus dem Meßstrahl durch eine Teilerplatte I7 abgespalten. Die Teilerplatte I7 ist zwischen dem Spiegel 10 und der Teilerplatte II angeordnet. Im anderen Strahlengang (Vergleichsstrahlengang) ist zur Kompensation dieser Platte eine Platte 18 angeordnet. Über eine Linse 19 gelangt das Licht über eine Schlierenblende 20 ebenfalls auf den Schirm I3.
  • An den großen Hohlspiegeln 6 und 7 sind Verformungsschrauben 23 für eine eventuelle Feinkorrektur angebracht. Erfahrungsgemäß genügt es dabei, die Schraube im Zentrum des Spiegels zu betätigen, wenn die Abweichungen von der absoluten Parabel klein und gleichmäßig über das ganze Feld verteilt sind.
  • Die großen Fenster der Meßkammer 21 (Windkanalfenster) werden durch die kleinen Scheiben 22 im Vergleichsstrahlengang voll kompensiert.
  • Eine genaue Justierung des Gerätes für die Phasendifferenz Null, d. h. für Interferenz im weißen Licht, kann durch Längsverschiebung eines der optischen Bestandteile des Grundsystems, z. B. des Spiegels I5, vorgenommen werden. Dies ist dann eine Einspiegeljustierung, welche eine einfache Handhabung des Gerätes gewährleistet. Die Justierung erfordert bestimmte geometrische Voraussetzungen. Wird nämlich die Entfernung von der letzten Teilerplatte ii bis zu einem kleinen Umlenkspiegel genau so groß gemacht wie von derselben Teilerplatte bis zu dem vom Hohlspiegel 7 erzeugten Zwischenbild des Untersuchungsmittels, dann können alle Veränderungen der Interferenzstreifen mit dem einen kleinen Spiegel allein gemacht werden, ohne daß sich die Schärfenebene für die Interferenzstreifen ändert.
  • Eine andere Anordnung ist in Fig. 2 gezeigt, wo die exzentrisch verwendeten Hohlspiegel durch die Linsen 24 und 25 im Meßstrahl ersetzt sind. Mit Rücksicht auf die geometrische und optische Wirkung der Linsen in Verbindung mit den großen Hohlspiegeln wird ein entsprechender Ausgleich durch die Linsen 26, 27 und 28 im Vergleichsstrahlengang durchgeführt. Geometrisch ist die Anordnung korrekt, aber optisch ist ein kleiner Kompromiß gemacht, weil die Linsen etwas anders angewendet werden als im Meßstrahl.
  • Fig. 3 zeigt ein anderes Beispiel mit einer korrekten Anwendung von Linsen im Interferenzsystem. Der Meßstrahl ist gleich angeordnet wie im letzten Beispiel Fig. 2. Der Vergleichsstrahl ist aber optisch ähnlich gestaltet wie der Meßstrahl, nur sind die Abmessungen der verwendeten Teile verschieden und dem kleinen Durchmesser angepaßt.
  • Die Linse 29 konzentriert das Licht des parallelen Vergleichsstrahles auf das winzige Spiegelchen 30, das im Brennpunkt des kleinen Parabolspiegels 3I angeordnet ist. Der vom Hohlspiegel 31 erzeugte Parallelstrahl wird vom Parabolspiegel 32 wieder umgeformt in eine Lichtkonzentration auf dem Spiegelchen 33. Linse 34 erzeugt wieder einen Parallelstrahl, der in ursrünglicher Größe über die Umlenkspiegel 35 und 36 auf die Endteilerplafte II des Grundsystems geleitet wird. Die Trägerplatten 37, 38 der winzigen Spiegelchen 30 und 33 können gleichzeitig als Kompensatorplatten für die großen und teueren Kanalfenster verwendet werden.
  • Ein letztes Beispiel einer Anordnung ähnlicher Art zeigt Fig. 4, dessen Vorzüge bezüglich Einfachheit und Justierung allerdings mit einem großen Lichtverlust bezahlt werden müssen. Der Meßstrahl ist in gleicher Weise ausgebildet wie in den letzten beiden Beispielen. Der Vergleichsstrahl durchsetzt nach Verlassen der ersten Teilerplatte 3 die halbdurchlässige Teilerplatte 39 und wird dann als Parallelstrahl von der Linse 40 aufgenommen und umgeformt. Spiegel 41 ist ein sphärischer Hohlspiegel, der, in zwei Brennweiten Entfernung von der Lichtkonzentration hinter Linse 40 angeordnet, das Licht exakt in sich selbst zurückreflektiert. Die Linse 40 wird ein zweites Mal durchsetzt. Der an der Teilerplatte 39 reflektierte Teil des zurückkommenden Lichtes wird als Vergleichs strahl im Grundsystem benutzt und über die Umlenkspiegel 42, 43, 44 zur Endteilerplatte II geleitet.
  • Da das Licht im Vergleichs strahl durch die gewählte Anordnung um etwa 75 O/o geschwächt wird, ist es zweckmäßig, die erste Teilerplatte 3 mit etwa soO/a für Reflexion und 20°/o für Durchlässigkeit zu belegen, um klare, gesättigte Interferenz streifen zu bekommen. Eine zusätzliche Ergänzung durch das Schlierenverfahren kann zwar grundsätzlich gemacht werden, ist aber wegen der Lichtschwächung nicht empfehlenswert.
  • Selbstverständlich kann der Erfindungsgedanke auch auf andere Interferenz-Grundsysteme angewendet werden. Die bisher gezeigten Bei spiele waren auf das Mach-Zehnder-Grundsystem bezogen, bei dem der Meßstrahl das Untersuchungsmittel nur einmal durchschreitet.
  • Es sei bemerkt, daß in normalen Fällen der aerodynamischen Meßtechnik stets diesem Verfahren mit einmaligem Lichtdurchgang der Vorzug gegeben wird, weil ein zweimaliges Hindurchtreten durch das zu untersuchende Medium die Auswertung der Ergebnisse außerordentlich erschwert, wenn nicht überhaupt unmöglich macht. Daneben bestehen aber Sonderfälle, wo eine besonders hohe Empfindlichkeit des optischen Verfahrens notwendig ist und die Fehler durch das zweimalige Durchschreiten des Untersuchungsmittels in erlaubten Grenzen bleiben.
  • Solche Anwendungsbeispiele existieren in modernsten Windkanälen und Meßkammern mit extrem hohen Machschen Zahlen und extremen Hõhenbedingungen, wo die Dichte und die Dichteänderungen so gering sind, daß unter Umständen die Empfindlichkeit normaler Schatten- und Schlierenverfahren unzureichend ist.
  • Nachfolgend seien einige Beispiele gezeigt, die aus dem Michelsonschen Grundprinzip entwickelt sind.
  • Fig. 5 zeigt das Beispiel eines solchen Gerätes mit ungewöhnlich großem Meßfeld. Das Licht der Quelle I wird von der Linse 2 parallel gemacht und in bekannter Weise an der ersten Teilerplatte 3 in zwei Teile aufgespalten. Der reflektierte Teil des Strahl es sei der Meßstrahl. Der exzentrisch benutzte Parabolspiegel 4 arbeitet exakt ohne Astigmatismus. An der Stelle der Lichtkonzentration ist das kleine Spiegelchen 5 angeordnet, das das Licht zu dem großen Hohlspiegel 6 leitet. Der an 6 erzeugte große Parallelstrahl durchsetzt die Meßstrecke und trifft dann auf den Planspiegel 7, von dem er in sich zurückreflektiert wird und dabei die Meßstrecke ein zweites Mal passiert.
  • Der kleine Vergleichsstrahl gelangt über die Spiegel 45 und 46 zu dem letzten Plan- oder Vollspiegel 47, der ebenfalls genau senkrecht zum Strahl angeordnet ist und das Licht in sich zurückreflektiert zur Teilerplatte 3. Dort treffen sich die interferierenden Parallelstrahlen. Linse 12 ist die Abbildungslinse für den Untersuchungsgegenstand und die Interferenzstreifen auf dem Schirm 13.
  • Zur Abspaltung des Schlierenstrahles aus dem Meßstrahl und zur gleichzeitigen Glaskompensation der ersten Teilerplatte 3 dient die teildurchlässige Platte 48. Das bei der Rückkehr an der Platte 48 reflektierte Licht gelangt über den Spiegel 49 zur Linse 19 und an der Schlierenblende 20 vorbei zum Schirm I3.
  • Die Lichtausbeute eines solchen Systems ist ebenfalls gering, so daß man gegebenenfalls auf die gleichzeitige Anwendung des Schlierenverfahrens zugunsten kurzzeitiger Belichtungen des Interferenzbildes verzichtet.
  • Eine andere Anordnung, bei der die exzentrisch benutzten Hohlspiegel durch Linsen 4 und 10 ersetzt werden und eine Totalreflexion im kleinen Vergleichsstrahl durch den sphärischen Hohlspiegel 50 bewirkt wird, zeigt Fig. 6.
  • Fig. 7 illustriert eine noch weiter vereinfachte Anordnung mit nur einem großen Hohlspiegel 6.
  • Diese Anordnung wird nur für einen enger begrenzten Anwendungsbereich in Frage kommen.
  • Bemerkenswert an dieser Anordnung ist, daß der große Hohlspiegel ein sphärischer Spiegel ist, der mit der Lichtkonzentration in zwei Brennweiten Entfernung exakt angewendet ist.
  • Diese in Fig. 7 gezeigte Anordnung führt aber zu einer sehr wichtigen meßtechnischen Folgerung: bisher benutzt man für die korrekte Oberflächenprüfung von Hohlspiegeln die Foucaultsche Schneidenmethode und die Zonenstrahlenmethode nach Hartmann. Beide Methoden erfordern eine sehr große Erfahrung in der Handhabung und Deutung der Ergebnisse und sind kritisch bezüglich ihrer Absolutwerte.
  • Interferenzmessungen, die in einem Bilde das ganze Ergebnis exakt und einfach zeigen würden, können nur für kleine Abmessungen angewendet werden, indem man die zu untersuchende Oberfläche mit einer ähnlich gekrümmten und genau bekannten Vergleichsoberfläche überdeckt und in dem Zwischenraum Interferenzen erzeugt. Für die Messung von Spiegeln ungewöhnlicher Größe scheitert diese Methode wie bei ebenen Spiegeln an der Nichtberstellbarkeit einer so großen Vergleichsplatte von Interferenzgüte.
  • Neben dem genannten Verwendungszweck stellt ein Gerät nach Fig. 7 ein Meßgerät zur exakten Interferenzmessung von sphärischen Spiegeln ungewöhnlich großer Abmessungen dar. Sämtliche kleinen optischen Bestandteile können so klein gemacht werden, daß sie bezüglich der Oberflächenqualität als absolut korrekt angesehen werden dürfen. Dann zeigt die resultierende Interferenzfigur des Gerätes direkt die wahre Oberflächenfigur des großen sphärischen Hohlspiegels 6 auf dem Schirm I3 an. Dieser kann dann schrittweise bis zur erforderlichen Genauigkeit verbessert werden.
  • In Fig. 8 ist eine kombinierte Interferenz-Schatten-Methode gezeigt. Das Licht, das die Meßstrecke bereits einmal durchschritten hat, wird durch eine teildurchlässige Platte 51 zum Teil hindurchgelassen und als Schattenprojektion auf der lichtempfindlichen Schicht 52 abgebildet. Das von der Platte 51 reflektierte Licht geht ein zweites Mal durch die Meßstrecke und gelangt zur Teilerplatte 3 zurück. Die großen Kanal fenster 21 werden durch die kleinen Gläser 22 im Vergleichsstrahl voll kompensiert.
  • Auch die exakte Interferenzmessung der Oberfläche von ungewöhnlich großen Parabolspiegeln ist erfindungsgemäß möglich mit einer Anordnung, wie sie in Fig. 9 gezeigt ist. Die Führung des Meßstrahles erfolgt hierbei in der vertikalen Ebene. Die Lichtkonzentration 5 ist genau im Brennpunkt der Parabel angeordnet, um einen exakten Parallelstrahl zu erzeugen. Um den großen Parabolspiegel als einziges unbekanntes Glied im ganzen optischen System untersuchen zu können, wird der frühere große Planspiegel durch eine Flüssigkeitsschicht, z. B. Wasser, in der Schale 53 ersetzt, die ja bekanntlich bis auf die Erdkrümmung sehr genau eben ist. Es ist dabei selbstverständlich vorausgesetzt, daß alle übrigen kleinen optischen Bestandteile innerhalb des Meßsystems von Interferenzqualität sind, was bei den kleinen Abmessungen dieser Teile ohne besondere Schwierigkeiten erreicht werden kann. Ferner sei erwähnt, daß bei der Verwendung von Flüssigkeitsschichten alle notwendigen Maßnahmen wahrgenommen werden müssen, um störende Einflüsse von Schwingungen auszuschalten (s. obengenannte Schrift über »Optical Work On Unusually Large Glass Plates«).
  • Es sei endlich erwähnt, daß mit Hilfe der Erfindung jedes vorhandene Schlierengerät zu einem kompletten Interferenz- Schlierengerät erweitert werden kann, wenn die vorhandenen Hohlspiegel ausreichende Oberflächenqualität haben und die ergänzenden kleinen optischen Bestandteile von hervorragender Qualität gemacht werden.

Claims (14)

  1. PATENTANSPRUCHE.
    I. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät mit großem Meßfeld, welches im Verhältnis zur Meßstrecke aus kleinen optischen Standardteilen aufgebaut ist und Mittel aufweist, um den Meßstrahl vor dem Durchschreiten der Meßstrecke auf die Abmessungen derselben zu erweitern und anschließend wieder zu verengen, dadurch gekennzeichnet, daß nur der Meßstrahlengang erweitert und verengt ist und der Vergleichsstrahlengang unter Beibehaltung seines kleinen Durchmessers hinsichtlich seiner optischen Länge dem erweiterten Meßstrahl angepaßt ist.
  2. 2. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Hohlspiegel für die Erweiterung und Verengung des Meß strahlenganges vorgesehen sind.
  3. 3. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Ausbildung als Mach-Zehnder-Interferometer.
  4. 4. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät nach Anspruch I, gekennzeichnet durch die Ausbildung als Michelson-Interferometer, bei dem die Lichtstrahlen auf die Teilerplatte parallelstrahlig treffen.
  5. 5. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch die Verwendung eines großen Hohlspiegels für die Erweiterung und Verengung des an ihm selbst reflektierten Meßstrahlenganges.
  6. 6. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch die Verwendung eines großen Hohlspiegels und eines großen Planspiegels, wobei die Meßstrecke zwischen diesen Spiegeln angeordnet ist (Fig. 7 und 8).
  7. 7. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Differenz in der Weglänge der geteilten Strahlen durch Längsverschiebung eines der kleinen optischen Elemente ausgeglichen ist.
  8. 8. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät nach den Ansprüchen 2, 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugung der Lichtkonzentration im Brennpunkt der großen parabolischen Hohlspiegel oder in zwei Brennweiten Entfernung von sphärischen Hohlspiegeln korrekt entweder durch exzentrisch angeordnete Parabolspiegel oder durch Linsen erzeugt ist.
  9. 9. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß alle Variationen der Interferenzstreifen-Justierung mit nur einem und vorzugsweise kleinem Spiegel des Interferenz-Grundsystems einstellbar sind, indem der Abstand von der letzten Teilerplatte bis zu diesem kleinen Spiegel genau so groß gemacht wird wie die Entfernung von dieser Teilerplatte bis zu dem vom letzten großen Hohlspiegel entworfenen Zwischenbild des Untersuchungsmittels.
  10. 10. Interferenz- oder Interferenz-S chlierengerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die großen Windkanal fenster ebenso wie eventuell vorhandene Fenster einer umgebenden Druckkammer durch kleine Gläser im Vergleichs strahl voll kompensiert und in Sonderfällen diese kleinen Glasscheiben gleichzeitig als Träger der kleinen Umlenkungsspiegelchen für die Lichtkonzentrationen benutzt werden.
  11. 11. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß für Anordnungen mit zweimaligem Durchgang eines Parallelstrahles durch das Untersuchungsmittel hinter der Meßstrecke ein ebener Spiegel angeordnet ist, der das Licht in sich selbst entweder teilweise oder voll zurückreflektiert, wobei in Fällen einer teilweisen Reflexion der hindurchtretende Teil des Lichtes für eine Schattenprojektion und der reflektierte Teil für das Interferenzverfahren benutzt wird.
  12. 12. Anwendung eines Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerätes nach Anspruch 5 zur exakten Interferenzmessung der Oberfläche des großen sphärischen Hohlspiegels, dadurch gekennzeichnet, daß als Meßstrahl ein konischer Strahl benutzt wird, der durch die Anordnung der Lichtkonzentration in zwei Brennweiten Entfernung eines großen sphärischen Hohlspiegels genau in sich zurückreflektiert wird, so daß die resultierende Interferenzfigur des Gerätes direkt die Oherflächenfigur des großen Hohlspiegels repräsentiert.
  13. 13. Anwendung eines Interferenz- oder Interferenz-S chlierengerätes nach Anspruch 6 zur exakten Interferenzmessung ungewöhnlich großer Parabolspiegel unter Benutzung der Michelsonschen Grundanordnung in der vertikalen Ebene, dadurch gekennzeichnet, daß der von einem großen Parabolspiegel erzeugte Parallelstrabl an einem horizontalen Flüssigkeitsspiegel reflektiert wird, dessen Oberfläche als praktisch absolut eben bekannt ist und infolgedessen die resultierende Interferenzfigtir des Systems die Oberflächenfigur des Parabolspiegels darstellt, wenn alle kleinen Teile von Interferenzqualität sind.
  14. 14. Interferenz- oder Interferenz-Schlierengerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zweck feinster optischer Korrekturen des Gerätes eine leichte, steuerbare Verformung reflektierender Oberflächen vorgenommen werden kann, die zweckmäßigerweise nur auf die großen optischen Teile beschränkt wird.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 706588, 720333, 729 I2I; französische Patentschrift Nr. 90I 685; britische Patentschrift Nr. 103 832; USA.-Patentschriften Nr. 2073 691, 2 151 631.
DEZ1069A 1950-07-25 1950-07-25 Interferenz- oder Interferenz-Schlierengeraet mit grossem Messfeld Expired DE977445C (de)

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