DE1548670A1

DE1548670A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Winkelabweichung der zwei Oberflaechen einer durchsichtigen Scheibe

Info

Publication number: DE1548670A1
Application number: DE19661548670
Authority: DE
Inventors: Paul Migeotte
Original assignee: Institut National de Verre ASBL
Current assignee: Institut National de Verre ASBL
Priority date: 1965-03-31
Filing date: 1966-02-18
Publication date: 1969-10-30
Also published as: BE675046A; AT281449B; NL6603910A; FR1467315A; GB1145353A

Description

Dr.-ing. Heinrich Scheuer

Patentanwalt Aachen, den 17° Februar 1966

AACiIEN, Zollernsfr. 1

Telefon» 3 2192 und 251S2 Mein Zeichen P 11 646 - 0197

Institut National du Verre A.S.B.L., 24, rue Dourlet,

Charleroi (Belgien)

Priorität aus der luxemburgischen Patentanmeldung Nr. 48 289 vom 31. März 1965

Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Winkelabweichung der zwei Oberflächen einer durchsichtigen Scheibe

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Messen und/oder Registrieren der Winkelabweichung der zwei Oberflächen einer durchsichtigen

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Platte, Tafel, Scheibe od.dgl. mit allgemein "beliebiger Krümmung und an einer beliebigen Stelle dieser Scheibe od.dgl. mittels einer sie durchdringenden Lichtstrahlung.

Man kennt verschiedene Verfahren oder Vorrichtungen, um in einem Punkt einer durchsichtigen Scheibe oder genauer in einer Zone, die sich um den betrachteten Punkt herum erstreckt, den Winkel zwischen den beiden Oberflächen der durchsichtigen Scheibe abzuschätzen. Diese Verfahren oder Vorrichtungen sind mechanischer oder optischer Art. Die ersteren sind im allgemeinen sehr kompliziert und ungenau, und sie berücksichtigen offensichtlich nur geometrische Eigenschaften unter Ausschluß optischer Eigenschaften, die nicht nur von geometrischen Ursachen abhängen, sondern auch, von Ursachen der chemischen oder physikalischen . Ungleichmäßigkeit des durchsichtigen Materials. Nun macht der Benutzer von durchsichtigen Scheiben keine Unterscheidung bei der Durchsicht zwischen einem Fehler infolge fehlender Parallelität oder einem Fehler infolge einer anderen Ursache, wenn er die gleiche Wirkung hervorbringt.

Andere Verfahren oder Vorrichtungen optischer Art sind schon vorgeschlagen worden: Sie benutzen die Eigenschaften der Reflexion, der Interferenz oder des Durchtritts. Bei der Reflexion (vgl. britische Patentschrift 880 135) richtet man ein Lichtbüschel auf einen Punkt der Oberfläche

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der durchsichtigen Scheite unter einem in bezug auf die Normale verhältnismäßig großen .Winkel und fängt das reflektierte Büschel auf, welches die Neigung der Oberfläche an diesem Funkt angibt, jedoch nicht die Winkelabweichung der zwei Oberflächen, oder man würde {vgl. US-Patentschrift 2 735 331, Spalte 1, Zeilen 21 bis 47) das auf der ersten Oberfläche reflektierte Büschel gleichzeitig empfangen mit--d em-Büschel^ das nach Brechung in der Scheibe an der zweiten Oberfläche reflektiert wird. Es ist festzustellen, daß in diesem lalle die reflektierten Büschel maximal nur eine Intensität von einigen Prozent der Intensität des einfallenden Büschels haben, was besonders der Genauigkeit der Messung schadet.

Die Methoden unter Verwendung der Erscheinung der Interfere« (vgl. französische Patentschrift 1 132 969) sind schwierig und kompliziert anzuwenden und begegnen denselben Schwierigkeiten wie diejenigen auf der Grundlage der Reflextion.

Man hat auch Methoden und Vorrichtungen vorgeschlagen (vgl. belgische Patentschrift 642 207 und US-Patentschrift 2 735 331)» bei welchen man die Erscheinung des Durchtritts oder anders gesagt der Durchsichtigkeit benutzt, evtl. kombiniert mit der Erscheinung der Doppelreflexion mit denselben Nachteilen, wie sie oben be-

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schrieben sind. Man kann auch (vgl. das Buch "Le Verre", Cycle d¹etudes postuniversitaires, Band II, von Leon DUBRUL, Ausgabe 1959, Seite 57) eine Platte verwenden, auf der man ein Raster in regelmäßigen, abwechselnd dunklen und hellen Mustern gezeichnet hat, das man durch die Scheibe hindurch prüft., deren, Qualität man abzuschätzen wünscht. Dieses Verfahren gibt jedoch nur ein qualitatives Resultat, das außerdem an jedem Punkt eine Funktion der Stellung des Prüfenden ist..

Selbst die vorteilhaftesten der vorstehend aufgezählten Verfahren und Vorrichtungen haben außer ihrer Ungenauigkeit und der Schwierigkeit oder Unmöglichkeit, genaue Werte zu registrieren, zwei erhebliche Fehler.

Der erste Fehler ist die Unmöglichkeit, außer unter Anwendung von zeitraubenden Handhabungen an der Meßapparatur oder an der durchsichtigen Scheibe,'die Winkelabweichung an einem Punkt der Scheibe zwischen ihren zwei Oberflächen in allen Richtungen zu messen, die eine Gerade einnehmen kann, die durch den Punkt geht und in der Ebene liegt, die die Scheibe in diesem Punkt tangiert. Wenn man nämlich zwei Oberflächen, z.B. zwei nicht parallele Ebenen, betrachtet und man sucht die Winkelabweichung zwischen den zwei Ebenen un einem bestimmten Punkt, so muß man feststellen, daß diese Suche nicht nur ein einziges Ergebnis hat, denn in der betrachteten Richtung durchläuft man aufeinander-

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folgend einen Wert Null und einen Maximalwert, weichletzterer als der größte Neigungswinkel bezeichnet und durch den Winkel gemessen wird, welcher durch die Schnitte der zwei genannten Ebenen mit der Ebene, die senkrecht auf dem Schnitt dieser zwei Ebenen steht, gebildet wird. Man kann also eine Winkelabweichung Null in einer Richtung messen, während in Wirklichkeit die Winkelabweichung in anderen Richtungen sehr beträchtlich sein kann. Diese Schlußfolgerung gilt auch für zwei nicht ebene, beliebig gekrümmte Oberflächen.

Der zweite Fehler der bis jetzt bekannten Methoden besteht darin, daß man bei der Messung der Parallelität von absichtlich gewölbten Scheiben, wie Windschutzscheiben bei Fahrzeugen, diese Krümmung bewußt als Fehler registriert, denn jede Änderung der Krümmung oder der Neigung wird bei diesen Methoden als Ursache für eine Unregelmäßigkeit der Oberfläche oder eine Änderung der Dicke ausgelegt, selbst wenn die zwei Oberflächen der Windschutzscheibe in allen Punkten vollständig parallel sind. Auf die gleiche Weise ergeben die bekannten.Methoden bei der Messung der Winkelabweichung einer gewölbten optischen Linse ein rohes Resultat, nämlich die Summe aus der wirklichen Winkelabweichung und einer Krümmungswirkung.

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— O —

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ausgehend von dem eingangs beschriebenen Verfahren und der eingangs beschriebenen Vorrichtung, bei welchem bzw. welcher eine Lichtstrahlung verwendet wird, die die zu messende durchsichtige Platte, Tafel« Scheibe od.dgl. durchdringt, das Verfahren so zu leiten und die Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens so auszubilden, daß die Nachteile der bekannten Arten, insbesondere die vorbeschriebenen Nachteile, vermieden werden. Darüber hinaus besteht die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe darin, Weiterbildungen, wie sie nachstehend beschrieben sind, so vorzunehmen »±bä, daß sie besondere Vorteile aufweisen.

Zur Lösung dieser Aufgabe bzw. Aufgaben richtet man erfindungsgemäß auf eine beliebige Stelle einer Oberfläche der Platte, Tafel, Scheibe od.dgl. eine Lichtstrahlung, die aus zwei Büscheln mit derselben Achse, aber verschiedenen Lichteigenschaften gebildet ist, wobei die Büschel auf ihrem Wege durch die Scheibe od.dgl. Veränderungen als Funktion der Winkelabweichung der Scheibe unterliegen, und richtet die veränderte Strahlung in zwei verschiedene Richtungen, um so zwei entsprechende Anzeigeelemente zu beeinflussen, deren Empfindlichkeit man verschieden macht in bezug auf die zwei Lichtbüschel, die sich in ^eder der zwei Richtungen zusammensetzen.

Dieses Verfahren gestattet die Bestimmung der Winkelabweichung an einer sehr lokalisierten Stelle, die

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praktisch auf einen Punkt reduziert ist, im Gegensatz zu den bekannten Verfahren, die nur einen Mittelwert der Winkelabweichung über eine beträchtliche Oberfläche geben» Der Ausdruck "Winkelabweichung" ist hier in seiner Allgemeinheit genommen, und es ist zweckmäßig festzustellen, daß das erfindungsgemäße Verfahren wirklich gestattet, an einem Punkt der durchsichtigen Scheibe alle Winkelabweichungen leicht zu bestimmen, welches auch immer die betrachtete Richtung um den Punkt sei, wie nachstehend dargelegt wird. Die zwei Büschel mit derselben Achse, die die Lichtstrahlung bilden, können nebeneinander gestellt. werden, z.B. wenn der Querschnitt der Strahlung kreisförmig ist und eich aus zwei Halbkreisen zusammensetzt. Die Querschnitte der zwei Büschel können sich auch umschließen, s.B. wenn der Querschnitt der Strahlung einen Kreis aufweist sowie einen Ring, der den Kreis umschließt. Dieser Kreis und dieser Ring, die nicht unbedingt konzentrisch ■ein aüseenι bilden die Querschnitte der zwei Büschel. Die erfindungsgemäß benutzte Lichteigenschaft ist im allgemeinen die Lichtintensität, aber andere Eigenschaften können auch verwendet werden, wie die Frequenzen oder Wellenlängen und folglich die Farbe, oder auch die Art der optischen Polarisation der Büschel»

Die Winkelabweichung der Oberflächen der durchsichtigen Scheibe ändert die zwei Büschel, die von da an einer Ablenkung unterliegen.

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Die Strahlung und die zwei Büschel, die diese bilden, werden nach ihrer Veränderung in zwei verschiedene Richtungen gerichtet, die grundsätzlich irgendwie gerichtet sein können, die aber beispielsweise einen Winkel von 90° bilden; die zwei Richtungen müssen nicht notwendigerweise jede die Hälfte der Lichtenergie der Strahlung enthalten; es ist jedoch nützlich, sich diesem Wert von 50 % zu nähern, um so die eventuelle spätere Vergleichung zwischen den zwei Richtungen zu erleichtern.

Die zwei Teile der ursprünglichen Lichtstrahlung, die in zwei Richtungen verteilt sind, werden jeder gebildet von einem Teil jedes der zwei Büschel, die die ursprüngliche Strahlung zusammensetzen. Diese zwei Richtungen, die Träger eines zusammengesetzten Lichtsignals sind, treffen jede auf ein Anzeigeelement. Um die Empfindlichkeiten verschieden zu machen oder, anders gesagt, um die Anzeigewerte der zwei Anzeigeelemente in bezug auf die zwei Lichtbüschel, die jede der zwei Richtungen zusammensetzen, verschieden zu machen, kann man beispielsweise zwei Anzeigeorgane mit verschiedenen Eigenschaften benutzen oder ihnen eine Einrichtung hinzufügen, die die Eigenschaften der zusammengesetzten Lichtsignale verändert, oder die Stellung der Anzeigeorgane bewegen, oder auch die wesentlichen Eigenschaften der Lichtsignale benutzen, wie ihre Intensitäten, ihre Konvergenz oder Divergenz. 9 09 844/T(H 3

Man erkennt, daß dieses Verfahren die Vergleichung der Signale auf eine sehr einfache Art gestattet, da man nur eine einzige Lichtstrahlung bzw. einen einzigen Lichtstrahl "benutzt.

Zur Bildung dieser Strahlung benutzt man zweckmäßig zwei Lichtbüschel, deren Lichtintensitäten verschieden sind. Die Lichtintensität ist eine Eigenschaft, die man sehr leicht regeln kann, im Gegensatz zu anderen Eigenschaften, wie die Polarisation.

Nach einer vorteilhaften Ausführungsart haben die zwei Büschel, die die Strahlung bilden, verschiedene Quer-

geometrisch ähnlich, sein schnitte. Sie können äß

3babeiKoder auch nicht, sie können symmetrisch oder nicht symmetrisch sein in bezug auf ihre gemeinsame Achse oder in bezug auf eine Ebene senkrecht zu den Querschnitten. Dies erlaubt eine bessere Unterscheidung der Signale oder Lichtbüschel bei ihrer Anzeige oder späteren Vergleichung.

Außerdem kann man, wenn man eine maximale Kontrastwirkung wünscht, die Lichtintensität eines der Büschel vorzugsweise zu Null machen»

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Zweckmäßig bildet man eine divergierende Lichtstrahlung, macht diese Strahlung konvergierend und ordnet die durchsichtige Scheibe, deren Winkelabweichung man messen muß, in diesem konvergierenden Teil der Strahlung an.

Auf diese Weise hat man folgende Vorteile. Die zuerst divergierende Strahlung, die aus den zwei Büscheln mit verschiedenen Lichteigenschaften gebildet ist, kann wegen der Divergenz auf besonders einfache Weise erzeugt werden. Durch das anschließende Konvergieren konzentriert sie sich wieder und trifft auf die durchsichtige Scheibe auf einer Zone von geringer Ausdehnung auf.

Wie der Fachmann leicht einsehen wird, kann die durchsichtige Scheibe sich in gewissen Fällen im Konvergenzpunkt oder etwas über diesen Punkt hinaus befinden.

Man richtet zweckmäßig die bei ihrem Durchgang durch die durchsichtige Scheibe veränderte Strahlung in zwei verschiedene Sichtungen dureil Reflexion bzw. durch Durchgang.

Man kann diese Ausrichtungen allein erzielen durch ein System, das reflektierend oder lichtbrechend ist» aber es ist viel einfacher« den Durchgang oder die Durchsichtigkeit für die eine der Sichtungen zu benutzen und die-

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Richtung durch Reflexion zu bilden, was zu weniger Platz beanspruchenden Ausfütirungsformen führt und den zwei Richtungen verschiedene Lichteigenschaften vermittelt, was vorteilhaft ist bei der Anzeige und der Vergleichung der in diese zwei Richtungen gelenkten Signale.

Vorzugsweise ordnet man die durchsichtige Scheibe, deren Winkelabweichung nan messen muß, in unmittelbarer Nähe des Konvergenzpunktes der Strahlung an; man kann so die Winkelabweichung der durchsichtigen Scheibe in einer gleichsam punktförmigen Zone messen.

Hach Teilung der Strahlung in zwei Richtungen blendet man zweckmäßig einen Teil wenigstens eines der zwei gerichteten Büschel vor den Anzeigeorganen ab. Man gibt so den angezeigten Signalen mehr Feinheit, und man vermeidet die Anzeige gewisser parasitärer Signale. Außerdem erlaubt die teilweise Abblendung des einen oder des anderen oder beider gerichteter Büschel die Differenzierung der Wirkungen dieser Büschel auf ihre diesbezüglichen Anzeigeelemente,.

Vorzugsweise wählt man die Querschnitte wenigstens eines der zwei Büschel abhängig von der oder den Richtungen längs der durchsichtigen Scheibe an der betrachteten Stelle, in der öder in denen man die .Winkelabweichung zu messen wünscht.

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So wird es, wenn man die Winkelabweichung an einem •Punkt einer Scheibe nur in der vertikalen Richtung zu messen wünscht, vorteilhaft sein, eine Strahlung zu benutzen, die aus zwei Büscheln gebildet ist, deren Querschnitte in einer vertikalen Geraden nebeneinander gestellt sind.

Man blendet zweckmäßig auch einen Teil wenigstens eines der zwei gerichteten Büschel vor den Anzeigeorganen ab, und zwar abhängig vom Genauigkeitsgrad der Messung.

Es ist vorteilhaft, als Funktion der Koordinaten der Punkte der durchsichtigen Scheibe und/oder als Funktion der Richtungen, in denen die Winkelabweichung bestimmt werden soll, die Winkelabweichungen zu registrieren, die sich aus der Anzeige und der Vergleichung der zwei gerichteten Büschel ergeben, die beim Durchgang durch die durchsichtige Scheibe verändert worden sind.

Diese Registrierung, die beispielsweise fotografisch erfolgen kann, kann kontinuierlich oder diskontinuierlich durchgeführt werden. Bei der Registrierung der Winkelabweichung ergibt sich, wenn diese als Funktion der Koordinaten gemessen wird, bei der diskontinuierlichen Messung nicht nur die Winkelabweichung, sondern

Vfergrofterurigszanl bei einer Linsenbildung auch unmittelbar die StttaoKkacixDikBaxjd&^ infolge

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3g§|e Veränderung der Winke lab weichung, deren Kenntnis eine „große technologische und kommerzielle Bedeutung hat. Man erkennt auch, daß durch einfache Ableitung der Werte der Winkelabweichung es leicht ist, die Werte der Dicke an jedem Punkt der durchsichtigen Scheibe zu erhalten.

Die Vorrichtung gemäß der Erfindung umfaßt:

- eine Lichtquelle, die eine divergierende Strahlung aussendet, deren Achse zur durchsichtigen Scheibe hin gerichtet ist,

- eine Sammellinse senkrecht zur Achse der Strahlung,

- einen mehr oder weniger undurchsichtigen Schirm zwischen der Lichtquelle und der Sammellinse in der Brennpunktsebene der letzteren, wobei der Schirm einen Teil der Strahlung abblendet und so ein mehr oder weniger dunkles Büschel bildet, und wobei der nicht abgeblendete Teil der Strahlung ein anderes helleres Büschel bildet,

- die durchsichtige Scheibe, deren Winkelabweichung man messen muß und die in den konvergierenden Teil der zwei vorgenannten Büschel eingebracht wird,

- eine zweite Sammellinse, die im wesentlichen senkrecht zur Achse der veränderten Strahlung ist,

- eine Vorrichtung zur Teilung des Lichtes, die einen

Teil der einfallenden Strahlung ohne Ablenkung durch-909844/1043

läßt und den übrigen Teil reflektiert,

zwei Anzeigeeinriclitungen, die den durchgelassenen und nicht abgelenkten Teil bzw. den reflektierten Teil der Strahlung auffangen und die verschieden empfindlich sind in bezug auf die zwei Lichtbüschel, von denen Jedes den durchgelassenen Teil und den reflektierten Teil bildet.

Es ist selbstverständlich, daß es sich bei der Bezeichnung "Linse" auch um eine Gesamtheit optischer Elemente handeln kann, die zweckmäßig die einzige Linse ersetzen zum Zwecke der Verbesserung der optischen Eigenschaften der Büschel und der Abbildungen, so wie es dem Fachmann bekannt ist.

Die Achse der Strahlung muß nicht notwendigerweise senkrecht zur durchsichtigen Scheibe sein, sondern kann beträchtlich von dieser Richtung abweichen; es ist eine interessante Besonderheit der Erfindung, daß man die Winkelabweichung unabhängig von der allgemeinen Krümmung des Materials messen kann. Ein örtlicher Fehler, wie ein "Auge" in der Scheibe, wird angezeigt, da er ein Fehler der Parallelität ist. Aber die Krümmung einer Windschutzscheibe wird nicht angezeigt, wenn ihre Oberflächen zueinander parallel bleiben. Man kann diese Tatsache nachprüfen durch Messen der Winkelabweichung eines Stückes-Glas mit peinlich genau parallelen Oberflächen, bei dem

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man die Achse der Strahlung senkrecht zu seinen Oberflächen ausrichtet. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zeigt dann eine Winkelabweichung Null. Wenn man dann das Stück Glas verschieden ausrichtet, so daß es beträchtlich von der senkrechten Richtung abweicht, zeigt die Vorrichtung immer eine Winkelabweichung Null, obwohl die Dicke des Materials, die von der Strahlung zu durchdringen ist, wegen der Schrägstellung vergrößert ist.

Wenn die aus den zwei Büscheln zusammengesetzte Strahlung durch eine Scheibe mit parallelen Oberflächen unter einem Einfallswinkel, der nicht Null ist, hindurchtritt, unterliegt sie der Brechung, und beim Austritt aus der Scheibe verbleibt sie parallel zu ihrer Einfallsrichtung, wobei sie einer sehr kleinen seitlichen Verschiebung unterliegt, welche die Anzeigeelemente wegen der optischen Anordnung nicht beeinflußt. Demgegenüber wird, wenn die Oberflächen der Scheibe nicht parallel sind, die Strahlung abgelenkt wie beim Durchgang durch ein Prisma, und diese Ablenkung beeinflußt eines der Anzeigeelemente.

Gemäß den optischen Eigenschaften der die Vorrichtung bildenden Elemente kann die zweite Sammellinse vor oder hinter der Einrichtung zur Teilung des Lichtes angeordnet sein.

Zweckmäßig weisen die ansprechenden Anzeigevorrichtungen

fotoelektrische Zellen auf, von denen wenigstens eine ab-

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geblendet ist.

Auf diese A'eise führt die Ablenkung der Büschel, die durch einen eventuellen Fehler der Parallelität der durchsichtigen Scheibe hervorgerufen wird, zu einem teilweisen oder vollständigen Abblenden eines oder beider Büschel, so daß wenigstens eine der Anzeigevorrichtungen eine Änderung der Helligkeit wahrnimmt, die auf jeden Fall für jedes der Anzeigeorgane verschieden sein muß.

Die ansprechenden Anzeigevorrichtungen bilden zweckmäßig zwei Zweige einer elektrischen Vergleichsbrücke, wie z.B. einer Wheatstone-Brücke.

Die Vorrichtung umfaßt zweckmäßig euch ein Mikro-Ampere-Anzeige- und/oder -Registrierinstrument, das auf die Abgleichungsabweichung der Vergleichsbrücke anspricht, oder einen elektrischen '.Yiderstand, der auf die Abgleichungsabweichung der Vergleichsbrücke anspricht, und an dessen Klemmen man den Spannungsabfall mißt und/oder registriert.

Es ist zu bemerken, daß die berichteten Büschel, die die Anzeigevorrichtungen erreichen, beide von der Strahlung herrühren, die durch die durchsichtige Scheibe durchgetreten ist, und daß sie somit auf gleiche «Veise durch die Lichtabsorption dieser Scheibe beeinflußt sind. Diese Absorption, bedingt durch eine Undurchsichtigkeit bzw. Trübung oder eine Überdicke der Scheibe, hat also an sich

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keinen Einfluß auf die Abgleichung der Vergleichsbrücke.

Es ist zweckmäßig, die Fortbewegung des Registrierstreifens bzw. -blattes bzw. ~band.es mit der Fortbewegung der durchsichtigen Scheibe, deren Winkelabweichung man registriert, zu synchronisieren.

Das Registrierdokument kann irgendwelcher Art siaä sein, z.B. ein kariertes Blatt oder ein fotografisches-Blatt oder ein Magnetband. Man kann die Winkelabweichung in einer bestimmten Richtung als Funktion der Koordinaten des Crtes oder die «Vinkelabweichung in allen Richtungen um einen und denselben Punkt der durchsichtigen Scheibe registrieren. Man kann, wie oben bereits gesagt, leicht die Winkelabweichung ableiten und auch die

Man benutzt zweckmäßig in der Brennpunktsebene der ersten Linse einen mehr oder weniger undurchsichtigen Schirm von Kreisform.

Diese Ausführungsform gestattet' automatisch die Messung der Winkelabweichung in einem Punkt in der Richtung, in der die Winkelabweichung ein Maximum ist, wobei diese Richtung nicht von vornherein bekannt ist. Das durch den Schirm mehr oder weniger verdunkelte Büschel wird beim

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Durchtritt durch die durchsichtige Scheibe in der Richtung der stärksten Winkelabweichung abgelenkt, wobei diese 7/inkelabweichung durch eine der Anzeigevorrichtungen wahrgenommen wird.

Man kann auch zweckmäßig einen mehr oder weniger undurchsichtigen Schirm von Halbkreisform verwenden.

In diesem Falle mißt man die Tv'inkelabweichung in Richtung senkrecht zum geradlinigen Teil des Umfanges des Schirmes,

Man erkennt, daß man so die iYinkelabweichungen in allen Richtungen um einen Funkt feststellen kann, indem man eine Drehung des Schirmes um 36C° oder 18C° bewirkt.

Man kann auch zweckmäßig einen mehr oder weniger undurchsichtigen Schirm in Form eines Viertelkreises verwenden.

Man mißt dann die Summe von zwei 7/inke!abweichungen in zwei aufeinander senkrechten Richtungen parallel zu den beiden geradlinigen Teilen des Umfanges des Schirmes.

Die Vorrichtung zur Teilung des Lichtes ist vorzugsweise ein halbdurchlässiger Spiegel, der ungefähr um -4-5° in bezug auf die Richtung der Achse der Strahlung geneigt ist.

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Mit dieser Vorrichtung bilden die Achsen der Anzeigevorrichtungen einen Winkel von 9C , aber man kann auch eine andere Neigung anwenden, damit der reflektierende Spiegel seine Wirkung tut, d.h. die .veiterleitung eines Teiles der Strahlung mittels Durchsichtigkeit und des anderen Teiles mittels Reflexion.

Die ansprechende Anzeigevorrichtung, die den durchgelassenen Teil der Strahlung empfängt, ist zweckmäßig im Brennpunkt der zweiten Sammellinse angeordnet. An dieser Stelle (es handelt sich wohlverstanden um den Brennpunkt hinter der Linse) sind die zwei Büschel (das helle und das dunkle Büschel) nicht mehr verschoben durch irgendwelche Wirkungen außer durch die Winkelabweichung, und es gestaltet sich die Anzeige dieser konvergierenden Büschel mit maximaler Genauigkeit und Ansprechempfindlichkeit,,

Zweckmäßig umfassen die zwei ansprechenden Anzeigevorrichtungen jede eine Blende, von denen die eine mehr geöffnet ist als die andere, so daß die /»irkungen, die die zwei gerichteten Büschel auf ihre diesbezüglichen Anzeigeorgane eusüben, verschieden sind. Beispielsweise ist die Blende auf dem -Vege des ?;erichteten Büschels, das infolge Durchsichtigkeit durch den halbdurchlässigen Spiegel weitergeleitet wird, wenig geöffnet, so daß jede kleine Ab-

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lenkung dieses Büschels, hervorgerufen durch einen Fehler in der Parallelität der Scheibe, eine teilweise Abblendung eines der zwei Büschel, z.B. des verdunkelten Büschels, der Bestandteil der Strahlung ist, zur Folge hat, während die Blende auf dem Wege des gerichteten Büschels das infolge Reflexion am halbdurchsichtigen Spiegel weitergeleitet wird, stärker geöffnet ist, so daß eine Ablenkung des Büschels keine Abblendung des verdunkelten Büschels zur Folge hat, welcher sich etwas auf dem ansprechenden Element zur Anzeige verschiebt, ohne die gesamte Lichtmenge, die von diesem Element empfangen wird, zu verändern.

Zweckmäßig umfassen die zwei Anzeigevorrichtungen eine Einrichtung zum Ausgleich Jeder Änderung der Intensität des durch die Scheibe hindurchgetretenen Büschels, die beispielsweise hervorgerufen sein kann durch Änderungen der Färbung, der Dicke, des Zustandes der Oberfläche oder der Sauberkeit der einen oder der anderen Oberfläche. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfaßt zweckmäßig einen mehr oder weniger undurchsichtigen Schirm von Kreisform und eine Anzeigevorrichtung, die den durchgelassenen Teil der Strahlung auffängt, verbunden mit einer ringförmigen Blende, deren voller zentraler Teil die Form eines Kreises hat, dessen Durchmesser gleich dem Durchmesser des Bildes

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ist, das auf der Anzeigevorrichtung von dem mehr oder weniger undurchsichtigen Schirm abgebildet wird.

Bei Abwesenheit eines Parallelitätsfehlers wirft das verdunkelte Büschel ein Dunkelbild auf den zentralen vollen Teil, während das helle Büschel durch die gEÄ ringförmige Zone hindurchtritt und das Anzeigeelement beeinflußt. Bei der geringsten Abweichung der Büschel, hervorgerufen durch einen Parallelitätsfehler, erreicht ein Teil des Dunkelbildes das Anzeigeelement, das somit weniger Licht auffängt„ "

Man kann sieh eine große Zahl von Kombinationen von mehr oder weniger undurchsichtigen Schirmen verschiedener' Formen und von Blendenelementen vorstellen als Funktion der Wirkungen und der zu erzielenden Genauigkeit, phne daß man den Rahmen der Erfindung verläßt. Insbesondere kann .das Zentrum des zentralen vollen Teiles zweckmäßig verschoben sein in bezug auf das geometrische Zentrum der Blende; wenn z.B. der zentrale volle Teil die Blende innen tangiert, erkennt man, daß dieselbe Ablenkung der Büschel in verschieden-en Sichtungen das Anzeigeorgan abhängig von der Richtung verschieden beeinflußt.

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Zur weitergehenden Erklärung der Erfindung und zur weitergehenden Abschätzung ihrer Vorteile werden nachstehend den Schutzumfang nicht "beschränkende Ausführungsbeispiele beschrieben, wobei 'Bezug genommen wird auf die Darstellung in der Zeichnung:

Die Fig. 1 zeigt, schematisch das Grundprinzip einer der Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung,

die Pig. 2 und 3 zeigen konstruktive Einzelheiten des Schirmes und der entsprechenden Elenden.

Gemäß Fig. 1 sendet die elektrische Lampe 1 mit dem Glühfaden 2, der eine punktförinige Lichtquelle bildet, eine divergierende Strahlung in Form des Konus 3 aus, dessen Öffnungswinkel durch die Cffnung 4- in dem Schirm 5 festgelegt ist. Die Sammellinse 6, in deren vorderer Brennpunktsebene 7 ein Schirm 8 angeordnet ist, ist- senkrecht zur Achse 9 der Strahlung und läßt die Strahlung gemäß dem Konus 10 im Funkt 11 auf der Achse konvergieren. Die Oberflächen 12' und 12" der durchsichtigen Scheibe 12 schneiden die Achse 9 in den Punkten 15' und 13" sehr benachbart dem Konvergenzpunkt 11. Hinter dem Funkt 11 divergiert die Strahlung gemäß dem Konus bis zur Sammellinse 15, die senkrecht zur Achse 9 ist'und

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im wesentlichen auch, senkrecht zur Achse der konischen Strahlung 14, auch wenn diese infolge eines Parallelität sfehlers der Oberflächen 12' und 12" abgelenkt ist. Die Strahlung gemäß dem Konus 14 verlängert sich hinter der Linse 15 gemäß dem Kegelstumpf 16 "bis zum halbdurchlässigen Spiegel 1?, der um 45° in bezug auf die Achse geneigt ist. Ein leil der Strahlung tritt durch den halbdurchlässigen Spiegel 1? hindurch gemäß dem Kegelstumpf 18 in der Verlängerung des Kegelstumpfes 16, während der übrige Teil der Strahlung reflektiert wird gemäß dem Kegelstumpf 19·

Die Strahlung gemäß 18 trifft auf den undurchsichtigen Schirm 20, der von einer üffnung oder Blende 21 durchbrochen ist. Im Zentrum 22 der Öffnung 21 ist eine undurchsichtige kreisförmige Scheibe 23 angebracht. Hinter der Öffnung 21 und der Scheibe 23 ist eine fotoelektrische Zelle 24 angebracht, die in bezug auf die außerhalb der Apparatur befindliche Lichtstrahlung vollständig isoliert ist.

Die undurchsichtige '.Vand 20 und die Scheibe 23 sind in der hinteren Brennpunktsebene der Linse 15 gelegen.

Der durch den halbdurchlässigen Spiegel 17 reflektierte Kegelstumpf 19 tritt durch die ivlattglasscheibe 25 hindurch, deren Zweckmäßigkeit weiter unten erörtert werden

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wird, die aber nicht unerläßlich ist. Der Kegelstumpf 19 trifft dann auf die undurchsichtige Wand 26, die durchbrochen ist von einer kreisförmigen öffnung oder Blende 27» und deren Öffnung regelbar ist, um eine Meßbrücke abzugleichen, und hinter der eine fotqelektrische Zelle 28 angebracht ist, die in derselben Art wie die Zelle24-passend isoliert ist.

Der graue und wenig durchscheinende Schirm 8 in der Brennpunktsebene 7 der Linse 6 ist kreisförmig und wirft.auf diese Linse 6 ein konisches Büschel 29, das grau und sehr verdunkelt ist. Zum Zwecke der Klarheit der Zeichnung hat man die Folge des Verlaufes des Büschels 29 bis zur Wand einerseits und bis zur Wand 26 andererseits nicht dargestellt. Der Verlauf erfolgt überdies gemäß klassischen Erkenntnissen und ist ähnlich dem Verlauf der Strahlung gemäß dem Konus 3· Man bemerkt, daß die Strahlung gemäß dem Konus 5 ebenso wie ihre Verlängerung bis zum halbdurchlässigen Spiegel 17 sich aus zwei Büscheln von verschiedenen Eigenschaften, aber derselben Achse 9 zusammensetzt} das erste sehr helle Büschel befindet sich in dem ringförmigen Zwischenraum zwischen den Konen 3 und 29; das zweite verdunkelte Büschel befindet sich innerhalb des Konus 29. Es ist diese Darlegung beschränkt worden auf den Zwischenraum zwischen der Brennpunktsebene 7 und der Linse 6, aber es ist einfach, diese Darlegung auszudehnen auf den Verlauf dieser Büschel hinter der Linse 6.

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Es ist auch bekannt, daß das Bild des Schirmes 8 sich in der Sichtung, die sich infolge Durchsichtigkeit durch den halbdurchlässigen Spiegel 17 fortsetzt, abbildet auf der Scheibe 23, da der Schirm 8 sich im Brennpunkt 7 der Linse 6 und die Scheibe 23 im hinteren Brennpunkt 20 der Linse 15 befindet. Dies ist offensichtlich nur zutreffend, soweit kein Parallelitätsfehler der Oberflächen 12' und 12" die Strahlung ablenken läßt. Die Stellung des Schirmes 26 und die Weite der öffnung 27 sind so gewählt, daß in der Sichtung, die sich durch Reflexion am halbdurchsichtigen Spiegel 17 fortsetzt, der Einfluß des verdunkelten Büschels auf die Zelle 28 sehr klein ist in bezug auf den Einfluß des sehr hellen Büschels, und daß eine Ablenkung dieser Büschel ohne Vvirkung ist auf die gesamte Lichtmenge, die von dieser Zelle 28 aufgenommen wird.

Die Rolle des Mattglases 25 besteht außerdem darin, einen eventuell zu großen Kontrast zwischen diesen beiden Büscheln auszugleichen. In gewissen Fällen kann man entsprechend den Eigenschaften der optischen Elemente die Linse 15 hinter dem halbdurchlässigen Spiegel 17 anordnen, ohne daß das Prinzip selbst der Methode an sich geändert wird.

Die Funktion ist die folgende:

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Die Lichtquelle 2, die vorzugsweise mit stabilisiertem Strom betrieben wird, richtet längs der Achse 9 eine Lichtstrahlung gemäß den Konen 3, .10, 14.und 16 gegen den halbdurchlässigen Spiegel 17. Der wenig durchscheinende Schirm 8 richtet längs der Achse 9 ein verdunkeltes Büschel 29,. das auf dieselbe tfeise bis zum halbäurchlässigen Spiegel 17 gelangt. Ein Teil der zwei Büschel 3 und tritt durch den halbdurchlässigen Spiegel ohne Ablenkung hindurch und.erreicht die Wand 20 in der hinteren B^ennpunktsebene der Linse 15·derart, daß die Abbildung des Schirmes 8 bei Abwesenheit von Parallelitätsfehlern sich mit der vollen Scheibe 2J. deckt. Die fotoelektrische Zelle 24 empfängt das helle Büschel, das durch den ringförmigen Zwischenraum 21 hindurchtritt. Der ,andere ..'!eil . der Büschel 3 und 29 wird durch den halbdurchlässigen Spiegel 17 reflektiert zur A'and 26 und zur Zelle 28 hin, nachdem eine eventuelle Diffusion der Strahlung durch die Mattscheibe 25 erfolgt ist.

Bei Existenz eines Parallelitätsfehlers zwischen den Oberflächen 12' und 12" in den Punkten 13' und 13" wird die" aus den Büscheln 3 und 29 gebildete Strahlung abgelenkt abhängig von der Winkelabweichung derart, daß das verdunkelte Büschel auf der Brennpunktsebene 20 ein in bezug auf die Scheibe 23 verschobenes Schattenbild gibt. Die Zelle empfängt somit weniger Licht. Demgegenüber ändert das-

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Büschel 19» obwohl es verschoben ist, die Gesamtbeleuchtung der Zelle 28 nicht. Die Apparatur ist nicht empfindlich auf Änderungen der allgemeinen Krümmung der Scheibe 12, so wie sie bei einer Windschutzscheibe gegeben sind, denn wenn die Parallelität eingehalten wird, ist die seitliche Verschiebung der Strahlung parallel eh sich selbst ohne Einfluß auf die Zellen 24 und 28. Bie Apparatur ist auch nicht empfindlich gegen eine seitliche Verschiebung der Scheibe 12. Es ist richtig, daß bei einer starken Neigung der Scheibe 12 gegen die Achse 9 die Dicke, die die Strahlung 10 durchdringen muß, größer ist, aber es resultiert aus der Tatsache der Lichtabsorption, daß die Beleuchtungen der Zellen 24 und 28 in gleicher Weise vermindert werden, so daß der Vergleich der Spannungswerte der beiden Zellen stets die Winkelabweichung liefert, unabhängig von der allgemeinen Krümmung. Bei Verbringung der durchsichtigen Scheibe in eine Richtung senkrecht zur Achse 9 erhält man die Winkelabweichung als Funktion der Koordinaten der Scheibe.

Die zwei Zellen 24 und 28 bilden zwei Zweige einer Wheatstone'sehen Brücke (nicht gezeichnet), und die Abgleichungsabweichungen der Brücke werden registriert.

Der Umfang der vorstehend als Beispiel beschriebenen Vorrichtung überschreitet in seiner größten Abmessung

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2 m nicht, und die Empfindlichkeit der Vorrichtung ist praktisch unbegrenzt, da sie die Messung auch von kleinen Winkelabweichungen wie eine Bogensekunde (1/3600 Bogengrad) gestattet.

Beim Folgenden wird insbesondere Bezug genommen auf die Fig. 2. Der Schirm 8' hat halbkreisförmige Form, während die undurchsichtige Wand 2C in der Brennpunktsebene der zweiten Linse von einer Öffnung 21' durchbrochen ist, die teilweise abgedeckt ist durch ein Kreissegment 22', dessen geradliniger Teil 3C parallel ist zum geradlinigen Teil des Schirmes 8'.

Die Appratur ist dann insbesondere empfindlich für Büschelablenkungen in der Richtung senkrecht zu den geradlinigen Teilen 3C und 31· Durch gleichzeitige Drehung des Schirmes 6' und des Segmentes 22' kann man die Winkelabweichungen messen um einen Funkt der durchsichtigen Scheibe 12 (Fig. 1) herum, ohne daß man die Scheibe 12 drehen muß.

Zum Folgenden wird Bezug genommen suf die Fig. 3· Der Schirm 8" hat die Form eines Viertelkreises, während die undurchsichtige ,'.'and 2C" in der Brennpunktsebene der zweiten Linse nur eine kreisförmige Öffnung 21" aufweist.

Lie Apparatur mißt insbesondere die Ablenkungen in den zwei Richtungen parallel zu den Kanten 32 und 33 des

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Schirmes 8" und gibt folglich, die Summe der Winkelabweichungen in diesen zwei Richtungen. Man kann die Empfindlichkeit verändern, indem man die öffnung 21" teilweise abdeckt.

Man erkennt, daß man bei Benutzung von Schirmen 8, die als Filter ausgebildet sind, die.die Frequenz verändern und hierzu beispielsweise gefärbt sind, oder die polarisiert sind, oder die noch andere Eigenschaften aufweisen, an Stelle der öffnung 21 oder der Scheibe 22 geeignete Elemente anwenden muß, wie gefärbte oder polarisierte Scheiben oder noch anders ausgebildete Elemente.

Die Methoden zur Durchführung des vorstehend beschriebenen Verfahrens sind als den Schutzumfang nicht beschränkende Beispiele gegeben, und man verläßt nicht den Rahmen der

wenn
Erfindung, sansftemcman Abwandlungen hereinbringt.

Alle Merkmale, die in der vorstehenden Beschreibung erwähnt und/oder in der Zeichnung dargestellt sind, sollen., sofern der bekannte Stand der Technik dies zuläßt, für sich allein oder in beliebigen Kombinationen oder Teilkombinationen als erfindungswesentlich angesehen werden, auch wenn sie in den Ansprüchen nicht enthalten sind»

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Claims

Aachen, den 1?. Februar 1966 Mein Zeichen P 11 646 - 0197 Patentansprüche

1) Verfahren zum Messen und/oder Registrieren der Winkelabweichung der zwei Oberflächen einer durchsichtigen Platte, Tafel, Scheibe od.dgl. von allgemein beliebiger Krümmung an einer beliebigen Stelle dieser Scheibe od.dgl. mittels einer Lichtstrahlung, die die Scheibe od.dgl. durchdringt, dadurch gekennzeichnet, daß man auf eine beliebige Stelle einer Oberfläche (12*) dieser Scheibe od.dgl. (12) eine Lichtstrahlung richtet, die aus zwei Büscheln (3, 10; 29) derselben Achse (9) aber mit verschiedenen Lichteigenschaften zusammengesetzt ist, wobei die Büschel auf ihrem Wege durch die Scheibe od.dgl. Veränderungen als .Funktion der Winkelabweichung (der Scheibe od.dgl. 12) unterliegen, daß man die veränderte Strahlung in zwei verschiedene dichtungen (18, 19) richtet, um so zwei entsprechende Anzeigeelemente (24, 28) zu beeinflussen, deren Empfindlichkeit man verschieden macht in bezug auf die zwei Lichtbüschel (3; 29), die sich in jeder der zwei Sichtungen zusammensetzen.

2) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man zwei Lichtbüschel (3, 29) verwendet, deren Lichtintensitäten verschieden sind.

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3) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Querschnitte der zwei Lichtbüschel (3» 29) verschieden sind.

4) Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtintensität eines (29) der Büschel Null ist,

5) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man eine divergierende Lichtstrahlung (3, 29) bildet, daß man "diese Strahlung konvergierend (10) macht und daß man die durchsichtige Scheibe (12), deren Winkelabweichung man messen muß, in diesen konvergierenden Teil der Strahlung einbringt,

6) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die bei ihrem Durchtritt durch die durchsichtige Scheibe (12) veränderte Strahlung in zwei verschiedene Richtungen richtet durch Reflexion (19) bzw. durch Durchgang (18).

7) Verfahren nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß man die durchsichtige Scheibe (12), deren .Vinkelabweichung man messen muß, in unmittelbarer Nähe des Konvergenzpunktes (11) der Strahlung einbringt.

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1 oder

8) Verfahren nach Anspruch/6, dadurch gekennzeichnet,

daß man nach der Teilung der Strahlung in zwei Richtungen (18, 19) einen Teil wenigstens eines der zwei gerichteten Büschel vor den Anzeigeorganen (24) abblendet.

9) Verfahren nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß man die Querschnitte wenigstens eines der zwei Büschel abhängig wählt von der oder den Richtungen längs der durchsichtigen Scheibe (12) an der betrachteten Stelle (13¹, 13"), in der oder denen man die Winkelabweichung zu messen wünscht.

1C) Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß man einen Teil wenigstens eines der zwei gerichteten Büschel vor den Anzeigeorganen (24-) abblendet, und zwar abhängig vom Genauigkeitsgrad der Messung.

11) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man als Funktion der Koordinaten der Punkte (13, 13") der durchsichtigen Scheibe (12) und/oder als Funktion der Richtungen, in denen die Winkelabweichung bestimmt werden muß, die Winkelabweichungen, die aus der Anzeige und dem Vergleich der zwei gerichteten Büschel (3, bzw. 18, 19), die beim Durchgang durch die durchsichtige¹ Scheibe (12) verändert worden sind, registriert.

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12) Vorrichtung zum Messen und/oder fiegistrieren der Winkelabweichung der zwei Oberflächen einer durchsichtigen Platte, Tafel, Scheibe od.dgl. von allgemein beliebiger Krümmung an einer beliebigen Stelle dieser Scheibe od.dgl* mittels einer Lichtstrahlung, die die Scheibe od.dgl. durchdringt, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung.aufweist:

- eine Lichtquelle (1,2), die eine divergierende Strahlung (3) aussendet, deren Achse (9) zur durchsichtigen Scheibe (12) hin gerichtet ist₄

- eine Sammellinse (6) senkrecht zur Achse (9) der Strahlung,

- einen mehr oder weniger undurchsichtigen Schirm (8) zwischen der Lichtquelle und der Sammellinse in der Brennpunktsebene (7) der letzteren, wobei der Schirm (8) einen Peil der Strahlung (3) abblendet und so ein mehr oder weniger verdunkeltes Büschel (29) bildet, und wobei der nicht abgeblendete Teil der Strahlung ein anderes helleres Büschel (zwischen 3 und 29) bildet,

- die durchsichtige Scheibe (12), deren Winkelabweichung man messen muß und die in den konvergenten Teil der zwei vorgenannten Büschel eingebracht ist,

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- eine zweite Sammellinse (15) im wesentlichen senkrecht zur Achse der veränderten Strahlung,

- eine Vorrichtung (17) zur Teilung des Lichtes, die einen Teil (18) der einfallenden Strahlung ohne Ablenkung durchläßt und den übrigen Teil (19) reflektiert,

- zwei Anzeigevorrichtungen (20, 21, 23, 24; 26, 27, 28), die den durchgelassenen, nicht abgelenkten Teil bzw. den reflektierten Teil der Strahlung auffangen und die verschieden empfindlich sind in bezvg auf die zwei Lichtbüschel, von denen jedes sowohl den durchgelassenen Teil wie auch den reflektierten Teil bildet.

13) Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die ansprechenden Anzeigevorrichtungen fotoelektrische Zellen (24, 28) aufweisen, von denen wenigstens eine mit einer Blende (21) versehen ist.

14) Vorrichtung nach Anspruch 13» dadurch gekennzeichnet, daß die ansprechenden Anzeigevorrichtungen zwei Zweige einer elektrischen Vergleichsbrücke bilden, wie einer Wheatstone-Brücke.

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15) Vorrichtung nach Anspruch 14-, dadurch gekennzeichnet, daß sie ein Mikro-Ampere-Anzeige- und/oder -Registrierinstrument aufweist, das auf eine Abgleichungsabweichung der Vergleichsbrücke anspricht.

16) Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen elektrischen Widerstand aufweist, der auf eine Abgleichungsabweichung der Vergleichsbrücke anspricht und an dessen Klemmen man den Spannungsabfall mißt und/oder registriert.

17) Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Fortbewegung des Registrierstreifens bzw. -blattes bzw. -bandes bzw. allgemein des Registrierdokumentes mit der Fortbewegung der durchsichtigen Scheibe, deren Winkelabweichung man registriert, synchronisiert ist.

18) Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der mehr oder weniger undurchsichtige Schirm (8) Kreisform hat.

19) Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der mehr oder weniger undurchsichtige Schirm (8') Halbkreisform hat.

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20) Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der mehr oder weniger undurchsichtige Schirm (8") Viertelkreisform hat.

21) Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Teilung des Lichtes ein halbdurchlässiger Spiegel (17) ist, der ungefähr um 45° in bezug auf die Richtung der Achse (9) der Strahlung geneigt ist.

22) Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die ansprechende Anzeigevorrichtung (Scheibe 23 und Ringöffnung 21 der Vorrichtung), die den durchgelassenen Teil (18) der Strahlung auffängt, im Brennpunkt der zweiten Sammelline (16) angeordnet ist.

23) Vorrichtung nach Anspruch 13» dadurch gekennzeichnet, daß die zwei ansprechenden Anzeigevorrichtungen jede eine Blende (21, 27) aufweisen, von denen eine (27) weiter geöffnet ist als die andere (21).

24) Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Anzeigevorrichtungen eine Einrichtung zum Ausgleich jeder Änderung der Intensität der durch die Scheibe (12) hindurchgetretenen Büschel aufweisen.

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25) Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen mehr oder weniger undurchsichtigen Schirm (8) von Kreisform aufweist und eine Anzeigevorrichtung (20, 21, 23, 24), die den durchgelassenen Teil (18) der Strahlung auffängt und die mit einer ringförmigen Blende (21) versehen ist, deren voller zentraler Teil (23) die Form eines Kreises hat, dessen Durchmesser gleich ist dem Durchmesser des Bildes, das vom mehr oder weniger undurchsichtigen Schirm (8) auf der Anzeigevorrichtung (Teil 23 dieser Vorrichtung) abgebildet wird.

26) Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß das Zentrum des zentralen vollen Teiles (23) in bezug auf das geometrische Zentrum der Blende (21) verschoben bzw. versetzt angeordnet ist.

27) Verfahren zum Messen und/oder Registrieren der Winkelabweichung der zwei Oberflächen einer durchsichtigen Scheibe od.dgl. im wesentlichen wie vorstehend beschrieben.

28) Vorrichtung zum Messen und/oder Registrieren der Winkelabweichung der zwei Oberflächei^einer durchsichtigen Scheibe im wesentlichen wie vorstehend beschrieben und als Beispiel in der Zeichnung dargestellt.

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