DE958932C - Kathodenstrahl-Bildwiedergaberoehre - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine verbesserte Elektronenstrahlröhre und auf eine verbesserte Elektrodenanordnung innerhalb dieser Röhre.

Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf eine Kathodenstrahlröhre zur Wiedergabe farbiger Bilder nach dem Reflexionsprinzip und auf eine Elektrodenkonstruktion, welche sich für diese Art von Elektronenröhren in hohem Maße eignet.

Kathodenstrahlröhren zur Wiedergabe von dreifarbigen Bildern nach dem Reflexionsprinzip sind in erster Linie für die Benutzung in Farbfernsehempfängern bestimmt und bestehen aus einer Elektronenstrahlquelle innerhalb eines Vakuumkolbens sowie einer Elektrodenanordnung zur Wiedergabe farbiger Bilder nach dem Reflexionsprinzip, welche innerhalb des Kolbens transversal zum Elektronenstrahl liegt. Die Elektrode zur farbigen Bildwiedergabe nach dem Reflexionsprinzip einer solchen Röhre enthält einen mit öffnungen versehenen Elektrodenkörper (Viellochelektrode) zur Bildwiedergabe, auf welchem eine Mehrzahl von verschiedenfarbigen Leuchtstoffen auf der der Elektronenstrahlquelle abgewandten Seite der Elektrode angebracht sind. Außerdem ist noch eine transparente reflektierende Elektrode parallel zu der mit den Leuchtstoffen überzogenen Seite des ersterwähnten Elektrodenkörpers vorhanden. In einem Fernsehempfänger wird mittels des Elektronenstrahls die mit Öffnungen versehene Elektrode unter Verwendung von geeigneten Ablenkeinrichtungen in horizontaler und vertikaler Richtung abgetastet, wobei der Strahl durch die Synchronisierimpulse des empfangenen Farbfernsehsignals gesteuert wird. Die Intensität des Elektro-

nenstrahls wird durch den Videoanteil des empfangenen Signals in bekannter Weise gesteuert. Während der Elektronenstrahl die Viellochelektrode zur Zeichnung des Bildes abtastet, tritt ein Teil des Strahls durch die Elektrodenöffnungen hindurch und in den Raum zwischen der Viellochelektrode und der transparenten reflektierenden Elektrode hinein. Zwischen diesen beiden Elektroden liegt eine Spannung, welche ein bremsendes Feld erzeugt, welches auf die eintretenden Elektronen derart einwirkt, daß diese auf einen bestimmten der verschiedenfarbigen Leuchtstoffe auf der Rückseite der Viellochelektrode auf treffen. Je nachdem, welcher Leuchtstoff getroffen wird, entsteht ein Bild anderer Farbe, wobei es von einer großen Anzahl von Faktoren abhängt, welche Farbe erzeugt wird. Zu diesen Faktoren gehören der Abstand zwischen beiden Elektroden, die Größe des bremsenden Feldes, der Winkel, den der Elektroao nenstrahl mit der Ebene der Viellochelektrode bildet und die Geschwindigkeit der Strahlelektronen. Um eine gewünschte Farbwiedergabe zu erhalten, wird bei den bekannten Einrichtungen dieser Art eine Farbumschaltung des^ wiedergegebenen Bildes dadurch hervorgerufen, daß der Farbanteil des ganzen empfangenen Farbfernsehsignals zwischen die Viellochelektrode und die transparente reflektierende Elektrode gelegt wird, so daß die Größe des Bremsfeldes zwischen den beiden Elektroden sich entsprechend der Anordnung der Farben ändert.

Auf diese Weise läßt sich der Punkt, in welchem die in das Bremsfeld eintretenden Elektronen wieder auf die Viellochelektrode auftreffen, beeinflüssen. Die Bildfarbe bestimmt sich somit durch die Größe des Bremsfeldes zwischen der Viellochelektrode und der transparenten reflektierenden Elektrode.

Wenn sich das elektrische Feld aber infolge von äußeren Einflüssen, beispielsweise durch eine Vibration der Viellochelektrode ändert, wird das Bild nicht mehr in der richtigen Farbe wiedergegeben werden. Daher ist es wichtig, daß die Vibrationen der Viellochelektrode möglichst klein gehalten werden. Die Aufgabe, die Vibrationen der Viellochelektrode zu verkleinern, ist jedoch nicht einfach zu lösen, da diese Viellochelektrode nach der bisherigen Auffassung aus einem dünnen Metallblech bestehen muß, um die vielen Löcher in ihr anbringen zu können. Außerdem muß die Viellochelektrode deshalb aus einem dünnen Metallblech gefertigt werden, damit der Elektronenstrahl infolge von Abschattierungen u. dgl. möglichst wenig an Intensität verliert. Wegen der Herstellung der Viellochelektrode aus einem dünnen Metallblech muß zur Verhinderung von Vibrationen dieser Elektrode eine Stützanordnung getroffen werden, wodurch die Herstellung solcher Dreifarbenwiedergaberöhren nach dem Reflexionsprinzip weiterhin erschwert und verteuert wird. Außerdem muß zur Verhinderung einer zu starken mechanischen Beanspruchung oder Dehnung der Viellochelektrode große Sorgfalt bei der Handhabung der Elektrode beim Einbau beobachtet werden. Andernfalls können Deckungsfehler der Elektrodenöffnungen entstehen. Die Notwendigkeit einer sehr sorgfältigen Handhabung der Viellochelektrode beim Einbau in die Röhre kompliziert die Herstellung von Röhren dieser Art noch weiterhin.

Durch die Erfindung wird eine Dreifarben-Bildwiedergaberöhre nach dem Reflexionsprinzip geschaffen, bei welcher nur eine geringe Gefahr des Vibrierens der Viellochelektrode und eine geringe Gefahr der Entstehung von Deckungsfehlern durch Dehnung der Viellochelektrode besteht.

Gemäß der Erfindung besteht die mit Leuchtstoffen belegte Viellochelektrode aus einer Platte aus Kunststoff oder'Glas, die eine bestimmte, ihre mechanische Stabilität gewährleistende Mindestdicke besitzt, so daß die Löcher die Gestalt von Kanälen annehmen, wobei die Verlängerungen der Achsen aller Kanäle sich im Ablenkzentrum schneiden.

Eine Elektronenstrahlröhre gemäß der Erfindung enthält somit einen Kolben zur Aufnahme aller Röhrenbestandteile,, eine Elektrode aus Kunststoff oder Glas mit einer Vielzahl von öffnungen, einen elektrisch leitfähigen Überzug auf wenigstens einer Seite des Viellochkörpers und eine Elektronenquelle in solcher Lage, daß die von ihr erzeugten Elektronen durch die Viellochelektrode gesteuert werden können.

Fig. ι zeigt einen Schnitt durch eine bevorzugte erfindungsgemäße Ausführungsform;

Fig. 2 ist eine vergrößerte Darstellung eines Teils der Elektrodenanordnung in der Röhre nach Fig. ι und veranschaulicht einen Teil der Erfindung ;

Fig. 3 ist eine vergrößerte Ansicht der erfindungsgemäßen Elektrode und zeigt einen Teil der Elektrodenanordnung nach Fig. 2;

Fig. 4 ist eine schematische Darstellung zur Veranschaulichung des Herstellungsverfahrens der Viellochelektrode in Fig. 2;

Fig. 5 stellt einen Teil der Elektrodenanordnung in der Röhre nach Fig. 1 im Querschnitt dar und veranschaulicht die Anbringung der Elektroden innerhalb der Röhre;

Fig. 6 ist eine Vorderansicht der Viellochelektrode und eines Befestigungsringes für dieselbe.

In Fig. ι ist mit 11 ein Röhrenkolben bezeichnet, der einen halbkugelförmigen Teil 12 und einen lichtdurchlässigen Boden 13 enthält, durch welchen hindurch das Wiedergabebild betrachtet werden kann. Außerdem besitzt diese Röhre noch einen konischen Halsteil 14, welcher am Teil 12 an der dem Boden 13 gegenüberliegenden Seite befestigt wird. Innerhalb des konischen Halsteils 14 befindet sich eine Elektronenquelle 15, die aus einem Strahlerzeuger 16 am Ende des Rohres 14 besteht, aus einer Strahlfokussierungseinrichtung 17 und aus Ablenkeinrichtungen 18 und 19 zur vertikalen und horizontalen Ablenkung, welche eine Abtastung der im ganzen mit 21 bezeichneten und nach dem Reflexionsprinzip arbeitenden Bildwiedergabeelektrode bewirken. Im Betriebe wird mittels des Elek-

tronenstrahls die Elektrode 21 beschrieben, und der Strahl geht dabei scheinbar von einem Punkt 22 aus, der annähernd in der Mitte zwischen den Spulen 18 und 19 liegt.

Wie am deutlichsten in Fig. 2 dargestellt, besteht die Elektrodenanordnung 21 aus einem Viellochkörper 23, der aus einer verhältnismäßig dicken Platte aus Kunststoff oder Glas hergestellt ist und eine große Anzahl von konischen öffnungen 24 enthält. Die Mittelachsen dieser Öffnungen schneiden sich in einem gemeinsamen Punkt, der mit der scheinbaren. Elektronenquelle 22 zusammenfällt. Die Art der Herstellung der Öffnungen

22 macht Gebrauch von einer besonderen Eigenschaft des Stoffes, aus dem der Elektrodenkörper

23 gefertigt ist und wird später näher beschrieben. Wie am deutlichsten aus Fig. 2 zu ersehen, besitzt der Viellochelektrodenkörper 23 einen leitenden Überzug 25 aus Aluminium od. dgl., der beide Seiten des Körpers 23 bedeckt. Auf einer Seite dieses Metallüberzugs sind die verschiedenfarbigen Leuchtstoffe 26, 27 und 28 angebracht. Diese Leuchtstoffe sind vorzugsweise in symmetrisch und konzentrisch angeordneten gebogenen Zeilen zwischen den Öffnungen 24 angeordnet, die ihrerseits vorzugsweise in Form von konzentrischen gebogenen Zeilen angebracht sind. Die Radien dieser Zeilen sind somit verschieden, besitzen aber einen gemeinsamen Mittelpunkt, wie aus Fig. 3 und 4 ersichtlich.

Gemäß Fig. 2 gehört zu der Elektrodenanordnung 21 auf eine transparente reflektierende Elektrode 29 mit einem transparenten leitfähigen Überzug 30 auf ihrer der Elektrode 23 zugewendeten Seite. Im Betrieb wird zwischen die Elektrode 23 und die reflektierende Elektrode 29 eine verhältnismäßig niedrige elektrische Spannung gelegt, so daß ein Bremsfeld im Raum zwischen 23 und 29 entsteht. Dieses Bremsfeld bewirkt, daß Elektronen, welche durch die Löcher 24 hindurchtreten, zur Elektrode 23 zurückreflektiert werden und auf eine der verschiedenfarbigen Leuchtstoffbelegungen auffallen, so daß diese Licht entsprechender Farbe aussenden. Der Abstand, in welchem die Elektronen nach dem Durchtritt durch eine Öffnung 24 auf eine Leuchtstoffbelegung auftreffen, ist gegeben durch

S =

2 d sin 2 a

wobei 5¹ der Abstand zwischen der Durchtrittsöffnung 24 und dem Auftreffpunkt des Elektrons auf der Leuchtstoffbelegung ist, d der in Zentimetern gemessene Abstand zwischen den Elektroden 23 und 29, V₀ das Potential der Viellochelektrode 23, V_c das Potential der reflektierenden Elektrode 29 und α der Winkel zwischen dem auftreffenden Elektronenstrahl und der Normalen auf der Viellochelektrode 23. Aus der Gleichung (1) ist zu ersehen, daß eine Veränderung des Abstandes d zwischen 23 und 29 auch die Größe ^S" beeinflußt.

Wenn daher die Elektrode 23 vibriert oder ihre Öffnungen sich nicht an der richtigen Stelle befinden, ist die gewünschte Steuerung der Elektronen in dem Bremsfeld nicht möglich, und es kann· eine falsche Leuchtstoffbelegung erregt werden.

Da die bisherigen Verfahren zur Konstruktion der Viellochelektrode die Benutzung eines dünnen Metallblechs erfordern, bei welchem leicht Deckungsfehler auftreten können oder das leicht in Schwingungen geraten kann, müssen bisher bei der Fabrikation. von Dreifarbenröhren nach dem Reflexionsprinzip umfangreiche Vorsichtsmaßregeln ergriffet; werden, um Deckungsfehler zu vermeiden. Ferner müssen die Viellochelektroden bis-• her abgestützt oder versteift werden, um die erwähnten' Vibrationen auszuschließen. Da diese Vorsichtsmaßregeln die Herstellung solcher Elektronenröhren komplizieren und verteuern, wurde der erfindungsgemäße Elektrodenaufbau entwickelt.

Wenn man eine verhältnismäßig dicke, aus Kunststoff oder Glas bestehende Viellochelektrode 23 nach Fig. 1 und 2 verwendet, so ist es nicht mehr notwendig, besondere Vorsichtsmaßregeln wie bei der Handhabung einer dünnen metallisch -n Viellochelektrode zu verwenden. Außerdem ist es nicht mehr notwendig, Stützeinrichtungen zu verwenden, wie sie zur Verhinderung von Vibrationen bei einer dünnen, metallischen Viellochelektrode notwendig waren. Die Viellochelektrode 23 wird gemäß einem bevorzugten Verfahren aus einem lichtempfindlichen Glas hergestellt. Dieses Material besitzt zunächst eine mehr oder weniger amorphe Struktur und ist für ultraviolette Strahlen durchlässig. Wenn man Teile eines aus diesem Material bestehenden Körpers einer Ultraviolettbestrahlung unterwirft, so nehmen die bestrahlten Teile eine mehr oder weniger kristalline Struktur an. Wenn man diesen Körper, der zum Teil kristallin geworden ist, einer Ätzung in einem geeigneten Reagenzmittel, beispielsweise in Flußsäure, unterwirft, so werden die kristallin gewordenen Teile sehr viel stärker angegriffen als die nicht bestrahlten und daher noch amorphen Teile. Es ließ sich experimentell bestätigen, daß die bestrahlten Teile ungefähr fünfzigmal stärker geätzt werden als die nicht bestrahlten Teile und daß dieses Material sich daher in idealer Weise zur Herstellung von Öffnungen oder Kanälen, die in einer bestimmten gewünschten Richtung verlaufen, eignet.

In Fig. 4 ist eine schematische Darstellung des Verfahrens zur Anbringung solcher Kanäle in einem strahlungsempfindlichen Körper 23 enthalten. Eine Platte 23 von entsprechend strahlungsempfindlichem Glas von der nötigen Dicke wird zunächst mit einem Kontaktnegativ 31 belegt, welches für ultraviolettes Licht undurchlässig ist. In dem Negativ 31 sind eine Anzahl von konzentrisch angeordneten Lochreihen angebracht, wobei die Krümmungsradien aller Lochreihen zwar verschiedene Länge, aber einen gemeinsamen Mittelpunkt besitzen. Im Mittelpunkt eines transparenten, kugelförmigen Gehäuses wird eine punktförmige Ultraviolettlichtquelle 33 auf derselben Seite

des Kunststoffkörpers 23 wie das Negativ 31 angebracht, und zwar auf einer Geraden, die senkrecht zur Ebene des Körpers 23 verläuft und durch den gemeinsamen Mittelpunkt 32 der verschieden langen Radien hindurchgeht, welche zu konzentrisch angeordneten Lochreihen im Kontaktnegativ 31 gehören. Wenn man die punktförmige Ultraviolettlichtquelle 33 in dieser Weise anordnet, so befindet sie sich an derselben Stelle, an welcher sich die Elektronenquelle 22 für die fertige nach dem Reflexionsprinzip arbeitende Dreifarbenröhre befindet. Da ultraviolette Strahlen? und Elektronen gradlinig verlaufen, markieren die ultravioletten Strahlen vom Punkte 33 aus die Wege im Körper 23, welche auch von Elektronen, die vom Punkte 33 ausgehen, durchlaufen werden wurden.

Um sicherzustellen, daß der Weg der ultravioletten Strahlen durch den Körper 23 längs einer durch den Punkt 33 hindurchgehenden Linie verläuft, muß man auch den Brechungseffekt beim Eintritt der Lichtstrahlen in den Körper 23 berücksichtigen. Wenn das Medium in der Umgebung des Körpers 23 aus Luft oder einem anderen Körper besteht, dessen Brechungsindex verschieden ist von dem des Körpers 23, würde eine Brechung stattfinden, und die Bahnen des ultravioletten Lichtes im Körper 23 würden von geraden Linien durch den Punkt 33 hindurch abweichen. Aus diesem Grunde wird die Lichtquelle 33 im Mittelpunkt eines transparenten kugelförmigen Gehäuses angebracht und die ganze Anordnung mit Einschluß des Körpers 23 in ein Medium eingetaucht, welches denselben Brechungsindex für ultraviolettes Licht besitzt wie der Körper 23 sowie für ultraviolettes Licht durchlässig ist. Wenn man den Elektrodenkörper 23 in dieser Weise konstruiert, so kann man erreichen, daß nach Einbau des Körpers in eine Elektronenröhre, in welcher sich die Elektronenquelle 22 an der Stelle der Ultraviolettlichtquelle 33 befindet, die Elektronen geradlinig ■ vom Punkte 22 aus durch die konischen Löcher im Körper 23 mit einem Minimum an Schwächung hindurchgehen läßt.

Nach der Bestrahlung des lichtempfindlichen Körpers 23 mit ultraviolettem Licht in der beschriebenen Weise wird der bestrahlte Körper in ein geeignetes Ätzbad gebracht, derart, daß nur die Körperseite, welche mit dem Kontaktnegativ 31 in Berührung war, dem Ätzmittel ausgesetzt wird. Es tritt dann eine Ätzung an den vom ultravioletten Licht bestrahlten Stellen des Körpers ein, so daß sich die konischen öffnungen 24 (Fig. 2) bilden. Im Anschluß an diesen Vorgang wird ein elektrisch leitender Überzug 25 auf beiden Seiten der Viellochelektrode angebracht oder wenigstens auf der der Reflektorelektrode 29 zugewendeten Seite der Viellochelektrode. Der leitende Überzug kann beispielsweise aus Aluminium bestehen und durch Eintauchen in eine Aluminiumlösung oder nach einem anderen geeigneten Verfahren hergestellt werden. Im Anschluß an die" Herstellung dieses leitenden Überzuges werden auf der der Reflektorelektrode 29 zugewendeten Seite die verschiedenfarbigen Leuchtstoffbelegungen angebracht. Diese Leuchtstoffbelegungen werden längs konzenirischer Streifen oder Zeilen verschiedener Radien angeordnet, und zwar zwischen den ebenfalls konzentrisch angeordneten Elektrodenöffnungen' wie in Fig. 3 dargestellt.

Nach der Anbringung der Leuchtstoffbelegungen wird die fertige Bildwiedergabeelektrode 23 mit der transparenten reflektierenden Elektrode 29 zusammengebaut. Zu diesem Zweck sind eine Anzahl von leitenden U-förmigen Klammern 3 5 vorgesehen, und zwar je eine Klammer an jeder Bildfeldecke. Wie aus Fig. S ersichtlich, werden die Elektroden 23 und 29 mittels der Klammern 35 und mittels der Distanzstücke 36 und 37 sowie mittels eines metallischen leitenden Klemmringes 38 parallel zueinander gehalten. Die Distanzstücke 36 und 37 bestehen aus einem leitenden Glas mit verhältnismäßig hohem elektrischem Widerstand und liegen beiderseits der Elektrode 29.

Das Distanzstück 36 berührt mit seinem einen Ende die reflektierende Elektrode 29 auf der dem Glasboden 13 zugewendeten Seite, während das andere Ende des Distanzstückes 36 in eine Vertiefung des einen Schenkels der U-förmigen Klammer 35 eingreift. Das Distanzstück 37 befindet sich zwischen der transparenten leitenden Schicht der Elektrode 29 und der Elektrode 23. Die ganze Anordnung wird durch die Schraube 39 zusammengehalten, so daß nach Anziehen dieser Schrauben .die Bestandteile des Gesamtschirms aufeinandergedrückt werden.

Nach diesem Zusammenbau der Elektroden 23 und 29, bei dem die Elektroden parallel zueinander und in einem gewissen Abstand voneinander fixiert werden, „wird dann die Gesamtelektrode in den Kolben 12 mittels der Ansätze 41 an den Klemmring 38 montiert. Die Ansätze 41 können sich etwa an den Eckpunkten eines gleichseitigen Dreiecks befinden und sind mit umgebogenen Enden 42 (Fig. 1) versehen. Diese Enden 42 sind so geformt, daß sie am Kolben 12 anliegen und werden an diesem Kolben mittels in die Kolbenwand vakuumdicht eingelöteter Schrauben befestigt. Nach diesem Einbau in die Röhre wird zwischen die Viellochelektrode 23 und die reflektierende Elektrode 29 eine Spannung gelegt, und zwar einerseits durch Anschluß an den leitenden Röhrenkolben 12 und andererseits durch Anschluß an eine Stromzuführungsleitung 44, welche mittels des isolierenden becherförmigen Körpers 45 in den Kolben 12 eingeschmolzen wird.

Beim Betrieb der Röhre erzeugen die beiden verschiedenen Potentiale an den Elektroden 23 und ein Bremsfeld zwischen diesen beiden Elektroden. Dieses Feld wirkt auf die durch die öffnungen der Viellochelektrode 23 bei deren Abtastung iao durch den Kathodenstrahl hindurchtretenden Elektronen, so daß diese auf die jeweils gewünschte Leuchtstoffbelegung auffallen. Da der Abstand ,wischen der Viellochelektrode und der reflektierenden Elektrode die Stärke des Bremsfeldes beeinflußt und dieser Abstand wegen der großen

Steifigkeit der Kunststoffelektrode 23 konstant bleibt, werden Vibrationen verhindert, und die Wiedergabe in der richtigen Farbe ist gesichert.

Aus vorstehendem ist ersichtlich, daß gemäß der Erfindung eine Viellochelektrodenanordnung für farbige Kathodenstrahl-Bildwiedergaberöhren nach dem Reflexionsprinzip geschaffen ist. Die neue Röhre ist verhältnismäßig einfach in der Herstellung und zuverlässig im Betrieb, da vermöge ihres

ίο Herstellungsverfahrens die öffnungen der Viellochelektrode konisch sind und in der Richtung der Elektronenbahnen liegen, so daß nur eine sehr geringe Abschattierung auftritt. Ferner ist wegen der verhältnismäßig großen Dicke der erfindungsgemäßen Viellochelektrode nur eine geringe oder gar keine mechanische Abstützung notwendig, so daß die Herstellung der erfindungsgemäßen Röhren vereinfacht und verbilligt wird.

Claims (4)

1. Patentansprüche:

   i. Kathodenstrahl-Bildwiedergaberöhre nach dem Reflexionsprinzip, insbesondere für Farbfernsehzwecke, dadurch gekennzeichnet, daß die mit Leuchtstoffen belegte Viellochelektrode aus einer Platte aus Kunststoff oder Glas besteht, die eine bestimmte, ihre mechanische Stabilität gewährleistende Mindestdicke besitzt, so daß die Löcher die Gestalt von Kanälen haben und daß die verlängerten Achsen dieser Kanäle sich im Ablenkzentrum schneiden.
2. 2. Kathodenstrahlröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein elektrisch leitender Überzug auf wenigstens einer Seite der Viellochelektrode vorhanden ist.
3. 3. Kathodenstrahlröhre nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Viellochelektrode aus einer Glasplatte besteht, in welcher die Löcher durch Ätzung angebracht sind, daß eine Mehrzahl von symmetrisch angeordneten verschiedenfarbigen Leuchtstoffbelegungen auf dieser-Glasplatte auf der der Elektronenquelle abgewandten Seite angebracht' sind und daß eine transparente reflektierende Elektrode in einem gewissen Abstand von der mit den Leuchtstoffen belegten Seite der Viellochelektrode liegt.
4. 4. Verfahren zur Herstellung von Viellochelektroden für Kathodenstrahlröhren aus einer für Strahlungsenergie empfindlichen Glasplatte nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasplatte an denjenigen Stellen, an denen keine Löcher entstehen sollen, abgedeckt und sodann gegenüber einer punktförmigen Ultra-Violettstrahlenquelle so angebracht wird, daß sich die Strahlungsquelle in derselben Lage zu der Glasplatte befindet wie nach der Fertigstellung der Röhre das Ablenkzentrum, daß die nicht abgedeckten Teile den .ultravioletten Strahlen ausgesetzt werden und daß anschließend die Glasplatte an den bestrahlten Stellen zur Herstellung der öffnungen der Viellochelektrode geätzt wird.

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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