DE919073C - Elektrischer Taster und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Elektrischer Taster und Verfahren zu seiner Herstellung

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DE919073C
DE919073C DE1952P0008711 DEP0008711A DE919073C DE 919073 C DE919073 C DE 919073C DE 1952P0008711 DE1952P0008711 DE 1952P0008711 DE P0008711 A DEP0008711 A DE P0008711A DE 919073 C DE919073 C DE 919073C
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DE1952P0008711
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English (en)
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Dr-Ing Johannes Perthen
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JOHANNES PERTHEN DR ING
Original Assignee
JOHANNES PERTHEN DR ING
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/34Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

  • Elektrischer Taster und Verfahren zu seiner Herstellung An elektrische Taster zur Messung und Aufzeichnung des Oberflächenprofils und von kleinen Längenunterschieden werden mechanische und elektrische Anforderungen gestellt, die sich nur schwer miteinander vereinigen lassen. Verstellungen von 1/toooo mm sollen bereits eine große elektrische Zustandsänderung hervorrufen. Dabei soll der Taster möglichst klein sein, eine geringe Masse besitzen und ein Abtasten mit hoher Geschwindigkeit ermöglichen. Die Kraft, mit der die Tastspitze die Oberfläche berührt, darf bei Oberflächenmessungen nur etwa O,I g betragen. Schließlich ist erwünscht, daß der Taster sich einfach und billig herstellen läßt und keiner schwierigen Einstellung bedarf.
  • Ein solcher Taster besteht aus einer Tastspitze, die relativ zur Oberfläche bewegt wird. Die Tastspitze ist an einem Halter befestigt, der spiel- und reibungsfrei mit Hilfe von Federlagern an einem Meßgestell angelenkt ist. Dieser Halter betätigt nun den beweglichen Teil eines elektromechanischen Wandlers, beispielsweilse eines Ankers zwischen zwei Spulen oder eines Kondensatorbeleges zwischen zwei Kondensatorplatten. Diese Spulen oder Kondensatorplatten sind am MeßgesteLI angebracht und müssen durch eine Justiervorrichtung zu dem beweglichen Teil eingestellt werden. Zur Erzielung einer hohen elektrischen Empfindlichkeit darf der Spalt, in dem sich der bewegliche Teil des elektromechanischen Wandlers befindet, nur gering sein, wodurch aber andererseits die Einstellung und Handhabung bei der Messung Isehr erschwert wird. Das ganze System besitzt auch eine große Masse, so daß nur mit sehr geringer Tastgeschwindigkeit gemessen werden kann.
  • Eine Verringerung der Masse des beweglichen Teiles würde dadurch erreicht werden können, daß der Halter, an dem die Tastspitze befestigt ist, mi mittelbar als elektromechanischer Wandler ausgebildet wird. So kann man heispielssveise die Tastspitze unmittelbar an der beweglichen Platte des Kondensators anbringen. Ein solcher Taster hat aber immer noch ziemlich große Abmessungen.
  • Sein weiterer Nachteil ist, daß der Plattenabstand, die elektrische Empfindlichkeit und die Sicherheit gegen Berührung der Kondensatorbelege nicht miteinander vereinbart werden können. Ein piezoelektrischer Kristall besitzt zwar diese Schwierigkeiten nicht, dafür kann mit ihm auf Grund seines elektrischen Verhaltens keine einwandfreie Nullinienaufzeichnung, keine Ermittlung langer Welligkeiten und keine statische Eichung vorgenommen werden. Piezoelektrische Taster sind sehr empfindlich gegen äußere Störungen elektrischer Art. Sie sind teilweise sehr inkonstant und bedürfen wiederholter Nacheichung. Durch die Erfindung sollen diese Nachteile beseitigt werden. Nach der Erfindung sind in die äußersten Zug- bzw. Druckzonen eines die Tastspitze eines elektrischen Tasters tragenden elastischen Halters dünne Widerstandsdrähte zugleich als Bewehrung eingebettet, -die bis in den Einspannfestpunkt reichen.
  • In den Abb. I bis 3 sind Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Anordnung dargestellt. In Abb. I ist die Tastspitze 2, die über die Oberflächei gleitet, am vorderen Ende eines einseitig eingespannten elastischen Halters 3 befestigt, der an dem Meßgestell 5 befestigt ist. Dieses stützt sich mit dem Gleitschuh 4 auf die Oberfläche I ab. Auf beiden Seiten des Halters 3 sind nun an sich bekannte Dehnungs meßstreifen aufgeklebt (6 und 7). Diese bestehen aus dünnem Wi derstandsdraht, der mäanderförmig zwischen zwei Papierstreifen festgeklebt ist und unter dem Einfluß von Dehnungen seinen elekrischen Widerstand ändert. Die beiden Dehnungsmeßstreifen 6 und 7 liegen zusammen in einer Wheatstoneschen Brückenschaltung, so daß kleineWiderstandsänderungen sehr genau gemessen werden können. DieVerwendung derartiger Widerstandsstreifen zu Dehnungsmessungen ist bekannt, wenn sie auch bisher noch nicht als elektromecha nische Wandler in Oberflächeutastern benutzt worden sind. tTm sie für diese Zwecke besonders geeignet zu machen, müssen nun über den bekannten Stand der Dehnungsstreifen meßtechnik hinaus verschiedene Verbesserungen vorgenommen werden. Die erste, wesentliche Verbesserung besteht darin, daß in Abb. I das WIeßgestell 5 so weit vorgezogen wird, daß es noch das eine Ende der beiden Meßstreifen 6 und 7 einspannt, und zwar an den Stellen 8 und 9.
  • Es wird also, mit anderen Worten, der elastische Halter 3 an seinem Festpunkt zusammen mit den Enden der beiden Dehnungsmeßstreifen festgehalten. Hierdurch ergeben sich zwei Vorteile.
  • Der eine ist, daß die gesamte Auslenkung des Halters 3, die in der Nähe des Einspannpunktes zu den größten Dehnungen führt, auf die Mefistreifen übertragen wird. Der zweite, nicht minder wichtige Vorteil ist, daß an der am stärksten beanspruchten Stelle des Meßstreifens das zunächst liegende Ende festgehalten ist und nicht nachgeben kann, wie dies bei Dehnungsmeßstreifen häufig der Fall ist. Es kann durch diese Einspannung keine Veränderung der Lage des Meßstreifens erfolgen, durch die die vorgenommene Eichung und die Lage des Nullpunktes hinfällig würden. Da bei Oberflächentastern nur sehr geringe Auslenkungen und daher Dehnungen auftreten, muß eine hohe Empfindlichkeit angestrebt werden. Beim Einsetzen einer neuen Tastspitze 2 und bei sonstiger Handhabung kann der Halter 3 oft sehr weit ausgelenkt werden.
  • Hierdurch darf aber keine Verschiebung des Nullpunktes auftreten. Dies kann mit Sicherhleit aber nur dadurch vermieden werden, daß die Meßstreifen mit eingeklemmt werden.
  • Das Aufkleben der Dehnungsmelßstreifen auf den Halter 3 stellt nun keine befriedigende Lösung dar, weil durch mangelnde Haftung zwischen beiden sowie durch Feuchtigkeit und andere Einflüsse die Konstanz des elektrischen Tasters leidet.
  • Abb. 2 zeigt daher eine Verbesserung dadurch, daß die dünnen Widerstandsdrähte 1 1 und 12 sich unmittelbar in den äußersten Zonen des elastischen Halters 10 befinden. Dieser Halter 10 hat ein verstärktes Einspannende I3, in das die Widerstandsdrähte I I und 12 hineinragen. Der Vorteil dieser Anordnung ist die innige Verbindung zwischen den Drähten In und I2 mit dem Halter 10, wodurch keinerlei gegenseitige Verlagerung und Inkonstanz auftreten kann. Der Feuchtigkeitseinfiuß ist ebenfalls ausgeschaltet. Der Halter 10 kann dabei aus Isolierstoff bestehen, und die Drähte II und I2, die in den äußersten Zug- bzw. Druckzonen liegen übernehmen gleichzeitig die Aufgabe einer Bewehrung. D!ieser Aufgabe können sie noch mehr dadurch gerecht werden, daß diese Drähte mit Vorspannung eingebaut werden, wobei die Drähte während des Einbaues entweder mechanisch vorgespannt werden können oder thermisch, indem sie von einem Strom durchflossen werden, der sie erwärmt und sich ausdehnen läßt.
  • Die Fertigung des Halters 10-13 kann in verschiedener Art und Weise erfolgen. Das Material, aus dem er besteht, kann beispielsweise um die Drähte II und 12 herumgezogen werden und entweder erstarren oder durch Verdampfen eines Lösungsmittels fest werden. Es können aber auch auf einen mittleren Teil des Halters 10 zunächst die beiden Drahtlagen II und 12 aufgelegt und sodann mit zwei dünnen Folien bedeckt werden. Das Ganze wird zusammengepreßt und dabei erhitzt, beispielsweise dielektrisch in einem Hochfrequenzfeld. llierdurch verschweißen die Deckfolien mit der Mittelplatte, und die Drahtlage ist lage- und feuchtigkeitssicher angebracht. Es kann aber auch der Mittelteil des Halters 10 metallischer Natur sein, auf dem die beiden Drahtwindungen 1 1 und 12 festhaftend, aber isoliert, beispielsweise durch Einbetten in einen emailartigen aulgebrannten, aufgeschmolzenen oder aufgesinterten Überzug angebracht werden. Weiterhin können statt der Drahtlagen II und 12 auf dem Halter 10 dünnste Belege aus Widerstandsmaterial aufplattiert oder aufgedampft werden. Diese dünnen Schichten können dann noch zusätzlich durch Einritzen oder Einschleifen von Rillen in eine schleifenartig nebeneinanderliegende Windungsanordnung unterteilt werden, so daß sie einen hohen Widerstand erhalten. Hierbei kann der Träger 10 sowohl aus lsolierstoff wie auch aus Metall mit isolierenden Überzügen sein.
  • Eine weitere wesentliche Verbesserung zeigt die Abb. 3. Die über die Oberfläche I gleitende Tastspitze 2 ist hier an einem senkrechten Halter 20 hefestigt, der durch zwei horizontale elastische Glieder 14 und I5 mit dem Meßgestell I9 verbunden ist.
  • Die horizontalen Glieder 14 und 15 sind in ihrem Mittelteil durch die Versteifungen 16 gegen Verformungen dieses mittleren Teiles geschützt. Es bleiben zwei vordere Federlager I8 und zwei rückwärtige Federlager I7, die in ihren äußeren Zonen Widerstandsdrahtlagen 2I bis 28 aufweisen. Diese Draht lagen ragen sowohl in den beweglichen Halter 20 wie auch in das Meßgestell 19 hinein. Die Drahtlagen müssen so zusammengeschaltet werden, daß alle Dehnungszonen und alle Stauchungszonen zusammenarlwiten. Es gehören also 2I, 24, 25 und 28 so zusammen wie 22, 23, 26 und 27. Diese können sowohl in zwei als auch in vier Brückenkreise geschaltet werden. Es können aber auch statt acht Widerstandslagen nur vier eingebaut werden, wenn sich diese überkreuzen. Dieses ist in Abb. 3 durch die gestrichelten Linien 29 dargestellt. Eine derartige Anordnung ist äußerst empfindlich.
  • Der Vorteil eines Oberflächentasters dieser vorheschriebenen Art ist darin zu suchen, daß die Tastnadel ziemlich große Wege in senkrechter Richtung zurücklegeii kann, ohne daß sie irgendwo, z. B. an Spulen, Kondensatorplatten usw., anstößt. Dabei bleibt aber ihre Lage zu der Oberfläche I eindeutig festgelegt, d. h. die Nullage ist immer wieder reproduzierbar, und der Taster kann statisch geeicht werden. Der elektrische Widerstand des Tasters ist so niedrig, daß in dem Eingangskreis des Verstarkes keine wesentlichen elektrischen Störspannungen entstehen können. Der Träger 10 in Abb. 2 kann z. B. so schmal ausgeführt werden, daß man mit dem elektrischen System und der Tastspitze in kleinste Bohrungen hineintasten kann. Infolge der geringen Masse und des großen Abstandes der Tastspitze 2 von dem Festpunkt I3 ist die Vibrationsneigung des Tasters sehr gering, so daß mit einer wesentlich höheren Tastgeschwindigkeit die Oberfläche abgetastet werden kann, als dies die bisherigen elektrischen Taster zuließen. Schließlich kann der Taster billig hergestellt werden und bedarf keiner zeitraubenden Justierung. Im Gegensatz zu den Dehnungsmeßstreifen ist der Taster frei von Tnkonstanz infolge mangelhafter Haftung und ohne Einfluß von Feuchtigkeit.
  • Der Taster kann natürlich auch in anderer Form ausgebildet werden. Beispielsweise kann man sich die Anordnung der Abb. 3 als Rotationskörper denken. Der Nadelhalter 20 würde sich dann im Zentrum einer oder zweier elastischer Membranen befinden, die in einem runden Gehäuse 19 eingespannt sind. In der Membran eingebettet sind die Widerstandsdrähte, die ebenso angeordnet und geschaltet sind, wie es in Abb. 3 dargestellt ist.
  • Weiterhin kann man den Körper mit den eingebetteten Widerstandsdrähten tordieren, beispielsweise dadurch, daß die Tastspitze 2 an einem Hebel befestigt ist, der an dem zu tordierenden Körper angreift. Die Drahtlage bzw. Bewehrung in dem zu verdrehenden Körper wird dann so gelegt, z. B. schraubenlinienförmig um den Körper, daß die Torsionsspannungen in der Richtung der Drahtlage verlaufen.
  • Der beschriebene Taster stellt die beste Erfüllung aller an einen solchen Taster gestellten Forderungen dar und übertrifft daher die bisher verwendeten elektrischen Taster erheblich. Er kann natürlich auch für alle anderen Zwecke benutzt werden, bei denen mit Tastern gearbeitet wird. Dies ist nicht nur bei den verschiedensten Meßzwecken der Fall, sondern auch bei der Steuerung von Maschinen und Apparaten, beispielsweise zum Nachformen (Kopieren) von Werkstücken usw.

Claims (9)

  1. PATENTANSPRÜCHE: I. Elektrischer Taster, dadurch gekennzeichnet, daß in den äußersten Zug- bzw. Druckzonen eines die Tastspitze tragenden elastischen Halters (to) dünne Widerstandsdrähte (11, 12) zugleich als mechanische Bewehrung eingebettet sind, die bis in den Einspannfestpunkt (I3) reichen.
  2. 2. Elektrischer Taster nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß statt der Drähte (11, I2) eine dünne Schicht aus Material mit hohem elektrischem Widerstand aufplattiert oder aufgedampft und durch mechanische Trennbearbeitung in hin und her gehende Windungen aufgeteilt ist.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Drähte (11, I2) mit Vorspannung eingelegt sind
  4. 4. Elektrischer Taster nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Halter (3) an sich bekannte Dehnungsmeßstreifen (6, 7) vorzugsweise unter Einspannen ihres Endes im Einspannfestpunkt (5-8-9) aufgeklebt sind.
  5. 5. Elektrischer Taster nach Anspruch I und 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwei parallele Glieder (14, 15) vorzugsweise im mittleren Teil durch Versteifungen (I6) verstärkt und mit elastischen Enden (17, I8) einmal an dem beweglichen Tastnadelhalter (20), zum anderen an dem Festpunkt (19) angelenkt sind und diese elastischen Enden (I7, I8) in den äußersten Zug- bzw. Druckzonen acht einzelne oder vier überkreuzte I,agen aus dünnen Widerstandsdrähten enthalten, die bis in die Einspannpunkte (I9,20) reichen.
  6. 6. Elektrischer Taster nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die parallelen Glieder (14, I5) einschließlich der in ihnen eingebetteten Widerstandsdrahtlagen eine kreisförmige WIembran bilden, in deren Mitte der verstellbare Kraftangriffspunkt (20) sich befindet, während sie in einem runden Gehäuse (I9) eingespannt sind.
  7. 7. Elektrischer Taster nach Anspruch 1, 2 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein mit eingebetteten Widerstandsdrähten versehenes elastisches Glied durch die an einem Hebel angebrachte Tastspitze auf Verdrehung beansprucht wird.
  8. 8. Verfahren zur Fertigung des elektrischen Tasters nach Anspruch I und 5, dadurch gekennzeichnet, daß der elastische Halter (IO*I3, I4-I5-I6-I9-20) um die Widerstandsdrällte (Io, 13, 21 bis 28) gegossen wird.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Mittelteil, die Widerstandslagen (11, I2) und zwei dünne Deckplatten oder Deckfolien unter Druck und gleichzeitiger Wärmeeinwirkung homogen miteinander verbunden werden.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0176808A1 (de) * 1984-09-29 1986-04-09 RSM Regel-, Steuer- und Messtechnik GmbH Dickenmessgerät für Folien, insbesondere als gefaltete Schläuche
WO1997034122A1 (en) * 1996-03-13 1997-09-18 International Business Machines Corporation Cantilever structures

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