DE914531C - Mit hoher Spannung arbeitender Korpuskularstrahlapparat - Google Patents

Mit hoher Spannung arbeitender Korpuskularstrahlapparat

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Publication number
DE914531C
DE914531C DES11163D DES0011163D DE914531C DE 914531 C DE914531 C DE 914531C DE S11163 D DES11163 D DE S11163D DE S0011163 D DES0011163 D DE S0011163D DE 914531 C DE914531 C DE 914531C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
voltage
high voltage
arrangement according
operator
switch
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Expired
Application number
DES11163D
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Med Helmut Ruska
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
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Application granted granted Critical
Publication of DE914531C publication Critical patent/DE914531C/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/248Components associated with high voltage supply

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Control Of Electric Motors In General (AREA)

Description

  • Mit hoher Spannung arbeitender Korpuskularstrahlapparat Bei mit hoher Spannung arbeitenden Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronenmikroskopen, ist es üblich, einen Erdungsschalter anzuwenden, der die Hochspannung führenden Teile des Gerätes zu erden gestattet, wenn man an diesen Teilen zwecks Reparaturen, Justierungen od. dgl. arbeitet. Der handbediente Schalter für diesen Erdungsschalter ist bei den bekannten Geräten auf der Tischplatte angeordnet, wo sich auch für die übrigen von Hand zu bedienenden Regler Schalter des Gerätes befinden. Da Korpuskularstrahlapparate dieser Art, insbesondere wenn sie mit sehr hoher Spannung betrieben: werden, gewöhnlich Geräte mit großer Bauhöhe sind, ist der üblicherweise am Oberteil des Apparates angeordnete, mit dem Strahlerzeuger verbundene Hochspannungsfeil für den Bedienenden schwer zugänglich. Erfindungsgemäß wird dieser Nachteil dadurch vermieden, daß mit dem Apparat eine Vorrichtung, z. B. ein: herausklappbarer Fußtritt, eine Leiter od. dgl., verbunden ist, mit deren Hilfe der Bedienende an die oberen Hochspannung führenden Teile des Gerätes bequem herankommen kann. Um dabei zu vermeiden, daß der Bedienende die Hochspannung führenden Teile untersucht, ohne ,die Erdung vorzunehmen, wird- man gemäß der weiteren Erfindung Verriegelungen anwenden, die den Erdungsmotor mnt der besonderen dem Apparat zugeordneten Vorrichtung so verriegeln, daß der Bedienende nicht an die Hochspannung führenden Teile vor deren Erdung herankann. Die Verriegelung kann dabei durch mechanische, elektrische, magnetische, pneumatische oder sonstige bekannte Mittel erfolgen.
  • Für die erwähnte Verriegelung können verschiedene Ausführungen in Betracht gezogen werden. Die mit dem Apparat verbundene besondere Vorrichtung kann: z. B. aus einem am Gehäuse des Apparates befestigten herausklappbaren Trittbrett, aus einer Leiter od. dgl. bestehen, wobei mit diesem Trittbrett oder dieser Leiter ein elektrischer Hilfsschalter so kombiniert ist, das beispielsweise durch das Herausklappen des Trittbretts oder durch das Anlegen der Leiter die Ein-Schaltung des Erdungsmotors erfolgt. Man kann die Anordnung aber auch leicht so. durchbilden, daß der Erdungsmotor im Sinn der Erdung erst dann. eingeschaltet wird, wenn die erwähnte Vorrichtung, also beispielsweise ein Trittbrett, eine Leiter od. dgl., vom Bedienenden benutzt wird. In diesem Falle kann die Konstruktion -so gewählt werden, daß der Stromkreis des Er-dungsmotors über Hilfskontakte geführt ist, die erst dann geschlossen werden, wenn ein diese Kontakte überbrückendes Schaltstück entgegen der Wirkung von Rückstellfedern durch das Gewicht des auf das Trittbrett oder die Leiter auftretenden Bedienenden in die Schließstellung übergeführt wird.
  • Eine andere Ausführungsmöglichkeit für eine Verriegelung besteht darin, däß die mit dem Apparat verbundene Vorrichtung, also beispielsweise ein Trittbrett oder eine Leiter, mit dem Erdungsschalter so verriegelt ist, daß eine Benutzung der Vorrichtung nur bei geerdeter Hochspannung möglich ist. Das Trittbrett oder die Leiter kann also in die Betriebslage nur dann übergeführt werden, wenn vorher die Erdung der Hochspannung des Apparates erfolgt und damit die Verriegelung aufgehoben ist.
  • Die Figur zeigt schematisch als Ausführungsbeispiel der Erfindung ein Elektronenmikroskop. Mit i ist das Hohlstativ des Mikroskops, mit 2 der an diesem Stativ befestigte Tisch bezeichnet, welcher das Mikroskop 3 trägt. Die oberen die Hochspannung führenden. Teile sind durch eine Schutzwanne q. dem unmittelbaren Zugriff des Bedienenden entzogen. Um an den Hochspannung führenden Teilen bequem arbeiten zu können, ist mit dem Gerät ein Trittbrett 5 verbunden, das am Gehäuse um die Achse 6 drehbar befestigt ist. Beim Herausklappen dieses Trittbretts in die gestrichelte Betriebslage werden die Kontakte 7, 8 mit Hilfe des Schaltstückes g überbrückt. Die Kontakte 7 und 8 liegen im Stromkreis der Einschaltwicklung 16 des Erdungsmotors io am Netz i i, 1z. Durch das Herausklappen des Trittbretts 5 wird also der Erdungsmotor ro im Sinne des Erdens zwangläufig eingeschaltet, Mit 17 ist die Ausschaltwicklung des Erdungsmotors io bezeichnet. Der Stromkreis dieser Wicklung verläuft über die Kontakte 14 und 15 des Trittbretts 5. Diese Kontakte sind dann geschlossen, wenn sich das Trittbrett in der dargestellten Ruhelage befindet. Nur in :dieser Lage kann somit die Hochspannung eingeschaltet werden. Durch das Herausklappen des Trittbretts 5 dagegen wird der Stromkreis der Ausschaltwicklung 17 zwangläufig geöffnet, so daß keine Möglichkeit besteht, die Hochspannung einzuschalten, wenn der Bedienende auf das Trittbrett 5 steigt, um an der Hochspannungsanlage zu arbeiten. Mit 13 ist der handbediente Umschalter bezeichnet, mit dessen Hilfe in der dargestellten Schaltlage am Kontakt ig die Ausschaltwicklung 17 und in der gestrichelten, Lage am Kontakt 18 die Einschaltwicklung 16 des Erdungsmotors eingeschaltet werden kann. In der dargestellten Ruhelage des Trittbretts 5 kann somit der Erdungsmotor io mit Hilfe des Schalters 13 ein- und ausgeschaltet werden. Bei herausgeklapptem Trittbrett 5 dagegen kann ein Einschalten der Wicklung 17 nicht mehr erfolgen, da -deren Stromkreis an den Kontakten 1¢, 15 zwangläufig unterbrochen ist. Der Schalter 13 ist zweckmäßig zusammen mit den übrigen, in der Figur nicht dargestellten Schalt und Regelgeräten des Apparates an einer Stelle angeordnet, die vom Platz des sitzenden Beobachters aus bequem erreichbar ist.

Claims (5)

  1. -PATENTANSPRÜCHE: i. Mit hoher Spannung arbeitender Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einem Erdungsschalter, der beim Arbeiten an den Hochspannung führenden Teilen des Gerätes die Hochspannungszuleitung zu erden gestattet, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Apparat eine Vorrichtung, z. B. ein herausklappbarer Fußtritt, eine Leiter od. dgl., verbunden ist, mit deren Hilfe der Bedienende an die oberen Hochspannung führenden Teile des Gerätes bequem herankommen kann.
  2. 2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß diie Erdung der Hochspannung zwangläufig durch das Überführen der mit dem Apparat verbundenen Vorrichtung in ihre Betriebslage erfolgt.
  3. 3. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Erdung der Hochspannung zwangläufig durch Benutzung der mit dem Apparat verbundenen Vorrichtung erfolgt. q..
  4. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem Apparat verbundene Vorrichtung mit dem Erdungsscbalter so verriegelt ist, daß eine Benutzung der Vorrichtung nur bei geerdeter Hochspannung mög-]ich ist.
  5. 5. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der Erdungsschalter mit der besonderen Vorrichtung so verriegelt ist, daß sein Ausschalten, also eine Inbetriebnahme der Hochspann:ungsanlage, zwangläufig verhindert ist, wenn die Vorrichtung vom Bedienenden. zur Kontrolle der Hochspannungsanlage benutzt wird.
DES11163D 1944-05-26 1944-05-26 Mit hoher Spannung arbeitender Korpuskularstrahlapparat Expired DE914531C (de)

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