DE9108294U1 - Metalldampf-Niederdruck-UV-Strahler zur homogenen flächenhaften Bestrahlung, vorzugsweise zur Herstellung elektronischer Bauelemente - Google Patents
Metalldampf-Niederdruck-UV-Strahler zur homogenen flächenhaften Bestrahlung, vorzugsweise zur Herstellung elektronischer BauelementeInfo
- Publication number
- DE9108294U1 DE9108294U1 DE9108294U DE9108294U DE9108294U1 DE 9108294 U1 DE9108294 U1 DE 9108294U1 DE 9108294 U DE9108294 U DE 9108294U DE 9108294 U DE9108294 U DE 9108294U DE 9108294 U1 DE9108294 U1 DE 9108294U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pressure
- electronic components
- lamps
- production
- tube parts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
- H01J61/305—Flat vessels or containers
- H01J61/307—Flat vessels or containers with folded elongated discharge path
Landscapes
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Description
Beschreibung der Erfindung
Metal .!dampf-Niederdruck-UV-Strahler zur homogenen flächenhaften
Bestrahlung vorzugsweise zur Herstellung elektronischer
Bauelemente
Die Erfindung betrifft einen Metalldampf-Niederdruck-UV-Strahler
zur homoqen flächenhaften UV-Bestrahlung vorwiegend ebener
Flächen, vorzugsweise für den Einsatz bei der Herstellung elektronischer Bauelemente.
Für die Belichtung von fotoempfindlichen Schichten, beispielsweise
von Fotolackmasken, für die Aushärtung dieser Polymerschichten und
für andere Anwendungen sind hohe Ansprüche an Homogenität der UV-Strahlung auf gleichartig und gleichzeitig zu behandelnder Flachen
und Teilflächen zu erfüllen.
Es ist bekannt, eine Anzahl stabförmiger Strahler parallel
zueinander in einer Ebene anzuordnen und die Lichtausbeute durch gleichartige jeweils einem der stabtörmiqen Strahler zugeordnete
Reflektoren zu erhöhen (DE - OS 34 03 914, H 01 J 61/350;
OE - OS 33 19 800. F 21 V 07/ 220). Diese Lampenanordnung weist
einen starken Randabfall der Intensität der Strahlung auf, wodurch
Fotolackmasken über ihre gesamte Flache nicht gleichförmig
belichtet oder ausgehärtet werden. Außerdem steht der Autwand
weqen der nicht zu bewältigenden Schwierigkeiten, mit den
gegebenen optischen Mitteln eine gleichmäßige Leuchtdichte zu erhalten und die Reflektoren und Lampenstabe untereinander und zu
der zu bearbeitenden Flache zu .justieren, in keinem Verhältnis zum
erreichten Ergebnis..
Zürn Aufbau von kompakten elektrischen Entladungslampen,
insbesondere fur Eieleuchtunqszwecke. beispielsweise fur
Raumbeleuchtung, ist es bekannt, den Kolben des Strahlers aus
Rohrteilen autzubauen, die in ihrer Gesamtheit U-förmiqe oder
rnäanderförrnige Gestalt aufweisen (DE - OS 34 37 212, H 01 J
61/300: OE - 03 30 44 058, H 01 J 61/720). Aus der
bestimrnunqsqernäßen Verwendung zur Raumbeleuchtung ist die
Gestaltung der Rohrteile des Entladungsqef älües völlig ungeeignet,
eine homogene flächen hafte Bestrahlung zu ermöglichen.
Zur Erhöhung der Lichtausbeute von rohrförmigen Leuchtstoffröhren
ist es bekannt, einseitig auf der Innenseite des mit einer
Leuchtstoffschicht geringer Schichtdicke versehenen Entladungsgefäßes eine Reflexionsschicht aufzubringen
(DE - OS 31 40 839, H 01 J 61/72). Diese Maßnahme kann aber nicht zu einer homogenen Strahlungsintensität auf der Gesamtheit der zu
bestrahlenden Fläche beitragen..
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei fotolithografischen
Prozessen, insbesondere bei der Belichtunq und Aushärtung
fotoempfindlicher Schichten, beispielsweise von Fotolackmasken,
eine hohe Prozeßstabilität durch eine zuverlässige
Reproduzierbarkeit der Prozeßbedingungen über die gesamte Größe einer gleichartig zu behandelnden Fläche, beispielsweise einer
Siliziumscheibe, zu erreichen und so hohe Ausbeuten, niedrige
Ausfallraten und grobe Zuverlässigkeit der elektronischen
Bauelemente bei der Fertigung und im ESetrieb hochin cegrierter
Bauelemente abzusichern.
Die Erfindung geht von einem Metal ldarnpf-Niederdruck-UV-Strahler .
aus, der einen aus zumindest teilweise gekrümmten beispielsweise
mäanderförmig, spiralartig oder schneckenförmig
aneinandergefügten, in ihrer Gesamtheit als horizontale
flächenhafte Strahlungsquelle wirkenden und im wesentlichen in einer Ebene liegenden Rohrteilen zusammengefügten Kolben hat, der
die elektrische Gasentladung aufnimmt.
An der dem Bestrahlungsob.iekt abgewandten Seite der Rohrteiie sind
Reflektoren angebracht.
Erfindungsgemäß ist auf oder über der Oberseite der in ihrer
Gesamtheit als flächenhafte Strahlungsquelle wirkenden Rohrteile ein vorzugsweise als aufgedampfte Reflexionsschicht gebildeter
Reflektor in der Mitte dieser Fläche kreisförmig ausgespart oder nach der Mitte zu stetig oder abgestuft abnehmend reflektierend
ausgebildet.
Bei einem Reflektor, dessen RefLexionsschicht als Aufdampfschicht
realisiert ist, ist es zweckmäßig, diese durch eine zur- Mitte der
strahlenden Fläche hin in ihrer Stärke abnehmende Metallschicht zu
bi!den .
An Hand der Zeichnung wird ein Ausfuhrt.ingsbeispi.ei 'Jör Erfindung
in einer perspektivischen Ansicht ei lies Strahlers mit einem aus
mäanderf örrnig aneinandergefügten Rohr ta &igr; len zusammengefügten
K &ogr; 1 b e &eegr; e r 1 ä u t e r t _
In der Zeichnung hat dar erf mdunqsqernalje Strahler einen als
11 ä c h e &eegr; h a f t e 31 r a h 1 u &eegr; q s q u e .&igr;. j. e w &igr; r k e &eegr; <\ e &eegr; . a us &pgr;&igr; a a &eegr; &agr; e r f &ogr; r m &igr; q
a usge bildeten Röhrte ilen zu s a rn ro e &eegr; g e f u q t e &eegr; Kolben 1 d e r &igr; m
wesentlichen in einer Ebene anneordnet ist mit dazu senkrecnt an
den Rohrenden angebrachten Schenkeln 2. in denen sich die
Elektroden 3 mit den entsprechenden Anschlüssen befinden. Die
Oberseite der maandertormig ausgebildeten Rohrteiie ist mit einer
Meta 11 s c h &igr; c h t ve r s &rgr; &igr; e q e J. t. d &igr; e d &igr; a F11 &eegr; k 11 &ogr; &eegr; e &igr; &eegr; e s f;.' e f &igr; e &kgr; &zgr; &ogr; r s 4
hat. In der Mitte ist die Verspiegelung in einer angenähert
kreisförmigen Fläche 5 freigelassen.
Der erf lndungsgernäße Strahler emittiert UV-Strahlung mit einer
Wellenlänge zwischen ISO und 320 nm mit qroLier Intensität homogen
über die Fläche verteilt. Die intensität der Bestrahlung liegt im Eiereich zwischen &Igr;&ugr;&Ogr; und 500 mW/cnr. Es können /je nach verwendeter
Lacksorte und erf order L.ichern Aushärtungsgrad zwischen 30 und 120
Scheiben &rgr; r &ogr; Stun d e s t a b 11 i s &igr; e r t w e r d e &eegr; ..
Claims (1)
- SchutzanspruchMetal!dampf-Niederdruck-UV-Strahler mit einem aus zumindest teilweise gekrümmten, beispielsweise mäanderformig, spiralartiq oder schneckenförmig aneinandergefügten, in ihrer Gesamtheit als horizontale flächen hafte Strahlungsquelle wirkenden und im wesentlichen in einer Ebene liegenden RohrteiLen zusammengefügten, die elektrische Gasentladung aufnehmenden Kolben, mit Reflektoren an der dem Bestrahlungsob.iekt abgewandten Seite der Rohrteile, dadurch gekennzeichnet, daß der auf der Oberseite der in ihrer Gesamtheit als eine flächenhafte Strahlungsquelle wirkenden Rohrteile als aufgedampfte Refexionsschicht gebildte Reflektor (4) in der Mitte dieser Fläche kreisförmig ausgespart (5) oder nach der Mitte zu stetig oder abgestuft abnehmend reflektierend ausgebildet ist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9108294U DE9108294U1 (de) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | Metalldampf-Niederdruck-UV-Strahler zur homogenen flächenhaften Bestrahlung, vorzugsweise zur Herstellung elektronischer Bauelemente |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9108294U DE9108294U1 (de) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | Metalldampf-Niederdruck-UV-Strahler zur homogenen flächenhaften Bestrahlung, vorzugsweise zur Herstellung elektronischer Bauelemente |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE9108294U1 true DE9108294U1 (de) | 1991-10-10 |
Family
ID=6869002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE9108294U Expired - Lifetime DE9108294U1 (de) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | Metalldampf-Niederdruck-UV-Strahler zur homogenen flächenhaften Bestrahlung, vorzugsweise zur Herstellung elektronischer Bauelemente |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE9108294U1 (de) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19724298A1 (de) * | 1997-06-09 | 1998-12-10 | Thomas Danhauser | Bestrahlungslampe für Bräunungsanlagen |
| EP2416346A2 (de) | 2010-08-04 | 2012-02-08 | Heraeus Noblelight GmbH | Quecksilberdampflampe für eine homogene flächenhafte Bestrahlung |
-
1991
- 1991-07-05 DE DE9108294U patent/DE9108294U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19724298A1 (de) * | 1997-06-09 | 1998-12-10 | Thomas Danhauser | Bestrahlungslampe für Bräunungsanlagen |
| EP2416346A2 (de) | 2010-08-04 | 2012-02-08 | Heraeus Noblelight GmbH | Quecksilberdampflampe für eine homogene flächenhafte Bestrahlung |
| DE102010033446A1 (de) | 2010-08-04 | 2012-02-09 | Heraeus Noblelight Gmbh | Quecksilberdampflampe für eine homogene flächenhafte Bestrahlung |
| DE102010033446B4 (de) * | 2010-08-04 | 2012-03-22 | Heraeus Noblelight Gmbh | Quecksilberdampflampe für eine homogene flächenhafte Bestrahlung |
| US8400059B2 (en) | 2010-08-04 | 2013-03-19 | Heraeus Noblelight Gmbh | Mercury-vapor discharge lamp for homogeneous, planar irradiation |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69513259T2 (de) | Hochleistungs-Fahrzeugscheinwerfer und Lampen mit Reflektors | |
| DE60222793T2 (de) | Beleuchtungseinheit | |
| DE69231059T2 (de) | Glüh-leuchtvorrichtung | |
| DE2530195A1 (de) | Hochleistungs-bogenentladungslampe | |
| DE69522520T2 (de) | Elektrische lampe mit reflektor | |
| DE3428125A1 (de) | Verbesserte gluehlampe | |
| EP0663684B1 (de) | Reflektorlampe | |
| DE2644977C2 (de) | Reflektorlampe mit einer elektrischen Lichtquelle | |
| DE10306150B4 (de) | Gepulster Sonnensimulator mit verbesserter Homogenität | |
| DE3536550A1 (de) | Lichtsammelvorrichtung fuer ein lichtprojektionssystem | |
| DE3932140A1 (de) | Fahrzeug-scheinwerfer | |
| DE9414763U1 (de) | Leuchte | |
| DE60015055T2 (de) | Elektrische lampe und aus einer elektrischen lampe und einem reflektor zusammengesetzte baueinheit | |
| DE3213444A1 (de) | Elektrische reflektorlampe | |
| DE9108294U1 (de) | Metalldampf-Niederdruck-UV-Strahler zur homogenen flächenhaften Bestrahlung, vorzugsweise zur Herstellung elektronischer Bauelemente | |
| DE69926706T2 (de) | Niederdruckquecksilberdampfeentladungslampe | |
| WO2004096365A2 (de) | Infrarotstrahler und bestrahlungsvorrichtung | |
| DE3212379A1 (de) | Geraet zum behandeln von dentalen werkstoffen | |
| DE3529488A1 (de) | Beleuchtungseinrichtung mit einem fluessigkeitsgefuellten lichtleiter | |
| EP2246874B1 (de) | Plasmalampe | |
| DE3320919A1 (de) | Niederdruck-quecksilberdampfentladungslampe und verfahren zu ihrer herstellung | |
| DE3430426C1 (de) | Licht- und Wetterechtheitsprüfgerät | |
| DE4323422C2 (de) | Reflektoranordnung mit einem rinnenförmigen Reflektor | |
| DE2709221A1 (de) | Spiegelkondensorlampe | |
| DE721774C (de) | Entladungsroehre mit einer mittelbar geheizten Gluehkathode |