DE905069C - Verfahren zur Herstellung von Schmelzlingen aus Germanium - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Schmelzlingen aus Germanium

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DE905069C
DE905069C DE1951S0023729 DES0023729A DE905069C DE 905069 C DE905069 C DE 905069C DE 1951S0023729 DE1951S0023729 DE 1951S0023729 DE S0023729 A DES0023729 A DE S0023729A DE 905069 C DE905069 C DE 905069C
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germanium
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DE1951S0023729
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Paul Ludwig Guenther
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
    • C22B9/00—General processes of refining or remelting of metals; Apparatus for electroslag or arc remelting of metals
    • C22B9/10—General processes of refining or remelting of metals; Apparatus for electroslag or arc remelting of metals with refining or fluxing agents; Use of materials therefor, e.g. slagging or scorifying agents
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof

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Description

  • Verfahren zur Herstellung von Schmelzlingen aus Germanium Bei der Herstellung von Schmelzlingen aus sehr reinem Germanium muß beim Schmelzvorgang eine Verunreinigung der Schmelze durch das Tiegelmaterial vermieden werden. Zu diesem Zweck sind bereits Quarztiegel verwendet worden, die nach bekannten Verfahren mit einer Kohleschicht überzogen waren. Durch die Bekohlung wird eine Reaktion zwischen dem Quarz und der Germaniumschmelze weitgehend verhindert. Es kann aber der Quarz noch mit der aufgedampften Kohleschiebt reagieren oder auch ein beim Schmelzprozeß verwendetes Schutzgas, z. B. Wasserstoff, auf den Quarz reduzierend wirken. Das hierdurch entstehende Siliziummonoxyd diffundiert durch die Kohleschicht und verunreinigt die Schmelze bzw. reagiert mit dieser unter Bildung von Silizium und Siliziumdioxyd, wodurch ebenfalls die Schmelze in störender Weise beeinflußt wird.
  • Eine solche Verunreinigung wird bei dem Verfahren zur Herstellung von Schmelzlingen aus Germanium, Silizium oder Bor gemäß der Erfindung dadurch vermieden, daß dem Schmelzgut ein chemisch reines, mit der Schmelze nicht reagierendes Salz mit niedrigerem Schmelzpunkt als das Schmelzgut zugesetzt wird. Das zugesetzte Salz wird z. B. vor dem Einbringen des Schmelzgutes in einen bekohlten Quarztiegel eingebracht. Während des Schmelzprozesses verdrängt das Schmelzgut das bereits flüssige Salz, und dieses überzieht die ganze Tiegelwandung mit einem dünnen Film. Der Salzfilm bildet eine Schutzschicht gegen Verunreinigungen aus dem Tiegelmaterial, der Kohleschicht oder aus Reaktionsprodukten zwischen diesen. Auch die durch reduzierend wirkende Schutzgase aus dem Tiegelmaterial gebildeten Verunreinigungen können die Schmelze nicht mehr beeinflussen.
  • Als besonders geeignete Salze haben sich Borate, insbesondere N atriumborate (Tetraborat, Metaborat) erwiesen, jedoch können auch Fluoride, Phosphate oder Zyanide vorteilhaft verwendet «-erden. In manchen Fällen ist es zweckmäßig, solche Salze zu verwenden, die auf etwa im Schmelzgut vorhandene Metalloxyde reduzierend wirken. Ist die Germaniumschmelze z. B. durch Eisen- oder Kupferoxyd verunreinigt, so empfiehlt es sich, als reduzierend wirkende Salze Natriumtetraborat oder Phosphorsalze zu verwenden.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Verfahren zur Herstellung von Schmelzlingen aus Germanium, Silizium oder Bor, dadurch gekennzeichnet, daß dem Schmelzgut ein chemisch reines, mit der Schmelze nicht reagierendes Salz mit niedrigerem Schmelzpunkt als das Schmelzgut zugesetzt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß als Salzzusatz Borate, Fluoride, Phosphate oder Zyanide verwendet werden.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch i und 2, da-,durch gekennzeichnet, daß die Zusätze vor dem Einbringen des Schmelzgutes in den Tiegel eingebracht werden. .I. Verfahren nach Anspruch i oder folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß solche Salze verwendet werden, die auf etwa im Schmelzgut vorhandene Metalloxyde reduzierend wirken, z. B. Natriumtetraborat oder Phosphorsalze bei Verunreinigung durch Eisen- oder Kupferoxyd.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1198564B (de) * 1963-08-16 1965-08-12 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung von kompaktem, sehr reinem Germanium

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1198564B (de) * 1963-08-16 1965-08-12 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung von kompaktem, sehr reinem Germanium

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