DE896891C - Verfahren zum laufenden UEberziehen band- und drahtaehnlicher Gebilde mittels Schichten durch thermische Bedampfung - Google Patents

Verfahren zum laufenden UEberziehen band- und drahtaehnlicher Gebilde mittels Schichten durch thermische Bedampfung

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Publication number
DE896891C
DE896891C DES10866D DES0010866D DE896891C DE 896891 C DE896891 C DE 896891C DE S10866 D DES10866 D DE S10866D DE S0010866 D DES0010866 D DE S0010866D DE 896891 C DE896891 C DE 896891C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cooling
vaporized
layers
chambers
carrier
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Expired
Application number
DES10866D
Other languages
English (en)
Inventor
Norbert Muellbauer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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Publication of DE896891C publication Critical patent/DE896891C/de
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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)

Description

  • Verfahren zum laufenden Überziehen, band- und drahtähnlicher Gebilde mittels Schichten durch thermische Bedampfung Zur Herstellung von Überzügen, seien eis Metallüberzüge oder, seien es auch nichtleitende Schutzschichten, wendet man häufig das soggenannte thermische Aufd'ampfungs.verfahren an, bei weilchem die überzugsstoffe so weit erwärmt wenden, bis sie in Dampfform übergehen, .und kondensiert dann diesen Dampf auf dein zu überziehenden Gegenstand. Es ist bekannt, daß sich in einem einzigen Aufdampfungssch.ritt nicht beliebig starke Schichten erzeugen lassen, da diese dann abblättern oder abplatzen. Man hilft sich in solchen Fällen damit, daß man die gewünschte Überz.ugsschicht aus mehreren Einzelschichten, die übereinander gelagert werden, erzeugt, indem man bei der laufenden Aufdampfung den band- oder drahtähnlichen Träger beispielsweise an mehreren Verdlampfern voirÜberführt. Zwischen den einzelnen Auf:dampfungsschritten ist nun eine Kühlung des Trägerstoffes erforderlich, einerseits deswegen, um bei dem nächsten Aufdampfungs,schritt eine Kondensation des Dampfes zu erzwingen, andererseits um dann, wenn, temperaturempfindlicheTrägerstofebcdiampft werden, eine schädliche Temperatureinwirkung auf den Trägerstoff zu unterbinden.
  • Gelegentlich reicht zur Erzielung der Zwischenkühlung allein ein gewisser Abstand zwischen den einzelnen Biedampfungssbufen aus. Ist die Bahngeschwindigkeit des Trägerstoffes jedoch groß, müssen zusätzliche Kühleinrichtungen zwischen den Bedampfern benutzt werden. Es zeigte sich nun, daß die bislang verwendeten Kühleinrichtungen, die aus: einem soggenannten Kühlbett, d. h. einer durch flüssige Luft od. dgl. gekühlten Rolle oder Auflage bestehen und über welche der zu bedampfende Trägerstoff gleitet, nicht ausreichen, um die Wärmemengen in genügendem Maße abzuführen.
  • Die Erfindung schlägt deshalb vor, die zu bedampfenden Trägerstoffe zwischen den einzelnen Verdampfern durch besonders ausgebildete Kühlkammern. zu führen, um eine intensive und ausreichende Abführung der Wärmeenergie vom Träger zu gewährleisten. Diese Kühlkammern bestehen aufs einem Behälter mit einer dem Querschnitt des Bedampfungsgutes angepaßten Ein- und Austrittsöffnung. Die Kühlung in dem Kühl!hehälter selbst wird durch ein kaltes, vorzugsweise inertes Gas vorgenommen, welches in die Kammer eingeführt wird und den Träger auf der gesamten Oberfläche bespült. Die aus der Ein- und Austrittsöffnung Beis Kühlbehälters austretenden 'Gasmengen werden von der Pumpe des Bedampfungsbehälters abgeführt.
  • Um die Pumpleistung der Bedampfungsapparatur nicht unötig erweitern zu müssen:, ist es weiterhin vorteilhaft, die Kühdkammeirn in besonderer Weise auszugestalten, so daß möglichst wenig Gas in den, Bedampfungsbehälter austritt. Dies erreicht man, dadurch, daß man die Kühlkammer in mehrere Kammern unterteilt und mindestens die der Ein-und Austrittsöffnung des Bedampfungs.gutes benachbarten Kammern mit einerAbsaugleitung inVerbindung bringt, so daß nur geringe Gasmengen überhaupt noch in den Bedämpfungsbehälter gelangen können. Ferner können durch die Ein- und Austrittsöffnung mit Hilfe von Walzen, zwischen welchen das Bedampfungsgut hincllurchgeführt wird, bessere Dichtungen erzielt werden und gleichzeitig der Trägor und die frisch niedergeschlagene--Schicht vor, mechanischen Verletzungsgeschützt. werden. .
  • Um mit möglichst wenig Kühllgas auszukommen, empfiehlt eis sieh, die Warvdungeri 'der K@ü@hakämmern als Wärme aufnehmende Flächen auszubilden, so daß die von .dem Kühlgas aus dem zu bedampfenden Träger aufgenommenen Wärmeenergien unmittelbar an die Wandungen der Kühlkammern abgegeben werden. Aus diesem Gründe -ist es notwendig, die Wände der Kammern :möglichst nahe an die laufende Bahndes Bedampfungsgutes heranzubringen und weiterhin die Wandung :der Kühlkammern zusätzlich durch flüssige Luft oder sonstige Kühlmittel zu kühlen. Durch das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Einrichtung wird eine Schädigung des Bedampfurngsgwtes, sofern es temperaturempfindlich ist, durch die Aufdamp£ung mit Sicherheit vermieden und außerdem die Erzielung beliebig starker Schichtaufträge ermöglicht. Außerdem wird die Abgabe schädlicher Gase aus dem Bedampfungsgut, vor allem die Abgabe von Wasserdampf. klein gehalten.
  • In der Zeichnung ist eine Einrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt.
  • Fig. i zeigt einen Längsschnitt durch eine Kühlkammer, Fig. a einen Querschnitt gemäß der Schni:ttsinie A-B der Fig. i.
  • Die Kammer selbst ist zweiteilig ausgebildet. Das Oberteil ist mit a, das Unterteil mit b bezeichnet. Der durch die Kammer durchlaufende bandförmige Träger trägt die Bezeichnung c. Die Ein-und -Austrittsöffnung d und e ist dem Querschnitt des Bedampfungsgutes c weitestgehend angepaßt, um dien Austritt von KüHgasen möglichst zu unterbinden.. Innerhalb der Kühlkammer befinden sich eine Kühlgaszuführung f und zwei Absaugvorrichtungen g und h, wobei die letzteren der Ein- und Austrittsöffnung d und e benachbart sind. Die aufeinanderliegenden Flächenteile der Wandungen der Kühlkammer sind zweckmäßigerweise eingeschliffen, um einen vakuumdichten Abschluß zu bilden. Die Wandungen selbst können nach mit Hohlräum-en durchsetzt sein, durch welche zusätzliche Kühlmittel fließen..

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Verfahren zum laufenden Überziehen band- oder drahtähnlicher Gebilde mittels Schichten aus thermisch verdampften und auf dem Träger kondensierten Stoffen, wobei die Überzugsschichten aus mehreren Einzelschichten durch Vorbeiführen der zu bedampfenden Trägerstoffe an mehreren Verdaanpfern erzeugt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die zu bedampfenden Trägerstoffe zwischen den einzelnem Verdampfern durch mit kalten, inerten Gasen gefüllte Kühllkammern geleitet werden.
  2. 2. Einrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlkammern, eine dem: Querschnitt des Bedampfungsgutes angepaßte Ein- und Austrittsöffnung undeine Zuführung für das Kühlgas helsitzeü.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch z, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlkammern mehrere Einzelkammern enthalten, von denen mindestens die der Ein- und Austrittsöffnung des Bedampfungsgutes benachbarten als Absaugkammer für das. Kühlgas wirksam sind. q.. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 3, daduTch gekennzeichnet, daß die Kammerwandungen durch weitere, gegebenenfalls mit den Verdampferräumen'nicht in Berührung kommende Kühlmil gekühlt werden.
DES10866D 1941-07-24 1941-07-24 Verfahren zum laufenden UEberziehen band- und drahtaehnlicher Gebilde mittels Schichten durch thermische Bedampfung Expired DE896891C (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2043511A1 (de) * 1969-05-19 1971-02-19 Ibm
DE102013105116A1 (de) * 2013-05-17 2014-12-04 Von Ardenne Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben einer Vakuumbeschichtungsanlage

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2043511A1 (de) * 1969-05-19 1971-02-19 Ibm
DE102013105116A1 (de) * 2013-05-17 2014-12-04 Von Ardenne Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben einer Vakuumbeschichtungsanlage

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