DE8802969U1

DE8802969U1 - Maschine zum Behandeln von Gegenständen mit einer Behandlungsflüssigkeit

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Publication number: DE8802969U1
Application number: DE8802969U
Authority: DE
Original assignee: HANS HOELLMUELLER MASCHINENBAU GmbH and CO 7033 HERRENBERG DE
Current assignee: HANS HOELLMUELLER MASCHINENBAU GmbH and CO 7033 HERRENBERG DE
Priority date: 1988-03-05
Filing date: 1988-03-05
Publication date: 1988-05-26

Description

2306.3 : &iacgr;^:··_?.1·-| ·!.!··!!··! 02.03.1988

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Maschine zum Behandeln von Gegenständen mit einer Behandlungsflüssigkeit, insbesondere einem Ätzmittel, mit

a) einem Gehäuse;

b) mindestens einem Düsenstock, an dem eine Vielzahl von Düsen angeordnet ist, aus denen die Behandlungsflüssigkeit auf die Gegenstände gesprüht wird.

Bei bekannten derartigen Maschinen, wie sie insbesondere als Ätz-, Entwickler- und Spülmaschinen bei der Herstellung von Platinen für elektronische Schaltungen Verwendung finden, ist der Düsenstock innerhalb des Gehäuses fest montiert bzw. kann gegenüber diesem ausschließlich eine oszillatorische Bewegung ausführen. Bei den hohen Anforderungen, welche an die Präzision des Ätzvorganges zunehmend gestellt werden, ist es erforderlich, ein ganz exakt definiertes Sprühmuster zu erzielen. Hierzu muß gewährleistet sein, daß jede Düse tatsächlich die ihr zugedachte Menge an Behandlungsflüssigkeit in der Zeiteinheit abgibt, also insbesondere nicht verstopft ist, und - bei Verwendung von Facherdüsen - auch eine vorbestimmte Winkelposition einhält. Zur Gewährleistung dieser Voraussetzungen sind bei

3Q Maschinen der eingangs genannten Art datier zum Teil umfangreiche Einstell·' und Wartungsarbeiten an den Düsen notwendig, Dies ist jedoch bei den bekannten Maschinen aufgrund der schlechten Zugänglichkeit der einzelnen Düsen nur unter Schwierigkeiten möglich, zumal der Innenraum des Gehäuses 1 aggressive, gesundheitsschädliche oder übelriechende Reste der Behandlungsflüssigkeit enthalten kann.

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Bei der in der DE-OS 33 45 124 beschriebenen Maschine der eingangs genannten Art wurde daher der Düsenstock insgesamt als Platte ausgebildet, durch welche der eigentliche Behandlungsraum, in dem sich die Behandlungsflüssigkeit ausschließlieh befindet, &ngr;/&sgr;&eegr; einem Wartungsraum getrennt wird. Die Düsen müssen in diesem Falle durch den plattenartigen Düsenstock hindurch geführt werden, so daß sie von der Rückseite des Düsenstockes aus ausgerichtet und ggf. auch hsrausgsnGmmsn ssrden können. Diese Bsusssiss ist verhältnismäßig aufwendig. Probleme ergeben sich zudem dann, wenn der Düsenstock eine Oszillationsbewegung ausführen soll, mit der Abdichtung gegenüber dem Gehäuse. Eine praktikable Lösung für einen im unteren Bereich der Maschine liegenden Düsenstock ist darüber hinaus bei diesem Prinzip nur schwer möglich.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Maschine der eingangs genannten Art derart auszugestalten, daß die einzelnen Düsen am Düsenstock leicht zugänglich und so in ihrer Winkelposition einstellbar und ggf. herausnehmbar sind.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß

c) der Düsenstock schubladenartig aus einer Arbeitsposition innerhalb des Gehäuses durch eine verschließbare, seitliche öffnung des Gehäuses in eine Wartungsposition herausfahrbar ist, in welcher er seitlich aus dem Gehäuse herausragt und die Düsen leicht zugänglich sind;

d) Steckkupplungsteiie vorgesehen sind, Über welche der Düsenstock mit Behandlungsflüssigkeit versorgt wird und die sich beim Herausziehen des Düsenstocks aus dem Gehäuse selbsttätig lösen und beim Einschieben des Düsenstocks in das Gehäuse selbsttätig schließen.

ErfindungsgemäB läßt sich also der Düsenstock insgesamt

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seitlieh aus dem Gehäuse der Maschine vollständig herausfahren, so daß die einzelnen Düsen frei zugänglich sind. Es ist nicht mehr erforderlich, mit den Händen bei den ent' sprechenden Montage-, Eineteil- oder sonstigen Wartungsarbeiten in das Innere des Gehäuses hineinzugreifen, wo, wie erwähnt, Reste der BehandlungsflÜ8sigl:eit bzw. ihre Dämpfe vorhanden sein können. Nach Durchführung der erforderlichen Arbeiten an dem Düsenstock wird dieser in seine Arbeitsposition zurückgefahren; die Verbindung zur Quelle der Behandlungsflüssigkeit wird dabei durch die Steckkupplungsteile selbsttätig wieder hergestellt.

Vorteilhafterweise ist eine Verriegelungseinrichtung vori; gesehen, durch welche der Düsenstock in seiner in das Ge-

häuse eingeschobenen Arbeitsposition fixierbar ist. Diese Maßnahme ist insbesondere dort erforderlich, wo der Düsenstock eine oszillatorische Bewegung in seiner Arbeitsposition durchführen muß, damit kein unbeabsichtigter seitlicher Versatz des Düsenstockes erfolgt und sich die Steckkupplung nicht unabsichtlich löst. Außerdem wird dem Innendruck, der die Kupplungsteile zu trennen sucht, entgegengewirkt .

Nach einem besonderen Merkmal der Erfindung ist die liehe öffnung des Gehäuses durch eine Seitenwand verschließbar, die um eine parallel zur Förderrichtung im unteren Bereich des Grauses verlaufende Achse in eine horizontale Stellung herabklappbar ist, in der sie als Auffangwanne für Behandlungsflüssigkeit dient, die von dem in seiner Waftungspösifeion befindlichen Düsenstock abtropft« Die sich in der Seitenwand sammelnde Behandlungsflüssigkeit kann dann in den Flüssigkeitssumpf zurückgeführt werden, am einfachsten dann, wenn die Seitenwand in ihre se: '-T?- te Position zurückgeklappt wird.
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Die erfindungsgemiß vorgesehene seitliche Verschiebbarkeit des Düsenstockes bedingt einen besonders stabilen mechani-

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sehen Aufbau. Bei bekannten Düsenstöcken, die ausschließlich aus Kunststoff gefertigt waren, ergab sich schon ohne eine derartige Verschiebbarkeit im Laufe der Zeit eine erhebliche Verformung. Es empfiehlt sich daher, daß der Düsenstock einen verwindungssteifen, metallenen Rahmen umfaßt, von dem die Düsen gehalten werden.

Bei einer besonders vorteilhaften Konstruktion weist der L

I metallene Rahmen an zwei gegenüberliegenden Seiten zwei ;

in senkrechtem Abstand zueinander parallel verlaufende j

Tragstangen auf, wobei die beiden Tragstangenpaare an ihren j Enden durch Verbindungsstreben miteinander verbunden sind. i

Die Düsen können dabei in parallelen Reihen jeweils über Sj ein gemeinsames Rohr versorgt werden, dessen Enden an den beiden Tragstangenpaaren gehalten sind.

Besonders zweckmäßig dabei ist, wenn die gegenüberliegenden Enden der Rohre von Muffen gehalten sind, welche auf die Tragstangen aufgeschoben sind. Diese Bauweise ermöglicht eine ganz besonders große Flexibilität in der Anordnung der Düsen am Düsenstock.

Zwischen den Muffen können auf den Tragstangen rohrförmlge Dletanzatücke angeordnet sein. Diese Distanzstücke bestimmen denn den Abstand zwischen den einzelnen Düsenreihen.

Die Befestigung des metallenen Rahmens, der Teil des Düsenetockes ist, am Gehäuse geschieht zweckmäQlgerweiae so, daß an gegenüberliegenden Selten hervorstehende Gleitstücke befestigt sind, welche in einem Längsschlitz einer Schiene verschiebbar sind, die ihrerseits in dem Gehäuse verschiebbar gehalten let. Auf diese Welse IMQt sich der Düsenstock doppelt teleekopartig ausziehen, wobei zunächst eine Ver-Schiebung dee Düeenetocke« gegenüber der Schiene und aodann eine Verschiebung der Schiene gegenüber dem Gehäuse stattfindet.

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Wie bereits erwähnt, führt bei vielen Maschinen der eingangs genannten Art der Düsenstock in seiner Arbeitsposition eine Oszillationsbewegung aus. In diesem Falle empfiehlt es sich, wenn der Düsenstock in einem Tragrahmen befestigt ist, welcher die Oszillationsbewegung ausführt, und gegenüber diesem schubladenartig zwischen seiner Arbeits- und seiner Wartungsposition seitlich verschiebbar ist.

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Dabei können diejenigen Steckkupplungsteile, welche beim Ausfahren des Düsenstockes in die Wartungsposition an ihrem Ort verbleiben, an dem Tragrahmen befestigt und über flexible Druckschläuche mit der Pumpe für die Behandlungsflüssigkeit verbunden sein. Auf diese Weise können die im Gehäuse verbleibenden Steckkupplungsteile die Oszillationsbewegung gemeinsam mit dem Tragrahmen durchführen, wobei durch die Flexibilität der erfindungsgemäß vorgesehenen Druckschläuche die Verbindung zur Pumpe für die Behandlungsflüssigkeit erhalten bleibt.

Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung weist der Tragrahmen in der Seitenansicht die Form eines liegenden U mit zwei horizontalen Schenkeln und einem vertikalen Verbindungsschenkel auf, wobei an den horizontalen Schenkeln jeweils ein Düsenstock verschiebbar befestigt ist. Diese Ausführungsform empfiehlt sich für die meisten in der Praxis eingesetzten Maschinen, bei denen das Ätzgut von oben und unten über jeweils einen Düsenstock besprüht werden

30 soll.

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Die horizontalen Schenkel des Tragrahmens können dabei von jeweils zwei am Gehäuse befestigten Rollenpaaren geführt sein. Hierdurch ist die Leichtgängigkeit des Tragrahmens bei der Oezillationebewegung gewährleistet.

Weiter ist es vorteilhaft, wenn der Tragrahmen in der Drauf-

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sieht die Form eines liegenden U aufweist, wobei die Öffnung des U in der Richtung zeigt, in welcher der Düsenstock aus dem Gehäuse ausfahrbar ist.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert; es zeigen

Figur 1: einen Teilschnitt gemäß Linie I-I von Figur 2

durch eine Ätzmaschine, gesehen in Förderrichtung, bei eingeschobenem Düsenstock;

Figur 2: eine Draufsicht auf die Ätzmaschine von Figur

1 bei abgenommenem Deckel und entfernter Oszillationseinrichtung;
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Figur 3: einen Teilschnitt entsprechend Figur 1, jedoch bei ausgezogenem Düsenstock;

Figur 4: ein_ Draufsicht auf die Ätzmaschine von Figur 3, entsprechend der Figur 2, bei abgenommenem

Deckel und entfernter Oszillationseinrichtung; Figur 5: die Unteransicht der Kulissenscheibe, die bei

der Oszillationseinrichtung der in den Figuren 1 bis 4 dargestellten Ätzmaschine Verwendung

findet;

Figur 6: das Weg-Zeitdiagramm der Oszillationsbewegung des DUeenstockes in der Maschine nach den Figuren 1 bis 5.

In Figur 1 ist ein senkrechter Teilschnitt durch den oberen Bereich einer Ätzmaschine, gesehen in deren Förderrichtung, dargestellt. An der in Förderrichtung hinten liegenden Seitenwand 2 des Gehäuses 1 bzw. einem entsprechenden Rahmenteil sind zwei Lagerböcke 3, 4 angeschraubt. An jedem Lagerbock 3, 4 sind in vertikalem Abstand zwei Rollen 5, 6 bzw. 7,

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drehbar gehalten. Die Rollenpaare 5, 6 bzw. 7, 8 führen einen in horizontaler Richtung verschiebbaren Tragrahmen 9, der nach Art eines liegenden U von einem oberen horizontalen Schenkel 9a, einem rechts in der Zeichnung dargestellten, senkrechten Verbindungsschenkel 9b und einem in der Zeichnung nicht mehr dargestellten unteren horizontalen Schenkel gebildet wird. Die Verhältnisse im Bereich des unteren horizontalen Schenkels des Tragrahmens 9 entsprechen vollständig denjenigen im dargestellten oberen Bereich, so daß auf eine diesbezügliche Erläuterung verzichtet werden kann. Die■Anordnung ist offensichtlich derart, daß der gesamte Tragrahmen 9 mit seinen beiden horizontalen Schenkeln 9a und dem Verbindungsschenkel 9b in der Sicht der Figuren 1 bis 4 nach links und recht bewegt werden kann. Dieser Freiheitsgrad wird, wie weiter unten noch erläutert wird, zur Ausführung einer Oszillationsbewegung der Düsenstöcke benötigt.

Ein entsprechender Tragrahmen 9 ist an der in Förderrich- : 20 tung vorne liegenden, in der Zeichnung nicht dargestellten

', Seitenwand bzw. dem entsprechenden Rahmenteil der Ätzua-

j schine ausgebildet. Auch diesbezüglich ist eine gesonderte

&igr; Beschreibung entbehrlich.

.i 25 Die beiden Tragrahmen 9 sind durch eine parallel zur forderrichtung der Ätzmaschine verlaufende Strebe 10 miteinander verbunden, so daß auch in Draufsicht die beiden Tragrahmen und die Strebe 10 die Gestalt eines liegenden, nach rechts offenen U aufweisen.

30

Die horizontalen Schenkel 9a des Tmgrahmens 9 sind jeweils als Profile mit einem sich zur Innenseite der fttzmaechine öffnenden Längsschlitz 11 gestaltet (vergi. Figuren 1 und 3). Im Innenraum des horizontalen Schenkels 9a sind sechs Rollen 12 bis 17 gelagert, die drei Rollenpaare Bilden. Dies ist besonders deutlich der Figur 3 zu entnehmen. Zwischen den Rollen 12 bis 17 ist eine Schiene 1&THgr; in hori-

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zcmtaler Richtung verschiebbar geführt, weiche die Gestalt eines hochkant stehenden Flachprofiles hat. Auch die Schiene 18 verläuft innerhalb des Hohlraumes des horizontalen Schenkels 9a des Tragrahmens 9.

Die Schiene 18 ihrerseits ist mit einem Längsschlitz 19 (vergl. insbesondere Figur 3) versehen, welcher der verschiebbaren Halterung eines Düsenstockes dient, der insgesamt mit dem Bezugszeichen 20 gekennzeichnet ist.

Der Düsenstock 20 weist sie tragendes Element einen starren Halterahmen auf. Dieser .umfaßt an der in Förderrichtung vorne und hinten gelegenen Seite jeweils zwei parallele, horizontale Tragstangen 21, 22 aus Titan sowie an den parallel zur Förderrichtung verlaufenden Seiten jeweils eine Verbindungsstrebe 23 bzw. 24 aus demselben Material. Der von den Tragstangen 21, 22 und den Verbindungs&treben 23, 24 aufgespannte Halterahmen des Düsenstockes 20 ist so temperaturbeständig und verwindungssteif, daß sich auch nach langem Betrieb bei höheren Temperaturen keine Verbiegungen einstellen.

Eine Vielzahl von Düsen 25 ist innerhalb des Düsenstockes 20 in einem regelmäßigen Muster angeordnet. Die Düsenöffnung zeigt dabei in dem in der Zeichnung dargestellten, oberen Düsenstock 20 jeweils nach unten auf das dort senkrecht zur Ebene der Figuren 1 und 3 sich bewegende Ätzgut, welches in bekannter Weise von einer nicht dargestellten Fördereinrichtung kontinuierlich durch die Ätzmaschine hindurchgeführt «lfd. Entsprechend zeigen die Ät2düsen an dem unteren, in der Zeichnung nicht dargestellten Düsenstock nach oben.

Die jeweils in einer Reihe parallel zur Förderrichtung der Ätzmaschine liegenden Düsen 25 sind über ein Rohr 26 miteinander verbunden, derart, daß ihnen gemeinsam das Ätzmittel zugeführt wird. Jedes Rohr 26 ist über ein senkrecht zur

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Förderrichtung der Ätzmaschine verlaufendes Verbindungsrohr 27 mit einem Steckkupplungsteil 28 verbunden, welches an der Verbindungsstrebe 24 befestigt ist und über welches in noch zu beschreibender Weise das Ätzmittel für jede an einem Rohr 26 befindliche Reihe von Düsen 25 gesondert zugeführt wird. Die Steckkupplungsteile 28 sind besonders gut in den Figuren 3 und 4 erkennbar.

Die gegenüberliegenden Enden der aus Kunststoff bestehenden, Ätzmittel führenden Rohre 26 sind in Muffen 29 gehalten, welche über die Tragstangen 21, 22 des Düsenstockes 20 geschoben sind. Die Muffen 29 werden durch rohrförmige Distanzstücke 30 im richtigen Abstand gehalten.

An zwei Stellen an den beiden gegenüberliegenden Seiten

des Düsenstockes 20 ist jeweils ein Distanzstück durch eine Tragmuffe 31 bzw. 32 ersetzt. An den Tragmuffen 31, 32 sind nach außen ragende Gleitstücke 33, 34 aus reibungsarmem Material angeschraubt, welche in den Längsschlitz 19 der Schiene 18 eingreifen. Die Anordnung ist also so, daß zum einen der Düsenstock 20 gegenüber der Schiene 18 verschoben werden kann, wobei sich die Gleitstücke 33, 34 innerhalb des Längsschlitzes 19 bewegen, und daß darüber hinaus die Schiene 18 aufgrund ihrer Lagerung zwischen den Rollen 13 bis 17 innerhalb des Tragrahmens 9 horizontal verschiebbar ist. Auf diese Weise läßt sich der Düsenstock 20 doppelt teleskopartig seitlich aus dem Tragrahmen 9 herausfahren, wie dies in den Figuren 3 und 4 dargestellt ist.

In dem in den Figuren 1 und 2 dargestellten» eingeschobenen Zustand des Düsenstockes 20 greifen die Steckkupplungsteile 28, welche am Düsenstock 20 befestigt sind, in komplementäre Steckkupplungsteile 35 ein, die an der Strebe 10 des Tragrahmens 9 angebracht sind. Die Steckkupplungsteile 35 werden über nicht dargestellte Druckschläuciie mit Ätzmittel versorgt, welche auf mit den Steckkupplungsteilen 35 verbundenen Rohrwinkein 56 befestigt werden.

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Auf der nach oben zeigenden Wand 36 ("Deckel") der Ätzma-Siihiene ist ein Getriebemotor 37 montiert. Die Auscjarigswelle 38 des Getriebemotors 37 durchsetzt abgedichtet die Wand 36 und trägt an ihrem freien Ende eine Kurvenscheibe 39. Zwei an der Oberseite des horizontalen Schenkels 9a des Tragrahmens 9 angeschraubte Rollen 40, 41 liegen an diametral gegenüberliegenden Punkten am Außenumfang der Kurvenscheibe 39 an. Getriebemotor 37, Kurvenscheibe 39 und Rollen 40, 41 bilden eine Oszillutionseinrichtung, mit welcher der Düsenstock 20 in eine hin- und hergehende Bewegung versetzt werden kann.

Die Unteransicht der Kurvenscheibe 39 ist in Figur 5 in vergrößertem Maßstab dargestellt und zwar in zwei unterschiedlichen Drehstellungen. Die Kontur der Kurvenscheibe 39 ist im Maschinenbau als sogenannte "Herzkurve" bekannt. Bei der Drehung der Kurvenscheibe 39, welche durch den Getriebemotor 37 bewirkt wird, erfahren die an den gegenüberliegenden Punkten der Kurvenscheibe anliegenden Rollen 40, 41 eine hin- und hergehende Bewegung (Oszillationsbewegung), die sich auf den Rahmen 9 und damit auf den .gesamten Düsenstock ZQ überträgt.

Die Funktionsweise der beschriebenen Ätzmaschine ist wie folgt:

Im Normalbetrieb befindet sich der Düsenstock 20 in der eingeschobenen Position, die in den Figuren 1 und 2 dargestellt ist. Das heißt, die an der Verbindungsstrebe 24 des Düsenstocks 20 angebrachten Steckkupplungsteile 28 greifen in die an der Strebe 10 des Tragrahmens 9 angebrachten Steckkupplungsteile 35 ein; Ätzmittel kann somit über die Steckkupplungsteile 35, 28, die Verbindungsrohre 27 und die Rohre 26 zu den Düsen 25 fließen und aus diesen in einem gewünschten Ätzmuster austreten. Die zu ätzenden Gegenstände werden unterhalt des in Figur 1 dargestellten

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Düsenstockes 20, gleichzeitig oberhalb des darunter liegenden, zweiten und nicht dargestellten DUaenetockeö senkre&ht zur Zeichenebene von Figur 1 durehbefördaft. Die seitliche Gehäuseöffnung 43, durch welche der Düsenstock 20 in seine Wartungsposition ausgefahren werden kann, ist durch eine herabklappbare Seitenwand 42 verschlossen.

25

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Der Getriebemotor 37 versetzt die Kurvenscheibe 39 in Drehung. Durch die Anlage der Rollen 40 und 41 an der Kurvenscheibe 39 erfährt der ganze Tragrahmen 9 eine oszillatorische Bewegung, deren Richtung senkrecht auf der Förderrichtung des Ätzguts steht. Durch diese Oszillationsbewegung werd&n Unregelmäßigkeiten im Sprühmuster der Düsen ausgeglichen, so daß es also in der Richtung quer zur Förderrichtung keine Zonen gibt, in denen eine stärkere Ätzung als in anderen Zonen erfolgt. Durch die Ausbildung der Kurvenscheibe 39 als Herzkurve (vgl. Figur 5 ) ist das WegZeit-Diagramm der Oszillationsbewegung im wesentlichen sägezahnförmig, wie in Figur 6 mit durchgezogenen Linien dargestellt. Das heißt, die Bewegung zwischen den Umkehrpunkten erfolgt mit annähernd konstanter Geschwindigkeit, wobei in den Umkehrpunkten selbst zur Vermeidung übergroßer Beschleunigungskräfte eine gewisse Abrund des Weg-Zeit-Diagrammes in Kauf genommen wird. In Figur 6 ist außerdem gestrichelt das Weg-Zeit-Diagramm herkömmlicher Kurbelantriebe für die Oszillationsbewegung eingezeichnet, welches eine Sinuskurve ist. Bei dieser Ausgestaltung des Weg-Zeit-Diagrammes tritt eine erhöhte Verweildauer im Bereich der Maxima bzw. Minima der Sinuskurve auf, so daß dort trotz der oszillatorischen Bewegung des Düsenstoekes die Ätzung verstärkt ist. Ange* sichts der immer weiter Mächsenden Anforderungen an eine gleichmäßige Ätzung wird durch die mit der Herzkurve als Exzenter arbeitende Oszillationseinrichtung ein ??*»« ixctier Fortschritt erzielt.

Treten im Betrieb Störungen dadurch auf, daß bestimmte Düsen 25 verschmutzt und verstopft sind oder soll auf ein

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neues Ätzgut umgestellt werden, wird die Seitenwand 42 um eine Achse, die parallel zur Förderrichtung an der unteren Längskante des Gehäuses 1 verläuft, in annähernd waagerechte Position herabgeklappt. Sie gibt auf diese Weise nicht nur die seitliche öffnung 43 frei; darüber hinaus dient sie gleichzeitig als Abtropfwanne, in welcher sich von dem Düsenstock 20 tropfendes Ätzmittel sammeln und in den Ätztnittelsumpf zurückfließen kann.

Der Düsenstock 20 kann nunmehr durch die Öffnung 43 seitlich herausgezogen werden. Dabei bewegen sich zunächst die Gleitstücke 33, 34 innerhalb des Längsschlitzes 19 in der Schiene 18, bis sie am Ende des Längsschlitzes 19 anstoßen. Beim weiteren Herausziehen des Düsenstockes 20 bewegt sich nun die gesamte Schiene 18 innerhalb des horizontalen Schenkels 9a des Tragrahmens 9, wobei die Rollen 12 bis 17 ein leichtes Gleiten und eine präzise Führung gewährleisten. Der Düsenstock 20 gelangt schließlich in die in den Figuren 3 und 4 dargestellte Position oberhalb der nach unten geklappten Seitenwand 42. Hier sind die einzelnen Düsen 25 leicht zugänglich und können ohne weiteres herausgenommen, gereinigt, neu ausgerichtet oder ersetzt werden.

Nach Abschluß der Wartungsarbeiten wird der Düsenstock 20 wieder in die in den Figuren 1 und 2 dargestellte Position zurückgeführt; die Steckkupplungsteilt 28 greifen in die Steckkupplungeteile 35 ein, womit die Verbindung zur Ätzmittel-Pumpe hergestellt let. Abschließend wird der Düsenstock 20 wieder innerhalb dee Tregrahmens 9 durch eine geeignete Einrichtung verriegelt und die Seltenwand 42 in Ihre vertikale Stellung hochgeklappt.

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. Maschine zum Behandeln von Gegenständen mit einer Behandlungsflüssigkeit, itjsbesondere einem Ätzmittel, mit

a) einem Gehäuse;

b) mindestens einem Düsenstock, an dem eine Vielzahl von Düsen angeordnet sind, aus denen die Behandlungsflüssigkeit auf die Gegenstände gesprüht wird,

dadurch gekennzeichnet, daß

c) der Düsenstock (20) schubladenartig aus einer Arbeitsposition innerhalb des Gehäuses (1) durch eine ver- schließbare, seitliche öffnung (43) des Gehäuses (1) in eine Wartungsposition herausfahrbar ist, in welcher er seitlich aus dem Gehäuse (1) herausragt und die Düsen (25) leicht zugänglich sind;

d) Steckkupplungsteile (28, 35) vorgesehen sind, über welche der Düsenstock (20) mit Behandlungsflüssigkeit versorgt wird und die sich bei Herausziehen des Düsenstocks (20) aus dem Gehäuse (1) selbsttätig lösen und beim Einscnieben des Düsenstocks (20) in das Gehäuse (1) selbsttätig schließen.

2. Maschine nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Verriegelungseinrichtung, durch welche der Düsenstock

(20) in seiner in das Gehäuse (1) eingeschobenen Arbeitsposition fixierbar iet.

3. Maschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich-

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net, daß die seitliche Öffnung (43) des Gehäuses (1) durch eine Seitenwand (42) verschließbar ist, die um eine parallel zur Förderrichtung im unteren Bereich des Gehäuses (1) verlaufende Achse in eine ungefähr horizontale Stellung herabklappbar ist, in der sie als Auffangwanne für Behandlungsflüssigkeit dient, die von dem in seiner Wartungsposition befindlichen Düsenstock (20) abtropft.

i\ 4. Maschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da-

&iacgr; 10 durch gekennzeichnet, daß der Düsenstock (2P) einen verwindungssteifer., metallenen Rahmen (21 bis 24) umfaßt, von dem die Düsen (25) gehalten werden.

5. Maschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der metallene Rahmen an zwei gegenüberliegenden Seiten

zwei in senkrechtem Abstand zueinander parallel verlaufende Tragstangen (21, 22) aulweist, wobei die beiden Tragstangenpaare (21, 22) an ihren Enden durch Verbindungsstreben (23, 24) miteinander verbunden sind.
20

6. Maschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, saß die Düsen (25) in parallelen Reihen jeweils über ein

gemeinsames Rohr (26) versorgt werden, dessen Enden an den beiden Tragstangenpaaren (21, 22) gehalten sind. 25

7. Maschine nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die gegenüberliegenden Enden der Rohre (26) von Muffen

(29) gehalten sind, welche auf die Tragstangen (21, 22) aufgeschoben sind.
30

8. Maschine nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Muffen (29) auf den Tragstangen (21, 22)

rohrförmige Distanzstucke (30) angeo.dnet sind.

9. Maschine nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß an gegenüberliegenden Seiten des metallenen Rahmens (21 bis 24) hervorstehende Gleitstücke

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(33, 34) befestigt sind, welche in einem Längeschlitz (19) einer Schiene (18) verschiebbar sind, die ihrerseits in dem Gehäuse (1) verschiebbar gehalten ist.

10. Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei welcher

der Düsenstock in der Arbeitsposition eine Oszillationsbewegung ausführt, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenstock (20) in einem Tragrahmen (9) befestigt ist, welcher
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schubladenartig zwischen seiner Arbeite- und seiner Wartungsposition seitlich verschiebbar ist.

11. Maschine nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß diejenigen Steckkupplungsteile (35), welche beim Ausfahren des Düsenstocks (20) in die Wartungsposition an

ihrem Ort verbleiben, an dem Tragrahmen (9) befestigt und
über flexible Druckschläuche mit der Pumpe für dfie Behandlungsflüssigkeit verbunden sind.

12. Maschine nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Tragrahmen (9) in der Seitenansicht die Form eines

liegenden L) mit zwei horizontalen Schenkeln (9a) und einem vertikalen Verbindungsschenkel (9b) aufweist, wobei an den horizontalen Schenkeln (9a) jeweils ein Düsenstock (20)

verschiebbar befestigt ist.

13. Maschine nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die horizontalen Schenkel (9a) des Tragrahmens (9) vgiV

jeweils zwei am Gehäuse (1) befestigten Rollenpaaren (5
bis 8) geführt sind*

14. Maschine nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch
gekennzeichnet. daG der Tragrahmen (9) in der Draufsicht die Form eines U aufweist, wobei die Öffnung des U

in die Richtung zeigt, in welcher der Düsenstock (20) aus
dem Gehäuse (1) ausfahrbar ist.