DE3807261A1 - Maschine zum aetzen von gegenstaenden - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine Maschine zum Ätzen von Gegen
ständen, insbesondere zur Herstellung von Platinen für elek
tronische Schaltungen, mit
- a) einem Gehäuse;
- b) mindestens einem Düsenstock, an dem eine Vielzahl von Düsen angeordnet ist, aus denen die Gegenstände in einem bestimmten Sprühmuster mit flüssigem Ätzmittel besprüht werden;
- c) einer Fördereinrichtung, welche die Gegenstände konti nuierlich durch das von dem flüssigen Ätzmittel gebil dete Sprühmuster hindurchführt;
- d) einer Oszillationseinrichtung, welche den Düsenstock in eine oszillatorische Bewegung quer zur Förderrichtung versetzt und einen Antriebsmotor aufweist, dessen Dreh bewegung in die oszillatorische Bewegung des Düsen stockes umgesetzt wird.
Die Leitungsmuster, die auf Platinen für elektronische
Schaltungen verwirklicht werden sollen, weisen aufgrund
der Tendenz zur Miniaturisierung zunehmend kleine Abmes
sungen auf. Dies stellt immer höhere Anforderungen an die
Gleichmäßigkeit des Ätzvorganges, da andernfalls lokal un
vollständige Ätzungen oder auch Unterätzungen der Leiter
struktur auftreten können. Aus diesem Grunde wurden bereits
bisher bei Maschinen der eingangs genannten Art Oszilla
tionseinrichtungen verwendet, welche den Düsenstock in eine
hin- und hergehende (oszillatorische) Bewegung versetzten.
Damit sollte vermieden werden, daß in dem von dem Düsen
stock erzeugten Sprühmuster des flüssigen Ätzmittels ent
haltene Unregelmäßigkeiten immer auf dieselben Bereiche
der zu ätzenden Gegenstände auftreffen. Dies nämlich würde
zu entsprechenden Ungleichmäßigkeiten des Ätzvorganges
führen. Durch die Oszillationsbewegung des Düsenstockes
werden die Unregelmäßigkeiten im Sprühmuster "verwischt"
und der Ätzvorgang vergleichmäßigt.
Bei bekannten Maschinen der eingangs genannten Art wurde
die Oszillationsbewegung des Düsenstockes durch einen Kur
beltrieb erzeugt, welcher die Drehbewegung eines Antriebs
motors in die gewünschte hin- und hergehende Bewegung des
Düsenstockes umsetzte. Bei dieser Konstruktionsweise ist
das Weg-Zeit-Diagramm der Oszillationsbewegung sinusförmig.
Im Bereich der Umkehrpunkte hat der Düsenstock eine erheb
lich längere Verweildauer als an den Durchgangsstellen in
der Mitte zwischen den beiden Umkehrpunkten. In diesem Be
reich können sich somit nach wie vor Unregelmäßigkeiten
des Sprühmusters in Ungleichmäßigkeiten des Ätzvorganges
auswirken.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Maschine
der eingangs genannten Art derart fortzubilden, daß eine
noch gleichmäßigere Ätzung erzielt werden kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
- e) zur Umsetzung der Drehbewegung des Antriebsmotors in die oszillatorische Bewegung des Düsenstockes eine Kur venscheibe vorgesehen ist, die von dem Antriebsmotor in Drehung versetzt wird und deren wirksame Außenkon turen eine Herzform aufweist;
- f) zwei Mitnahmeglieder mit dem Düsenstock verbunden sind, die an diametral gegenüberliegenden Punkten an der Außen kontur der Kurvenscheibe anliegen.
Dabei ist es an und für sich aus dem Maschinenbau in ande
rem Zusammenhang bekannt, daß mit Herzkurven dieser Art
die Bewegungscharakteristik von Oszillationsbewegungen
linearisiert werden kann. Erfindungsgemäß wird jedoch zum
erstenmal erkannt, daß diese grundsätzlich mögliche Linea
risierung der Oszillationsbewegung bei gattungsgemäßen Ätz
maschinen zu einer Verbesserung des Ätzergebnisses beiträgt.
Der Bewegungsbereich, in welchem die Bewegungsgeschwindig
keit des Ätzstockes konstant und somit die "Verwischung"
von Unregelmäßigen im Sprühmuster besonders wirksam ist,
ist nämlich beim Einsatz der Herzkurve innerhalb der Os
zillationseinrichtung sehr viel größer als bei den bekann
ten Kurbeltrieben. Nur im unmittelbaren Bereich der Umkehr
punkte muß zur Vermeidung unzulässig hoher Beschleunigungen
und damit verbundener großer Kräfte die Bewegungscharakte
ristik etwas "abgerundet" werden.
Vorteilhafterweise sind die mit dem Düsenstock verbundenen
Mitnahmeglieder Rollen. Hierdurch wird die Leichtgängig
keit der Gesamtanordnung verbessert.
Die Mitnahmeglieder können dabei an einem Tragrahmen ange
ordnet sein, an dem der Düsenstock befestigt ist.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend an
hand der Zeichnung näher erläutert; es zeigen
Fig. 1 einen Teilschnitt gemäß Linie I-I von Fig. 2
durch eine Ätzmaschine, gesehen in Förderrichtung,
bei eingeschobenem Düsenstock;
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Ätzmaschine von Fig.
1 bei abgenommenem Deckel und entfernter Oszil
lationseinrichtung;
Fig. 3 einen Teilschnitt entsprechend Fig. 1, jedoch
bei ausgezogenem Düsenstock;
Fig. 4 eine Draufsicht auf die Ätzmaschine von Fig.
3, entsprechend der Fig. 2, bei abgenommenem
Deckel und entfernter Oszillationseinrichtung;
Fig. 5 die Unteransicht der Kulissenscheibe, die bei
der Oszillationseinrichtung der in den Fig.
1 bis 4 dargestellten Ätzmaschine Verwendung
findet;
Fig. 6 das Weg-Zeit-Diagramm der Oszillationsbewegung
des Düsenstockes in der Maschine nach den Fig. 1 bis 5.
In Fig. 1 ist ein senkrechter Teilschnitt durch den oberen
Bereich einer Ätzmaschine, gesehen in deren Förderrichtung,
dargestellt. An der in Förderrichtung hinten liegenden Sei
tenwand 2 des Gehäuses 1 bzw. einem entsprechenden Rahmenteil
sind zwei Lagerböcke 3, 4 angeschraubt. An jedem Lagerbock
3, 4 sind in vertikalem Abstand zwei Rollen 5, 6 bzw. 7, 8
drehbar gehalten. Die Rollenpaare 5, 6 bzw. 7, 8 führen
einen in horizontaler Richtung verschiebbaren Tragrahmen 9,
der nach Art eines liegenden U von einem oberen horizontalen
Schenkel 9 a, einem rechts in der Zeichnung dargestellten,
senkrechten Verbindungsschenkel 9 b und einem in der Zeichnung
nicht mehr dargestellten unteren horizontalen Schenkel ge
bildet wird. Die Verhältnisse im Bereich des unteren hori
zontalen Schenkels des Tragrahmens 9 entsprechen vollstän
dig denjenigen im dargestellten oberen Bereich, so daß auf
eine diesbezügliche Erläuterung verzichtet werden kann.
Die Anordnung ist offensichtlich derart, daß der gesamte
Tragrahmen 9 mit seinen beiden horizontalen Schenkeln 9 a
und dem Verbindungsschenkel 9 b in der Sicht der Fig.
1 bis 4 nach links und recht bewegt werden kann. Dieser
Freiheitsgrad wird, wie weiter unten noch erläutert wird,
zur Ausführung einer Oszillationsbewegung der Düsenstöcke
benötigt.
Ein entsprechender Tragrahmen 9 ist an der in Förderrich
tung vorne liegenden, in der Zeichnung nicht dargestellten
Seitenwand bzw. dem entsprechenden Rahmenteil der Ätzma
schine ausgebildet. Auch diesbezüglich ist eine gesonderte
Beschreibung entbehrlich.
Die beiden Tragrahmen 9 sind durch eine parallel zur För
derrichtung der Ätzmaschine verlaufende Strebe 10 mitein
ander verbunden, so daß auch in Draufsicht die beiden Trag
rahmen und die Strebe 10 die Gestalt eines liegenden, nach
rechts offenen U aufweisen.
Die horizontalen Schenkel 9 a des Tragrahmens 9 sind jeweils
als Profile mit einem sich zur Innenseite der Ätzmaschine
öffnenden Längsschlitz 11 gestaltet (vergl. Fig. 1 und
3). Im Innenraum des horizontalen Schenkels 9 a sind sechs
Rollen 12 bis 17 gelagert, die drei Rollenpaare bilden.
Dies ist besonders deutlich der Fig. 3 zu entnehmen.
Zwischen den Rollen 12 bis 17 ist eine Schiene 18 in hori
zontaler Richtung verschiebbar geführt, welche die Gestalt
eines hochkant stehenden Flachprofiles hat. Auch die Schie
ne 18 verläuft innerhalb des Hohlraumes des horizontalen
Schenkels 9 a des Tragrahmens 9.
Die Schiene 18 ihrerseits ist mit einem Längsschlitz 19
(vergl. insbesondere Fig. 3) versehen, welcher der ver
schiebbaren Halterung eines Düsenstockes dient, der insge
samt mit dem Bezugszeichen 20 gekennzeichnet ist.
Der Düsenstock 20 weist als tragendes Element einen starren
Halterahmen auf. Dieser umfaßt an der in Förderrichtung
vorne und hinten gelegenen Seite jeweils zwei parallele,
horizontale Tragstangen 21, 22 aus Titan sowie an den pa
rallel zur Förderrichtung verlaufenden Seiten jeweils eine
Verbindungsstrebe 23 bzw. 24 aus demselben Material. Der
von den Tragstangen 21, 22 und den Verbindungsstreben 23,
24 aufgespannte Halterahmen des Düsenstockes 20 ist so
temparaturbeständig und verwindungssteif, daß sich auch
nach langem Betrieb bei höheren Temperaturen keine Verbie
gungen einstellen.
Eine Vielzahl von Düsen 25 ist innerhalb des Düsenstockes
20 in einem regelmäßigen Muster angeordnet. Die Düsenöff
nung zeigt dabei in dem in der Zeichnung dargestellten,
oberen Düsenstock 20 jeweils nach unten auf das dort senk
recht zur Ebene der Fig. 1 und 3 sich bewegende Ätzgut,
welches in bekannter Weise von einer nicht dargestellten
Fördereinrichtung kontinuierlich durch die Ätzmaschine hin
durchgeführt wird. Entsprechend zeigen die Ätzdüsen an dem
unteren, in der Zeichnung nicht dargestellten Düsenstock
nach oben.
Die jeweils in einer Reihe parallel zur Förderrichtung der
Ätzmaschine liegenden Düsen 25 sind über ein Rohr 26 mitein
ander verbunden, derart, daß ihnen gemeinsam das Ätzmittel
zugeführt wird. Jedes Rohr 26 ist über ein senkrecht zur
Förderrichtung der Ätzmaschine verlaufendes Verbindungs
rohr 27 mit einem Steckkupplungsteil 28 verbunden, welches
an der Verbindungsstrebe 24 befestigt ist und über welches
in noch zu beschreibender Weise das Ätzmittel für jede an
einem Rohr 26 befindliche Reihe von Düsen 25 gesondert zuge
führt wird. Die Steckkupplungsteile 28 sind besonders gut
in den Fig. 3 und 4 erkennbar.
Die gegenüberliegenden Enden der aus Kunststoff bestehenden,
Ätzmittel führenden Rohre 26 sind in Muffen 29 gehalten,
welche über die Tragstangen 21, 22 des Düsenstockes 20 ge
schoben sind. Die Muffen 29 werden durch rohrförmige Di
stanzstücke 30 im richtigen Abstand gehalten.
An zwei Stellen an den beiden gegenüberliegenden Seiten
des Düsenstockes 20 ist jeweils ein Distanzstück durch eine
Tragmuffe 31 bzw. 32 ersetzt. An den Tragmuffen 31, 32 sind
nach außen ragende Gleitstücke 33, 34 aus reibungsarmem
Material angeschraubt, welche in den Längsschlitz 19 der
Schiene 18 eingreifen. Die Anordnung ist also so, daß zum
einen der Düsenstock 20 gegenüber der Schiene 18 verschoben
werden kann, wobei sich die Gleitstücke 33, 34 innerhalb des
Längsschlitzes 19 bewegen, und daß darüber hinaus die Schiene
18 aufgrund ihrer Lagerung zwischen den Rollen 13 bis 17
innerhalb des Tragrahmens 9 horizontal verschiebbar ist.
Auf diese Weise läßt sich der Düsenstock 20 doppelt tele
skopartig seitlich aus dem Tragrahmen 9 herausfahren, wie
dies in den Fig. 3 und 4 dargestellt ist.
In dem in den Fig. 1 und 2 dargestellten, eingeschobe
nen Zustand des Düsenstockes 20 greifen die Steckkupplungs
teile 28, welche am Düsenstock 20 befestigt sind, in kom
plementäre Steckkupplungsteile 35 ein, die an der Strebe
10 des Tragrahmens 9 angebracht sind. Die Steckkupplungs
teile 35 werden über nicht dargestellte Druckschläuche mit
Ätzmittel versorgt, welche auf mit den Steckkupplungsteilen
35 verbundenen Rohrwinkeln 36 befestigt werden.
Auf der nach oben zeigenden Wand 36 ("Deckel") der Ätzma
schine ist ein Getriebemotor 37 montiert. Die Ausgangs
welle 38 des Getriebemotors 37 durchsetzt abgedichtet die
Wand 36 und trägt an ihrem freien Ende eine Kurvenscheibe
39. Zwei an der Oberseite des horizontalen Schenkels 9 a
des Tragrahmens 9 angeschraubte Rollen 40, 41 liegen an
diametral gegenüberliegenden Punkten am Außenumfang der
Kurvenscheibe 39 an. Getriebemotor 37, Kurvenscheibe 39
und Rollen 40, 41 bilden eine Oszillationseinrichtung,
mit welcher der Düsenstock 20 in eine hin- und hergehende
Bewegung versetzt werden kann.
Die Unteransicht der Kurvenscheibe 39 ist in Fig. 5 in
vergrößertem Maßstab dargestellt und zwar in zwei unter
schiedlichen Drehstellungen. Die Kontur der Kurvenscheibe
39 ist im Maschinenbau als sogenannte "Herzkurve" bekannt.
Bei der Drehung der Kurvenscheibe 39, welche durch den Ge
triebemotor 37 bewirkt wird, erfahren die an den gegenüber
liegenden Punkten der Kurvenscheibe anliegenden Rollen 40,
41 eine hin- und hergehende Bewegung (Oszillationsbewegung),
die sich auf den Rahmen 9 und damit auf den gesamten Düsen
stock 20 überträgt.
Die Funktionsweise der beschriebenen Ätzmaschine ist wie
folgt:
Im Normalbetrieb befindet sich der Düsenstock 20 in der
eingeschobenen Position, die in den Fig. 1 und 2 darge
stellt ist. Das heißt, die an der Verbindungsstrebe 24 des
Düsenstocks 20 angebrachten Steckkupplungsteile 28 greifen
in die an der Strebe 10 des Tragrahmens 9 angebrachten
Steckkupplungsteile 35 ein; Ätzmittel kann somit über die
Steckkupplungsteile 35, 28, die Verbindungsrohre 27 und
die Rohre 26 zu den Düsen 25 fließen und aus diesen in
einem gewünschten Ätzmuster austreten. Die zu ätzenden Ge
genstände werden unterhalb des in Fig. 1 dargestellten
Düsenstockes 20, gleichzeitig oberhalb des darunter liegen
den, zweiten und nicht dargestellten Düsenstockes senkrecht
zur Zeichenebene von Fig. 1 durchbefördert. Die seitli
che Gehäuseöffnung 43, durch welche der Düsenstock 20 in
seine Wartungsposition ausgefahren werden kann, ist durch
eine herabklappbare Seitenwand 42 verschlossen.
Der Getriebemotor 37 versetzt die Kurvenscheibe 39 in Dre
hung. Durch die Anlage der Rollen 40 und 41 an der Kurven
scheibe 39 erfährt der ganze Tragrahmen 9 eine oszillatori
sche Bewegung, deren Richtung senkrecht auf der Förderrich
tung des Ätzguts steht. Durch diese Oszillationsbewegung
werden Unregelmäßigkeiten im Sprühmuster der Düsen ausgegli
chen, so daß es also in der Richtung quer zur Förderrichtung
keine Zonen gibt, in denen eine stärkere Ätzung als in
anderen Zonen erfolgt. Durch die Ausbildung der Kurvenscheibe
39 als Herzkurve (vgl. Fig. 5) ist das Weg-Zeit-Diagramm
der Oszillationsbewegung im wesentlichen sägezahnförmig,
wie in Fig. 6 mit durchgezogenen Linien dargestellt. Das
heißt, die Bewegung zwischen den Umkehrpunkten erfolgt
mit annähernd konstanter Geschwindigkeit, wobei in den
Umkehrpunkten selbst zur Vermeidung übergroßer Beschleu
nigungskräfte eine gewisse Abrund des Weg-Zeit-Diagrammes
in Kauf genommen wird. In Fig. 6 ist außerdem gestrichelt
das Weg-Zeit-Diagramm herkömmlicher Kurbelantriebe für die
Oszillationsbewegung eingezeichnet, welches eine Sinuskurve
ist. Bei dieser Ausgestaltung des Weg-Zeit-Diagrammes tritt
eine erhöhte Verweildauer im Bereich der Maxima bzw. Minima
der Sinuskurve auf, so daß dort trotz der oszillatorischen
Bewegung des Düsenstockes die Ätzung verstärkt ist. Ange
sichts der immer weiter wachsenden Anforderungen an eine
gleichmäßige Ätzung wird durch die mit der Herzkurve als
Exzenter arbeitende Oszillationseinrichtung ein erheblicher
Fortschritt erzielt.
Treten im Betrieb Störungen dadurch auf, daß bestimmte Dü
sen 25 verschmutzt und verstopft sind oder soll auf ein
neues Ätzgut umgestellt werden, wird die Seitenwand 42 um
eine Achse, die parallel zur Förderrichtung an der unteren
Längskante des Gehäuses 1 verläuft, in annähernd waagerechte
Position herabgeklappt. Sie gibt auf diese Weise nicht nur
die seitliche Öffnung 43 frei; darüber hinaus dient sie
gleichzeitig als Abtropfwanne, in welcher sich von dem
Düsenstock 20 tropfendes Ätzmittel sammeln und in den
Ätzmittelsumpf zurückfließen kann.
Der Düsenstock 20 kann nunmehr durch die Öffnung 43 seitlich
herausgezogen werden. Dabei bewegen sich zunächst die
Gleitstücke 33, 34 innerhalb des Längsschlitzes 19 in der
Schiene 18, bis sie am Ende des Längsschlitzes 19 anstoßen.
Beim weiteren Herausziehen des Düsenstockes 20 bewegt sich
nun die gesamte Schiene 18 innerhalb des horizontalen
Schenkels 9 a des Tragrahmens 9, wobei die Rollen 12 bis 17
ein leichtes Gleiten und eine präzise Führung gewährleisten.
Der Düsenstock 20 gelangt schließlich in die in den Fig.
3 und 4 dargestellte Position oberhalb der nach unten
geklappten Seitenwand 42. Hier sind die einzelnen Düsen 25
leicht zugänglich und können ohne weiteres herausgenommen,
gereinigt, neu ausgerichtet oder ersetzt werden.
Nach Abschluß der Wartungsarbeiten wird der Düsenstock 20
wieder in die in den Fig. 1 und 2 dargestellte Position
zurückgeführt; die Steckkupplungsteile 28 greifen in die
Steckkupplungsteile 35 ein, womit die Verbindung zur Ätz
mittel-Pumpe hergestellt ist. Abschließend wird der Düsen
stock 20 wieder innerhalb des Tragrahmens 9 durch eine ge
eignete Einrichtung verriegelt und die Seitenwand 42 in
ihre vertikale Stellung hochgeklappt.
Claims (4)
1. Maschine zum Ätzen von Gegenständen, insbesondere zur
Herstellung von Platinen für elektronische Schaltungen,
mit
- a) einem Gehäuse;
- b) mindestens einem Düsenstock, an dem eine Vielzahl von Düsen angeordnet ist, aus denen die Gegenstände in einem bestimmten Sprühmuster mit flüssigem Ätzmittel besprüht werden;
- c) einer Fördereinrichtung, welche die Gegenstände konti nuierlich durch das von dem flüssigen Ätzmittel gebil dete Sprühmuster hindurchführt;
- d) einer Oszillationseinrichtung, welche den Düsenstock in eine oszillatorische Bewegung quer zur Förderrich tung versetzt und einen Antriebsmotor aufweist, dessen Drehbewegung in die oszillatorische Bewegung des Düsen stockes umgesetzt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß
- e) zur Umsetzung der Drehbewegung des Antriebsmotors (37) in die oszillatorische Bewegung des Düsenstocks (20) eine Kurvenscheibe (39) vorgesehen ist, die von dem An triebsmotor (37) in Drehung versetzt wird und deren wirk same Außenkontur eine Herzform aufweist;
- f) zwei Mitnahmeglieder (40, 41) mit dem Düsenstock (20) verbunden sind, die an diametral gegenüberliegenden Punkten an der Außenkontur der Kurvenscheibe (39) an liegen.
2. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die mit dem Düsenstock (20) verbundenen Mitnahmeglie
der (40, 41) Rollen sind.
3. Maschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß die Mitnahmeglieder (40, 41) an einem Trag
rahmen (9) angeordnet sind, an dem der Düsenstock (20) be
festigt ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE3807261A DE3807261A1 (de) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | Maschine zum aetzen von gegenstaenden |
US07/193,058 US4852595A (en) | 1988-03-05 | 1988-05-12 | Machine for etching objects |
Applications Claiming Priority (1)
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DE3807261A DE3807261A1 (de) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | Maschine zum aetzen von gegenstaenden |
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DE3807261A1 true DE3807261A1 (de) | 1989-09-14 |
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Family Applications (1)
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DE3807261A Withdrawn DE3807261A1 (de) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | Maschine zum aetzen von gegenstaenden |
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US (1) | US4852595A (de) |
DE (1) | DE3807261A1 (de) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0618800Y2 (ja) * | 1988-09-27 | 1994-05-18 | 日東紡績株式会社 | 高圧流体加工装置 |
CH677076A5 (de) * | 1989-04-27 | 1991-04-15 | Edi Mark | |
US5212903A (en) * | 1989-05-19 | 1993-05-25 | Talbott Gene B | Greenhouse construction and liquid distribution system |
US5378308A (en) * | 1992-11-09 | 1995-01-03 | Bmc Industries, Inc. | Etchant distribution apparatus |
US5387313A (en) * | 1992-11-09 | 1995-02-07 | Bmc Industries, Inc. | Etchant control system |
US5720813A (en) | 1995-06-07 | 1998-02-24 | Eamon P. McDonald | Thin sheet handling system |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1203630B (de) * | 1964-03-19 | 1965-10-21 | Enzinger Union Werke Ag | Flaschenreinigungs- oder Pasteurisiermaschine |
DE1428359A1 (de) * | 1964-12-17 | 1968-11-21 | Braun Ag | Geschirrspuelmaschine mit einer zwanglaeufig angetriebenen,pendelnden Spritzvorrichtung |
NL7406922A (nl) * | 1973-07-12 | 1975-01-14 | Seitz Werke Gmbh | Sproeiinrichting voor flessenspoelmachines. |
SU700563A1 (ru) * | 1974-06-12 | 1979-11-30 | Государственный Всесоюзный Ордена Трудового Красного Знамени Научно-Исследовательский Технологический Институт Ремонта И Эксплуатации Машинно-Тракторного Парка | Устройство дл очистки коленчатого вала |
DE3345124A1 (de) * | 1983-12-14 | 1985-06-27 | Hans 7033 Herrenberg Höllmüller | Vorrichtung zur behandlung von gegenstaenden mit einer behandlungsfluessigkeit |
-
1988
- 1988-03-05 DE DE3807261A patent/DE3807261A1/de not_active Withdrawn
- 1988-05-12 US US07/193,058 patent/US4852595A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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US4852595A (en) | 1989-08-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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