DE860413C - Anordnung zur Ermittlung der richtigen Belichtungszeit fuer photographische Aufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten - Google Patents

Description

• Anordnung zur Ermittlung der richtigen Belichtungszeit für photographische Aufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten Bei der Herstellung von photographischen Aufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise in Elektronenmikroskopen, zeigt es sich, daß vielfach Fehlaufnahmen durch Wahl falscher Belichtungszeiten gemacht werden. Durch die Erfindung wird dieser Nachteil dadurch vermieden, daß in der Nähe eines Leuchtschirmes, beispielsweise des Endbildleuchtschirmes, ein Selenphotoelement angeordnet ist, wobei der von diesem Photoelement kommende Strom zur Messung der Elektronendichte in der Leuchtschirmebene dient. Durch diese Messung ist es dann leicht möglich, beispielsweise an Hand einer Tabelle, die jeweils passende Belichtungszeit zu ermitteln. Außerdem können mit dieser Einrichtung bei Berücksichtigung der bestehenden elektronenoptischen Vergrößerung wertvolle Rückschlüsse auf die Elektronendichte in der Objektebene und damit auf die Objektbelastung gezogen werden. Man kann das Photoelement vorzugsweise so anordnen, daß es den Elektronenstrahlen unmittelbar ausgesetzt ist. Wie Messungen ergeben haben, ergibt sich hierdurch eine äußerst empfindliche Anordnung. Es ist aber auch möglich, die Konstruktion so zu wählen, daß im Strahlengang unmittelbar vor dem Photoelement ein Leuchtschirm angeordnet ist, der in der Ebene des Zwischenbild- oder des Endbildleuchtschirmes des Korpuskularstralilapparates liegt. In diesem Falle wird das Photoelement also nicht unmittelbar von den Elektronenstrahlen getroffen, sondern von den Lichtstrahlen, die der zugeordnete Leuchtschirm aussendet. Auch eine solche Anordnung läßt. sich leicht hinreichend empfindlich bauen, da sich ` das Photoelement in unmittelbarer Nähe des zugeordneten Leuchtschirmes befindet und sich dementsprechend die vom Leuchtschirm ausgehende Lichtstärke sehr genau messen läßt. Man wird die Photo-; elementeinheit vorzugsweise so anordnen, daß sie in der Ebene des Zwischenbild- bzw. des Endbildleuchtschirmes liegt. Eine besonders einfache. Anordnung hierfür ergibt sich dann, wenn man im Zwischenbild- bzw. Endbildleuchtschirm einen Ausschnitt vorsieht, in den die Photoelementeinheit paßt. Bei Anwendung der Erfindung in der Nähe eines Zwischenbildleuchtschirmes, der eine mittlere Durchbohrung für den Durchtritt der Elektronenstrahlen zum Endbildleuchtschirm besitzt, kann man im Strahlengang hinter dem durchbohrten .Zwischenbildleuchtschirm eine ringförmige Photoelementeinheit anordnen. Diese ringförmige Einheit läßt dann ebenfalls die Elektronenstrahlen zum Endbildleuchtschirm ungehindert hindurchtreten.
• In den Figuren sind zwei Ausführungsbeispiele' der Erfindung dargestellt. Fig. i und 2 zeigen zunächst die Anwendung der Erfindung beim Endbildleuchtschirm eines Elektronenmikroskops. Fig. i zeigt einen Querschnitt, Fig. 2 eine Draufsicht auf die Ausführungsform nach der Erfindung.
• Mit i ist der in üblicher Weise aus dem Strahlengang herausklappbare Endbildleuchtschirm bezeichnet, der beispielsweise einem Elektronenmikroskop zugeordnet sein kann. An diesen Endbildleuchtschirm schließt sich auf der linken Seite ein Selenphotoelement 2 an, welches dazu dient, die in der Endbildleuchtschirmebene gegebene Elektronendichte zu messen. Mit 3 ist das Format der hinter dem Endbildleuchtschirm i befindlichen pfotographischen Platte bezeichnet. Die Form des Leuchtschirmes x ist, wie die Fig. 2 erkennen läßt, so gewählt, daß sie sich dem Format der verwendeten Platte anpaßt. Mit q. ist gestrichelt diejenige Kreisfläche bezeichnet, welche in der Endbildebene von Elektronenstrahlen getroffen wird. 5 sind die von der Photoelementeinheit ausgehenden Meßleitungen.
• Ein anderes Ausführungsbeispiel, welches die Anwendung, der Erfindung in Kombination mit einem durchbohrten Zwischenbildleuchtschirm zeigt, ist in den Fig. 3 und q, dargestellt. Fig. 3 zeigt die Draufsicht. Fig. q. einen Querschnitt durch die neue Anordnung. Mit ri ist der durchbohrte Zwischenbildleuchtschirm bezeichnet. Die Leuchtschirmmasse ist hier auf einer Glasplatte aufgebracht, so daß vom Schirm Lichtstrahlen auch nach unten hin ausgehen. Im Strahlengang hinter diesem Schirm r z liegt ein ringförmiges Selenphotoelement 12, das so angeordnet ist, daß es die durch die mittlere Bohrung des Zwischenbildleuchtschirmes li hindurchtretenden Elektronenstrahlen ebenfalls ungehindert zum Projektiv gelangen läßt. Zur Messung der Elektronenenergie in der Nähe des Zwischenbildleuchtschirmes dienen hier also die Lichtstrahlen, die vom Leuchtschirm i i ausgehend das Selenphotoelement 12 treffen.
• Verglichen mit der bisher üblichen direkten Messung des Elektronenstromes ergibt die erfindungsgemäße Verwendung eines Selenphotoelementes eine etwa zooofache Stromverstärkung, so daß nunmehr die Meßeinrichtung einfach und billig wird.

Claims (5)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Anordnung zur Ermittlung der richtigen Belichtungszeit für photographische Aufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten, dadurch gekennzeichnet, daß in der Nähe eines Leuchtschirmes, beispielsweise des Endbildleuchtschirmes, eine Selenphotoelementeinheit angeordnet ist und daß der von dieser Einheit gelieferte Strom zur Messung der Elektronendichte in der Leuchtschirmebene dient.
2. 2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das Photoelement den Elektronenstrahlen unmittelbar ausgesetzt ist.
3. 3. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang unmittelbar vor dem Photoelement ein Leuchtschirm angeordnet ist, daß die hiervon ausgehenden Lichtstrahlen das Photoelement treffen. q..
4. Anordnung nach Anspruch r oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß neben der Endbildleuchtschirmklappe das Selenphotoelement in Form eines Kreissegmentes vorgesehen ist.
5. 5. Anordnung nach Anspruch z mit einem durchbohrten Zwischenbildleuchtschirm, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang hinter dem Zwischenbildleuchtschirm ein ringförmiges Selenphotoelement angeordnet ist.