DE815493C - Elektromechanisches UEbertragungssystem - Google Patents

Description

(WiGBl. S. 175)

AUSGEGEBEN AM 19. NOVEMBER 1951

p 50636 Villa/2ΐά* D

ist als Erfinder genannt worden

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf neue Hinrichtungen und neue Systeme für die Umsetzung von mechanischen Schwingungen, wie z. B. akustische Schwingungen, in elektrische Schwingungen. Ein damit im Zusammenhang stehendes Ziel besteht in der Erlangung einer Verstärkung der elektrischen Schwingungen, und zwar gleichzeitig mit der Umformung.

Ein anderes Ziel der Erfindung bezieht sich auf die Schaffung eines hochempfindlichen, elektromechanischen Übertragungssystems, welches hinsichtlich seiner Größe extrem zusammengedrängt ist, geringes Gewicht hat und einen höhen Ausgangsleistungspegel aufweist.

Die Erfindung benutzt als zentrales Element einen Dreielektroden-Halbleiterverstärker.Dieses Element besteht aus einem kleinen Block aus Halbleitermaterial, wie z. B. Germanium, welcher wenigstens drei elektrisch angekoppelte Elektroden aufweist, die Anregungselektrode, Abnahmeelektrode und ao Basiselektrode genannt werden. Die Anregungs- und Abnahmeelektroden können als Spitzenkontaktelektroden ausgebildet sein, die mit dem Block Gleichrichtefkontakte bilden, während die Basiselektrode aus einem metallischen Filmbelag be- as stehen kann, der einen Kontakt geringen Widerstandes bildet. Die Anregungselektrode kann so vorgespannt sein, daß sie in der Vorwärtsrichtung leitet, während die Abnahmeelektrode für die Leitung in der umgekehrten Richtung vorgespannt ist. Durch Anlegung eines Signals an die Anregungselektrode wird sowohl in dem Kreis dieser Elektrode als auch in dem zugeordneten äußeren Kreis, der eine Belastung enthalten kann, ein Signal-

frequenzstram erzeugt. Infolge gewisser Vorgänge, die sich innerhalb des Blocks abspielen, treten verstärkte Abbilder der Spannung, des Stroms und der Leistung des Signals an der Belastung auf. Für die Gestaltung der Vorrichtung stehen zahlreiche Ausführungsmöglichkeiten zur Verfügung.

Die vorliegende Erfindung beruht auf der Entdeckung, daß Vorrichtungen der genannten Art zusätzlich zu ihrer Verstärkungsfähigkeit mikrophonische Eigenschaften haben, indem ihre elektrischen Charakteristiken sehr stark durch eine geringe mechanische Änderung des Kontakts zwischen einer der Elektroden, insbesondere der Anregungselektrode, und dem Körper des HaIb-

»5 leiterblocks beeinflußt werden können. Die mechanische Änderung des Kontakts kann in einer Änderung des Kontaktdruckes oder der Kontaktfläche oder in der Änderung der Kontaktlage durch Verschiebung, Verschwenkung oder Abrollung einer

ao geeignet gestalteten Elektrode über die Halbleiterfläche bestehen; es ist auch möglich, daß die mechanische Änderung des Kontakts zwei oder mehrere derartiger Änderungen gleichzeitig umfaßt. In jedem Fall kann die Kontaktänderung von einem

»5 Mikrophon-Diaphragma, einer Tonabnehmernadel oder einer anderen, auf Schwingungen ansprechenden Vorrichtung abgeleitet und auf die schwingungsempfindliche Elektrode mittels einer geeigneten mechanischen Verbindung übertragen werden. Beim Betrieb der Vorrichtung ergibt sich aus der mikrophonischen Eigenart derselben, daß die Eingangsschwingungen in Schwankungen des Stroms oder des Kontaktwiderstandes der Anregungselektrode, der Kopplung zwischen Anregungs- und Abnahmeelektrode oder gleichzeitig in zwei oder mehrere dieser elektrischen Erscheinungen umgesetzt werden; infolge der Verstärkungseigenart der Vorrichtung treten die Eingangsschwingungen, die in der angegebenen Weise elektrisch umgeformt werden, in dem Ausgangskreis bei einem höheren Leistungspegel in Erscheinung.

Die Erfindung wird voll verständlich aus der folgenden, ins einzelne gehenden Beschreibung bestimmter Ausführungsbeispiele, und zwar im Zusammenhang mit der Zeichnung; in der Zeichnung zeigt

Fig. ι ein schematisches Schaubild eines Mikrophone, bei welchem eine Form des Halbleiterverstärkers als Element Anwendung findet,

Fig. 2 ein schematisches Schaubild eines Nadeltonwiedergabegerätes oder Plattenspielers, wobei die gleiche Halbleiterverstärkerform als Element benutzt wird,

Fig. 3 eine vergrößerte Querschnittsdarstellung zu Fig. ι oder 2,

Fig. 4 ein schematisches Schaubild eines Mikrophons mit Anwendung einer anderen, Form von Halbleiterverstärker,

Fig. 5 ein schematisches Schaubild eines Nadeltonwiedergabegerätes, wobei die gleiche Halbleiterverstärkerform Verwendung findet wie bei Fig. 4, Fig. 6 ein schematisches Schaubild eines Mikrophons als Alternative zu Fig. 4, wobei aber eine andere Elektrodenanordnung Anwendung findet und ein etwas abweichendes Arbeitsprinzip benutzt wird.

Es soll nun auf die Zeichnungen und als erste Ausführungsform auf Fig. 1 Bezug genommen werden. Das Kernstück des Übertragungssystems nach der Erfindung ist ein Dreielektroden-Halbleiterverstärker. Nach einer bevorzugten Ausführung kann der Verstärker einen kleinen Block 1 aus Germanium aufweisen, dessen Oberfläche 2 geätzt worden ist. Zusätzlich zu der Ätzbehandlung konnten zuweilen verbesserte Ergebnisse erhalten werden, wenn eine anödische Oxydation vorgenommen wurde. Zwei Elektroden 4, 5, die beide vorzugsweise als Metallspitzen ausgeführt sind, stehen mit der behandelten Oberfläche 2 zweckmäßig eng nebeneinander in Berührung. Sie können Anregungs- und Abnahmeelektrode genannt werden. Eine dritte Elektrode 6, die mit Basiselektrode bezeichnet wird, bildet mit der gegenüberliegenden Fläche des Blocks 1 einen Kontakt geringen Widerstandes. Dieser Kontakt kann aus einem metallischen Filmbelag bestehen. Eine kleine Vorspannungsquelle'7 von. geeigneter Polarität ist zwischen den Körper des Halbleiterblocks 1 und die Anregungselektrode 4 geschaltet, während eine stärkere Vorspannungsquelle 8 von entgegengesetzter Polarität den Körper des Blocks über einen Belastungswiderstand. 9 mit der Abnahmeelektrode 5 verbindet. Die Polaritäten dieser Spannungsquellen 7, 8 sind derart, daß die Elektrode 4 für die Leitung in Vorwärtsrichtung, die Elektrode 5 für die Leitung in umgekehrter Richtung vorgespannt sind. Die wirklichen Vorzeichen der Vorspannungsquellen, die diesen Bedingungen gerecht werden, hängen von dem Leitfähigkeitstyp (N-Typ oder P-Typ) des benutzten Halbleitermaterials ab. Im Falle von N-Typ-Germanium z. B. beträgt die Vorwärtsvorspannung der Anregungselektrode 4 angenähert ι Volt positiv, während die Vorspannung der Abnahmeelektrode 5 in umgekehrter Richtung etwa 50 Volt negativ beträgt.

In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ist eine abgerundete Spitze von. im wesentlichen kugeliger Form mit einem Durchmesser von etwa 0,05 bis 0,50 mm für die Anregungselektrode vorgesehen. Die runde Spitze ist am Ende eines leichten, steifen Stabes 10 angebracht oder herausgearbeitet; der Stab 10 ist so angeordnet, daß er durch mechanische Schwingungen in Bewegung versetzt wird. So kann z.B. ein Mikro-Diaphragma 11, welches durch einfallende akustische Schwingungen in Schwingung versetzt wird, die Form eines Kegels haben, an dessen Spitze das eine Ende des Stabes 10 befestigt ist.

Der Strom in dem Kreis der Abnahmeelektrode 5 und demgemäß in dem Belastungswiderstand 9 ist empfindlich gegenüber kleinen Schwankungen der an die Anregungselektrode 4 angelegten. Spannung, und ein verstärktes Abbild der Anregungsspannung und des Stroms erscheint in dem Ausgangskreis und an der Belastung 9. Die vorliegende Erfindung gründet sich auf der Entdeckung, daß die Vor-

richtung zusätzlich zu ihrer Empfindlichkeit gegenüber Änderungen der Anregungselektroden-Spannung auch stark empfindlich ist gegenüber Änderungen hinsichtlich der Art des Kontakts der Anregeelektrode. Wenn von dem Mikro-Diaphragmaii mechanische Schwingungen, wie z.B. akustische Schwingungen, aufgefangen und über den Stab ro zu fler kugeligen Anregungselektrode4übertragen werden und in wechselnder Folge den Druck dieser Elektrode auf die Fläche 2 vergrößern od:r verkleinern, so wird die Kontaktfläche abwechselnd vergrößert und verkleinert, und zwar in einem viel größeren Verhältnis und in einem viel größeren Ausmaß, als es der Bewegung des Verbindungs-Stabes 10 entspricht. Diese Wirkung ist in Fig. 3 veranschaulicht, wo gezeigt ist, daß bei starrer O!>ernäche 2 des Halbleiterblocks* 1 und kugeliger Elektrode 4 aus elastischem oder nachgiebigem Material eine kleine axiale Verschiebung des Stabes 10 um die Strecke d_t eine Änderung des Durchmessers der Kontaktfläche vom Wert C₁ auf einen wesentlich größeren Wert a.₂ zur Folge hat. Die wirkliche Kontaktfläche ändert sich natürlich im Verhältnis des Quadrats dieser Größen. Ein weiteres Kennzeichen der Anordnung nach Fig. 1 besteht¹ darin, daß eine Vergrößerung des Drucks der kugeligen Elektrode 4 auf die Halbleiterfläche 2 zusätzlich zu der Vergrößerung der Kontaktfläche einen Teil dieser Kontaktfläche näher an die Abnahmeelektrode 5 heranbringt. Es wurde festgestellt, daß der Strom der Abnahmeelektrode in einer Vorrichtung der angegebenen Art sehr empfindlich ist gegenüber einer Änderung des Abstandes zwischen Anregungselektrode und Abnahmeelektrode. Die Anordnung nach Fig. 1 macht von diesen beiden Wirkungen Gebrauch. Durch Vergrößerung der Kontaktfläche wird dafür gesorgt, daß ein größerer Strom von der Anregungselektrode 4 zum Block ι bei einer gegebenen Anregungselektrodenspannung fließt; die Heranführung eines Teils dieser Kontaktfläche in größere Nähe der Abnahmeelektrode 5 dient ebenfalls dazu, eine Erhöhung des Abnahmeelektrodenstroms zu bewirken, die auf der Verstärkung der Kopplung zwischen diesen beiden Elektroden beruht und vollständig neben der vorerwähnten Steigerung des Anregungselektrodenstroms erfolgt.

Jede kleine Unregelmäßigkeit in der Oberfläche des Blocks r kann die Schwankungen der Kontaktfläche der Anregungselektrode und des Elektrodenabstandes für eine gegebene Bewegung des Stabes 10 sprunghaft gestalten mit dem Ergebnis, daß der Ausgang der Vorrichtung mit Geräusch behaftet ist. Daher sollte die Blockoberfläche 2 so glatt wie möglieh sein, und es empfiehlt sich ein mechanisches oder elektrolytisches Polieren bzw. beide Arten der Behandlung. Verfahren für das elektrolytische Polieren verschiedener Oberflächen! sind in dem Aufsatz Electrolytic Polishing of Stainless Steel and other Metals von Otto Zmeskal beschrieben, der in Metal Finishing vom Juli 1945 auf Seite 280 veröffentlicht ist.

Es wurde festgestellt, daß sich als geeignetes Material für die Ainregungselektrode eine kleine Kugel aus Kohle mit einem Durchmesser von 0,05 bis 0,50 mm eignet, die nach irgendeinem der Verfahren hergestellt sein kann, die für die Herstellung von Kohlen-Körner-Mikrophonen bekanntgeworden sind. Ein Korn aus solchem Kohlenstoff von geeigneter Größe kann kugelig oder halbkugelig gestaltet werden, und zwar indem man es auf einer Juwelier-Drehbank mechanisch bearbeitet. Es wird dann zweckmäßig poliert. Eine andere zweckdienliche Ausführung der Anregungselektrode besteht aus einer kleinen Kugel aus einer Silicium-Verbindung, die mit einer dichten Haut aus Kohlenstoff überzogen ist. Die Quarz-Kugel und ihr Kohlenüberzug oder ihre Kohlenhaut kann entsprechend irgendeiner der verschiedenen bekannten Methoden hergestellt werden. Die fertige kugelige Elektrode kann man an einem Ende des Verbin^ dungsstabes 10 festlöten oder in eine Vertiefung, die am Ende des Stabes vorgesehen ist, hineinpressen oder in irgendeiner anderen geeigneten Weise befestigen.

Die Haupterfordernisse bestehen darin, daß die Anregungselektrode genügend elastisch und nachgiebig sein soll, um beträchtlichen Drücken zu widerstehen, denen sie während des Betriebes ausgesetzt ist, daß sie wenigstens an- der Oberfläche leidlich leitfähig ist, und daß sie keine festen Oxyde von hohem Widerstand aufweist. Sowohl Siliciumverbindungen als auch Kohle erfüllen alle genannten mechanischen Erfordernisse, und Kohle wird außerdem den elektrischen und chemischen Erfordernissen gerecht.

Fig. 2 veranschaulicht die Anwendung der Einrichtung nach Fig. 1 bei der Wiedergabe einer Tonaufzeichnung auf einem Tonschriftträger vom Typ mit Seitwärtsschnitt. Der Halbleiterblock 1, die zugehörigen. Elektroden 4', 5 und 6 und die äußeren Kreise 7, 8, 9 können die gleichen sein wie in Fig. 1. Die kugelförmigeAnregungselektTode 4'wird gegen die Fläche 2 des Halbleiterblocks gedrückt und gleichzeitig in Richtung zur Anregungselektrode 5 verschwenkt, und zwar mit Hilfe einer mechanischen Verbindung 12, an deren unterem Ende eine Tonabnehmernadel 13 befestigt ist. Diese Verbindung kann so angebracht sein, daß sie um einen geeigneten Punkt, der schematisch durch den Zapfen 14 angegeben ist und praktisch in bekannter Weise im Schalldosenarm angeordnet wird, schwingt. Eine Seitwärtsbewegung der Nadelspitze 13 unter dem Einfluß der wellenförmigen Bahn auf dem Lautschriftträger 15 bewirkt eine entsprechende Drehung der kugeligen Anregungselektrode 4' um den Schwenkpunlkt 14. Diese Bewegung kann zerlegt werden in eine axiale Komponente, welche den Druck und damit die Kontaktfläche unter der Anregungselektrode 4' verändert, und eine seitliche Komponente, welche das Bestreben hat, die Elektrode über die Fläche 2 des Blocks 1 zu rollen, wodurch deren Abstand von der Abnahmeelektrode 5 verringert'wird. Da alle Bewegungen der Anregungselektrode selbst äußerst klein sind im Verhältnis zu der Seitwärtsbewegung der Tonabnehmernadel,

wenn dieselbe der Tonspur einer üblichen Tonschriftaufzeichnung folgt, so kann es erwünscht sein, in dem Verbindungsstück 12 eine Feder 15 anzubringen, um die Entwicklung übermäßiger Kräfte andern Halbleiter-Oberflächenkontakt und zwischen der Anregungselekt'rode zu verhindern.

Verschiedene andere Elektrodenanordnungen und mechanische Antriebe können in Verbindung mit Halbleiterverstärkern nach Fig. 1 und 2 Verwendung finden. Einige davon sind im Fig. 4, 5 und 6 dargestellt und sollen in Verbindung damit erläutert werden.

Fig. 4 zeigt einen Halbleiterverstärker anderer Ausf ührungsform, wobei die Anregungselektrode 24 und die Abnahmeete-ktrode 25 auf gegenüberliegenden Seiten eines Blocks 21 aus Halbleitermaterial angebracht sind, und zwar an der dünnsten Stelle desselben, während ein metallener Umfassungsbelag oder Ring 26 als Basiselektrode dient.

Eine solche Ausführung bildet keinen Teil der vorliegenden Erfindung, mit Ausnahme des Umstandes, daß es zwecks Verwendung als elektromechanisches Übertragungssystem vorgezogen wird, eine kugelige Anregungselektrode 24 vorzusehen und dieselbe in leichter Versetzung gegenüber der Abnahmeelektrode 25 in ihrer Ruhelage anzuordnen. Wenn das Material des Blocks 21 das gleiche ist wie dasjenige des Blocks 1 nach Fig. 1, so können die Vorspannungsquellen und äußeren Kreise ebenso die gleichen sein. Wie im Falle der Fig. 1 kann die Anregungselektrode 24 in irgendeiner geeigneten Weise an ein Mikrophon-Diaphragma gekuppelt sein, beispielsweise durch Befestigung des einen Endes eines leichten, starren Stabes 10 an die Spitze eines konischen Diaphragmas 11 und durch Befestigung der kugeligen Elektrode 24 an dem anderen Ende des Stabes. Bei Betätigung des Diaphragmas 11, z.B. durch auftreffende akustische Schwingungen, wird die Kraft, mit welcher die Elektrode 24 an der Fläche des Halbleiterblocks 21 anliegt, wechselweise vergrößert und verkleinert, und demgemäß verändert sich die Kontaktfläche in der im Zusammenhang mit Fig. 1 und 2 beschriebenen Weise. Wenn die Anregungselektrode 24 gegenüber der Abnahmeelektrode 25 leicht versetzt ist, wie es Fig. 4 zeigt, so bewirkt diese Druckschwankung gleichzeitig eine Veränderung der Länge des kürzesten Stromweges von dem Kontakt der Anregungselektrode zum Kontakt der Abnahmeelektrode und damit der Kopplung zwischen diesen beiden· Elektroden.

Da die Anregungselektrode und die Abnahmeelektrode auf entgegengesetzten Seiten des Blocks 21 liegen, so besteht keine Möglichkeit einer gegenseitigen mechanischen Störung; die kugelige Elektrode 24 kann daher wesentlich größer sein als die Elektroden 4 und 4' der Fig. 1 und 2. Sie kann beispielsweise einen Durchmesser von etwa 0,25 bis 2,5 mm aufweise».

Fig· 5 zeigt eine Anordnung, bei welcher der Kontakt der Anregungselektrode 24 dadurch beeinflußt oder geändert wird, daß seine Lage mit Bezug auf die Abnahmeelektrode 25 eine Änderung erfährt, und zwar ohne Änderung ihres Drucks oder ihrer Fläche. Die Bewegung des Anregungselektrodenkontaktes wird durch eine Tonabnehmernadel 33 hervorgerufen, die in einer Rille eines Tonschriftträgers 34 vom Typ mit Vertikalschnitt läuft. Die Arbeitsweise beruht darauf, daß axiale Bewegungen j der Nadel 33 mittels eines Verbindungsstabes 35 j übertragen werden, der durch mechanisch; Führungen 36 an anderen Bewegungen gehindert ist. ! Die Bewegungen wirken auf die Anregungselektrode 24, welche demgemäß über die Fläche 22 d:s Halbleiterblocks 21 gleitet, und zwar in Übereinstimmung mit den Bewegungen der Nadel. Der Block und die zugehörigen Kreise können im übrigen die gleichen sein wie in Fig. 4. Das Arbeitsprinzip gemäß Fig. 5 kann natürlich gleich gut Anwendung finden, \im die Anregungselektrode 4 über die Fläche eines unsymmetrischen Halbleiterverstärkers von der in Fig. 1 und 2 gezeigten Art zu führen und um diese Bewegung mittels einer geeig-, neten Verbindung durch die Bewegung einer Nadel hervorzurufen, die in einer Tonschriftaufzeichnung vom Typ mit Seitwärtsscbnitt läuft, oder durch ein von Sprechschwingungen betätigtes Diaphragma oder im anderer gewünschter Weise zu bewirken.

Die reinen Gleitbewegungen der Anregungselektrode 24 auf der Fläche des Blocks gemäß Fig. 5 könnten wegen der unvermeidlichen Abnutzung sowohl der Blockoberflädie 22 als auch der Anregungselektrode 24 bedenklich sein. Um eine solche Abnutzung zu verringern, kann es sich empfehlen, eine Roll- oder Kippbewegung der Anregungselektrode anzuwenden«. Zu diesem Zweck kann eine Ausführung etwa gemäß Fig. 6 angewendet werden, bei welcher die Anregungselektrode die Form eines Sektors einer scharfkantigen Scheibe 44 hat, deren Durchmesser um ein weniges kleiner ist als derjenige der konkaven Oberfläche des Halbleiterblocks, und welche deshalb mit der genannten Fläche an einer Stelle in Berührung steht, welche sich bewegt, wenn der Block gekippt wird. Die Anr regungselektrode 44 kann in einer normalen Ruhelage gehalten werden, in welcher ihr Kontaktpunkt gegenüber dem Halbleitermaterial'ein wenig gegenüber der Abnahmeelektrode 25 versetzt ist, und zwar mit Hilfe einer Haltefeder 46, die zugleich als elektrische Verbindung zu der Vorspannungsquelle 7 dienen kann. Die Elektrode kann veranlaßt werden, auf der Oberfläche des Blocks 21 eine Schaukelbewegung auszuführen, und zwar vermittels einer geeigneten, leichten, starren, mechanischen Verbindung 10, die zu einem durch akustische Schwingungen betätigten Diaphragma 11, einer Tonabnehmernadel oder irgendeiner anderen Schwingungsquelle führt.

Wie im Falle der Fig. 5 können reine Kippbewegungen, wie sie mittels einer Ausführung gemaß Fig. 6 erhalten werden, gut Anwendung finden in Verbindung mit unsymmetrischen Halbleiterverstärkern, entsprechend Fig. 1 und 2.

Die Erfindung ist erläutert worden mit der Unterstellung, daß im Falle von Druckschwankungen die Anregungselektrode selbst eine Deformation er-

fahrt, während die Oberfläche des Halbleiterblocks ι unverändert bleibt. Solche Deformationen sind bestenfalls mikroskopisch klein, und es ist nicht bekannt, bis zu welchem Ausmaß das λίΗίε^Ι des HalbLiters tatsächlich selbst durch die Einwirkung d.r veränderlichen Drucke der Anregungselektrode deformiert wird. Die Erfindung soll daher natürlich nicht so verstanden werden, als sei sie auf die Deformation irgendeines der Glieder im ίο Vergleich zu den anderen beschränkt oder auf irgendeine der besonderen, dargestellten und beschriebenen Formen, die lediglich der Erläuterung dienen sollen.

Claims (7)

Patentansprüche:

1. Elektromechanisches Ül>ertragungssystem mit einer Quelle mechanischer Schwingungen und einem Halbleiterverstärker, der einen HaIbleiterblock und wenigstens drei Elektroden aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Quelle mechanischer Schwingungen direkt mit der Anregungselektrode gekoppelt ist derart, daß der Kontakt dieser Elektrode mit dem Halbleiterblock sich entsprechend den mechanischen Schwingungen ändert, und daß Anregungselektrod'e (4, 4', 24, 44) und! Abnahmeelektrode (5, 25) so auf dem Halbleiterblock (6, 26) angeordnet sind, daß die Kontaktänderungen der Anregungselektrode eine Änderung des Stroms im Kreise der Abnahmeelektrode hervorrufen.

2. Übertragungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Schwingungsquelle aus einem Schallaufnehmer für akustische Schwingungen (11) besteht.

3. Schall - Übertragungssystem nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Schwingungsquelle aus einer Tonabnehmernadel (13, 33) besteht¹.

4. Übertragungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anregungselektrode im wesentlichen! kugelige Form hat und auf einem leichten, steifen Stab (10, 12, 35) befestigt ist, der so angeordnet ist, daß er durch die mechanische Schwingungsquelle in Längs- oder Schwenkbewegungen versetzt wird.

5. Übertragungssystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Anregungselektrode materialmäßig so ausgeführt ist, daß sich ihre Berührungsfläche mit dem Halbleiterblock entsprechend ihren Bewegungen ändert.

6. Übertragungssystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Anregungselektrode einen merklichen Druck auf den HaIbleiterblock auswirkt und materialmäßig so ausgeführt ist, daß im wesentlichen eine Änderung des Druckes sich entsprechend ihren Bewegungen ergibt.

7. Übertragungssystem nach Anspruch 1 bis

4, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterblock eine konkav gekrümmte Oberfläche hat, und daß die Anregungsel'ektrode mit der gekrümmten Fläche in Berührung steht und formmäßig so ausgebildet ist, daß sie sich entsprechend den Änderungen' der mechanischen Schwingungen¹ längs dieser Fläche bewegt.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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