DE1466152A1 - Keramischer piezoelektrischer Schwinger und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Keramischer piezoelektrischer Schwinger und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
- Publication number
- DE1466152A1 DE1466152A1 DE19651466152 DE1466152A DE1466152A1 DE 1466152 A1 DE1466152 A1 DE 1466152A1 DE 19651466152 DE19651466152 DE 19651466152 DE 1466152 A DE1466152 A DE 1466152A DE 1466152 A1 DE1466152 A1 DE 1466152A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- piezoelectric
- ceramic piezoelectric
- oscillator
- ceramic
- elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 33
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims description 5
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
- H10N30/045—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead-based oxides
- H10N30/8554—Lead-zirconium titanate [PZT] based
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
OV »» M ··, »· ·1 ■■
A 2265 2. Februar I965
EM/Ha/Sch.
KABUSHIKI KAISHA HITACHI SEISAKUSHO, 4,1-Chome, Marunouchi,
Chiyoda-Ku, Tokyo-To, Japan
Keramischer piezoelektrischer Schwinger und Verfahren zu seiner Herstellung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf piezoelektrische Schwinger und insbesondere auf neuartige keramische
piezoelektrische Schwinger mit hervorragenden Eigenschaften sowie ein Verfahren zu deren Herstellung.
In den letzten Jahren sind in weitem Umfang beispielsweise
als Schwinger für Tonabnehmer piezoelektrische Schwinger der Zweielementbauart benutzt worden (beispielsweise
unter der Marke "Bimorph" der Brush Development Company).
In Verbindung mit piezoelektrischen Zweielement-Echwingern haben sich verschiedene Schwierigkeiten gezeigt,
die hauptsächlich durch den Aufbau derselben bedingt sind,
— 2 —
909821/0284
SAD
wie noch vollständig beschrieben wird. Die vorliegende Er- ·
findung bezweckt in erster Linie eine Überwindung dieser Schwierigkeiten.
Im einzelnen bezweckt die vorliegende Erfindung die Schaffung eines piezoelektrischen Schwingers mit einer
Gesamtkonstruktion, die keine mechanische Verbindung oder keinen elektrischen Anschluß der Oberfläche der verschiedenen
§ piezoelektrischen Elemente erfordert.
Weiterhin bringt die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen piezoelektrir
Schwingers in Vorschlag.
Weitere Ziele und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung.
Nach der vorliegenden Erfindung wird ein piezoelektrischer Schwinger vorgeschlagen, der in seinem Gesamtaufbau
ein keramisches piezoelektrisches Element umfaßt, in dem durch chemische Reduktion des genannten Elementes eine
Zwischenschicht gebildet ist.
Durch die Erfindung wird ferner ein Verfahren zur Herstellung piezoelektrischer Schwinger vorgeschlagen, wonach
30982 1/0264
BAD ORIGINAL
ein keramisches piezoelektrisches Element einer chemischen Reduktion unterworfen wird, wonach sodann durch Oxydation
auf der Oberfläche dieses Elementes eine Oxydationsschicht
erzeugt wird, worauf diese Oxydationsschicht polarisiert wird.
Die vorliegende Erfindung dient der Schaffung verschiedener Ausführungsformen von keramischen piezoelektrischen
Schwingern sowie eines Verfahrens zur Herstellung derselben.
Wesen, Grundgedanke und Einzelheiten der Erfindung werden anhand der folgenden Beschreibung in Verbindung mit
der zugehörigen Zeichnung, worin Jeweils entsprechende Teile mit gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind, noch deutlicher
offenbar. Bs stellen dar:
Fig. 1 eine vereinfachte Ansicht einer Anwendungsform
eines piezoelektrischen Schwingers,
Fig. 2 und 5
• vereinfachte perspektivische Ansichten bevorzugter AusfUhrungsformen von Schwingern
nach der Erfindung,
Fig. 4 und 5
entsprechende perspektivische Ansichten weiterer Ausführungsformen der Erfindung und
9098 2 1/0264
ORIGINAL
Fig. 6 und 7
perspektivische Ansichten weiterer Ausführungsformen.
Ein piezoelektrischer Schwinger der Zweielementbauart 1st so konstruiert, daß beispielsweise zwei Schwingerelemente
mit jeweils gleichgerichteter piezoelektrischer Achse, jedoch entgegengesetzter Ausrichtung derselben miteinander
verbunden sind, öo daß sich eine spiegelbildliche " Anordnung ergibt. Eine praktische Ausführungsform eines derartigen
Schwingers ist die Biegeschwingerbauart, welche nach Fig. 1 in der beschriebenen Weise miteinander verbundene
piezoelektrische Elemente 1 und 2 umfaßt. Wenn ein derartiger piezoelektrischer Schwinger an einem Ende 5 fest eingespannt
wird und auf das jeweils andere Ende in der bezeichneten Weise eine Kraft 4 einwirkt, wird das Element 1 einer
Zugspannung und das Element 2 einer Druckspannung ausgesetzt. Da die elektrischen Achsen der piezoelektrischen Elemente 1
und 2 einander entgegengesetzt sind, werden in den beiden Schwingerelementen elektrische Felder jeweils gleicher Richtung
erregt, so daß man eine große piezoelektrische Ausgangsspannung erzeugen kann.
Da Dicke, Breite und Länge dieser piezoelektrischen Schwinger infolge des Verwendungszweckes, der Werkstoffestig-
- 5 90982 1 /026 4.
keit und der Resonanzfrequenz Begrenzungen unterliegen und da außerdem die Dicken der piezoelektrischen Elemente infolge
der elektrischen Kapazität begrenzt sind, benötigt man piezoelektrische Schwinger, die beiden Bedingungen genügen.
Wenn eine große elektrische Kapazität sowie eine hohe Resonanzfrequenz erforderlich sind, muß man die Dicken der
piezoelektrischen Elemente herabsetzen. Da in diesem Fall die piezoelektrischen Elemente dünn werden, setzt man nach
der herkömmlichen Bauart.als Träger für die beiden Elemente, einen guten Leiter zwischen dieselben. Als piezoelektrische
Elemente finden hauptsächlich keramische piezoelektrische Elemente wie beispielsweise Bleititanat-Zirkonat Verwendung.
Das weitgehend benutzte Verfahren ZAr Verbindung dieser . Elemente beruht auf einem Löten. Da jedoch eine Lötverbindung
benutzt wird, ist die Bindefestigkeit gering, und die AusgangsVerluste in der Bindungsfläche können nicht vernachlässigt
werden. Demzufolge kann man keine befriedigenden 3chwingerkennlinien erhalten.
Da für die vorerwähnten Leiter hauptsächlich Metallplatten benutzt werden, sind die von Durchbiegungen herrührenden
bleibenden Verformungen groß, und außerdem sind infolge der verschiedenen Werkstoffe Unterschiede in den Materialkonstanten
wie beispielsweise dem Ausdehungskoeffizienten und dorn Elastizitätsmodul vorhanden. Man kann daher
9098 2 1/0264 ,
mit solchen Schwingern keine befriedigenden Schwingerkenn- ■
linien erhalten. Außerdem führt bei der Herstellung der durch das Löten bedingte Temperaturanstieg in vielen Fällen
zu Verwerfungen und ähnlichen Verformungen, so daß es nach dem Stand, der Technik schwierig ist, Erzeugnisse hoher
Qualität zu erzeugen.
Die vorliegende Erfindung betrifft die Uberwindung der genannten Schwierigkeiten durch Schaffung eines
piezoelektrischen Schwingers mit einem keramischen piezoelektrischen Element, das eine chemisch reduzierte Zwischenschicht
enthält, wie unten unter Bezugnahme auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung im einzelnen beschrieben ist.
Die Fig. 2 und 3 zeigen den grundsätzlichen Aufbau des erfindungsgemäßen Schwingers. Der Schwingeraufbau
besteht aus Bleititanat-Zirkonat-Schichten 22 und 23 (im
folgenden als Oxydschichten bezeichnet) sowie einer Zwischenschicht 21 aus chemisch reduziertem Bleititanat-Zirkonat.
Die eingezeichneten Pfeile geben jeweils die Polarisationsrichtungen
an. In einer abgeänderten Ausführungsform nach
Fig. 3 sind an einem Ende des piezoelektrischen Schwingers die Oxydschichten abgetragen, so daß ein Teil 21& der Zwischenschicht
freigelegt wird, wodurch die Befestigung von
— 7 —
900821/0264"
Anschlußleitungen in dem Fall erleichtert wird, wo die
Oxydschichten 22 und 25 parallel geschaltet werden sollen.
Nunmehr soll das Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Schwingers unter Bezugnahme
auf das folgende bevorzugte Ausfühnungsbeispiel beschrieben werden.
Ein Stück Bleititanat-Zirkonat wird in Form einer
dünnen Schicht von 65OU, Dicke hergestellt. Dasselbe wird bei
einer Temperatur von 800° C 15 min lang zur Reduktion der gesamten Schicht In einem Wasserstoffgasstrom behandelt. Sodann
wird die Schicht bei einer Temperatur von 6500 C für eine Dauer von zwei Stunden in einem Sauerstoffgasstrom
oxydiert, wobei die Oxydation von der Oberflächenschicht aus ins Innere voranschreitet und wodurch auf der Oberfläche
eine 15O/U dicke Oxydschicht gebildet wird. Sodann wird
diö Schicht auf die entsprechende Breite und Länge zurechtgeschnitten.
Schließlich wird zur Erzeugung einer Polarisation zwischen Zwischenschicht 21 und Oxydsohichten 22 und
23 eine Spannung angelegt, wodurch man den fertigen piezoelektrischen
Schwinger erhält.
Nach einem ähnlichen Verfahren kann man piezoelektrische Schwinger nach den Fig. 4 und 5 für hochwertige
909821/0264
stereophonische Plattenspieler herstellen. Diese Schwinger
umfassen jeweils reduzierte Schichten 41 und 51, Oxydschichten 42 und 52 sowie jeweils auf die Oberflächen der
Oxydschichten kontaktierte Elektroden 4j, 44, 53, 54 bzw.
55· Diese piezoelektrischen Schwinger können folglich durch Reduktion reduzierbarer keramischer piezoelektrischer Elemente
geeigneter Größe und Form, nämlich eines rechteckförmigen Stabes bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 4
bzw. eines hohlzylinderförmigen Stabes bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 5, und anschließende Oxydationsbehandlung
ähnlich dem oben erläuterten Beispiel hergestellt werden, wobei schließlich die Elektroden symmetrisch auf die betreffenden
Oberflächen der Oxydschichten aufgebracht werden und. sodann eine Polarisation erzeugt wird. Im Fall eines
Hohlzylinders nach Fig. 5 kann die Innenfläche in der erforderlichen Dicke reduziert werden, nachdem das keramisehe
piezoelektrische Material in einen Zylinder geformt ist.
Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung nach Fig. 6 wird ein keramisches piezoelektrisches Material
in Form einer ebenen Platte einer Reduktionsbehandlung ausgesetzt, worauf die gesamte Oberflächenschicht oxydiert wird.
Somit erhält man eine reduzierte Schicht 61 und eine Oxyd-
909821/0264
schicht 62. Sodann werden einerseits eine Elektrode 63
durch Aufziehen einer dünnen Metallfolie auf die Oxydschioht
62 sowie anderseits eine Elektrode 64 durch Verbinden einer Leiterplatte mit der reduzierten Schicht
geschaffen.
Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung
nach Fig. ? wird eine Oberfläche eines jeden der beiden piezoelektrischen Elemente reduziert«und sodann werden
die beiden reduzierten Oberflächen der beiden Elemente miteinander verbunden. Der so hergestellte Schwinger
besitzt Qxydschiohten 7! und 73* welche jeweils aus einer
Einzelschicht aus oxydiertem piezoelektrischem Material bestehen«sowie reduzierte Schichten ?2 bzw. 74. Wenn man
auch in diesem Fall die beiden reduzierten Schichten 72
und 74 miteinander verbinden muß, hat dies doch keinen
nachteiligen Einfluß auf die Kennlinien» da die beiden Schichten längs der neutralen Zone der Gesamtanordnung
miteinander verbunden sind. Somit kann man einen piezoelektrischen Schwinger der Zweielementbauart herstellen.
Die Herstellung eines Schwingers mit. dem oben
erläuterten Aufbau ist deshalb möglich, weil sein Widerstand durch Heduktioa des BleititaöÄt-lirkonat leicht herab-
909821/0264
gesetzt werden kann, wobei man einen Widerstand in der Größe von 10" J. 1/crn erhalten kann, und da man eine thermoelektrische
Kraft von ^O , V/°C und einen Temperaturkoeffizienten
—2
von weniger als 10 erreichen kann. Es ist ferner selbstverständlich,
daß der erfindungsgemäße Aufbau in entsprechender Weise auch bei anderen ferroelektrisehen Keramika
als Bleititanat-Zirkonat wie beispielsweise solchen der BaTiO^-Gruppe bzw. der NaNbO-,-Gruppe zur Anwendung kommen
kann. Dieselben Erfolge lassen sich auch dann erwarten, wenn oxydierte und reduzierte Schichten in weiterem Sinne benutzt
werden, deren Leitfähigkeit durch den Zusatz eines Elementes beeinflußt wird, beispielsweise wenn eine reduzierte
Schicht im weiteren Sinne aus BaTiO-, oder einer ähnlichen Verbindung mit einem Zusatzelement wie Zinn benutzt
wird.
Nach der oben beschriebenen Ausführungsweise der
Erfindung ist es nicht erforderlich, zwei Schwingerelemente miteinander zu verbinden, welche getrennt hergestellt werden,
wie dies zur Herstellung eines piezoelektrischen Schwingers nach dem Stand der Technik erforderlich war. Eine mechanische
Verbindung oder elektrische Anschlüsse für die miteinander verbundenen Oberflächen sind nicht erforderlich, und die
von der mechanischen Verbindung oder den in den miteinander
909321/0264
U66152
- li -
verbundenen Oberflächen auftretenden Ausgangsverlusten herrührenden
Schwierigkeiten treten nicht auf.
Außerdem werden nach der vorliegenden Erfindung Verschlechterungen der Schwingerkennlinie infolge der beim
Löten nicht zu vermeidenden Erwärmung ausgeschaltet. Die Erfindung bedeutet eine Vereinfachung des Herstellungsverfahrens.
Zudem kann man leicht Oxydschichten einer jeweils gewünschten Dicke innerhalb eines Bereiches von 320/'' bis in
die Größenordnung von Angström bilden, nach dem erfindungsgemäßen Verfahren können insbesondere leicht außerordentlich
dünne Zweielementschwinger hergestellt werden.
Ein weiterer Vorteil der Erfindung liegt darin, daß Materialkonstanten wie der Ausdehnungskoeffizient und
der Elastizitätsmodul im wesentlichen keine Änderung erleiden, da sich die Kristallstruktur des piezoelektrischen
Materials, beispielsweise des Bleititanat-Zirkonat bei der Behandlung, d. h. in der Oxydschicht und der reduzierten
Schicht, nicht ändert. Infolgedessen werden durch Unterschiede dieser Materialkonstanten bedingte Nachteile, welche
zu Schwierigkeiten geführt hatten, völlig vermieden.
Ein weiterer Vorteil liegt darin, daß die Her-90982 1/02 64
Stellung piezoelektrischer Schwinger für hochwertige stereophon!
sehe Klanganordnungen vereinfacht und erleichtert wird und nicht umständliche Schritte zum Aufbau derselben erfordert.
Somit wird durch die vorliegende Erfindung ein piezoelektrischer Schwinger mit zahlreichen vorteilhaften
Merkmalen geschaffen, die mit bekannten ähnlichen Schwingern nicht erzielt werden konnten. Der erfindungsgemäße Schwinger
kann zudem in einfacher Weise und mit vergleichsweise geringen Kosten leicht hergestellt werden. Er ist innerhalb
einer Vielzahl von Anordnungen,wie beispielsweise Kopfhörern,
Lautsprechern, Mikrophonen und Telephonen,mit gutem Erfolg anwendbar.
Selbstverständlich bezieht sich die vorstehende Offenbarung nur auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung,
und die Erfindung umfaßt alle Änderungen und Abwandlungen der hier zum Zwecke der Offenbarung ausgewählten
AusfUhrungsbeispiele der Erfindung, die nicht von dem Wesen
und Grundgedanken der Erfindung abweichen.
909821/0264
Claims (4)
1.) Piezoelektrischer Schwinger, gekennzeichnet durch einen Qesanitaufbau aus einem keramischen piezoelektrischen
Element, in dem durch chemische Reduktion eine Zwischenschicht erzeugt ist.
Element, in dem durch chemische Reduktion eine Zwischenschicht erzeugt ist.
2. Piezoelektrischer Schwinger, gekennzeichnet durch
einen keramischen piezoelektrischen Gesamtkörper, in welchem
ein chemisch reduzierter Bereich von einer keramischen
piezoelektrischen Oberflächenschicht mit mindestens einen
Elektrodenpaar umgeben ist.
piezoelektrischen Oberflächenschicht mit mindestens einen
Elektrodenpaar umgeben ist.
3. Verfahren zur Herstellung piezoelektrischer Schwinger, wonach ein keramischer piezoelektrischer Körper einer
chemischen Reduktion ausgesetzt wird, worauf die Oberfläche des Körpers zur Bildung einer Oxydschicht oxydiert wird
chemischen Reduktion ausgesetzt wird, worauf die Oberfläche des Körpers zur Bildung einer Oxydschicht oxydiert wird
und schließlich die Oxydschicht polarisiert wird. *
4. Piezoelektrischer Schwinger, gekennzeichnet durch zwei keramische piezoelektrische Elemente mit je einer
chemisch reduzierten Oberfläche, wobei diese Kiemente durch
chemisch reduzierten Oberfläche, wobei diese Kiemente durch
909821/0264
Verbindung ihrer jeweiligen chemisch reduzierten Oberflächen miteinander vereinigt sind.
5· Verfahren zur Herstellung, piezoelektrischer Schwinger,
gekennzeichnet durch chemische Reduktion je einer Oberfläche zweier keramischer piezaoelektrischer Elemente sowie
durch Vereinigung der genannten Elemente durch miteinander
Verbinden ihrer jeweiligen reduzierten Oberflächen.
durch Vereinigung der genannten Elemente durch miteinander
Verbinden ihrer jeweiligen reduzierten Oberflächen.
909821/0264
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP574364 | 1964-02-05 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1466152A1 true DE1466152A1 (de) | 1969-05-22 |
DE1466152B2 DE1466152B2 (de) | 1972-05-10 |
Family
ID=11619568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19651466152 Pending DE1466152B2 (de) | 1964-02-05 | 1965-02-03 | Piezoelektrischer biegeschwinger der bimorphbauart und verfahren zur herstellung desselben |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3447217A (de) |
DE (1) | DE1466152B2 (de) |
GB (1) | GB1096783A (de) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3958161A (en) * | 1973-03-12 | 1976-05-18 | Battelle Development Corporation | Method of controlling the polarization condition of transducers |
US4198140A (en) * | 1977-07-18 | 1980-04-15 | Eastman Kodak Company | Piezoelectric camera shutter |
JPS6048112B2 (ja) * | 1979-05-02 | 1985-10-25 | ソニー株式会社 | 電気・機械変換素子 |
FR2503515B1 (fr) * | 1981-04-01 | 1985-12-27 | Klein Siegfried | Haut-parleur omnidirectionnel pour les frequences aigues du spectre sonore |
US4769570A (en) * | 1986-04-07 | 1988-09-06 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Piezo-electric device |
GB8802506D0 (en) * | 1988-02-04 | 1988-03-02 | Am Int | Piezo-electric laminate |
US5225731A (en) * | 1991-06-13 | 1993-07-06 | Southwest Research Institute | Solid body piezoelectric bender transducer |
US5471721A (en) * | 1993-02-23 | 1995-12-05 | Research Corporation Technologies, Inc. | Method for making monolithic prestressed ceramic devices |
JP4802469B2 (ja) * | 2004-09-14 | 2011-10-26 | 富士ゼロックス株式会社 | 液滴吐出装置 |
DE102005008511B4 (de) * | 2005-02-24 | 2019-09-12 | Tdk Corporation | MEMS-Mikrofon |
DE102005008514B4 (de) * | 2005-02-24 | 2019-05-16 | Tdk Corporation | Mikrofonmembran und Mikrofon mit der Mikrofonmembran |
DE102005008512B4 (de) * | 2005-02-24 | 2016-06-23 | Epcos Ag | Elektrisches Modul mit einem MEMS-Mikrofon |
DE102005053767B4 (de) * | 2005-11-10 | 2014-10-30 | Epcos Ag | MEMS-Mikrofon, Verfahren zur Herstellung und Verfahren zum Einbau |
DE102005053765B4 (de) * | 2005-11-10 | 2016-04-14 | Epcos Ag | MEMS-Package und Verfahren zur Herstellung |
DE102013106353B4 (de) * | 2013-06-18 | 2018-06-28 | Tdk Corporation | Verfahren zum Aufbringen einer strukturierten Beschichtung auf ein Bauelement |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2376219A (en) * | 1944-01-28 | 1945-05-15 | Gen Electric | Fabrication of quartz resonators |
US2493461A (en) * | 1944-05-04 | 1950-01-03 | Harvey Wells Communications In | Means and method of forming piezo-electric crystals |
US2479286A (en) * | 1944-11-21 | 1949-08-16 | Bliley Electric Company | Production of piezoelectric crystals |
US2633543A (en) * | 1948-04-19 | 1953-03-31 | Gulton Mfg Corp | Bimorph element |
US2640165A (en) * | 1948-05-29 | 1953-05-26 | Gulton Mfg Corp | Ceramic transducer element |
NL87557C (de) * | 1948-12-28 | |||
US2768421A (en) * | 1952-05-17 | 1956-10-30 | Clevite Corp | Method of making circuit connections to a transducer unit |
US2893107A (en) * | 1952-08-07 | 1959-07-07 | Bell Telephone Labor Inc | Barium titanate as a ferroelectric material |
US2928163A (en) * | 1955-08-11 | 1960-03-15 | Clevite Corp | Polarization of titanate ceramics |
-
1965
- 1965-01-27 US US428390A patent/US3447217A/en not_active Expired - Lifetime
- 1965-02-02 GB GB4515/65A patent/GB1096783A/en not_active Expired
- 1965-02-03 DE DE19651466152 patent/DE1466152B2/de active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1096783A (en) | 1967-12-29 |
US3447217A (en) | 1969-06-03 |
DE1466152B2 (de) | 1972-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2297798B1 (de) | Verfahren zur abstimmung einer resonanzfrequenz eines piezoelektrischen bauelementes | |
DE10042185B4 (de) | Piezoelektrischer elektroakustischer Wandler | |
DE4202650C2 (de) | Piezoelektrische bimorphe Einrichtung und Verfahren zum Treiben einer piezoelektrischen bimorphen Einrichtung | |
DE1466152A1 (de) | Keramischer piezoelektrischer Schwinger und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE3607048C2 (de) | ||
DE3501808C2 (de) | ||
DE69215599T2 (de) | Biegsame piezoelektrische Vorrichtung | |
DE69305315T2 (de) | Piezoelektrischer Transformator mit verbesserter Elektrodenanordnung | |
DE808006C (de) | Piezoelektrischer Umformer | |
DE2719172A1 (de) | Elektro-mechanischer umformer | |
DE69316693T2 (de) | Piezoelektrische Kopfbetätigungsvorrichtung | |
DE3439184A1 (de) | Ultraschallreinigungstank und verfahren zu seiner herstellung | |
DE19922148A1 (de) | Piezoelektrisches akustisches Bauteil | |
DE1913979A1 (de) | Flachlautsprecher mit piezoelektrischen Antriebselementen | |
DE3008638A1 (de) | Kondensatormikrophon | |
DE3245658A1 (de) | Piezoelektrisches resonanzelement, verfahren zur herstellung desselben und piezoelektrische resonanzeinrichtung mit demselben | |
DE4005184C2 (de) | ||
DE4017023C2 (de) | Piezoelektrische Vorrichtung mit Schwingungsrichtung in Dickenerstreckung und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE2255432A1 (de) | Piezoelektrischer resonator | |
DE10231929B4 (de) | Piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung und piezoelektrisches Betätigungsglied, das unter Verwendung derselben gebildet ist | |
DE2019780A1 (de) | Verfahren zum nachtraeglichen Abgleichen der Laufzeit von elektroakustischen Verzoegerungsleitungen auf piezoelektrischen Keramiksubstraten | |
DE2615593A1 (de) | Ultraschallkeramikmikrophon | |
DE19910368A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Resonators | |
DE19840515A1 (de) | Piezoelektrisches Element und ein dieses Element verwendendes piezoelektrisches Bauteil | |
DE10041306A1 (de) | Piezoelektrische Filtervorrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
SH | Request for examination between 03.10.1968 and 22.04.1971 |