JPS6048112B2 - 電気・機械変換素子 - Google Patents
電気・機械変換素子Info
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- JPS6048112B2 JPS6048112B2 JP54054266A JP5426679A JPS6048112B2 JP S6048112 B2 JPS6048112 B2 JP S6048112B2 JP 54054266 A JP54054266 A JP 54054266A JP 5426679 A JP5426679 A JP 5426679A JP S6048112 B2 JPS6048112 B2 JP S6048112B2
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
- H04R17/04—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus
- H04R17/08—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus signals being recorded or played back by vibration of a stylus in two orthogonal directions simultaneously
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電気的信号を機械的変位に変換する電気・
機械変換素子、例えばバイモルフに係わる。
機械変換素子、例えばバイモルフに係わる。
近時、磁気記録再生装置（ＶＴＲ）において、その記
録密度をできるだけ上げるために、記録トラックの幅を
できるだけ幅狭とする努力がなされているが、このよう
にトラック幅を狭くするものにあつては、これに伴つて
、再生磁気ヘッドの記録トラックに対する位置関係には
、より高い正確さが要求される。
録密度をできるだけ上げるために、記録トラックの幅を
できるだけ幅狭とする努力がなされているが、このよう
にトラック幅を狭くするものにあつては、これに伴つて
、再生磁気ヘッドの記録トラックに対する位置関係には
、より高い正確さが要求される。
そして、この位置関係を単に装置の機械的精度に依存さ
せることは、技術的に困難であるか、或いは可成りのコ
スト高を招来するので、電気・機械変換素子を用い、こ
れによつて磁気ヘッドの記録トラックに対する位置関係
を、常時、所定の関係に制御する方法が採られる。即
ち、磁気ヘッドを、電気・機械変換素子に機械的に連結
し、この素子に磁気ヘッドと記録トラックとの位置関係
の変化から生ずる再生信号の変化による電気信号を、磁
気ヘッドが、常時、記録トラックに対し正しい位置関係
にあるように設定す る。 通常、このようなＶＴＲの
トラッキングサーボに用いられるバイモルフ素子は、低
い電圧で大きな変位置が得られる必要がある。
せることは、技術的に困難であるか、或いは可成りのコ
スト高を招来するので、電気・機械変換素子を用い、こ
れによつて磁気ヘッドの記録トラックに対する位置関係
を、常時、所定の関係に制御する方法が採られる。即
ち、磁気ヘッドを、電気・機械変換素子に機械的に連結
し、この素子に磁気ヘッドと記録トラックとの位置関係
の変化から生ずる再生信号の変化による電気信号を、磁
気ヘッドが、常時、記録トラックに対し正しい位置関係
にあるように設定す る。 通常、このようなＶＴＲの
トラッキングサーボに用いられるバイモルフ素子は、低
い電圧で大きな変位置が得られる必要がある。
特にトラック幅の広いＶＴＲにおいては、数１００〜６
００μｍ程度の大きな変位置が要求される。 通常のバ
イモルフ素子は、第１図に示すように、夫々両主面に電
極１が被着された２枚の圧電体板２が、これら圧電体板
２間に介在させたシム板と呼称される板状部材４に夫々
接着剤３によつて接着されて積層されて成る。
００μｍ程度の大きな変位置が要求される。 通常のバ
イモルフ素子は、第１図に示すように、夫々両主面に電
極１が被着された２枚の圧電体板２が、これら圧電体板
２間に介在させたシム板と呼称される板状部材４に夫々
接着剤３によつて接着されて積層されて成る。
圧電体板２は、セラミック、或いは高分子、又はセラミ
ックと高分子の複合材等の圧電材料から成り、シム板４
、チタン、ステンレス、りん青銅等の金属が用いらＪれ
、接着剤３としては、導電性接着剤が用いられる。この
構成において、両圧電体板２に、逆向きの電界を与える
ように夫々対向電極１間に電圧を与えるときは、一方の
圧電体板２が伸長し、他方が収縮することによつて変位
が生ずる。即ち、第１図に示すように、バイモルフの一
端を機械的に固定、すなわちクランプするときは、他端
が矢印で示すように変位する。ところが、このような通
常のバイモルフでは左程大きな変位置が得られない。
ックと高分子の複合材等の圧電材料から成り、シム板４
、チタン、ステンレス、りん青銅等の金属が用いらＪれ
、接着剤３としては、導電性接着剤が用いられる。この
構成において、両圧電体板２に、逆向きの電界を与える
ように夫々対向電極１間に電圧を与えるときは、一方の
圧電体板２が伸長し、他方が収縮することによつて変位
が生ずる。即ち、第１図に示すように、バイモルフの一
端を機械的に固定、すなわちクランプするときは、他端
が矢印で示すように変位する。ところが、このような通
常のバイモルフでは左程大きな変位置が得られない。
今、第２図に示すように両主面に電極１が被着された圧
電板２に、その両主面の電極１間に所要の電圧を与える
と、圧電板２は、これに与えられる電界の向きに応じて
伸縮するが、この伸縮は、互に直交する方向ｘ及びｙに
関して生ずるので、この圧電板２の一方の面に上述した
ような、金属板より成るシム板のように、その弾性率が
Ｘ方向とｙ方向とに関して同等の、すなわち等方性を有
する補強板４によつてｘ及びｙの両方向に関して機械的
に固定、すなわちクランプさせると、第３図に示すよう
に、ｘ及びｙの両方向に関して１そりョを生ずることに
なる。
電板２に、その両主面の電極１間に所要の電圧を与える
と、圧電板２は、これに与えられる電界の向きに応じて
伸縮するが、この伸縮は、互に直交する方向ｘ及びｙに
関して生ずるので、この圧電板２の一方の面に上述した
ような、金属板より成るシム板のように、その弾性率が
Ｘ方向とｙ方向とに関して同等の、すなわち等方性を有
する補強板４によつてｘ及びｙの両方向に関して機械的
に固定、すなわちクランプさせると、第３図に示すよう
に、ｘ及びｙの両方向に関して１そりョを生ずることに
なる。
したがつて、今、一方向、例えばｘ方向に関するそりに
よる変位のみを必要とする場合には、ｙ方向に生ずるそ
りがむしろ構造的にｘ方向のそりの発生を阻害すること
になる。また、第１図に説明した構造において、接着剤
３としては、一般に高分子系の接着剤を用いるが、この
接着剤の柔軟性によつて圧電体板２に対する適度なりラ
ンプが阻害されて上述のそりの発一生が抑えられる。
よる変位のみを必要とする場合には、ｙ方向に生ずるそ
りがむしろ構造的にｘ方向のそりの発生を阻害すること
になる。また、第１図に説明した構造において、接着剤
３としては、一般に高分子系の接着剤を用いるが、この
接着剤の柔軟性によつて圧電体板２に対する適度なりラ
ンプが阻害されて上述のそりの発一生が抑えられる。
本発明においては、上述したように、等方性の伸縮や、
接着剤による影響によつて、上述の電気・機械変換素子
におい充分な変位置が得られないことの究明に基いて、
バイモルフ或いはモノモｊルフ等の電気・機械変換素子
において、大きな変位置を得ることができるようにする
ものである。
接着剤による影響によつて、上述の電気・機械変換素子
におい充分な変位置が得られないことの究明に基いて、
バイモルフ或いはモノモｊルフ等の電気・機械変換素子
において、大きな変位置を得ることができるようにする
ものである。
すなわち、本発明においては、少くとも両主面に電極が
被着された圧電体板よりなる第１の部材と、補強ないし
はクランプ効果を得る例えばシム３板、としての板状の
第２の部材とを積層合体して電気・機械変換素子を構成
するものであるが、特に本発明においては、第２の部材
として、弾性率が異方性を有する部材より構成するもの
とし、互に直交する第１及び第２の２方向ｘ及びｙに関
し４て、その弾性率Ｅｘ及びＥｙがＥｘ＞Ｅｙなる関係
を有し、且つ第１の部材の圧電体板の弾性率Ｅが第２の
部材の小なる方の弾性率より大なる弾性率を有するすな
わちＥ＞Ｅ，なる関係を有するようにする。次に、本発
明による電気・機械変換素子について詳細に説明する。
被着された圧電体板よりなる第１の部材と、補強ないし
はクランプ効果を得る例えばシム３板、としての板状の
第２の部材とを積層合体して電気・機械変換素子を構成
するものであるが、特に本発明においては、第２の部材
として、弾性率が異方性を有する部材より構成するもの
とし、互に直交する第１及び第２の２方向ｘ及びｙに関
し４て、その弾性率Ｅｘ及びＥｙがＥｘ＞Ｅｙなる関係
を有し、且つ第１の部材の圧電体板の弾性率Ｅが第２の
部材の小なる方の弾性率より大なる弾性率を有するすな
わちＥ＞Ｅ，なる関係を有するようにする。次に、本発
明による電気・機械変換素子について詳細に説明する。
第４図及び第５図を参照して本発明をバイモルフに適用
する場合の一例を説明する。
する場合の一例を説明する。
この例においては、両主面に夫々電極１１が被着された
２枚の圧電体板、すなわち、第１の部材１２を設け、両
者間に第２の部材１３を介在させて積層合体する。
２枚の圧電体板、すなわち、第１の部材１２を設け、両
者間に第２の部材１３を介在させて積層合体する。
第１の部材１２、すなわち圧電体板は、例えばジルコン
チタン酸鉛のような圧電磁器板より構成される。
チタン酸鉛のような圧電磁器板より構成される。
第２の部材１３、すなわち圧電体板間に介在するクラン
プ或いは補強の効果を有するシム板とし・ては、特に弾
性率に異方性を有する材料より構成する。
プ或いは補強の効果を有するシム板とし・ては、特に弾
性率に異方性を有する材料より構成する。
この部材１３としては、例えば一方向に沿つて延長する
ようなりーボン繊維層に、例えばエポキシ接着を含浸さ
せたカーボン繊維シートを用い得る。このカーボン繊維
シートは、カーボン繊維の延長方向に関して最大の弾性
率を示し、これと直交する方向に最小の弾性率を示す。
そして、このカーボン繊維シートによつてバイモルフを
構成するときは、その変位置を得るに寄与する方向の伸
縮が要求される方向、図示の例ではＸ方向に、最大の弾
性率を示す方向、すなわち、カーボン繊維の延長方向が
沿うように配置する。更に、本発明によるバイモルフの
実施例を詳細に説明する。
ようなりーボン繊維層に、例えばエポキシ接着を含浸さ
せたカーボン繊維シートを用い得る。このカーボン繊維
シートは、カーボン繊維の延長方向に関して最大の弾性
率を示し、これと直交する方向に最小の弾性率を示す。
そして、このカーボン繊維シートによつてバイモルフを
構成するときは、その変位置を得るに寄与する方向の伸
縮が要求される方向、図示の例ではＸ方向に、最大の弾
性率を示す方向、すなわち、カーボン繊維の延長方向が
沿うように配置する。更に、本発明によるバイモルフの
実施例を詳細に説明する。
実施例１
第１の部材１２、すなわち圧電体板として、厚さ２５０
μｍのジルコンチタン酸鉛（ＰＺＴ）系の圧電磁器より
成る圧電体板２を用意し、その両主面に夫々例えばＡｕ
を蒸着した電極１１を形成する。
μｍのジルコンチタン酸鉛（ＰＺＴ）系の圧電磁器より
成る圧電体板２を用意し、その両主面に夫々例えばＡｕ
を蒸着した電極１１を形成する。
一方、直径１０μｍのカーボンファイバー１５をほぼ一
方向に沿つて延長するように配列し、これにエポキシ系
接着剤１６を含浸させて成る厚さ１００μｍのカーボン
ファイバーシートを用意し、これをシム板１３として、
前述の２枚の圧電体板１２間に挾み込む。この状態で１
２０℃〜１３０℃で３時間の加熱圧着を行つて接着剤の
硬化を行つて２５薗×２５ｒｆｒＩｎのバイモルフを作
る。このバイモルフのシム板１３の繊維の延長方向をｘ
方向としてこれと直交し、バイモルフの板面方向に沿う
方向をｙ方向として、Ｘ方向の一端を５７ｒ０ｎの幅に
亘つて固定してその遊端のｙ方向の中央から両側夫々１
０７７２１１７！に亘るすなわち２０Ｔｆ０ｆＬの範囲
の各位置での、バイモルフの板面方向と直交する方向の
変位置を測定した結果を第６図中曲線１４に示す。また
、ｙ方向に関する一端を同様に５ｗｎの幅に亘つて固定
してその遊端のｘ方向の中央から両側夫々１０７７０Ｆ
！に亘るすなわち２０ｍＩｎの範囲の各位置での、バイ
モルフの板面方向と直交する方向の変位置を測定した結
果を第６図中曲線１５に示す。これら曲線１４及び１５
を比較することによつて明らかなようにカー１ボンフア
イバーの延長方向に沿うｘ方向に関する一端を固定した
場合の変位置（以下Ｘ方向に関する変位置という）は、
ｙ方向に関する一端を固定した場合の変位置（以下ｙ方
向に関する変位置という）に比し、中央位置で約２５倍
、両端位置で約１．８倍の大きな変位置、すなわち高い
感度を示す。このようにｙ方向に関する変位置がＸ方向
のそれより低いのはシム板１３のｙ方向がカーボンファ
イバーの並置方向であるがために、この方向の弾性率が
低く、圧電体板１２に圧電効果、或い，は電歪効果によ
る伸縮が生じた場合、このｙ方向に関しては、圧電体板
１２の伸縮に伴つてシム板１３が或る程度伸縮してしま
つてクランプ効果が小さくなり、この方向に関して圧電
体板１２にそりが生じにくくなつて大きな変位置が得ら
れなくなるものと思われる。これに比し、Ｘ方向に関し
ては、この方向がシム板１３のカーボンファイバーの長
手方向に沿う方向であつてその弾性率が大きいので圧電
体板１２に対するクランプ効果は大きく、したがつて大
きな変位置が得られ、その上、上述したｙ方向のそりの
発生が抑えられることによつて、Ｘ方向に関するそりが
生じ易くなり、より大きな変位置が得られる。そして、
曲線１４を１５と比較してみるに、曲線１４の楊合、曲
線１５に比し、中央部での変位置の低下が小さい。これ
は、ｘ及びｙ方向のそりの発生は、特に夫々の中央にお
いて、他の方向のｙおよびＸ方向のそりによつて抑止さ
れ易いが、上述したようにこのバイモルフでは、ｙ方向
に関するそりが生じにくくなつているために、Ｘ方向に
関するそりが中央部でも大きく得られ、中央部での変位
置の低下が回避されるものと思われる。また、上述した
例のように、シム板１３としてカーボンファイバーのよ
うな繊維に接着剤を含浸させて圧電体板１２間に介在さ
せて圧着硬化を行つて得たバイモルフは、第７図にその
要部の拡大断面図を示すように、その繊維１５が接着剤
１６によつて、接合されるがこの場合、繊維１５が殆ん
ど直接的に電極１１を有する圧電体板１２に接して接合
されるので、両者間には、比較的柔難性に富み、ずれの
生じ易い接着剤１６が殆んど介在されないか極く薄く介
在されるに過ぎないのでこの接着剤１６によるクランプ
効果が阻害されるを回避できる。
方向に沿つて延長するように配列し、これにエポキシ系
接着剤１６を含浸させて成る厚さ１００μｍのカーボン
ファイバーシートを用意し、これをシム板１３として、
前述の２枚の圧電体板１２間に挾み込む。この状態で１
２０℃〜１３０℃で３時間の加熱圧着を行つて接着剤の
硬化を行つて２５薗×２５ｒｆｒＩｎのバイモルフを作
る。このバイモルフのシム板１３の繊維の延長方向をｘ
方向としてこれと直交し、バイモルフの板面方向に沿う
方向をｙ方向として、Ｘ方向の一端を５７ｒ０ｎの幅に
亘つて固定してその遊端のｙ方向の中央から両側夫々１
０７７２１１７！に亘るすなわち２０Ｔｆ０ｆＬの範囲
の各位置での、バイモルフの板面方向と直交する方向の
変位置を測定した結果を第６図中曲線１４に示す。また
、ｙ方向に関する一端を同様に５ｗｎの幅に亘つて固定
してその遊端のｘ方向の中央から両側夫々１０７７０Ｆ
！に亘るすなわち２０ｍＩｎの範囲の各位置での、バイ
モルフの板面方向と直交する方向の変位置を測定した結
果を第６図中曲線１５に示す。これら曲線１４及び１５
を比較することによつて明らかなようにカー１ボンフア
イバーの延長方向に沿うｘ方向に関する一端を固定した
場合の変位置（以下Ｘ方向に関する変位置という）は、
ｙ方向に関する一端を固定した場合の変位置（以下ｙ方
向に関する変位置という）に比し、中央位置で約２５倍
、両端位置で約１．８倍の大きな変位置、すなわち高い
感度を示す。このようにｙ方向に関する変位置がＸ方向
のそれより低いのはシム板１３のｙ方向がカーボンファ
イバーの並置方向であるがために、この方向の弾性率が
低く、圧電体板１２に圧電効果、或い，は電歪効果によ
る伸縮が生じた場合、このｙ方向に関しては、圧電体板
１２の伸縮に伴つてシム板１３が或る程度伸縮してしま
つてクランプ効果が小さくなり、この方向に関して圧電
体板１２にそりが生じにくくなつて大きな変位置が得ら
れなくなるものと思われる。これに比し、Ｘ方向に関し
ては、この方向がシム板１３のカーボンファイバーの長
手方向に沿う方向であつてその弾性率が大きいので圧電
体板１２に対するクランプ効果は大きく、したがつて大
きな変位置が得られ、その上、上述したｙ方向のそりの
発生が抑えられることによつて、Ｘ方向に関するそりが
生じ易くなり、より大きな変位置が得られる。そして、
曲線１４を１５と比較してみるに、曲線１４の楊合、曲
線１５に比し、中央部での変位置の低下が小さい。これ
は、ｘ及びｙ方向のそりの発生は、特に夫々の中央にお
いて、他の方向のｙおよびＸ方向のそりによつて抑止さ
れ易いが、上述したようにこのバイモルフでは、ｙ方向
に関するそりが生じにくくなつているために、Ｘ方向に
関するそりが中央部でも大きく得られ、中央部での変位
置の低下が回避されるものと思われる。また、上述した
例のように、シム板１３としてカーボンファイバーのよ
うな繊維に接着剤を含浸させて圧電体板１２間に介在さ
せて圧着硬化を行つて得たバイモルフは、第７図にその
要部の拡大断面図を示すように、その繊維１５が接着剤
１６によつて、接合されるがこの場合、繊維１５が殆ん
ど直接的に電極１１を有する圧電体板１２に接して接合
されるので、両者間には、比較的柔難性に富み、ずれの
生じ易い接着剤１６が殆んど介在されないか極く薄く介
在されるに過ぎないのでこの接着剤１６によるクランプ
効果が阻害されるを回避できる。
尚、第１の部材、すなわち圧電体板１２の各内側の電極
１１からの端子導出は、これら電極１１に接触するよう
に、バイモルフの固定側において第２の部材、すなわち
、シム板１３の端部に金属箔或いは蒸着金属層等の導電
層２０を被着し置き、この導電層２０から端子導出を行
うこともできるし、図示しないがシム板１３の一部に切
り欠きを設けて上述の内側の電極の一部を露呈させ、端
子導出を行う。
１１からの端子導出は、これら電極１１に接触するよう
に、バイモルフの固定側において第２の部材、すなわち
、シム板１３の端部に金属箔或いは蒸着金属層等の導電
層２０を被着し置き、この導電層２０から端子導出を行
うこともできるし、図示しないがシム板１３の一部に切
り欠きを設けて上述の内側の電極の一部を露呈させ、端
子導出を行う。
次に、本発明の特徴を明確にするために、本発明による
，ことのない比較例について説明する。
，ことのない比較例について説明する。
比較例１実施例１で説明したバイモルフにおいて、圧電
体板１２として、圧電磁器に代えてポリ弗化ビニリデン
と圧電セラミック粉末の複合材より成るいわゆる高分子
圧電体板を用いたバイモルフを作成した。
体板１２として、圧電磁器に代えてポリ弗化ビニリデン
と圧電セラミック粉末の複合材より成るいわゆる高分子
圧電体板を用いたバイモルフを作成した。
この比較例によるバイモルフの変位置を、前述の実施例
１によるバイモルフに対する変位置の測定方法と同様の
測定方法によつてＸ方向に関ノする変位置と、ｙ方向に
関する変位置の測定結果は、夫々第８図中曲線１７及び
１８に示す。これら曲線１７及び１８から明らかなよう
に、ｘ方向に関する変位置と、ｙ方向に関する変位置と
には殆んど差が生じていない。すなわち、この比較例ダ
ではシム板として、弾性率が異方性を有し、Ｘ方向の弾
性率が、ｙ方向の弾性率より大なるものを用いるにもか
かわらず、ｘ及びｙ方向に関する変位置には差が生じな
い。これは、この比較例によるバイモルフにおける圧電
体板が高分子圧電体板θより成り、これの弾性率がシム
板の弾性率の小さい値を示すｙ方向の弾性率より更に小
さいがために、クランプの効果が強過ぎるためと思われ
る。そして、ここに、本発明においては、圧電体板１２
（第１の部材）の弾性率Ｅがシム板（第２の部材）のｙ
方向の弾性率Ｅ，より大となる関係を保持するように第
１及び第２の部材の弾性率を選定する所以がある。因み
に、実施例１における圧電磁器の弾性率は、５〜１０×
１（１ｆ′ＫｇＩｃＩＬｌ例えば７×１伊Ｋ９ノｄでカ
ーボンファイバーシートの繊維方向のそれは１３．５×
１Ｃｆ′ＫｇＩｃＩｔｌこれと直交する方向のそれは１
．０×１Ｃｆ′Ｋ９ｋ！ｔで、比較例１における高分子
圧電体のそれは２．６×１０１ｋ９１ｄである。
１によるバイモルフに対する変位置の測定方法と同様の
測定方法によつてＸ方向に関ノする変位置と、ｙ方向に
関する変位置の測定結果は、夫々第８図中曲線１７及び
１８に示す。これら曲線１７及び１８から明らかなよう
に、ｘ方向に関する変位置と、ｙ方向に関する変位置と
には殆んど差が生じていない。すなわち、この比較例ダ
ではシム板として、弾性率が異方性を有し、Ｘ方向の弾
性率が、ｙ方向の弾性率より大なるものを用いるにもか
かわらず、ｘ及びｙ方向に関する変位置には差が生じな
い。これは、この比較例によるバイモルフにおける圧電
体板が高分子圧電体板θより成り、これの弾性率がシム
板の弾性率の小さい値を示すｙ方向の弾性率より更に小
さいがために、クランプの効果が強過ぎるためと思われ
る。そして、ここに、本発明においては、圧電体板１２
（第１の部材）の弾性率Ｅがシム板（第２の部材）のｙ
方向の弾性率Ｅ，より大となる関係を保持するように第
１及び第２の部材の弾性率を選定する所以がある。因み
に、実施例１における圧電磁器の弾性率は、５〜１０×
１（１ｆ′ＫｇＩｃＩＬｌ例えば７×１伊Ｋ９ノｄでカ
ーボンファイバーシートの繊維方向のそれは１３．５×
１Ｃｆ′ＫｇＩｃＩｔｌこれと直交する方向のそれは１
．０×１Ｃｆ′Ｋ９ｋ！ｔで、比較例１における高分子
圧電体のそれは２．６×１０１ｋ９１ｄである。
また従来のシム板のＴｌは１０Ｘ１σＫｇＩ（：７ｉで
ある。尚、実施例１においては、シム板１３として、ｘ
方向に最大の弾性率を有し、ｙ方向に最小の弾性率を有
する配置をとつた場合であるがシム板１３の繊維の延長
方向をｘ方向と一致させずに或る程度の角度を保有させ
るようにすることもできる。
ある。尚、実施例１においては、シム板１３として、ｘ
方向に最大の弾性率を有し、ｙ方向に最小の弾性率を有
する配置をとつた場合であるがシム板１３の繊維の延長
方向をｘ方向と一致させずに或る程度の角度を保有させ
るようにすることもできる。
今、実施例１においてシム板１３のカーボン繊維の延長
方向と、Ｘ方向のなす角度θを００から５のづつ変化さ
せて得た各バイモルフのＸ方向に関する変位置を測定し
たところ第９図中曲線１７に示す結果が得られた。第９
図において破線ａで示す変位置は、従来のように、バイ
モルフのシム板として金属板を用いた場合の値で、この
値は角度θが４５属の場合にほぼ相当する。すなわち、
角度θを４５属以下に選定するとき、シム板の弾性率の
異方性が生じ、これによる感度上昇の効果が生ずる。因
みに、表１に実施例１で説明したシム板１３としてのカ
ーボンファイバーシートにおいて、その繊維の方向とＸ
方向とのなす角度θを変化させた場合のｘ方向の弾性率
Ｅｘの測定結果と、これとｙ方向の弾性率Ｅｙとの比を
示す。また上述したように、弾性率に異方性を有する第
２の部材１３として、カーボンファイバーのような繊維
配列によるシートを用いる場合、その繊維の延長去向ｔ
寸卜逮１，ナー上らに荀庇Ｏ尤ＮＯ〜Ａ口０をもつて一
方向に配列する場合に限られるものではなく、例えば第
１０図に細線をもつて示すようにｘ方向に角度十θをも
つてカーボンファイバーのような繊維１５を配列したシ
ートと、同様に７細線をもつて示すようにｙ方向に角度
一θをもつてカーボンファイバーのような繊維１５を配
列したシートとを積層合体するか渾然一体に構成するこ
ともできるし、更に或る場合は、ｙ方向の補強のために
、例えば両シート間にθ＝９０向をもつてク図示しない
が同様の繊維を配列したシートを介在させて積層合体す
るか全体として渾然一体に構成することもできる。上述
したように本発明構成によれば、大きな変位置を得るこ
とができるので、冒頭に述べたよう７に、例えばＶＴＲ
における磁気ヘッドのトラッキングサーボに用いて好適
であり、同一変位置に対しては、低電圧駆動を可能にす
るものである。
方向と、Ｘ方向のなす角度θを００から５のづつ変化さ
せて得た各バイモルフのＸ方向に関する変位置を測定し
たところ第９図中曲線１７に示す結果が得られた。第９
図において破線ａで示す変位置は、従来のように、バイ
モルフのシム板として金属板を用いた場合の値で、この
値は角度θが４５属の場合にほぼ相当する。すなわち、
角度θを４５属以下に選定するとき、シム板の弾性率の
異方性が生じ、これによる感度上昇の効果が生ずる。因
みに、表１に実施例１で説明したシム板１３としてのカ
ーボンファイバーシートにおいて、その繊維の方向とＸ
方向とのなす角度θを変化させた場合のｘ方向の弾性率
Ｅｘの測定結果と、これとｙ方向の弾性率Ｅｙとの比を
示す。また上述したように、弾性率に異方性を有する第
２の部材１３として、カーボンファイバーのような繊維
配列によるシートを用いる場合、その繊維の延長去向ｔ
寸卜逮１，ナー上らに荀庇Ｏ尤ＮＯ〜Ａ口０をもつて一
方向に配列する場合に限られるものではなく、例えば第
１０図に細線をもつて示すようにｘ方向に角度十θをも
つてカーボンファイバーのような繊維１５を配列したシ
ートと、同様に７細線をもつて示すようにｙ方向に角度
一θをもつてカーボンファイバーのような繊維１５を配
列したシートとを積層合体するか渾然一体に構成するこ
ともできるし、更に或る場合は、ｙ方向の補強のために
、例えば両シート間にθ＝９０向をもつてク図示しない
が同様の繊維を配列したシートを介在させて積層合体す
るか全体として渾然一体に構成することもできる。上述
したように本発明構成によれば、大きな変位置を得るこ
とができるので、冒頭に述べたよう７に、例えばＶＴＲ
における磁気ヘッドのトラッキングサーボに用いて好適
であり、同一変位置に対しては、低電圧駆動を可能にす
るものである。
また、上述した例のように、第２の部材、すなわちシム
板としてカーボンファイバーのような繊維に、接着剤を
含浸させたシートを用いるときは、従来のように接着剤
を塗布する工程が不要となるので、製造工程の簡略化、
ひいては価格の低廉化をはかることができる。また、変
位置を得るに供しないｙ方向に関する変位はこれを抑え
るようにしたので、大振幅動作時の亀裂の発生を回避で
きる効果もある。尚、上述した例では、主として２枚の
圧電体板が積層されて成るバイモルフに本発明を適用す
る場合について説明したが、バイモルフを始めとして種
々の構成を採る電気・機械変換素子に本発明を適用でき
ることは明らかであろう。
板としてカーボンファイバーのような繊維に、接着剤を
含浸させたシートを用いるときは、従来のように接着剤
を塗布する工程が不要となるので、製造工程の簡略化、
ひいては価格の低廉化をはかることができる。また、変
位置を得るに供しないｙ方向に関する変位はこれを抑え
るようにしたので、大振幅動作時の亀裂の発生を回避で
きる効果もある。尚、上述した例では、主として２枚の
圧電体板が積層されて成るバイモルフに本発明を適用す
る場合について説明したが、バイモルフを始めとして種
々の構成を採る電気・機械変換素子に本発明を適用でき
ることは明らかであろう。
第１図は従来のバイモルフの拡大断面図、第２図及び第
３図はその説明図、第４図は本発明による電気・機械変
換素子の一例の拡大断面図、第５図はその要部の一部を
切り欠いた拡大斜視図、第６図はその変位置の測定結果
を示す図、第７図は本発明素子の更に要部の拡大断面図
、第８図は本発明に対する比較例の変位置の測定結果を
示す図、第９図は本発明の説明に供する第２の部材の繊
維の方向と変位置の関係の測定結果を示す図、第１０図
は、本発明素子の他の例の第２の材の拡大平面図てある
。 １２は圧電体板、すなわち第１の部材、１１はその電極
、１３はシム板ないしは補強板、すなわち第２の部材で
ある。
３図はその説明図、第４図は本発明による電気・機械変
換素子の一例の拡大断面図、第５図はその要部の一部を
切り欠いた拡大斜視図、第６図はその変位置の測定結果
を示す図、第７図は本発明素子の更に要部の拡大断面図
、第８図は本発明に対する比較例の変位置の測定結果を
示す図、第９図は本発明の説明に供する第２の部材の繊
維の方向と変位置の関係の測定結果を示す図、第１０図
は、本発明素子の他の例の第２の材の拡大平面図てある
。 １２は圧電体板、すなわち第１の部材、１１はその電極
、１３はシム板ないしは補強板、すなわち第２の部材で
ある。
Claims (1)
- １ 両主面に電極が被着された圧電体板よりなる第１の
部材と、該第１の部材の一主面に固着された第２の部材
とより成り、該第２の部材は、第１の方向の弾性率が該
第１の方向に直交する第２の方向の弾性率より大きく、
且つ上記第１の部材の弾性率が上記第２の部材の上記第
２の方向の弾性率より大きく選ばれた電気・機械変換素
子。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54054266A JPS6048112B2 (ja) | 1979-05-02 | 1979-05-02 | 電気・機械変換素子 |
| US06/143,339 US4349762A (en) | 1979-05-02 | 1980-04-24 | Fiber reinforced piezoelectric bender transducer |
| CA000350753A CA1154862A (en) | 1979-05-02 | 1980-04-28 | Fiber reinforced piezoelectric bender transducer |
| NL8002472A NL8002472A (nl) | 1979-05-02 | 1980-04-28 | Electromechanische transducent. |
| DE19803016748 DE3016748A1 (de) | 1979-05-02 | 1980-04-30 | Elektromechanischer wandler |
| GB8014165A GB2052151B (en) | 1979-05-02 | 1980-04-30 | Electro-mechanical transducers |
| FR8009867A FR2455840A1 (fr) | 1979-05-02 | 1980-04-30 | Transducteur electromecanique |
| AT0234480A AT369574B (de) | 1979-05-02 | 1980-05-02 | Elektromechanischer wandler |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54054266A JPS6048112B2 (ja) | 1979-05-02 | 1979-05-02 | 電気・機械変換素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55146989A JPS55146989A (en) | 1980-11-15 |
| JPS6048112B2 true JPS6048112B2 (ja) | 1985-10-25 |
Family
ID=12965758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54054266A Expired JPS6048112B2 (ja) | 1979-05-02 | 1979-05-02 | 電気・機械変換素子 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4349762A (ja) |
| JP (1) | JPS6048112B2 (ja) |
| AT (1) | AT369574B (ja) |
| CA (1) | CA1154862A (ja) |
| DE (1) | DE3016748A1 (ja) |
| FR (1) | FR2455840A1 (ja) |
| GB (1) | GB2052151B (ja) |
| NL (1) | NL8002472A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3010580A1 (de) * | 1980-03-19 | 1981-09-24 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Aktuator fuer video-bandgeraet |
| DE3223801A1 (de) * | 1982-06-25 | 1983-12-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur herstellung eines piezoelektrischen stellgliedes |
| DE3240884A1 (de) * | 1982-11-05 | 1984-05-10 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Keramisches bistabiles biegeelement |
| DE3425290A1 (de) * | 1984-07-10 | 1986-01-16 | Atlas Fahrzeugtechnik GmbH, 5980 Werdohl | Piezokeramische ventilplatte und verfahren zu deren herstellung |
| FR2567705B1 (fr) * | 1984-07-13 | 1986-11-14 | Thomson Csf | Transducteur piezoelectrique et capteur de pression utilisant un tel transducteur |
| US4833659A (en) * | 1984-12-27 | 1989-05-23 | Westinghouse Electric Corp. | Sonar apparatus |
| US4769570A (en) * | 1986-04-07 | 1988-09-06 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Piezo-electric device |
| JPS63237044A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | Minolta Camera Co Ltd | 電歪シヤツタ−駆動装置 |
| JPS6420756U (ja) * | 1987-07-27 | 1989-02-01 | ||
| JPH02164284A (ja) * | 1988-04-12 | 1990-06-25 | Tomio Kotaki | 超音波アクチュエータ |
| US5037208A (en) * | 1989-04-06 | 1991-08-06 | Branson Ultrasonics Corporation | Immersible transducer assembly |
| DE3935474A1 (de) * | 1989-06-22 | 1991-01-03 | Hoechst Ceram Tec Ag | Piezoelektrischer biegewandler und seine verwendung |
| JPH04216409A (ja) * | 1990-12-18 | 1992-08-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
| JPH05218517A (ja) * | 1992-02-06 | 1993-08-27 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電バイモルフ型アクチュエータ |
| US5424596A (en) * | 1992-10-05 | 1995-06-13 | Trw Inc. | Activated structure |
| US6420819B1 (en) | 1994-01-27 | 2002-07-16 | Active Control Experts, Inc. | Packaged strain actuator |
| JPH10211701A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-08-11 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子を備えたアクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッド、並びにこれらの製造方法 |
| US5834882A (en) * | 1996-12-11 | 1998-11-10 | Face International Corp. | Multi-layer piezoelectric transformer |
| DE19732513C2 (de) * | 1997-07-29 | 2002-04-11 | Eurocopter Deutschland | Verfahren zur Herstellung einer Verbundstruktur |
| US5942838A (en) * | 1997-08-19 | 1999-08-24 | The Hong Kong University Of Science & Technology | Rotary motor driven by a piezoelectric composite laminate |
| DK1019972T3 (da) * | 1997-09-30 | 2007-03-12 | Argillon Gmbh | Piezoelektrisk element |
| EP1089353B1 (en) * | 1999-10-01 | 2006-11-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive device |
| DE10023556A1 (de) * | 2000-05-15 | 2001-11-29 | Festo Ag & Co | Piezo-Biegewandler sowie Verwendung desselben |
| DE10025561A1 (de) | 2000-05-24 | 2001-12-06 | Siemens Ag | Energieautarker Hochfrequenzsender |
| KR20030010664A (ko) * | 2000-06-21 | 2003-02-05 | 지멘스 악티엔게젤샤프트 | 압전 휨 변환기 |
| EP1168463A1 (de) * | 2000-06-23 | 2002-01-02 | DORNIER GmbH | Faserverbundwerkstoff mit darin integriertem piezoelektrischem Sensor oder Aktor |
| FR2810686B1 (fr) * | 2000-06-23 | 2002-10-11 | Thomson Marconi Sonar Sas | Dispositif antivibratoire pour paroi |
| DE10040994C2 (de) * | 2000-08-18 | 2003-12-24 | Univ Dresden Tech | Anordnung zur Erzeugung von Schall im nieder- bis hochfrequenten Bereich |
| KR100945202B1 (ko) | 2001-07-03 | 2010-03-03 | 브래드베리 알. 페이스 | 자력발전 스위치 구동시스템 |
| DE20202297U1 (de) * | 2001-09-07 | 2002-08-29 | Drei-S-Werk Präzisionswerkzeuge GmbH & Co Fertigungs-KG, 91126 Schwabach | Flacher Aktor oder Sensor mit interner Vorspannung |
| DE10150128C2 (de) | 2001-10-11 | 2003-10-02 | Enocean Gmbh | Drahtloses Sensorsystem |
| US6888291B2 (en) * | 2002-10-31 | 2005-05-03 | The Boeing Company | Electrical system for electrostrictive bimorph actuator |
| CN100568568C (zh) | 2004-04-23 | 2009-12-09 | 新加坡科技研究局 | 微机电装置 |
| US7497133B2 (en) * | 2004-05-24 | 2009-03-03 | Drexel University | All electric piezoelectric finger sensor (PEFS) for soft material stiffness measurement |
| EP1791192B1 (de) * | 2005-11-25 | 2008-03-12 | Festo Ag & Co. | Piezo-Biegewandler |
| US8481335B2 (en) * | 2006-11-27 | 2013-07-09 | Drexel University | Specificity and sensitivity enhancement in cantilever sensing |
| WO2008067386A2 (en) | 2006-11-28 | 2008-06-05 | Drexel University | Piezoelectric microcantilever sensors for biosensing |
| US7992431B2 (en) * | 2006-11-28 | 2011-08-09 | Drexel University | Piezoelectric microcantilevers and uses in atomic force microscopy |
| EP2115448A4 (en) | 2007-02-01 | 2013-01-30 | Univ Drexel | PORTABLE PHASE SHIFT DETECTOR FOR SENSOR APPLICATIONS |
| US20080211353A1 (en) * | 2007-03-02 | 2008-09-04 | Charles Erklin Seeley | High temperature bimorph actuator |
| US8241569B2 (en) * | 2007-11-23 | 2012-08-14 | Drexel University | Lead-free piezoelectric ceramic films and a method for making thereof |
| WO2009126378A2 (en) | 2008-03-11 | 2009-10-15 | Drexel University | Enhanced detection sensitivity with piezoelectric microcantilever sensors |
| AU2009246115A1 (en) * | 2008-05-16 | 2009-11-19 | Drexel University | System and method for evaluating tissue |
| US8722427B2 (en) * | 2009-10-08 | 2014-05-13 | Drexel University | Determination of dissociation constants using piezoelectric microcantilevers |
| US20110086368A1 (en) * | 2009-10-08 | 2011-04-14 | Drexel University | Method for immune response detection |
| US8659211B1 (en) * | 2011-09-26 | 2014-02-25 | Image Acoustics, Inc. | Quad and dual cantilever transduction apparatus |
| DE102013205626A1 (de) * | 2013-03-28 | 2014-10-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Biegewandler mit piezoelektrischem Biegeelement, Kühlvorrichtung und Elektronikmodul |
| US9882115B2 (en) * | 2015-04-02 | 2018-01-30 | The Boeing Company | Integrated compliant boundary for piezoelectric bimorph actuator |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2518793A (en) * | 1944-04-10 | 1950-08-15 | Helen Keller | Crystal mounting |
| US3447217A (en) * | 1964-02-05 | 1969-06-03 | Hitachi Ltd | Method of producing ceramic piezoelectric vibrator |
| CH429228A (de) * | 1964-12-10 | 1967-01-31 | Kistler Instrumente Ag | Piezoelektrischer Einbaukörper zum Einbau in einen piezoelektrischen Wandler |
| GB1278996A (en) * | 1968-11-06 | 1972-06-21 | Motorola Inc | Bender bimorph construction |
| US3631383A (en) * | 1969-07-25 | 1971-12-28 | Bendix Corp | Piezoelectric transducer configuration |
| US3622815A (en) * | 1970-03-25 | 1971-11-23 | Motorola Inc | High reliability ceramic bender |
| US3629625A (en) * | 1970-09-17 | 1971-12-21 | Motorola Inc | Piezoelectric bender bilayer with flexible corrugated center vane |
| US4047060A (en) * | 1971-09-07 | 1977-09-06 | Motorola, Inc. | Acoustic transducer with elastomeric coupling |
| US3979565A (en) * | 1975-08-11 | 1976-09-07 | Westinghouse Electric Corporation | Metal enclosed transducer assembly |
| DE2922451C2 (de) * | 1978-06-02 | 1986-09-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo, Kyoto | Piezoelektrische Resonatorvorrichtung |
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1979
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-
1980
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- 1980-04-30 FR FR8009867A patent/FR2455840A1/fr active Granted
- 1980-04-30 GB GB8014165A patent/GB2052151B/en not_active Expired
- 1980-05-02 AT AT0234480A patent/AT369574B/de active
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