DE759255C - Elektronenmikroskop - Google Patents

Description

• Elektronenmikroskop Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektronenmikroskop, und zwar zur Herstellung von Bildern mit mehr als rog Bildpunkten. Erfindungsgemäß wird zur Herstellung von einen großen Objektbereich erfassenden Übersichtsbildern mit mehr als zos Bildpunkten eine Dunkelfeldbeleuchtung und eine Aperturblende angewendet, deren Durchmesser höchstens zo-2 mm beträgt, und eine vakuumphotographische Einrichtung vorgesehen, die ebenfalls mehr als ros Bildpunkte bei der gegebenen Voltgeschwindigkeit der Elektronen aufzunehmen gestattet. Auf diese Weise gelingt es, Elektronenbilder mit Gesichtsfeldern von bisher nicht gekannter Größe aufzunehmen. So kann man mit Dunkelfeldbetrieb im Gegensatz zum Hellfeldbetrieb, bei dem das Gesichtsfeld durch die Größe der Aperturblende begrenzt ist, bei dem Mikro-"slcopaufläsungsvermägen angepaßter elektronenoptischer Vergrößerung, beispielsweise Platten vom Format 9 X 12, gleichmäßig belichten. Da bestimmte Photoschichten infolge ihres hohen Auflösungsvermögens für Elektronen eine zehnfache optische Nachvergrößerung vertragen, kann man mit Hilfe des vorliegenden Elektronenmikroskops Bilder mit einer Fläche von i qm erhalten, bei denen die Bildschärfe die gleiche wie bei üblichen photographischen Aufnahmen ist. Die Gesamtbildelementzahl beträgt in diesem Beispiel ios Bildelemente, und das Gesichtsfeld auf dem Objekt hat dann für zehntausendfache elektronenoptische Vergrößerung, die ausreicht, um die Einzelheiten bei Auflösungsvermögen bis zu io-6 mm sauber zu erfassen, den Wert ioji. Man kann sogar noch größere Plattenformate bei entsprechend umfangreichen Kamerabauarten anwenden und dementsprechend Bildflächen von vielen Quadratmetern erhalten.
• Man kann auch beispielsweise auf eine elektronenoptische N achv ergrößerung mit einer Projektionslinse ganz verzichten und statt dessen ein einstufiges Elektronenmikroskop anwenden. Eine andere Ausführungsmöglichkeit besteht darin, daß man bei einem zweistufigen Elektronenmikroskop eine Projektionslinse mit entsprechend großem Durchtrittsquerschnitt für die Strahlen anwendet.

Claims (1)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Elektronenmikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung von einen großen Objektbereich erfassenden Übersichtsbildern mit mehr als io6 Bildpunkten eine Dunkelfeldheleuchtung und eine Aperturblende, deren Durchmesser höchstens 1o-2 mm beträgt, angewendet und eine vakuumphotographische Einrichtung vorgesehen ist, die ebenfalls mehr als io6 Bildpunkte bei der gegebenen VoltgeschWindigkeit der Elektronen aufzunehmen gestattet. Anordnung nach Anspruch i, gekennzeichnet durch die Anwendung eines einstufigen Elektronenmikroskops. 3. Anordnung nach Anspruch i, gekennzeichnet durch die Anwendung eines zweistufigen Elektronenmikroskops, dessen Projektionslinse einen entsprechend großen Durchtrittsquerschnitt für die Strahlen hat. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, gekennzeichnet durch die Anwendung von bindemittelfreien oder bindeniittelarmen Schichten zur Aufnahme der Bilder. Zur Abgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen «-orden: Zeitschrift für Phvsik, Bd. iog, 1938, S. 553 bis 572; Zeitschrift für technische Physik, i9. Jahrg. 1938, S.407 bis -.16; Wissenschaftliche Veröffentlichungen aus den Siemens-Werken, Bd. 17, 1938, S. 102 und 103.