DE902161C

DE902161C - Stereo-Elektronenmikroskop

Info

Publication number: DE902161C
Application number: DES24753A
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Frank Heise
Original assignee: SUEDDEUTSCHE LABORATORIEN GmbH
Current assignee: SUEDDEUTSCHE LABORATORIEN GmbH
Priority date: 1951-09-09
Filing date: 1951-09-09
Publication date: 1954-01-18

Description

Stereo-Elektronenmikroskop Die Erfindung bezieht sich auf Stereo-Elektronenmikroskope. Bei beiden bekannten Stereo-Elektronenmikroskopen (E. Kinder, Naturwiss.33, 1946, S. 367, und G. Möllenstedt und F. Heise, Optik 5, 1949, S. 531) werden die beiden stereoskopischen Teilbilder mit gegen die Achse des Elektronenmikroskops geneigten Strahlen erzeugt. Der Neigungswinkel von einigen Graden ist dabei für das Objektiv um mehrere Größenordnungen größer als die sonst in der Elektronenmikroskopie verwendeten Aperturen. Dies bedingt eine Verschlechterung der Bildqualität durch die unvermeidbaren Linsenfehler, deren Korrektur, wenn überhaupt, nur mit einem gewissen Aufwand an Korrekturgliedern gelingen kann.
Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, .daß der Eindruck eines. scharf gezeichneten räumlichen Bildes auch dann entsteht, wenn dem Betrachter ein scharfes und ein unscharfes stereoskopisches Teilbild geboten wird, und besteht darin, daß ein Teilbild (Hauptbild) durch axiale Elektronenstrahlen und das zweite Teilbild (stereoskopisches Hilfsbild) durch gegen .die Achse des Elektronenmikroskops geneigte Strahlen erzeugt wird.
Das Hauptbild, das mit axialen Strahlen erzeugt wird, kann die volle, im normalen übermikroskopischen Strahlengang erreichbare Bildqualität haben. Das stereoskopische Hilfsbild kann mittels eines gegen die Geräteachse geneigten Strahlenganges entweder mit dem Hauptbild gleichzeitig durch zwei Elektronenquellen (entsprechend der Anordnung nach G. Mö11enstedt und F. Heise) oder in zeitlichem periodischem Wechsel (entsprechend der Anordnung nach E. Kinder) erzeugt und gegebenenfalls nach Wahl des Beobachters rechts oder links neben dem Hauptbild auf einem Leuchtschirm entworfen werden.
Der Wechsel von Hilfsbild rechts nach Hilfsbild links kann bei dem .gleichzeitigen Erzeugen von Hauptbild und Hilfsbild beispielsweise durch Drehen des Mikroskopoberteils mit den beiden Kathoden und Beleuchtungsblenden um i8o°; im zweiten Fall durch Umpolen der elektrischen oder elektromagnetischen Ablenkorgane vorgenommen werden.
Hauptbild und stereoskopisches Hilfsbild werden im allgemeinen eine vom Öffnungsfehler des Objek- tivs abhängende Größendifferenz zeigen. Das Gerät kann erfindungsgemäß derart ausgebildet sein, daß dem Beobachter Hauptbild und Hilfsbild in gleicher Größe erscheinen. Es kann die Einrichtung so getroffen sein, daß Hauptbild und Hilfsbild in gleicher Größe auf zwei Anzeigeorganen erzeugt werden, z. B. auf je einem Leuchtschirm oder je. einer Hälfte eines Leuchtschirmes. Auch kann der subjektive Größenausgleich zwischen Hauptbild und Hilfsbild mit lichtoptischen Mitteln, vorzugsweise mittels einer Kombination von Linsen, bewirkt werden. Ferner können zum Größenausgleich zwischen Hauptbild und Hilfsbild elektronenoptische und lichtoptische Maßnahmen in Kombination angewendet werden.
An die Stelle der visuellen Bildbeobachtung kann die photographische Bildaufnahme treten.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Stereo-Elektronenmikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teilbild (Hauptbild) durch axiale Elektronenstrahlen und das zweite Teilbild (stereoskopisches Hilfsbild) durch gegen diie Achse des Elektronenmikroskops geneigte Strahlen erzeugt wird. a. Stereo-Elektronenmikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das Hauptbild und das Hilfsbild in zeitlichem Wechsel erzeugt werden. 3. Stereo-Elektronenmikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß -das Hauptbild und das Hilfsbild gleichzeitig durch zwei Elektronenstrahlquellen erzeugt werden. .4. Stereo-Elektronenmikroskop nach Anspruch i, a oder 3, gekennzeichnet durch solche Ausbildung, daß das Hilfsbild wahlweise rechts oder links neben dem Hauptbild entworfen werden kann. 5. Stereo-Elektronenmikroskop nach Anspruch i bis 4 oder einem derselben, gekennzeichnet durch solche Ausbildung; daß dem Beobachter Hauptbild und Hilfsbild. in gleicher Größe erscheinen. 6. Stereo-Elektronenmikroskop nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch solche elektronenoptische Ausbildung, daß Hauptbild und Hilfsbild in gleicher Größe auf zwei Anzeigeorganen erzeugt werden, z. B. auf j e einem Leuchtschirm oder je einer Hälfte eines: Leuchtschirmes. 7. Stereo-Elektronenmikroskop nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß für das Hauptbild und für ,das Hilfsbild Le:uchtschi,rme verschiedener'Ebenen derart angeordnet sind, daß die Bilder dem Betrachter gleich groß erscheinen. B. Stereo-Elektronenmikroskop nach Anspruch 5, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß der subjektive Größenausgleich zwischen Hauptbild und Hilfsbild mit lichtoptischen Mitteln, vorzugsweise mittels einer Kombination von Linsen, bewirkt wird. g. Stereo-Elektronenmikroskop nach Anspruch 5, 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß zum Größenausgleich zwischen Hauptbild und Hilfsbild elektronenoptische und lichtoptische Maßnahmen in Kombination ver-° wendet werden.