DE752141C - Einrichtung zur Regelung des Materialnachschubes zur Verdampfung im Vakuum - Google Patents

Einrichtung zur Regelung des Materialnachschubes zur Verdampfung im Vakuum

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Publication number
DE752141C
DE752141C DEB199141D DEB0199141D DE752141C DE 752141 C DE752141 C DE 752141C DE B199141 D DEB199141 D DE B199141D DE B0199141 D DEB0199141 D DE B0199141D DE 752141 C DE752141 C DE 752141C
Authority
DE
Germany
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crucible
evaporation
supply
radiation meter
substance
Prior art date
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Expired
Application number
DEB199141D
Other languages
English (en)
Inventor
Rudolf Dipl-Ing Ruehle
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
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Application granted granted Critical
Publication of DE752141C publication Critical patent/DE752141C/de
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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/246Replenishment of source material

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

  • Einrichtung zur Regelung des Materialnachschubes zur Verdampfung . im Vakuum Für die Verdampfung von Stoffen im Vakuum bevorzugt man verhältnismäßig kleine Verdampfungstiegel, die nur eine geringe Materialmenge fassen. Dies hat die Vorteile, daß die Anheizzeit klein ist und daB die geringe Wärmeabstrahlung die zu bedampfenden Körper nicht schädigen kann. Der Materialnachschub muß aber infolge des kleinen Fassungsvermögens der Tiegel sehr präzise gestaltet werden, damit bei länger dauernden Bedampfungszeiten von z. B. mehreren Stunden der Tiegel weder überläuft noch vorzeitig vorübergehend entleert -wird. Unter den bekannten Arten des Materialnachschubes hat sich besonders hierfür die in Drahtform bewährt, da sie mit großer Gleichmäßigkeit ausgeführt werden kann. Das Material wird in Drahtform von einer Vorratsrolle abgezogen und direkt dem erhitzten Tiegel zum Verdampfen zugeführt. Die Vorratsrolle wird von einem Motor angetrieben.
  • Es ist nun bekannt, Materialnachschübe automatisch mit Hilfe von Lichtstrahlmessungen durch Fotozellen zu steuern. So wird z. B. bei einem Erzkonzentrierungsverfahren in die aufbereitende Flüssigkeit ein Aräometer gesenkt, das eine an seinem oberen Ende angebrachte Scheibe in den Strahlengang zwischen eine Lichtquelle und ein Fotoelement stellt. Bei wechselnder Konzentration der Flüssigkeit wird ihr spezifisches Gewicht verändert und durch das in dieser I7 lüssigkeit auf- oder niedersteigende Aräometer die Scheibe im Strahlengang bewegt. Damit wird der auf die Fotozelle fallende Lichtstrahl mehr oder weniger abgedeckt, und das Fotoelement kann die Beschickung des die Flüssigkeit enthaltenden Bottichs steuern, wenn. es als Relais in geeigneter Weise in eine automatisch wirkende Beschickungsvorrichtung eingebaut ist.
  • Gemäß der Erfindung ist eine Einsrichtung zur Regelung des Materialnachschubes zur Verdampfung im Vakuum dadurch gekennzeichnet, daß die im Verdampfungstiegel befindliche veränderbare Stoffmenge durch einen optischen Strahlengang mittelbar auf ein Strahlungsmeßgerät einwirkt, welches über ein Kippgerät den Antriebsmotor für den Materialnachschub steuert.
  • Der Verdampfungstiegel hat die Form z. B. einer Halbkugel. Da die Oberflächenkräfte den in dem Tiegel befindlichen flüssigen Stoff annähernd in Kugelform zusammenhalten, kann die in dem Tiegel befindliche Stoffmenge, die zur Verdampfung gelangen soll, ihr Volumen derart vergrößern, daß ein Teil über den Rand hinaussieht, ohne daß er aus dem Tiegel ausläuft. Dieser über den Rand des Tiegels hinaussehende Teil des Stoffvolumens, der an. sich durch den lIaterialnachschub und die Verdampfung veränderliche Größe haben kann, vermag z. B. in einen optischen Strahlengang durch mehr oder weniger starkes Ausblenden der Strahlen mittelbar z. B. auf eine Fotozelle zu wirken. Da der Inhalt des Tiegels bei den meisten Metallen. während der Verdampfung glühend ist und selbst leuchtet, kann der über den Rand hinaussehende veränderbare Teil des Inhalts auch selbst z. B. die Lichtquelle für den zu verändernden Strahlengang darstellen. Bei nicht mindestens notglühendem Tiegelinhalt kann die Ultrarotstrahlung als Strahlenquelle dienen.
  • Für den Fall, da.ß der Inhalt nicht aus dem Tiegel herausschauen kann, weil dieser eine längere Form mit aufgesetzter Düse hat, kann durch ein passendes Loch in der Tiegelwand der Inhalt sichtbar werden. In diesem Fall kann von hier aus die Steuerung erfolgen.
  • Das Bild der Lichtquelle, sei es vom Tiegelinhalt, soweit er sich außerhalb des Tiegels befindet, sei es von einer Hilfslichtquelle, wird auf eine Fotozelle projiziert und löst damit einen elektrischen Strom aus (unter Zuhilfenahme eines Verstärkrrs), durch welchen wiederum ein Kippgerät betätigt wird. Auf diese Weise läßt sich der Motor, der den Materialnachschub antreibt, in seiner Geschwindigkeit regeln bzw. stillsetzen.
  • Abb. i zeigt als Ausführungsbeispiel eine schematische Anordnung, bei welcher d°r über den Tiegel i heraussehende Teil 2 des -Tiegelinhalts selbst Lichtstrahlen mit Hilfe eines Spiegels 3 durch ein Fenster 4 im evakuierten Verdampfungsraum 5 nach außen wirft. Diese Lichtstrahlen werden durch eine Optik 6 auf einen Schirm 7 projiziert. Der Projektionsschirm 7 hat eine Öffnung S, durch die bei einer bestimmten erreichten Größe der projizierten Bilder vom Tiegelinhalt Licht auf eine darunter befindliche Fotozelle 9 fällt und auf diese einwirkt. Mit dieser Fotozelle ist ein Kippgerät io elektrisch verbunden (ein; etwa notwendiger Verstärker ist hier nicht gezeichnet), und dieses betätigt den Antriebsmotor i i für den Materialnachschub in Drahtform 12 von der Rolle 13.
  • Wird die Menge im Tiegel i aus irgn ndeinem Grund in unerwünschter Weise zu groß, so wird durch das größere Volumen auch ein größeres Bild: auf dem Projektionsschirm 7 erzeugt; und durch die Öffnung fällt Licht auf die Fotozelle 9. Das Kippgerät io und der Motor ii sind so geschaltet, daß in diesem Fall der Motor gebremst oder stillgesetzt wird, so daß die Materialzufuhr verrirg.ert bz.w. eingestellt wird.
  • Verkleinert sich nun das Volumen im Tiegel wieder durch die fortschreitende Verdampfung, so verkleinert sich das Bild auf dem Projektionsschirm ebenfalls, bis kein Licht mehr durch die Öffnung S fällt. Nunmehr bewirkt das Aufhören des Stromws in der Fotozelle, daß über das Kippgerät der Motor wieder eingeschaltet wird bzw. dalj er mit der normalen Tourenzahl wie vordem weiterläuft.
  • Für den Fall, daß die Heizung des Tiegels i unterbrochen und der Tieggelinhalt kalt wird, kann der Materialnachschub bzw. der Tiegel selbst bei kleiner Wärmekapazität in ähnlicher Weise ausgeschaltet werden. Der Tiegel sendet ja selbst Lichtstrahlen aus, wenn er erhitzt ist; diese können mit Hilfe des Spiegels 3 ebenfalls durch das Fenster q. und die Optik 6 auf den Projektionsschirm 7 fallen. Eine öffnung i-.4 läßt sie auf die weitere Fotozelle 15 fallen, welche in der vorher beschriebenen Weise unabhängig vom ersten Schaltkreis über das Kippgerät den Antriebsmotor stillsetzen kann sowie sie kein Licht durch die Öffnung 14 erhält. Die Zelle 15 schaltet den Motor erst wieder ein, wenn sie Licht empfängt, d. h. wenn der Tiegel wieder geheizt ist und Licht aussenden kann.
  • Bei dieser Ausführung kann durch Verschieben des Projektionsschirmes in seiner Ebene die Stellung der Öffnung 8 geändert und damit auch die Höhe bz-,v. Menge des Tiegelinhalts reguliert werden.
  • Die Abb. 2 zeigt eine ähnliche Anordnung als Ausführungsbeispiel wie Abb. i, nur mit dem Unterschied, daß nicht las Bild des selbstleuchtenden Tiegelinhalts projiziert wird, sondern eine Hilfslichtquelle 16, in deren Strahlengang die Optik 17, das Fenster 18 des evakuierten Raumes 5 und die Spiegel ig stehen. Bei einem Tiegelinhalt, dessen aus dem Tiegel i heraussehender Teil noch klein ist, wird der Strahlengang zwischen den Spiegeln ig und 3 nicht gestört, und die Fotozelle g wird dauernd belichtet. Beim Höherwerden des Volumens im Tiegel wird der Strahlengang unterbrochen, wenn er vorher so eingestellt war; daß sich über dem Tiegel alle Strahlen nahezu punktförmig schneiden, und der Strom in der Fotozelle hört auf zu fließen. Die Lichtintensität muß gegenüber dein selbstleuchtenden Tiegelinhalt groß und die Empfindlichkeit des Strahlungsmeßgerätes entsprechend abgestimmt sein. In diesem Augenblick wird der Motor i i über das Kippgerät io gedrosselt oder abgeschaltet, so daß die Materialzufuhr aufhört.
  • Der Vorteil der Einrichtung liegt darin, daß die Regelung selbsttätig vor sich geht und daß man die gewünschte Normalmenge des Tiegelinhalts jederzeit auch außerhalb des evakuierten Raumes einstellen kann. Die Anordnung läßt sich so treffen, daß alle Stellen, die von: dem aus dem Tiegel verdampfenden Stoff getroffen werden können, den Strahlengang und die 'Wirkungsweise der Schaltung nicht beeinflussen können. Dem Dampf im Innern des evakuierten Raumes sind lediglich die Spiegel ausgesetzt, währen< die als Fenster vorgesehenen Glasplatten s( gelegt sein können, daß der Dampf sie nick erreicht. Alle anderen wichtigen Schaltorgan liegen außerhalb des evakuierten Raumes.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Einrichtung zur Regelung des Materialnachschubes zur Verdampfung irr Vakuum, dadurch gekennzeichnet, daL die im V erdampfungstiegel befindliche veränderbare . Stoffmenge durch einer optischen Strahlengang auf ein Strahlungsmeßgerät einwirkt, welches über eir. Kippgerät den Antriebsmotor für den Materialnachschub steuert.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die gewünschte Stoffmenge im Tiegel durcFi Verschieben des Projektionsschirmes oder der Optilc außerhalb des evakuierten Raumes in gewissen Grenzen eingestellt werden kann.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die glühende Tiegelwand durch Aussenden von Lichtstrahlen auf ein Strahlungsmeßgerät wirkt, welches über ein: Kippgerät den Motor zum Materialnachschub in Gang hält, und daß bei Unterbrechung der Verdampfung durch fehlende Tiegelheizung durch dieses Strahlungsmeßgerät der Motor abgeschaltet wird. Zur Abgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik ist im Erteilungsverfahren folgende Druckschrift in Betracht gezogen worden: USA.-Patentschrift Nr. 2 135 957-
DEB199141D 1942-08-07 1942-08-07 Einrichtung zur Regelung des Materialnachschubes zur Verdampfung im Vakuum Expired DE752141C (de)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1121170B (de) * 1959-09-02 1962-01-04 Steinkohlenbergwerke Mathias S Verfahren zum Messen und/oder Regeln der aeusseren Abmessungen von Roehren, Staeben,Baendern od. dgl. aus thermoplastischem Material
US3086889A (en) * 1960-03-21 1963-04-23 Stokes F J Corp Method and apparatus for coating a continuous sheet of material
DE1173176B (de) * 1961-06-20 1964-07-02 Siemens Ag Elektrodenvorschubeinrichtung bei magneto-hydrodynamischen Generatoren
DE1238093B (de) * 1962-05-18 1967-04-06 Cie Generale D Electricite Soc Dauerelektroden-Einrichtung fuer MHD-Generatoren

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2135957A (en) * 1935-04-08 1938-11-08 Wuensch Hetero Concentration P Concentration

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